KR20220029089A - 기판 이송장치 - Google Patents

Abstract

본 발명에 따른 기판 이송장치는, 베이스; 상기 베이스에 고정되는 구동 모터; 상기 구동 모터로부터 동력을 전달받고, 기판을 이송하기 위한 이송 벨트를 이동시키는 구동 아이들러; 상기 이송 벨트의 일측에 연결되는 진입 아이들러; 상기 이송 벨트의 타측에 연결되는 진출 아이들러; 상기 베이스에 고정되고, 상기 구동 아이들러와 상기 진입 아이들러와 상기 진출 아이들러가 결합되는 하측 지지부; 및 상기 이송 벨트에 의해 이송되는 기판의 상측에서 상기 기판이 상기 이송 벨트에 밀착되도록 하는 상측 지지부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

기판 이송장치{Board Transfer}

본 발명은 기판 이송장치에 관한 것이다.

디스플레이 제조 시에　글라스나 플렉시블 소재의　기판 이송을 위한 장치가 포함되고, 반도체 제조시에는 웨이퍼나　회로 기판을 이송하기 위한 장치를 포함할 수 있다(이하 모든 평판을 기판이라고 칭함).

일 예로, 대한민국 등록특허공보 제10-1000904호에는 웨이퍼 흐름 공정 중 웨이퍼를 순차 이송하는 웨이퍼 검사용 컨베이어 장치가 개시된다.

종래 기술에 따르면, 웨이퍼는 컨베이어 벨트의 상면에 놓인 상태에서 컨베이어 벨트에 의해 이송된다.

상기 웨이퍼가 상기 컨베이어 벨트의 상면에 놓인 상태에서 이송되기에 상기 웨이퍼는 상기 컨베이어 벨트의 이동에 의해 상기 컨베이어 벨트의 상면에서 움직이는 문제가 발생될 수 있다.

웨이퍼가 상기 컨베이어 벨트에서 움직이게 될 경우에, 상기 웨이퍼에 변형이 발생되거나 물리적 손상이 발생되는 문제가 발생될 수 있다.

본 발명은, 기판을 신뢰성 높고, 안정적으로 이송할 수 있는 기판 이송장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명에 따른 기판 이송장치는, 구동 모터로부터 동력을 전달받아 이송 벨트를 이동시키는 구동 아이들러와, 상기 이송 벨트의 일측에 연결되는 진입 아이들러와, 상기 이송 벨트의 타측에 연결되는 진출 아이들러가 하측 지지부에 결합되어 기판이 하측 지지부에 지지된 상태에서 이동할 수 있다.

본 발명에 따른 기판 이송장치는, 하측 지지부에 대해 이동 가능하게 구비되어 상기 기판의 상측에서 상기 기판이 상기 이송 벨트에 밀착되도록 하는 상측 지지부를 포함하여 상기 기판이 이동 중 상기 이송 벨트로부터 이격되는 것을 방지할 수 있다.

본 발명에 따른 기판 이송장치는, 유체 압력에 의해 이동하는 실린더와, 기판에 접촉되는 베어링이 상측 지지부에 포함되어, 상기 기판이 상기 이송 벨트를 향하는 방향으로 균일하게 가압 가능하고, 상기 이송 벨트와 상기 베어링의 사이 간격을 정확하게 조절할 수 있다.

본 발명에 따른 기판 이송장치는, 기판이 이송 벨트로 진입하기 위한 기판 진입부, 기판이 이송 벨트로부터 진출하기 위한 기판 진출부, 상기 진입로에서 상기 진출로로 향하는 기판을 이동시키는 기판 이송부를 포함하여, 이동하는 기판의 위치에 대응하여 기판이 이송 벨트에 밀착되도록 할 수 있다.

본 발명에 따르면, 기판의 이송 과정에서 기판에 발생될 수 있는 변형을 최소화할 수 있다.

본 발명에 따르면, 기판의 이송 과정에서 기판에 발생될 수 있는 물리적 손상을 최소화할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 이송장치의 사시도.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 기판 이송장치의 일 측면도.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 이송장치의 타 측면도.
도 4 내지 도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 이송장치에 의해 기판이 이송되는 모습을 나타내는 도면.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있도록 바람직한 실시 예를 상세히 설명한다.

다만, 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세하게 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 도면 전체에 걸쳐 동일 또는 유사한 부호를 사용한다.

첨부된 도면은 본 발명의 예시적인 형태를 도시한 것으로, 이는 본 발명을 보다 상세히 설명하기 위해 제공되는 것일 뿐, 이에 의해 본 발명의 기술적인 범위가 한정되는 것은 아니다. 또한, 설명의 편의를 위하여 도시된 각 구성 부재의 크기 및 형상은 과장되거나 축소될 수 있다.

한편, 제 1 또는 제 2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들이 상기 용어들에 의해 한정되지 않으며, 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별시키는 목적으로만 사용된다.

덧붙여, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 '연결' 되어 있다고 할 때, 이는 '직접적으로 연결' 되어 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 '간접적으로 연결' 되어 있는 경우도 포함한다. 또한, 어떤 구성요소를 '포함' 한다는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있다는 것을 의미한다.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 이송장치의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 기판 이송장치의 일 측면도이고, 도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 이송장치의 타 측면도이다.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 기판 이송장치(1)는 베이스(10)를 포함할 수 있다. 상기 베이스(10)는 판형으로 형성될 수 있다. 상기 베이스(10)는 기판 이송장치(1)의 하중을 지지할 수 있다. 상기 베이스(10)는 가로 방향인 길이 방향과, 세로 방향인 폭 방향과, 높이 방향인 두께 방향으로 방향이 정의될 수 있다. 본 발명에서 상기 베이스(10)는 일정판 두께를 가지며, 폭 방향과 길이 방향으로 연장되는 판형으로 형성될 수 있다.

상기 기판 이송장치(1)는 하측 지지부(20)와 상측 지지부(30)를 포함할 수 있다. 상기 하측 지지부(20)는 상기 베이스(10)에 결합될 수 있다. 상기 상측 지지부(30)는 상기 하측 지지부(20)의 상방에 위치하며, 상기 하측 지지부(20)에 대해 이동 가능하게 제공될 수 있다.

상기 하측 지지부(20)는 제1하측 지지부(21)와 제2하측 지지부(23)를 포함할 수 있다. 상기 제1하측 지지부(21)는 기판(B)의 일측을 지지하고, 상기 제2하측 지지부(23)는 기판(B)의 타측을 지지할 수 있다. 상기 기판(B)은 상기 제1하측 지지부(21)와 상기 제2하측 지지부(23)에 양측이 지지된 상태에서 이동될 수 있다. 상기 제1하측 지지부(21)와 상기 제2하측 지지부(23)는 상기 베이스(10)의 상면으로부터 상방인 높이 방향으로 연장될 수 있다. 또한, 상기 제1하측 지지부(21)와 상기 제2하측 지지부(23)는 상기 베이스(10)의 길이 방향으로 연장될 수 있다.

상기 하측 지지부(20)는 제3하측 지지부(25)를 포함할 수 있다. 상기 제3하측 지지부(25)는 상기 제1하측 지지부(21)와 상기 제2하측 지지부(23)의 사이에 위치할 수 있다. 상기 제1하측 지지부(21), 상기 제2하측 지지부(23), 및 상기 제3하측 지지부(25)는 상기 베이스(10)의 상면에 고정될 수 있다.

상기 제3하측 지지부(25)는 기판(B)의 하방에 위치할 수 있다. 상기 제3하측 지지부(25)의 상단은 상기 기판(B)에 접촉되는 것을 방지할 수 있도록 상기 제1하측 지지부(21) 및 상기 제2하측 지지부(23)의 상단보다 하방에 위치할 수 있다. 상기 제1하측 지지부(21), 상기 제2하측 지지부(23), 및 상기 제3하측 지지부(25)의 하단은 상기 베이스(10)에 결합될 수 있다.

상기 기판 이송장치(1)는 동력을 제공하는 구동 모터(40)를 포함할 수 있다. 상기 구동 모터(40)에는 제1구동 풀리(41)가 연결될 수 있다. 상기 구동 모터(40)에서 제공되는 회전력에 의해 상기 제1구동 풀리(41)가 회전할 수 있다. 상기 제1구동 풀리(41)는 상기 구동 모터(40)의 회전축에 연결될 수 있다. 본 실시 예에서 상기 구동 모터(40)는 상기 베이스(10)에 고정될 수 있다.

상기 기판 이송장치(1)는 상기 제1구동 풀리(41)에 연동되는 제2구동 풀리(42)와, 상기 제1구동 풀리(41)와 상기 제2구동 풀리(42)를 연결하는 구동 벨트(44)를 포함할 수 있다. 상기 구동 모터(40)의 동력은 상기 구동 벨트(44)에 의해 상기 제1구동 풀리(41)에서 상기 제2구동 풀리(42)로 전달될 수 있다.

상기 제2구동 풀리(42)는 구동 축(43)에 연결될 수 있다. 상기 구동 축(43)은 상기 하측 지지부(20)를 관통하도록 설치될 수 있다. 상기 제1하측 지지부(21), 상기 제2하측 지지부(23)와, 상기 제3하측 지지부(25)에는 상기 구동 축(43)이 관통하기 위한 관통홀이 형성되며, 상기 구동 축(43)은 상기 관통홀에서 회전할 수 있다. 상기 관통홀에는 상기 구동 축(43)의 회전을 보조하기 위한 베어링이 더 구비될 수도 있다. 상기 구동 축(43)의 회전에 의해 상기 제1하측 지지부(21)에 구비되는 이송 벨트(55)와 상기 제2하측 지지부(23)에 구비되는 이송 벨트(55)가 함께 회동할 수 있다.

본 실시 예에서 상기 제1구동 풀리(41), 상기 제2구동 풀리(42), 상기 구동 벨트(44)는 상기 제1하측 지지부(21)의 일측에 위치할 수 있다. 상기 제1하측 지지부(21)의 일측에는 상기 구동 벨트(44)의 장력을 조절하기 위한 텐션 아이들러가 포함될 수도 있다. 상기 텐션 아이들러는 상기 구동 벨트(44)를 가압하여 상기 구동 벨트(44)의 장력을 조절할 수 있다.

상기 기판 이송장치(1)는 기판(B)을 이송하기 위한 이송 벨트(55)를 포함할 수 있다. 상기 기판(B)은 상기 이송 벨트(55)에 놓인 상태에서 상기 이송 벨트(55)에 의해 이동할 수 있다. 상기 기판(B)이 상기 기판 이송장치(1)에 의해 이동되는 중 제조 공정이 수행될 수 있다.

상기 기판 이송장치(1)는 상기 이송 벨트(55)를 이동시키기 위한 구동 아이들러(50), 진입 아이들러(51), 진출 아이들러(52)를 포함할 수 있다. 상기 구동 아이들러(50)는 상기 구동 축(43)에 연결되어 상기 구동 모터(40)의 동력을 전달받을 수 있다. 상기 진입 아이들러(51), 상기 진출 아이들러(52), 상기 구동 아이들러(50)는 상기 이송 벨트(55)로 연결될 수 있다.

상기 진입 아이들러(51)는 상기 하측 지지부(20)의 일측에 위치하고, 상기 진출 아이들러(52)는 상기 하측 지지부(20)의 타측에 위치할 수 있다. 상기 기판(B)은 상기 진입 아이들러(51)에서 상기 진출 아이들러(52)를 향하는 방향으로 이동할 수 있다. 상기 기판(B)의 이동 방향에 따라 상기 진입 아이들러(51)를 진출 아이들러(52)라 정의하고, 상기 진출 아이들러(52)를 진입 아이들러(51)라 정의할 수도 있다.

상기 진입 아이들러(51)와 상기 진출 아이들러(52)는 서로 멀어지는 방향으로 배치될 수 있다. 상기 진입 아이들러(51)와 상기 진출 아이들러(52) 사이에 상기 구동 아이들러(50)가 위치할 수 있다. 상기 진입 아이들러(51)와 상기 진출 아이들러(52)는 동일한 높이에 위치할 수 있다. 상기 진입 아이들러(51)와 상기 진출 아이들러(52)가 동일한 높이에 위치하기에 상기 이송 벨트(55)가 상기 기판(B)을 수평하게 이동시킬 수 있다. 상기 진입 아이들러(51)와 상기 진출 아이들러(52)의 높이를 변화시켜 상기 기판(B)이 경사지게 이동되도록 할 수 있다.

상기 구동 아이들러(50)는 상기 진입 아이들러(51)와 상기 진출 아이들러(52)보다 하방에 위치할 수 있다. 상기 구동 아이들러(50)와 상기 진입 아이들러(51) 및 상기 진출 아이들러(52)는 상기 이송 벨트(55)가 장력을 유지할 수 있도록 이격되게 배치될 수 있다.

상기 기판 이송장치(1)는 상기 이송 벨트(55)의 장력을 조절하기 위한 텐션 아이들러(53,54)를 포함할 수 있다. 본 실시 예에서 상기 텐션 아이들러(53,54)는 복수로 제공될 수 있다. 상기 텐션 아이들러(53,54)는 제1텐션 아이들러(53)와 제2텐션 아이들러(54)를 포함할 수 있다. 상기 제1텐션 아이들러(53)는 상기 구동 아이들러(50)와 상기 진입 아이들러(51)의 사이에 위치할 수 있다. 상기 제2텐션 아이들러(54)는 상기 구동 아이들러(50)와 상기 진출 아이들러(52)의 사이에 위치할 수 있다. 상기 제1텐션 아이들러(53)와 상기 제2텐션 아이들러(54)는 상기 구동 아이들러(50)를 향하는 방향으로 상기 이송 벨트(55)를 가압하여 상기 이송 벨트(55)의 장력을 조절할 수 있다.

상기 기판 이송장치(1)에는 상기 텐션 아이들러(53,54)를 이동시키기 위한 텐션 아이들러 이송부가 포함될 수 있다. 상기 텐션 아이들러 이송부는 상기 텐션 아이들러(53,54)가 상기 구동 아이들러(50)를 향해 직선 운동으로 이송되도록 할 수 있다. 상기 텐션 아이들러(53,54)에 의해 상기 이송 벨트(55)의 장력이 다양하게 조절될 수 있다.

상기 이송 벨트(55)의 일부는 상기 하측 지지부(20)의 상부로 노출되게 설치될 수 있다. 상기 하측 지지부(20)의 상부로 노출된 이송 벨트(55)의 일부에 상기 기판(B)이 안착되어 이동할 수 있다.

상기 구동 아이들러(50), 상기 진입 아이들러(51), 상기 진출 아이들러(52), 상기 텐션 아이들러(53,54)는 상기 하측 지지부(20)의 타측에 위치할 수 있다. 상기 하측 지지부(20)의 일측에는 상기 제1구동 풀리(41), 상기 제2구동 풀리(42), 상기 구동 벨트(44)가 위치할 수 있다. 상기 하측 지지부(20)의 일측은 상기 기판 이송장치(1)의 외측을 향하는 방향으로 이해할 수 있고, 상기 하측 지지부(20)의 타측은 상기 기판 이송장치(1)의 내측을 향하는 방향으로 이해할 수 있다.

본 실시 예에서 상기 제1하측 지지부(21)와 상기 제2하측 지지부(23) 각각에 상기 기판(B)을 이동시키기 위한 구성들이 포함될 수 있다. 상기 제1하측 지지부(21)는 일측 진입 아이들러(51), 일측 진출 아이들러(52), 일측 텐션 아이들러(53,54), 일측 구동 아이들러(50), 일측 이송 벨트(55)를 포함할 수 있다. 상기 제2하측 지지부(23)는 타측 진입 아이들러(51), 타측 진출 아이들러(52), 타측 텐션 아이들러(53,54), 타측 구동 아이들러(50), 타측 이송 벨트(55)를 포함할 수 있다. 상기 일측 구동 아이들러(50)와 상기 타측 구동 아이들러(50)는 하나의 구동 축(43)에 연결되어, 하나의 구동 모터(40)로부터 동력을 전달받을 수 있다. 또한, 상기 일측 구동 아이들러(50)와 상기 타측 구동 아이들러(50)는 서로 다른 구동 축(43)에 연결되어, 복수의 구동 모터(40)로부터 동력을 전달받을 수도 있다. 상기 제3하측 지지부(25)는 상기 제1하측 지지부(21)와 상기 제2하측 지지부(23)의 사이에서 상기 구동 축(43)을 지지하거나, 상기 구동 아이들러(50), 상기 진입 아이들러(51), 상기 진출 아이들러(52)를 지지할 수도 있다.

한편, 상기 기판 이송장치(1)는 상측 지지부(30)를 포함할 수 있다. 상기 상측 지지부(30)는 상기 기판(B)의 상측을 지지할 수 있다. 상기 상측 지지부(30)는 복수로 제공될 수 있다. 상기 상측 지지부(30)는 제1상측 지지부(31), 상기 제2상측 지지부(33)를 포함할 수 있다. 상기 상측 지지부(30)는 상기 제1상측 지지부(31)와 상기 제2상측 지지부(33)의 사이에 제공되며, 상기 제1상측 지지부(31)와 상기 제2상측 지지부(33)를 연결하는 제3상측 지지부(35)를 더 포함할 수 있다.

상기 상측 지지부(30)는 상기 하측 지지부(20)로부터 상방으로 이격되어 있으며, 상기 하측 지지부(20)에 대해 상하 이동되도록 구성될 수 있다. 상기 상측 지지부(30)와 상기 하측 지지부(20)의 사이로 상기 기판(B)이 통과할 수 있다. 상세히, 상기 하측 지지부(20)의 이송 벨트(55)에 안착된 기판(B)이 상기 상측 지지부(30)의 하방으로 이동할 수 있다.

상기 제1상측 지지부(31)는 상기 제1하측 지지부(21)의 상측에 위치하고, 상기 제2상측 지지부(33)는 상기 제2하측 지지부(23)의 상측에 위치하고, 상기 제3상측 지지부(35)는 상기 제3하측 지지부(25)의 상측에 위치할 수 있다.

한편, 상기 제3하측 지지부(25)는 상기 제1하측 지지부(21)와 상기 제2하측 지지부(23)의 사이에서 상기 구동 축(43)의 양단을 회전 가능하게 지지할 수 있다. 또한, 상기 제3하측 지지부(25)에는 상기 제1하측 지지부(21)의 텐션 아이들러 및 상기 제2하측 지지부(23)의 텐션 아이들러가 설치될 수도 있다.

상기 상측 지지부(30)는 기판 진입부(60), 기판 진출부(70), 기판 이송부(80,85)를 포함할 수 있다. 상기 기판 진입부(60)는 상기 기판(B)이 진입되는 방향에 위치하고, 상기 기판 진출부(70)는 상기 기판(B)이 진출되는 방향에 위치할 수 있다. 상기 기판 이송부(80,85)는 상기 기판 진입부(60)와 상기 기판 진출부(70)의 사이에 위치할 수 있다. 상기 기판 진입부(60) 측으로 상기 기판(B)이 진입되며, 진입된 기판(B)은 상기 기판 진출부(70)를 향해 이동할 수 있다. 이때, 상기 기판 이송부(80,85)는 상기 기판(B)이 상기 기판 진입부(60)로부터 상기 기판 진출부(70)로 이동되도록 상기 기판(B)의 이동 방향을 가이드할 수 있다. 또한, 상기 기판 이송부(80,85)는 상기 기판(B)을 상기 이송 벨트(55)를 향하는 방향으로 가압하여, 상기 기판(B)과 상기 이송 벨트(55) 사이의 마찰력을 증가시킬 수 있다.

상기 기판 이송부(80,85)는 전방 이송부(80)와 후방 이송부(85)를 포함할 수 있다. 상기 전방 이송부(80)는 상기 기판(B)의 이송 방향을 기준으로 상기 기판 진입부(60)의 하류에 위치할 수 있다. 상기 후방 이송부(85)는 상기 기판(B)의 이송 방향을 기준으로 상기 전방 이송부(80)의 하류에 위치하고, 상기 기판 진출부(70)의 상류에 위치할 수 있다. 상기 전방 이송부(80)와 상기 후방 이송부(85)는 상기 기판 진입부(60)와 상기 기판 진출부(70)의 사이에 위치하여, 상기 기판 진입부(60)로 진입한 기판(B)이 상기 기판 진출부(70)를 향하도록 이동 방향을 안내할 수 있다.

상기 기판 진입부(60)는 진입 베어링(61)과 진입 실린더(62)를 포함할 수 있다. 상기 기판 진입부(60)는 상기 진입 아이들러(51)의 상측에 위치할 수 있다. 상기 진입 베어링(61)과 상기 진입 아이들러(51)는 상하 방향으로 서로 대응하는 위치에 배치될 수 있다. 상기 기판(B)은 상기 진입 아이들러(51)에 의해 이동하는 이송 벨트(55)와 상기 진입 베어링(61)의 사이를 통과할 수 있다. 상기 기판(B)의 상면은 상기 진입 베어링(61)이 접촉되고, 상기 기판(B)의 하면은 상기 이송 벨트(55)에 접촉될 수 있다.

상기 진입 실린더(62)는 상기 기판 진입부(60)가 상기 하측 지지부(20)에 대해 상하 방향으로 이동되도록 할 수 있다. 상기 진입 실린더(62)는 유체 압력을 이용하여 상하 이동하는 공압 실린더, 유압 실린더 등으로 제공될 수 있다. 본 실시 예에서 상기 진입 실린더(62)는 공기 압력을 이용하여 상하 이동하는 공압 실린더로 구성될 수 있다. 상기 진입 실린더(62)는 상기 이송 벨트(55)와 상기 진입 베어링(61) 사이로 진입되는 기판(B)의 두께를 고려하여, 상기 진입 베어링(61)과 상기 이송 벨트(55) 사이 거리를 조절할 수 있다.

상기 기판 진출부(70)는 진출 베어링(71)과 진출 실린더(72)를 포함할 수 있다. 상기 기판 진출부(70)는 상기 진출 아이들러(52)의 상측에 위치할 수 있다. 상기 진출 베어링(71)과 상기 진출 아이들러(52)는 상하 방향으로 서로 대응하는 위치에 배치될 수 있다. 상기 기판(B)은 상기 진출 아이들러(52)에 의해 이동하는 이송 벨트(55)와 상기 진출 베어링(71)의 사이를 통과할 수 있다. 상기 기판(B)의 상면은 상기 진출 베어링(71)이 접촉되고, 상기 기판(B)의 하면은 상기 이송 벨트(55)에 접촉될 수 있다.

상기 진출 실린더(72)는 상기 기판 진출부(70)가 상기 하측 지지부(20)에 대해 상하 방향으로 이동되도록 할 수 있다. 상기 진출 실린더(72)는 유체 압력을 이용하여 상하 이동하는 공압 실린더, 유압 실린더 등으로 제공될 수 있다. 본 실시 예에서 상기 진출 실린더(72)는 공기 압력을 이용하여 상하 이동하는 공압 실린더로 구성될 수 있다. 상기 진출 실린더(72)는 상기 이송 벨트(55)와 상기 진출 베어링(71) 사이로 진출되는 기판(B)의 두께를 고려하여, 상기 진출 베어링(71)과 상기 이송 벨트(55) 사이 거리를 조절할 수 있다.

상기 전방 이송부(80)는 전방 이송 베어링(81)과 전방 이송 실린더(82)를 포함할 수 있다. 상기 전방 이송부(80)는 상기 이송 벨트(55)의 상측에 위치할 수 있다. 상기 진입 아이들러(51)와 상기 진출 아이들러(52) 사이에 위치하는 이송 벨트(55)는 상기 진입 아이들러(51)에 인접하는 일부를 전반부라 정의하고, 상기 진출 아이들러(52)에 인접하는 나머지 일부를 후반부라 정의할 수 있다. 상기 전방 이송부(80)는 상기 이송 벨트(55)의 전반부 상측에 위치할 수 있다. 상기 전방 이송부(80)는 상기 이송 벨트(55)의 상측에서 상기 이송 벨트(55)에 대해 상하 이동할 수 있다.

상기 전방 이송 베어링(81)은 상기 전방 이송부(80)의 하측에 구비될 수 있다. 상기 전방 이송 베어링(81)은 상기 이송 벨트(55)의 전반부에 접촉될 수 있다. 상기 전방 이송 베어링(81)과 상기 이송 벨트(55)의 전반부 사이를 상기 기판(B)이 통과할 수 있다. 상기 전방 이송 베어링(81)은 다수로 제공되며, 상기 기판(B)의 이송 방향으로 다수의 전방 이송 베어링(81)이 나열될 수 있다. 상기 기판(B)은 다수의 전방 이송 베어링(81)을 따라 이동할 수 있다.

상기 전방 이송 실린더(82)는 상기 전방 이송부(80)가 상하 방향으로 이동되도록 할 수 있다. 상기 전방 이송 실린더(82)는 유체 압력에 의해 이동 가능한 공압 또는 유압 실린더로 구성될 수 있다. 상기 전방 이송 실린더(82)에 의해 상기 전방 이송부(80)가 상기 이송 벨트(55)의 상측에서 상하 이동할 수 있다. 상기 전방 이송 실린더(82)는 상기 전방 이송 베어링(81)과 상기 이송 벨트(55) 사이로 상기 기판(B)이 투입되는 여부에 따라 높이가 조절될 수 있다.

본 실시 예에서 상기 전방 이송 실린더(82)는 상기 전방 이송부(80)가 상기 이송 벨트(55)에 대해 상하 이동하는 것으로 설명하였으나, 상기 전방 이송 실린더(82)는 상기 전방 이송 베어링(81)이 상기 전방 이송부(80)에 대해 상하 이동하도록 할 수도 있다. 이때, 상기 전방 이송부(80)는 상기 이송 벨트(55)로부터 일정한 거리로 이격되게 배치되며, 상기 전방 이송 베어링(81)은 상기 전방 이송부(80)의 하측에서 상기 이송 벨트(55)를 향하는 방향으로 이동하거나 초기 위치로 복귀할 수도 있다.

상기 후방 이송부(85)는 후방 이송 베어링(86)과 후방 이송 실린더(87)를 포함할 수 있다. 상기 후방 이송부(85)는 상기 이송 벨트(55)의 상측에 위치할 수 있다. 상기 후방 이송부(85)는 상기 이송 벨트(55)의 후반부 상측에 위치할 수 있다. 상기 후방 이송부(85)는 상기 이송 벨트(55)의 상측에서 상기 이송 벨트(55)에 대해 상하 이동할 수 있다.

상기 후방 이송 베어링(86)은 상기 후방 이송부(85)의 하측에 구비될 수 있다. 상기 후방 이송 베어링(86)은 상기 이송 벨트(55)의 후반부에 접촉될 수 있다. 상기 후방 이송 베어링(86)과 상기 이송 벨트(55)의 후반부 사이를 상기 기판(B)이 통과할 수 있다. 상기 후방 이송 베어링(86)은 다수로 제공되며, 상기 기판(B)의 이송 방향으로 다수의 후방 이송 베어링(86)이 나열될 수 있다. 상기 기판(B)은 다수의 후방 이송 베어링(86)을 따라 이동할 수 있다. 상기 후방 이송 베어링(86)을 따라 이동한 기판(B)은 상기 기판 진출부(70)를 통해 외부로 진출할 수 있다.

상기 후방 이송 실린더(87)는 상기 후방 이송부(85)가 상하 방향으로 이동되도록 할 수 있다. 상기 후방 이송 실린더(87)는 유체 압력에 의해 이동 가능한 공압 또는 유압 실린더로 구성될 수 있다. 상기 후방 이송 실린더(87)에 의해 상기 후방 이송부(85)가 상기 이송 벨트(55)의 상측에서 상하 이동할 수 있다. 상기 후방 이송 실린더(87)는 상기 후방 이송 베어링(86)과 상기 이송 벨트(55) 사이로 상기 기판(B)이 투입되는 여부에 따라 높이가 조절될 수 있다.

본 실시 예에서 상기 후방 이송 실린더(87)는 상기 후방 이송부(85)가 상기 이송 벨트(55)에 대해 상하 이동하는 것으로 설명하였으나, 상기 후방 이송 실린더(87)는 상기 후방 이송 베어링(86)이 상기 후방 이송부(85)에 대해 상하 이동하도록 할 수도 있다. 이때, 상기 후방 이송부(85)는 상기 이송 벨트(55)로부터 일정한 거리로 이격되게 배치되며, 상기 후방 이송 베어링(86)은 상기 후방 이송부(85)의 하측에서 상기 이송 벨트(55)를 향하는 방향으로 이동하거나, 초기 위치로 복귀할 수도 있다.

상기 상측 지지부(30) 중 제3상측 지지부(35)는 상기 제1상측 지지부(31)와 상기 제2상측 지지부(33)를 연결할 수 있다. 상기 제3상측 지지부(35)는 상기 전방 이송 베어링(81) 및 상기 후방 이송 베어링(86)보다 상측에 위치할 수 있다. 상기 제3상측 지지부(35)는 상기 전방 이송 베어링(81) 및 상기 후방 이송 베어링(86)에 접촉되는 기판(B)보다 상측에 위치하여, 상기 기판(B)에 접촉되는 것이 방지될 수 있다.

한편, 위에서 언급한 제3상측 지지부(35)는 상기 기판(B)을 이송하기 위한 기능을 제공 시 상기 제1상측 지지부(31)와 상기 제2상측 지지부(33)를 연결할 수 있다.

반면, 상기 제3상측 지지부(35)는 상기 제1상측 지지부(31)와 상기 제2상측 지지부(33)에 의해 이동하는 기판(B)의 상면에 소자, 단자 등을 제공하기 위한 구성들이 제공될 수도 있다. 이때, 상기 제3상측 지지부(35)를 기판 형성부라 칭할 수도 있다. 상기 기판(B)이 안정적으로 이송되는 중 상기 기판 형성부에 의해 상기 기판(B)이 생성될 수 있다.

본 실시 예에서 상기 제1상측 지지부(31)에는 일측 진입부(60a), 일측 전방 이송부(80a), 일측 후방 이송부(85a), 일측 진출부(70a)가 포함될 수 있다. 상기 제1하측 지지부(21)에는 일측 진입 아이들러(51a), 일측 진출 아이들러(52a), 일측 텐션 아이들러(53a,54a), 일측 구동 아이들러(50a), 일측 이송벨트(55a)가 포함될 수 있다.

본 실시 예에서 상기 제2상측 지지부(33)에는 타측 진입부(60b), 타측 전방 이송부(80b), 타측 후방 이송부(85b), 타측 진출부(70b)가 포함될 수 있다. 상기 제2하측 지지부(23)에는 타측 진입 아이들러(51b), 타측 진출 아이들러(52b), 타측 텐션 아이들러(53b,54b), 타측 구동 아이들러(50b), 타측 이송벨트(55b)가 포함될 수 있다.

상기 일측 구동 아이들러(50a)와 상기 타측 구동 아이들러(50b)는 하나의 구동 축(43)에 의해 함께 회동할 수 있다.

도 4 내지 도 6은 본 발명의 실시 에에 따른 기판 이송장치에 의해 기판이 이송되는 모습을 나타내는 도면이다.

도 4 내지 도 6를 참조하면, 상기 기판(B)은 상기 기판 이송장치(1)에 의해 이동될 수 있다. 상기 기판(B)은 상기 기판 이송장치(1)의 일측으로 진입하여, 타측으로 진출할 수 있다. 상기 기판(B)은 상기 상측 지지부(30)와 상기 하측 지지부(20)의 사이를 통과할 수 있다.

도 4를 참조하면, 상기 기판 이송장치(1)의 일측으로 상기 기판(B)이 진입할 수 있다. 상기 기판(B)은 상기 상측 지지부(30)의 기판 진입부(60)와 상기 진입 아이들러(51)에 의해 회전하는 이송 벨트(55)의 사이로 진입할 수 있다. 상기 기판 진입부(60)는 상기 이송 벨트(55)와 상기 기판 진입부(60)의 진입 베어링(61)의 사이 간격을 조절하여, 상기 기판(B)이 진입할 수 있는 공간을 확보할 수 있다. 상기 기판 진입부(60)는 상기 하측 지지부(20)에 대해 상하 방향으로 이동하여 상기 기판(B)이 진입할 수 있는 공간을 형성할 수 있다. 상기 기판 진입부(60)는 상기 기판(B)의 두께를 고려하여 상하 방향으로 이동할 수 있다. 상기 기판 진입부(60)는 공기 압력에 의해 상하 방향으로 조절될 수 있다.

상기 기판(B)의 하면은 상기 이송 벨트(55)에 안착되며, 마찰력에 의해 상기 기판(B)이 이동할 수 있다. 상기 기판 진입부(60)의 진입 베어링(61)은 상기 기판(B)의 상면에 접촉되며, 상기 기판(B)이 상기 이송 벨트(55)로부터 이격되는 것을 방지하고, 상기 기판(B)이 상기 이송 벨트(55)에 밀착되도록 할 수 있다.

상기 도 5를 참조하면, 상기 기판 진입부(60)로 진입되어 상기 이송 벨트(55)에 의해 이동하는 기판(B)은 상기 이송 벨트(55)와 상기 기판 이송부(80,85) 사이를 통과할 수 있다. 상기 기판 진입부(60)를 통과한 기판(B)은 상기 기판 이송부(80,85)의 전방 이송부(80)와 후방 이송부(85)를 순차적으로 통과할 수 있다.

상기 기판(B)은 상기 이송 벨트(55)의 마찰력에 의해 이동할 수 있다. 상기 전방 이송부(80)는 상기 이송 벨트(55)와 상기 전방 이송부(80)의 전방 이송 베어링(81) 사이 간격을 조절하여 상기 기판(B)이 통과할 수 있는 공간을 형성할 수 있다. 상기 전방 이송부(80)는 공기 압력에 의해 상기 이송 벨트(55)의 상측에서 상하 방향으로 이동할 수 있다.

상기 전방 이송부(80)와 상기 이송 벨트(55) 사이를 통과한 기판(B)은 상기 후방 이송부(85)와 상기 이송 벨트(55) 사이를 통과할 수 있다. 상기 후방 이송부(85)는 상기 후방 이송부(85)의 후방 이송 베어링(86)과 상기 이송 벨트(55) 사이 간격을 조절하여 상기 기판(B)이 통과되도록 할 수 있다.

상기 기판(B)은 상기 이송 벨트(55)와 상기 전방 이송부(80) 또는 상기 후방 이송부(85) 사이를 통과할 수 있다. 상기 기판(B)은 상기 전방 이송부(80)와 상기 후방 이송부(85)에 의해 상기 이송 벨트(55)로부터 이격되는 것이 방지되며, 상기 이송 벨트(55)에 밀착하여 이동할 수 있다.

한편, 상기 기판(B)은 상기 전방 이송부(80)에서 상기 후방 이송부(85)로 이동되는 과정에서 상기 기판(B)의 일면에 소자 또는 단자 등이 제조될 수 있다. 또는, 소자 또는 단자 등이 제조된 기판(B)이 상기 전방 이송부(80)에서 상기 후방 이송부(85)를 통과할 수 있다.

도 6을 참조하면, 상기 후방 이송부(85)와 이송 벨트(55) 사이를 통과한 기판(B)은 상기 기판 진출부(70)와 상기 진출 아이들러(71)에 의해 이동하는 이송 벨트(55) 사이를 통과할 수 있다. 상기 기판 진출부(70)는 상기 이송 벨트(55)와 상기 기판 진출부(70)의 진출 베어링(71) 사이 간격을 조절하여 상기 기판(B)이 진출되도록 할 수 있다. 상기 기판 진출부(70)는 상기 이송 벨트(55)의 상측에서 상하 방향으로 이동하여 상기 기판(B)이 통과할 수 있도록 한다.

본 발명에 의하면, 상기 기판(B)이 상기 이송 벨트(55)의 마찰력에 의해 이동되는 중 상기 기판(B)에 발생될 수 있는 변형을 최소화할 수 있다. 또한, 다양한 기판(B)의 두께에 상기 상측 지지부(30)가 대응할 수 있기에, 다양한 산업에 사용될 수 있다.

1: 기판 이송장치 10: 베이스
20: 하측 지지부 30: 상측 지지부
40: 구동모터 41,42: 구동풀리
44: 구동벨트 50: 구동 아이들러
51: 진입 아이들러 52: 진출 아이들러
53,54: 텐션 아이들러 55: 이송벨트

Claims (13)

1. 베이스;
   상기 베이스에 고정되는 구동 모터;
   상기 구동 모터로부터 동력을 전달받고, 기판을 이송하기 위한 이송 벨트를 이동시키는 구동 아이들러;
   상기 이송 벨트의 일측에 연결되는 진입 아이들러;
   상기 이송 벨트의 타측에 연결되는 진출 아이들러;
   상기 베이스에 고정되고, 상기 구동 아이들러와 상기 진입 아이들러와 상기 진출 아이들러가 결합되는 하측 지지부; 및
   상기 이송 벨트에 의해 이송되는 기판의 상측에서 상기 기판이 상기 이송 벨트에 밀착되도록 하는 상측 지지부를 포함하는 기판 이송장치.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 상측 지지부는, 상기 하측 지지부에 대해 이동 가능하게 제공되는 기판 이송장치.
3. 제 2 항에 있어서,
   상기 상측 지지부는,
   상기 진입 아이들러의 상측에 위치하는 기판 진입부;
   상기 진출 아이들러의 상측에 위치하는 기판 진출부; 및
   상기 기판 진입부와 상기 기판 진출부의 사이에 위치하는 기판 이송부를 포함하는 기판 이송장치.
4. 제 3 항에 있어서,
   상기 기판 진입부와 상기 기판 진출부는,
   유체 압력에 의해 상기 이송 벨트에 대해 이동 가능한 실린더와, 상기 기판에 접촉되는 베어링을 포함하는 기판 이송장치.
5. 제 4 항에 있어서,
   상기 실린더는, 상기 베어링과 상기 진입 아이들러의 사이 간격 또는 상기 베어링과 상기 진출 아이들러의 사이 간격을 변화시키는 기판 이송장치.
6. 제 3 항에 있어서,
   상기 기판 이송부는, 상기 기판 진입부에 인접하게 위치하는 전방 이송부와, 상기 기판 진출부에 인접하게 위치하는 후방 이송부를 포함하는 기판 이송장치.
7. 제 6 항에 있어서,
   상기 전방 이송부와 상기 후방 이송부는,
   유체 압력에 의해 상기 이송 벨트에 대해 이동 가능한 실린더와, 상기 기판에 접촉되는 베어링을 포함하는 기판 이송장치.
8. 제 7 항에 있어서,
   상기 실린더는, 상기 베어링과 상기 이송 벨트 사이의 간격을 변화시키는 기판 이송장치.
9. 제 1 항에 있어서,
   상기 구동 모터에 연결되는 제1구동 풀리;
   상기 구동 아이들러를 회전시키기 위한 구동 축에 연결되는 제2구동 풀리; 및
   상기 제1구동 풀리와 상기 제2구동 풀리를 연결하는 구동 벨트를 더 포함하는 기판 이송장치.
10. 제 1 항에 있어서,
    상기 하측 지지부는,
    상기 기판의 일측을 지지하는 제1하측 지지부;
    상기 제1하측 지지부로부터 이격되며, 상기 기판의 타측을 지지하는 제2하측 지지부를 포함하는 기판 이송장치.
11. 제 10 항에 있어서,
    상기 상측 지지부는,
    상기 제1하측 지지부의 상측에 위치하는 제1상측 지지부와, 상기 제1상측 지지부로부터 이격되며, 상기 제2하측 지지부의 상측에 위치하는 제2상측 지지부를 포함하는 기판 이송장치.
12. 제 1 항에 있어서,
    상기 이송 벨트의 장력을 조절하기 위한 텐션 아이들러를 더 포함하는 기판 이송장치.
13. 제 12 항에 있어서,
    상기 구동 아이들러는, 상기 진입 아이들러와 상기 진출 아이들러의 하측에 위치하고,
    상기 텐션 아이들러는, 상기 구동 아이들러와 상기 진입 아이들러 및 상기 진출 아이들러 중 하나 이상의 사이에 구비되는 기판 이송장치.

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