SU306342A1 - Интерферометр для контроля толщины пленок в процессе их нанесения на поверхность детали - Google Patents
Интерферометр для контроля толщины пленок в процессе их нанесения на поверхность деталиInfo
- Publication number
- SU306342A1 SU306342A1 SU1335673A SU1335673A SU306342A1 SU 306342 A1 SU306342 A1 SU 306342A1 SU 1335673 A SU1335673 A SU 1335673A SU 1335673 A SU1335673 A SU 1335673A SU 306342 A1 SU306342 A1 SU 306342A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- interferometer
- thickness
- control
- films
- surface details
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title description 2
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 3
- 230000003287 optical Effects 0.000 description 3
- 102000014150 Interferons Human genes 0.000 description 1
- 108010050904 Interferons Proteins 0.000 description 1
- 206010036618 Premenstrual syndrome Diseases 0.000 description 1
- 230000001427 coherent Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 229940079322 interferon Drugs 0.000 description 1
- 238000005429 turbidity Methods 0.000 description 1
Description
Изобретение относитс к вакуумной технике , а и.менно к устройствам, предназначенным дл контрол толщины пленок в процессе их нанесени в вакууме.
Известен интерферометр дл контрол толщины пленок в процессе их нанесени на поверхность детали в вакуме, содержащий осветительную систему, иризменный блок, раздел ющий световой пучок на две параллельные ветви - рабочую и эталонную, объективы, установленные в каждой из ветвей, регистрирующий узел.
Предлагаемый интерферометр отличаетс от известного тем, что с целью повышени точности контрол и расширени технологических возможностей процесса контрол он снабжен экраном, изолируюшим ветви интерферометра, а поверхность детали, на которую наноситс пленка, расположена в совмещенной фокальной плоскости объективов.
На чертеже изображена оптическа схема предлагаемого интерферометра.
Интерферометр содержит осветительиую систему , состо щую из монохроматического источника света / (например, оптического квантового генератора), линзы 2, точечной диафрагмы 3 и объектива 4, призменный блок 5, состо щий из двух склеенных призм, объективы 6 7 эталонной и рабочей ветвей; экран регистрирующий узел, состо щий из объектипа Я диафрагмы 10 и фотоэлемента (или ФЭУ) //.
Рабоча ветвь интерферометра состоит из параллелограммной призмы блока 5, объектина 7 и небольшого участка детали /2 (точка /у), на которой наноситс пленка.
Эталонна ветвь включает в себ пр моугольую нризму блока 5, объектив 6 и участок детали 12 (точка /б), свободный от наносимой пленки благодар действию экрана 8.
Работает предлагаемый интерферометр следующнм образом.
При отсутствии наносимой пленки оптические мути в эталонной и рабочей ветв х посто ины , и в плоскости фотоэлемента II возникает иитерфере1щионна картииа в виде колец . При нанесении пленки в точке /у происходит изменение разности хода в ветв х интерферометра , что вызывает изменение освещенности в центре интерференционной картины. При измене П1и рассто ни вдоль оси между когерентными источниками, расположенными
вблизи заднего фокуса объектива 9, на величину 0,5 Л (л - длина волны света, используемого в иитерферометре), освещенность в центре интерференциоиной картины изменитс на противоположную, т. е. темное н тно будет
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU306342A1 true SU306342A1 (ru) |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| SU306342A1 (ru) | Интерферометр для контроля толщины пленок в процессе их нанесения на поверхность детали | |
| KR19980029709A (ko) | 2중 반사를 이용한 오토포커싱시스템 | |
| EP4299233A1 (en) | Optical processing device | |
| SU252624A1 (ru) | СПОСОБ БЕСКОНТАКТНОГО ИЗМЕРЕНИЯ толщиныПЛАСТИН из | |
| SU911144A1 (ru) | Интерферометр дл контрол формы выпуклых сферических поверхностей | |
| RU2615717C1 (ru) | Интерферометр для многоцелевых оптических измерений | |
| SU400871A1 (ru) | Автоколлимационный фотоэлектрический микроскоп | |
| SU847013A1 (ru) | Интерферометр дл контрол качествалиНз | |
| SU615356A1 (ru) | Оптическое устройство дл разметки поверхностей изделий | |
| SU380946A1 (ru) | Интерферометр для контроля качества плоской оптической поверхности детали | |
| SU451904A1 (ru) | Устройство дл контрол плоскопараллельности непрозрачных деталей | |
| SU172085A1 (ru) | Интерференционный способ контроля толщины прозрачнб1х слоев | |
| SU190606A1 (ru) | Оптическая визирная система | |
| SU890067A1 (ru) | Интерферометр дл контрол выпуклых поверхностей линз большого диаметра | |
| GB1052168A (ru) | ||
| SU257794A1 (ru) | Автоколлимационный теневой прибор | |
| RU1768965C (ru) | Интерферометр дл контрол формы вогнутых оптических поверхностей вращени | |
| SU198006A1 (ru) | Оптическая система с увеличенной глубиной резкости | |
| SU964561A1 (ru) | Устройство дл регулировани резкости изображени в фотопечатающей аппаратуре | |
| GB766776A (en) | Improvements in or relating to apparatus for photographic optical projection | |
| SU200219A1 (ru) | ФАЗОВЫЙ МИКРОСКОП с ИЗМЕНЯЕМЫМ КОНТРАСТОМ | |
| SU300757A1 (ru) | Оптический микрометр | |
| SU508671A1 (ru) | Компенсатор дл контрол качестваастрономических зеркал | |
| SU1409861A1 (ru) | Устройство дл измерени контура поперечного сечени объекта | |
| SU1583911A1 (ru) | Устройство дл лазерной обработки объектов с визуальным контролем на просвет |