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KR940022719A - 회전식 기판처리 장치의 처리액 공급장치 - Google Patents

회전식 기판처리 장치의 처리액 공급장치 Download PDF

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KR940022719A
KR940022719A KR1019940005751A KR19940005751A KR940022719A KR 940022719 A KR940022719 A KR 940022719A KR 1019940005751 A KR1019940005751 A KR 1019940005751A KR 19940005751 A KR19940005751 A KR 19940005751A KR 940022719 A KR940022719 A KR 940022719A
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아키히로 히사이
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마사미 오오타니
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이시다 아키라
다이닛뽕 스크린 세이조오 가부시키가이샤
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Abstract

복수의 노즐과 처리액 공급튜브는 일정온도로 튜브에서 처리액을 유지하기 위한 튜브 접촉용의 온도조절배관의 일부를 형성하는 강성의 지지암에 의해 지지된다. 지지암은 노즐이 기판 상부에서 변위된 대기위치와 배출위치 사이에서 이동가능하도록 기판에서 측방으로 위치한 회전축 주위를 회전가능하게 된다. 구동암은 대기위치와 배출위치 사이에서 선택 지지암으로 부착된 노즐을 이동하는 하나의 선택 지지암을 회전 및 걸어맞추게 된다.
이러한 구조에 의해, 복수의 노즐에서 선택된 하나의 노즐은 온도 조절배관의 수단에 의해 처리액의 충분한 온도조절을 하게 하고, 처리에 공급튜브의 변형에 의한 처리액을 부적절한 격하를 피하면서 소정의 위치로 소정의 자세로서 신뢰성 있게 이동된다.

Description

회전식 기판처리 장치의 처리액 공급장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1실시예의 일부 절개 측면도.
제2도는 제1실시예의 평면도.
제3도는 제1실시예의 주요부의 일부절개 측면도이다.

Claims (14)

  1. 회전가능하게 지지된 기판으로 처리액을 공급하기 위한 각 복수의 노즐과, 처리액 저류부로 상기 노즐을 각각 접촉하기 위한 복수의 튜브와, 일정온도로 상기 튜브에서 처리액을 유지하기 위한 상기 튜브를 접촉하기 위한 온도조절 배관과, 기판 상부의 배출위치로 하나의 노즐을 선택하여 이동시키기 위한 노즐 이동수단을 구비한 회전식 기판처리 장치의 처리액 공급장치에 있어서, 상기 노즐과 상기 튜브와의 한셋트의 각각은 강성의 지지암에 의해 지지하고, 상기 노즐 이동수단은, 상기 선택 노즐의 하나가 상기 배출위치와 상기 기판 상방에서 변위된 대기위치 사이에서 이동할 수 있도록 상기 지지암 각각을 상기 노즐의 상방에서 변위된 주위를 회전할 수 있도록 지지하고, 상기 배출위치 및 상기 대기위치 사이에서 선택된 노즐을 이동하도록 상기 지지암을 선택적으로 걸어맞추어 회전시키기 위한 이송수단을 구비하는 회전식 기판처리 장치의 처리액 공급장치.
  2. 회전가능하게 지지된 기판으로 처리액을 각각 공급하기 위한 복수의 노즐과, 처리액 저류부로 상기 노즐을 각각 접촉하기 위한 복수의 튜브와, 상기 튜브에 접촉하여 내부의 처리액을 온도를 일정하게 유지하기 위한 온도조절 배관과, 기판 상부의 배출위치로 상기 노즐의 하나를 선택하여 이동시키기 위한 노즐의 이동수단을 구비한 회전식 기판처리 장치의 처리액 공급장치에 있어서, 상기 하나의 노즐과 상기 하나의 튜브와의 한셋트가 강성의 지지암에 의해 지지하고, 상기 노즐 이동수단은, 상기 지지암 각각을 개별로 회전 가능하게 지지하기 위한 암회전 지지체와, 상기 기판의 측방에서 소정 위치로 상기 암 회전 지지체의 선택된 하나를 이동하기 위한 암 선택 이동수단과, 상기 노즐의 상부에서 변위된 회전축 주위를 상기 선택 지지암이 회전가능하게 되도록, 상기 암 선택 및 이동수단에 의해 상기 소정위치로 이동하는 선택암에 걸어맞추기 위한 중심 걸어맞춤 수단과, 상기 기판 상부에서 변위된 대기위치와 상기 배출위치 사이에서 상기 선택 지지암에 의해 지지되는 노즐을 이동하도록, 상기 중심 걸어맞춤 수단에 의해 중심이 맞추어진 상기 선택 지지암을 걸어맞추어 회전하기 위한 암 회전 수단을 구비하는 회전식 기판처리 장치의 처리액 공급장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 암 선택 이동수단은, 상기 각 암 회전 지지체를 승강 가능하게 일직선상으로 나란히 지지하는 가동 프레임과, 상기 가동 프레임을 수평방향으로 이동가능하게 가이드 레일을 따라서 지지하는 장치 프레임과, 상기 가동 프레임을 수평방향으로 구동하기 위한 가동 프레임 구동수단을 구비한 처리액 공급장치.
  4. 제2항에 있어서, 상기 중심 걸어맞춤 수단은, 상기 선택 지지암에 대해 수직으로 이동가능한 구동부재와, 상기 구동부재와 상기 선택 지지암을 일체적으로 걸어맞추기 위한 걸어맞춤 수단으로 구성되는 처리액 공급장치.
  5. 제2항에 있어서, 상기 암 회전 수단은, 상기 걸어맞춤 위치의 상부위치와 걸어맞춤 위치 사이에서 상기 중심걸이 맞춤 수단에 의해 중심이 걸어맞추어진 상기 선택 지지암을 수직으로 이동하기 위한 승강수단과, 상기 선택 지지암을 일체화한 상태에서 회전시키기 위한 구동부재와, 상기 구동부재를 구동하기 위한 구동부재 구동수단을 구비하는 처리액 공급장치.
  6. 제3항에 있어서, 상기 중심 걸어맞춤 수단은, 상기 선택 지지암에 대해 수직이동 가능한 구동부재와, 상기 구동부재와 상기 선택 지지암을 일체로 걸어맞추기 위한 걸어맞춤 수단을 구비하는 처리액 공급장치.
  7. 제3항에 있어서, 상기 암 회전 수단은, 상기 걸어맞춤 위치의 상부 위치와 걸어맞춤위치 사이에서 상기 중심 걸어맞춤 수단에 의해 중심걸어 맞추어진 상기 선택 지지암을 수작으로 이동하기 위한 승강수단과, 상기 선택 지지암을 일체화한 상태에서 회전시키기 위한 구동부재와, 상기 구동부재를 구동하기 위한 구동부재 구동수단을 구비하는 처리액 공급장치.
  8. 제4항에 있어서, 상기 회전수단은, 상기 걸어맞춤 위치 상부 위치와 걸어맞춤 위치 사이에서 중심 걸어맞추어진 상기 선택 지지암을 수직으로 이동하기 위한 승강수단과, 상기 선택 지지암을 일체화한 상태에서 회전시키기 위한 구동부재와, 상기 구동부재를 구동하기 위한 구동부재 구동수단을 구비하는 처리액 공급장치.
  9. 제6항에 있어서, 상기 암 회전 수단은, 상기 걸어맞춤 위치의 상부 위치와 걸어맞춤 위치 사이에서 상기 중심 걸어맞춤 수단에 의해 걸어맞추어진 상기 선택 지지암을 수직으로 이동하기 위한 승강수단과, 상기 선택 지지암을 일체화한 상태에서 회전하기 위한 구동부재와, 상기 구동부재를 구동하기 위한 구동부재 구동수단을 구비하는 처리액 공급장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 구동부재에 의해 상기 선택 지지암을 클램프하도록 상기 선택암 회전 지지체를 접촉하기 위한 접촉부재를 더 구비하는 처리액 공급장치.
  11. 회전 가능하게 지지되는 기판으로 처리액을 공급하기 위한 각 복수의 노즐과, 처리액 저류부로 상기 노즐을 각각 접촉하기 위한 복수의 튜브와, 상기 튜브에 접촉하여 상기 튜브에서 처리액을 일정온도로 유지하기 위한 온도조절 배관과, 기판 상부의 배출위치로 하나의 노즐을 선택하여 이동하기 위한 노즐 이동수단을 구비한 회전식 기판처리장치의 처리액공급 장치에 있어서, 상기 노즐과 튜브와의 한셋트의 각각은 강성의 지지암에 의해 지지되고, 상기 노즐 이동수단은, 상기 지지암 각각을 상기 기판의 측방의 별개의 소정위치를 중심으로 자유로이 회전할 수 있도록 지지하기 위한 암 회전지지체와, 상기 하나의 지지암에서 다른 암으로 이동하고 소정의 지지암을 선택하여 걸어맞추는 암 선택 수단과, 상기 기판 상부에서 변위된 대기위치와 상기 배출 위치 사이에서 상기 선택 지지암에 의해 지지되는 노즐을 이동하기 위해, 상기 기판에서 측방으로 변위된 위치에서 상기 암 선택 수단에 의해 걸어맞추어진 상기 선택 지지암을 회전하기 위한 암 회전 수단을 구비하는 회전식 기판처리 장치의 처리액 공급장치.
  12. 제11항에 있어서, 각 상기 지지암을, 평면으로 보아서, 상기 하나의 회전축에서 노즐까지의 거리가 상기 기판의 회전축과 하나의 상기 회전축 사이의 거리와 같도록 수직으로 연장되는 상기 회전축 주위를 회전 가능하게 설치하고, 상기 회전축에서 변위된 수직축 주위를 회전가능하게 구동부재를 설치하며, 상기 구동부재를 수평으로 전진 후퇴시켜서 상기 지지암을 선택적으로 걸어맞추도록 상기 암 선택 수단을 설치한 처리액 공급장치.
  13. 제12항에 있어서, 상기 구동부재를 상기 선택 지지암에 수직으로 이동가능하게 걸어맞추어 지지암과 동시에 상기 구동부재를 수직으로 구동하기 위한 구동부재를 구비하는 처리액 공급장치.
  14. 제1항에 있어서, 상기 이송수단은, 상기 기판 상부에서 변위된 대기위치와 상기 배출위치 사이에서 상기 선택 노즐의 하나가 이동가능하도록, 상기 노즐 상부에서 변위된 상기축 주위를 회전가능하도록 각 상기 지지암을 지지하기 위한 암 지지수단과, 상기 대기위치와 상기 배출위치 사이에서 선택노즐을 이동하도록 상기 지지암을 선택적으로 걸어맞추어 회전하기 위한 암 회전 수단을 구비하는 처리액 공급장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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