KR101923174B1 - 정전 척, 상기 정전 척을 포함하는 박막 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 정전 척의 손상에 의한 성능 저하를 최소화할 수 있는 정전 척, 상기 정전 척을 포함하는 박막 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에 관한 것으로, 제1 플레이트와, 제1 플레이트에 배치되고 전원의 플러스 단자와 전기적으로 연결되는 제1 공통 배선과, 제1 공통 배선과 전기적으로 연결되고 서로 소정 간격 이격되게 배치되며 제1 공통 배선으로부터 연장된 복수의 제1 전극 패턴과, 제1 플레이트에 배치되고 전원의 마이너스 단자와 전기적으로 연결되는 제2 공통 배선과, 제2 공통 배선과 전기적으로 연결되고 서로 소정 간격 이격되게 배치되며 제2 공통 배선으로부터 연장된 복수의 제2 전극 패턴과, 제1 공통 배선과 전기적으로 연결된 제1 추가 배선과, 제2 공통 배선과 전기적으로 연결된 제2 추가 배선을 포함하는 정전 척과 정전 척을 포함하는 박막 증착 장치와 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 제공한다.
Description
본 발명은 정전 척, 상기 정전 척을 포함하는 박막 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 정전 척의 손상에 의한 성능 저하를 최소화할 수 있는 정전 척, 상기 정전 척을 포함하는 박막 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다.
최근에 널리 보급되고 있는 액정 디스플레이, 플라즈마 디스플레이, 유기발광소자 디스플레이 등과 같은 평판 디스플레이나 반도체의 제조공정에서 기판이나 웨이퍼을 고정하여 제조 공정 프로세스를 안정적으로 수행하기 위해서 기계 척, 진공 척 등의 기계적 척과 정전 척과 같은 전기적인 특성을 이용한 전기적 척이 이용되고 있다. 종래, 기계 척은 장치가 복잡하고 보수점검에 시간을 요하는 등의 문제가 있었고, 진공 척은 흡착력이 작고, 이로 인해 기판에 변형이 생긴다는 문제가 있었다.
따라서, 최근에는 정전기력을 이용한 정전 척이 많이 이용되고 있다. 정전 척은 정전기의 힘을 이용해 기판 등을 하부 전극에 고정시키는 장치이다. 정전 척은 크게 하나의 전극과 기판 사이의 전위차를 생성하여 기판을 흡착하는 단극(unipolar)형과 두 개 이상의 전극 사이의 전위차를 형성하여 기판을 흡착하는 쌍극(bipolar)형의 두 가지로 나눌 수 있다. 단극(unipolar)형은 정전기력이 약하고 고전압이 요구되기 때문에 대형의 기판 등에서는 적용하기 힘든 단점이 있다. 이에 반해, 쌍극(bipolar)형은 정전기력이 강하고 저전압에서도 기판 흡착이 가능하기 때문에 대형의 기판을 흡착할 수 있는 장점이 있다.
그러나 정전 척의 경우 표면에 형성된 미세 전극이 쉽게 손상된다는 문제점이 발생하였다.
본 발명은 정전 척의 전극이 손상되었을 때, 단선 처리에 의한 성능 저하 영역을 최소화할 수 있는 정전 척, 상기 정전 척을 포함하는 박막 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일 관점에 의하면, 제1 플레이트와, 제1 플레이트에 배치되고 전원의 플러스 단자와 전기적으로 연결되는 제1 공통 배선과, 제1 공통 배선과 전기적으로 연결되고 서로 소정 간격 이격되게 배치되며 제1 공통 배선으로부터 연장된 복수의 제1 전극 패턴과, 제1 플레이트에 배치되고 전원의 마이너스 단자와 전기적으로 연결되는 제2 공통 배선과, 제2 공통 배선과 전기적으로 연결되고 서로 소정 간격 이격되게 배치되며 제2 공통 배선으로부터 연장된 복수의 제2 전극 패턴과, 제1 공통 배선과 전기적으로 연결된 제1 추가 배선과, 제2 공통 배선과 전기적으로 연결된 제2 추가 배선을 포함하는 정전 척을 제공한다.
본 발명에 있어서, 제1 추가 배선의 양단은 제1 공통 배선의 양단에 각각 연결될 수 있다.
본 발명에 있어서, 제2 추가 배선의 양단은 제2 공통 배선의 양단에 각각 연결될 수 있다.
본 발명에 있어서, 제1 전극 패턴과 제2 전극 패턴은 서로 평행하고 교호적으로 배치될 수 있다.
본 발명에 있어서, 제1 전극 패턴은 제1 공통 배선과 직교할 수 있다.
본 발명에 있어서, 제1 플레이트가 복수 개 배치된 제2 플레이트와, 제2 플레이트에 배치되고 각각의 제1 공통 배선을 전기적으로 연결하는 제1 연결 배선과, 제2 플레이트에 배치되고 각각의 제2 공통 배선을 전기적으로 연결하는 제2 연결 배선을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 관점에 의하면, 제1 플레이트와, 제1 플레이트에 배치되고 전원의 플러스 단자와 전기적으로 연결되는 제1 공통 배선과, 제1 공통 배선과 전기적으로 연결되고 서로 소정 간격 이격되게 배치되며 제1 공통 배선으로부터 연장된 복수의 제1 전극 패턴과, 제1 플레이트에 배치되고 전원의 마이너스 단자와 전기적으로 연결되는 제2 공통 배선과, 제2 공통 배선과 전기적으로 연결되고 서로 소정 간격 이격되게 배치되며 제2 공통 배선으로부터 연장된 복수의 제2 전극 패턴과, 제1 공통 배선과 전기적으로 연결된 제1 추가 배선과, 상기 제2 공통 배선과 전기적으로 연결된 제2 추가 배선을 포함하는 정전 척과, 진공으로 유지되는 복수의 챔버와, 챔버 중 적어도 하나의 내부에 배치되고 피처리체와 소정 간격 이격되며 정전 척에 지지된 피처리체에 박막을 증착하는 적어도 하나의 박막 증착 어셈블리와, 정전 척을 챔버들을 통과하도록 이동시키는 캐리어를 포함하는 박막 증착 장치를 제공한다.
본 발명에 있어서, 제1 추가 배선의 양단은 제1 공통 배선의 양단에 각각 연결될 수 있다.
본 발명에 있어서, 제2 추가 배선의 양단은 제2 공통 배선의 양단에 각각 연결될 수 있다.
본 발명에 있어서, 제1 전극 패턴과 제2 전극 패턴은 서로 평행하고, 교호적으로 배치될 수 있다.
본 발명에 있어서, 제1 전극 패턴은 제1 공통 배선과 직교할 수 있다.
본 발명에 있어서, 제1 플레이트가 복수 개 배치된 제2 플레이트, 제2 플레이트에 배치되고 각각의 제1 공통 배선을 전기적으로 연결하는 제1 연결 배선과, 제2 플레이트에 배치되고 각각의 제2 공통 배선을 전기적으로 연결하는 제2 연결 배선을 더 포함할 수 있다.
본 발명에 있어서, 캐리어는, 챔버를 관통하도록 배설되는 지지대와, 지지대 위에 배치되고 정전 척의 가장자리를 지지하는 이동대와, 지지대와 이동대의 사이에 개재되고 이동대를 지지대를 따라 이동시키는 구동부를 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 일 관점에 의하면, 제1 플레이트와, 제1 플레이트에 배치되고 전원의 플러스 단자와 전기적으로 연결되는 제1 공통 배선과, 제1 공통 배선과 전기적으로 연결되고 서로 소정 간격 이격되게 배치되며 제1 공통 배선으로부터 연장된 복수의 제1 전극 패턴과, 제1 플레이트에 배치되고 전원의 마이너스 단자와 전기적으로 연결되는 제2 공통 배선과, 제2 공통 배선과 전기적으로 연결되고 서로 소정 간격 이격되게 배치되며 제2 공통 배선으로부터 연장된 복수의 제2 전극 패턴과 제1 공통 배선과 전기적으로 연결된 제1 추가 배선과, 제2 공통 배선과 전기적으로 연결된 제2 추가 배선을 포함하는 정전 척으로 피처리체를 고정시키는 단계와, 피처리체가 고정된 정전 척을 진공으로 유지되는 복수의 챔버들을 통과하도록 이송하는 단계와, 챔버들 중 적어도 하나의 내부에 배치된 박막 증착 어셈블리를 이용하고 피처리체을 고정한 정전 척과 박막 증착 어셈블리의 상대적 이동에 의해 피처리체에 유기막을 증착하는 단계를 포함하는 유기 발광 표시 장치의 제조방법을 제공한다.
본 발명에 있어서, 제1 추가 배선의 양단은 제1 공통 배선의 양단에 각각 연결될 수 있다.
본 발명에 있어서, 제2 추가 배선의 양단은 제2 공통 배선의 양단에 각각 연결될 수 있다.
본 발명에 있어서, 제1 전극 패턴과 제2 전극 패턴은 서로 평행하고, 교호적으로 배치될 수 있다.
본 발명에 있어서, 제1 전극 패턴은 제1 공통 배선과 직교할 수 있다.
본 발명에 있어서, 제1 플레이트가 복수 개 배치된 제2 플레이트, 제2 플레이트에 배치되고 각각의 제1 공통 배선을 전기적으로 연결하는 제1 연결 배선과, 제2 플레이트에 배치되고 각각의 제2 공통 배선을 전기적으로 연결하는 제2 연결 배선을 더 포함할 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예에 관한 정전 척, 상기 정전 척을 포함하는 박막 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법은 정전 척의 전극이 손상되었을 때, 단선 처리에 의한 성능 저하 영역을 최소화하여 정전 척의 활용도를 높이고, 상기 정전 척을 포함하는 박막 증착 장치를 이용하여 유기 발광 표시 장치를 효율적으로 제조할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 관한 정전 척을 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 2는 도 1의 정전 척에서 Ⅱ-Ⅱ을 따라 취한 단면을 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 3은 도 1의 정전 척의 손상 시 단선 처리에 의한 전압 미인가 영역을 개략적으로 도시한 설명도이다.
도 4는 본 발명의 다른 일 실시예에 관한 정전 척의 단면을 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 5는 본 발명의 또 다른 일 실시예에 관한 정전 척을 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 6은 도 5의 정전 척에서 Ⅵ-Ⅵ를 따라 취한 단면의 일부를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 7은 본 발명의 정전 척을 구비한 본 발명의 일 실시예에 관한 박막 증착 장치를 개략적으로 도시한 시스템 구성도이다.
도 8은 본 발명의 정전 척을 구비한 본 발명의 다른 일 실시예에 관한 박막 증착 장치를 개략적으로 도시한 시스템 구성도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 관한 제1 순환부의 단면을 도시한 단면도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 관한 제2 순환부의 단면을 도시한 단면도이다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 관한 박막 증착 어셈블리를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 12는 본 발명의 다른 일 실시예에 관한 박막 증착 어셈블리를 개략적으로도시한 사시도이다.
도 13은 본 발명의 또 다른 일 실시예에 관한 박막 증착 어셈블리를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 14는 본 발명의 또 다른 일 실시예에 관한 박막 증착 어셈블리를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 15는 본 발명의 박막 증착 장치를 이용하여 제조된 액티브 매트릭스형 유기 발광 표시 장치의 단면을 도시한 단면도이다.
도 2는 도 1의 정전 척에서 Ⅱ-Ⅱ을 따라 취한 단면을 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 3은 도 1의 정전 척의 손상 시 단선 처리에 의한 전압 미인가 영역을 개략적으로 도시한 설명도이다.
도 4는 본 발명의 다른 일 실시예에 관한 정전 척의 단면을 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 5는 본 발명의 또 다른 일 실시예에 관한 정전 척을 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 6은 도 5의 정전 척에서 Ⅵ-Ⅵ를 따라 취한 단면의 일부를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 7은 본 발명의 정전 척을 구비한 본 발명의 일 실시예에 관한 박막 증착 장치를 개략적으로 도시한 시스템 구성도이다.
도 8은 본 발명의 정전 척을 구비한 본 발명의 다른 일 실시예에 관한 박막 증착 장치를 개략적으로 도시한 시스템 구성도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 관한 제1 순환부의 단면을 도시한 단면도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 관한 제2 순환부의 단면을 도시한 단면도이다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 관한 박막 증착 어셈블리를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 12는 본 발명의 다른 일 실시예에 관한 박막 증착 어셈블리를 개략적으로도시한 사시도이다.
도 13은 본 발명의 또 다른 일 실시예에 관한 박막 증착 어셈블리를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 14는 본 발명의 또 다른 일 실시예에 관한 박막 증착 어셈블리를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 15는 본 발명의 박막 증착 장치를 이용하여 제조된 액티브 매트릭스형 유기 발광 표시 장치의 단면을 도시한 단면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예들에 대하여 보다 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 관한 정전 척을 개략적으로 도시한 평면도이고, 도 2는 도 1의 정전 척에서 Ⅱ-Ⅱ을 따라 취한 단면을 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 1을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 관한 정전 척(600)은, 제1 플레이트(610)와, 전원(670)의 플러스 단자(671)와 전기적으로 연결되는 제1 공통 배선(621)과, 상기 제1 공통 배선(621)을 따라 일정한 간격으로 배치되어 있는 제1 전극 패턴(631)과, 상기 전원(670)의 마이너스 단자(672)와 전기적으로 연결되는 제2 공통 배선(622)과, 상기 제2 공통 배선(622)을 따라 일정한 간격으로 배치되어 있는 제2 전극 패턴(632)과, 제1 추가 배선(661)과 제2 추가 배선(662)을 포함한다.
도 2를 참고하면, 상기 제1 플레이트(610)는 지지 부재(613)와 상기 지지 부재(613) 상에 형성된 절연 부재(615)를 포함한다. 본 실시예에 관한 정전 척(600)은 상기 제1 전극 패턴(631)과 상기 제2 전극 패턴(632)이 상기 절연 부재(615)에 내장될 수 있다.
상기 제1 플레이트(610)는 정전 척(600)의 바디(body)로써, 흡착 대상물인 기판을 지지하는 역할을 한다. 따라서, 상기 제1 플레이트(610)는 상기 기판에 대응하는 크기와 같거나 더 클 수 있다. 상기 제1 플레이트(610)는 평면에서 볼 때, 사각형으로 이루어져 있을 수 있지만 반드시 이에 한정되지는 않으며, 흡착 대상물의 평면 형상에 대응되도록 원형, 타원형, 또는 다각형으로 형성될 수 있다.
상기 지지 부재(613)와 절연 부재(615)의 사이에는 접착층(미도시)을 더 포함할 수 있다.
상기 지지 부재(613)는 흑연(graphite)이나 알루미늄(Al), SUS 등의 금속일 수 있다.
상기 절연 부재(615)는 세라믹판으로, 알루미나(
)일 수 있다. 알루미나(
)는 고온에서의 전기 절연성과 화학적 안정성 및 내마모성이 뛰어나므로, 절연 부재(615)에 적합한 재료일 수 있다.
도 1과 도 2에 도시된 실시예에 관한 정전 척(600)에서는 상기 절연 부재(615)에 제1 전극 패턴(631)과 제2 전극 패턴(632)뿐 아니라, 제1 공통 배선(621)과 제2 공통 배선(622), 제1 추가 배선(661)과 제2 추가 배선(662)도 내장될 수 있다.
상기 제1 전극 패턴(631), 제2 전극 패턴(632), 제1 공통 배선(621), 제2 공통 배선(622), 제1 추가 배선(661) 및/또는 제2 추가 배선(662)은 텅스텐(W)일 수 있지만, 몰디브덴(Mo), 타이탄(Ti) 등과 같은 다른 도전성 재질의 물질일 수도 있다.
상기 제1 공통 배선(621)과 제2 공통 배선(622)은 제1 플레이트(610)의 대향하는 양 외곽면에 배치되어 있고, x축 방향으로 연장되어 있을 수 있다.
상기 제1 전극 패턴(631)은 상기 제1 공통 배선(621)을 따라 일정한 간격으로 복수 개가 배치되어 있다. 상기 제1 전극 패턴(631)은 그 일단이 제1 공통 배선(621)과 전기적으로 연결되는 제1 연결부(640)를 구비하고, 상기 제1 연결부(640)로부터 y방향으로 연장되어 있다.
마찬가지로, 상기 제2 전극 패턴(632)은 제2 공통 배선(622)을 따라 일정한 간격으로 복수 개가 배치되어 있다. 제2 전극 패턴(632)은 그 일단이 제2 공통 배선(622)과 전기적으로 연결되는 제2 연결부(642)를 구비하고, 상기 제2 연결부(642)로부터 y방향으로 연장되어 있다.
상기 제1 전극 패턴(631)과 제2 전극 패턴(632)의 폭(L)은 0.5 내지 2 mm로 할 수 있다. 0.5 mm 보다 작게 형성하는 것을 기술적으로 어렵고, 2 mm보다 크면 발생하는 정전기력이 작아지기 때문에 흡착력이 약해진다.
상기 제1 전극 패턴(631)과 제2 전극 패턴(632)의 높이(h)는 30 내지 50 μm일 수 있다. 30 μm 보다 작으면 전극층 내의 기공률 및 기타 결함으로 인하여 저항 값이 증가하여 흡착력이 약해진다. 또, 50 μm 보다 크면 과전류가 발생하여 아킹(arcing)이 발생할 수 있다. 그러나 폭(L)과 높이(h)는 이에 한정되지 않고, 정전 척의 구조와 물질에 따라 달라질 수 있다.
본 실시예에 관한 정전 척(600)은 제1 전극 패턴(631)과 제2 전극 패턴(632)이 서로 번갈아 반복적으로 배치되고, 동일 평면상에 존재하는 경우를 예시하고 있다. 그러나, 제1 전극 패턴(631)과 제2 전극 패턴(632)은 서로 다른 층에 있을 수도 있고, 평행한 형태, 교차되는 형태일 수도 있다.
상기 제1 추가 배선(661)은 상기 제1 연결부들(641) 중 최외곽 연결점(641a, 641b)을 전기적으로 연결한다.
상기 제1 추가 배선(661)의 형태는 도 1의 실시예에서는 직선 형태이지만, 이에 한정되지 않으며, 곡선의 형태가 포함될 수 있다.
상기 제1 추가 배선(661)은 상기 제1 공통 배선(621)과 마찬가지로, 제1 전극 패턴(631) 및 전원(670)과 통전하고 있다.
제2 추가 배선(662)도 제1 추가 배선(661)과 마찬가지이므로 상세한 설명은 생략한다.
도 3은 도 1의 정전 척의 손상 시 단선 처리에 의한 전압 미인가 영역을 개략적으로 도시한 설명도이다.
예를 들어, 제1 전극 패턴(631)의 일부가 손상된 경우 전류 누설 및 고전압 인가에 따른 아크(arc) 발생 방지를 위하여 손상된 제1 전극 패턴(631)에 전압이 인가되지 않도록 제1 공통 배선(621)의 일부를 단선 처리할 수 있다. 이 때, 이에 대응하는 제2 전극 패턴(632)에도 전압이 인가되지 않도록 제2 공통 배선(622)이 일부도 단선 처리할 수 있다.
상기 제1 추가 배선(661)과 제2 추가 배선(662)에 의해 전압이 제1 공통 배선(621)과 제2 공통 배선(622)의 양 방향으로 인가될 수 있으므로, 손상된 제1 전극 패턴(631)과 접속된 제1 공통 배선(621)과, 이에 대응하는 제2 전극 패턴(632)과 접속된 제2 공통 배선(622)의 양 쪽을 단선 처리할 수 있다. 이렇게 단선처리를 함으로써, 상기 제1 전극 패턴(631)의 일부가 손상되었을 때, 전류 누설 및 고전압 인가에 따른 아크(arc) 발생을 방지할 수 있다.
이는 제2 전극 패턴(632)의 일부가 손상된 경우에도 동일하게 적용된다.
한편, 손상된 제1 전극 패턴(631)을 포함하는 전압 미인가 영역(625)이 발생한다. 따라서, 이 경우 제1 전극 패턴(631)의 손상된 영역에서 전압이 인가되지 않음으로 인해 정전기력이 발생될 수 없어 정전 척의 기능을 상실하게 된다.
그러나, 제1 추가 배선(661)을 부가한 경우 상기 제1 전극 패턴(631)의 일부가 손상이 되었거나, 상기 제1 공통 배선(621)의 일부를 단선 처리하더라도, 상기 제1 추가 배선(661)으로 인해 전압 미인가 영역(625)을 제외한 나머지 영역에 있는 제1 전극 패턴(631)들에 전압이 인가될 수 있다.
이는 제2 추가 배선(662)의 경우도 마찬가지이다. 즉, 도 3에서와 같이 제2 공통 배선(622)의 일부를 단선 처리하더라도, 상기 제2 추가 배선(662)으로 인해, 전압 미인가 영역(625)을 제외한 나머지 영역에 있는 제2 전극 패턴(632)들에 전압이 인가될 수 있다.
본 발명은 이처럼 전극 패턴의 일부에 손상이 발생해 전압이 인가되지 않는 영역이 발생하거나, 손상이 발생된 영역에 대한 공통 배선의 단선 처리가 있는 경우에도 정전 척 자체를 사용하는 데에 문제가 발생되지 않도록 할 수 있다.
도 4는 본 발명의 다른 일 실시예에 관한 정전 척의 단면을 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 4를 참고하면, 구성은 도 1의 실시예와 동일하지만, 제1 전극 패턴(631')과 제2 전극 패턴(632')이 제1 플레이트(610')의 표면에 대하여 외부로 돌출되어 있는 돌기부(623)에 포함되어 있다.
제1 공통 배선(621')과 제2 공통 배선(622'), 제1 추가 배선(661')과 제2 추가 배선(662')도 상기 돌기부(623)에 포함되어 있을 수 있다.
상기 제1 전극 패턴(631')과 제2 전극 패턴(631')은 절연 부재(615') 표면에 형성되고, 그 위로 돌기부(623)가 덮이도록 형성될 수 있다. 상기 돌기부(623)는 제1 전극 패턴(631')과 제2 전극 패턴(31')을 절연시키고, 보호하는 역할을 하는 데, 절연 부재(615')와 같은 물질일 수 있다.
이러한 구성을 통해, 정전기력을 전체 면적에서 균일하게 유도시켜, 안정된 척킹(chucking)을 유도할 수 있다.
도 5는 본 발명의 또 다른 일 실시예에 관한 정전 척을 개략적으로 도시한 평면도이고, 도 6은 도 5의 정전 척에서 Ⅵ-Ⅵ를 따라 취한 단면의 일부를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 5를 참고하면, 제2 플레이트(680)에 도 1의 실시예에 관한 정전 척(600)이 복수 개 배치되어 있고, 각각의 제1 공통 배선(621)을 전기적으로 연결하기 위한 제1 연결 배선(681)과 각각의 제2 공통 배선(622)을 전기적으로 연결하기 위한 제2 연결 배선(682)을 포함한다.
크기가 작은 복수 개의 정전 척(600)을 대형 제2 플레이트(680) 상에 배치함으로써, 흡착 대상물, 예를 들면 기판의 크기가 큰 경우 정전 척의 모든 영역에 대하여 균일한 평탄도를 유지할 수 있다.
도 6을 참고하면, 도 1의 실시예에 따른 정전 척(600)의 제1 공통 배선(621)은 제1 플레이트(610)의 내부를 따라 배치된 매입 배선(691)을 따라 돌기형 단자(692)에 전기적으로 연결되어 있다. 돌기형 단자(692)는 제2 플레이트(680)에 구비되어 있는 홈(693)에 대응되도록 구성되어 상기 홈(693)에 장착 가능하도록 할 수 있다. 홈(693)의 하부에는 제2 플레이트(680)의 내부를 따라 배치된 매입 배선(694)이 있고, 매입 배선(694)은 제1 연결 배선(681)과 접속되어 있다.
따라서 제2 플레이트(680)와 제1 플레이트(610)는 착탈이 가능하고, 제2 플레이트(680)와 제1 플레이트(610)가 장착된 경우, 제1 공통 배선(621)은 제1 연결 배선(681)과 전기적으로 연결이 된다.
제1 연결 배선(681)은 x 방향으로 인접해 있는 모든 정전 척(600)들을 전기적으로 연결하여, 외부 단자(683)를 통해 전원(670)의 플러스 단자(671')와 연결된다.
이는 제2 공통 배선(622)의 경우에도 동일하게 적용된다. 제2 공통 배선(22)은 제2 연결 배선(682)을 통해 서로 연결되어, 외부 단자(684)를 통해 전원(670)의 마이너스 단자(672')와 연결된다.
상기와 같은 정전 척은 박막 증착 장치에 사용될 수 있다.
도 7은 본 발명의 정전 척을 구비한 본 발명의 일 실시예에 관한 박막 증착 장치를 개략적으로 도시한 시스템 구성도이고, 도 8은 본 발명의 정전 척을 구비한 본 발명의 다른 일 실시예에 관한 박막 증착 장치를 개략적으로 도시한 시스템 구성도이다.
도 7을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 증착 장치는 로딩부(710), 증착부(730), 언로딩부(720), 제1 순환부(810) 및 제2 순환부(820)를 포함한다.
로딩부(710)는 제1 래크(712)와, 도입 로봇(714)과, 도입실(716)과, 제1 반전실(718)을 포함할 수 있다.
제1 래크(712)에는 증착이 이루어지기 전의 기판(500)이 다수 적재되어 있고, 도입 로봇(714)은 상기 제1 래크(712)로부터 기판(500)을 잡아 제2 순환부(820)로부터 이송되어 온 정전 척(600)에 기판(500)을 얹은 후, 기판(500)이 부착된 정전 척(600)을 도입실(716)로 옮긴다. 도면에 도시하지는 않았지만 상기 도입 로봇(714)은 소정의 진공도가 유지된 챔버 내에 배치될 수 있다.
상기 정전 척(600)은 도 1 내지 도 6에 따른 실시예가 모두 적용 가능하다.
도입실(716)에 인접하게는 제1 반전실(718)이 구비되며, 제1 반전실(718)에 위치한 제1 반전 로봇(719)이 정전 척(600)을 반전시켜 정전 척(600)을 증착부(730)의 제1 순환부(810)에 장착한다.
도 7에서 볼 때, 도입 로봇(714)은 정전 척(600)의 상면에 기판(500)을 얹게 되고, 이 상태에서 정전 척(600)은 도입실(716)로 이송되며, 제1 반전 로봇(719)이 정전 척(600)을 반전시킴에 따라 증착부(730)에서는 기판(500)이 아래를 향하도록 위치하게 된다. 상기 도입실(716) 및 제1 반전실(718) 모두 소정의 진공도가 유지되는 챔버를 사용하는 것이 바람직하다.
언로딩부(720)의 구성은 위에서 설명한 로딩부(710)의 구성과 반대로 구성된다. 즉, 증착부(730)를 거친 기판(500) 및 정전 척(600)을 제2 반전실(728)에서 제2 반전 로봇(729)이 반전시켜 반출실(726)로 이송하고, 반출 로봇(724)이 반출실(726)에서 기판(500) 및 정전 척(600)을 꺼낸 다음 기판(500)을 정전 척(600)에서 분리하여 제2 래크(722)에 적재한다. 기판(500)과 분리된 정전 척(600)은 제2 순환부(820)를 통해 로딩부(710)로 회송된다. 상기 제2 반전실(728) 및 반출실(726) 모두 소정의 진공도가 유지되는 챔버를 사용하는 것이 바람직하다. 그리고 반출 로봇(724)도 도면에 도시하지는 않았지만 소정의 진공도가 유지된 챔버 내에 배치될 수 있다.
그러나, 본 발명은 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 기판(500)이 정전 척(600)에 최초 고정될 때부터 정전 척(600)의 하면에 기판(500)을 고정시켜 그대로 증착부(730)로 이송시킬 수도 있다. 이 경우, 예컨대 제1 반전실(718) 및 제1 반전 로봇(719)과 제2 반전실(728) 및 제2 반전 로봇(729)은 필요가 없다.
증착부(730)는 적어도 하나의 증착용 챔버를 구비한다. 도 7에 따른 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따르면, 상기 증착부(730)는 제1 챔버(731)를 구비하며, 이 제1 챔버(731) 내에 복수의 박막 증착 어셈블리들(100)(200)(300)(400)이 배치된다. 상기 제1 챔버(731) 내에 제1 박막 증착 어셈블리(100), 제2 박막 증착 어셈블리(200), 제3 박막 증착 어셈블리(300) 및 제4 박막 증착 어셈블리(400)의 네 개의 박막 증착 어셈블리들이 설치되어 있으나, 그 숫자는 증착 물질 및 증착 조건에 따라 가변 가능하다. 상기 제1 챔버(731)는 증착이 진행되는 동안 진공으로 유지된다.
또한, 도 8에 따른 본 발명의 다른 일 실시예에 따르면 상기 증착부(730)는 서로 연계된 제1 챔버(731) 및 제2 챔버(732)를 포함하고, 제1 챔버(731)에는 제1과 제2 박막 증착 어셈블리들(100)(200)이, 제2 챔버(732)에는 제3과 제4 박막 증착 어셈블리들(300)(400)이 배치될 수 있다. 이 때, 챔버의 수가 추가될 수 있음은 물론이다.
한편, 도 7에 따른 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따르면, 상기 기판(500)이 고정된 정전 척(600)은 제1 순환부(810)에 의해 적어도 증착부(730)로, 바람직하게는 상기 로딩부(710), 증착부(730) 및 언로딩부(720)로 순차 이동되고, 상기 언로딩부(720)에서 기판(500)과 분리된 정전 척(600)은 제2 순환부(820)에 의해 상기 로딩부(710)로 환송된다.
상기 제1 순환부(810)는 상기 증착부(730)를 통과할 때에 상기 제1 챔버(731)를 관통하도록 구비되고, 상기 제2 순환부(820)는 정전 척(600)이 이송되도록 구비된다.
도 9는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 관한 제1 순환부의 단면을 도시한 단면도이다.
제1 순환부(810)는 기판(500)을 고정하고 있는 정전 척(600)을 이동시키는 제1 캐리어(811)를 포함한다.
상기 제1 캐리어(811)는 제1 지지대(813)와, 제2 지지대(814)와, 이동대(815)와, 제1 구동부(816)를 포함한다.
상기 제1 지지대(813) 및 제2 지지대(814)는 상기 증착부(730)의 챔버, 예컨대 도 7의 실시예에서는 제1 챔버(731), 도 8의 실시예에서는 제1 챔버(731)와 제2 챔버(732)를 관통하도록 설치된다.
상기 제1 지지대(813)는 제1 챔버(731) 내에서 상부를 향해 배치되고 제2 지지대(814)는 제1 챔버(731)에서 제1 지지대(813)의 하부에 배치된다. 도 9에 도시된 실시예에 따르면 상기 제1 지지대(813)와 제2 지지대(814)가 서로 수직하게 절곡된 구조로 구비되어 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니며 제1 지지대(813)가 상부에, 제2 지지대(814)가 하부에 있는 구조라면 어떠한 것이든 무방하다.
이동대(815)는 제1 지지대(813)를 따라 이동하도록 구비된 것으로, 적어도 일단이 상기 제1 지지대(813)에 의해 지지되고, 타단이 정전 척(600)의 가장자리를 지지하도록 구비된다. 상기 정전 척(600)은 상기 이동대(815)에 고정적으로 지지되어 이동대(815)에 의해 제1 지지대(813)를 따라 이동될 수 있다. 이동대의 정전 척(600)을 지지하는 부분은 박막 증착 어셈블리(100)를 향하도록 절곡되어 기판(500)을 박막 증착 어셈블리(100)에 가깝게 위치시킬 수 있다.
이동대(815)와 제1 지지대(813)의 사이에는 제1 구동부(816)가 포함된다. 이 제1 구동부(816)는 제1 지지대(813)를 따라 구를 수 있는 롤러(817)를 포함할 수 있다. 상기 제1 구동부(816)는 이동대(815)를 제1 지지대(813)를 따라 이동시키는 것으로, 그 자체에서 구동력을 제공하는 것일 수도 있고, 별도의 구동원으로부터의 구동력을 이동대(815)에 전달하는 것이어도 무방하다. 상기 제1 구동부(816)는 롤러(817) 외에도 이동대(815)를 이동시키는 것이면 어떠한 구동장치이건 적용 가능하다.
도 10은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 관한 제2 순환부의 단면을 도시한 단면도이다.
제2 순환부(820)는 기판(500)이 분리된 정전 척(600)을 이동시키는 제2 캐리어(821)를 포함한다.
상기 제2 캐리어(821)도 제3 지지대(823)와, 이동대(815)와, 제1 구동부(816)를 포함한다.
상기 제3 지지대(823)는 제1 캐리어(811)의 제1 지지대(813)와 동일하게 연장된다. 이 제3 지지대(823)에는 제1 구동부(816)를 갖춘 이동대(815)가 지지되며, 이 이동대(815)에 기판(500)과 분리된 정전 척(600)이 장착된다. 이동대(815) 및 제1 구동부(816)의 구조는 전술한 바와 같다.
상기와 같은 정전 척(600)을 이동시키는 시스템은 반드시 위 실시예에 한정되는 것은 아니며, 정전 척(600)을 별도의 롤러 또는 체인 시스템 등으로 레일을 따라 단순히 이동시키는 시스템을 적용할 수도 있음은 물론이다.
다음으로, 상기 제1 챔버(731) 내에 배치되는 박막 증착 어셈블리(100)를 설명한다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 관한 박막 증착 어셈블리를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 11을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 관한 박막 증착 어셈블리(100)는 증착원(110), 증착원 노즐부(120) 및 패터닝 슬릿 시트(150)를 포함한다.
상세히, 증착원(110)에서 방출된 증착 물질(115)이 증착원 노즐부(120) 및 패터닝 슬릿 시트(150)를 통과하여 기판(500)에 원하는 패턴으로 증착되게 하려면, 기본적으로 제1 챔버(731) 내부는 FMM 증착 방법과 동일한 고진공 상태를 유지해야 한다. 또한 패터닝 슬릿 시트(150)의 온도가 증착원(110) 온도보다 충분히 낮아야(약 100°이하) 한다. 왜냐하면, 패터닝 슬릿 시트(150)의 온도가 충분히 낮아야만 온도에 의한 패터닝 슬릿 시트(150)의 열팽창 문제를 최소화할 수 있기 때문이다.
이러한 제1 챔버(731) 내에는 피증착체인 기판(500)이 배치된다. 상기 기판(500)은 평판 표시 장치용 기판이 될 수 있는데, 다수의 평판 표시 장치를 형성할 수 있는 마더 글라스(mother glass)와 같은 대면적 기판이 적용될 수 있다.
여기서, 본 발명의 일 실시예에서는, 기판(500)이 박막 증착 어셈블리(100)에 대하여 상대적으로 이동하면서 증착이 진행되는 것을 일 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 관한 박막 증착 어셈블리(100)는, 박막 증착 어셈블리(100)와 기판(500)이 서로 상대적으로 이동하면서 증착이 이루어지는 것을 일 특징으로 한다. 다시 말하면, 박막 증착 어셈블리(100)와 마주보도록 배치된 기판(500)이 y축 방향을 따라 이동하면서 연속적으로 증착을 수행하게 된다. 즉, 기판(500)이 도 11의 화살표 A 방향으로 이동하면서 스캐닝(scanning) 방식으로 증착이 수행되는 것이다.
본 발명의 박막 증착 어셈블리(100)에서는 종래의 FMM(Fine Metal Mask)에 비하여 훨씬 작게 패터닝 슬릿 시트(150)를 만들 수 있다. 즉, 본 발명의 박막 증착 어셈블리(100)의 경우, 기판(500)이 y축 방향을 따라 이동하면서 연속적으로, 즉 스캐닝(scanning) 방식으로 증착을 수행하기 때문에, 패터닝 슬릿 시트(150)의 x축 방향 및 y축 방향의 길이는 기판(500)의 길이보다 훨씬 작게 형성될 수 있는 것이다. 이와 같이, 종래의 FMM에 비하여 훨씬 작게 패터닝 슬릿 시트(150)를 만들 수 있기 때문에, 본 발명의 패터닝 슬릿 시트(150)는 그 제조가 용이하다. 즉, 패터닝 슬릿 시트(150)의 에칭 작업이나, 그 이후의 정밀 인장 및 용접 작업, 이동 및 세정 작업 등 모든 공정에서, 작은 크기의 패터닝 슬릿 시트(150)가 FMM 증착 방법에 비해 유리하다. 또한, 이는 디스플레이 장치가 대형화될수록 더욱 유리하게 된다.
한편, 챔버 내에서 상기 기판(500)과 대향하는 측에는, 증착 물질(115)이 수납 및 가열되는 증착원(110)이 배치된다. 상기 증착원(110) 내에 수납되어 있는 증착 물질(115)이 기화됨에 따라 기판(500)에 증착이 이루어진다.
더욱 상세하게는, 증착원(110)은 그 내부에 증착 물질(115)이 채워지는 도가니(112)와, 도가니(112)를 가열시켜 도가니(112) 내부에 채워진 증착 물질(115)을 도가니(112)의 일 측, 상세하게는 증착원 노즐부(120) 측으로 증발시키기 위한 냉각 블록(111)을 포함한다. 냉각 블록(111)은 도가니(112)로부터의 열이 외부, 즉, 제1 챔버 내부로 발산되는 것을 최대한 억제하기 위한 것으로, 이 냉각 블록(111)에는 도가니(112)를 가열시키는 히터(미도시)가 포함되어 있다.
증착원(110)의 일측, 상세하게는 증착원(110)에서 기판(500)을 향하는 측에는 증착원 노즐부(120)가 배치된다. 그리고, 증착원 노즐부(120)에는, y축 방향 즉 기판(500)의 스캔 방향을 따라서 복수 개의 증착원 노즐(121)들이 형성된다. 여기서, 상기 복수 개의 증착원 노즐(121)들은 등 간격으로 형성될 수 있다. 증착원(110) 내에서 기화된 증착 물질(115)은 이와 같은 증착원 노즐부(120)를 통과하여 피증착체인 기판(500) 쪽으로 향하게 되는 것이다. 이와 같이, 증착원 노즐부(120) 상에 y축 방향 즉 기판(500)의 스캔 방향을 따라서 복수 개의 증착원 노즐(121)들이 형성할 경우, 패터닝 슬릿 시트(150)의 각각의 패터닝 슬릿(151)들을 통과하는 증착 물질에 의해 형성되는 패턴의 크기는 증착원 노즐(121) 하나의 크기에만 영향을 받으므로(즉, x축 방향으로는 증착원 노즐(121)이 하나만 존재하는 것에 다름 아니므로), 음영(shadow)이 발생하지 않게 된다. 또한, 다수 개의 증착원 노즐(121)들이 스캔 방향으로 존재하므로, 개별 증착원 노즐 간 플럭스(flux) 차이가 발생하여도 그 차이가 상쇄되어 증착 균일도가 일정하게 유지되는 효과를 얻을 수 있다.
한편, 증착원(110)과 기판(500) 사이에는 패터닝 슬릿 시트(150) 및 프레임(155)이 더 구비된다. 프레임(155)은 대략 창문 틀과 같은 형태로 형성되며, 그 내측에 패터닝 슬릿 시트(150)가 결합된다. 그리고, 패터닝 슬릿 시트(150)에는 x축 방향을 따라서 복수 개의 패터닝 슬릿(151)들이 형성된다. 증착원(110) 내에서 기화된 증착 물질(115)은 증착원 노즐부(120) 및 패터닝 슬릿 시트(150)를 통과하여 피증착체인 기판(500) 쪽으로 향하게 되는 것이다. 이때, 상기 패터닝 슬릿 시트(150)는 종래의 파인 메탈 마스크(FMM) 특히 스트라이프 타입(stripe type)의 마스크의 제조 방법과 동일한 방법인 에칭을 통해 제작될 수 있다. 이때, 증착원 노즐(121)들의 총 개수보다 패터닝 슬릿(151)들의 총 개수가 더 많게 형성될 수 있다.
한편, 상술한 증착원(110) 및 이와 결합된 증착원 노즐부(120))과 패터닝 슬릿 시트(150)는 서로 일정 정도 이격되도록 형성될 수 있으며, 증착원(110) 및 이와 결합된 증착원 노즐부(120))과 패터닝 슬릿 시트(150)는 제1 연결 부재(135)에 의하여 서로 연결될 수 있다. 즉, 증착원(110), 증착원 노즐부(120) 및 패터닝 슬릿 시트(150)가 제1 연결 부재(135)에 의해 연결되어 서로 일체로 형성될 수 있는 것이다. 여기서 제1 연결 부재(135)들은 증착원 노즐(121)을 통해 배출되는 증착 물질이 분산되지 않도록 증착 물질의 이동 경로를 가이드 할 수 있다. 도면에는 제1 연결 부재(135)가 증착원(110), 증착원 노즐부(120) 및 패터닝 슬릿 시트(150)의 좌우 방향으로만 형성되어 증착 물질의 x축 방향만을 가이드 하는 것으로 도시되어 있으나, 이는 도시의 편의를 위한 것으로, 본 발명의 사상은 이에 제한되지 아니하며, 제1 연결 부재(135)가 박스 형태의 밀폐형으로 형성되어 증착 물질의 x축 방향 및 y축 방향 이동을 동시에 가이드 할 수도 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 관한 박막 증착 어셈블리(100)는 기판(500)에 대하여 상대적으로 이동하면서 증착을 수행하며, 이와 같이 박막 증착 어셈블리(100)가 기판(500)에 대하여 상대적으로 이동하기 위해서 패터닝 슬릿 시트(150)는 기판(500)으로부터 일정 정도 이격되도록 형성된다.
본 발명의 일 실시예에 관한 박막 증착 어셈블리(100)에서는 패터닝 슬릿 시트(150)가 피증착체인 기판(500)과 소정 간격을 두고 이격되도록 배치되도록 한다.
이와 같은 본 발명에 의해서 마스크를 기판보다 작게 형성한 후, 마스크를 기판에 대하여 이동시키면서 증착을 수행할 수 있게 됨으로써, 마스크 제작이 용이해지는 효과를 얻을 수 있다. 또한, 기판과 마스크 간의 접촉에 의한 불량을 방지하는 효과를 얻을 수 있다. 또한, 공정에서 기판과 마스크를 밀착시키는 시간이 불필요해지기 때문에, 제조 속도가 향상되는 효과를 얻을 수 있다.
도 12는 본 발명의 다른 일 실시예에 관한 박막 증착 어셈블리를 개략적으로도시한 사시도이다.
도 12를 참고하면, 다른 일 실시예에 관한 박막 증착 어셈블리는 증착원(110), 증착원 노즐부(120) 및 패터닝 슬릿 시트(150)를 포함한다. 여기서, 증착원(110)은 그 내부에 증착 물질(115)이 채워지는 도가니(112)와, 도가니(112)를 가열시켜 도가니(112) 내부에 채워진 증착 물질(115)을 증착원 노즐부(120) 측으로 증발시키기 위한 냉각 블록(111)을 포함한다. 한편, 증착원(110)의 일 측에는 증착원 노즐부(120)가 배치되고, 증착원 노즐부(120)에는 y축 방향을 따라서 복수 개의 증착원 노즐(121)들이 형성된다. 한편, 증착원(110)과 기판(500) 사이에는 패터닝 슬릿 시트(150) 및 프레임(155)이 더 구비되고, 패터닝 슬릿 시트(150)에는 x축 방향을 따라서 복수 개의 패터닝 슬릿(151)들이 형성된다. 그리고, 증착원(110) 및 증착원 노즐부(120)와 패터닝 슬릿 시트(150)는 제2 연결 부재(133)에 의해서 결합된다.
본 실시예에서는, 증착원 노즐부(120)에 형성된 복수 개의 증착원 노즐(121)들이 소정 각도 틸트(tilt)되어 배치된다는 점에서 전술한 박막 증착 어셈블리의 일 실시예와 구별된다. 상세히, 증착원 노즐(121)은 두 열의 증착원 노즐(121a)(121b)들로 이루어질 수 있으며, 상기 두 열의 증착원 노즐(121a)(121b)들은 서로 교번하여 배치된다. 이때, 증착원 노즐(121a)(121b)들은 xz 평면상에서 소정 각도 기울어지도록 틸트(tilt)되어 형성될 수 있다. 여기서, 제1 열의 증착원 노즐(121a)들은 제2 열의 증착원 노즐(121b)들을 바라보도록 틸트되고, 제2 열의 증착원 노즐(121b)들은 제1 열의 증착원 노즐(121a)들을 바라보도록 틸트될 수 있다. 다시 말하면, 왼쪽 열에 배치된 증착원 노즐(121a)들은 패터닝 슬릿 시트(150)의 오른쪽 단부를 바라보도록 배치되고, 오른쪽 열에 배치된 증착원 노즐(121b)들은 패터닝 슬릿 시트(150)의 왼쪽 단부를 바라보도록 배치될 수 있는 것이다.
이와 같은 구성에 의하여, 기판의 중앙과 끝 부분에서의 성막 두께 차이가 감소하게 되어 전체적인 증착 물질의 두께가 균일하도록 증착량을 제어할 수 있으며, 나아가서는 재료 이용 효율이 증가하는 효과를 얻을 수 있다.
도 13은 본 발명의 또 다른 일 실시예에 관한 박막 증착 어셈블리를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 13을 참고하면, 또 다른 일 실시예에 관한 박막 증착 장치는 제1 박막 증착 어셈블리(100), 제2 박막 증착 어셈블리(200) 및 제3 박막 증착 어셈블리(300)를 포함한다. 이와 같은 제1 박막 증착 어셈블리(100), 제2 박막 증착 어셈블리(200) 및 제3 박막 증착 어셈블리(300) 각각의 구성은 도 11에서 설명한 박막 증착 어셈블리와 동일하므로 여기서는 그 상세한 설명은 생략하도록 한다.
여기서, 제1 박막 증착 어셈블리(100), 제2 박막 증착 어셈블리(200) 및 제3 박막 증착 어셈블리(300)의 증착원에는 서로 다른 증착 물질들이 구비될 수 있다. 예를 들어, 제1 박막 증착 어셈블리(100)에는 적색 발광층(R)의 재료가 되는 증착 물질이 구비되고, 제2 박막 증착 어셈블리(200)에는 녹색 발광층(G)의 재료가 되는 증착 물질이 구비되고, 제3 박막 증착 어셈블리(300)에는 청색 발광층(B)의 재료가 되는 증착 물질이 구비될 수 있다.
즉, 종래의 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법에서는, 각 색상별로 별도의 챔버와 마스크를 구비하는 것이 일반적이었으나, 본 발명의 일 실시예에 관한 박막 증착 장치를 이용하면, 하나의 멀티 소스로 적색 발광층(R), 녹색 발광층(G) 및 청색 발광층(B)을 한꺼번에 증착할 수 있는 것이다. 따라서, 유기 발광 디스플레이 장치의 생산 시간이 획기적으로 감소하는 동시에, 구비되어야 하는 챔버 수가 감소함으로써, 설비 비용 또한 현저하게 절감되는 효과를 얻을 수 있다.
이 경우, 도면에는 자세히 도시되지 않았지만, 제1 박막 증착 어셈블리(100), 제2 박막 증착 어셈블리(200) 및 제3 박막 증착 어셈블리(300)의 패터닝 슬릿 시트들은 서로 일정 정도 오프셋(offset)되어 배치됨으로써, 그 증착 영역이 중첩되지 않도록 할 수 있다. 다시 말하면, 제1 박막 증착 어셈블리(100)가 적색 발광층(R)의 증착을 담당하고, 제2 박막 증착 어셈블리(200)가 녹색 발광층(G)의 증착을 담당하고, 제3 박막 증착 어셈블리(300)가 청색 발광층(B)의 증착을 담당할 경우, 제1 박막 증착 어셈블리(100)의 패터닝 슬릿(151)과 제2 박막 증착 어셈블리(200)의 패터닝 슬릿(251)과 제3 박막 증착 어셈블리(300)의 패터닝 슬릿(351)이 서로 동일 선상에 위치하지 아니하도록 배치됨으로써, 기판상의 서로 다른 영역에 각각 적색 발광층(R), 녹색 발광층(G), 청색 발광층(B)이 형성되도록 할 수 있다.
여기서, 적색 발광층(R)의 재료가 되는 증착 물질과, 녹색 발광층(G)의 재료가 되는 증착 물질과, 청색 발광층(B)의 재료가 되는 증착 물질은 서로 기화되는 온도가 상이할 수 있으므로, 상기 제1 박막 증착 어셈블리(100)의 증착원(110)의 온도와 상기 제2 박막 증착 어셈블리(200)의 증착원의 온도와 상기 제3 박막 증착 어셈블리(300)의 증착원의 온도가 서로 다르게 설정되는 것도 가능하다.
한편, 도면에는 박막 증착 어셈블리가 세 개 구비되는 것으로 도시되어 있으나, 이에 제한되지 않는다. 즉, 본 발명의 일 실시예에 관한 박막 증착 장치는 박막 증착 어셈블리를 다수 개 구비할 수 있으며, 상기 다수 개의 박막 증착 어셈블리 각각에 서로 다른 물질들을 구비할 수 있다. 예를 들어, 박막 증착 어셈블리를 다섯 개 구비하여, 각각의 박막 증착 어셈블리에 적색 발광층(R), 녹색 발광층(G), 청색 발광층(B) 및 적색 발광층의 보조층(R')과 녹색 발광층의 보조층(G')을 구비할 수 있다.
또한, 도 12에 도시한 다른 일 실시예에 관한 박막 증착 장치도 도 13과 같이 복수 개 배치되도록 할 수 있다.
도 14는 본 발명의 또 다른 일 실시예에 관한 박막 증착 어셈블리를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 14를 참고하면, 또 다른 일 실시예의 박막 증착 어셈블리(100)는 증착원(110), 증착원 노즐부(120), 차단판 어셈블리(130) 및 패터닝 슬릿(151)을 포함한다.
여기서, 도 14에는 설명의 편의를 위해 챔버를 도시하지 않았지만, 도 14의 모든 구성은 적절한 진공도가 유지되는 챔버 내에 배치되는 것이 바람직하다. 이는 증착 물질의 직진성을 확보하기 위함이다.
이러한 챔버 내에는 피증착체인 기판(500)이 정전 척(600)에 의해 이송된다. 상기 기판(500)은 평판 표시 장치용 기판이 될 수 있는 데, 다수의 평판 표시 장치를 형성할 수 있는 마더 글라스(mother glass)와 같은 대면적 기판이 적용될 수 있다.
본 실시예에서는, 기판(500)이 박막 증착 어셈블리(100)에 대하여 상대적으로 이동하는 데, 바람직하게는 박막 증착 어셈블리(100)에 대하여 기판(500)이 A방향으로 이동하도록 할 수 있다.
전술한 도 11에 따른 실시예와 같이 본 발명의 박막 증착 어셈블리(100)에서는 종래의 FMM에 비하여 훨씬 작게 패터닝 슬릿 시트(150)를 만들 수 있다.
한편, 챔버 내에서 상기 기판(500)과 대향하는 측에는, 증착 물질(115)이 수납 및 가열되는 증착원(110)이 배치된다.
상기 증착원(110)은 그 내부에 증착 물질(115)이 채워지는 도가니(112)와, 이 도가니(112)를 둘러싸는 냉각 블록(111)이 구비된다. 냉각 블록(111)은 도가니(112)로부터의 열이 외부, 즉, 제1 챔버 내부로 발산되는 것을 최대한 억제하기 위한 것으로, 이 냉각 블록(111)에는 도가니(112)를 가열시키는 히터(미도시)가 포함되어 있다.
증착원(110)의 일측, 상세하게는 증착원(110)에서 기판(500)을 향하는 측에는 증착원 노즐부(120)가 배치된다. 그리고, 증착원 노즐부(120)에는, x축 방향을 따라서 복수 개의 증착원 노즐(121)들이 형성된다. 여기서, 상기 복수 개의 증착원 노즐(121)들은 등 간격으로 형성될 수 있다. 증착원(110) 내에서 기화된 증착 물질(115)은 이와 같은 증착원 노즐부(120)의 증착원 노즐(121)들을 통과하여 피증착체인 기판(500) 쪽으로 향하게 되는 것이다.
증착원 노즐부(120)의 일 측에는 차단판 어셈블리(130)가 구비된다. 상기 차단판 어셈블리(130)는 복수 개의 차단판(131)들과, 차단판(131)들 외측에 구비되는 차단판 프레임(132)을 포함한다. 상기 복수 개의 차단판(131)들은 x축 방향을 따라서 서로 나란하게 배치될 수 있다. 여기서, 상기 복수 개의 차단판(131)들은 등 간격으로 형성될 수 있다. 또한, 각각의 차단판(131)들은 도면에서 보았을 때 yz평면을 따라 연장되어 있고, 바람직하게는 직사각형으로 구비될 수 있다. 이와 같이 배치된 복수 개의 차단판(131)들은 증착원 노즐부(120)와 패터닝 슬릿 시트(150) 사이의 공간을 복수 개의 증착 공간(S)으로 구획한다. 즉, 본 발명의 일 실시예에 관한 박막 증착 어셈블리(100)는 상기 차단판(131)들에 의하여, 도 14에서 볼 수 있듯이, 증착 물질이 분사되는 각각의 증착원 노즐(121) 별로 증착 공간(S)이 분리된다.
여기서, 각각의 차단판(131)들은 서로 이웃하고 있는 증착원 노즐(121)들 사이에 배치될 수 있다. 이는 다시 말하면, 서로 이웃하고 있는 차단판(131)들 사이에 하나의 증착원 노즐(121)이 배치되는 것이다. 바람직하게, 증착원 노즐(121)은 서로 이웃하고 있는 차단판(131) 사이의 정 중앙에 위치할 수 있다. 그러나 본 발명은 반드시 이에 한정되지 않으며, 서로 이웃하고 있는 차단판(131)들 사이에 복수의 증착원 노즐(121)이 배치하여도 무방하다. 다만, 이 경우에도 복수의 증착원 노즐(121)들이 서로 이웃하고 있는 차단판(131) 사이의 정 중앙에 위치하도록 하는 것이 바람직하다.
이와 같이, 차단판(131)이 증착원 노즐부(120)와 패터닝 슬릿 시트(150) 사이의 공간을 복수 개의 증착 공간(S)으로 구획함으로써, 하나의 증착원 노즐(121)로부터 배출되는 증착 물질은 다른 증착원 노즐(121)로부터 배출된 증착 물질들과 혼합되지 않고, 패터닝 슬릿(151)을 통과하여 기판(500)에 증착되는 것이다. 즉, 상기 차단판(131)들은 각 증착원 노즐(121)을 통해 배출되는 증착 물질이 분산되지 않고 직진성을 유지하도록 증착 물질의 z축 방향의 이동 경로를 가이드 하는 역할을 수행한다. 이에 따라 기판에 형성되는 음영(shadow)의 크기를 대폭적으로 줄일 수 있으며, 따라서 박막 증착 어셈블리(100)와 기판(500)을 일정 정도 이격시키는 것이 가능해진다.
한편, 상기 복수 개의 차단판(131)들의 외측으로는 차단판 프레임(132)이 더 구비될 수 있다. 차단판 프레임(132)은, 복수 개의 차단판(131)들의 측면에 각각 구비되어, 복수 개의 차단판(131)들의 위치를 고정하는 동시에, 증착원 노즐(121)을 통해 배출되는 증착 물질이 y축 방향으로 분산되지 않도록 증착 물질의 y축 방향의 이동 경로를 가이드 하는 역할을 수행한다.
상기 증착원 노즐부(120)와 차단판 어셈블리(130)는 일정 정도 이격된 것이 바람직하다. 이에 따라, 증착원(110)으로부터 발산되는 열이 차단판 어셈블리(130)에 전도되는 것을 방지할 수 있다. 그러나, 본 발명의 사상은 이에 제한되지 아니한다. 즉, 증착원 노즐부(120)와 차단판 어셈블리(130) 사이에 적절한 단열 수단이 구비될 경우 증착원 노즐부(120)와 차단판 어셈블리(130)가 결합하여 접촉할 수도 있을 것이다.
한편, 상기 차단판 어셈블리(130)는 박막 증착 어셈블리(100)로부터 착탈 가능하도록 형성될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 관한 박막 증착 어셈블리(100)에서는 차단판 어셈블리(130)를 이용하여 증착 공간을 외부 공간과 분리하였기 때문에, 기판(500)에 증착되지 않은 증착 물질은 대부분 차단판 어셈블리(130) 내에 증착된다. 따라서, 차단판 어셈블리(130)를 박막 증착 어셈블리(100)로부터 착탈가능하도록 형성하여, 장시간 증착 후 차단판 어셈블리(130)에 증착 물질이 많이 쌓이게 되면, 차단판 어셈블리(130)를 박막 증착 어셈블리(100)로부터 분리하여 별도의 증착 물질 재활용 장치에 넣어서 증착 물질을 회수할 수 있다. 이와 같은 구성을 통하여, 증착 물질 재활용률을 높임으로써 증착 효율이 향상되고 제조 비용이 절감되는 효과를 얻을 수 있다.
한편, 증착원(110)과 기판(500) 사이에는 패터닝 슬릿 시트(150) 및 프레임(155)이 더 구비된다. 상기 프레임(155)은 대략 창문 틀과 같은 형태로 형성되며, 그 내측에 패터닝 슬릿 시트(150)가 결합된다. 그리고, 패터닝 슬릿 시트(150)에는 x축 방향을 따라서 복수 개의 패터닝 슬릿(151)들이 형성된다. 각 패터닝 슬릿(151)들은 y축 방향을 따라 연장되어 있다. 증착원(110) 내에서 기화되어 증착원 노즐(121)을 통과한 증착 물질(115)은 패터닝 슬릿(151)들을 통과하여 피증착체인 기판(500) 쪽으로 향하게 된다.
상기 패터닝 슬릿 시트(150)는 금속 박판으로 형성되고, 인장된 상태에서 프레임(155)에 고정된다. 상기 패터닝 슬릿(151)은 스트라이프 타입(stripe type)으로 패터닝 슬릿 시트(150)에 에칭을 통해 형성된다.
여기서, 본 발명의 일 실시예에 관한 박막 증착 어셈블리(100)는 증착원 노즐(121)들의 총 개수보다 패터닝 슬릿(151)들의 총 개수가 더 많게 형성된다. 또한, 서로 이웃하고 있는 두 개의 차단판(131) 사이에 배치된 증착원 노즐(121)의 개수보다 패터닝 슬릿(151)들의 개수가 더 많게 형성된다. 상기 패터닝 슬릿(151)의 개수는 기판(500)에 형성될 증착 패턴의 개수에 대응되도록 하는 것이 바람직하다.
한편, 상술한 차단판 어셈블리(130)와 패터닝 슬릿 시트(150)는 서로 일정 정도 이격되도록 형성될 수 있으며, 차단판 어셈블리(130)와 패터닝 슬릿 시트(150)는 별도의 제2연결 부재(133)에 의하여 서로 연결될 수 있다. 상세히, 고온 상태의 증착원(110)에 의해 차단판 어셈블리(130)의 온도는 최대 100℃ 이상 상승하기 때문에, 상승된 차단판 어셈블리(130)의 온도가 패터닝 슬릿 시트(150)로 전도되지 않도록 차단판 어셈블리(130)와 패터닝 슬릿 시트(150)를 일정 정도 이격시키는 것이다.
이와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 관한 박막 증착 어셈블리(100)에서는 패터닝 슬릿 시트(150)가 피증착체인 기판(500)과 소정 간격을 두고 이격되도록 배치되도록 한다. 이것은 차단판(131)을 구비하여, 기판(500)에 생성되는 음영(shadow)이 작아지게 됨으로써 실현 가능해진다.
이상 설명한 바와 같은 박막 증착 어셈블리(100)는 도 7에서 볼 수 있듯이 제1 챔버(731) 내에 복수 개가 연속하여 배치될 수 있다. 이 경우, 각 박막 증착 어셈블리(100)(200)(300)(400)는 서로 다른 증착 물질을 증착하도록 할 수 있으며, 이 때, 각 박막 증착 어셈블리(100)(200)(300)(400)의 패터닝 슬릿의 패턴이 서로 다른 패턴이 되도록 하여, 예컨대 적, 녹, 청색의 화소를 일괄 증착하는 등의 성막 공정을 진행할 수 있다.
도 15는 본 발명의 박막 증착 장치를 이용하여 제조된 액티브 매트릭스형 유기 발광 표시 장치의 단면을 도시한 단면도이다.
도 15를 참고하면, 상기 액티브 매트리스형의 유기 발광 표시 장치는 기판(30) 상에 형성된다. 상기 기판(30)은 투명한 소재, 예컨대 글래스재, 플라스틱재, 또는 금속재로 형성될 수 있다. 상기 기판(30)상에는 전체적으로 버퍼층과 같은 절연막(31)이 형성되어 있다.
상기 절연막(31) 상에는 도 15에서 볼 수 있는 바와 같은 TFT(40)와, 커패시터(50)와, 유기 발광 소자(60)가 형성된다.
상기 절연막(31)의 윗면에는 소정 패턴으로 배열된 반도체 활성층(41)이 형성되어 있다. 상기 반도체 활성층(41)은 게이트 절연막(32)에 의하여 매립되어 있다. 상기 활성층(41)은 p형 또는 n형의 반도체로 구비될 수 있다.
상기 게이트 절연막(32)의 윗면에는 상기 활성층(41)과 대응되는 곳에 TFT(40)의 게이트 전극(42)이 형성된다. 그리고, 상기 게이트 전극(42)을 덮도록 층간 절연막(33)이 형성된다. 상기 층간 절연막(33)이 형성된 다음에는 드라이 에칭등의 식각 공정에 의하여 상기 게이트 절연막(32)과 층간 절연막(33)을 식각하여 콘택 홀을 형성시켜서, 상기 활성층(41)의 일부를 드러나게 한다.
그 다음으로, 상기 층간 절연막(33) 상에 소스/드레인 전극(43)이 형성되는 데, 콘택 홀을 통해 노출된 활성층(41)에 접촉되도록 형성된다. 상기 소스/드레인 전극(43)을 덮도록 보호막(34)이 형성되고, 식각 공정을 통하여 상기 드레인 전극(43)의 일부가 드러나도록 한다. 상기 보호막(34) 위로는 보호막(34)의 평탄화를 위해 별도의 절연막을 더 형성할 수도 있다.
한편, 상기 유기 발광 소자(60)는 전류의 흐름에 따라 적,녹,청색의 빛을 발광하여 소정의 화상 정보를 표시하기 위한 것으로서, 상기 보호막(34)상에 제1 전극(61)을 형성한다. 상기 제1 전극(61)은 TFT(40)의 드레인 전극(43)과 전기적으로 연결된다.
그리고, 상기 제1 전극(61)을 덮도록 화소정의막(35)이 형성된다. 이 화소정의막(35)에 소정의 개구(64)를 형성한 후, 이 개구(64)로 한정된 영역 내에 유기 발광막(63)을 형성한다. 유기 발광막(63) 위로는 제2 전극(62)을 형성한다.
상기 화소정의막(35)은 각 화소를 구획하는 것으로, 유기물로 형성되어, 제1 전극(61)이 형성되어 있는 기판의 표면, 특히, 보호막(34)의 표면을 평탄화한다.
상기 제1 전극(61)과 제2 전극(62)은 서로 절연되어 있으며, 유기 발광막(63)에 서로 다른 극성의 전압을 가해 발광이 이뤄지도록 한다.
상기 유기 발광막(63)은 저분자 또는 고분자 유기물이 사용될 수 있는 데, 저분자 유기물을 사용할 경우 홀 주입층(HIL: Hole Injection Layer), 홀 수송층(HTL: Hole Transport Layer), 발광층(EML: Emission Layer), 전자 수송층(ETL: Electron Transport Layer), 전자 주입층(EIL: Electron Injection Layer) 등이 단일 혹은 복합의 구조로 적층되어 형성될 수 있으며, 사용 가능한 유기 재료도 구리 프탈로시아닌(CuPc: copper phthalocyanine), N,N-디(나프탈렌-1-일)-N,N'-디페닐-벤지딘 (N,N'-Di(naphthalene-1-yl)-N,N'-diphenyl-benzidine: NPB), 트리스-8-하이드록시퀴놀린 알루미늄(tris-8-hydroxyquinoline aluminum)(Alq3) 등을 비롯해 다양하게 적용 가능하다. 이들 저분자 유기물은 도 7 내지 도 14에서 볼 수 있는 박막 증착 장치를 이용하여 진공 증착의 방법으로 형성될 수 있다.
먼저, 화소정의막(35)에 개구(64)를 형성한 후, 이 기판(30)을 도 7과 같이 챔버(20)내로 이송한다. 그리고, 제1 증착 소스(11)와 제2 증착 소스(12)에 목표 유기물을 수납한 후 증착한다. 이 때, 호스트와 도펀트를 동시에 증착시킬 경우에는 제1 증착 소스(11)와 제2 증착 소스(12)에 각각 호스트 물질과 도펀트 물질을 수납하여 증착한다.
이러한 유기 발광막을 형성한 후에는 제2 전극(62)을 역시 동일한 증착 공정으로 형성할 수 있다.
한편, 상기 제1 전극(61)은 애노드 전극의 기능을 하고, 상기 제2 전극(62)은 캐소드 전극의 기능을 할 수 있는 데, 물론, 이들 제1 전극(61)과 제2 전극(62)의 극성은 반대로 되어도 무방하다. 그리고, 제1 전극(61)은 각 화소의 영역에 대응되도록 패터닝될 수 있고, 제2 전극(62)은 모든 화소를 덮도록 형성될 수 있다.
상기 제1 전극(61)은 투명 전극 또는 반사형 전극으로 구비될 수 있는 데, 투명 전극으로 사용될 때에는 ITO, IZO, ZnO, 또는 
로 구비될 수 있고, 반사형 전극으로 사용될 때에는 Ag, Mg, Al, Pt, Pd, Au, Ni, Nd, Ir, Cr, 및 이들의 화합물 등으로 반사층을 형성한 후, 그 위에 ITO, IZO, ZnO, 또는 
로 투명 전극층을 형성할 수 있다. 이러한 제1 전극(61)은 스퍼터링 방법 등에 의해 성막된 후 포토 리소그래피법 등에 의해 패터닝된다.
한편, 상기 제2 전극(62)도 투명 전극 또는 반사형 전극으로 구비될 수 있는 데, 투명 전극으로 사용될 때에는 제2 전극(62)이 캐소드 전극으로 사용되므로, 일함수가 작은 금속 즉, Li, Ca, LiF/Ca, LiF/Al, Al, Ag, Mg, 및 이들의 화합물이 유기 발광막(63)의 방향을 향하도록 증착한 후, 그 위에 ITO, IZO, ZnO, 또는 
등으로 보조 전극층이나 버스 전극 라인을 형성할 수 있다. 그리고, 반사형 전극으로 사용될 때에는 위 Li, Ca, LiF/Ca, LiF/Al, Al, Ag, Mg, 및 이들의 화합물을 전면 증착하여 형성한다. 이 때, 증착은 전술한 유기 발광막(63)의 경우와 마찬가지의 방법으로 행할 수 있다.
본 발명은 이 외에도, 유기 TFT의 유기막 또는 무기막 등의 증착에도 사용할 수 있으며, 기타 다양한 소재의 성막 공정에 적용 가능하다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
Claims (19)
- 제1 플레이트;
상기 제1 플레이트에 배치되고 전원의 플러스 단자와 전기적으로 연결되는 제1 공통 배선;
상기 제1 공통 배선과 전기적으로 연결되고, 서로 소정 간격 이격되게 배치되며, 상기 제1 공통 배선으로부터 연장된 복수의 제1 전극 패턴;
상기 제1 플레이트에 배치되고 전원의 마이너스 단자와 전기적으로 연결되는 제2 공통 배선;
상기 제2 공통 배선과 전기적으로 연결되고, 서로 소정 간격 이격되게 배치되며, 상기 제2 공통 배선으로부터 연장된 복수의 제2 전극 패턴;
상기 제1 공통 배선과 전기적으로 연결되며, 상기 제1 공통 배선에 각각 연결된 양단을 포함하는 제1 추가 배선; 및
상기 제2 공통 배선과 전기적으로 연결된 제2 추가 배선;을 포함하는 정전 척. - 삭제
- 제1항에 있어서,
상기 제2 추가 배선의 양단은 상기 제2 공통 배선의 양단에 각각 연결된 것을 특징으로 하는 정전 척. - 제 1항에 있어서,
상기 제1 전극 패턴과 상기 제2 전극 패턴은 서로 평행하고, 교호적으로 배치된 것을 특징으로 하는 정전 척. - 제 1항에 있어서,
상기 제1 전극 패턴은 상기 제1 공통 배선과 직교하는 것을 특징으로 하는 정전 척. - 제1항, 제3항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 플레이트가 복수 개 배치된 제2 플레이트;
상기 제2 플레이트에 배치되고, 각각의 제1 공통 배선을 전기적으로 연결하는 제1 연결 배선; 및
상기 제2 플레이트에 배치되고, 각각의 제2 공통 배선을 전기적으로 연결하는 제2 연결 배선;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정전 척. - 제1 플레이트와, 상기 제1 플레이트에 배치되고 전원의 플러스 단자와 전기적으로 연결되는 제1 공통 배선과 상기 제1 공통 배선과 전기적으로 연결되고 서로 소정 간격 이격되게 배치되며 상기 제1 공통 배선으로부터 연장된 복수의 제1 전극 패턴과, 상기 제1 플레이트에 배치되고 전원의 마이너스 단자와 전기적으로 연결되는 제2 공통 배선과, 상기 제2 공통 배선과 전기적으로 연결되고 서로 소정 간격 이격되게 배치되며 상기 제2 공통 배선으로부터 연장된 복수의 제2 전극 패턴과, 상기 제1 공통 배선과 전기적으로 연결되며, 상기 제1 공통 배선에 각각 연결된 양단을 포함하는 제1 추가 배선과, 상기 제2 공통 배선과 전기적으로 연결된 제2 추가 배선을 포함하는 정전 척;
진공으로 유지되는 복수의 챔버;
상기 챔버 중 적어도 하나의 내부에 배치되고, 피처리체와 소정 간격 이격되며, 상기 정전 척에 지지된 피처리체에 박막을 증착하는 적어도 하나의 박막 증착 어셈블리; 및
상기 정전 척을 상기 챔버들을 통과하도록 이동시키는 캐리어;를 포함하는 박막 증착 장치. - 삭제
- 제7항에 있어서,
상기 제2 추가 배선의 양단은 상기 제2 공통 배선의 양단에 각각 연결된 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치. - 제7항에 있어서,
상기 제1 전극 패턴과 상기 제2 전극 패턴은 서로 평행하고, 교호적으로 배치된 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치. - 제 7항에 있어서,
상기 제1 전극 패턴은 상기 제1 공통 배선과 직교하는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치. - 제7항, 제9항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 플레이트가 복수 개 배치된 제2 플레이트;
상기 제2 플레이트에 배치되고, 각각의 제1 공통 배선을 전기적으로 연결하는 제1 연결 배선; 및
상기 제2 플레이트에 배치되고, 각각의 제2 공통 배선을 전기적으로 연결하는 제2 연결 배선;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치. - 제7항, 제9항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 캐리어는,
상기 챔버를 관통하도록 배설되는 지지대;
상기 지지대 위에 배치되고 상기 정전 척의 가장자리를 지지하는 이동대; 및
상기 지지대와 이동대의 사이에 개재되고 상기 이동대를 상기 지지대를 따라 이동시키는 구동부;를 포함하는 박막 증착 장치. - 제1 플레이트와, 상기 제1 플레이트에 배치되고 전원의 플러스 단자와 전기적으로 연결되는 제1 공통 배선과, 상기 제1 공통 배선과 전기적으로 연결되고 서로 소정 간격 이격되게 배치되며 상기 제1 공통 배선으로부터 연장된 복수의 제1 전극 패턴과, 상기 제1 플레이트에 배치되고 전원의 마이너스 단자와 전기적으로 연결되는 제2 공통 배선과, 상기 제2 공통 배선과 전기적으로 연결되고 서로 소정 간격 이격되게 배치되며 상기 제2 공통 배선으로부터 연장된 복수의 제2 전극 패턴과, 상기 제1 공통 배선과 전기적으로 연결되며, 상기 제1 공통 배선에 각각 연결된 양단을 포함하는 제1 추가 배선과, 상기 제2 공통 배선과 전기적으로 연결된 제2 추가 배선을 포함하는 정전 척으로 피처리체를 고정시키는 단계;
상기 피처리체가 고정된 정전 척을 진공으로 유지되는 복수의 챔버들을 통과하도록 이송하는 단계; 및
상기 챔버들 중 적어도 하나의 내부에 배치된 박막 증착 어셈블리를 이용하고 상기 피처리체를 고정한 정전 척과 상기 박막 증착 어셈블리의 상대적 이동에 의해 상기 피처리체에 유기막을 증착하는 단계;를 포함하는 유기 발광 표시 장치의 제조방법. - 삭제
- 제14항에 있어서,
상기 제2 추가 배선의 양단은 상기 제2 공통 배선의 양단에 각각 연결된 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치의 제조방법. - 제14항에 있어서,
상기 제1 전극 패턴과 상기 제2 전극 패턴은 서로 평행하고, 교호적으로 배치된 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치의 제조방법. - 제 14항에 있어서,
상기 제1 전극 패턴은 상기 제1 공통 배선과 직교하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치의 제조방법. - 제14항, 제16항 내지 제18항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 플레이트가 복수 개 배치된 제2 플레이트;
상기 제2 플레이트에 배치되고, 각각의 제1 공통 배선을 전기적으로 연결하는 제1 연결 배선; 및
상기 제2 플레이트에 배치되고, 각각의 제2 공통 배선을 전기적으로 연결하는 제2 연결 배선;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치의 제조방법.
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