KR19990028688A - 비접촉식 검사장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반송되는 피검사체의 비접촉식 검사기기로서 검사하여 자동적으로 피검사체의 양부를 판정하는데 사용되는 비 접촉식 검사장치에 관한 것이고, 회전구동되어 피검사체를 반송하는 환상의 회전테이블과, 회전테이블을 끼워 그 내외측에 배치되고, 피검사체를 검사하기 위한 CCD카메라등이 취부된 검사기기 취부 테이블과, 회전테이블 상방에, 회전테이블이 회전중심 주위로 회전가능케 지지되고, 회전테이블에서 반송되는 피검사체의 상부를 보지하는 로터리 헤드와, 로터리 헤드를 회전테이블과 동기(同期)시켜 회전시키는 운동기구를 갖춘다. 이에 따라 비접촉식 검사기기의 검사능력을 충분히 발휘시킬 수 있을 뿐만 아니라, 이들 검사기기의 레이아웃도 보다 자유롭게 설정할 수 있어서, 당해 검사기기에 의한 피검사체의 검사를 고정도(高精度) 그리고 광범위로 실시할 수 있다.

Description

비접촉식 검사장치

종래의 이러한 종류의 검사장치는 예를 들면 약품이라던가 전자부품 등의 각종제품을 피검사체로 하고, 예를 들면 광의 투과성이라던가 반사성 등을 이용하는 등의 다양한 비접촉식 검사기기를 사용하여 이들 피검사체의 검사를 고정도로 행하여 조약품이 상품유통 경로로 유통해 버리는 것을 방지하도록 하고 있다(일본 특공소 47-10466호 공보, 일본 특개소 50-11094호 공보, 일본 특공소 57-11416호 공보, 일본 특개소 57-142252호 공보, 일본 특공소 60-20695호 공보, 일본 특개소 60-98341호 공보, 일본 특개소 61-282219호 공보, 일본 특공소 62-15821호 공보, 일본 특개소 64-31040호 공보 및 특개평 3-96814호 공보 참조).

그런데, 종래의 비접촉식 검사장치에서는 검사기기로서 예를 들면 CCD카메라를 사용하고, 이 CCD카메라의 촬영범위를 통과하도록 피검사체를 반송하도록 하고 있어서, 이 CCD카메라에서 피검사체를 촬영하고, 그 화상을 화상처리장치에 의해 처리하는 것으로 피검사체의 양부를 검사하고 있다.

그리고 특히, 관련 비접촉식 검사장치에서는 피검사체가 의약품이나 식료품등의 액체를 봉입한 앰플 혹은 바이엘이라던가 유리제 혹은 플라스틱에 등의 용기인 경우에 비접촉식 검사기기, 특히 광학적인 검사기기를 사용하여 이들 용기에 빗을 투과시켜 이를 CCD카메라로 촬영함에 따라 용기 내부의 액체에 이물이 혼입되어 있는가 여부까지도 정확히 판정할 수가 있는 것이다.

도 10, 도 11은 피검사체가 복수의 앰플 1인 경우 종래의 비접촉식 검사장치 2의 요부를 나타낸다.

앰플들 1은 회전 테이블 3상에 형성된 시트 3a에 실려서 반송된다. 테이블 8은 앰플들 1을 반송하는 회전테이블 3내에 배치되고, 다른 테이블 8a은 회전테이블 3 외측에 배치된다.

빛은 내측테이블 8상에 배치된 전자빛 4으로 부터 조사되고, 앰플들 1의 배면에서 각 앰플 1을 통해 투과되며, 그때 외측테이블 8a상에 배치된 CCD카메라에 의해서 촬영되어진다.

검사장치 2에는 캡 6이 갖추어져 있고, 회전 테이블 3의 회전에 의해 반송되는 앰플들 1은 그에 따라 위에서 눌려지고 안정되게 잡혀진다.

상기 복수의 캡들 6은 원통체상의 드럼 7의 상부에 그 주위 방향에 연하여 다수 마운트되어 있다. 그리고, 상기 드럼 7은 회전반송되는 앰플들 1과 함께 캡들 6이 회전이동 가능하도록 회전테이블 3과 함께 회전되도록 되어 있다.

더욱이 상기 캡들 6은 앰플들 1을 받아들여 잡아주기 위해 슬라이드 로드를 6a을 통해 승강 가능하게 되어 있다.

그런데 관련된 종래의 비접촉식 검사장치 2에 있어서는 회전 테이블 3과 함께 회전시킬 회전 테이블 3상에 탑재된 드럼 7의 통상벽부가 7a를 가지며, 앰플들 1의 배면에 위치하는 이 통상벽부 7a는 빛(라이트) 4에 대해 앰플들 1을 차단해 준다.

따라서, 검사작업을 위해 라이트 4로 부터 빛을 앰플들 1에 조사하여 투과시키기 위하여 그 통상벽부 7a에 각 캡들 6위치에 대응시켜 각각의 여러 스릿트를 형성시키고, 이 스릿트 9를 통하여 라이트 4의 빛을 앰플들 1의 배면에 조사하도록 하고 있다.

그렇지만 통상벽부 7a에 여러 스릿트 9를 형성한다고 하더라도, 이 통상벽부 7a의 스릿트 9를 개재한 빛의 조사에서는 광량이 제한됨과 동시에 스릿트 7가 조사각도를 제한한다.

결국, 라이트 4와 대응시켜 배치할 CCD 카메라 5의 배치 레이아웃도 제한을 받게 되어 고정도와 더불어 광범위하게 검사를 행하는 것은 불가능하다는 문제가 있었다.

[발명의 개시]

따라서 본 발명은 관련 종래의 문제에 임하여, 비접촉식 검사기기의 검사 능력을 충분히 발휘시키는 것이 가능하고 동시에 이들 검사기기의 배치 레이아웃도 보다 자유로이 설정가능하여, 당해 검사 기기에 의한 피검사체의 검사를 고정도 및 광범위하게 실시할 수 있는 비접촉식 검사장치를 제공함을 목적으로 한다.

상기한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 비접촉식 검사장치는 회전구동되어 피검사체를 반송하는 환상의 회전테이블과, 해당 회전 테이블을 협지하여 그 내측과 외측에 배치되고, 상기 피검사체를 검사하기 위한 비접촉식 검사기기가 마운트된 검사기기마운트테이블과, 상기 회전테이블 상방에 해당 회전 테이블의 회전중심 주위로 회전가능하게 지지되고, 해당 회전테이블에서 반송되는 상기 피검사체의 상부를 보지하는 로터리 헤드와, 해당 로터리 헤드를 상기 회전 테이블과 동기시켜 회전시키는 운동기구와를 갖춘 것을 특징으로 한다.

상기 로터리 헤드는 승강가능하도록 지지된다.

더구나, 상기 연동 기구는 상기 회전테이블 및 상기 로터리 헤드에 각각 설치된 한쌍의 제1, 제2인터널 기어와, 이들 제1 제2인터널 기어에 각각 치합되는 한쌍의 제1, 제2유성기어와, 상기 검사기기 마운트테이블에 회전 가능하게 지지되고 상기 제1 제2유성기어를 서로 일체적으로 연결하는 연결축으로 되는 유성 치차장치를 갖춘다.

상기 제1, 제2인터널 기어는 동일 모듈의 기어로, 각각 상기 회전테이블의 내주 및 상기 로터리 헤드의 내주에 일체적으로 형성됨과 동시에 상기 제1, 제2유성기어도 동일 모듈의 기어이고, 이들을 연결하는 상기 연결축은 상기 검사기기 마운트테이블에 설치한 베어링 부재에 회전가능하게 지지된다.

더구나, 상기 로터리 헤드가 승강자재케 지지됨과 아울러, 해당 로터리 헤드의 상기 제2인터널 기어에 치합되는 상기 제2유성기어는 해당 로터리 헤드의 승강량에 대응시켜 축방향으로 길게 형성된다.

또한, 상기 비접촉식 검사장치는 상기 회전 테이블 상방에 배치되면서 상하방향에 연하여 슬라이드 홈이 형성된 홀딩후레임과, 해당 홀딩후레임에 상기 슬라이드홈을 두어 승강 가능케 설치된 환상의 승강틀과, 해당 승강틀의 내주부에 설치되고 상기 로터리 헤드로 외주부를 회전 자재케 지지하는 베어링을 갖추고, 상기 로터리 헤드는 상기 홀딩후레임에 대해 해당 승강틀을 개재하여 승강가능 및 회전가능하게 매달려 지지된다.

또한, 상기 비접촉식 검사장치는 상기 홀딩후레임에 상기 슬라이드홈를 두어 회전불능 및 승강가능케 설치된 상기 승강틀과, 상기 홀딩후레임에 회전 가능하게 지지되어 상기 승강틀에 나사결합되는 보울트와, 이 보울트에 설치된 스프로켓 및 이 스프로켓에 걸려 회전되어 구동력을 전달하는 체인으로 되는 동력전달기구를 갖춘다.

또한, 상기 검사기기 마운트테이블은 회전 테이블의 회전중심 주위에 회전가능하게 설치됨과 아울러 연속 회전구동캠과 요동 회전구동캠이 그 축방향으로 병설되고, 회전구동되는 회전 입력축과, 상기 연속회전구동캠에 습접하는 타렛트를 개재시켜 연속회전되는 연속회전 출력축과, 상기 요동회전구동캠에 습접하는 타렛트를 개재하여 요동회전되는 요동회전 출력축을 갖추고, 상기 연속회전출력축에서 상기 회전 테이블을 연속 회전구동함과 함께, 상기 요동 회전출력축에서 상기 검사기기 테이블을 요동회전구동하고, 또한 이 검사기기 마운트테이블이 해당 회전테이블과 같은 방향으로 회전구동될 때에 상기 검사기기 마운트테이블을 상기 회전 테이블과 동기 회전시킨다.

더구나, 상기 회전 테이블에는 입력기어가 설치되고, 이 입력기어에는 상기 연속회전출력축에 설치된 출력기어가 치합되고, 해당 연속회전출력축에는 원형의 상기 타렛트가 설치되고, 이 타렛트의 외주에는 상기 연속회전 구동캠에 슬라이딩 가능하게 접촉되는 캠 부조물들이 회전가능하게 설치된다.

여기서, 검사기 마운트테이블에는 그 회전중심 위치 지지축이 설치되고, 해당 지지축에는 상기 피복 회전 출력축이 연결되고, 해당 피봇회전 출력축에는 부채꼴의 상기 타렛트가 설치되고, 해당 타렛트의 외주에는 상기 피봇 회전 구동캠에 슬라이딩 가능하게 접촉되는 캠부조물이 회전가능하게 설치된다.

상기 회전 테이블 및 상기 검사기기마운트테이블의 회전운동속도를 결정하는 상기 연속회전구동캠 및 상기 피봇회전운동캠의 각 캠곡선은 그 검사기기 마운트테이블이 해당 회전 테이블의 회전방향과 동일방향으로 운동하는 타이밍에서는 해당 검사기기마운트테이블과 해당 회전테이블의 운동속도가 같게 되도록 설정되고, 해당 검사기기 마운트테이블이 해당 회전 테이블의 회전방향과 반대방향으로 운동하는 타이밍에서는 해당검사기기가 마운트테이블의 운동속도가 해당 회전테이블의 운동속도보다 빠르도록 설정된다.

상기 회전테이블은 환상으로 형성됨과 아울러 상기 검사기기 마운트케이블은 그 내측공간에 배치되는 내측테이블과 이 내측테이블과 서로 대향시켜 해당 회전테이블의 외측공간에 배치되는 외측테이블을 포함하고, 지지축은 상기 내측 테이블에 그 회전 중심위치로 일체적으로 설치되고, 상기 회전 테이블의 외측에 연장된 아암은 일체적으로 설치됨과 아울러, 해당 외측테이블은 아암에 일체적으로 마운트한다.

또한, 상기 비접촉식검사장치는 상기 내측 테이블 및 상기 외측테이블, 당해 회전테이블에 의하여 반송된 상기 피검사체와 조합 배치된다.

상기 비접촉식검사장치는 피검사체에서 반사되는 광선을 조사하는 투광기 및 영상을 촬영하기 위한 CCD카메라로 구성되고, 상기 투광기에서 조사되고 상기 피검사체에서 반사된 반사광의 영상을 상기 CCD카메라에서 촬영함에 따라 해당 피검사체의 검사를 행한다.

상기 비접촉식 검사 장치는 상기 내측 테이블 및 상기 외측테이블에 각각 배설되고, 이 장치는 상기 피검사체를 투과하는 광선을 조사하는 백라이트 및 투과광을 검지하기 위한 투과겸 검지기로 이루어지며, 백라이트에서 조사되고 상기 피검사체를 투과한 투과경을 상기 투과형 검지기에서 검사함에 따라 해당 피검사체의 검사를 행한다.

또한, 비접촉식검사장치는 각 피검사체(테스트샘플)을 통해 투과하기 위한 발광용 백라이트와 그렇게 전달되는 빛감지용의 전달식센서를 갖추고, 백라이트와 전달시 센서는 내측테이블과 외측테이블상에 각각 배치되며, 백라이트로부터 조사후에 각 테스트 샘플을 통해 전달된 라이트는 테스트 샘플을 검사하기 위해 전달식 센서에 의해 감지된다.

상기 비접촉식검사장치는 X선이나/혹은 전자파를 사용한다.

또, 상기 로터리헤드는 여기에 상하 슬라이드 가능하게 끼워진 스템과, 그 스템을 하방으로 누르는 스프링을 갖추고, 해당 스템의 하단부에는 상기 피검사체의 상부를 잡아주기 위한 캡이 설치된다.

상기 회전테이블의 주위에는 그 주위 방향에 연하여 서로 간격을 두어 그 회전테이블로 상기 피검사체를 반입하기 위한 공급라인과, 상기 회전테이블에서 상기 피검사체를 배출하기 위한 배출라인이 배치된다.

이상의 구성에 따라 본 발명의 비접촉식 검사장치에 있어서는, 회전테이블의 상방에 당해 회전테이블의 회전중심 주위로 회전자체케 지지시켜주는 로터리헤드가 지지된다.

상기 로터리 헤드는 연동기기에 의해 반송될 때에 그 상부가 회전테이블과 동기하여 회전한다.

결국, 피검사체가 로터리 헤드에 의하여 반송될 때 이들 상부는 로터리 테이블과 더불어 동기로 회전되는 로터리 헤드에 의해 구속되어진다.

피검사체가 반송도중 환상의 회전테이블을 협지하여 그 내측과 외측에 배치된 검사기기 마운트테이블의 사이를 통과하는 때에 상기 테이블부분에 설치된 비접촉식 검사장치에 의해 검사되도록 되어 있다.

특히, 피검사체의 상부를 지지하는 로터리 헤드가 회전테이블의 상방에 지지됨으로, 회전테이블의 위에서 더욱이 로터리 헤드의 밑에는 이들 회전 테이블 및 로터리 헤드의 주위 방향 전체주위에 걸쳐서 하등의 차단이 없이 개방된 공간이 형성되게 된다.

따라서, 로터리 헤드에서 그 상부가 보지되면서 회전테이블에 탑재되어 반송되는 피검사체간에는 이들 사이를 차단하는 것이 전혀없기 때문에 검사기기의 검사능력을 피검사체에 대하여 검사기기를 자유로이 레이아웃 할 수 있고, 당해 검사기기에 따른 피검사체의 검사를 고정도로 그리고 광범위하게 실시가능하다.

더구나, 회전테이블의 상방은 피검사체의 반송경로의 상방에 있어서 장치구조상 지장이 없는 데드 스페이스(dead space)로 되어 있고 이 데드스페이스에 로터리 헤드를 지지시키는 장치가 구성되어 있다.

또한, 상기 로터리 헤드를 승강가능하게 지지시키면 이 로터리 헤드에 의한 피검사체의 홀딩위치가 상하로 변화하여 하나의 검사시스템으로 높이가 다른 여러 피검사체를 검사할 수 있게 된다.

더욱이 인터록킹 메카니즘(연동기구)은 상기 회전테이블 및 로터리 헤드에 각각 설치한 한쌍의 제1, 제2인터널기어와, 이들 제1, 제2인터널기어에 각각 치합되면서 서로 연결된 한쌍의 제1, 제2유성기어와, 이들 제1, 제2유성기어를 서로 완전하게 연결시키기 위한 상기 검사기기 마운트테이블에 의해서 회전가능하게 지지되는 연결축을 포함한다.

회전테이블과 함께 제1인터널 기어가 회전되면, 여기에 지합되는 제1유성기어 및 이에 연결한 제2유성기어가 회전되고, 상기 제2유성기어에 치합하는 제2인터널 기어도 회전되어, 이에 의하여 로터리 헤드가 회전테이블과 동기하여 회전되도록 되어 있다.

특히, 상기 제1, 제2유성기어는 검사기기 마운트테이블에 지지되어지므로 이 검사기기 지지테이블이 고정식이라 하더라도, 또한 상기 회전 테이블에 대하여 필요에 응하여 상대회전되는 회전식이라 하더라도, 제1인터널 기어와 제2인터널 기어를 등속 회전시키는 것이 가능하고, 회전테이블과 로터리 헤드와는 항상 동기하여 회전시키는 것으로 된다.

또한, 본 발명의 비접촉식 검사장치에 있어서는 회전입력축을 회전 구동하여 연속회전구동캠 및 요동회전구동캠을 회전 구동시키면, 타렛트 및 연속회전 출력축을 개재하여 전자의 연속회전구동캠에 의해 회전 테이블이 연속회전하며, 타렛트 및 피봇회전출력축을 개재하여 후자의 피봇회전구도캠에 의해 검사기기 마운트테이블이 회전 테이블의 회전과 같은 방향 및 반대방향으로 왕복요동 회전한다.

연속회전하는 회저테이블은 피검사체를 연속적으로 반송한다.

한편, 검사기기 마운트테이블은 회전테이블(로터리 테이블)과 동일방향으로 회전할 때 이 회전테이블과 동기하여 회전구동된다.

따라서, 검사기기 마운트테이블에 마운트된 비접촉식검사기기는 회전테이블에서 반송되는 피검사체와 동기하여 일체로 이동된다.

이 양 테이블의 동기 회전은 이때에 비접촉식검사기기에 피검사체를 검사하는 것으로서, 마치 정지하고 있는 검사기기에 의해 정지하고 있는 피검사체를 검사하고 있는 상태를 만들게 된다.

또한 상기와 같이 비접촉검사기기에서 피검사체에 대한 검사를 실시하고 있는 동안에도, 연속회전하는 회전 테이블은 피검사체를 연속적으로 반송하게 된다.

요동회전구동되는 검사기기 마운트테이블은 회전테이블과 같은 방향으로 회전구동되고 비접촉식 검사기기를 피검사체와 일체로 이동시켜 검사를 실시한 후에는 회전테이블과 반대방향으로 회전구동되어 원래의 위치로 복귀되고 다음번의 검사작업에 임하도록 되어 있다.

특히, 연속회전구동캠 및 요동회전구동캠을 채용하여 회전테이블의 연속회전 및 검사기기 마운트테이블의 요동회전을 얻도록 하고 있다. 이러한 캠 구성은 일련의 운동 전달에 있어서 백랫슈가 없으므로 항상 정확한 동작을 재현하는 기능을 갖고 있어, 양 테이블의 회전운동의 정도가 향상된다.

본 발명은 반송되는 피검사체를 비접촉식 검사기기로서 검사하여, 자동적으로 피검사체의 양부를 판정하도록 한 비접촉식 검사장치에 관한 것이다.

도 1은 본 발명의 구성에 따른 비접촉식 검사장치의 전체는 나타내는 정단면도이고;

도 2는 검사시스템에서 피검사체로서 검사되어질 생산품의 흐름을 설명하는 평면도이고;

도 3은 검사시스템의 주요부를 나타내는 단면도이고;

도 4는 검사시스템에서 사용되는 캠기구의 평면도이고;

도 5는 검사시스템에서 회전테이블과 검사기기 마운트테이블의 운동관계를 나타내는 타임챠트이고;

도 6은 검사시스템의 주요부 확대 단면도이고;

도 7은 비접촉식 검사시스템을 사용한 피검사체의 검사방법의 1예를 나타내는 주요부사시도이고;

도 8은 비접촉식검사시스템을 사용한 피검사체의 검사방법의 다른예를 나타내는 주요부 사시도이고;

도 9는 피검사체를 자전시키는 기구를 보여주는 평면도이고;

도 10은 종래의 검사시스템의 주요부 사시도이고;

도 11은 종래의 검사장시스템의 주요부단면도이다.

[발명을 실시하기 위한 최상의 방식]

이하 본 발명의 실시형태를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 1부터 도 9는 본 발명의 비접촉식 검사장치의 1실시형태를 나타내고 있다.

본 실시형태의 비접촉식 검사장치 10은 내측에 원형의 개구부가 형성된 회전구동되는 환상의 회전테이블 12와, 이 회전테이블 12를 협지하도록 인접시켜 그 내측으로 상기 회전테이블 12의 회전 중심 주위에 회전가능하게 배치되는 내측 테이블 14a, 그리고 외측에 역시 회전테이블 12의 회전중심위치에 회전 가능케 배치되는 외측테이블 14b을 포함한다.

또한, 검사기기 마운트테이블 14은 내측 테이블 14a와 외측 테이블 14b로 구성된다.

상기 회전테이블 12는, 도 2와 같이, 그 상면에 피검사체 18이 재치되어 이를 반송하도록 되어 있고, 이 회전테이블 12에는 공급라인 16으로부터 피검사체 18이 들어오고, 이 피검사체 18을 재치한 상태에서 회전테이블 12가 회전하고, 검사가 종료된 피검사체 18은 배출라인 20으로 배출되도록 되어 있다.

상기 내측 테이블 14a은 원반상을 이루고, 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이 그 중심부 하측에 지축 22가 일체로 수식 설치되어 있다.

한편, 상기 외측 테이블 14b는 도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이 회전테이블 12 원주의 약 1/6주(周)를 넘는 원호상의 띠형태로 형성되고, 그 하측에서 일체로 돌설된 부채꼴의 아암 24의 요부가 상기 내측 테이블 14a의 지축 22 하부에 일체로 장착됨에 따라 내측테이블 14a와 외측테이블 14b가 일체화된다.

또한, 상기 회전 테이블 12는 하면에서 보스부 26이 일체로 형성되고, 이 보스부 26은 상기 지축 22의 상부에 베어링 28을 매개로 회전자재케 감합된다.

상기 내측테이블 14a에는 도 2와 같이 투광기 30 및 투과형 검지기 31이 장착되고, 상기 외측 테이블 14b에는 CCD카메라 32 및 백라이트 33이 설치되며, 피검사체 18을 검사하기 위한 이들 비접촉식 검사기기인 상기 투광기 30과 상기 CCD카메라 32 및 상기 투과형 검지기 31과 상기 백라이트 33은 각각 회전 테이블 12에 의해 반송되는 피검사체 18을 포개어진 상태로 서로 대향되게 배치된다.

상기 회전테이블 12 및 상기 검사기기 마운트테이블 14의 하측에는, 이들 양 테이블 12, 14를 구동하기 위한 캠 기구 36이 배치된다. 상기 캠기구 36은 도시하지 않은 회전구동원으로 부터 회전력이 입력되는 회전입력축 38을 갖추고, 이 회전입력축 38에는 축방향으로 서로 떨어진 연속회전구동캠 40과 요동회전구동캠 42가 병설된다.

한편, 상기 연속회전구동캠 40 및 상기 피봇회전구동캠 42의 각각의 측방에는, 도 4와 같이 연속회전출력축 44 및 피봇회전출력축 46이 회전입력축 38과 직교되게 배치된다.

연속회전 출력축 44에는 원형의 타렛트 28이 감착되고, 이 타렛트 48의 외주에 회전가능하게 설치된 캠부조물 50이 상기 연속회전구동 캠 40에 슬라이딩 접촉된다.

또한 상기 피봇회전출력축 46에는 부채꼴의 타렛트 52가 감착되고, 이 타렛트 52의 외주에 회전가능하게 설치된 캠부조물 54가 상기 피봇회전구동캠 42에 슬라이딩 접촉된다.

따라서, 상기 회전입력축 38의 회전에 따라 상기 연속회전출력축 44는 연속회전구동캠 40 및 타렛트 48을 개재하여 연속회전구동되고, 상기 피봇회전 출력축 46은 피봇회전구동캠 42 및 타렛트 52를 두어 피봇회전구동된다.

상기 연속회전출력축 44의 상단에는 출력기어 56이 설치되는 한편 상기 회전테이블 12의 보스부 26하단에 입려기어 58이 설치되고, 이들 출력기어 56과 입력기어 58이 치합됨에 따라 연속회전출력축 44의 회전이 회전테이블 12에 전달되어져서 회전테이블 12가 연속회전된다.

한편, 상기 피봇회전 출력축 46의 상단은 상기 내측 테이블 14a의 지축 22의 하단에 일체적으로 연결되고, 이 요동회전 출력축 46의 요동회전이 지축 22에 전달되어 내측 14a 및 외측테이블 14b로 되는 검사기기마운트테이블 14가 피봇 회전된다.

여기서 상기 검사기기 마운트테이블 14는 그 전진경로에서 상기 회전테이블 12와 동일방향으로 회전되고, 그후의 회동경로에서 회전테이블 12의 회전방향과는 반대방향으로 회전되도록 되어 있다.

그리고 이와 같이 검사기기 마운트테이블 14를 왕복 피봇회전시키는 피봇 회전구동캠 42의 캠면은 다음과 같이 설정되어 있다.

즉, 회전 테이블 12과 같은 방향으로 회전하는 검사기기 마운트테이블 14의 왕복경로의 피봇회전을 회전테이블 12와 동기하도록 하기 위해 이 회전테이블 12의 회전속도와 같게 정하고, 또한 복로의 요동회전에서는 신속히 원래의 위치로 복귀하도록 설정하고 있다.

이 설정에 따르는 상기 회전테이블 12와 상기 검사기기 마운트테이블 14의 운동관계는 도 5의 타임챠트 나타내고 있고, 이 도면에서 사선으로 나타낸 영역에서 이들 테이블 12,14의 회전각도(회전속도)는 서로 동일한 경사를 가지며, 또한 동일방향에서 등속으로 동기회전되도록 되어 있다.

그리고 상기 검사기기 마운트테이블 14에 마운트한 CCD카메라 32에서 피검사체 18의 영상을 촬영하는데는, 예를 들면 도 7에 나타난 바와 같이 CCD카메라 32와 투광기 30을 세트로 하여, 투광기 30에서 조사한 광선을 피검사체 18에서 반사시켜 이 반사광을 CCD카메라 32에서 촬영하도록 한다.

또한, 상기 피검사체 18이 앰플라이던가 바이알(vial)등과 같이 액체를 수납한 투명용기인 경우 등에는, 도 8과 같이, 투과형 검지기 31과 백라이트 33을 세트로 하고, 백라이트 33에서 조사한 광선을 피검사체 18에 투과되도록 하고, 이 투과광을 투과형 검지기 31에서 검지하도록 한다.

그리고 CCD카메라 32에서 촬영한 화상을 화상처리장치에 보내고, 또한 투과형 검지기 31에서 검지한 신호를 처리장치로 보내어 처리하며, 피검사체 18의 외관의 양부라던가 내용물에 혼입한 이물을 검출하여 당해 피검사체 18의 양부를 판정하도록 되어 있다.

또 한편, 상기 회전테이블 12에 피검사체 18을 공급하는 공급라인 16은 도 2에 나타난 바와 같이 피검사체 18을 일렬로 나란히 정연하게 이동시키는 가이드 60과, 이 가이드 60의 출구부분에 배치되는 제1스타휠(stat wheel)62를 갖추어 구성된다.

그리고, 가이드 60에서 순차압출되는 피검사체 18은, 제1스타휠 62의 외주에 등간격으로 형성된 凹부 62a에 1개씩 취입되고, 이 상태에서 회전테이블 12에는 피검사체 18을 자전시키기 위한 회전가능한 시트 64가 설치되어 있으므로 제1스타휠 62가 회전하여 이들 시트 64에 피검사체 18을 순차로 하나씩 투여하게 되어 있다.

한편 검사를 종료한 피검사체 18을 상기 회전테이블 12에서 배출하는 상기 배출라인 20은, 제2스타휠 66과, 이 제2스타휠 66에 연속되는 선별장치 68로 구성된다. 그리고, 회전 테이블 12에서 순차 송출되는 피검사체 18은 제2스타휠 66의 외주에 등간격으로 형성된 凹부 66a에 하나씩 들어가게 되고, 이 상태에서 제2스타휠 66이 회전됨과 따라 상기 선별장치 68에 피검사체 18이 하나씩 인도 되도록 되어 있다.

상기 선별장치 68은 상기 제2스티휠 66에서 인도받은 피검사체 18을 반송하기 위한 스크류 68a와, 이 스크류 68a에서 하나씩 송출되는 피검사체 18을 제1선별통로 70a 또는 제2선별통로 70b 언저리와 양분하는 전자식 선별기구 70을 갖춘다. 전자식 선별기구 70은 전자 70f를 갖추고 있고, 이 전자 70f는 그 회동중심 0주위에 왕복회동가능케 설치됨과 함께, 이 회동중심 0에서 두 갈래로 나눠지는 한쌍의 통로 70c, 70d를 갖고 있다.

그리고 입구 70e가 상기 전자 70f의 회동중심 0를 중심으로 한 회동에 따라 택일적으로 통로 70c를 매개로하여 제1선별통로 70a에 연통시키던가 또는 통로 70d를 매개로 하여 제2선별통로 70b에 연통시키도록 되어 있다.

제1선별통로 70a에 안내된 피검사체 18은 제1선별 수납부 72에 수용되며, 제2선별통로 70b에 안내된 피검사체 18은 제2선별수납부 72a에 수용되도록 되어 있다.

이때, 예를 들면 제1선별수납부 72는 양품의 수납부로 되고, 또한 제2선별수납부 72aA는 불량품의 수납부로 된다.

한편, 도 2, 도 6 및 도 9와 같이 상기 회전테이블 12에 회전가능하게 설치되어 피검사체 18을 자전가능하게 재치하는 시트 64에서 수직설치한 스핀축 64a는 이 회전테이블 12의 하면으로 부터 돌설되고, 피검사체 18이 검사기기 마운트테이블 14위치로 도달했을 때 모우터 74와 풀리 76간에 원주회전으로 순환구동되는 벨트 78에 슬라이딩 가능하게 접촉되도록 도어 있다.

그리고 스핀축 64a가 벨트 78에 슬라이딩 가능하게 습접됨에 따라 이 스핀축 64a가 회전하여 시트 64를 회전시키고, 이에 따라 피검사체 18을 자전시킨다.

이와 같이 피검사체 18을 회전테이블 12상에서 자전시킴에 따라, 피검사체 18의 외주전체를 한 대의 CCD카메라 32로 촬영하기도 하고, 투과형 검지기 31에 의한 검지작업을 행할 수 있다. 또한 상기 피검사체 18이 앰플이라던가 바이엘등으로서 내용물을 투과광에 따라 검사하는 경우, 자전시킨 피검사체 18을 순간에 제지시키면, 피검사체 18내에서 내용물만이 선회를 계속하여 이물의 혼입을 보다 정확히 검사할 수가 있다.

그런데 상기 회전테이블 12의 회전에 수반하여 이동하는 피검사체 18은 로터리 헤드 80에 설치된 캡 82에 의해 각각의 상부가 눌려지며 마운트되도록 되어 있다.

한편, 상기 비접촉식 검사장치 10은 전체를 둘러싸는 후레임 84에 조립되도록 되어 있고 이 장치 10의 운용상 어떠한 지장도 없는 데드스페이스(dead space)로 되어 있는 후레임 84의 탑스페이스(top space)에 상기 로터리헤드 80이 매달린 상태로 지지되도록 되어 있다.

상기 로터리 헤드 80은 회전테이블 12의 상방에 회전테이블 12의 회전중심주위로 회전가능하게 지지되고, 그 주연부에는 회전테이블 12에 설치된 시트 64에 각각 대응하여 상기 캡 82가 설치되어 있다.

여기서, 캡 82는, 도 6과 같이, 로터리 헤드 80에 상하 미끄럼이동이 가능하게 끼워진 스텝 82A의 하단부에 형성되고, 각각의 스텝 82a는 스프링 82b에 탄지되어 있다.

상기 로터리 헤드 80은 그 외주부가 환상의 승강틀 86의 내주에 베어링 86b를 갖추어서 회전가능하게 마운트되고, 또한 그 승강틀 86은 홀딩후레임 88을 통해 상기 후레임 84의 탑 스페이스 아래쪽에 위치된다.

상기 승강틀 86은 홀딩후레임 88의 슬라이드홈 88a에 상하 슬라이드 가능하게 조합되며 홀딩후레임 88에 회전가능하게 한 복수개의 보울트 90이 나사결합되어 있다.

이들 보울트 90중의 하나에는 후레임 84 상방으로 돌출시킨 그 상단부에 핸들 90a가 설치되고, 더욱이 이들 보울트 90간에는 스프로켓 91a 및 체인 91b로 되는 전동기구 91이 설치되어, 전체 보울트 90이 연동되도록 되어 있다.

따라서 상기 핸들 90a를 회전함에 따라 상기 승강틀 86이 로터리 헤드 80과 함께 승강하도록 되어 있다.

또한, 상기 회전테이블 12와 상기 로터리 헤드 80간에는 연동 기구 92가 설치도고, 이 연동기구 92는 로터리 헤드 80을 회전테이블 12와 동기시켜 회전되도록 되어 있다.

연동기구 92는 회전테이블 12 및 로터리 헤드 80에 각각 설치한 제1, 제2인터널 기어 94, 96을 이들에 각각 치합되는 제1, 제2유성기어 98, 100를 통해서로 연결구성된다.

상기 제1, 제2인터널 기어 94, 96는 회전테이블 12의 내주에 일체로 형성됨과 동시에 제2인터널 기어 96은 로터리 헤드 80의 내주에 일체로 형성된다.

이들 유성기어 98, 100은, 3도와 같이, 피봇회전구동캠 42에서 피봇 회전되는 외측테이블 14b와 간섭되지 않도록 피봇왕복되는 범위 밖으로 배치된다.

그리고, 이들 제1, 제2유성기어 98, 100은 연결축 102를 개재하여 일체로 결합되고; 이 연결축 102는 내측 테이블 14a에 고정한 베어링부재 104에 회전가능하게 지지되도록 되어 있다. 또한 상기 제2유성기어 100은 로터리 헤드 80의 승강량을 고려하여 축방향으로 길게 형성되어 있다.

이상의 구성에 따라 본 실시형태의 비접촉식 검사장치 10에 있어서는, 회전입력 축 38을 회전구동하여 연속회전구동캠 40 및 피봇회전구동캠 2를 매회전 구동시키면 타렛트 48 및 연속회전출력 축 44를 매개로 연속구동회전캠 40에 따라 회전테이블 12가 연속회전함과 동시에, 타렛트 52 및 피봇회전출력 축 46을 매개로 피봇회전구동캠 42에 따라 검사기기 마운트테이블 14가 회전테이블 12의 회전과 같은 방향 및 반대방향으로 왕복 피봇운동한다.

그리고 공급라인 16에서 회전테이블 12의 시이트 64상에 피검사체 18이 순차적으로 하나씩 취입되고, 이들 피검사체 18은 연속회전하는 회전테이블 12에 의하여 연속적으로 반송된다. 이때, 회전테이블 12상의 피검사체 18의 상부는 로터리 헤드 80의 캡 82에 홀딩되고, 이들 피검사체 18은 안정적으로 반송된다.

요동회전하는 검사기기 마운트테이블 14는, 회전테이블 12와 같은 방향으로 회전하는 왕로에서 회전테이블 12와 동기하여 회전되므로, 이 검사기기 마운트테이블 14에 마운트된 제1라이트 30, 투과형검지기 31, CCD카메라 32 및 제2라이트 33은 회전테이블 12에서 반송되는 피검사체 18과 동기하여 일체되어 이동하게 된다.

그리고 이 양 테이블 12, 14의 동기 회전시에 상기 CCD카메라 32 등의 비접촉식 검사기기에서 피검사체 18을 검사하고 있는 상태를 창출할 수 있어서 높은 검사정도에서 검사를 실시할 수 있다.

또한 상기 회전테이블 12와 상기 검사기기 마운트테이블 14가 동기하여 이동하는 구간에서는, 피검사체 18과 CCD카메라 32 및 투과형 검지기 31과의 상대 이동이 없으므로 이 구간에서 연속적으로 촬영을 행하여 다수의 화상을 얻기도 하고 다수의 검지신호를 얻는가 하면, 동일 조건하에서의 복수의 화상과 검지신호상에서 비교대조를 행할 수 있고, 이러한 면에서도 높은 검사정도를 얻을 수가 있다. 최근에는 의약품이라던가 식료품 등의 품질에 대한 기준의 엄격함이 증가되고 있으나, 본 실시형태의 장치에 따라 글래스의 핀홀첵크 라던가 미세한 크랙, 갈라짐 등을 수준 높게 검사할 수 있다.

피검사체 18로서는 상기의 것에 한정되지 않고 전자부품이라던가 기타 여러가지 물품을 대상으로 할 수 있음은 물론이다.

그리고, 피검사체 18에 대한 검사를 실시하고 있는 동안에도 연속회전하고 있는 회전테이블 12에 의하여 피검사체 18을 간단없이 반송시킬 수 있으므로 높은 생산성을 확보할 수 있다.

또한, 상기 피검사체 18의 검사를 종료한 후에는 상기 검사기기 마운트테이블 14는 회전 테이블 12와 반대방향으로 빠르게 회전구동되어 원래의 위치로 복귀되고, 다음 번의 검사작업에 임하도록 되어 있다.

그리고, 회전테이블 12상에서 검사가 종료된 피검사체 18은 배출라인 20에서 송출되고, 양품은 선별장치 68의 스크류 68a를 통과한 후, 전자 70f에서 통로 70c 및 제1선별통로 70a를 매개로 제1선별 수납부 72에 격납된다.

한편, 불량품은 진자 70f가 요동되어 통로 70d 제2선별통로 70b를 매개로 제2선별수납부 72a에 격납되게 된다.

뿐만 아니라, 본 실시형태에 있어서는 제1, 제2라이트 30, 33에서 조사되는 광선을 이용하여 피검사체 18을 검사하는 경우를 개시했으나 이에 한정되지 않으며, X선 이라던가 전자파 등을 이용한 검사기기를 갖추어 구성해도 좋음은 물론이다.

여기서, 본 실시형태에 있어서는, 피검사체 18의 상부를 홀딩하는 캡 82를 갖춘 로터리 헤드 80을 후레임 84의 탑스페이스 홀딩후레임 88 및 승강률 86을 매개로 매달린 상태에서 회전테이블 12의 상방으로 지지시키도록 했으므로, 회전 테이블 12상에서, 특히 로터리 헤드 80의 밑에는 이들 회전테이블 12 및 로터리 헤드 80의 둘레 방향 전체에 걸쳐 어떠한 차단물도 없이 개방된 공간을 형성함이 가능하다.

이에 따라, 피검사체 18에 대하여 제1라이트 30, 투과경 검지기 31, CCD카메라 32 및 제2라이트 3등으로 구성한 비접촉식검사기기로 검사를 행할 때에, 회전테이블 12를 샌드위치식으로 배치되는 이들 검사기기와, 회전테이블 12상의 피검사체 18과의 사이에는 이들 간을 차단하는 것이 전혀없고, 따라서 검사기기의 검사능력을 충분히 시킬 수 있고, 피검사체 18에 대한 검사기기의 배치 레이아웃도 자유롭게 설정할 수 있어서 검사기기에 다른 피검사체 18의 검사를 정밀도가 높고 광범위하게 실시할 수 있다.

또한, 상기 로터리 헤드 80은 이를 회전가능하게 홀딩하는 승강틀 86이 후레임 48에 고정된 홀딩후레임 88에 여러 보울트 90을 통해 설치하게 되어 있어서, 핸들 90a를 조작하는 것으로 승강가능하게 되어 있다.

그리고, 이 로터리 헤드 80을 승강시켜 그 높이를 조절함에 따라 높이가 다른 여러 종류의 피검사체 18을 한 장치에서 검사할 수 있다.

더욱이, 후레임 84의 탑스페이스에 매달린 상태로 지지한 상기 로터리 헤드 80은, 연동기구 92를 회전테이블 12 및 로터리 헤드 80에 각각 설치한 제1, 제2인터널 기어 94, 96과, 이들 제1, 제2인터널 기어가 94, 96에 각각 치합되면서 서로 연결된 한쌍의 제1, 제2유성기어 98,100으로 구성하고, 이들 제1, 제2유성기어 98, 100을 검사기기 마운트테이블 14에 지지하도록 하므로써 회전 테이블 12와 더불어 제1인터널 기어 94가 회전되면 이에 치합되는 제1인터널 기어 94가 회전되고, 이에 치합하는 제1유성기어 98 및 연결축 102를 매개로 연결한 제2유성기어 100이 회전되며, 다시 이 제2유성기어 100에 치합하는 제2인터널 기어 96도 회전하여 로터리 헤드 80을 회전테이블 12와 동기시켜 회전시킬 수 있게 된다.

이때 상기 제1, 제2유성기어 98,100을 베어링 부재 104를 통해 검사기기 마운트테이블 14에 지지되도록 했으므로 검사기기 지지테이블 14가 상기 회전테이블 12에 대하여 상대 회전하여도 제1인터널 기어와 제2인터널 기어 96을 등속시킬 수 있어서 회전테이블 12와 로터리 헤드 80을 항상 동기 회전시킬 수 있다.

특히, 회전테이블 12와 검기기 마운트테이블 14가 동기 회전하는 검사기기에 의해 검사시간 중에 이들 테이블, 12, 14간에 상대회전이 없으므로 제1, 제2유성기어 98,100이 회전됨이 없고, 연동기구 92를 설비하고 있는 등 이로 인한 진동이 발생하지 않고 무진동 상태에서 검사를 행할 수 있고, 극히 고정도의 검사 작업을 보증할 수 있다.

또한, 실시형태에서는 회전테이블 12 및 검사기기 마운트테이블 14를 구동시켜 연속회전구동캠 40 및 요동회전구동캠 42을 사용함에 따라 회전입력축 38의 회전을 회전테이블 12의 연속회전 및 검사기기 마운트테이블 14의 요동없이 항상 정확한 작동을 재현한 피검사체 18의 위치 결정 정도를 높여 화상의 번짐이나 핀트의 어긋남을 없앨 수 있다.

더욱이, 검사기기 마운트테이블 14에는 CCD카메라 32와 투과형 검지기 31을 검사하려는 방향으로 자유로이 할 수 있으므로 한 번에 다항목의 검사를 행할 수 있다.

이상 설명한 바와 같이 본 발명의 비접촉식 검사장치에 있어서는 피검사체의 상부를 홀딩하는 로터리 헤드를 회전테이블의 상방에 지지하도록 했으므로 회전테이블위와 로터리 헤드의 주위 방향 전체에 걸쳐 어떠한 차단물도 없는 개방된 공간을 형성할 수가 있고, 피검사체에 대하여 비접촉 검사기기로 검사를 행할 때에 이 검사기기와 피검사체간에는 이들 사이를 차단하는 것이 가능하며, 피검사체에 대한 검사기기의 배치 레이아웃도 자유롭게 설정할 수 있어서 이들 검사기기에 의한 피검사체의 검사를 고정도 및 광범위로 실시할 수 있다.

또한, 피검사체의 반송경로의 상방에 있어서도 장치구조상 지장을 주는 것이 없는 데드 스페이스로 되어 있는 회전테이블의 상방에 로터리 헤드를 지지하도록 했으므로 로터리 헤드를 설비하기 위해 특별한 설치 스페이스를 확보할 필요없이 이 데드스페이스를 유효하게 이용하여 적절히 로터리 헤드를 레이 아웃할 수 있다.

또한 본 발명의 비접촉식 검사장치에 있어서는 상기 로터리 헤드를 승강가능하게 지지하도록 했으므로, 이 로터리 헤드에 의한 피검사체의 홀딩위치를 상하로 변화시킬 수 있고 높이가 다른 여러개의 다른 종류의 피검사체를 동일의 장치로 검사할 수 있다.

더욱이 본 발명의 비접촉식 검사장치에 있어서는 상기 연동기구를 회전테이블 및 로터리 헤드에 각각 설치한 제1, 2인터널 기어와, 이들 제1 제2유성 기어로 구성하고 이들 제1, 제2유성기어를 상기 검사기기 마운트테이블에 지지시키도록 했으므로 회전테이블과 함께 제1인터널 기어가 회전되면 이들 치합하는 제1유성기어 및 이에 연결된 제2유성기어가 회전하고 다시 이 제2유성기어에 치합하는 제2인터널 기어도 회전하여 이에 의해 로터리 헤드를 회전테이블과 동기시켜 회전시킬 수 있다.

특히 상기 제1, 제2유성기어를 검사기기 마운트테이블에서 지지하도록 하였기 때문에, 이 검사기기 마운트테이블이 고정식 이하이더라도 또한 상기 회전테이블에 대하여 필요에 따라 상대 회전되는 회전식의 경우라 하더라도 제1인터널 기어와 제2인터널 기어를 등속 회전시킬 수 있어서, 회전테이블과 로터리 헤드를 항상 동기회전시킬 수 있다.

또한 본 발명에 있어서는 회전입력 축을 회전구동하여 연속회전구동캠 및 피봇회전 구동캠을 회전구동시키고, 타렛트 및 연속회전출력을 개재하여 회전 테이블을 연속회전시킴과 동시에, 타렛트 및 피봇회전축을 개재하여 검사기기 마운트테이블에 왕복 요동회전시키고 이에 따라 연속회전하는 회전테이블에 의해 피검사체를 연속적으로 반송시키는 한편, 검사기기 마운트테이블을 회전테이블과 동일방향으로 회전구동될 때에 함께 동기회전시키는 것이 가능하므로, 검사기기마운트테이블에 마운트한 비접촉식 검사기기를 회전테이블에서 반송되는 피검사체와 동기시켜 일체로 이동시킬 수 있고, 이 양 테이블의 동기 회전시에 비접촉식 검사기기에서 피검사체를 검사시키는 것으로 마치 정지하고 있는 검사기기에 의해 정지하고 피검사체를 검사하고 있는 상태를 창출함이 가능하여 정밀도 높은 검사를 할 수 있다.

또한 비접촉식 검사기기에 피검사에 대한 검사를 실시하는 동안에도 연속 회전하는 회전테이블에 의해 피검사체를 간단없이 반송할 수 있으므로 높은 생산성을 확보할 수 있다.

더욱이 연속회전구동캠 및 피봇회전구동캠을 채용하여 회전 테이블의 연속회전 및 검사기기 마운트테이블의 피봇회전을 얻도록 하고 있어서 일련의 운동전달에 있어서 백래쉬(backlash)가 없고, 항상 정확한 동작을 재현시킬 수 있고 양 테이블의 회전운동을 고정도로 할 수 있으며 이에 따라 양 테이블의 회전운동의 정도에 영향을 받는 검사 작업의 검사정도를 현저히 향상시킬 수 있다고 하는 각종 뛰어난 효과를 나타낸다.

Claims (18)

1. 회전구동되어 피검사체를 반송하는 환상의 회전테이블과, 해당 회전 테이블을 협지하여 그 내측과 외측에 배치되면서 상기 피검사체를 검사하기 위한 비접촉식 검사기기가 마운트된 검사기기 마운트테이블과, 상기 회전테이블 상방에 이 회전테이블의 회전중심 주위로 회전가능하게 지지되면서 회전테이블에서 반송되는 상기 피검사체의 상부를 홀딩하는 로터리 헤드와, 이 로터리 헤드를 회전 테이블과 동기시켜 회전시키는 운동기구를 갖춘 것을 특징으로 하는 비접촉식 검사장치.
2. 제1항에 있어서, 로터리 헤드가 승강가능하게 지지되어 있는 것을 특징으로 하는 비접촉식 검사장치.
3. 제1항에 있어서, 연동 기구는 상기 회전테이블 및 상기 로터리 헤드에 각각 설치된 한쌍의 제1, 제2인터널 기어와, 이들 제1 제2인터널 기어에 각각 치합되는 한쌍의 제1, 제2유성기어와, 상기 검사기기 마운트테이블에 회전 가능하게 지지되고 지지되면서 상기 제1 제2유성기어를 서로 일체적으로 연결하는 연결축으로 구성되는 유성치차장치를 갖춘 것을 특징으로 하는 비접촉식 검사장치.
4. 제3항에 있어서,제1, 제2인터널 기어는 동일 모듈의 기어이며, 각각 상기 회전테이블의 내주 및 상기 로터리 헤드의 내주에 일체적으로 형성됨과 동시에, 상기 제1, 제2유성기어도 동일모듈의 기어이고, 이들을 연결하는 상기 연결축은 상기 검사기기 마운트테이블에 설치한 베어링 부재에 회전가능하게 지지되는 것을 특징으로 하는 비접촉식 검사장치.
5. 제3항에 있어서, 상기 로터리 헤드는 승강가능하게 지지되고, 이 로터리 헤드의 제2인터널 기어에 치합되는 상기 제2유성기어는 로터리 헤드의 승강량에 대응시켜 축방향으로 길게 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 비접촉식 검사장치.
6. 제2항에 있어서, 비접촉식 검사장치는 상기 회전 테이블 상방에 배치되고 상하방향으로 슬라이드 홈이 형성된 홀딩후레임과, 상기 슬라이드 홈을 통해 상기 홀딩후레임에 승강가능케 설치된 환상의 승강틀과, 상기 로터리 헤드의 외주부를 회전 가능하게 지지하기 위하여 상기 승강틀의 내주부에 설치되는 베어링을 갖추어서, 상기 로터리 헤드는 상기 홀딩후레임에 대하여 해당 승강틀을 통해 승강가능하게 회전가능하게 하방으로 매달리게 지지되어 있는 것을 특징으로 하는 비접촉식 검사장치.
7. 제6항에 있어서, 비접촉식 검사장치는 상기 슬라이드 홈을 통해 승강가능하게 홀딩후레임에 설치되는 상기 승강틀과, 상기 홀딩후레임에 회전가능하게 지지되고 상기 승강틀에 나사결합된 여러 보울트와 상기 보울트에 설치된 스프로켓과 그 스프로켓에 회동가능하게 걸려서 구동력을 전달하는 체인으로 구성되는 동력 전달 기구를 갖춘 것을 특징으로 하는 비접촉식 검사장치.
8. 제1항에 있어서, 상기 검사기기 마운트테이블은 회전 테이블의 회전중심 주위에 회전가능하게 설치됨과 더울어, 연속회전 구동 캠과 피봇회전 구동캠이 그 축방향으로 나란히 병설되고 회전구동되는 회전 입력축과, 상기 연속회전 구동캠에 미끄럼접촉하는 타렛트를 매개로 연속회전되는 연속회전 출력축과, 상기 피봇 회전 구동캠에 미끄럼접촉하는 타렛트를 매개로 피봇회전 되는 피봇회전 출력축을 갖추는 것을 특징으로 함과 동시에, 상기 연속회전 출력축에서 상기 회전테이블을 연속 회전구동시키면서 상기 피봇회전 출력축에서 상기 검사 기기 마운트테이블을 피봇회전구동시키고, 상기 검사기기 마운트테이블이 해당 회전테이블과 같은 방향으로 회전구동될 때 에 그 검사기기 마운트테이블을 해당 회전테이블과 동기 회전되도록 한 것을 특징으로 하는 비접촉식 검사장치.
9. 제8항에 있어서, 회전테이블에는 입력기어가 설치되고, 그 입력기어에는 상기 연속회전 출력축에 설치된 출력기어가 치합되며, 상기 연속회전 출력축에는 원형의 상기 타렛트가 설치되고, 이 타렛트의 외주에는 상기 연속회전 구동캠에 미끄럼접촉되는 캠 부조물이 회전가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 비접촉식 검사장치.
10. 제8항에 있어서, 검사기기 마운트테이블에는 그 회전중심위치에 지지축이 설치되고, 이 지지축에는 상기 피봇회전 출력축이 연결되며, 이 피봇회전 출력축에는 부채꼴의 타렛트가 설치되고, 이 타쳇트의 외주에는 상기 피봇회전 구동캠에 미끄럼접촉하는 캠부조물이 회전가능하게 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 비접촉식 검사장치.
11. 제8항에 있어서, 상기 회전테이블 및 검사기기마운트테이블의 회전 운동속도를 결정하는 상기 연석회전 구동캠 및 상기 피봇회전 구동캠은 상기 검사기기 마운트테이블이 그 회전테이블의 회전방향과 같은 방향으로 운동하는 타이밍에서는 그 검사기기 마운트테이블과 회전테이블의 회전속도는 서로 같으며, 운동하는 타이밍에서는 상기 검사기기 마운트테이블이 그 회전테이블의 회전방향과 반대방향으로 운동하는 타이밍에서는 해당 검사기기 마운트테이블의 운동속도가 해당 회전 테이블의 운동속도보다 빠르게 되도록 설정되는 캠곡선을 갖는 것을 특징으로 하는 비접촉식 검사장치.
12. 제1항에 있어서, 회전테이블은 환상으로 형성되며, 상기 검사기기 마운트테이블은 이 회전테이블을 협지하고, 그 내측공간에 배치되는 내측 테이블 및 이 내측테이블에 서로 마주하는 회전테이블의 외측공간에 배치되는 외측테이블로 구성되고, 상기 내측테이블에는 그 회전중심위치에 지지축이 일체적으로 설치되고, 상기 지지축에는 상기 회전테이블의 외측으로 연장된 아암이 일체적으로 설치됨과 더불어 상기 아암에는 상기 외측테이블이 일체적으로 장착되는 것을 특징으로 하는 비접촉식 검사장치.
13. 제12항에 있어서, 비접촉식 검사기기는 상기 회전테이블을 협지하여 서로 대향하여 배치된 상기 내측 테이블 및 상기 외측테이블에 상기 회전테이블에 의하여 반송되는 피검사체를 협지하여 배치되는 것을 특징으로 하는 청구항 12에 기재된 비접촉식 검사장치.
14. 제13항에 있어서, 비접촉식 검사기기는 상기 내측테이블 및 상기 외측테이블에 각각 배설되면서 피검사체에서 반사되는 광선을 조사하는 투광기 및 영상을 촬영하기 위한 CCD카메라로 이루어지고, 상기 투광기에서 조사되고 상기 피검사체에 반사된 반사광의 영상을 상기 CCD카메라에서 촬영함에 따라 해당 피검사체의 검사가 이루어지도록 하는 것을 특징으로 하는 비접촉식 검사장치.
15. 제13항에 있어서, 비접촉식 검사기기는 상기 내측테이블 및 상기 외측테이블에 각각 배설되면서 피검사체를 투과하는 광선을 조사하는 백라이트 및 투과광을 검지하기 위한 투과형 검지기로 이루어지고, 상기 백라이트에서 조사되고 상기 피검사체를 투과한 투과광을 상기 투과형 검지기에서 검지함에 따라 해당 피검사체의 검사가 이루어지도록 한 것을 특징으로 하는 비접촉식 검사장치.
16. 제1항에 있어서, 비접촉식 검사기기는 X선이나 전자파를 사용한 검사기기인 것을 특징으로 하는 비접촉식 검사장치.
17. 제1항에 있어서, 로터리 헤드는 여기에 상하 슬라이드 가능하게 끼워진 스템과, 이 스템을 하방으로 탄지하는 스프링을 갖추고, 상기 스템의 하단부에는 상기 피검사체의 상부를 잡아주기 위한 캡이 설치되어 있는 것을 특징으로하는 비접촉식 검사장치.
18. 제1항에 있어서, 회전테이블의 주위에는 그 주위방향을 따라 서로 간격을 갖고 피검사체를 회전테이블로 반입하기 위한 공급라인과, 상기 회전테이블에서 피검사체를 배출하기 위한 배출라인이 배치되는 것을 특징으로 하는 비접촉식 검사장치.