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WO2019003753A1 - 搬送システム及び搬送方法 - Google Patents

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WO2019003753A1
WO2019003753A1 PCT/JP2018/020351 JP2018020351W WO2019003753A1 WO 2019003753 A1 WO2019003753 A1 WO 2019003753A1 JP 2018020351 W JP2018020351 W JP 2018020351W WO 2019003753 A1 WO2019003753 A1 WO 2019003753A1
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WO
WIPO (PCT)
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track
crane
ceiling
overhead
traveling
Prior art date
Application number
PCT/JP2018/020351
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
陽一 本告
Original Assignee
村田機械株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 村田機械株式会社 filed Critical 村田機械株式会社
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Priority to EP18823364.7A priority patent/EP3647229B1/en
Priority to KR1020197037292A priority patent/KR102336425B1/ko
Priority to JP2019526707A priority patent/JP6822567B2/ja
Priority to SG11201912673UA priority patent/SG11201912673UA/en
Priority to US16/624,935 priority patent/US11072493B2/en
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    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette

Definitions

  • the present invention relates to a transfer system and a transfer method.
  • a stocker for storing an article such as a FOUP for containing a semiconductor wafer or a reticle Pod for containing a reticle is disposed.
  • the stocker includes a crane for transferring articles between the plurality of storage shelves and the delivery port.
  • a suspension type crane that travels on a track disposed on a ceiling is known, and in order to improve the transfer efficiency of articles, a configuration in which two types of suspension type cranes travel on a common track is proposed. (See, for example, Patent Document 1)
  • An object of the present invention is to provide a transfer system and a transfer method capable of easily moving a suspension type crane between a stocker area and a predetermined area without using a special transfer equipment.
  • the transport system comprises a storage unit provided in a plurality of stages in the vertical direction to store articles, a delivery port for delivering articles, and a crane ceiling track provided along the storage section and the delivery port.
  • an overhead transport vehicle provided outside the stocker area and provided along the delivery port and the load port of the processing apparatus, the stocker being disposed within the stocker area, and a suspension type crane for carrying An overhead track for a transport vehicle, a traveling part for a transport vehicle traveling along a ceiling track for a ceiling transport vehicle, and an article holding part for holding and moving up and down articles, and a delivery port
  • the crane overhead track, the ceiling carriage overhead track, and the connection track may have the same or substantially the same cross-sectional shape orthogonal to the direction in which the crane travel section travels.
  • the traveling part for cranes and the traveling part for transport vehicles may have a traveling part main body to which a common wheel and wheels are attached.
  • the traveling object may start traveling after raising the article holding part to the uppermost position.
  • the overhead track for cranes is provided above the worker entry prohibited area where the mast of suspension type crane passes and the entry of workers is prohibited, and the overhead track for overhead transportation vehicles is permitted to pass by workers It is provided above the worker passage to be carried out, and when the hanging crane enters the ceiling track of the overhead transport vehicle, the worker may be prohibited from entering the worker passage through which the mast passes.
  • the predetermined area may be another stocker area in which a stocker different from the stocker described above is disposed.
  • the ceiling carriage for the overhead transportation vehicle is connected to one end of each of the first in-bay orbit, the second in-bay orbit, and the first in-bay orbit and the second in-bay orbit.
  • a ceiling track for cranes in the stocker comprising: a first inter-bay track; and a second inter-bay track connected to the other end of each of the first in-bay orbit and the second in-bay orbit;
  • the connecting track of 1 may be connected to the first inter-bay track, and the crane overhead track in the other stocker may be connected to the second inter-bay track by the second connecting track.
  • the predetermined area may be a maintenance area. Also, the predetermined area may include the initial input of the hanging crane.
  • a storage unit for storing articles provided in a plurality of stages in the vertical direction, a delivery port for delivering the articles, and a crane ceiling provided along the storage unit and the delivery port.
  • a transport method for a transport system comprising: a ceiling transport for transporting articles between a transport port and a load port; and a connection track for connecting a ceiling track for cranes and a ceiling track for ceiling transport vehicles.
  • the traveling unit is moved from the overhead track of the crane through the connecting track to the overhead track for the overhead transportation vehicle, and the overhead track for the overhead transportation vehicle travels to the predetermined area, or the overhead track for the overhead transportation vehicle is approached from the predetermined area And traveling to the connection track, and traveling through the connection track into the crane ceiling track.
  • a suspension type is generally used to transfer an article between the storage unit and the delivery port in the stocker area while traveling along the crane ceiling track in the stocker area.
  • the crane can move to a predetermined area outside the stocker area through the connecting track and the ceiling track for the overhead transport vehicle as needed.
  • the suspension crane can be easily and quickly moved between the stocker area and a predetermined area without using a special transport equipment, and it is troublesome to remove the suspension crane from the track. This eliminates the need for work and further eliminates the need for special transport equipment for transporting the suspended crane which has been removed, thereby suppressing an increase in cost.
  • the crane overhead track, ceiling carriage overhead track, and connecting track have the same or substantially the same cross-sectional shape orthogonal to the direction in which the crane travel section travels, these tracks have the same standard.
  • installation of the track can be performed at low cost.
  • the traveling part for cranes and the traveling part for transport vehicles have traveling wheels and the traveling portion main body to which the wheels are attached, the traveling cranes of the suspension type crane and the overhead transportation carriage have the same standard, thereby making the crane It is possible to manufacture the traveling unit for the carriage and the traveling unit for the conveyance vehicle at low cost.
  • the overhead conveyance vehicle when the overhead conveyance vehicle starts traveling by the conveyance vehicle traveling part from a stopped state, the overhead conveyance vehicle moves when the overhead conveyance vehicle travels when the traveling object is started after raising the article holding portion to the uppermost position. Can be prevented from coming into contact with obstacles under the ceiling track for the overhead transport vehicle.
  • a crane ceiling track is provided above the above-mentioned worker entry prohibited area
  • a ceiling carriage track is provided above the above-mentioned worker passage
  • a suspension type crane is mounted on the ceiling carriage ceiling track.
  • the suspension crane operating in the worker's entry prohibited area where the worker's entry is prohibited is the worker's It can be properly moved via the ceiling carriage ceiling track installed on the worker passage that is permitted to pass.
  • a ceiling track for the overhead transportation vehicle includes the above-described first in-bay orbit, the second in-bay orbit, the first inter-bay orbit, and the second inter-bay orbit, and the ceiling for the crane in the stocker If the track is connected to the first inter-bay track by the first connecting track and the crane overhead track in the other stocker is connected to the second inter-bay track by the second connecting track, The first and second in-bay orbits and the first and second inter-bay trajectories can be reliably moved between the stockers and the other stockers.
  • the hanging crane can be easily moved between the inside of the stocker area and the maintenance area.
  • the predetermined area includes the initial loading of the hanging crane, the suspension crane is moved from the initial loading into each stocker area to attach the hanging crane to the crane overhead track at each stocker. Can be eliminated and work efficiency can be improved.
  • FIG. 1 It is a figure which shows an example of the movement path
  • FIG. 1 is a plan view showing an example of a transfer system 100 according to the present embodiment.
  • the transport system 100 shown in FIG. 1 is installed in, for example, a factory for manufacturing semiconductor devices, and an article 2 such as a FOUP housing a semiconductor wafer used for manufacturing a semiconductor device or a reticle pod housing a reticle or the like.
  • Transport
  • the article 2 is described as being a FOUP, the article 2 may be other than the FOUP.
  • the transport system 100 is applicable to equipment other than the semiconductor manufacturing field, and the article 2 may be various articles handled by the equipment in which the transport system 100 is installed.
  • the transport system 100 includes a stocker 10, a ceiling track 40 for a ceiling transport vehicle, a ceiling transport vehicle 50, first and second connection tracks 60A and 60B, and a control device 80.
  • the stocker 10 is disposed in a stocker area 10A and another stocker area (predetermined area) 10B.
  • FIG. 2 is a diagram showing an example of the stocker area 10A.
  • the stocker 10 includes a storage unit 11, a delivery port 12, a crane overhead track 20, and a hanging crane 30.
  • the storage unit 11 stores the articles 2 in a state in which a plurality of stages are provided in the vertical direction and arranged in the lateral direction along the movement direction of the suspension type crane 30.
  • the storage unit 11 uses a shelf or the like on which the article 2 can be placed.
  • the shelf on which the article 2 is placed may be provided with a plurality of pins that enter a groove provided in the bottom of the article 2.
  • the pin enters the groove of the article 2 to position the article 2 with respect to the shelf.
  • the plurality of storage units 11 are arranged at three locations in each stocker area 10A, 10B, but the present invention is not limited to this configuration, and the number of storage units 11 is arbitrary.
  • the delivery port 12 is provided as a place for delivering the article 2 with the ceiling transport vehicle 50 or the like.
  • a plurality of delivery ports 12 are provided in the stocker area 10A.
  • the crane overhead track 20 is provided along the storage unit 11 and the delivery port 12.
  • the crane overhead track 20 is provided above the worker entry prohibition area 10F in which the entry of the worker is prohibited while the suspension type crane 30 is in operation. Furthermore, while the suspension crane 30 is in operation, the operator may be prohibited from entering the entire stocker area 10A, 10B.
  • FIG. 3 is a diagram showing an example of the predetermined area.
  • the predetermined area shown in FIG. 3 is another stocker area 10B arranged separately from the stocker area 10A.
  • the stocker area 10B has the same configuration as that of the above-mentioned stocker area 10A, but may have another configuration.
  • the stocker 10 is disposed in the stocker area 10B. Similar to the stocker area 10A, the stocker 10 includes a plurality of storage units 11, a plurality of delivery ports 12, a crane overhead track 20, and a suspended crane 30.
  • FIG. 4 is a view showing an example of the suspension type crane 30.
  • the suspension crane 30 includes a crane traveling unit 31, a mast 32, and an article transfer unit 34.
  • the article transfer unit 34 includes a lifting platform 33 and a lifting drive unit 35.
  • the crane traveling unit 31 includes a traveling drive unit (not shown) and a plurality of wheels 71 a (see FIG. 6), and travels along the crane ceiling track 20.
  • the travel drive unit may be, for example, an electric motor provided in the crane travel unit 31 to drive the wheels 71a, or may be a linear motor provided using the crane ceiling track 20.
  • the mast 32 is vertically extended from the crane travel unit 31 and guides the lift 33.
  • the mast 32 is formed in a hollow or solid rod shape, and is formed in a polygonal shape such as a circular shape, an elliptical shape, an oval shape, or a square shape in cross section.
  • the lower end of the mast 32 is set at a predetermined distance from the floor surface.
  • the upper support 37 is attached to the lower side of the traveling part 31 for crane via the attaching part 36.
  • the mast 32 is attached to the lower surface side of the upper support 37 and is suspended from the traveling part 31 for crane.
  • fastening members such as bolts and nuts may be used, or welding may be used.
  • the number of masts 32 may be one, or may be provided before and after the traveling direction of the crane traveling unit 31, for example.
  • the lifting platform 33 has an article transfer unit 34 mounted on the upper surface, and can be lifted and lowered along the mast 32.
  • the lifting platform 33 is provided with guide rollers 33 a disposed so as to sandwich the mast 32, and smoothly moves up and down along the mast 32.
  • a lower support 32a is attached to the lower part of the mast 32, and the lift 33 can be lowered to a position to abut on the lower support 32a.
  • the lower support 32 a prevents the lift 33 from falling downward from the mast 32.
  • the article transfer unit 34 is mounted on the lift 33, guided by the mast 32, and moved up and down.
  • the article transfer unit 34 includes an arm 38 that can extend and contract in a direction orthogonal to the traveling direction of the crane traveling unit 31, and a placement unit 39 provided at the tip of the arm 38 and on which the article 2 can be placed. Is equipped.
  • the article transfer section 34 stretches the arm section 38 to place the placement section 39 under the article 2, and lifts the lifting platform 33 to scoop the article 2 by the placement section 39.
  • the storage unit 11 is provided with a not-shown notch which can pass the placement unit 39 up and down. Subsequently, the article transfer unit 34 places the placement unit 39 on which the article 2 is placed on the elevating platform 33 by retracting the arm unit 38 while placing the article 2 on the placement unit 39. .
  • the article transfer unit 34 delivers the article 2 to the transfer destination, the arm unit 38 is extended above the transfer destination, and the placement unit 39 is disposed above the transfer destination. Subsequently, by lowering the elevating table 33, the placement unit 39 passes through the notch portion of the storage unit 11 described above, and at that time, the article 2 is transferred from the placement unit 39 to the transfer destination.
  • the article transfer unit 34 may be configured to grip the flange portion 2 a of the article 2 instead of the configuration to place the article 2 on the placement unit 39, or may be configured to grip the side surface of the article 2 It may be
  • the lifting drive unit 35 is, for example, a hoist, and lifts the lifting platform 33 along the mast 32.
  • the elevation drive unit 35 includes a suspending member 35a and a drive unit 35b.
  • the suspending member 35a is, for example, a belt or a wire, and the lift 33 is suspended from the upper support 37 by the suspending member 35a.
  • the driving unit 35b is provided on the upper support 37, and feeds and winds the suspending member 35a.
  • the elevator 33 is guided by the mast 32 and descends when the drive unit 35 b feeds out the hanging member. In addition, when the drive unit 35b winds up the hanging member 35a, the elevator 33 is guided by the mast 32 and ascends.
  • the drive unit 35 b is controlled by the control device 80 or the like to lower or raise the elevator 33 at a predetermined speed. Further, the drive unit 35 b is controlled by the control device 80 or the like, and holds the lift 33 at a target height.
  • the lift drive unit 35 is provided on the upper support 37 (the traveling unit 31 for crane), but is not limited to this configuration.
  • the lifting drive unit 35 may be provided, for example, on the lifting platform 33.
  • a configuration in which the lifting and lowering drive unit 35 is provided on the lifting and lowering stand 33 for example, a belt or a wire suspended from the upper support 37 is hoisted or extended by a hoist mounted on the lifting and lowering stand 33
  • an electric motor or the like for driving the pinion gear is mounted on the lift 33, a rack engaged with the pinion gear is formed on the mast 32, and the lift 33 is raised or lowered by rotating the pinion gear by driving the electric motor.
  • the ceiling carriage 40 for the overhead transportation vehicle is disposed outside the stocker area 10A.
  • the ceiling carriage 40 for the overhead transport vehicle is provided along the load port LP of the processing device TL, and extends to the stocker area (predetermined area) 10B.
  • the overhead carriage overhead track 40 is provided above the worker passage 10G in which the worker is permitted to pass while the overhead carriage 50 is in operation except when the suspension type crane 30 is loaded.
  • the crane traveling unit 31 of the hanging crane 30 can travel on the ceiling carriage 40 for the overhead transportation vehicle.
  • the overhead traveling vehicle 30 installed in the worker passage prohibited area 10F in which the worker's entry is prohibited is installed on the worker passage 10G in which the worker's passage is permitted. It can be moved appropriately via the ceiling track 40.
  • the ceiling carriage overhead track 40 includes a first in-bay orbit 41, a second in-bay orbit 42, a first inter-bay track 43, and a second inter-bay track 44.
  • the first in-bay orbit 41 and the second in-bay orbit 42 are spaced apart from each other by the stocker area 10A and the stocker area 10B, and are arranged parallel to each other.
  • the wall part not shown is provided so that the outer periphery of stocker area 10A, 10B may be surrounded, respectively.
  • the inside and outside of the stocker areas 10A and 10B are divided by the wall portions, and when the suspension type crane 30 is in operation, entry of a worker into the stocker areas 10A and 10B is prohibited.
  • the first in-bay orbit 41 has an outer orbit 41 a and an inner orbit 41 b.
  • the outer peripheral track 41a is formed in an annular shape, and is connected to a later-described first inter-bay track 43 and a second inter-bay track 44 at both ends in the longitudinal direction.
  • the outer peripheral track 41a passes by the side of the delivery port 12 in the stocker areas 10A and 10B in plan view.
  • the overhead conveyance vehicle 50 traveling on the outer circumference track 41 a can deliver the article 2 to the delivery port 12.
  • the outer circumferential track 41a is disposed immediately above the load port LP of the processing device TL.
  • the inner raceway 41b is annularly formed and disposed inside the outer raceway 41a.
  • the second in-bay orbit 42 has an outer orbit 42 a and an inner orbit 42 b.
  • the outer peripheral track 42a is formed in an annular shape, and is connected to a later-described first inter-bay track 43 and a second inter-bay track 44 at both ends in the longitudinal direction.
  • the outer circumferential track 42a passes by the side of the delivery port 12 in the stocker areas 10A and 10B in plan view.
  • the delivery port 12 is a delivery port 12 different from the delivery port 12 corresponding to the outer peripheral track 41 a of the first in-bay orbit 41.
  • the overhead transport vehicle 50 traveling on the outer peripheral track 42 a can deliver the article 2 to the delivery port 12.
  • the outer circumferential track 42a is disposed immediately above the load port LP of the processing device TL.
  • the inner raceway 42b is annularly formed and disposed inside the outer raceway 42a.
  • the inner races 41b and 42b are provided at positions shifted from immediately above the load port LP in plan view. With this configuration, the suspended crane 30 can travel without the mast 32 hanging from the crane travel unit 31 interfering with the load port LP when moving from the stocker area 10A described later to a predetermined area.
  • the inner track 41b is connected to the outer track 41a via a connecting track 41c. Also, the inner track 42b is connected to the outer track 42a via a connecting track 42c.
  • a plurality of buffers ST are disposed along the outer peripheral tracks 41a, 42a, etc. between the outer peripheral tracks 41a, 42a and the inner peripheral tracks 41b, 42b.
  • the buffer ST has, for example, a shelf portion on which the article 2 can be placed, and is provided in a suspended state from the ceiling of the building. Note that whether or not the buffer ST is arranged is optional, and the buffer ST may not be provided.
  • the first inter-bay trajectory 43 is connected to one end of each of the first in-bay orbit 41 and the second in-bay orbit 42.
  • the second inter-bay track 44 is connected to one end of each of the first in-bay orbit 41 and the second in-bay orbit 42.
  • two straight tracks extend in parallel, and a plurality of connecting tracks are provided between the two tracks.
  • the overhead transport vehicle 50 moves along the overhead transport ceiling track 40, and delivers the articles 2 between the load port LP of the processing apparatus TL and the delivery port 12 of the stocker areas 10A and 10B. .
  • the overhead conveyance vehicle 50 is the article 2 between the overhead conveyance vehicle ceiling track 40 (the outer circumference track 41a, 42a, etc.) and the buffer ST provided along Transfer of
  • the processing apparatus TL is, for example, an exposure apparatus, a coater developer, a film forming apparatus, or an etching apparatus, and performs various processes on the semiconductor wafer contained in the article 2 transported by the transport system 100.
  • FIG. 5 is a view showing an example of the overhead conveyance vehicle 50.
  • the overhead conveyance vehicle 50 includes a conveyance vehicle traveling unit 51 and a main body unit 52.
  • the transport vehicle traveling unit 51 includes a traveling drive unit (not shown) and a plurality of wheels 71 a (see FIG. 6), as with the crane traveling unit 31, and travels along the ceiling transportation carriage ceiling track 40.
  • the traveling drive unit may be, for example, an electric motor provided in the traveling unit 51 for the conveyance vehicle to drive the wheel 71a, or a linear motor provided using the ceiling track 40 for the overhead conveyance vehicle. Good.
  • the main body portion 52 is attached to the lower portion of the carrier traveling portion 51 via the attaching portion 52a.
  • the main body 52 has an article holding unit 53 for suspending and holding the article 2, an elevation driving unit 54 for raising and lowering the article holding unit 53 in the vertical direction, and a roll-out mechanism 55 for moving the elevation driving unit 54.
  • the article holding portion 53 suspends and holds the article 2 by holding the flange portion 2 a of the article 2.
  • the article holding portion 53 is, for example, a chuck having a claw portion 53a that can move in the horizontal direction, and the claw portion 53a penetrates below the flange portion of the article 2 to raise the article holding portion 53. Hold.
  • the article holding unit 53 is connected to a hanging member 53 b such as a wire or a belt.
  • the overhead conveyance vehicle 50 is not provided with a configuration for guiding the lifting and lowering like the mast 32 of the hanging crane 30. Therefore, the article holding portion 53 is in a state where it can swing relative to the main body portion 52.
  • the raising and lowering drive unit 54 is, for example, a hoist, and lowers the article holding unit 53 by drawing out the hanging member 53b, and raises the article holding unit 53 by winding the hanging member 53b.
  • the elevation driving unit 54 is controlled by the control device 80 or the like to lower or raise the article holding unit 53 at a predetermined speed.
  • the elevation driving unit 54 is controlled by the control device 80 or the like, and holds the article holding unit 53 at a target height.
  • the side projection mechanism 55 has, for example, a movable plate arranged to overlap in the vertical direction.
  • the movable plate is movable to the side in the traveling direction of the transport vehicle traveling unit 51.
  • a pivoting unit and an elevation driving unit 54 are attached to the movable plate.
  • the main body portion 52 has a guide (not shown) for guiding the side projection mechanism 55, a drive (not shown) for driving the side projection mechanism 55, and the like.
  • the crossing mechanism 55 moves the lifting and lowering drive unit 54 and the article holding unit 53 between the projecting position and the storage position along the guides by the driving force from the driving unit such as an electric motor.
  • the projecting position is a position projecting laterally from the main body 52.
  • the storage position is a position stored in the main body 52.
  • the pivoting portion has a pivoting member and a pivoting drive portion (not shown).
  • the rotation member is provided rotatably around an axis in the vertical direction.
  • the pivoting member is connected to the lift drive unit 54 or the article holding unit 53.
  • An electric motor etc. are used for a rotation drive part, and it rotates the rotation member around the axis
  • the pivoting portion pivots the pivoting shaft by the driving force from the pivoting drive portion, and is capable of pivoting the lifting and lowering drive portion 54 or the article holding portion 53 around an axis in the vertical direction.
  • the direction of the article 2 held by the article holding unit 53 can be changed by the rotation unit.
  • the overhead conveyance vehicle 50 does not need to be equipped with a rotation part.
  • FIG. 6 is a view showing an example of the crane traveling unit 31 and the carrier traveling unit 51.
  • a common (identical or almost identical) configuration is adopted for the crane traveling unit 31 and the transport vehicle traveling unit 51.
  • the crane overhead track 20 and the overhead carriage overhead track 40 have the same or substantially the same cross section in a plane orthogonal to the traveling direction, and both the crane traveling unit 31 and the carriage traveling unit 51 can travel It has become.
  • the crane travel unit 31 and the transport vehicle travel unit 51 have a common configuration, it is not necessary to manufacture the crane travel unit 31 and the transport vehicle travel unit 51 with different configurations, and the suspension type The manufacturing costs of the crane 30 and the overhead transport vehicle 50 can be reduced.
  • a plurality of (for example, two) traveling units 31 for crane may be used by one suspension type crane 30. With this configuration, the mounting portion 39 and the articles 2 and the like which are heavy objects can be appropriately held via the mast 32.
  • the crane travel unit 31 and the transport vehicle travel unit 51 include a travel unit main body 71 b to which a common wheel 71 a and a wheel 71 a are attached.
  • the plurality of wheels 71a respectively abut the lower inner surface of the crane ceiling track 20 or the ceiling carriage 40 for the overhead transportation vehicle.
  • the traveling unit main body 71 b to which the plurality of wheels 71 a are attached includes a traveling drive unit for driving the wheels 71 a or various sensors.
  • the crane overhead track 20 and the overhead transport vehicle overhead track 40 are provided with a power supply unit 70.
  • the feed unit 70 includes a feed rail 75 and a non-contact feed line 76 provided on the feed rail 75.
  • the power supply unit 70 is disposed below the crane overhead track 20 and the overhead transport ceiling track 40, and is provided continuously or intermittently along the crane overhead track 20 and the overhead transport ceiling track 40. There is.
  • a power reception unit 73 is provided in the mounting portion 36 of the suspension type crane 30 and the mounting portion 52 a of the overhead conveyance vehicle 50. The power reception unit 73 receives power via the non-contact power supply line 76, and supplies power to the traveling unit main body 71b and the like.
  • the control device 80 controls the conveyance system 100 in a centralized manner.
  • the controller 80 controls the operation of the suspension crane 30 and the overhead transport vehicle 50 by wireless or wired communication.
  • the control device 80 may be divided into a control device that controls the suspension crane 30 and a control device that controls the overhead conveyance vehicle 50.
  • the control apparatus for the suspension type crane 30 may be divided
  • the control device that controls the overhead conveyance vehicle 50 may control a plurality of overhead conveyance vehicles 50 traveling in the predetermined area.
  • the first connection track 60A connects the crane ceiling track 20 of the stocker area 10A and the first inter-bay track 43 of the ceiling carriage overhead track 40.
  • the second connection track 60B connects the crane ceiling track 20 of the stocker area 10B and the second inter-bay track 44 of the ceiling carriage overhead track 40.
  • the crane traveling unit 31 can travel on the first and second connection tracks 60A and 60B.
  • the traveling part 31 for cranes of the suspension type crane 30 can travel from the overhead track 20 for cranes to the overhead track 40 for overhead transportation vehicles via the first connection track 60A and travel to the other stocker area 10B .
  • the crane traveling unit 31 can travel from the ceiling carriage 40 for the overhead conveyance vehicle via the second connection track 60B by entering the crane overhead track 20.
  • the first and second connection tracks 60A and 60B may allow the traveling unit 51 for the conveyance vehicle to travel.
  • the first and second connection tracks 60A and 60B have the same or substantially the same cross section as the crane overhead track 20 and the overhead transport car overhead track 40 in a plane perpendicular to the traveling direction of the crane travel section 31. (See Figure 6). Accordingly, the crane travel unit 31 or the transport vehicle travel unit 51 can travel on the first and second connection tracks 60A and 60B without any problem.
  • standardization of the tracks can be realized, and installation of the tracks can be performed at low cost.
  • the suspension crane 30 travels along the crane overhead track 20 in the stocker area 10A or the stocker area 10B and transfers the article 2 between the storage unit 11 and the delivery port 12.
  • the hanging crane 30 receives the article 2 stored in the storage unit 11 by the article transfer unit 34 (see FIG. 4), travels along the crane ceiling track 20 to the delivery port 12, and delivers the article 2 It can be mounted on port 12.
  • the suspension crane 30 travels along the crane ceiling track 20 to the delivery port 12, and the article transfer unit 34 transfers the article 2.
  • the article 2 can be placed on the storage unit 11 by the article transfer unit 34 by traveling along the crane overhead track 20 to the storage unit 11 of the transfer destination.
  • the overhead transport vehicle 50 travels along the ceiling transport track for overhead transport vehicle 40 to the delivery port 12 of the stocker area 10A. Do. Thereafter, the article 2 is held by the article holding unit 53 (see FIG. 5) and travels on the ceiling carriage 40 for the overhead transport vehicle, whereby the delivery port 12 of another stocker area 10B, the load port LP of the processing device LT, or The articles 2 can be transported to the buffer ST, and the articles 2 can be placed on each.
  • the overhead conveyance vehicle 50 receives the article 2 from the delivery port 12 of another stocker area 10B, the load port LP of the processing apparatus LT, or the buffer ST, the storage conveyance area 50A along the ceiling conveyance vehicle ceiling track 40 And the article 2 can be placed on the delivery port 12.
  • the overhead transport vehicle 50 located on the outer orbit 41 a can deliver the article 2 to the delivery port 12.
  • the ceiling transport vehicle 50 raises and lowers the article holding portion 53 in a state in which the lifting and lowering drive portion 54 is protruded to the side of the outer peripheral track 41 a by the crossing mechanism 55 in delivery of the article 2 to the delivery port 12 (see FIG. 5) .
  • the overhead conveyance vehicle 50 located on the outer circumference track 41a can deliver the article 2 to the load port LP of the processing device LT.
  • the ceiling transport vehicle 50 raises and lowers the article holding portion 53 with or without driving the crossing mechanism 55 in delivery of the article 2 to the load port LP (see FIG. 5).
  • the overhead conveyance vehicle 50 located in the outer track 41a or the inner track 41b can deliver the articles 2 to the buffer ST.
  • the overhead conveyance vehicle 50 raises and lowers the article holding unit 53 in a state in which the elevation drive unit 54 is protruded to the side of the orbit 41a or the orbit 41b.
  • Delivery of the article 2 to the buffer ST is possible from either the outer track 41a or the inner track 41b, and the overhead transport vehicle 50 can be coped with by changing the direction of protrusion by the side projection mechanism 55 (see FIG. 5).
  • Delivery of the article 2 to the buffer ST may be limited to either the outer race track 41a or the inner race track 41b.
  • FIG. 7 to 10 are diagrams showing an example of a movement path when moving the suspension crane 30 from the stocker area 10A to the stocker area 10B which is a predetermined area.
  • the hanging crane 30 when the hanging crane 30 is moved from the stocker area 10A to another stocker area (predetermined area) 10B, there is no need to remove the hanging crane 30 from the crane overhead track 20, and the first and second It can be moved along the connecting tracks 60A, 60B and the ceiling track 40 for the overhead transport vehicle.
  • the hanging crane 30 may be moved manually by an operator or the like, or may be automatically moved by the control device 80 (see FIG. 1).
  • the suspension crane 30 is present in the crane overhead track 20 in the stocker area 10A.
  • the suspension crane 30 is moved from the crane overhead track 20 to the first inter-bay track 43 via the first connection track 60A (see the arrow in FIG. 7).
  • the suspension type crane 30 moves from inside the stocker area 10A to outside the stocker area 10A.
  • the suspension type crane 30 travels the ceiling track 40 for the overhead transportation vehicle and moves to another area, equipment etc. that interfere with the mast 32 (see FIG.
  • the crane travel section 31 of the suspension type crane 30 is the first from the crane overhead track 20. It can enter the connecting track 60A without any problem.
  • the suspension crane 30 is moved from the first inter-bay track 43 to the outer orbit 41a of the first in-bay orbit 41 and moved to the inner orbit 41b via the connecting orbit 41c. (See the arrow in FIG. 8). Since the orbiting track 41a is disposed immediately above the load port LP of the processing device TL, when the suspended crane 30 travels the orbiting track 41a as it is, the mast 32 may come in contact with the load port LP. Therefore, the suspension crane 30 moves from the outer track 41 a to the inner track 41 b. Thereafter, the suspension crane 30 is moved along the inner race track 41b toward the stocker area 10B.
  • the mast 32 of the suspension type crane 30 passes on the worker passage 10G.
  • entry of a worker or the like into the worker passage 10G is prohibited, and a warning is provided from a speaker installed near the hanging crane 30 or the worker passage 10G so that the worker or the like does not enter the worker passage 10G.
  • the like may be emitted, or a lamp or the like installed near the worker passage 10G may be lit or blinked.
  • the suspension crane 30 is moved to the end side of the inner track 41b, and is moved from the inner track 41b to the outer track 41a via the connection track 41c. Subsequently, the suspension crane 30 is moved from the outer race track 41a to the second inter-bay track 44, and the second inter-bay track 44 is moved to the stocker area 10B (see the arrow in FIG. 9).
  • the suspension crane 30 is moved along the second inter-bay track 44 to the second connection track 60B, and for the crane in the stocker area 10B via the second connection track 60B. Move to the ceiling track 20 (see the arrow in FIG. 9). Since the second inter-bay track 44, the second connection track 60B, and the crane overhead track 20 have the same cross-sectional shape, respectively, the traveling part 31 for crane of the suspension type crane 30 is second from the second inter-bay track 44. The crane overhead track 20 can be approached without hindrance through the connecting track 60B.
  • the hanging crane 30 constitutes a part of the stocker 10 installed in the stocker area 10B, and can deliver the articles 2 between the storage unit 11 and the delivery port 12 in the stocker area 10B.
  • the suspension crane 30 moves from the current track to the next track or moves in a curved shape, the moving speed is slowed and the hanging mast 32 is moved outward by vibration or centrifugal force or the like. You may prevent it from shaking.
  • the suspension type crane 30 moves from the stocker area 10B to the stocker area 10A, first, similarly to the above, the crane overhead track 20C in the stocker area 10B is moved to the second bay via the second connection track 60B. It moves to the track 44 between. Subsequently, the suspension crane 30 moves to the outer race 42a of the second in-bay orbit 42 and moves to the inner race 42b via the connecting track 42c. Subsequently, the suspension crane 30 moves from the connecting track 42c on the first inter-bay track 43 to the outer track 42a, moves from the outer track 42a to the first inter-bay track 43, and the first inter-bay track 43 1. Move to the crane overhead track 20 in the stocker area 10A via the connecting track 60A of 1.
  • the storage section 11 and the delivery port 12 are normally stored in the stocker area 10A while traveling along the crane ceiling track 20 in the stocker area 10A.
  • the suspension crane 30, which transfers articles between the two, optionally, a predetermined area (stocker area) outside the stocker area 10A via the first and second connection tracks 60A and 60B and the ceiling track 40 for the overhead transportation vehicle. You can move up to 10B).
  • the hanging crane 30 can be moved between the inside of the stocker area 10A and the predetermined area (stocker area 10B) easily and without time, without using a special transport equipment.
  • the troublesome operation of removing the hanging crane 30 from the track is not necessary, and a special transfer machine for transferring the hanging crane 30 is also unnecessary, so that the cost increase can be suppressed.
  • the predetermined area may be a maintenance area 10C.
  • the maintenance area 10C has a crane overhead track 20C and a plurality of maintenance devices MN.
  • the plurality of maintenance devices MN are disposed along the crane ceiling track 20C.
  • the suspension type crane 30 when the suspension type crane 30 is moved from the stocker area 10A to the maintenance area 10C, the suspension type crane 30 is moved from the stocker area 10A to the first inter-bay track 43 in the first bay as in the above embodiment. It is moved along the orbit 41 and the second inter-bay track 44, and is moved to the crane overhead track 20C via the second connection track 60B on the maintenance area 10C side.
  • the maintenance area 10C maintenance may be performed while holding the suspended crane 30 on the crane overhead track 20C, or maintenance may be performed by removing the suspended crane 30 from the crane overhead track 20C.
  • the hanging crane 30 may be maintained by the maintenance device MN, or may be maintained by another device or the like. When maintenance is performed by the maintenance device MN, for example, the maintenance may be performed automatically by the control device 80.
  • the suspension type crane 30 When moving the suspension type crane 30 from the maintenance area 10C to the stocker area 10A, the suspension type crane 30 is placed between the crane overhead track 20C, the second connection track 60B, and the second bay as in the above embodiment. It is moved along the track 44 and moved from the second in-bay orbit 42 to the stocker area 10A. As described above, the hanging crane 30 can be easily moved between the stocker area 10A and the maintenance area 10C, and the hanging crane 30 is removed from the crane overhead track 20 and transported during maintenance. It is possible to avoid bothersome and costly work.
  • the predetermined area 10D may have an initial loading section 90 of the hanging crane 30 and a crane storage unit 91 for storing a plurality of hanging cranes 30.
  • the storage unit 11 may be disposed instead of the maintenance device MN, or the crane storage unit 91 may be disposed.
  • the crane storage unit 91 causes the plurality of usable suspended cranes 30 to stand by.
  • the predetermined area 10D may store the suspended crane 30 whose maintenance has been completed.
  • the initial loading unit 90 is provided at an end of the crane ceiling track 20D installed in the predetermined area 10D.
  • the suspended crane 30 is held and lifted by a lifter or the like, and the crane traveling unit 31 is the crane overhead track
  • the suspension type crane 30 is introduced into the crane overhead track 20D by entering 20D.
  • the suspension type crane 30 introduced into the crane overhead track 20C moves along the second inter-bay track 44 from the crane overhead track 20C via the second connection track 60B, and in the same manner as the embodiment described above, By moving to the stocker area 10A from the side of the second in-bay orbit 42, it can be used in the stocker area 10A.
  • the predetermined area 10D includes the initial loading portion 90 of the hanging crane 30
  • the cranes in each stocker 10 The operation of attaching the hanging crane 30 to the ceiling track 20 becomes unnecessary, and the convenience can be improved.
  • the first in-bay orbit 41 is used and suspended from the predetermined area to the stocker area 10A.
  • the second in-bay orbit 42 is used when moving the crane 30, it is not limited to this configuration.
  • the second in-bay orbit 42 is used to move the hanging crane 30 from the predetermined area to the stocker area 10A.
  • the first in-bay orbit 41 may be used.
  • the same in-bay orbit is obtained by moving the hanging crane 30 from the stocker area 10A to a predetermined area (10B, 10C, 10D) or moving the hanging crane 30 from the predetermined area to the stocker area 10A.
  • You may use in addition, the contents of Japanese Patent Application No. 2017-128569, and all documents cited in the present specification, are incorporated as part of the description of the text as far as the laws and regulations permit.
  • first connecting track (consolidated Orbit) 60B Second connection track (connection track) 71a ⁇ ⁇ ⁇ wheels 71b ⁇ ⁇ ⁇ traveling unit main body 80 ⁇ ⁇ ⁇ control device 90 ⁇ ⁇ ⁇ initial input unit 100 ⁇ ⁇ ⁇ transport system

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Abstract

【課題】特別な搬送機材を用いることなく、懸垂式クレーンをストッカエリア内と所定エリアとの間で容易に移動させる。 【解決手段】クレーン用天井軌道２０と、保管部１１と受け渡しポート１２との間で物品２を搬送する懸垂式クレーン３０とを備えるストッカ１０と、ストッカエリア１０Ａ外に、受け渡しポート１２及び処理装置ＬＴのロードポートＬＰに沿って設けられてストッカエリア（所定エリア）１０Ｂまで延在する天井搬送車用天井軌道４０と、受け渡しポート１２とロードポートＬＰとの間で物品２を搬送する天井搬送車５０と、連結軌道６０Ａ、６０Ｂと、を備え、クレーン用走行部３１は、連結軌道６０Ａ、６０Ｂを介して、クレーン用天井軌道２０から天井搬送車用天井軌道４０に進入してストッカエリア１０Ｂまで走行可能である。

Description

搬送システム及び搬送方法
　本発明は、搬送システム及び搬送方法に関する。
　半導体製造工場等の製造工場では、半導体ウエハを収容するＦＯＵＰあるいはレチクルを収容するレチクルＰｏｄなどの物品を保管するストッカが配置されている。ストッカは、複数の保管棚と受け渡しポートとの間で物品を移載するためのクレーンを備えている。このクレーンとしては、天井に配置された軌道を走行する懸垂式クレーンが知られており、物品の移載効率を向上させるために、２種類の懸垂式クレーンが共通の軌道を走行する構成が提案されている（例えば、特許文献１参照）
国際公開第２０１６／１７８３４７号
　特許文献１に記載のストッカは、２種類の懸垂式クレーンが共通の軌道を走行するが、その走行範囲はストッカが配置された１つのストッカエリア内に留まっている。従って、この懸垂式クレーンを別のストッカエリアに移動させる場合、又はメンテナンスのために懸垂式クレーンをメンテナンスエリアに移動させる場合には、軌道から懸垂式クレーンを取り外して搬送する必要がある。ただし、軌道から懸垂式クレーンを取り外す作業は面倒で手間がかかり、作業者の負担が大きい。さらに、取り外した懸垂式クレーンを特別の搬送機材を用いて搬送するのでコストがかかるだけでなく、搬送に時間がかかるといった問題を有している。
　本発明は、特別な搬送機材を用いることなく、懸垂式クレーンをストッカエリア内と所定エリアとの間で容易に移動させることが可能な搬送システム及び搬送方法を提供することを目的とする。
　本発明に係る搬送システムは、上下方向に複数段設けられて物品を保管する保管部と、物品を受け渡すための受け渡しポートと、保管部及び受け渡しポートに沿って設けられたクレーン用天井軌道と、クレーン用天井軌道に沿って走行するクレーン用走行部、クレーン用走行部から下垂するマスト、及びマストにガイドされて昇降する物品移載部を有しかつ保管部と受け渡しポートとの間で物品を搬送する懸垂式クレーンと、を備え、ストッカエリア内に配置されるストッカと、ストッカエリアの外に設けられて、受け渡しポート及び処理装置のロードポートに沿って所定エリアまで延在する天井搬送車用天井軌道と、天井搬送車用天井軌道に沿って走行する搬送車用走行部、及び物品を保持して昇降する物品保持部を有しかつ受け渡しポートとロードポートとの間で物品を搬送する天井搬送車と、クレーン用天井軌道と天井搬送車用天井軌道とを連結する連結軌道と、を備え、クレーン用走行部は、クレーン用天井軌道から連結軌道を通って天井搬送車用天井軌道に進入し、天井搬送車用天井軌道を前記所定エリアまで走行可能であり、又は前記所定エリアから天井搬送車用天井軌道に進入して連結軌道まで走行し、連結軌道を通ってクレーン用天井軌道に進入して走行可能である。
　また、クレーン用天井軌道、天井搬送車用天井軌道、及び連結軌道は、クレーン用走行部が走行する方向と直交する断面形状が同一又はほぼ同一であってもよい。また、クレーン用走行部と搬送車用走行部とは、共通の車輪及び車輪が取り付けられる走行部本体を備えてもよい。また、天井搬送車は、停止状態から搬送車用走行部による走行を開始する際、物品保持部を最上位置まで上昇させた後、走行を開始してもよい。また、クレーン用天井軌道は、懸垂式クレーンのマストが通過し、作業者の進入が禁止される作業者進入禁止エリアの上方に設けられ、天井搬送車用天井軌道は、作業者の通行が許可される作業者通路の上方に設けられ、天井搬送車用天井軌道に懸垂式クレーンが進入する時に、マストが通過する作業者通路への作業者の進入が禁止されてもよい。また、所定エリアは、上記したストッカとは異なるストッカが配置された他のストッカエリアであってもよい。
　また、天井搬送車用天井軌道は、第１ベイ内周回軌道と、第２ベイ内周回軌道と、第１ベイ内周回軌道及び第２ベイ内周回軌道のそれぞれにおける一方の端部に連結された第１ベイ間軌道と、第１ベイ内周回軌道及び第２ベイ内周回軌道のそれぞれにおける他方の端部に連結された第２ベイ間軌道と、を備え、ストッカにおけるクレーン用天井軌道は、第１の連結軌道により第１ベイ間軌道に連結され、他のストッカにおけるクレーン用天井軌道は、第２の連結軌道により第２のベイ間軌道に連結されていてもよい。また、所定エリアは、メンテナンスエリアであってもよい。また、所定エリアは、懸垂式クレーンの初期投入部を含んでもよい。
　また、本発明に係る搬送方法は、上下方向に複数段設けられて物品を保管する保管部と、物品を受け渡すための受け渡しポートと、保管部及び受け渡しポートに沿って設けられたクレーン用天井軌道と、クレーン用天井軌道に沿って走行するクレーン用走行部、クレーン用走行部から下垂するマスト、及びマストにガイドされて昇降する物品移載部を有しかつ保管部と受け渡しポートとの間で物品を搬送する懸垂式クレーンと、を備え、ストッカエリア内に配置されるストッカと、ストッカエリアの外に設けられて、受け渡しポート及び処理装置のロードポートに沿って所定エリアまで延在する天井搬送車用天井軌道と、天井搬送車用天井軌道に沿って走行する搬送車用走行部、及び物品を保持して昇降する物品保持部を有しかつ受け渡しポートとロードポートとの間で物品を搬送する天井搬送車と、クレーン用天井軌道と天井搬送車用天井軌道とを連結する連結軌道と、を備える搬送システムにおける搬送方法であって、クレーン用走行部を、クレーン用天井軌道から連結軌道を通って天井搬送車用天井軌道に進入させ、天井搬送車用天井軌道を所定エリアまで走行させること、又は所定エリアから天井搬送車用天井軌道に進入して連結軌道まで走行させ、連結軌道を通ってクレーン用天井軌道に進入させて走行させること、を含む。
　本発明に係る搬送システム及び搬送方法によれば、通常はストッカエリア内のクレーン用天井軌道に沿って走行しつつ、ストッカエリア内で保管部と受け渡しポートとの間で物品を移載する懸垂式クレーンが、必要に応じて、連結軌道および天井搬送車用天井軌道を通ってストッカエリア外の所定エリアまで移動できる。この構成により、特別な搬送機材を用いることなく、懸垂式クレーンをストッカエリア内と所定エリアとの間で容易かつ時間をかけずに移動させることができ、軌道から懸垂式クレーンを取り外すといった面倒な作業が不要となり、さらに、取り外した懸垂式クレーンを搬送するための特別の搬送機材も不要となるのでコストの増加を抑制できる。
　また、クレーン用天井軌道、天井搬送車用天井軌道、及び連結軌道は、クレーン用走行部が走行する方向と直交する断面形状が同一又はほぼ同一である場合、これらの軌道を同一の規格とすることにより、軌道の設置を低コストで行うことができる。また、クレーン用走行部と搬送車用走行部とは、共通の車輪及び車輪が取り付けられる走行部本体を備える場合、懸垂式クレーン及び天井搬送車の走行部を同一の規格とすることで、クレーン用走行部及び搬送車用走行部を低コストで製造できる。また、天井搬送車が、停止状態から搬送車用走行部による走行を開始する際、物品保持部を最上位置まで上昇させた後、走行を開始する場合、天井搬送車の走行時に、天井搬送車の一部が、天井搬送車用天井軌道の下方の障害物と接触することを防止できる。また、クレーン用天井軌道が、上記した作業者進入禁止エリアの上方に設けられ、天井搬送車用軌道が、上記した作業者通路の上方に設けられ、天井搬送車用天井軌道に懸垂式クレーンが進入する時に、マストが通過する作業者通路への作業者の進入が禁止される場合、作業者の進入が禁止される作業者進入禁止エリア内で稼働していた懸垂式クレーンを、作業者の通行が許可される作業者通路上に設置された天井搬送車用天井軌道を介して適切に移動させることができる。
　また、所定エリアが、上記したストッカとは異なるストッカが配置された他のストッカエリアである場合、懸垂式クレーンを、ストッカエリア内と他のストッカエリア内との間で容易に移動させることができる。また、天井搬送車用天井軌道が、上記した第１ベイ内周回軌道と、第２ベイ内周回軌道と、第１ベイ間軌道と、第２ベイ間軌道と、を備え、ストッカにおけるクレーン用天井軌道が、第１の連結軌道により第１ベイ間軌道に連結され、他のストッカにおけるクレーン用天井軌道が、第２の連結軌道により第２のベイ間軌道に連結される場合、懸垂式クレーンを、第１及び第２ベイ内周回軌道並びに第１及び第２ベイ間軌道を介して、ストッカと他のストッカとの間で確実に移動させることができる。また、所定エリアが、メンテナンスエリアである場合、懸垂式クレーンを、ストッカエリア内とメンテナンスエリアとの間で容易に移動させることができる。また、所定エリアが、懸垂式クレーンの初期投入部を含む場合、懸垂式クレーンを、初期投入部から各ストッカエリア内に移動させることにより、各ストッカにおいてクレーン用天井軌道に懸垂式クレーンを取り付ける作業が不要となり、作業性を向上できる。
本実施形態に係る搬送システムの一例を示す平面図である。 図１においてストッカエリアを拡大して示す平面図である。 図１において所定エリアを拡大して示す平面図である。 懸垂式クレーンの一例を示す図である。 天井搬送車の一例を示す図である。 クレーン用走行部及び搬送車用走行部の一例を示す図である。 懸垂式クレーンをストッカエリアから所定エリアに移動させる際の移動経路の一例を示す図である。 図７に続いて、懸垂式クレーンをストッカエリアから所定エリアに移動させる際の移動経路の一例を示す図である。 図８に続いて、懸垂式クレーンをストッカエリアから所定エリアに移動させる際の移動経路の一例を示す図である。 図９に続いて、懸垂式クレーンをストッカエリアから所定エリアに移動させる際の移動経路の一例を示す図である。 所定エリアがメンテナンスエリアである一例を示す平面図である。 初期投入部を含む所定エリアの一例を示す平面図である。
　以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。ただし、本発明はこの実施形態に限定されない。また、図面においては実施形態を説明するため、一部分を大きくまたは強調して記載するなど適宜縮尺を変更して表している。
　図１は、本実施形態に係る搬送システム１００の一例を示す平面図である。図１に示す搬送システム１００は、例えば、半導体デバイスの製造工場等に設置されており、半導体デバイスの製造に用いられる半導体ウエハを収容したＦＯＵＰ、あるいはレチクルなどを収容したレチクルポッドなどの物品２を搬送する。ここでは、物品２がＦＯＵＰであるとして説明するが、物品２は、ＦＯＵＰ以外であってもよい。また、搬送システム１００は、半導体製造分野以外の設備に適用可能であり、物品２は、搬送システム１００が設置される設備で扱われる各種の物品でもよい。
　搬送システム１００は、図１に示すように、ストッカ１０と、天井搬送車用天井軌道４０と、天井搬送車５０と、第１及び第２の連結軌道６０Ａ、６０Ｂと、制御装置８０と、を有する。ストッカ１０は、ストッカエリア１０Ａ及び他のストッカエリア（所定エリア）１０Ｂ内に配置される。図２は、ストッカエリア１０Ａの一例を示す図である。図２に示すように、ストッカ１０は、保管部１１と、受け渡しポート１２と、クレーン用天井軌道２０と、懸垂式クレーン３０と、を備える。
　保管部１１は、上下方向に複数段設けられ、かつ懸垂式クレーン３０の移動方向に沿った左右方向に並べた状態で物品２を保管する。保管部１１は、物品２を載置可能な棚部等が用いられる。物品２を載置する棚部には、物品２の底面に設けられた溝部に入り込む複数のピンが設けられてもよい。このピンが物品２の溝部に入り込むことにより、棚部に対して物品２が位置決めされる。複数の保管部１１は、各ストッカエリア１０Ａ、１０Ｂにおいて、３箇所に配置されるが、この構成に限定されず、保管部１１の数は任意である。受け渡しポート１２は、天井搬送車５０等との間で物品２の受け渡しを行う場所として設けられる。受け渡しポート１２は、ストッカエリア１０Ａにおいて複数設けられている。クレーン用天井軌道２０は、保管部１１及び受け渡しポート１２に沿って設けられる。クレーン用天井軌道２０は、懸垂式クレーン３０の稼働中は作業者の進入が禁止される作業者進入禁止エリア１０Ｆの上方に設けられる。さらに、懸垂式クレーン３０の稼働中は、ストッカエリア１０Ａ、１０Ｂ全体に対する作業者の進入が禁止されてもよい。
　図３は、所定エリアの一例を示す図である。図３に示す所定エリアは、ストッカエリア１０Ａとは別に配置された他のストッカエリア１０Ｂである。図３に示すように、本実施形態において、ストッカエリア１０Ｂは、上記のストッカエリア１０Ａと同様の構成となっているが、他の構成であってもよい。ストッカエリア１０Ｂには、ストッカ１０が配置される。ストッカ１０は、ストッカエリア１０Ａと同様に、複数の保管部１１と、複数の受け渡しポート１２と、クレーン用天井軌道２０と、懸垂式クレーン３０とを備える。
　懸垂式クレーン３０は、保管部１１と受け渡しポート１２との間で物品２を搬送する。また、懸垂式クレーン３０は、保管部１１内において物品２を現在の棚部から別の棚部への移載も行う。図４は、懸垂式クレーン３０の一例を示す図である。図４に示すように、懸垂式クレーン３０は、クレーン用走行部３１と、マスト３２と、物品移載部３４と、を備える。物品移載部３４は、昇降台３３と、昇降駆動部３５と、を備える。クレーン用走行部３１は、不図示の走行駆動部及び複数の車輪７１ａ（図６参照）を備え、クレーン用天井軌道２０に沿って走行する。走行駆動部は、例えば、クレーン用走行部３１に備えられて車輪７１ａを駆動する電動モータであってもよいし、クレーン用天井軌道２０を用いて設けられたリニアモータであってもよい。
　マスト３２は、クレーン用走行部３１から下垂して上下方向に延在しており、昇降台３３を案内する。マスト３２は、中空又は中実の棒状に形成され、断面が円形状、楕円形状、長円形状、又は四角形状等の多角形状に形成される。マスト３２の下端は、床面から所定間隔を空けた状態に設定される。図４において、クレーン用走行部３１の下方に取付部３６を介して上部支持体３７が取り付けられている。マスト３２は、上部支持体３７の下面側に取り付けられており、クレーン用走行部３１から吊り下げられた状態となっている。上部支持体３７へのマスト３２の取り付けは、例えば、ボルト及びナットなどの締結部材が用いられてもよいし、溶接などが用いられてもよい。なお、マスト３２は、１本であってもよいし、例えば、クレーン用走行部３１の走行方向の前後にそれぞれ設けられてもよい。
　昇降台３３は、上面に物品移載部３４が搭載されており、マスト３２に沿って昇降可能である。昇降台３３は、マスト３２を挟んで配置されたガイドローラー３３ａを備えており、マスト３２に沿った昇降動作を円滑に行っている。また、マスト３２の下部には下部支持体３２ａが取り付けられており、昇降台３３は、この下部支持体３２ａ上に当接する位置まで下降可能である。なお、下部支持体３２ａは、昇降台３３がマスト３２から下方に抜け落ちるのを防止している。
　物品移載部３４は、昇降台３３に搭載され、マスト３２にガイドされて昇降する。物品移載部３４は、クレーン用走行部３１の走行方向と直交する方向に伸縮可能なアーム部３８と、アーム部３８の先端に設けられて物品２を載置可能な載置部３９と、を備えている。物品移載部３４は、物品２を受け取る際、アーム部３８を伸ばして載置部３９を物品２の下に配置させ、昇降台３３を上昇させることによって、載置部３９で物品２をすくい上げる。なお、保管部１１には、載置部３９を上下に通過可能な不図示の切り欠き部が設けられている。続いて、物品移載部３４は、載置部３９上に物品２を載置したままアーム部３８を縮めることにより、物品２を載置した載置部３９を昇降台３３の上に配置する。
　また、物品移載部３４は、移載先へ物品２を渡す際、移載先の上方にアーム部３８を伸ばして、載置部３９を移載先の上方に配置する。続いて、昇降台３３を下降させることによって、載置部３９が上記した保管部１１の切り欠き部を通過し、その際に物品２が載置部３９から移載先へ渡される。また、物品移載部３４は、載置部３９に物品２を載置する構成に代えて、物品２のフランジ部２ａを把持する構成であってもよいし、物品２の側面を把持する構成であってもよい。
　昇降駆動部３５は、例えば、ホイストなどが用いられ、マスト３２に沿って昇降台３３を昇降させる。昇降駆動部３５は、吊り下げ部材３５ａおよび駆動部３５ｂを備える。吊り下げ部材３５ａは、例えば、ベルトあるいはワイヤなどであり、昇降台３３は、この吊り下げ部材３５ａによって上部支持体３７から吊り下げられている。駆動部３５ｂは、上部支持体３７に設けられ、吊り下げ部材３５ａの繰り出し、巻き取りを行う。昇降台３３は、駆動部３５ｂが吊り下げ部材を繰り出すと、マスト３２に案内されて降下する。また、昇降台３３は、駆動部３５ｂが吊り下げ部材３５ａを巻き取ると、マスト３２に案内されて上昇する。駆動部３５ｂは、制御装置８０等に制御され、所定の速度で昇降台３３を降下あるいは上昇させる。また、駆動部３５ｂは、制御装置８０等に制御され、昇降台３３を目標の高さに保持する。
　昇降駆動部３５は、上部支持体３７（クレーン用走行部３１）に設けられるが、この構成に限定されない。昇降駆動部３５は、例えば、昇降台３３に設けられてもよい。昇降台３３に昇降駆動部３５が設けられる構成としては、例えば、上部支持体３７から吊り下げたベルトあるいはワイヤなどを昇降台３３に搭載したホイストなどにより巻き上げまたは繰り出しを行って昇降台３３を昇降させてもよい。また、昇降台３３にピニオンギアを駆動する電動モータ等が搭載され、このピニオンギアが噛み合うラックがマスト３２に形成され、電動モータ等を駆動してピニオンギアを回転させることにより昇降台３３を昇降させてもよい。
　図１から図３に示すように、天井搬送車用天井軌道４０は、ストッカエリア１０Ａ外に配置される。天井搬送車用天井軌道４０は、処理装置ＴＬのロードポートＬＰに沿って設けられ、ストッカエリア（所定エリア）１０Ｂまで延在する。天井搬送車用天井軌道４０は、懸垂式クレーン３０の乗り入れ時を除いて天井搬送車５０の稼働中に作業者の通行が許可される作業者通路１０Ｇの上方に設けられる。また、天井搬送車用天井軌道４０は、懸垂式クレーン３０のクレーン用走行部３１が走行可能である。この構成により、作業者の進入が禁止される作業者進入禁止エリア１０Ｆ内で稼働していた懸垂式クレーン３０を、作業者の通行が許可される作業者通路１０Ｇ上に設置された天井搬送車用天井軌道４０を介して適切に移動させることができる。
　天井搬送車用天井軌道４０は、第１ベイ内周回軌道４１と、第２ベイ内周回軌道４２と、第１ベイ間軌道４３と、第２ベイ間軌道４４とを備える。第１ベイ内周回軌道４１及び第２ベイ内周回軌道４２は、ストッカエリア１０Ａ及びストッカエリア１０Ｂの分だけ離間して配置され、互いに平行に並んだ状態となっている。なお、ストッカエリア１０Ａ、１０Ｂの外周をそれぞれ取り囲むように不図示の壁部が設けられている。この壁部により、ストッカエリア１０Ａ、１０Ｂの内外が区画されており、懸垂式クレーン３０の稼働時には、ストッカエリア１０Ａ、１０Ｂ内への作業者の進入が禁止される。なお、懸垂式クレーン３０がストッカエリア１０Ａ、１０Ｂから所定エリアに移動する際は、ストッカエリア１０Ａ、１０Ｂから懸垂式クレーン３０が外に出られるように、連絡軌道４１ｃ、４２ｃに対応する壁部の一部が取り外される。
　第１ベイ内周回軌道４１は、外周り軌道４１ａ及び内回り軌道４１ｂを有する。外回り軌道４１ａは、環状に形成され、長手方向の両端において、後述の第１ベイ間軌道４３及び第２ベイ間軌道４４に接続される。外回り軌道４１ａは、平面視において、ストッカエリア１０Ａ、１０Ｂにおける受け渡しポート１２の側方を通過する。外回り軌道４１ａを走行する天井搬送車５０は、受け渡しポート１２に対して物品２の受け渡しが可能である。外周り軌道４１ａは、処理装置ＴＬのロードポートＬＰの直上に配置されている。内回り軌道４１ｂは、環状に形成され、外回り軌道４１ａの内側に配置される。
　第２ベイ内周回軌道４２は、外回り軌道４２ａ及び内回り軌道４２ｂを有する。外回り軌道４２ａは、環状に形成され、長手方向の両端において、後述の第１ベイ間軌道４３及び第２ベイ間軌道４４に接続される。外回り軌道４２ａは、平面視において、ストッカエリア１０Ａ、１０Ｂにおける受け渡しポート１２の側方を通過する。ただし、この受け渡しポート１２は、第１ベイ内周回軌道４１の外回り軌道４１ａに対応する受け渡しポート１２と異なる受け渡しポート１２である。外回り軌道４２ａを走行する天井搬送車５０は、受け渡しポート１２に対して物品２の受け渡しが可能である。外周り軌道４２ａは、処理装置ＴＬのロードポートＬＰの直上に配置されている。内回り軌道４２ｂは、環状に形成され、外回り軌道４２ａの内側に配置される。なお、内回り軌道４１ｂ、４２ｂは、平面視において、ロードポートＬＰの直上からずれた位置に設けられている。この構成により、懸垂式クレーン３０は、後述するストッカエリア１０Ａから所定エリアへの移動時に、クレーン用走行部３１から下垂するマスト３２がロードポートＬＰと干渉することなく走行可能となっている。
　内回り軌道４１ｂは、連絡軌道４１ｃを介して外回り軌道４１ａに接続される。また、内回り軌道４２ｂは、連絡軌道４２ｃを介して外回り軌道４２ａに接続される。なお、外周り軌道４１ａ、４２ａと内回り軌道４１ｂ、４２ｂとの間には、それぞれ外周り軌道４１ａ、４２ａ等に沿って複数のバッファＳＴが配置される。バッファＳＴは、例えば、物品２を載置可能な棚部を有しており、建屋の天井から吊り下げられた状態で設けられている。なお、バッファＳＴを配置するか否かは任意であり、バッファＳＴはなくてもよい。
　第１ベイ間軌道４３は、第１ベイ内周回軌道４１及び第２ベイ内周回軌道４２のそれぞれにおける一方の端部に連結される。第２ベイ間軌道４４は、第１ベイ内周回軌道４１及び第２ベイ内周回軌道４２のそれぞれにおける一方の端部に連結される。第１ベイ間軌道４３及び第２ベイ間軌道４４は、それぞれ直線状の２本の軌道が並行して延びており、２本の軌道の間には複数の連絡軌道が設けられている。
　天井搬送車５０は、天井搬送車用天井軌道４０に沿って移動し、物品２を処理装置ＴＬのロードポートＬＰと、ストッカエリア１０Ａ、１０Ｂの受け渡しポート１２との間で物品２の受け渡しを行う。また、天井搬送車５０は、ロードポートＬＰ及び受け渡しポート１２に加えて、天井搬送車用天井軌道４０（外周り軌道４１ａ、４２ａ等）に沿って設けられたバッファＳＴと、の間で物品２の移載を行う。処理装置ＴＬは、例えば、露光装置、コータディベロッパ、製膜装置、あるいはエッチング装置などであり、搬送システム１００が搬送する物品２に収容された半導体ウエハに各種処理を施す。
　図５は、天井搬送車５０の一例を示す図である。図５に示すように、天井搬送車５０は、搬送車用走行部５１と、本体部５２とを有する。搬送車用走行部５１は、クレーン用走行部３１と同様に、不図示の走行駆動部及び複数の車輪７１ａ（図６参照）を備え、天井搬送車用天井軌道４０に沿って走行する。走行駆動部は、例えば、搬送車用走行部５１に備えられて車輪７１ａを駆動する電動モータであってもよいし、天井搬送車用天井軌道４０を用いて設けられたリニアモータであってもよい。
　本体部５２は、取付部５２ａを介して搬送車用走行部５１の下部に取り付けられている。本体部５２は、物品２を吊り下げて保持する物品保持部５３と、物品保持部５３を鉛直方向に昇降させる昇降駆動部５４と、昇降駆動部５４を移動させる横出し機構５５とを有する。物品保持部５３は、物品２のフランジ部２ａを把持することにより、物品２を吊り下げて保持する。物品保持部５３は、例えば、水平方向に移動可能な爪部５３ａを有するチャックであり、爪部５３ａを物品２のフランジ部の下方に侵入させ、物品保持部５３を上昇させることで、物品２を保持する。物品保持部５３は、ワイヤあるいはベルトなどの吊り下げ部材５３ｂと接続されている。このように、天井搬送車５０には、懸垂式クレーン３０のマスト３２のように昇降をガイドする構成は設けられない。従って、物品保持部５３は、本体部５２に対して揺動可能な状態となっている。
　昇降駆動部５４は、例えばホイストであり、吊り下げ部材５３ｂを繰り出すことにより物品保持部５３を降下させ、吊り下げ部材５３ｂを巻き取ることにより物品保持部５３を上昇させる。昇降駆動部５４は、制御装置８０等に制御され、所定の速度で物品保持部５３を降下あるいは上昇させる。また、昇降駆動部５４は、制御装置８０等に制御され、物品保持部５３を目標の高さに保持する。天井搬送車５０は、停止状態から搬送車用走行部５１による走行を開始する際、昇降駆動部５４により物品保持部５３を最上位置まで上昇させた後、走行を開始する。このため、天井搬送車５０の走行時に、天井搬送車５０の一部が、天井搬送車用天井軌道４０の下方の障害物と接触することを防止できる。
　横出し機構５５は、例えば上下方向に重ねて配置された可動板を有する。可動板は、搬送車用走行部５１の走行方向の側方に移動可能である。可動板には、回動部及び昇降駆動部５４が取り付けられている。本体部５２は、横出し機構５５を案内する不図示のガイド、及び横出し機構５５を駆動する不図示の駆動部などを有する。横出し機構５５は、電動モータ等の駆動部からの駆動力によって、昇降駆動部５４及び物品保持部５３をガイドに沿って、突出位置と格納位置との間で移動させる。突出位置は、本体部５２から側方に突出する位置である。格納位置は、本体部５２内に格納される位置である。
　回動部は、不図示の回動部材及び回動駆動部を有する。回動部材は、上下方向の軸周りに回動可能に設けられる。回動部材は、昇降駆動部５４あるいは物品保持部５３に接続される。回動駆動部は、電動モータ等が用いられ、回動部材を上下方向の軸周りに回動させる。回動部は、回動駆動部からの駆動力によって回動軸を回動し、昇降駆動部５４あるいは物品保持部５３を上下方向の軸周りに回動可能である。この回動部によって物品保持部５３で保持する物品２の向きを変えることができる。なお、天井搬送車５０は回動部を備えなくてもよい。
　図６は、クレーン用走行部３１及び搬送車用走行部５１の一例を示す図である。クレーン用走行部３１及び搬送車用走行部５１は、例えば、共通の（同一又はほぼ同一の）構成が採用されている。また、クレーン用天井軌道２０及び天井搬送車用天井軌道４０は、走行方向に直交する平面による断面が同一又はほぼ同一であり、クレーン用走行部３１及び搬送車用走行部５１のいずれも走行可能となっている。このように、クレーン用走行部３１及び搬送車用走行部５１が共通の構成であるため、クレーン用走行部３１と搬送車用走行部５１とを別の構成で製造する必要がなく、懸垂式クレーン３０及び天井搬送車５０の製造コストを低減できる。なお、クレーン用走行部３１は、１台の懸垂式クレーン３０で複数台（例えば２台）を用いてもよい。この構成により、重量物である載置部３９及び物品２などを、マスト３２を介して適切に保持することができる。
　クレーン用走行部３１及び搬送車用走行部５１は、共通の車輪７１ａ及び車輪７１ａが取り付けられる走行部本体７１ｂを備えている。複数の車輪７１ａは、それぞれクレーン用天井軌道２０又は天井搬送車用天井軌道４０の下方の内面に当接する。複数の車輪７１ａが取り付けられる走行部本体７１ｂは、車輪７１ａ駆動するための走行駆動部、又は各種センサを備えている。クレーン用天井軌道２０及び天井搬送車用天井軌道４０は給電部７０を備えている。給電部７０は、給電レール７５と、給電レール７５に設けられた非接触給電線７６とを有している。給電部７０は、クレーン用天井軌道２０及び天井搬送車用天井軌道４０の下方に配置され、クレーン用天井軌道２０及び天井搬送車用天井軌道４０に沿って連続的に又は断続的に設けられている。また、懸垂式クレーン３０の取付部３６及び天井搬送車５０の取付部５２ａには、受電部７３が設けられている。受電部７３は、非接触給電線７６を介して受電し、走行部本体７１ｂなどに電力を供給する。
　図１に示すように、制御装置８０は、搬送システム１００を統括して制御する。制御装置８０は、無線又は有線による通信により懸垂式クレーン３０及び天井搬送車５０の動作を制御する。なお、制御装置８０は、懸垂式クレーン３０を制御する制御装置と、天井搬送車５０を制御する制御装置に分割されてもよい。また、懸垂式クレーン３０用の制御装置は、ストッカエリア１０Ａごとに分割されて配置されてもよいし、複数のストッカエリア１０Ａ、１０Ｂをまとめて制御してもよい。また、天井搬送車５０を制御する制御装置は、所定エリア内を走行する複数の天井搬送車５０を制御してもよい。
　図１から図３に示すように、第１の連結軌道６０Ａは、ストッカエリア１０Ａのクレーン用天井軌道２０と、天井搬送車用天井軌道４０の第１ベイ間軌道４３とを連結する。また、第２の連結軌道６０Ｂは、ストッカエリア１０Ｂのクレーン用天井軌道２０と、天井搬送車用天井軌道４０の第２ベイ間軌道４４とを連結する。第１及び第２の連結軌道６０Ａ、６０Ｂは、クレーン用走行部３１が走行可能である。懸垂式クレーン３０のクレーン用走行部３１は、第１の連結軌道６０Ａを介して、クレーン用天井軌道２０から天井搬送車用天井軌道４０に進入して、他のストッカエリア１０Ｂまで走行可能である。また、クレーン用走行部３１は、第２の連結軌道６０Ｂを介して、天井搬送車用天井軌道４０からクレーン用天井軌道２０に進入して走行可能である。
　第１及び第２の連結軌道６０Ａ、６０Ｂは、搬送車用走行部５１が走行可能であってもよい。なお、第１及び第２の連結軌道６０Ａ、６０Ｂは、クレーン用走行部３１の走行方向に直交する平面による断面がクレーン用天井軌道２０及び天井搬送車用天井軌道４０と同一又はほぼ同一である（図６参照）。従って、クレーン用走行部３１又は搬送車用走行部５１は、第１及び第２の連結軌道６０Ａ、６０Ｂを支障なく走行可能である。このように、これらの軌道を同一の断面形状とすることにより、軌道の規格化を実現でき、軌道の設置を低コストで行うことができる。
　上記した搬送システム１００において、懸垂式クレーン３０は、ストッカエリア１０Ａ又はストッカエリア１０Ｂ内において、クレーン用天井軌道２０に沿って走行し、保管部１１と、受け渡しポート１２との間で物品２を搬送する。例えば、懸垂式クレーン３０は、保管部１１に保管された物品２を物品移載部３４（図４参照）によって受け取り、クレーン用天井軌道２０に沿って受け渡しポート１２まで走行し、物品２を受け渡しポート１２に載置することができる。また、天井搬送車５０により受け渡しポート１２に物品２が載置された場合、懸垂式クレーン３０は、クレーン用天井軌道２０に沿って受け渡しポート１２まで走行し、物品移載部３４によって物品２を受け取った後、クレーン用天井軌道２０に沿って移載先の保管部１１まで走行し、物品移載部３４によって物品２を保管部１１に載置することができる。
　また、搬送システム１００において、天井搬送車５０は、懸垂式クレーン３０によって受け渡しポート１２に物品２が載置された場合、天井搬送車用天井軌道４０に沿ってストッカエリア１０Ａの受け渡しポート１２まで走行する。その後、物品２を物品保持部５３（図５参照）で保持し、天井搬送車用天井軌道４０を走行することにより、他のストッカエリア１０Ｂの受け渡しポート１２、処理装置ＬＴのロードポートＬＰ、又はバッファＳＴまで物品２を搬送し、それぞれに対して物品２を載置することができる。また、天井搬送車５０は、他のストッカエリア１０Ｂの受け渡しポート１２、処理装置ＬＴのロードポートＬＰ、又はバッファＳＴから物品２を受け取った場合、天井搬送車用天井軌道４０に沿ってストッカエリア１０Ａの受け渡しポート１２まで走行し、受け渡しポート１２に物品２を載置することができる。
　天井搬送車５０が第１ベイ内周回軌道４１を走行する場合、外回り軌道４１ａに位置する天井搬送車５０が、受け渡しポート１２に対する物品２の受け渡しを行うことができる。天井搬送車５０は、受け渡しポート１２に対する物品２の受け渡しにおいて、横出し機構５５により昇降駆動部５４を外回り軌道４１ａの側方に突出させた状態で物品保持部５３を昇降させる（図５参照）。また、外回り軌道４１ａに位置する天井搬送車５０が、処理装置ＬＴのロードポートＬＰに対する物品２の受け渡しを行うことができる。天井搬送車５０は、ロードポートＬＰに対する物品２の受け渡しにおいて、横出し機構５５を駆動せず又はほぼ駆動せずに物品保持部５３を昇降させる（図５参照）。
　また、外回り軌道４１ａ又は内回り軌道４１ｂに位置する天井搬送車５０が、バッファＳＴに対する物品２の受け渡しを行うことができる。天井搬送車５０は、バッファＳＴに対する物品２の受け渡しにおいて、横出し機構５５により昇降駆動部５４を外回り軌道４１ａ又は内回り軌道４１ｂ軌道の側方に突出させた状態で物品保持部５３を昇降させる。バッファＳＴに対する物品２の受け渡しは、外回り軌道４１ａ又は内回り軌道４１ｂのいずれからも可能であり、天井搬送車５０は、横出し機構５５による突出方向を変えることにより対応可能である（図５参照）。なお、バッファＳＴに対する物品２の受け渡しを、外回り軌道４１ａ又は内回り軌道４１ｂのいずれかに限定してもよい。
　図７から図１０は、懸垂式クレーン３０をストッカエリア１０Ａから所定エリアであるストッカエリア１０Ｂに移動させる際の移動経路の一例を示す図である。本実施形態において、懸垂式クレーン３０をストッカエリア１０Ａから他のストッカエリア（所定エリア）１０Ｂに移動させる場合、クレーン用天井軌道２０から懸垂式クレーン３０を取り外す必要がなく、第１及び第２の連結軌道６０Ａ、６０Ｂ及び天井搬送車用天井軌道４０に沿って移動させることができる。この場合、懸垂式クレーン３０を作業者等による手動で移動させてもよいし、制御装置８０（図１参照）により自動で移動させてもよい。
　図７に示すように、懸垂式クレーン３０は、ストッカエリア１０Ａ内のクレーン用天井軌道２０に存在している。先ず、懸垂式クレーン３０を、クレーン用天井軌道２０から第１の連結軌道６０Ａを介して第１ベイ間軌道４３に移動させる（図７の矢印参照）。この移動により、懸垂式クレーン３０は、ストッカエリア１０Ａ内からストッカエリア１０Ａ外に移動する。なお、懸垂式クレーン３０が天井搬送車用天井軌道４０を走行して他のエリアまで移動する際、懸垂式クレーン３０の移動経路から、マスト３２（図４参照）と干渉する機材等は退避させられる。また、クレーン用天井軌道２０及び第１の連結軌道６０Ａは、上記したように、それぞれ断面形状が同一であるため、懸垂式クレーン３０のクレーン用走行部３１がクレーン用天井軌道２０から第１の連結軌道６０Ａに支障なく進入可能である。
　次に、図８に示すように、懸垂式クレーン３０を、第１ベイ間軌道４３から第１ベイ内周回軌道４１の外回り軌道４１ａに移動させ、連絡軌道４１ｃを介して内回り軌道４１ｂに移動させる（図８の矢印参照）。外回り軌道４１ａは、処理装置ＴＬのロードポートＬＰの直上に配置されているため、懸垂式クレーン３０がそのまま外回り軌道４１ａを走行すると、マスト３２がロードポートＬＰに接触する可能性がある。そのため、懸垂式クレーン３０は、外回り軌道４１ａから内回り軌道４１ｂに移って移動する。その後、懸垂式クレーン３０を、内回り軌道４１ｂに沿ってストッカエリア１０Ｂに向けて移動させる。
　クレーン用走行部３１が内回り軌道４１ｂ（天井搬送車用天井軌道４０）を走行する場合、懸垂式クレーン３０のマスト３２が作業者通路１０Ｇ上を通過することになる。このとき、作業者通路１０Ｇへの作業者等の進入が禁止され、作業者等が作業者通路１０Ｇに立ち入らないように、懸垂式クレーン３０あるいは作業者通路１０Ｇの近傍に設置されたスピーカから警報等を発してもよいし、作業者通路１０Ｇの近傍に設置されたランプ等を点灯又は点滅させてもよい。
　次に、図９に示すように、懸垂式クレーン３０を、内回り軌道４１ｂの端部側まで移動させ、内回り軌道４１ｂから連絡軌道４１ｃを介して外回り軌道４１ａに移動させる。続いて、懸垂式クレーン３０を、外回り軌道４１ａから第２ベイ間軌道４４に移動させ、第２ベイ間軌道４４をストッカエリア１０Ｂ側に移動させる（図９の矢印参照）。
　次に、図１０に示すように、懸垂式クレーン３０を第２ベイ間軌道４４に沿って第２の連結軌道６０Ｂまで移動させ、第２の連結軌道６０Ｂを介してストッカエリア１０Ｂ内のクレーン用天井軌道２０に移動させる（図９の矢印参照）。第２ベイ間軌道４４、第２の連結軌道６０Ｂ及びクレーン用天井軌道２０は、それぞれ断面形状が同一であるため、懸垂式クレーン３０のクレーン用走行部３１が第２ベイ間軌道４４から第２の連結軌道６０Ｂを介してクレーン用天井軌道２０に支障なく進入可能である。
　懸垂式クレーン３０は、ストッカエリア１０Ｂに設置されているストッカ１０の一部を構成し、ストッカエリア１０Ｂ内の保管部１１と受け渡しポート１２との間で物品２の受け渡しを行うことができる。なお、懸垂式クレーン３０の移動において、現在の軌道から次の軌道に乗り移る際、又は曲線状に移動する際には移動速度を遅くして、下垂するマスト３２が振動又は遠心力等により外側に振れるのを防止してもよい。
　また、懸垂式クレーン３０は、ストッカエリア１０Ｂからストッカエリア１０Ａに移動する場合、上記と同様に、先ず、ストッカエリア１０Ｂ内のクレーン用天井軌道２０Ｃから第２の連結軌道６０Ｂを介して第２ベイ間軌道４４に移動する。続いて、懸垂式クレーン３０は、第２ベイ内周回軌道４２の外回り軌道４２ａに移動し、連絡軌道４２ｃを介して内回り軌道４２ｂに移動する。続いて、懸垂式クレーン３０は、第１ベイ間軌道４３側の連絡軌道４２ｃから外回り軌道４２ａに移動し、外回り軌道４２ａから第１ベイ間軌道４３に移動し、第１ベイ間軌道４３から第１の連結軌道６０Ａを介してストッカエリア１０Ａ内のクレーン用天井軌道２０に移動する。
　以上のように、本実施形態に係る搬送システム１００によれば、通常はストッカエリア１０Ａ内のクレーン用天井軌道２０に沿って走行しつつ、ストッカエリア１０Ａ内で保管部１１と受け渡しポート１２との間で物品を移載する懸垂式クレーン３０が、必要に応じて、第１及び第２の連結軌道６０Ａ、６０Ｂおよび天井搬送車用天井軌道４０を介してストッカエリア１０Ａ外の所定エリア（ストッカエリア１０Ｂ）まで移動できる。この構成により、特別な搬送機材を用いることなく、懸垂式クレーン３０をストッカエリア１０Ａ内と所定エリア（ストッカエリア１０Ｂ）との間で容易かつ時間をかけずに移動させることができる。その結果、軌道から懸垂式クレーン３０を取り外すといった面倒な作業が不要となり、さらに、取り外した懸垂式クレーン３０を搬送するための特別の搬送機材も不要となるのでコストの増加を抑制できる。
　上記した実施形態では、所定エリアが他のストッカエリア１０Ｂである場合を例に挙げて説明したが、この構成に限定されない。図１１及び図１２は、所定エリアの他の例を示す図である。以下の説明において、上記した実施形態と同一または同等の構成部分については同一符号を付けて説明を省略または簡略化する。図１１に示すように、所定エリアは、メンテナンスエリア１０Ｃであってもよい。メンテナンスエリア１０Ｃは、クレーン用天井軌道２０Ｃと、複数のメンテナンス装置ＭＮとを有している。複数のメンテナンス装置ＭＮは、クレーン用天井軌道２０Ｃに沿って配置される。
　この構成では、懸垂式クレーン３０をストッカエリア１０Ａからメンテナンスエリア１０Ｃに移動させる場合、上記した実施形態と同様に、懸垂式クレーン３０を、ストッカエリア１０Ａから第１ベイ間軌道４３、第１ベイ内周回軌道４１、及び第２ベイ間軌道４４に沿って移動させ、メンテナンスエリア１０Ｃ側の第２の連結軌道６０Ｂを介してクレーン用天井軌道２０Ｃに移動させる。メンテナンスエリア１０Ｃでは、懸垂式クレーン３０をクレーン用天井軌道２０Ｃに保持させたままでメンテナンスを行ってもよいし、クレーン用天井軌道２０Ｃから懸垂式クレーン３０を取り外してメンテナンスを行ってもよい。また、懸垂式クレーン３０をメンテナンス装置ＭＮによりメンテナンスを行ってもよいし、他の器具等によりメンテナンスを行ってもよい。メンテナンス装置ＭＮによってメンテナンスを行う場合、例えば、制御装置８０によって自動で行ってもよい。
　懸垂式クレーン３０をメンテナンスエリア１０Ｃからストッカエリア１０Ａに移動させる場合は、上記した実施形態と同様に、懸垂式クレーン３０を、クレーン用天井軌道２０Ｃ、第２の連結軌道６０Ｂ、及び第２ベイ間軌道４４に沿って移動させ、第２ベイ内周回軌道４２側からストッカエリア１０Ａに移動させる。このように、懸垂式クレーン３０を、ストッカエリア１０Ａ内とメンテナンスエリア１０Ｃとの間で容易に移動させることができ、メンテナンスの際に懸垂式クレーン３０をクレーン用天井軌道２０から取り外して搬送するといった面倒かつコストがかかる作業を回避できる。
　また、図１２に示すように、所定エリア１０Ｄは、懸垂式クレーン３０の初期投入部９０と、複数の懸垂式クレーン３０を保管するクレーン保管部９１とを有してもよい。なお、所定エリア１０Ｄには、メンテナンス装置ＭＮが配置されているが、メンテナンス装置ＭＮに代えて、保管部１１が配置されてもよいし、クレーン保管部９１が配置されてもよい。クレーン保管部９１は、使用可能な複数の懸垂式クレーン３０を待機させる。所定エリア１０Ｄは、メンテナンスが終了した懸垂式クレーン３０を保管してもよい。
　初期投入部９０は、所定エリア１０Ｄに設置されたクレーン用天井軌道２０Ｄの端部に設けられ、例えば、リフター等によって懸垂式クレーン３０を保持して持ち上げ、クレーン用走行部３１をクレーン用天井軌道２０Ｄに進入させることにより懸垂式クレーン３０をクレーン用天井軌道２０Ｄに投入する。クレーン用天井軌道２０Ｃに投入された懸垂式クレーン３０は、クレーン用天井軌道２０Ｃから第２の連結軌道６０Ｂを介して第２ベイ間軌道４４に沿って移動し、上記した実施形態と同様に、第２ベイ内周回軌道４２側からストッカエリア１０Ａに移動することで、ストッカエリア１０Ａにおいて用いることができる。
　このように、所定エリア１０Ｄが、懸垂式クレーン３０の初期投入部９０を含む場合、懸垂式クレーン３０を、初期投入部９０から各ストッカエリア１０Ａ内に移動させることにより、各ストッカ１０においてクレーン用天井軌道２０に懸垂式クレーン３０を取り付けるといった作業が不要となり、利便性を向上できる。
　以上、実施形態について説明したが、本発明は、上述した説明に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。例えば、上記した実施形態では、ストッカエリア１０Ａから所定エリア（１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄ）に懸垂式クレーン３０を移動させる場合に第１ベイ内周回軌道４１を使用し、所定エリアからストッカエリア１０Ａに懸垂式クレーン３０を移動させる場合に第２ベイ内周回軌道４２を使用しているが、この構成に限定されない。例えば、ストッカエリア１０Ａから所定エリア（１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄ）に懸垂式クレーン３０を移動させる場合に第２ベイ内周回軌道４２を使用し、所定エリアからストッカエリア１０Ａに懸垂式クレーン３０を移動させる場合に第１ベイ内周回軌道４１を使用してもよい。また、ストッカエリア１０Ａから所定エリア（１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄ）に懸垂式クレーン３０を移動させる場合と、所定エリアからストッカエリア１０Ａに懸垂式クレーン３０を移動させる場合とで、同一のベイ内周回軌道を使用してもよい。また、法令で許容される限りにおいて、日本特許出願である特願２０１７－１２８５６９、及び本明細書で引用した全ての文献、の内容を援用して本文の記載の一部とする。
ＬＰ・・・ロードポート
ＭＮ・・・メンテナンス装置
ＳＴ・・・バッファ
ＴＬ・・・処理装置
２・・・物品
１０・・・ストッカ
１０Ａ・・・ストッカエリア
１０Ｂ・・・ストッカエリア（所定エリア）
１０Ｃ・・・メンテナンスエリア（所定エリア）
１０Ｄ・・・所定エリア
１０Ｆ・・・作業者進入禁止エリア
１０Ｇ・・・作業者通路
１１・・・保管部
１２・・・受け渡しポート
２０、２０Ｃ、２０Ｄ・・・クレーン用天井軌道
３０・・・懸垂式クレーン
３１・・・クレーン用走行部
３２・・・マスト
３３・・・昇降台
３４・・・物品移載部
３５・・・昇降駆動部
４０・・・天井搬送車用天井軌道
４１・・・第１ベイ内周回軌道
４１ａ、４２ａ・・・外回り軌道
４１ｂ、４２ｂ・・・内回り軌道
４１ｃ、４２ｃ・・・連絡軌道
４２・・・第２ベイ内周回軌道
４３・・・第１ベイ間軌道
４４・・・第２ベイ間軌道
５０・・・天井搬送車
５１・・・搬送車用走行部
５３・・・物品保持部
５４・・・昇降駆動部
６０Ａ・・・第１の連結軌道（連結軌道）
６０Ｂ・・・第２の連結軌道（連結軌道）
７１ａ・・・車輪
７１ｂ・・・走行部本体
８０・・・制御装置
９０・・・初期投入部
１００・・・搬送システム

Claims (10)

  1. 　上下方向に複数段設けられて物品を保管する保管部と、前記物品を受け渡すための受け渡しポートと、前記保管部及び前記受け渡しポートに沿って設けられたクレーン用天井軌道と、前記クレーン用天井軌道に沿って走行するクレーン用走行部、前記クレーン用走行部から下垂するマスト、及び前記マストにガイドされて昇降する物品移載部を有しかつ前記保管部と前記受け渡しポートとの間で物品を搬送する懸垂式クレーンと、を備え、ストッカエリア内に配置されるストッカと、
    　前記ストッカエリアの外に設けられて、前記受け渡しポート及び処理装置のロードポートに沿って所定エリアまで延在する天井搬送車用天井軌道と、
    　前記天井搬送車用天井軌道に沿って走行する搬送車用走行部、及び物品を保持して昇降する物品保持部を有しかつ前記受け渡しポートと前記ロードポートとの間で物品を搬送する天井搬送車と、
    　前記クレーン用天井軌道と前記天井搬送車用天井軌道とを連結する連結軌道と、を備え、
    　前記クレーン用走行部は、前記クレーン用天井軌道から前記連結軌道を通って前記天井搬送車用天井軌道に進入し、前記天井搬送車用天井軌道を前記所定エリアまで走行可能であり、又は前記所定エリアから前記天井搬送車用天井軌道に進入して前記連結軌道まで走行し、前記連結軌道を通って前記クレーン用天井軌道に進入して走行可能である、搬送システム。
  2. 　前記クレーン用天井軌道、前記天井搬送車用天井軌道、及び前記連結軌道は、前記クレーン用走行部が走行する方向と直交する断面形状が同一又はほぼ同一である、請求項１に記載の搬送システム。
  3. 　前記クレーン用走行部と前記搬送車用走行部とは、共通の車輪及び前記車輪が取り付けられる走行部本体を備える、請求項１又は請求項２に記載の搬送システム。
  4. 　前記天井搬送車は、停止状態から前記搬送車用走行部による走行を開始する際、前記物品保持部を最上位置まで上昇させた後、走行を開始する、請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の搬送システム。
  5. 　前記クレーン用天井軌道は、前記懸垂式クレーンの前記マストが通過し、作業者の進入が禁止される作業者進入禁止エリアの上方に設けられ、
    　前記天井搬送車用天井軌道は、作業者の通行が許可される作業者通路の上方に設けられ、
    　前記天井搬送車用天井軌道に前記懸垂式クレーンが進入する時に、前記マストが通過する前記作業者通路への作業者の進入が禁止される、請求項４に記載の搬送システム。
  6. 　前記所定エリアは、前記ストッカとは異なるストッカが配置された他のストッカエリアである、請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の搬送システム。
  7. 　前記天井搬送車用天井軌道は、第１ベイ内周回軌道と、第２ベイ内周回軌道と、前記第１ベイ内周回軌道及び前記第２ベイ内周回軌道のそれぞれにおける一方の端部に連結された第１ベイ間軌道と、前記第１ベイ内周回軌道及び前記第２ベイ内周回軌道のそれぞれにおける他方の端部に連結された第２ベイ間軌道と、を備え、
    　前記ストッカにおける前記クレーン用天井軌道は、第１の前記連結軌道により前記第１ベイ間軌道に連結され、前記他のストッカにおける前記クレーン用天井軌道は、第２の前記連結軌道により前記第２のベイ間軌道に連結されている、請求項６に記載の搬送システム。
  8. 　前記所定エリアは、メンテナンスエリアである、請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の搬送システム。
  9. 　前記所定エリアは、前記懸垂式クレーンの初期投入部を含む、請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の搬送システム。
  10. 　上下方向に複数段設けられて物品を保管する保管部と、前記物品を受け渡すための受け渡しポートと、前記保管部及び前記受け渡しポートに沿って設けられたクレーン用天井軌道と、前記クレーン用天井軌道に沿って走行するクレーン用走行部、前記クレーン用走行部から下垂するマスト、及び前記マストにガイドされて昇降する物品移載部を有しかつ前記保管部と前記受け渡しポートとの間で物品を搬送する懸垂式クレーンと、を備え、ストッカエリア内に配置されるストッカと、
    　前記ストッカエリアの外に設けられて、前記受け渡しポート及び処理装置のロードポートに沿って所定エリアまで延在する天井搬送車用天井軌道と、
    　前記天井搬送車用天井軌道に沿って走行する搬送車用走行部、及び物品を保持して昇降する物品保持部を有しかつ前記受け渡しポートと前記ロードポートとの間で物品を搬送する天井搬送車と、
    　前記クレーン用天井軌道と前記天井搬送車用天井軌道とを連結する連結軌道と、を備える搬送システムにおける搬送方法であって、
    　前記クレーン用走行部を、前記クレーン用天井軌道から前記連活軌道を通って前記天井搬送車用天井軌道に進入させ、前記天井搬送車用天井軌道を前記所定エリアまで走行させること、又は前記所定エリアから前記天井搬送車用天井軌道に進入させて前記連結軌道まで走行させ、前記連結軌道を通って前記クレーン用天井軌道に進入させて走行させること、を含む、搬送方法。
     
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020153039A1 (ja) * 2019-01-25 2020-07-30 村田機械株式会社 保管システム
WO2020153040A1 (ja) * 2019-01-25 2020-07-30 村田機械株式会社 保管システム
WO2022044081A1 (ja) * 2020-08-24 2022-03-03 株式会社Fuji 部品実装システム
JPWO2022074953A1 (ja) * 2020-10-06 2022-04-14
TWI838909B (zh) * 2021-10-12 2024-04-11 美商靈巧公司 模組化堆棧移動器系統、套組系統、用於控制機器人模組化推動器系統之方法、及體現在一非暫時性電腦可讀媒體中之電腦程式產品

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US12154809B2 (en) 2020-01-30 2024-11-26 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Automated material handling systems
WO2022004050A1 (ja) * 2020-06-29 2022-01-06 村田機械株式会社 非接触給電装置、搬送システム及びパラメータ設定方法
CN113978991A (zh) * 2021-11-17 2022-01-28 江苏智库智能科技有限公司 一种高密度穿梭车存储系统及存储方法
CN116081461B (zh) * 2023-03-06 2023-06-16 新乡学院 一种能够实现急转弯的天车及其实现方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000255710A (ja) * 1999-03-12 2000-09-19 Hirata Corp 天井搬送装置及びこれを用いた物品搬送方法
JP3669057B2 (ja) * 1996-06-03 2005-07-06 アシスト シンコー株式会社 ストッカへの搬送システム
US20070224026A1 (en) * 2006-03-22 2007-09-27 Samsung Electronics Co., Ltd. Transferring system
JP2010280497A (ja) * 2009-06-08 2010-12-16 Murata Machinery Ltd 天井搬送車の軌道設備
WO2016178347A1 (ja) 2015-05-01 2016-11-10 村田機械株式会社 自動倉庫及び懸垂式スタッカクレーン
JP2017128569A (ja) 2007-12-04 2017-07-27 レメディー ファーマシューティカルズ， インコーポレイテッド 凍結乾燥のための改良された処方物および方法ならびにそれによって提供される凍結乾燥物

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI233913B (en) * 2002-06-06 2005-06-11 Murata Machinery Ltd Automated guided vehicle system
JP2006051886A (ja) * 2004-08-12 2006-02-23 Murata Mach Ltd 天井走行車システム
JP4337683B2 (ja) * 2004-08-16 2009-09-30 村田機械株式会社 搬送システム
US7637708B2 (en) * 2006-01-09 2009-12-29 Sumco Corporation Production system for wafer
JP5088468B2 (ja) * 2007-03-09 2012-12-05 村田機械株式会社 懸垂式搬送台車を用いた搬送システム
JP5686501B2 (ja) * 2009-03-27 2015-03-18 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP5110405B2 (ja) * 2010-04-07 2012-12-26 村田機械株式会社 走行台車システム
JP5382470B2 (ja) * 2010-11-04 2014-01-08 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送方法
US9633879B2 (en) * 2014-05-14 2017-04-25 Murata Machinery, Ltd. Storage system in the ceiling space and storage method for goods thereby
US9415934B2 (en) * 2014-05-14 2016-08-16 Murata Machinery, Ltd. Transport system and transport method
JP6315097B2 (ja) * 2014-08-26 2018-04-25 村田機械株式会社 ピッキングシステムとピッキング方法
JP6168476B2 (ja) * 2015-03-19 2017-07-26 村田機械株式会社 搬送台車と搬送台車システム
CN107922116B (zh) * 2015-08-14 2019-11-22 村田机械株式会社 输送系统
SG11201912679WA (en) * 2017-06-30 2020-01-30 Murata Machinery Ltd Transport system and transport method

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3669057B2 (ja) * 1996-06-03 2005-07-06 アシスト シンコー株式会社 ストッカへの搬送システム
JP2000255710A (ja) * 1999-03-12 2000-09-19 Hirata Corp 天井搬送装置及びこれを用いた物品搬送方法
US20070224026A1 (en) * 2006-03-22 2007-09-27 Samsung Electronics Co., Ltd. Transferring system
JP2017128569A (ja) 2007-12-04 2017-07-27 レメディー ファーマシューティカルズ， インコーポレイテッド 凍結乾燥のための改良された処方物および方法ならびにそれによって提供される凍結乾燥物
JP2010280497A (ja) * 2009-06-08 2010-12-16 Murata Machinery Ltd 天井搬送車の軌道設備
WO2016178347A1 (ja) 2015-05-01 2016-11-10 村田機械株式会社 自動倉庫及び懸垂式スタッカクレーン

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP3647229A4

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7136236B2 (ja) 2019-01-25 2022-09-13 村田機械株式会社 保管システム
JP7235059B2 (ja) 2019-01-25 2023-03-08 村田機械株式会社 保管システム
CN113348140A (zh) * 2019-01-25 2021-09-03 村田机械株式会社 保管系统
JPWO2020153039A1 (ja) * 2019-01-25 2021-11-25 村田機械株式会社 保管システム
JPWO2020153040A1 (ja) * 2019-01-25 2021-11-25 村田機械株式会社 保管システム
CN113348140B (zh) * 2019-01-25 2023-08-29 村田机械株式会社 保管系统
WO2020153040A1 (ja) * 2019-01-25 2020-07-30 村田機械株式会社 保管システム
US11673741B2 (en) 2019-01-25 2023-06-13 Murata Machinery, Ltd. Storage system
WO2020153039A1 (ja) * 2019-01-25 2020-07-30 村田機械株式会社 保管システム
US11615975B2 (en) 2019-01-25 2023-03-28 Murata Machinery, Ltd. Storage system
WO2022044081A1 (ja) * 2020-08-24 2022-03-03 株式会社Fuji 部品実装システム
JP7481466B2 (ja) 2020-08-24 2024-05-10 株式会社Fuji 部品実装システム
WO2022074953A1 (ja) * 2020-10-06 2022-04-14 村田機械株式会社 ストッカ
JP7283640B2 (ja) 2020-10-06 2023-05-30 村田機械株式会社 ストッカ
JPWO2022074953A1 (ja) * 2020-10-06 2022-04-14
TWI838909B (zh) * 2021-10-12 2024-04-11 美商靈巧公司 模組化堆棧移動器系統、套組系統、用於控制機器人模組化推動器系統之方法、及體現在一非暫時性電腦可讀媒體中之電腦程式產品

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