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KR20070121433A - 포토레지스터 펌프 및 그의 구동 방법 - Google Patents

포토레지스터 펌프 및 그의 구동 방법 Download PDF

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KR20070121433A
KR20070121433A KR1020060056499A KR20060056499A KR20070121433A KR 20070121433 A KR20070121433 A KR 20070121433A KR 1020060056499 A KR1020060056499 A KR 1020060056499A KR 20060056499 A KR20060056499 A KR 20060056499A KR 20070121433 A KR20070121433 A KR 20070121433A
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South Korea
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photoresist
holder
pump
tube
diameter bellows
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KR1020060056499A
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김대홍
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엘지.필립스 엘시디 주식회사
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Abstract

본 발명은 액정표시소자의 코팅 공정에서 주입된 포토레지스터에 의해 증감되는 압력의 세기에 따라 자동으로 포토레지스터의 토출을 조절할 수 있는 코팅 시스템의 포토레지스터 펌프를 제공하는 것으로, 포토레지스터를 수납하기 위한 포토레지스터 튜브; 상하로 신축되어 상기 포토레지스터 튜브를 수축 및 팽창시키기 위한 대경 벨로우스; 상하로 신축되어 상기 포토레지스터 튜브를 수축 및 팽창시키기 위한 소경 벨로우스; 상기 대경 벨로우스와 상기 소경 벨로우스를 상하로 신축시키기 위한 홀더; 및 상기 포토레지스터 튜브 내의 포토레지스터에 의해 발생되는 압력 세기에 따라 상기 홀더의 구동을 제어하기 위한 구동제어수단을 포함한다.
액정표시소자, 포토레지스터, 펌프, 압력

Description

포토레지스터 펌프 및 그의 구동 방법{Photoregister pump and drive method thereof}
도 1은 일반적인 액정표시소자의 단면 중에 일부를 나타낸 단면도.
도 2는 본 발명이 적용되는 액정표시소자의 코팅 시스템의 구성도.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 코팅 시스템의 포토레지스터 펌프의 구조도.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
100: 코팅 시스템 110: 포토레지스터 캔
120: 송출밸브 130: 탈기 모듈
140: 필터 150: 유입밸브
160: 포토레지스터 펌프 170: 토출밸브
180: 슬릿 노즐 161: 베이스
162: 포토레지스터 튜브 163-1: 주입체크밸브
163-2: 토출체크밸브 164-1: 대경 벨로우스
164-2: 소경 벨로우스 164-3: 간접액
165: 홀더 166-1: 압력센서
166-2: 압력계 167: 제어부
168: 홀더 구동부 169: 표시부
본 발명은 액정표시소자의 제조를 위한 코팅 시스템에 관한 것으로, 특히 주입된 포토레지스터에 의해 증감되는 압력의 세기에 따라 자동으로 포토레지스터의 토출을 조절할 수 있는 코팅 시스템의 포토레지스터 펌프 및 그의 구동 방법에 관한 것이다.
액정표시소자는 소형 및 박형화와 저전력 소모의 장점을 가지며, 노트북 PC, 사무 자동화 기기, 오디오/비디오 기기 등으로 이용되고 있다. 특히, 스위치 소자로서 박막 트렌지스터(Thin Film Transistor : 이하 'TFT'라 함)가 이용되는 액티브 매트릭스 타입의 액정표시소자는 동적인 이미지를 표시하기에 적합하다.
액정표시소자는 화소들이 게이트라인들과 데이터라인들의 교차부들 각각에 배열되어진 화소메트릭스(Pixel Matrix)에 텔레비젼 신호와 같은 비디오신호에 해당하는 화상을 표시하게 된다. 화소들 각각은 데이터라인으로부터의 데이터신호의 전압레벨에 따라 투과광량을 조절하는 액정셀을 포함한다. TFT는 게이트라인과 데이터라인의 교차부에 설치되어 게이트라인으로부터의 스캔신호에 응답하여 액정셀 쪽으로 전송될 데이터신호를 절환하게 되는 것으로, 이에 대한 단면 구조를 도 1을 참조하여 살펴보면 다음과 같다.
도 1을 참조하면, 하부기판(1) 상에는 TFT가 형성된다. TFT는 하부기판(1) 상에 형성되는 게이트전극(4)과, 게이트 절연막(2) 및 반도체층(7,8)을 사이에 두고 소스 및 드레인전극(5,6)으로 이루어진다. 이러한 TFT를 보호하기 위해 보호층(3)이 형성되며, TFT의 드레인전극(6)은 보호층(3)을 관통하는 접촉홀(10)을 통해 화소전극(9)과 접속된다.
이러한 액정표시소자의 제조공정은 세정공정, 코팅공정, 패터닝공정, 배향막형성공정, 합착/액정주입공정 등으로 나뉘어진다. 이 공정들 중에서, 코팅공정은 그라스(Glass) 등의 투명기판(미도시) 상에 포토레지스터를 도포한 후 상기 투명기판을 회전시켜 도포된 포토레지스터를 코팅시킨다.
이러한 코팅공정에서는 포토레지스터 펌프를 이용하여 슬릿 노즐(Slit Nozzle)에 포토레지스터를 공급하고 있으나, 종래의 포토레지스터 펌프는 주입된 포토레지스터에 의한 압력이 오동작으로 인해 커지는 경우 자동으로 포토레지스터의 토출을 차단하지 못하기 때문에 기기의 손상을 초래하는 문제점을 갖는다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 액정표시소자의 코팅 공정에서 주입된 포토레지스터에 의해 증감되는 압력의 세기에 따라 자동으로 포토레지스터의 토출을 조절할 수 있는 코팅 시스템의 포토레지스터 펌프 및 그의 구동 방법을 제공하는 데 있다.
본 발명의 목적은 액정표시소자의 코팅 공정에서 주입된 포토레지스터에 의해 증감되는 압력의 세기에 따라 자동으로 포토레지스터의 토출을 조절함으로써, 오동작에 의한 기기의 손장을 방지할 수 있는 코팅 시스템의 포토레지스터 펌프 및 그의 구동 방법을 제공하는 데 있다.
이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 포토레지스터를 수납하기 위한 포토레지스터 튜브; 상하로 신축되어 상기 포토레지스터 튜브를 수축 및 팽창시키기 위한 대경 벨로우스; 상하로 신축되어 상기 포토레지스터 튜브를 수축 및 팽창시키기 위한 소경 벨로우스; 상기 대경 벨로우스와 상기 소경 벨로우스를 상하로 신축시키기 위한 홀더; 및 상기 포토레지스터 튜브 내의 포토레지스터에 의해 발생되는 압력 세기에 따라 상기 홀더의 구동을 제어하기 위한 구동제어수단을 포함한다.
상기 구동제어수단은, 상기 포토레지스터 튜브 내의 포토레지스터에 의해 발생된 압력을 감지하기 압력센서; 상기 압력센서에 의해 감지된 압력 세기를 측정하기 위한 압력계; 상기 압력계에 의해 측정된 압력값에 따라 상기 홀더의 구동을 제어하기 위한 제어부; 및 상기 제어부의 제어에 따라 상기 홀더를 구동시키거나 정지시키기 위한 홀더 구동부를 포함한다.
본 발명은 상기 제어부로부터 전달되는 펌프 구동상태 정보를 디스플레이하 기 위한 표시부를 더 포함한다.
상기 압력센서는 상기 대경 벨로우스 하단부에 배치되는 것을 특징으로 한다.
상기 제어부는 상기 측정된 압력값과 소정의 기준압력값이 동일하면 상기 홀더의 동작 상태를 유지시키도록 상기 홀더 구동부를 제어하는 것을 특징으로 한다.
상기 제어부는 상기 측정된 압력값과 소정의 기준압력값이 동일하지 않으면 상기 홀더의 동작을 정지시키도록 상기 홀더 구동부를 제어하는 것을 특징으로 한다.
본 발명은, 포토레지스터를 수납하기 위한 포토레지스터 튜브와, 상기 포토레지스터 튜브를 수축 및 팽창시키기 위한 대경 벨로우스 및 소경 벨로우스와, 상기 대경 벨로우스와 상기 소경 벨로우스를 상하로 신축시키기 위한 홀더를 구비한 포토레지스터 펌프의 구동 방법에 있어서, 상기 포토레지스터 튜브 내의 포토레지스터에 의해 발생된 압력을 감지하는 단계; 상기 감지된 압력값에 따라 상기 홀더의 구동을 제어하기 위한 구동제어신호나 정지제어신호를 발생하는 단계; 및 상기 구동제어신호나 상기 정지제어신호에 따라 상기 홀더를 구동시키거나 정지시키는 단계를 포함한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.
도 2는 본 발명이 적용되는 액정표시소자의 코팅 시스템의 구성도이다.
도 2를 참조하면, 코팅 시스템(100)은, 포토레지스터를 저장하기 위한 포토 레지스터 캔(110)과, 포토레지스터 캔(110)에 수납된 포토레지스터를 송출하기 위한 송출밸브(120)와, 송출밸브(120)를 통해 유입된 포토레지스터에서 기포를 제거하기 위한 탈기 모듈(130)과, 탈기 모듈(120)에 의해 탈기된 포토레지스터에 혼합된 이물질을 제거하기 위한 필터(140)와, 필터(140)를 통해 여과된 포토레지스터를 유입시키기 위한 유입밸브(150)와, 유입밸브(150)를 통해 유입된 포토레지스터를 압력을 이용하여 토출시키기 위한 포토레지스터 펌프(160)와, 포토레지스터 펌프(160)에 주입된 포토레지스터를 토출시키기 위한 토출밸브(170)와, 토출밸브(170)를 통해 제공된 포토레지스터를 투명기판(미도시) 상에 코팅하기 위한 슬릿 노즐(180)을 구비한다.
포토레지스터 캔(110)는 상기 투명기판의 코팅에 이용될 포토레지스터를 일정량만큼 저장하고 코팅 공정시 수납된 포토레지스터를 송출시킨다.
송출밸브(120)는 잠긴 상태에서 포토레지스터 캔(110)에 수납된 포토레지스터를 송출을 차단하고 열린 상태에서 포토레지스터 캔(110)에 수납된 포토레지스터를 탈기 모듈(130)로 송출시킨다.
탈기 모듈(130)은 송출밸브(120)를 통해 유입된 포토레지스터에서 기포를 제거한 후 필터(140)로 출력한다.
필터(140)는 탈기 모듈(120)에 의해 탈기된 포토레지스터를 여과시켜 포토레지스터에 혼합된 이물질을 제거한 후 여과된 포토레지스터를 유입밸브(150)로 출력한다.
유입밸브(150)는 필터(140)에 의해 이물질이 제거된 포토레지스터를 포토레 지스터 펌프(160) 내부로 유입시킨다.
포토레지스터 펌프(160)는 유입밸브(150)를 통해 유입된 포토레지스터를 내부로 주입하고 주입된 포토레지스터를 압력을 이용하여 토출시킨다.
토출밸브(170)는 잠긴 상태에서 포토레지스터 펌프(160)에 주입된 포토레지스터의 토출을 차단하고 열린 상태에서 포토레지스터 펌프(160)로부터 토출된 포토레지스터를 슬릿 노즐(180)로 송출하고 있습니다.
슬릿 노즐(180)은 포토레지스터 펌프(160)로부터 토출된 포토레지스터가 토출밸브(170)를 통해 공급되면 이 포토레지스터를 상기 투명기판 상에 코팅한다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 코팅 시스템의 포토레지스터 펌프의 구조도이다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 포토레지스터 펌프(160)는, 포토레지스터 펌프(160)의 몸체를 지지하기 위한 베이스(161)와, 포토레지스터를 수납하기 위한 포토레지스터 튜브(162)와, 포토레지스터를 포토레지스터 튜브(162)로 주입하기 위한 주입체크밸브(163-1)와, 포토레지스터 튜브(162)에 수납된 포토레지스터를 토출시키기 위한 토출체크밸브(163-2)와, 상하로 신축되어 포토레지스터 튜브(162)를 수축 및 팽창시키기 위한 대경 벨로우스(164-1)와, 상하로 신축되어 포토레지스터 튜브(162)를 수축 및 팽창시키기 위한 소경 벨로우스(164-2)와, 대경 벨로우스(164-1)와 소경 벨로우스(164-2)의 내부에 수납된 간접액(164-3)과, 대경 벨로우스(164-1)와 소경 벨로우스(164-2)를 상하로 신축시키기 위한 홀더(165)를 구비한다.
그리고 본 발명의 포토레지스터 펌프(160)는, 포토레지스터 튜브(162) 내의 포토레지스터에 의해 발생된 압력을 감지하기 압력센서(166-1)와, 압력센서(166-1)에 의해 감지된 압력 세기를 측정하기 위한 압력계(166-2)와, 압력계(166-2)에 의해 측정된 압력값에 따라 홀더(165)의 구동을 제어하기 위한 제어부(167)와, 제어부(167)의 제어에 따라 홀더(165)를 구동시키거나 정지시키기 위한 홀더 구동부(168)를 구비한다.
또한 본 발명의 포토레지스터 펌프(160)는, 제어부(167)로부터 전달되는 펌프 구동상태 정보를 디스플레이하기 위한 표시부(169)를 더 구비한다.
베이스(161)는 대경 벨로우스(164-1)의 하단부에 대향되게 배치되어 대경 벨로우스(164-1), 소경 벨로우스(164-2) 및 홀더(165)를 지지하여 준다. 이러한 베이스(161)는 원통형으로 구현되며, 그 중앙 부분에 형성된 홈에는 포토레지스터 튜브(162)의 하단부에 형성된 주입체크밸브(163-1)가 배치된다.
포토레지스터 튜브(162)는 주입체크밸브(163-1)를 통해 주입된 포토레지스터를 일시 수납하고 토출체크밸브(163-2)를 통해 수납된 포토레지스터를 토출시킨다. 이러한 포토레지스터 튜브(162)는 신축성있는 재질로 구현되므로, 대경 벨로우스(164-1)와 소경 벨로우스(164-2)의 내부에 수납된 간접액(164-3)의 양적 팽창시 측면의 수축으로 인해 증가된 압력에 의해 수납된 포토레지스터를 토출시킨다. 이렇게 수축된 상태에서 팽창된 간접액(164-3)이 복원되면 포토레지스터 튜브(162) 내의 압력이 감소되어 수납된 포토레지스터의 토출이 차단된다.
주입체크밸브(163-1)는 열린 상태에서 주입밸브(150)를 통해 공급된 포토레지스터를 포토레지스터 튜브(162)로 주입하고 잠긴 상태에서 포토레지스터의 주입 을 차단한다. 이러한 주입체크밸브(163-1)는 베이스(161)의 중앙 부분에 위치되어 포토레지스터 튜브(162)가 베이스(161)에 의해 지지되도록 한다.
토출체크밸브(163-2)는 포토레지스터 튜브(162) 내의 압력이 증가하는 경우 열려서 수납된 포토레지스터를 토출밸브(170)로 토출시키고, 반대로 포토레지스터 튜브(162) 내의 압력이 감소하는 경우 잠겨서 수납된 포토레지스터의 토출을 차단한다.
대경 벨로우스(164-1)는 원통형으로 이루어지고 소경 벨로우스(164-2)보다 큰 직경을 갖으며, 또한 하단부에 위치된 베이스(161)에 의해 지지된다. 그리고, 대경 벨로우스(164-1)는 복원된 상태에서 포토레지스터 튜브(162)의 중앙부와 하단부에 걸쳐 그 외부에 위치된다. 이러한 대경 벨로우스(164-1)는 상하로 왕복 이동하는 홀더(165)에 의해 상하로 수축 및 복원되어 자신의 내부에 수납된 간접액(164-3)을 양적 팽창 및 수축시킨다.
소경 벨로우스(164-2)는 원통형으로 이루어지고 대경 벨로우스(164-1)보다 작은 직경을 갖으며, 또한 대경 벨로우스(164-1)의 상단부에 위치되어 대경 벨로우스(164-1)와 함께 베이스(161)에 의해 지지된다. 그리고, 소경 벨로우스(164-3)는 복원된 상태에서 포토레지스터 튜브(162)의 중앙부와 상단부에 걸쳐 그 외부에 위치된다. 이러한 소경 벨로우스(164-2)는 상하로 왕복 이동하는 홀더(165)에 의해 상하로 수축 및 복원되어 자신의 내부에 수납된 간접액(164-3)을 양적 팽창 및 수축시킨다.
간접액(164-3)은 포토레지스터 펌프(162) 하단의 외측과 대경 벨로우스(164- 1) 내측 사이에 형성된 공간에 수납됨과 아울러 포토레지스터 펌프(162) 상단의 외측과 소경 벨로우스(164-2) 내측 사이에 형성된 공간에 수납된다. 따라서, 간접액(164-3)은 대경 벨로우스(164-1)의 수축시 수평 방향으로 팽창하여 포토레지스터 펌프(162) 하단부의 압력이 증가되도록 하고, 반대로 수축된 대경 벨로우스(164-1)의 복원시 수평 방향으로 수축하여 포토레지스터 펌프(162) 하단부의 압력이 감소되도록 한다. 또한, 간접액(164-3)은 소경 벨로우스(164-2)의 수축시 수평 방향으로 팽창하여 포토레지스터 펌프(162) 상단부의 압력이 증가되도록 하고, 반대로 수축된 소경 벨로우스(164-2)의 복원시 수평 방향으로 수축하여 포토레지스터 펌프(162) 상단부의 압력이 감소되도록 한다.
홀더(165)는 대경 벨로우스(164-1)와 소경 벨로우스(164-2) 사이에 배치되어 상하로 이동한다. 즉, 홀더(165)가 아래로 이동하면 대경 벨로우스(164-1)가 수축되어 대경 벨로우스(164-1) 내측에 수납된 간접액(164-3)이 수평 방향으로 팽창됨과 동시에 소경 벨로우스(164-2)가 이완되어 소경 벨로우스(164-2) 내측에 위치된 간접액(164-3)이 수평 방향으로 수축된다. 또한, 홀더(165)가 위로 이동하면 대경 벨로우스(164-1)가 이완되어 대경 벨로우스(164-1) 내측에 수납된 간접액(164-3)이 수평 방향으로 수축됨과 동시에 소경 벨로우스(164-2)가 수축되어 소경 벨로우스(164-2) 내측에 위치된 간접액(164-3)이 수평 방향으로 팽창된다.
압력센서(166-1)는 홀더(165)의 상하 이동에 따라 증감되는 포토레지스터 튜브(162)의 압력을 감지하기 위한 것으로, 압전소자 등으로 구현된다. 이러한 압력센서(166-1)는 베이스(161) 상단부와 대경 벨로우스(164-1) 하단부 사이에 배치되 지만, 이에 한정되는 것은 아니다.
압력계(166-2)는 압력센서(166-1)에 의해 감지된 압력 세기를 측정하여 제어부(167)로 측정한 압력값을 출력한다.
제어부(167)는 압력계(166-2)에 의해 측정된 압력값과 소정의 기준압력값을 비교하여 비교결과에 따라 홀더(165)의 구동을 제어한다. 비교결과 측정된 압력값과 소정의 기준압력값이 동일하면, 제어부(167)는 포토레지스터 펌프(160)의 동작 상태가 정상인 것으로 판단하여 홀더(165)의 동작 상태를 유지시키도록 하기 위한 구동제어신호를 홀더 구동부(168)로 출력한다. 비교결과 측정된 압력값과 소정의 기준압력값이 동일하지 않으면, 제어부(167)는 포토레지스터 펌프(160)에 에러가 발생된 것으로 판단하여 홀더(165)의 동작을 정지시키도록 하기 위한 정지제어신호를 홀더 구동부(168)로 출력한다.
여기서, 포토레지스터 펌프(160)의 동작 상태가 정상인 경우, 제어부(167)는 펌프의 정상을 알리는 문자정보를 표시부(169)에 디스플레이시킨다. 포토레지스터 펌프(160)에 에러가 발생되면, 제어부(167)는 펌프의 오동작을 알리는 문자정보를 표시부(169)에 디스플레이시킨다.
홀더 구동부(168)는 제어부(167)로부터 구동제어신호가 입력되면 홀더(165)를 상하로 왕복이동시키고, 반대로 제어부(167)로부터 정지제어신호가 입력되면 홀더(165)의 구동을 정지시킨다.
표시부(169)는 액정표시소자(LCD), 플라즈마디스플레이소자(PDP) 및 유기발광다이오드 표시소자 등으로 구현되어 제어부(167)로부터 전달되는 펌프 구동상태 정보를 디스플레이한다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은, 액정표시소자의 코팅 공정에서 주입된 포토레지스터에 의해 증감되는 압력의 세기에 따라 자동으로 포토레지스터의 토출을 조절함으로써, 오동작에 의한 기기의 손장을 방지할 수 있다.
본 발명의 기술사상은 상기 바람직한 실시예에 따라 구체적으로 기술되었으나, 상기한 실시예는 그 설명을 위한 것이며, 그 제한을 위한 것이 아님을 주의하여야 한다. 또한, 본 발명의 기술분야의 통상의 전문가라면 본 발명의 기술사상의 범위에서 다양한 실시예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (10)

  1. 포토레지스터를 수납하기 위한 포토레지스터 튜브;
    상하로 신축되어 상기 포토레지스터 튜브를 수축 및 팽창시키기 위한 대경 벨로우스;
    상하로 신축되어 상기 포토레지스터 튜브를 수축 및 팽창시키기 위한 소경 벨로우스;
    상기 대경 벨로우스와 상기 소경 벨로우스를 상하로 신축시키기 위한 홀더; 및
    상기 포토레지스터 튜브 내의 포토레지스터에 의해 발생되는 압력 세기에 따라 상기 홀더의 구동을 제어하기 위한 구동제어수단
    을 포함하는 포토레지스터 펌프.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 구동제어수단은,
    상기 포토레지스터 튜브 내의 포토레지스터에 의해 발생된 압력을 감지하기 압력센서;
    상기 압력센서에 의해 감지된 압력 세기를 측정하기 위한 압력계;
    상기 압력계에 의해 측정된 압력값에 따라 상기 홀더의 구동을 제어하기 위한 제어부; 및
    상기 제어부의 제어에 따라 상기 홀더를 구동시키거나 정지시키기 위한 홀더 구동부
    를 포함하는 포토레지스터 펌프.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제어부로부터 전달되는 펌프 구동상태 정보를 디스플레이하기 위한 표시부
    를 더 포함하는 포토레지스터 펌프.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 압력센서는 상기 대경 벨로우스 하단부에 배치되는 것을 특징으로 하는 포토레지스터 펌프.
  5. 제 2 항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 측정된 압력값과 소정의 기준압력값이 동일하면 상기 홀더의 동작 상태를 유지시키도록 상기 홀더 구동부를 제어하는 것을 특징으로 하는 포토레지스터 펌프.
  6. 제 2 항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 측정된 압력값과 소정의 기준압력값이 동일하지 않으면 상기 홀더의 동작을 정지시키도록 상기 홀더 구동부를 제어하는 것을 특징으로 하는 포토레지스터 펌프.
  7. 포토레지스터를 수납하기 위한 포토레지스터 튜브와, 상기 포토레지스터 튜브를 수축 및 팽창시키기 위한 대경 벨로우스 및 소경 벨로우스와, 상기 대경 벨로우스와 상기 소경 벨로우스를 상하로 신축시키기 위한 홀더를 구비한 포토레지스터 펌프의 구동 방법에 있어서,
    상기 포토레지스터 튜브 내의 포토레지스터에 의해 발생된 압력을 감지하는 단계;
    상기 감지된 압력값에 따라 상기 홀더의 구동을 제어하기 위한 구동제어신호나 정지제어신호를 발생하는 단계; 및
    상기 구동제어신호나 상기 정지제어신호에 따라 상기 홀더를 구동시키거나 정지시키는 단계
    를 포함하는 포토레지스터 펌프의 구동 방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 포토레지스터 펌프의 동작 상태를 디스플레이하는 단계
    를 더 포함하는 포토레지스터 펌프의 구동 방법.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 신호발생 단계에서, 상기 측정된 압력값과 소정의 기준압력값이 동일하면 상기 홀더의 동작 상태를 유지시키도록 하기 위한 상기 구동제어신호를 발생하는 것을 특징으로 하는 포토레지스터 펌프의 구동 방법.
  10. 제 7 항에 있어서,
    상기 신호발생 단계에서, 상기 측정된 압력값과 소정의 기준압력값이 동일하지 않으면 상기 홀더의 동작을 정지시키도록 하기 위한 상기 정지제어신호를 발생하는 것을 특징으로 하는 포토레지스터 펌프의 구동 방법.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20130103119A (ko) * 2012-03-09 2013-09-23 엘지디스플레이 주식회사 포토레지스터 코팅시스템 및 그 구동방법
CN106842638A (zh) * 2015-09-22 2017-06-13 Snu精密股份有限公司 用于检查液晶的注射情况的方法和装置

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102604074B1 (ko) 2021-09-02 2023-11-22 세메스 주식회사 펌프, 약액 공급 유닛 및 기판 처리 장치

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5421208A (en) * 1994-05-19 1995-06-06 Baxter International Inc. Instantaneous volume measurement system and method for non-invasively measuring liquid parameters
KR20010084636A (ko) * 2000-02-28 2001-09-06 윤종용 반도체 장치의 제조에서 케미컬 공급 방법 및 이를수행하기 위한 장치
KR20030048515A (ko) * 2001-12-12 2003-06-25 가부시키가이샤 고가네이 약액공급장치
JP3947398B2 (ja) * 2001-12-28 2007-07-18 株式会社コガネイ 薬液供給装置および薬液供給方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20130103119A (ko) * 2012-03-09 2013-09-23 엘지디스플레이 주식회사 포토레지스터 코팅시스템 및 그 구동방법
CN106842638A (zh) * 2015-09-22 2017-06-13 Snu精密股份有限公司 用于检查液晶的注射情况的方法和装置

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