CN118028780A - 一种常压式化学气相沉积机用多角度喷射机构 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种常压式化学气相沉积机用多角度喷射机构，涉及沉积机技术领域；而本发明包括工作台，工作台的顶端固定安装有支撑架，支撑架的顶端开设有第一卡槽，第一卡槽的内侧转动卡设有第一螺杆，支撑架的侧端固定安装有第一电机，第一螺杆的外侧螺纹套设有第一凸板，第一凸板的底面开设有第二卡槽，第二卡槽的内侧转动卡设有第二螺杆；通过第一电机、第一螺杆、第一凸板、导向板、第二电机、第二螺杆、第二凸板、第二卡槽、蜗杆、涡轮的配合实现了喷射嘴本体喷射加工时可以任意移动而且喷射过程中随意调节角度来喷涂，提升了喷射加工的效率，大幅度提高了喷射覆盖面积，喷射更全面且充分，提升产品加工质量和品质。

Description

一种常压式化学气相沉积机用多角度喷射机构

技术领域

本发明涉及沉积机技术领域，具体为一种常压式化学气相沉积机用多角度喷射机构。

背景技术

化学气相沉积机是一种用于材料科学领域的科学仪器，化学气相沉积炉(CVD炉)是用于在特定压力下将金属卤化物、金属有机物、碳氢化合物等反应源加热气化后在目标材料表面反应生成固态沉积物的设备，广泛用于物质提纯、新晶体研制、各种单晶的沉积、多晶或玻璃态无机薄膜材料等。

但是现有的化学气相沉积机在喷射加工时使用起来仍不理想，其因是不能够多角度调节和位置移动，结构太过单一，从而影响到喷射加工的效率，喷射覆盖面积太小，喷射的不够充分全面又影响了产品的质量和品质，针对上述问题，发明人提出一种常压式化学气相沉积机用多角度喷射机构用于解决上述问题。

发明新型内容

为解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：一种常压式化学气相沉积机用多角度喷射机构，包括工作台，所述工作台的顶端固定安装有支撑架，所述支撑架的顶端开设有第一卡槽，所述第一卡槽的内侧转动卡设有第一螺杆，所述支撑架的侧端固定安装有第一电机，所述第一螺杆的外侧螺纹套设有第一凸板，所述第一凸板的底面开设有第二卡槽，所述第二卡槽的内侧转动卡设有第二螺杆，所述第二螺杆的外侧螺纹套设有第二凸板，所述第一凸板的侧端固定安装有第二电机，所述第二凸板的底面固定安装有半圆形柱，所述半圆形柱的下部滑动设置有移动台，所述半圆形柱的外侧中部固定安装有涡轮，所述移动台的内侧转动卡设有蜗杆，所述蜗杆喝涡轮啮合连接，所述半圆形柱的两端部的内侧开设有环形槽，所述移动台的两端部固定安装有喝环形槽对应的连接柱，所述连接柱的一端滑动插接在环形槽的内侧，所述移动台的底面固定安装有喷射嘴本体。

优选地，所述支撑架的外侧固定安装有输料箱本体，所述输料箱本体的一端固定安装有伸缩软管，所述支撑架的外侧开设有活动口，所述伸缩软管的一端贯穿活动口喝喷射嘴本体固定连接，所述第一电机的驱动端贯穿支撑架和第一螺杆固定连接，所述第二电机的驱动端贯穿第一凸板和第二螺杆固定连接。

优选地，所述工作台的顶端开设有放置口，所述放置口的一侧固定卡设有固定板，所述固定板的外侧固定安装有对称分布的伸缩杆，所述伸缩杆的一端贯穿固定板并固定连接有夹板。

优选地，所述工作台的外侧下部活动安装有对称分布的活动板，所述活动板的底面固定安装有对称分布的滚轮，所述工作台的一端下部固定安装有支撑板，所述支撑板的顶端固定安装有气缸，所述气缸的驱动端贯穿支撑板并固定安装有固定掌。

优选地，所述第一凸板的顶端固定安装有导向板，所述导向板的一端和支撑架贴合。

优选地，所述活动口的内侧固定卡设有橡胶圈。

优选地，所述放置口的内侧固定安装有对称分布的阻尼器，所述阻尼器的一端固定安装有卡盘，所述阻尼器的一端固定安装有弹簧，所述弹簧的一端和卡盘固定连接。

优选地，所述工作台的顶端远离伸缩杆的一侧固定安装有把手。

优选地，所述活动板的顶端固定安装有对称分布的连接块，所述连接块的外侧螺纹安装有螺栓，所述螺栓的一端螺纹贯穿连接块并螺纹安装在工作台的内部。

与现有技术相比，本发明的有益效果在于：

1、通过第一电机、第一螺杆、第一凸板、导向板、第二电机、第二螺杆、第二凸板、第二卡槽、蜗杆、涡轮的配合实现了喷射嘴本体喷射加工时可以任意移动而且喷射过程中随意调节角度来喷涂，提升了喷射加工的效率，大幅度提高了喷射覆盖面积，喷射更全面且充分，提升产品加工质量和品质；

2、通过使用伸缩杆推动夹板移动从而将板材进行固定，防止在喷射加工过程中板材出现位置偏移或晃动等情况，导致喷射加工出现瑕疵，进而提升了喷射加工稳定性；

3、通过设置滚轮便于本装置进行移动，当移动到指定位置后控制气缸推动固定掌向地面移动，固定掌和地面接触后可以将滚轮固定，防止滚轮随意移动造成麻烦。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明结构示意图。

图2为本发明工作台结构拆分示意图。

图3为本发明支撑架结构俯视示意图。

图4为本发明支撑架结构仰视示意图。

图5为本发明半圆形柱、移动台、喷射嘴本体结构示意图。

图中：1、工作台；11、支撑架；12、第一卡槽；13、第一螺杆；14、第一电机；15、第一凸板；16、第二卡槽；17、第二螺杆；18、第二电机；19、第二凸板；20、半圆形柱；21、移动台；22、涡轮；23、蜗杆；24、环形槽；25、连接柱；26、喷射嘴本体；27、输料箱本体；28、伸缩软管；29、放置口；30、固定板；31、伸缩杆；32、夹板；33、活动板；34、滚轮；35、支撑板；36、气缸；37、固定掌；38、导向板；39、橡胶圈；40、阻尼器；41、卡盘；42、弹簧；43、把手；44、连接块；45、螺栓；46、活动口。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例：如图1-5所示，本发明提供了一种技术方案：一种常压式化学气相沉积机用多角度喷射机构，包括工作台1，工作台1的顶端固定安装有支撑架11，支撑架11的顶端开设有第一卡槽12，第一卡槽12的内侧转动卡设有第一螺杆13，支撑架11的侧端固定安装有第一电机14，第一螺杆13的外侧螺纹套设有第一凸板15，第一凸板15的底面开设有第二卡槽16，第二卡槽16的内侧转动卡设有第二螺杆17，第二螺杆17的外侧螺纹套设有第二凸板19，第一凸板15的侧端固定安装有第二电机18，第二凸板19的底面固定安装有半圆形柱20，半圆形柱20的下部滑动设置有移动台21，半圆形柱20的外侧中部固定安装有涡轮22，移动台21的内侧转动卡设有蜗杆23，蜗杆23喝涡轮22啮合连接，半圆形柱20的两端部的内侧开设有环形槽24，移动台21的两端部固定安装有喝环形槽24对应的连接柱25，连接柱25的一端滑动插接在环形槽24的内侧，移动台21的底面固定安装有喷射嘴本体26。

支撑架11的外侧固定安装有输料箱本体27，输料箱本体27的一端固定安装有伸缩软管28，支撑架11的外侧开设有活动口46，伸缩软管28的一端贯穿活动口46喝喷射嘴本体26固定连接，第一电机14的驱动端贯穿支撑架11和第一螺杆13固定连接，第二电机18的驱动端贯穿第一凸板15和第二螺杆17固定连接。

通过采用上述技术方案，蜗杆23通过外接电源驱动。

工作台1的顶端开设有放置口29，放置口29的一侧固定卡设有固定板30，固定板30的外侧固定安装有对称分布的伸缩杆31，伸缩杆31的一端贯穿固定板30并固定连接有夹板32。

通过采用上述技术方案，通过使用伸缩杆31推动夹板32移动从而将板材进行固定，防止在喷射加工过程中板材出现位置偏移或晃动等情况，导致喷射加工出现瑕疵，进而提升了喷射加工稳定性。

工作台1的外侧下部活动安装有对称分布的活动板33，活动板33的底面固定安装有对称分布的滚轮34，工作台1的一端下部固定安装有支撑板35，支撑板35的顶端固定安装有气缸36，气缸36的驱动端贯穿支撑板35并固定安装有固定掌37。

通过采用上述技术方案，通过设置滚轮34便于本装置进行移动，当移动到指定位置后控制气缸36推动固定掌37向地面移动，固定掌37和地面接触后可以将滚轮34固定，防止滚轮34随意移动造成麻烦。

第一凸板15的顶端固定安装有导向板38，导向板38的一端和支撑架11贴合。

通过采用上述技术方案，通过设置导向板38来对第一凸板15的移动进行导向和限位。

活动口46的内侧固定卡设有橡胶圈39。

通过采用上述技术方案，通过设置橡胶圈39减少伸缩软管28的摩擦，对伸缩软管28有效的保护外皮。

放置口29的内侧固定安装有对称分布的阻尼器40，阻尼器40的一端固定安装有卡盘41，阻尼器40的一端固定安装有弹簧42，弹簧42的一端和卡盘41固定连接。

通过采用上述技术方案，通过在阻尼器40和卡盘41之间设置弹簧42便于对需要加工的板材加强固定，提升稳定性。

工作台1的顶端远离伸缩杆31的一侧固定安装有把手43。

通过采用上述技术方案，通过设置把手43便于控制滚轮34移动的方向。

活动板33的顶端固定安装有对称分布的连接块44，连接块44的外侧螺纹安装有螺栓45，螺栓45的一端螺纹贯穿连接块44并螺纹安装在工作台1的内部。

通过采用上述技术方案，通过设置螺栓45便于将连接块44和活动板33固定连接在工作台1的外侧，拆卸螺栓45便于取下活动板33从而方便对滚轮34进行维修或更换。

工作原理：首先，将需要喷射加工的板材放置在放置口29中，卡在卡盘41之间，通过阻尼器40和卡盘41之间弹簧42的作用便于对需要加工的板材加强固定，然后使用伸缩杆31推动夹板32移动从而将板材进行固定，防止在喷射加工过程中板材出现位置偏移或晃动等情况，导致喷射加工出现瑕疵，进而提升了喷射加工稳定性，随后驱动第一电机14转动第一螺杆13，第一螺杆13转动带动第一凸板15移动，导向板38配合第一凸板15移动对第一凸板15进行导向和限位。紧接着驱动第二电机18转动第二螺杆17，第二螺杆17转动带动第二凸板19移动，第二凸板19依靠和第二卡槽16的内壁贴合来限位，从而通过第一电机14和第二电机18的配合方便将喷射嘴本体26移动到板材上方的任意位置，进行喷射加工，喷射过程中驱动蜗杆23转动，蜗杆23转动依靠涡轮22为路径，带动喷射嘴本体26角度调节，移动台21在半圆形柱20上来回摆动利用连接柱25在环形槽24中滑动做支撑，从而实现了喷射嘴本体26喷射加工时可以任意移动而且喷射过程中随意调节角度来喷涂，提升了喷射加工的效率，大幅度提高了喷射覆盖面积，喷射更全面且充分，提升产品加工质量和品质。

显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (9)

1.一种常压式化学气相沉积机用多角度喷射机构，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)的顶端固定安装有支撑架(11)，所述支撑架(11)的顶端开设有第一卡槽(12)，所述第一卡槽(12)的内侧转动卡设有第一螺杆(13)，所述支撑架(11)的侧端固定安装有第一电机(14)，所述第一螺杆(13)的外侧螺纹套设有第一凸板(15)，所述第一凸板(15)的底面开设有第二卡槽(16)，所述第二卡槽(16)的内侧转动卡设有第二螺杆(17)，所述第二螺杆(17)的外侧螺纹套设有第二凸板(19)，所述第一凸板(15)的侧端固定安装有第二电机(18)，所述第二凸板(19)的底面固定安装有半圆形柱(20)，所述半圆形柱(20)的下部滑动设置有移动台(21)，所述半圆形柱(20)的外侧中部固定安装有涡轮(22)，所述移动台(21)的内侧转动卡设有蜗杆(23)，所述蜗杆(23)喝涡轮(22)啮合连接，所述半圆形柱(20)的两端部的内侧开设有环形槽(24)，所述移动台(21)的两端部固定安装有喝环形槽(24)对应的连接柱(25)，所述连接柱(25)的一端滑动插接在环形槽(24)的内侧，所述移动台(21)的底面固定安装有喷射嘴本体(26)。

2.如权利要求1所述的一种常压式化学气相沉积机用多角度喷射机构，其特征在于，所述支撑架(11)的外侧固定安装有输料箱本体(27)，所述输料箱本体(27)的一端固定安装有伸缩软管(28)，所述支撑架(11)的外侧开设有活动口(46)，所述伸缩软管(28)的一端贯穿活动口(46)喝喷射嘴本体(26)固定连接，所述第一电机(14)的驱动端贯穿支撑架(11)和第一螺杆(13)固定连接，所述第二电机(18)的驱动端贯穿第一凸板(15)和第二螺杆(17)固定连接。

3.如权利要求1所述的一种常压式化学气相沉积机用多角度喷射机构，其特征在于，所述工作台(1)的顶端开设有放置口(29)，所述放置口(29)的一侧固定卡设有固定板(30)，所述固定板(30)的外侧固定安装有对称分布的伸缩杆(31)，所述伸缩杆(31)的一端贯穿固定板(30)并固定连接有夹板(32)。

4.如权利要求3所述的一种常压式化学气相沉积机用多角度喷射机构，其特征在于，所述工作台(1)的外侧下部活动安装有对称分布的活动板(33)，所述活动板(33)的底面固定安装有对称分布的滚轮(34)，所述工作台(1)的一端下部固定安装有支撑板(35)，所述支撑板(35)的顶端固定安装有气缸(36)，所述气缸(36)的驱动端贯穿支撑板(35)并固定安装有固定掌(37)。

5.如权利要求1所述的一种常压式化学气相沉积机用多角度喷射机构，其特征在于，所述第一凸板(15)的顶端固定安装有导向板(38)，所述导向板(38)的一端和支撑架(11)贴合。

6.如权利要求2所述的一种常压式化学气相沉积机用多角度喷射机构，其特征在于，所述活动口(46)的内侧固定卡设有橡胶圈(39)。

7.如权利要求3所述的一种常压式化学气相沉积机用多角度喷射机构，其特征在于，所述放置口(29)的内侧固定安装有对称分布的阻尼器(40)，所述阻尼器(40)的一端固定安装有卡盘(41)，所述阻尼器(40)的一端固定安装有弹簧(42)，所述弹簧(42)的一端和卡盘(41)固定连接。

8.如权利要求4所述的一种常压式化学气相沉积机用多角度喷射机构，其特征在于，所述工作台(1)的顶端远离伸缩杆(31)的一侧固定安装有把手(43)。

9.如权利要求4所述的一种常压式化学气相沉积机用多角度喷射机构，其特征在于，所述活动板(33)的顶端固定安装有对称分布的连接块(44)，所述连接块(44)的外侧螺纹安装有螺栓(45)，所述螺栓(45)的一端螺纹贯穿连接块(44)并螺纹安装在工作台(1)的内部。