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KR20210106550A - 보관 시스템 - Google Patents

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KR20210106550A
KR20210106550A KR1020217023444A KR20217023444A KR20210106550A KR 20210106550 A KR20210106550 A KR 20210106550A KR 1020217023444 A KR1020217023444 A KR 1020217023444A KR 20217023444 A KR20217023444 A KR 20217023444A KR 20210106550 A KR20210106550 A KR 20210106550A
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에이지 와다
코스케 이리노
요시키 유아사
Original Assignee
무라다기카이가부시끼가이샤
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Abstract

천장의 일부에 큰 하중이 걸리는 것을 방지하는 보관 시스템을 제공한다. 보관 시스템(SYS)은, 선반(10)이 그리드 천장(GC)에 장착된 제 1 현수 부재(3)에 의해 천장의 제 1 위치(P1)로부터 매달려 마련되고, 제 2 천장 궤도(30)가 그리드 천장(GC)에 장착된 제 2 현수 부재(4)에 의해 그리드 천장(GC)의 제 2 위치(P2)로부터 매달려 마련되고, 제 1 위치(P1)와 제 2 위치(P2)는 적어도 정해진 거리(L)를 두고 설정된다.

Description

보관 시스템
본 발명은 보관 시스템에 관한 것이다.
반도체 제조 공장 등에서는, 반도체 웨이퍼를 수용하는 FOUP(Front­Opening　Unified　Pod) 또는 레티클을 수용하는 레티클 포드 등의 물품을 천장 반송차에 의해 반송하여, 처리 장치의 로드 포트 등의 이동 재치(載置)처에 대하여 물품의 전달을 행하고 있다. 이 천장 반송차로 반송되는 물품은, 이 천장 반송차와의 사이에서 물품을 전달 가능한 보관 시스템에 보관되는 것이 알려져 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조). 특허 문헌 1에서는, 물품이 재치되는 보관부가 상하 방향으로 복수 단 마련된 선반을 구비하고 있고, 이 선반이 천장으로부터 매달려 배치되어 있다.
일본특허공개공보 2017-030944호
특허 문헌 1에 기재된 보관 시스템이 마련되는 건물에, 예를 들면, 다른 천장 반송차 시스템이 마련되는 경우가 있다. 이 경우, 다른 천장 반송차 시스템의 천장 궤도를 천장으로부터 매다는 위치와, 선반을 매다는 위치가 근접하면, 천장의 일부에 대한 하중이 커져 버려, 천장의 일부에서 내하중을 초과할 우려가 있다. 이러한 경우, 천장의 보강, 또는 빔 등에 의해 현수 위치를 변경하는 등의 대규모의 추가 공사가 필요하게 되어, 설치 코스트의 증가를 초래하게 된다.
본 발명은, 천장의 일부에 큰 하중이 걸리는 것을 방지하는 보관 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 태양에 따른 보관 시스템은, 제 1 천장 궤도와, 상하 방향으로 복수 단의 보관부를 구비한 선반과, 제 1 천장 궤도를 따라 주행하고, 복수 단의 보관부의 사이에서 물품을 전달하는 크레인을 구비한 천장 스토커와, 천장 스토커의 하단보다 하방에 마련된 제 2 천장 궤도와, 제 2 천장 궤도를 따라 주행하여 정해진 이동 재치처에 대하여 물품을 전달하는 천장 반송차를 구비하고, 천장 스토커와 평면에서 봤을 때 적어도 일부가 중첩되도록 배치된 천장 반송차 시스템을 구비하고, 선반은, 천장에 장착된 제 1 현수 부재에 의해, 천장의 제 1 위치로부터 매달려 마련되고, 제 2 천장 궤도는, 천장에 장착된 제 2 현수 부재에 의해, 천장의 제 2 위치로부터 매달려 마련되고, 제 1 위치와 제 2 위치는, 적어도 정해진 거리를 두고 설정된다.
또한, 정해진 거리는, 천장에 있어서의 단위 면적당 하중의 크기가 정해진 값을 초과하지 않도록 설정된 거리여도 된다. 또한, 천장은, 수평 방향에 있어서의 직교 방향의 각각에 복수의 매스눈이 배열되는 그리드 천장이며, 단위 면적은, 1 개의 매스눈의 면적이어도 된다. 또한, 제 1 위치와 제 2 위치는, 그리드 천장에 있어서의 상이한 매스눈에 설정되어도 된다. 또한, 제 1 천장 궤도는, 천장에 장착된 제 3 현수 부재에 의해, 천장의 제 3 위치로부터 매달아 마련되고, 복수의 제 1 위치 중 하나와, 복수의 제 3 위치 중 하나는, 그리드 천장에 있어서의 1 개의 매스눈에 설정되어도 된다. 또한, 제 1 천장 궤도의 일부와, 제 2 천장 궤도의 일부는, 평면에서 봤을 때 중첩되어 배치되어도 된다. 또한, 선반은, 평면에서 봤을 때, 정해진 이동 재치처를 가지는 처리 장치의 직상(直上)을 포함하는 영역에 마련되어도 된다.
상기한 보관 시스템에 의하면, 선반을 매다는 제 1 현수 부재와 제 2 천장 궤도를 매다는 제 2 현수 부재가 적어도 정해진 거리를 두고 설정되기 때문에, 천장 스토커 중 중량에 있어서의 많은 비율을 차지하는 선반의 매다는 위치와, 천장 반송차 시스템의 중량에 있어서의 많은 비율을 차지하는 제 2 천장 궤도의 매다는 위치가 근접하는 것을 회피할 수 있어, 선반의 매다는 위치와 제 2 천장 궤도의 매다는 위치를 분산시킬 수 있다. 그 결과, 천장의 일부에 큰 하중이 걸리는 것을 회피하여, 천장의 보강 등의 대규모인 추가 공사가 불필요하게 되므로, 설치 코스트의 증가를 억제할 수 있다.
또한, 정해진 거리가, 천장에 있어서의 단위 면적당 하중의 크기가 정해진 값을 초과하지 않도록 설정된 거리인 구성에서는, 단위 면적을 기준으로 함으로써, 정해진 거리를 용이하게 설정할 수 있다. 또한, 천장이, 수평 방향에 있어서의 직교 방향의 각각에 복수의 매스눈이 배열되는 그리드 천장이며, 단위 면적이, 1 개의 매스눈의 면적인 구성에서는, 천장에 있어서의 단위 면적을 매스눈에 의해 용이하게 인식할 수 있고, 이 매스눈을 참조함으로써, 정해진 거리를 용이하게 설정할 수 있다. 또한, 제 1 위치와 제 2 위치가, 그리드 천장에 있어서의 상이한 매스눈에 설정되는 구성에서는, 제 1 위치 및 제 2 위치를 용이하게 정해진 거리 이상으로 떨어뜨릴 수 있다. 또한, 제 1 천장 궤도가, 천장에 장착된 제 3 현수 부재에 의해, 천장의 제 3 위치로부터 매달아 마련되고, 복수의 제 1 위치 중 하나와 복수의 제 3 위치 중 하나가, 그리드 천장에 있어서의 1 개의 매스눈에 설정되는 구성에서는, 천장 스토커 중 중량에 있어서의 비율이 작은 제 1 천장 궤도의 매다는 위치인 제 3 위치를 제 1 위치와 동일한 매스눈에 배치함으로써, 제 1 현수 부재 및 제 3 현수 부재가 근접하여, 이들 현수 부재의 장착 또는 메인터넌스의 작업성을 향상시킬 수 있다. 또한, 제 1 천장 궤도의 일부와 제 2 천장 궤도의 일부가, 평면에서 봤을 때 중첩되어 배치되는 구성에서는, 천장 스토커 및 천장 반송차 시스템을 평면에서 봤을 때 컴팩트하게 배치할 수 있다. 또한, 선반이, 평면에서 봤을 때, 정해진 이동 재치처를 가지는 처리 장치의 직상을 포함하는 영역에 마련되는 구성에서는, 제 2 천장 궤도가 배치되지 않는 처리 장치의 직상에 선반을 배치함으로써, 선반이 매달리는 제 1 위치와 제 2 천장 궤도가 매달리는 제 2 위치를 용이하게 떨어뜨려 분산시킬 수 있다.
도 1은 실시 형태에 따른 보관 시스템의 일례를 Y 방향에서 본 도이다.
도 2는 보관 시스템을 평면에서 봤을 때 모식적으로 나타낸 도이다.
도 3은 천장 반송차, 상측 천장 반송차의 일례를 나타내는 도이다.
도 4는 도 2의 일부를 확대하여 그리드 천장에 있어서의 현수 위치의 일례를 나타내는 평면도이다.
도 5는 제 2 천장 궤도에 있어서의 매달기 부재의 위치의 일례를 나타내는 도이다.
도 6은 선반 및 제 1 천장 궤도에 있어서의 매달기 부재의 위치를 나타내는 도이다.
도 7은 빔부와 그리드 천장과의 위치 관계의 일례를 나타내는 도이다.
도 8은 제 1 위치와 제 2 위치와의 거리의 일례를 나타내는 도이다.
도 9는 그리드 천장의 1 개의 매스눈당 하중을 나타내는 도이다.
이하, 실시 형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 단, 본 발명은 이하에 설명하는 실시 형태에 한정되지 않는다. 또한, 도면에 있어서는 실시 형태를 설명하기 위하여, 일부분을 크게 또는 강조하여 기재하는 등, 적절히 축척을 변경하여 표현하고 있다. 이하의 각 도면에 있어서는, XYZ 좌표계에 의해 도면 중의 방향을 설명한다. 이 XYZ 좌표계에서는, 연직 방향을 Z 방향이라 하고, 수평 방향을 X 방향, Y 방향이라 한다. Y 방향은, 수평 방향 내에 있어서의 일방향으로서, 후술하는 크레인(40), 천장 반송차(50), 상측 천장 반송차(60)의 주행 방향이다. X 방향은, Y 방향과 직교하는 방향이다. 또한, X, Y, Z 방향의 각 방향에 대하여, 적절히, 화살표가 가리키는 방향을 + 방향(예를 들면, +X 방향)이라 표현하고, 화살표가 가리키는 방향과는 반대 방향을 - 방향(예를 들면, -X 방향)이라 표현한다.
도 1은 실시 형태에 따른 보관 시스템(SYS)의 일례를 Y 방향에서 본 도이다. 도 2는 보관 시스템(SYS)을 평면에서 봤을 때 모식적으로 나타낸 도이다. 또한 도 2에서는, 도면을 판별하기 쉽게 하기 위하여, 물품(2)을 해칭으로 나타내고 있다.
도 1 및 도 2에 나타내는 보관 시스템(SYS)은, 예를 들면, 반도체 디바이스의 제조 공장 등에 마련되고, 반도체 디바이스의 제조에 이용되는 반도체 웨이퍼를 수용한 FOUP, 또는 레티클을 수용한 레티클 포드 등의 물품(2)을 보관한다. 본 실시 형태에서는, 물품(2)이 FOUP인 예를 설명하지만, 물품(2)은, FOUP 이외여도 된다. 또한, 보관 시스템(SYS)은, 반도체 제조 분야 이외의 설비에 적용 가능하며, 물품(2)은, 보관 시스템(SYS)에서 보관 가능한 다른 물품이라도 된다.
보관 시스템(SYS)은, 도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 천장 스토커(100)와, 천장 반송차 시스템(200)과, 반송 장치(300)를 구비한다. 천장 스토커(100)는, 복수의 보관부(11)를 구비하는 선반(10)과, 제 1 천장 궤도(20)와, 크레인(40)을 구비한다. 선반(10)은, 평면에서 봤을 때, 크레인(40)이 주행하는 제 1 천장 궤도(20)를 따라 배치된다. 또한, 선반(10)에 구비하는 복수의 보관부(11)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 프레임(13)에 마련되어, 상하 방향(Z 방향)으로 3 단 배치되어 있다. 보관부(11)의 단수는 임의로 설정할 수 있다. 또한, 복수의 보관부(11)는, 후술하는 크레인(40)의 주행 방향(Y 방향)을 따라 복수 배열되어 배치된다.
복수의 보관부(11)는, 물품(2)을 재치하는 선반판(11a)을 구비하고 있다. 각 선반판(11a)은, 프레임(13)에 보지되어 있다. 이하의 설명에 있어서, 보관부(11)에 물품(2)을 두는 것은, 보관부(11)의 선반판(11a)에 물품(2)을 두는 것을 의미한다. 또한 보관부(11)의 선반판(11a)에는, 각각 물품(2)을 재치했을 시에 물품(2)의 저면에 마련된 홈부에 들어가는 복수의 핀이 마련되어도 된다. 이 핀이 물품(2)의 홈부에 들어감으로써, 물품(2)은, 보관부(11)(선반판(11a))에 대하여 위치 결정된다.
선반(10)은, 제 1 현수 부재(3)에 의해 건물의 그리드 천장(GC)의 제 1 위치(P1)로부터 매달려 있다. 그리드 천장(GC)은, 수평 방향에 있어서 서로 직교하는 방향의 각각에 복수의 매스눈이 배열된 격자 형상으로 되어 있다. 또한, 그리드 천장(GC)의 상방에는, 복수의 매스눈으로부터 건물 내로 다운 플로우를 공급하는 다운 플로우 유닛이 배치되어도 된다.
선반(10)의 하단은, 바닥면(F)으로부터의 처리 장치(TL)의 상단의 높이보다 높게 되도록 설정되어 있다. 처리 장치(TL)는, 예를 들면, 물품(2)인 FOUP에 수용되어 있는 반도체 웨이퍼에 대하여 성막 처리 또는 에칭 처리 등의 각종 처리를 행한다. 또한, 후술하는 크레인(40)의 하단의 높이도 처리 장치(TL)의 상단의 높이보다 높게 되도록 설정되어 있다. 즉, 천장 스토커(100)는, 처리 장치(TL)의 상단보다 상방에 배치되어 있다. 또한 크레인(40)의 하단은, 작업자 등이 바닥면(F)을 지장 없이 통행하는 것이 가능한 높이로 설정된다. 그 결과, 천장 스토커(100)의 하방의 공간의 일부를, 작업자용 통로(PS)로서 이용 가능하게 된다.
보관부(11)는, 크레인(40)에 의해 물품(2)이 재치되고, 또한, 물품(2)이 취출된다. 또한, 보관부(11) 중 일부는, 후술하는 상측 천장 반송차(60)에 의해 물품(2)이 재치되고, 또한 물품(2)이 취출된다. 상측 천장 반송차(60)에 의해 물품(2)이 전달되는 보관부(11)는, 선반(10) 중 최상단의 보관부(11)이다. 보관부(11)의 상하 치수(선반판(11a)의 상면으로부터 상방의 보관부(11)의 선반판(11a)의 하면까지의 치수)는, 후술하는 크레인(40)의 이동 재치 장치(42)가 물품(2)을 하면측으로부터 지지하여 들어올리기 위하여 필요한 치수로 설정된다. 크레인(40)의 이동 재치 장치(42)는, 예를 들면, 물품(2)을 하면측으로부터 지지하여 들어올리는 구성이 채용되어 있어, 물품(2)의 상방에 큰 스페이스를 필요로 하지 않는다. 예를 들면, 보관부(11)의 상하 치수는, 물품(2)의 상하 치수에 수 센치 더하는 정도의 치수로 하는 것도 가능하다.
제 1 천장 궤도(20)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 그리드 천장(GC)의 제 3 위치(P3)로부터 제 3 현수 부재(5)에 의해 매달려 있다. 제 1 천장 궤도(20)는, 도 2에 나타내는 바와 같이, X 방향으로 연장되는 2 개의 직선부(21, 22)와, 접속부(23)를 가지는 환상의 궤도이다. 접속부(23)는, 2 개의 직선부(21, 22)의 +X측 및 -X측에 마련되어 직선부(21)와 직선부(22)를 접속한다. 크레인(40) 및 후술하는 상측 천장 반송차(60)는, 직선부(21, 22) 및 접속부(23)를 따라 일방향(예를 들면 평면에서 봤을 때 시계 방향의 방향)으로 주회 주행하는 것이 가능하다.
본 실시 형태의 제 1 천장 궤도(20)는, 2 개의 직선부(21, 22)와, 접속부(23)로 구성되는 주회 궤도가, Y 방향으로 2 개 배열되어 배치되어 있다. 2 개의 주회 궤도는, +X측의 접속부(23)끼리를 접속하는 접속 궤도(24)와, -X측의 접속부(23)끼리를 접속하는 접속 궤도(24)로 접속되어 있다. 따라서, 크레인(40) 및 후술하는 상측 천장 반송차(60)는, 도 2의 화살표로 나타내는 바와 같이, +X측의 주회 궤도로부터 접속 궤도(24)를 거쳐 -X측의 주회 궤도로 이동할 수 있고, 또한, -X측의 주회 궤도로부터 접속 궤도(24)를 거쳐 +X측의 주회 궤도로 이동할 수 있다.
상기한 선반(10)은, 직선부(21, 22)에 대하여 +Y측 및 -Y측에 마련된다. 즉, 선반(10)은, 평면에서 봤을 때, 크레인(40)이 주행하는 주회 궤도인 제 1 천장 궤도(20)의 내측 및 외측에 배치된다. 이들 선반(10)은, 처리 장치(TL)보다 상방에 배치되어 있다. 처리 장치(TL)보다 상방의 공간은, 종래 데드 스페이스로 여겨져 온 공간이며, 이러한 공간에 선반(10)을 배치함으로써, 건물 내의 공간을 유효하게 이용할 수 있다.
크레인(40)은, 도 1에 나타내는 바와 같이, 물품(2)을 보지하고, 제 1 천장 궤도(20)를 주행하여 이동한다. 크레인(40)은, 보관부(11)와 다른 보관부(11)와의 사이에서 물품(2)을 반송한다. 크레인(40)은, 제 1 천장 궤도(20)를 주회 주행한다. 또한 본 실시 형태에서는, +X측 및 -X측의 주회 궤도에 있어서, 각각 1 대의 크레인(40)이 배치되어 있고, 1 개의 제 1 천장 궤도(20)에 2 대의 크레인(40)이 배치되어 있지만, 크레인(40)의 대수는 2 대에 한정되지 않는다. 예를 들면, 1 개의 제 1 천장 궤도(20)에 1 대의 크레인(40)이 배치되어도 되고, 3 대 이상의 크레인(40)이 배치되어도 된다. 크레인(40)은, 도 1에 나타내는 바와 같이, 제 1 천장 궤도(20)로부터 매달려 있다.
크레인(40)은, 2 대의 주행부(41)와, 이동 재치 장치(42)를 구비한다. 주행부(41)의 하방에는, 장착부(46)를 개재하여 상부 지지부(47)가 장착되고, 상부 지지부(47)에 의해 2 대의 주행부(41)가 연결되어 있다. 각 주행부(41)는, 미도시의 주행 구동부 및 복수의 차륜(41a)을 구비하고, 제 1 천장 궤도(20)를 따라 주행한다. 주행부(41)가 구비하는 미도시의 주행 구동부는, 예를 들면, 주행부(41)에 구비되어 차륜(41a)을 구동하는 전동 모터여도 되며, 리니어 모터여도 된다. 또한 본 실시 형태의 크레인(40)에서는, 2 대의 주행부(41)를 구비하고 있음으로써, 중량물인 이동 재치 장치(42) 및 물품(2)을 확실하게 지지할 수 있다. 또한 크레인(40)은, 2 대의 주행부(41)를 구비하는 구성에 한정되지 않고, 1 대 또는 3 대 이상의 주행부(41)를 구비해도 된다.
이동 재치 장치(42)는, 마스트(43)와, 승강대(44)와, 승강 구동부(45)와, 신축부(48)와, 재치대(49)를 구비한다. 마스트(43)는, 상부 지지부(47)로부터 매달려 상하 방향으로 연장된다. 마스트(43)는, 주행부(41)의 주행 방향의 전후에 각각 1 개씩 마련되어 있다. 또한 마스트(43)는, 합계 2 개인 것에 한정되지 않고, 1 개여도 된다. 마스트(43)는, 상기한 바와 같이, 마스트(43)의 하단의 바닥면(F)으로부터의 높이가 처리 장치(TL)의 상단의 높이보다 높게 되도록 마련되어 있다. 예를 들면, 마스트(43)의 하단이 크레인(40)의 하단이다.
신축부(48)는, 주행부(41)의 주행 방향과 직교하는 방향으로 신축 가능한 복수의 암에 의해 구성되어 있다. 재치대(49)는, 신축부(48)의 선단에 마련되어 있다. 재치대(49)는, 물품(2)을 재치 가능한 삼각형 형상의 판 형상 부재이다. 재치대(49)는, 그 재치대(49)에 재치된 물품(2)을 하측으로부터 지지함으로써 보지한다. 재치대(49)의 상면에는, 물품(2)의 저면에 구비하는 홈부에 삽입하여 물품(2)을 위치 결정하는 핀이 마련되어 있다. 또한 상기한 보관부(11)의 선반판(11a)에는, 재치대(49)가 상하 방향으로 통과 가능한 미도시의 노치가 마련되어 있다.
이동 재치 장치(42)는, 보관부(11)로부터 물품(2)을 수취할 시, 신축부(48)를 늘려 재치대(49)를 물품(2)의 하방에 위치시키고 승강대(44)를 상승시킴으로써, 재치대(49)로 물품(2)을 퍼올린다. 이동 재치 장치(42)는, 재치대(49)에 물품(2)을 재치한 채로 신축부(48)를 줄임으로써, 물품(2)을 재치한 재치대(49)를 승강대(44)의 상방에 배치시킨다. 또한, 이동 재치 장치(42)에 의해 물품(2)을 보관부(11)로 전달할 시에는, 상기의 반대의 동작에 의해 행한다. 또한 이동 재치 장치(42)는, 상기한 구성에 한정되지 않으며, 예를 들면 물품(2)의 일부(예를 들면, FOUP의 상부에 마련된 플랜지부(2a))를 보지하여 들어올리는 구성 등, 다른 구성이어도 된다.
승강 구동부(45)는, 예를 들면, 호이스트이며, 마스트(43)를 따라 승강대(44)를 승강시킨다. 승강 구동부(45)는, 현수 부재(45a) 및 미도시의 구동부를 구비한다. 현수 부재(45a)는, 예를 들면, 벨트 또는 와이어 등이며, 승강대(44)는, 이 현수 부재(45a)에 의해 상부 지지부(47)로부터 매달려 있다. 승강 구동부(45)가 구비하는 미도시의 구동부는, 예를 들면 상부 지지부(47)에 마련되고, 현수 부재(45a)의 풀기, 감기를 행한다. 승강대(44)는, 승강 구동부(45)가 구비하는 미도시의 구동부가 현수 부재(45a)를 풀면, 마스트(43)로 안내되어 하강한다. 또한, 승강대(44)는, 승강 구동부(45)가 구비하는 미도시의 구동부가 현수 부재(45a)를 감으면, 마스트(43)로 안내되어 상승한다. 승강 구동부(45)는, 미도시의 제어 장치 등에 의해 제어되어, 정해진 속도로 승강대(44)를 하강 또는 상승시킨다. 또한, 승강 구동부(45)는, 미도시의 제어 장치 등에 의해 제어되어, 승강대(44)를 목표의 높이로 보지한다.
승강 구동부(45)는, 상부 지지부(47)에 마련된다. 또한 승강 구동부(45)는, 상부 지지부(47)에 마련되는 것 대신에, 예를 들면, 승강대(44)에 마련되어도 된다. 승강대(44)에 승강 구동부(45)가 마련되는 구성으로서는, 예를 들면, 상부 지지부(47)로부터 매단 벨트 또는 와이어 등을 승강대(44)에 탑재한 호이스트 등에 의해 감아올림 또는 풀기를 행하여 승강대(44)를 승강시키는 구성이어도 된다. 또한, 승강대(44)에 피니언 기어를 구동하는 전동 모터 등이 탑재되고, 이 피니언 기어가 서로 맞물리는 랙이 마스트(43)에 형성되어, 전동 모터 등에 의해 피니언 기어를 회전시킴으로써 승강대(44)를 승강시키는 구성이어도 된다.
천장 반송차 시스템(200)은, 제 2 천장 궤도(30)와, 천장 반송차(50)를 구비한다. 천장 반송차(50)는, 제 2 천장 궤도(30)를 따라 주행하고, 제 2 천장 궤도(30)보다 하방에 배치된 정해진 이동 재치처인 처리 장치(TL)의 로드 포트(LP)에 대하여 물품(2)의 전달을 행한다. 제 2 천장 궤도(30)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 그리드 천장(GC)의 제 2 위치(P2)로부터 제 2 현수 부재(4)에 의해 매달려 있다.
제 2 천장 궤도(30)는, 도 2에 나타내는 바와 같이, 평면에서 봤을 때 인터 베이 루트(베이 간 궤도)(R1)와 인터 베이 루트(R2)와의 사이에 배치되어 있다. 제 2 천장 궤도(30)는, 베이 내(인트라 베이 내)에 각각 마련되어 있고, 인터 베이 루트(R1) 등은, 복수의 제 2 천장 궤도(30)를 접속하기 위하여 마련되어 있다. 본 실시 형태에 있어서, 베이(인트라 베이)란, 예를 들면, 평면에서 봤을 때, 복수의 처리 장치(TL)에 있어서의 로드 포트(LP)가 서로 대향하도록 마련되고, 서로 대향하도록 마련된 로드 포트(LP)의 사이에 작업자용 통로(PS)가 마련되어 있는 범위(영역)를 가리킨다. 제 2 천장 궤도(30)는, 인터 베이 루트(R1)에 대하여 진입용 또는 퇴출용의 2 개의 지선(S1)을 개재하여 접속되고, 인터 베이 루트(R2)에 대하여 진입용 또는 퇴출용의 2 개의 지선(S2)을 개재하여 접속되어 있다.
제 2 천장 궤도(30)는, 직선부(31)와, 접속부(32)를 가진다. 천장 반송차(50)는, 직선부(31) 및 접속부(32)를 따라 일방향(예를 들면 평면에서 봤을 때 시계 방향의 방향)으로 주회 주행한다. 직선부(31)는, 로드 포트(LP)의 직상에 있어서, 복수의 로드 포트(LP)를 따라 Y 방향으로 배치된다. 2 개의 직선부(31)는, 평면에서 봤을 때 제 1 천장 궤도(20)의 접속 궤도(24)와 병행하도록(평행하게) 배치되어 있다. 접속부(32)는, 곡선부를 포함하여 +Y측 및 -Y측의 양단에 배치되고, 2 개의 직선부(31)끼리를 접속한다. 제 2 천장 궤도(30)는, 천장 스토커(100)의 크레인(40)(마스트(43)) 및 선반(10)보다 하방에 배치된다. 이 제 2 천장 궤도(30)를 주행하는 천장 반송차(50)는, 천장 스토커(100)보다 하방에 있어서 주행한다.
천장 반송차(50)는, 인터 베이 루트(R1, R2)로부터 지선(S1, S2)을 거쳐 제 2 천장 궤도(30)에 진입하고, 또는 제 2 천장 궤도(30)로부터 지선(S1, S2)을 거쳐 인터 베이 루트(R1, R2)로 퇴출한다. 천장 반송차(50)는, 제 2 천장 궤도(30)를 따라 주행하고, 직선부(31)에 있어서 처리 장치(TL)의 로드 포트(LP)와의 사이에서 물품(2)의 전달을 행한다. 또한, 천장 반송차(50)는, 직선부(31)에 있어서 후술하는 재치부(14)(전달 포트(12)를 포함함)와의 사이에서 물품(2)의 전달을 행한다. 또한, 천장 반송차(50)의 구성의 상세에 대해서는 후술한다.
제 2 천장 궤도(30)의 직선부(31)는, 정해진 간격(작업자용 통로(PS))을 두고 상대향하는 복수의 로드 포트(LP)의 직상을 따라 마련되어 있다. 본 실시 형태에서는, 1 대의 처리 장치(TL)에 있어서의 로드 포트(LP)에, 복수의 물품(2)(도 2에서는, 로드 포트(LP)에 6 개의 물품(2))을 재치 가능하다. 단, 로드 포트(LP)에 재치 가능한 물품(2)의 수는 처리 장치(TL)마다 미리 정해져 있다. 제 2 천장 궤도(30)는, 로드 포트(LP)의 직상에 마련되어 있고, 제 2 천장 궤도(30)를 주행하는 천장 반송차(50)는, 물품(2)을 승강시키는 것만으로 로드 포트(LP)와의 사이에서 물품(2)의 전달을 행하고, 후술하는 재치부(14)(전달 포트(12))에 대해서는 파지부(53)를 횡으로 돌출시켜(횡이동 재치에 의해) 물품(2)의 전달을 행한다. 또한, 도 2에 나타내는 바와 같이, 제 1 천장 궤도(20)의 일부와, 제 2 천장 궤도(30)의 일부는, 평면에서 봤을 때 중첩되어 배치된다. 이 때문에, 천장 스토커(100) 및 천장 반송차 시스템(200)을 평면에서 봤을 때 컴팩트하게 배치할 수 있다.
도 3은 천장 반송차(50), 및 후술하는 상측 천장 반송차(60)의 일례를 나타내는 도이다. 천장 반송차(50)는, 도 3에 나타내는 바와 같이, 주행부(51)와, 본체부(52)를 가진다. 주행부(51)는, 미도시의 주행 구동부 및 복수의 차륜(51a)을 구비하고, 제 2 천장 궤도(30)를 따라 주행한다. 주행부(51)가 구비하는 미도시의 주행 구동부는, 예를 들면, 주행부(51)에 구비되어 차륜(51a)을 구동하는 전동 모터여도 되고, 리니어 모터여도 된다.
본체부(52)는, 장착부(52a)를 개재하여 주행부(51)의 하부에 장착되어 있다. 본체부(52)는, 물품(2)을 보지하는 파지부(53)와, 파지부(53)를 매달아 승강시키는 승강 구동부(54)와, 승강 구동부(54)를 궤도의 측방으로 이동시키는 횡돌출 기구(55)를 가진다. 파지부(53)는, 물품(2)의 플랜지부(2a)를 상방으로부터 잡아 파지함으로써, 물품(2)을 매달아 보지한다. 파지부(53)는, 예를 들면, 수평 방향으로 진퇴 가능한 복수의 클로부(53a)를 가지는 척이며, 클로부(53a)를 물품(2)의 플랜지부(2a)의 하방으로 진입시키고, 파지부(53)를 상승시킴으로써 물품(2)을 매달아 보지한다. 파지부(53)는, 와이어 또는 벨트 등의 현수 부재(53b)와 접속되어 있다. 파지부(53)는, 현수 부재(53b)를 개재하여 승강 구동부(54)로부터 매달리고, 그 승강 구동부(54)에 의해 승강된다.
승강 구동부(54)는, 예를 들면 호이스트이며, 현수 부재(53b)를 풂으로써 파지부(53)를 하강시키고, 현수 부재(53b)를 감음으로써 파지부(53)를 상승시킨다. 승강 구동부(54)는, 미도시의 제어 장치 등에 의해 제어되어, 정해진 속도로 파지부(53)를 하강 또는 상승시킨다. 또한, 승강 구동부(54)는, 미도시의 제어 장치 등에 의해 제어되어, 파지부(53)를 목표의 높이로 보지한다.
횡돌출 기구(55)는, 예를 들면 상하 방향으로 중첩되어 배치된 가동판을 가진다. 가동판은, 주행부(51)의 주행 방향의 측방(주행 방향에 직교하는 방향, 횡방향)으로 이동 가능하다. 가동판에는, 승강 구동부(54)가 장착되어 있다. 본체부(52)는, 횡돌출 기구(55)를 안내하는 미도시의 가이드, 및 횡돌출 기구(55)를 구동하는 미도시의 구동부 등을 가진다. 횡돌출 기구(55)는, 전동 모터 등의 구동부로부터의 구동력에 의해, 승강 구동부(54) 및 파지부(53)를 돌출 위치와 저장 위치와의 사이에서 이동시킨다. 돌출 위치는, 파지부(53)가 본체부(52)로부터 측방으로 돌출하는 위치이다. 저장 위치는, 본체부(52) 내에 파지부(53)를 저장하는 위치이다. 또한, 승강 구동부(54) 또는 파지부(53)를 상하 방향의 축 둘레로 회전시키기 위한 회전 기구가 마련되어도 된다.
천장 반송차(50)는, 상기와 같이 승강 구동부(54)에 의해 파지부(53)(물품(2))를 승강시켜, 로드 포트(LP)와의 사이에서 물품(2)의 전달을 행한다. 또한, 천장 반송차(50)는, 횡돌출 기구(55)에 의해 승강 구동부(54)(파지부(53))를 복수의 재치부(14)(전달 포트(12)를 포함함) 중 어느 하나의 상방으로 이동시키고, 승강 구동부(54)에 의해 파지부(53)(물품(2))를 승강시켜, 그 재치부(14)와의 사이에서 물품(2)을 전달하는 것이 가능하다.
반송 장치(300)는, 천장 스토커(100)와 천장 반송차 시스템(200)과의 사이에서 상하 방향으로 물품(2)을 반송한다. 본 실시 형태에서는, 반송 장치(300)는, 상측 천장 반송차(60)이다. 또한, 보관 시스템(SYS)은, 천장 반송차 시스템(200)과 반송 장치(300)(상측 천장 반송차(60))와의 사이에서 물품을 전달하기 위한 전달 포트(12)를 구비한다. 전달 포트(12)는, 물품(2)을 재치 가능한 재치부(14)의 일부이다. 전달 포트(12)를 포함하는 재치부(14)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 그리드 천장(GC)의 제 4 위치(P4)로부터 제 4 현수 부재(6)에 의해 매달려 있다.
재치부(14)는, 평면에서 봤을 때, 주회 궤도인 제 2 천장 궤도(30)의 내측에 배치되고, Y 방향을 따라 직선 형상으로 마련된다. 재치부(14)는, 물품(2)을 2 열로 배열하여 재치 가능하다. 재치부(14)의 일부는, 전달 포트(12)이다. 또한, 재치부(14) 중 전달 포트(12)를 제외한 부분은, 물품(2)을 재치 가능하며, 천장 반송차(50)에 의해 물품(2)을 전달 가능한 버퍼이다.
전달 포트(12)에는, 복수의 물품(2)을 재치 가능하다. 전달 포트(12)는, 상측 천장 반송차(60)가 주행하는 제 1 천장 궤도(20)에 있어서의 접속 궤도(24)의 직하(도 2에 있어서 +X측의 열의 전달 포트(12))와, 접속 궤도(24)에 대하여 횡방향 또한 하방(도 2에 있어서 -X측의 열의 전달 포트(12))에 배치된다. 또한, 전달 포트(12)는, 제 2 천장 궤도(30)에 대하여 횡방향 또한 하방에 배치된다. 따라서, 천장 반송차(50)는, 도 2에 있어서 +X측의 열의 전달 포트(12)에 대하여, +X측의 직선부(31)로부터 횡이동 재치에 의해 물품(2)의 전달이 가능하다. 또한, 천장 반송차(50)는, 도 2에 있어서 -X측의 열의 전달 포트(12)에 대하여, -X측의 직선부(31)로부터 횡이동 재치에 의해 물품(2)의 전달이 가능하다.
상측 천장 반송차(60)는, 천장 스토커(100)와, 전달 포트(12)(재치부(14) 중 일부)와의 사이에서 상하 방향으로 물품(2)을 반송한다. 상측 천장 반송차(60)는, 도 3에 나타내는 바와 같이, 제 2 주행부(61)와, 제 2 본체부(62)를 가진다. 제 2 주행부(61)는, 크레인(40)의 주행부(41)와 동일한 구성이 적용되어 있고, 미도시의 주행 구동부 및 복수의 차륜(61a)을 구비하며, 제 1 천장 궤도(20)를 따라 주행한다. 제 2 본체부(62)는, 부착부(62a)를 개재하여 제 2 주행부(61)의 하부에 장착되어 있다. 제 2 본체부(62)는, 물품(2)을 보지하는 제 2 파지부(63)(클로부(63a) 및 현수 부재(63b)를 포함함)와, 제 2 파지부(63)를 매달아 승강시키는 제 2 승강 구동부(64)와, 제 2 승강 구동부(64)를 궤도의 측방으로 이동시키는 제 2 횡돌출 기구(65)를 가진다.
이들 제 2 주행부(61), 제 2 본체부(62), 제 2 파지부(63), 제 2 승강 구동부(64) 및 제 2 횡돌출 기구(65)는, 도 3에 나타내는 바와 같이, 상기한 천장 반송차(50)의 주행부(51), 본체부(52), 파지부(53), 승강 구동부(54) 및 횡돌출 기구(55)와 동일한 구성이 적용된다. 따라서, 상측 천장 반송차(60)는, 천장 반송차 시스템(200)의 천장 반송차(50)를 그대로 적용 가능하다. 또한, 상측 천장 반송차(60)는, 제 1 천장 궤도(20)를 주행하므로 별도 궤도를 마련할 필요가 없어, 보관 시스템(SYS)의 제조 코스트를 저감시킬 수 있다.
상측 천장 반송차(60)는, 제 2 승강 구동부(64)에 의해 제 2 파지부(63)(물품(2))를 승강시켜, 접속 궤도(24)의 직하에 있는 전달 포트(12)와의 사이에서 물품(2)을 전달 가능하다. 또한, 접속 궤도(24)에 대하여 횡방향 또한 하방에 있는 전달 포트(12)(도 2에 있어서 -X측의 열의 전달 포트(12))와의 사이에서는, 상측 천장 반송차(60)는, 제 2 횡돌출 기구(65)에 의해 제 2 승강 구동부(64)를 전달 포트(12)의 상방으로 이동시켜, 제 2 승강 구동부(64)에 의해 제 2 파지부(63)(물품(2))를 승강시킴으로써, 그 전달 포트(12)와의 사이에서 물품(2)을 전달 가능하다.
또한, 상측 천장 반송차(60)는, 제 2 횡돌출 기구(65)에 의해 제 2 승강 구동부(64)를 복수 단의 보관부(11) 중 적어도 하나의 보관부(11)의 상방으로 이동시키고, 제 2 승강 구동부(64)에 의해 제 2 파지부(63)(물품(2))를 승강시켜, 제 2 승강 구동부(64)의 하방에 존재하는 보관부(11)와의 사이에서 물품(2)을 전달 가능하다. 본 실시 형태에서는, 상측 천장 반송차(60)는, 선반(10) 중 최상단의 보관부(11)와의 사이에서 물품(2)을 전달 가능하다. 또한, 상측 천장 반송차(60)와의 전달 대상의 보관부(11)가 최상단 이외의 보관부(11)여도 된다. 또한, 반송 장치(300)는, 상측 천장 반송차(60)인 것에 한정되지 않고, 예를 들면, 컨베이어 장치 등, 물품(2)을 보관부(11)와 전달 포트(12)와의 사이에서 반송 가능한 다른 장치여도 된다.
본 실시 형태에서는, 선반(10)의 일부와 정해진 이동 재치처인 처리 장치(TL)의 로드 포트(LP)가, 평면에서 봤을 때 중첩되어 있다. 따라서, 선반(10)을 로드 포트(LP)의 상방까지 수평 방향으로 확장할 수 있어, 많은 물품(2)을 보관할 수 있다. 또한, 선반(10)은, 천장 반송차 시스템(200)의 상방에 마련되어 있다. 즉, 천장 반송차 시스템(200)의 제 2 천장 궤도(30)의 배치에 관계없이, 선반(10)을 마련할 수 있으므로, 선반(10)의 배치의 자유도가 높아, 물품(2)의 수납 효율이 좋은 선반(10)의 배치를 용이하게 실현할 수 있다.
또한, 보관 시스템(SYS)은, 미도시의 제어 장치를 가진다. 이 미도시의 제어 장치는, 보관 시스템(SYS)을 통괄하여 제어한다. 미도시의 제어 장치는, 무선 또는 유선에 의한 통신에 의해 크레인(40), 천장 반송차(50) 및 상측 천장 반송차(60)의 동작을 제어한다. 또한 미도시의 제어 장치는, 크레인(40)을 제어하는 제어 장치와, 천장 반송차(50)를 제어하는 제어 장치와, 상측 천장 반송차(60)를 제어하는 제어 장치로 분할되어도 된다.
보관 시스템(SYS)에 있어서 보관부(11)로부터 로드 포트(LP)로 물품(2)을 반송하는 경우, 미도시의 제어 장치는, 상측 천장 반송차(60)(반송 장치(300))를 제어하여, 최상단의 보관부(11)로부터 반송 대상의 물품(2)을 수취하고, 지정된 전달 포트(12)로 물품(2)을 전달하도록 지시한다. 반송 대상의 물품(2)이 최상단 이외의 보관부(11)에 있는 경우, 천장 스토커(100)의 크레인(40)은, 반송 대상의 물품(2)을 선반(10)에 있어서의 최상단의 보관부(11)로 이동 재치한다.
이어서, 상측 천장 반송차(60)는, 제 1 천장 궤도(20)를 따라 주행하고, 반송 대상의 물품(2)이 재치된 보관부(11)의 측방에 정지하여, 제 2 횡돌출 기구(65)를 돌출시킨 후에 제 2 승강 구동부(64)에 의해 제 2 파지부(63)를 하강시켜, 제 2 파지부(63)에 의해 물품(2)을 파지한다. 이어서, 상측 천장 반송차(60)는, 제 2 승강 구동부(64)에 의해 제 2 파지부(63)를 상승시킨 후, 제 2 횡돌출 기구(65)를 수축시켜 제 2 파지부(63)를 저장 위치로 되돌림으로써, 물품(2)을 제 2 본체부(62) 내에 수용한다.
이어서, 상측 천장 반송차(60)는, 제 2 파지부(63)에 의해 물품(2)을 보지하여 제 1 천장 궤도(20)를 따라 주행하고, 지정된 전달 포트(12)의 직상에서 정지한다. 이어서, 상측 천장 반송차(60)는, 제 2 승강 구동부(64)를 구동하여 제 2 파지부(63) 및 물품(2)을 하강시켜, 물품(2)을 전달 포트(12)에 재치시킨 후에 제 2 파지부(63)에 의한 파지를 해방함으로써 물품(2)을 전달 포트(12)로 전달한다.
이어서, 미도시의 제어 장치는, 천장 반송차 시스템(200)의 천장 반송차(50)를 제어하여, 전달 포트(12)로부터 물품(2)을 수취하고, 지정된 로드 포트(LP)로 물품(2)을 전달하도록 지시한다. 천장 반송차(50)는, 제 2 천장 궤도(30)를 따라 주행하고, 물품(2)이 재치된 전달 포트(12)의 측방에 정지하여, 횡돌출 기구(55)를 돌출시킨 후에 승강 구동부(54)에 의해 파지부(53)를 하강시켜, 파지부(53)에 의해 물품(2)을 파지한다. 이 후, 천장 반송차(50)는, 승강 구동부(54)에 의해 파지부(53)를 상승시킨 후, 횡돌출 기구(55)를 수축시켜 파지부(53)를 저장 위치로 되돌림으로써, 물품(2)을 본체부(52) 내에 수용한다.
이어서, 천장 반송차(50)는, 파지부(53)에 의해 물품(2)을 보지하여 제 2 천장 궤도(30)를 따라 주행하고, 지정된 로드 포트(LP)의 직상에서 정지한다. 이어서, 천장 반송차(50)는, 승강 구동부(54)를 구동하여 파지부(53) 및 물품(2)을 하강시켜, 물품(2)을 로드 포트(LP)에 재치시킨 후에 파지부(53)에 의한 파지를 해방함으로써 물품(2)을 로드 포트(LP)로 전달한다. 이상의 일련의 동작에 의해, 물품(2)은, 보관부(11)로부터 로드 포트(LP)로 반송된다.
또한, 처리 장치(TL)의 로드 포트(LP)로부터 천장 스토커(100)의 보관부(11)로 물품(2)을 반송하는 경우에는, 상기한 일련의 동작의 반대의 동작을 행함으로써, 물품(2)은, 전달 포트(12)를 경유하여 처리 장치(TL)의 로드 포트(LP)로부터 천장 스토커(100)의 보관부(11)로 반송된다. 또한, 물품(2)의 이동 재치처가 로드 포트(LP) 이외여도 상기와 동일하며, 로드 포트(LP) 이외로부터 물품(2)을 받는 경우에 대해서도 상기와 동일하다.
도 4는 도 2의 일부를 확대하여 나타내는 평면도이며, 그리드 천장(GC)에 있어서의 현수 위치의 일례를 나타내는 도이다. 도 4에서는, 선반(10)을 매다는 제 1 현수 부재(3)가 배치되는 제 1 위치(P1)와, 제 2 천장 궤도(30)를 매다는 제 2 현수 부재(4)가 배치되는 제 2 위치(P2)와, 제 1 천장 궤도(20)를 매다는 제 3 현수 부재(5)가 배치되는 제 3 위치(P3)와, 전달 포트(12)를 매다는 제 4 현수 부재(6)가 배치되는 제 4 위치(P4)와의 위치 관계를 나타내고 있다. 또한 도 1에서는, 제 1 현수 부재(3), 제 2 현수 부재(4), 제 3 현수 부재(5) 및 제 4 현수 부재(6)를 모식적으로 나타내고 있고, 도 4에 나타내는 각각의 현수 위치와 상이하다.
도 4에 있어서, 제 1 위치(P1)는, 흰색 원으로 나타나 있다. 도 4에 나타내는 바와 같이, 복수의 제 1 위치(P1)는, 평면에서 봤을 때 선반(10)과 중첩되는 위치에 설정된다. 복수의 제 1 위치(P1)는, 각각의 선반(10)에 있어서 X 방향의 단부 근방에, Y 방향으로 간격을 두고 배열되어 설정된다. 선반(10)은, 복수의 보관부(11)를 구비하고 있으며, 모든 보관부(11)에 물품(2)이 재치되는 것도 상정된다. 따라서, 복수의 제 1 위치(P1)는, 상정되는 선반(10)의 최대 하중에 그리드 천장(GC)이 견디도록 분산시켜 설정된다. 본 실시 형태에서는, 평면에서 봤을 때, 선반(10)의 -X측에 재치되는 물품(2)을 Y 방향으로 개재하도록, 복수의 제 1 위치(P1)가 설정되어 있다. 또한, 선반(10)의 +X측에 있어서도 마찬가지로 복수의 제 1 위치(P1)가 설정된다.
도 4에 있어서, 제 2 위치(P2)는, 검은색 원으로 나타나 있다. 복수의 제 2 위치(P2)는, 평면에서 봤을 때 제 2 천장 궤도(30)의 직선부(31)를 따라 설정되어 있다. 복수의 제 2 위치(P2)는, 평면에서 봤을 때 제 2 천장 궤도(30)로부터 주행 방향의 측방으로 벗어난 위치에, Y 방향으로 간격을 두고 배열되어 설정되어 있다. 각 제 2 위치(P2)는, 직선부(31)에 대하여 X 방향의 양측에 설정된다. 제 2 천장 궤도(30)는, 천장 반송차(50)가 주행하므로, 복수의 천장 반송차(50)가 나란히 주행하는 경우 등도 상정된다. 복수의 제 2 위치(P2)는, 상정되는 제 2 천장 궤도(30)의 최대 하중에 그리드 천장(GC)이 견디도록 분산시켜 설정된다. 또한 제 2 위치(P2)는, Y 방향으로 일정 간격으로 설정되어 있지만, 이 형태에 한정되지 않고, Y 방향의 간격이 일부에서 상이해도 된다. 또한, 제 2 천장 궤도(30)의 접속부(32)에 있어서도 마찬가지로 복수의 제 2 위치(P2)가 설정된다.
도 4에 있어서, 제 3 위치(P3)는, 흰색 삼각형으로 나타나 있다. 복수의 제 3 위치(P3)는, 평면에서 봤을 때 제 1 천장 궤도(20)의 직선부(21, 22), 접속부(23) 및 접속 궤도(24)의 각 부를 따라 설정된다. 복수의 제 3 위치(P3)는, 평면에서 봤을 때 제 1 천장 궤도(20)로부터 주행 방향의 측방으로 벗어난 위치에, 주행 방향으로 간격을 두고 배열되어 설정되어 있다. 각 제 3 위치(P3)는, 직선부(21, 22), 접속부(23) 및 접속 궤도(24)의 양측에 설정된다. 제 1 천장 궤도(20)는, 크레인(40) 및 상측 천장 반송차(60)가 주행하므로, 크레인(40)과 상측 천장 반송차(60)가 근접하는 경우 등이 상정된다. 복수의 제 3 위치(P3)는, 상정되는 제 1 천장 궤도(20)의 최대 하중에 그리드 천장(GC)이 견디도록 분산시켜 설정된다.
도 4에 있어서, 제 4 위치(P4)는, 검은색 삼각형으로 나타나 있다. 복수의 제 4 위치(P4)는, 평면에서 봤을 때 재치부(14)(도 2 참조)와 중첩되는 위치에 설정된다. 또한, 도 4에 있어서 재치부(14)의 기재는 생략하고 있다. 복수의 제 4 위치(P4)는, Y 방향으로 간격을 두고 배열되어 설정된다. 재치부(14)(전달 포트(12)를 포함함)에는, 복수의 물품이 재치되므로, 가장 많이 물품(2)을 재치한 경우도 상정된다. 복수의 제 4 위치(P4)는, 상정되는 재치부(14)의 최대 하중에 그리드 천장(GC)이 견디도록 분산시켜 설정된다. 또한 제 4 위치(P4)는, Y 방향으로 일정 간격으로 설정되어 있지만, 이 형태에 한정되지 않고, Y 방향의 간격이 일부에서 상이해도 된다.
그리드 천장(GC)의 하면측에는, X 방향 또는 Y 방향으로 연장되는 빔부(70)(도 5, 도 6 등 참조)가 고정되어 있다. 빔부(70)는, 예를 들면 봉 형상의 금속 부재이다. 빔부(70)의 길이는, 임의로 설정 가능하다. 빔부(70)는, 평면에서 봤을 때 그리드 천장(GC)과 빔부(70)가 중첩되는 부분의 각각에 있어서, 예를 들면 볼트 등의 고정 부재 등에 의해 그리드 천장(GC)에 고정된다. 또는, 빔부(70)는, 현수 부재에 의해 그리드 천장(GC)으로부터 매달려 있다. 이 빔부(70)는, 그리드 천장(GC)에 대하여 분리 가능해도 되고, 용접 등에 의해 고착되어도 된다. 빔부(70)에 의해, 그리드 천장(GC)에 있어서의 매스눈(G)의 내측에, 제 1 위치(P1), 제 2 위치(P2), 제 3 위치(P3), 제 4 위치(P4)를 설정할 수 있다.
제 1 현수 부재(3), 제 2 현수 부재(4), 제 3 현수 부재(5) 및 제 4 현수 부재(6)의 각각은, 빔부(70)로부터 매달려 있다. 즉, 제 1 위치(P1), 제 2 위치(P2), 제 3 위치(P3) 및 제 4 위치(P4)의 각각은, 평면에서 봤을 때 빔부(70)와 중첩되는 위치에 설정된다.
도 5는 제 2 천장 궤도(30) 및 재치부(14)의 현수 위치에 관한 제 2 위치(P2) 및 제 4 위치(P4)에 대하여 나타내는 도이다. 또한, 도 5에 있어서 재치부(14)의 기재는 생략하고 있다. 도 5에 나타내는 바와 같이, 빔부(70)는, 제 2 천장 궤도(30)의 직선부(31)를 따라 Y 방향으로 연장되는 제 2 빔부(72)를 포함한다. 또한, 빔부(70)는, 재치부(14)의 긴 방향(전달 포트(12)의 긴 방향)을 따라 Y 방향으로 연장되는 제 4 빔부(74)를 포함한다. 제 2 위치(P2)는, 평면에서 봤을 때 제 2 빔부(72)를 따라 간격을 두고 설정된다. 제 4 위치(P4)는, 평면에서 봤을 때 제 4 빔부(74)를 따라 간격을 두고 설정된다.
도 6은 선반(10) 및 제 1 천장 궤도(20)의 현수 위치에 관한 제 1 위치(P1) 및 제 3 위치(P3)에 대하여 나타내는 도이다. 도 6에 나타내는 바와 같이, 빔부(70)는, 선반(10)에 배열되는 물품(2)의 방향인 X 방향을 따라 연장되는 제 1 빔부(71)를 포함한다. 또한, 빔부(70)는, 제 1 천장 궤도(20)의 접속부(23) 및 접속 궤도(24)를 따라 Y 방향으로 연장되는 제 3 빔부(73)와, 직선부(21, 22)를 따라 X 방향으로 연장되는 제 3 빔부(73)를 가진다. 제 1 위치(P1)는, 평면에서 봤을 때 제 1 빔부(71)를 따라 간격을 두고 설정된다. 제 3 위치(P3)는, 평면에서 봤을 때 제 3 빔부(73)를 따라 간격을 두고 설정된다.
도 7은 빔부(70)와 그리드 천장(GC)과의 위치 관계의 일례를 나타내는 도이다. 도 7에 있어서, 그리드 천장(GC)은, 직선에 의해 격자 형상으로 나타나 있다. 도 7에 나타내는 바와 같이, 그리드 천장(GC)은, X 방향 및 Y 방향을 따라 배열되는 복수의 매스눈(G)을 가진다. 제 1 빔부(71), 제 2 빔부(72), 제 3 빔부(73) 및 제 4 빔부(74)의 각각은, 예를 들면 그리드 천장(GC)의 매스눈(G)을 따라, X 방향 또는 Y 방향으로 배치된다. 또한 빔부(70)는, X 방향 또는 Y 방향에 배치되는 것에 한정되지 않고, 예를 들면, X 방향 또는 Y 방향에 대하여 정해진 각도로 기울어 고정되는 형태여도 된다.
도 7에 나타내는 바와 같이, 복수의 제 1 위치(P1) 중 하나와, 복수의 제 3 위치(P3) 중 하나는, 1 개의 매스눈(G)에 들어가도록 설정되는 형태가 있다. 즉, 천장 스토커(100) 중 중량에 있어서의 비율이 큰 선반(10)의 매다는 위치인 제 1 위치(P1)와, 천장 스토커(100) 중 중량에 있어서의 비율이 작은 제 1 천장 궤도(20)의 매다는 위치인 제 3 위치(P3)가, 1 개의 매스눈(G)에 들어가도록 설정된다. 이 제 1 위치(P1)와 제 3 위치(P3)를 동일한 매스눈(G)에 설정함으로써, 제 1 현수 부재(3) 및 제 3 현수 부재(5)가 근접하여 배치되게 된다. 그 결과, 제 1 현수 부재(3) 및 제 3 현수 부재(5)의 장착 또는 메인터넌스에 있어서 동일 개소에서의 작업이 가능하게 되어, 작업성을 향상시킬 수 있다.
또한, 도 7에 나타내는 바와 같이, 1 개의 매스눈(G)의 한 변(X 방향 또는 Y 방향)의 길이의 반인 정해진 거리(L)는, 제 1 위치(P1)와 제 2 위치(P2)를 떨어뜨려 설정할 시의 지표가 된다. 이 정해진 거리(L)는, 그리드 천장(GC)에 있어서의 단위 면적당 하중의 크기가 정해진 값(내하중)을 초과하지 않도록 설정되는 거리이다. 단위 면적은, 예를 들면 평면에서 봤을 때 1 개의 매스눈(G)의 면적에 상당한다. 제 1 위치(P1)와 제 2 위치(P2)는, 적어도 정해진 거리(L)를 두고(정해진 거리(L) 이상 떨어뜨려) 설정된다. 도 7에 나타내는 바와 같이, 제 1 위치(P1)와 제 2 위치(P2)는, 다른 매스눈(G)에 설정된다. 또한 도 7에 있어서, 그리드 천장(GC)을 나타내는 선 상에 매다는 위치가 있는 경우는, 그 직선으로 구획된 양측의 매스눈(G) 중 어느 일방에 포함된다고 하고 있다. 따라서, 도 7에 있어서, 제 2 위치(P2)를 포함하는 1 개의 매스눈(G)의 선 상에 제 1 위치(P1)가 있는 경우, 제 1 위치(P1)와 제 2 위치(P2)는, 각각 상이한 매스눈(G)에 설정되어 있다.
예를 들면, 제 2 위치(P2)가 매스눈(G)의 중앙 근방에 배치되는 경우에서는, 제 1 위치(P1)를 제 2 위치(P2)와 상이한 매스눈(G)으로 함으로써, 제 1 위치(P1)와 제 2 위치(P2)를 적어도 정해진 거리(L)를 두고 설정시킬 수 있다. 그 결과, 그리드 천장(GC)의 각 매스눈(G)에 있어서 미리 설정되어 있는 정해진 값(내하중)을 초과하여 제 1 위치(P1) 및 제 2 위치(P2)의 쌍방이 설정되는 것을 회피할 수 있다.
도 8은 제 1 위치(P1)와 제 2 위치(P2)와의 위치 관계의 일례를 나타내는 도이다. 도 8은 도 7 중의 영역 A에 있어서의 제 1 위치(P1)와 제 2 위치(P2)와의 위치 관계를 확대한 도이다. 영역 A에 있어서의 제 2 위치(P2)는, 매스눈(G)의 중앙 근방에 설정되어 있다(도 7 참조). 도 8에 나타내는 바와 같이, 4 개의 제 1 위치(P1)는, 제 2 위치(P2)에 대하여, 각각 거리(L1, L2, L3, L4)를 두고 설정되어 있다. 이들 거리(L1, L2, L3, L4)는, 상기한 정해진 거리(L)보다 길게 되어 있다. 즉, 중량물인 선반(10)을 매다는 제 1 현수 부재(3)의 각각과, 마찬가지로 중량물인 제 2 천장 궤도(30)를 매다는 제 2 현수 부재(4)가, 적어도 정해진 거리(L)를 두고 배치된다.
또한, 거리(L1, L2, L3, L4)는, 그리드 천장(GC)에 있어서의 단위 면적(1 개의 매스눈(G))당 하중의 크기가 정해진 값(내하중)을 초과하지 않도록 설정된 거리이다. 단위 면적을 1 개의 매스눈(G)의 면적으로 하는 구성에서는, 그리드 천장(GC)에 있어서의 단위 면적을 매스눈(G)에 의해 용이하게 인식할 수 있고, 이 매스눈(G)을 참조함으로써, 제 1 위치(P1)와 제 2 위치(P2)와의 거리(예를 들면, 거리(L1, L2, L3, L4))를 용이하게 설정할 수 있다. 또한 상기한 단위 면적은, 1 개의 매스눈(G)의 면적에 한정되지 않고, 예를 들면, 복수의 매스눈(G)으로 설정되는 면적 등, 다른 설정이어도 된다.
또한, 본 실시 형태에서는, 평면에서 봤을 때, 선반(10)이 처리 장치(TL)의 직상을 포함하는 영역에 마련되어 있다. 이 때문에, 제 2 천장 궤도(30)가 배치되지 않는 처리 장치(TL)의 직상에 선반(10)을 배치함으로써, 선반(10)이 매달리는 제 1 위치(P1)와, 제 2 천장 궤도(30)가 매달리는 제 2 위치(P2)를 용이하게 떨어뜨려 분산시킬 수 있다.
도 9는 그리드 천장(GC)의 1 개의 매스눈(G)당 하중을 나타내는 도이다. 도 9에 나타내는 데이터는, 예를 들면 시뮬레이션 등에 의해 취득된다. 이 시뮬레이션에 있어, 제 1 위치(P1)에 걸리는 하중(V1), 제 2 위치(P2)에 걸리는 하중(V2), 제 3 위치(P3)에 걸리는 하중(V3), 제 4 위치(P4)에 걸리는 하중(V4)이 각각 실험 등에 의해 미리 구해져 있다. 하중(V1 ~ V4) 중, 하중(V1, V2)은, 그 값이 큰 것이 확인되어 있다. 또한, 도 9에서는, 그리드 천장(GC) 중 예를 들면 12 개의 매스눈(G)(단위 면적)에 있어서 각각의 총 하중을 구하고 있다.
도 9에 나타내는 바와 같이, 12 개의 매스눈(G)에 있어서, 각각의 총 하중은, A1 ~ A12로서 구해진다. 총 하중(A1 ~ A12)은, 각 매스눈(G)에 있어서, 상기한 하중(V1)과, 하중(V2)과, 하중(V3)과, 하중(V4)의 합계값이다. 예를 들면, 총 하중(A1)은, 1 개의 하중(V2)과, 2 개의 하중(V3)과, 2 개의 하중(V4)의 합계값이다. 또한, 총 하중(A2)은, 2 개의 하중(V2)의 합계값이다. 또한, 총 하중(A3)은, 2 개의 하중(V1)과, 2 개의 하중(V3)의 합계값이다. 총 하중(A4 ~ A12)에 대한 상세는 생략한다. 도 9에 나타내는 바와 같이, 하중이 큰 하중(V1, V2)이 상이한 매스눈(G)에 설정되어 있으므로, 총 하중(A1 ~ A12)은, 1 개의 매스눈(G)에 있어서의 내하중(VA)보다 작아지는 것이 시뮬레이션에 있어서 확인된다.
이와 같이, 본 실시 형태에 따른 보관 시스템(SYS)에 의하면, 선반(10)을 매다는 제 1 현수 부재(3)와 제 2 천장 궤도(30)를 매다는 제 2 현수 부재(4)가 거리(L1, L2, L3, L4)를 떨어뜨려 설정되기 때문에, 천장 스토커(100)의 중량에 있어서의 많은 비율을 차지하는 선반(10)의 매다는 위치인 제 1 위치(P1)와, 천장 반송차 시스템(200)의 중량에 있어서의 많은 비율을 차지하는 제 2 천장 궤도(30)의 매다는 위치인 제 2 위치(P2)가 근접하는 것을 회피할 수 있어, 선반(10)의 매다는 위치와 제 2 천장 궤도(30)의 매다는 위치를 분산시킬 수 있다. 그 결과, 그리드 천장(GC)의 일부에 큰 하중이 걸리는 것을 회피하여, 그리드 천장(GC)의 보강 등의 대규모인 추가 공사가 불필요하게 되므로, 설치 코스트의 증가를 억제할 수 있다.
이상, 실시 형태에 대하여 설명했지만, 본 발명은, 상술한 설명에 한정되지 않고, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에 있어서 각종 변경이 가능하다. 예를 들면, 상기한 실시 형태에서는, 보관 시스템(SYS)에 있어서, 제 1 천장 궤도(20)와 제 2 천장 궤도(30)가 접속되지 않는 구성을 예로 들어 설명했지만, 이 구성에 한정되지 않는다. 예를 들면, 제 1 천장 궤도(20)와 제 2 천장 궤도(30)가 접속 궤도 등을 개재하여 접속되어도 된다.
또한, 상술한 실시 형태 등에서 설명한 요건 중 하나 이상은, 생략되는 경우가 있다. 또한, 상술한 실시 형태 등에서 설명한 요건은, 적절히 조합할 수 있다. 또한, 법령으로 허용되는 한에 있어서, 일본특허출원인 특허출원 2019-011281, 및, 상술한 실시 형태 등에서 인용한 모든 문헌의 개시를 원용하여 본문의 기재의 일부로 한다.
G : 매스눈
GC : 그리드 천장
L : 정해진 거리
P1 : 제 1 위치
P2 : 제 2 위치
P3 : 제 3 위치
P4 : 제 4 위치
LP : 로드 포트
TL : 처리 장치
SYS : 보관 시스템
2 : 물품
3 : 제 1 현수 부재
4 : 제 2 현수 부재
5 : 제 3 현수 부재
6 : 제 4 현수 부재
10 : 선반
12 : 전달 포트
20 : 제 1 천장 궤도
30 : 제 2 천장 궤도
40 : 크레인
50 : 천장 반송차
60 : 상측 천장 반송차
70 : 빔부
100 : 천장 스토커
200 : 천장 반송차 시스템
300 : 반송 장치

Claims (7)

  1. 제 1 천장 궤도와, 상하 방향으로 복수 단의 보관부를 구비한 선반과, 상기 제 1 천장 궤도를 따라 주행하고, 상기 복수 단의 보관부의 사이에서 물품을 전달하는 크레인을 구비한 천장 스토커와,
    상기 천장 스토커의 하단보다 하방에 마련된 제 2 천장 궤도와, 상기 제 2 천장 궤도를 따라 주행하여 정해진 이동 재치처에 대하여 물품을 전달하는 천장 반송차를 구비하고, 상기 천장 스토커와 평면에서 봤을 때 적어도 일부가 중첩되도록 배치된 천장 반송차 시스템을 구비하고,
    상기 선반은, 천장에 장착된 제 1 현수 부재에 의해, 상기 천장의 제 1 위치로부터 매달려 마련되고,
    상기 제 2 천장 궤도는, 상기 천장에 장착된 제 2 현수 부재에 의해, 상기 천장의 제 2 위치로부터 매달려 마련되고,
    상기 제 1 위치와 상기 제 2 위치는, 적어도 정해진 거리를 두고 설정되는, 보관 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 정해진 거리는, 상기 천장에 있어서의 단위 면적당 하중의 크기가 정해진 값을 초과하지 않도록 설정된 거리인, 보관 시스템.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 천장은, 수평 방향에 있어서의 직교 방향의 각각에 복수의 매스눈이 배열되는 그리드 천장이며,
    　상기 단위 면적은, 1 개의 상기 매스눈의 면적인, 보관 시스템.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 제 1 위치와 상기 제 2 위치는, 상기 그리드 천장에 있어서의 상이한 상기 매스눈에 설정되는, 보관 시스템.
  5. 제 3 항 또는 제 4 항에 있어서,
    상기 제 1 천장 궤도는, 상기 천장에 장착된 제 3 현수 부재에 의해, 상기 천장의 제 3 위치로부터 매달아 마련되고,
    복수의 상기 제 1 위치 중 하나와, 복수의 상기 제 3 위치 중 하나는, 상기 그리드 천장에 있어서의 1 개의 상기 매스눈에 설정되는, 보관 시스템.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1 천장 궤도의 일부와 상기 제 2 천장 궤도의 일부는, 평면에서 봤을 때 중첩되어 배치되는, 보관 시스템.
  7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 선반은, 평면에서 봤을 때, 상기 정해진 이동 재치처를 가지는 처리 장치의 직상을 포함하는 영역에 마련되는, 보관 시스템.
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