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KR950001373A - 액정표시장치 및 그 제조방법 - Google Patents

액정표시장치 및 그 제조방법 Download PDF

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KR950001373A
KR950001373A KR1019940012629A KR19940012629A KR950001373A KR 950001373 A KR950001373 A KR 950001373A KR 1019940012629 A KR1019940012629 A KR 1019940012629A KR 19940012629 A KR19940012629 A KR 19940012629A KR 950001373 A KR950001373 A KR 950001373A
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쥰이치 오오와다
히데아키 야마모토
히로아키 아스마
노부타케 코니시
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카나이 쯔또무
가부시기가이샤 히다찌세이사구쇼
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Abstract

본 발명은 박막트랜지스트(TFT)를 사용한 액정표시장치에 있어서, 제조공정을 간략화하고, 수율높게 표시품질을 향상시키는 것을 목적으로 하며, 그 구성에 있어서, 역스태기 TFT1를 매트릭스형상으로 배열한 액정표시장치의 화상표시영역에 있어서, 주사신호선 위의 복수의 게이트절연막중 게이트전극과 접하는 절연막이 주사신호선을 따라서 자기정합적으로 형성되고, 게이트전극을 횡단하지 않고, 반도체층과 접하는 다른 게이트절연막이 드레인전극(영상신호선)을 따라서 패턴형성되고, 드레인전극을 횡단하지 않고 게이트전극을 횡단하는 구성으로 하고, 반도체층 및 이것과 접하는 절연막이 동일 포토레지스트패턴으로 가공되어 있는 것을 특징으로 하므로써, 제조공정의 저감, 수율 및 표시품질의 향상이 가능하다.

Description

액정표시장치 및 그 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1실시예가 되는 액티브·매트릭스방식의 컬러액정표시장치의 액정표시부의 1화소와 그 주변을 표시한 요부평면도, 제9도는 상하기판의 전기적 접속부를 포함한 표시패널의 모서리부의 확대평면도.

Claims (6)

  1. 기판위에 형성한 주사선신호선(게이트라인)과, 상기 주사신호선에 교차하도록 형성된 영상신호선(데이터라인)과, 상기 주사신호선과 상기 영상신호선의 교차 정부근에 형성된 박막트랜지스터와, 상기 박막트랜지스터에 접속된 화소전극으로 이루어지고, 상기 화소전극에 의해서 액정을 구동하는 기능을 가진 액정 표시장치에 있어서, 절연층 및 반도체층이 영상신호선을 따라서 거의 동일 평면 형상이고 또한 상기 화소전극의 일부에 겹쳐서 패터닝되어 있는 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  2. 기판위에 형성한 주사선신호선(게이트라인)과, 상기 주사신호선에 교차하도록 형성된 영상신호선(데이터라인)과, 상기 주사신호선과 상기 영상신호선의 교차 점부근에 형성된 박막트랜지스터와, 상기 박막트랜지스터에 접속된 화소전극으로 이루어지고, 상기 회소전극에 의해서 액정을 구동하는 기능을 가진 액정 표시장치에 있어서, 절연층 및 반도체층을 영상신호선을 따라서 거의 동일 평면 형성이고, 또한 영상신호선의 폭이상으로 형성되고, 액정표시장치 내부에서 반사된 관의 흡수작용을 가진 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  3. 기판위에 형성한 주사신호선(게이트라인)과, 상기 주사신호선에 교차하도록 형성된 영상신호선(데이터라인)과, 상기 주사신호선과 상기 영상신호선의 교차점부근에 형성된 박막트랜지스터와, 상기 박막트랜지스터에 접속된 화소전극으로 이루어지고, 상기 화소전극에 의해서 액정을 구동하는 기능을 가진 액정 표시장치에 있어서, 상기 박막 트랜지스터는 소스전극 및 드레인전극을 가진 것이고, 절연층 및 반도체층을 소스전극 및 드레인전극 사이에 걸쳐서 거의 동일평면패턴으로 형성되고, 또한 주사신호선과 상기 패턴과의 사이에 양극산화막을 형성한 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  4. 기판위에 형성한 주사신호선(게이트라인)과, 상기 주사신호선에 교차하도록 형성된 영상신호선(데이터라인)과, 상기 주사신호선과 상기 영상신호선의 교차점부근에 형성된 박막트랜지스터와, 상기 박막트랜지스터에 접속된 화소전극으로 이루어지고, 상기 화소전극에 의해서 액정을 구동하는 기능을 가진 액정 표시장치에 있어서, 상기 박막 트랜지스터는 게이트절연층 및 반도체층을 가지고 각각의 패턴단부의 상기 기판에 대한 테이퍼각은 상기 기판에 가까운 폭일수록 작은 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  5. 기판위에 형성한 주사신호선(게이트라인)과, 상기 주사신호선에 교차하도록 형성된 영상신호선(데이터라인)과, 상기 주사신호선과 상기 영상신호선의 교차점부근에 형성된 박막트랜지스터와, 상기 박막트랜지스터에 접속된 화소전극으로 이루어지고, 상기 화소전극에 의해서 액정을 구동하는 기능을 가진 액정 표시장치에 있어서, 상기 박막 트랜지스터를 구성하는 반도체층의 평면패턴외주부와, 소스전극 또는 드레인전극의 평면패턴외주부의 사이에 끼워진 영역은 절곡패턴을 가진 것을 특징으로 하는 액정표시장치.
  6. 절연기판위에 형성한 주사신호선(게이트라인)과, 상기 주사신호선에 교차하도록 형성된 영상신호선(데이터라인)과, 상기 주사신호선과 상기 영상신호선의 교차점부근에 형성된 박막트랜지스터와, 상기 박막트랜지스터에 접속된 화소전극으로 이루어지고, 상기 화소전극에 의해서 액정을 구동하는 기능을 가진 액정 표시장치에 있어서, 기판위에 형성된 주사신호선의 표면을 양극산화하는 공정, 상기 양극 산화막의 일부를 적어도 피복하는 절연층 및 반도체층을 각각 거의 동일평면패턴으로 연속해서 에칭하는 공정을 가진 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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