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KR101841597B1 - 반송차 시스템과 반송차 시스템의 검사 방법, 및 검사 대차 - Google Patents

반송차 시스템과 반송차 시스템의 검사 방법, 및 검사 대차 Download PDF

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KR101841597B1
KR101841597B1 KR1020167027779A KR20167027779A KR101841597B1 KR 101841597 B1 KR101841597 B1 KR 101841597B1 KR 1020167027779 A KR1020167027779 A KR 1020167027779A KR 20167027779 A KR20167027779 A KR 20167027779A KR 101841597 B1 KR101841597 B1 KR 101841597B1
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요시노리 온다
테츠야 호우키
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무라다기카이가부시끼가이샤
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Abstract

지상측 컨트롤러로부터 다른 반송차와 동일하게 제어할 수 있고, 또한 다른 반송차와 공존할 수 있는 검사 대차를 구비하는 반송차 시스템을 제공한다. 반송차 시스템은 복수 대의 반송차와 충돌의 회피 룰과 속도의 규제 룰 및 가감속의 패턴이 공통인 검사 대차를 구비하고 있다. 검사 대차는 주행 루트를 주행 중에 주행 루트에 대한 검사 데이터를 취득하도록 구성되어 있다.

Description

반송차 시스템과 반송차 시스템의 검사 방법, 및 검사 대차 {CONVEYING VEHICLE SYSTEM, METHOD OF INSPECTING CONVEYING VEHICLE SYSTEM, AND INSPECTION TRUCK}
본 발명은 천장 주행차 시스템 등의 반송차 시스템에 관한 것으로, 특히 반송차 시스템의 검사에 관한 것이다.
클린룸 등에서의 반송차 시스템으로서 천장 주행차 시스템이 이용되고, 천장 스페이스에 설치되어 있는 주행 루트를 따라 다수 대의 천장 주행차가 주행한다. 천장 주행차 시스템의 가동을 개시하면, 시스템을 정지시키지 않고 주행 루트를 검사하는 것은 어려워진다. 이 때문에 메인터넌스가 지연되는 경우가 있다.
특허 문헌 1(JP4117625B)은 반송차의 일부를 검사 대차로서 이용하는 것을 제안하고 있다. 그러나 이러한 검사 대차는 실현되어 있지 않다.
JP4,117,625B
본 발명의 과제는, 다른 반송차와 공존할 수 있고 또한 다른 반송차와 동일하게 지상측 컨트롤러로부터 제어할 수 있는 검사 대차를 구비하는 반송차 시스템을 제공하는 것에 있다.
본 발명은, 복수 대의 반송차와 적어도 1 대의 검사 대차가 지상측 컨트롤러로부터의 지령에 의해 주행 루트를 주행하는 반송차 시스템에 있어서, 상기 검사 대차는 상기 복수 대의 반송차와, 충돌의 회피 룰과 속도의 규제 룰 및 가감속의 패턴이 공통이고, 또한 상기 검사 대차는 주행 루트를 주행 중에 주행 루트에 대한 검사 데이터를 취득하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 또한, 복수 대의 반송차가 지상측 컨트롤러로부터의 지령에 의해 주행 루트를 주행하는 반송차 시스템의 검사 방법에 있어서, 상기 복수 대의 반송차와 충돌의 회피 룰과 속도의 규제 룰 및 가감속의 패턴이 공통인 검사 대차를 구비하고, 또한 상기 검사 대차는 주행 루트를 주행 중에 주행 루트에 대한 검사 데이터를 취득하는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 또한, 복수 대의 반송차가 지상측 컨트롤러로부터의 지령에 의해 주행 루트를 주행하는 반송차 시스템에서의 주행 루트를 검사하는 검사 대차에 있어서, 상기 검사 대차는 상기 복수 대의 반송차와 충돌의 회피 룰과 속도의 규제 룰 및 가감속의 패턴이 공통이고, 또한 상기 검사 대차는 주행 루트를 주행 중에 주행 루트에 대한 검사 데이터를 취득하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 한다. 검사 대차는 바람직하게는, 다른 반송차와 마찬가지로 동일한 규격의 물품을 동일한 조건으로 반송할 수 있다. 이 명세서에서, 반송차 시스템에 관한 기재는 검사 방법, 검사 대차에도 적용된다.
반송차는 천장 주행차, 무인 반송차 등이며, 특히 천장 주행차이다. 본 발명에서는, 가동 중의 반송차 시스템을 정지시키지 않고 검사를 할 수 있다. 이 때문에 반송차 시스템의 문제가 본격적인 트러블이 되기 전에 예방 보전을 할 수 있어, 반송차 시스템의 가동률을 향상시킬 수 있다.
바람직하게는, 상기 검사 대차는 주행 중에는 검사 데이터를 외부에 출력하지 않고 메모리에 기억하도록 구성되어 있다. 이와 같이 하면 통신량의 증가를 억제할 수 있다.
바람직하게는, 복수의 샘플링 주기를 1 기억 주기로 하고, 상기 검사 대차는 상기 샘플링 주기마다 검사 데이터를 샘플링하고, 1 기억 주기 내에서 허용 범위로부터 가장 벗어난 검사 데이터를 기억 주기의 검사 데이터로서 기억하도록 구성되어 있다. 이와 같이 하면, 1 기억 주기에 대하여 1 레코드의 기억이어도 되며, 필요한 기억 용량을 작게 할 수 있다.
또한 바람직하게는, 상기 검사 대차는 상기 허용 범위로부터 벗어난 검사 데이터가 없는 기억 주기에 대하여 상기 허용 범위 내에서 목표값으로부터 가장 벗어난 검사 데이터를 기억하도록 구성되어 있다. 이와 같이 하면, 허용 범위 내의 한계에 가까운 검사 데이터를 수집할 수 있다.
바람직하게는, 상기 복수 대의 반송차와 검사 대차는 LAN을 개재하여 상기 지상측 컨트롤러와 통신하도록 구성되고, 상기 검사 대차는 고유의 통신 어드레스가 부여되어 있는 무선 통신 유닛을 더 구비하고, 반송차 시스템의 진단용 컴퓨터에 접속된 무선 액세스 포인트를 경유하여 상기 검사 데이터를 진단용 컴퓨터에 출력하도록 구성되어 있다. 무선 액세스 포인트로부터 진단용 컴퓨터에 LAN을 개재하지 않고 검사 데이터를 출력하므로, LAN의 부담을 작게 할 수 있다.
바람직하게는, 상기 검사 대차는 상기 복수 대의 반송차와 공통의 캐리어를 반송할 수 있고, 또한 상기 캐리어가 반송 중에 받는 진동을 검사 데이터로서 취득하도록 구성되어 있다. 용기는 예를 들면 반도체 웨이퍼, 레티클, 액정 패널 등의 용기로, 이와 같이 하면 반송 물품이 반송 중에 받는 진동의 정도를 검사할 수 있다.
바람직하게는, 상기 검사 대차와 상기 복수 대의 반송차는 주행 루트에 부설된 급전선으로부터 비접촉으로 수전하도록 구성되고, 또한 상기 검사 대차는 급전선으로부터의 수전 전력을 검사 데이터로서 취득하도록 구성되어 있다. 이와 같이 하면, 비접촉급전의 신뢰성을 검사할 수 있다. 비접촉 급전용의 전력을 상시 공급하지 않고, 반송차의 전력 수요에 따라 공급할 수도 있다. 그 경우, 수전부의 전압을 검사해도 되고, 혹은 주행 모터, 승강 모터 등의 모터를 구동할 만큼의 전력을 수전할 수 있었는지를 검사해도 된다.
바람직하게는, 상기 검사 대차와 상기 복수 대의 반송차는 지상측 컨트롤러와 무선 통신하도록 구성되고, 또한 상기 검사 대차는 무선 통신에서의 수신 전계 강도와 통신의 성공률을 검사 데이터로서 취득하도록 구성되어 있다. 무선 통신은, 예를 들면 피더 무선, 급전선에서의 급전용의 주파수와는 주파수를 상이하게 한 통신, 혹은 무선 LAN에 의한 통신 등이다. 이와 같이 하면, 어느 통신의 경우에서도, 통신 환경을 검사할 수 있다.
상기 검사 대차와 상기 복수 대의 반송차는 주행 루트에 마련된 바코드를 판독하도록 구성되고, 또한 상기 검사 대차는 바코드의 설치의 양 / 불량의 데이터를 검사 데이터로서 취득하도록 구성되어 있다. 이와 같이 하면 바코드의 장착 불량을 검사할 수 있고, 특히 장착 불량인 바코드가 바코드 리더와 간섭하는 것도 방지할 수 있다.
주행 루트에는 상기 검사 대차 및 상기 복수 대의 반송차를 가이드하는 가이드가 마련되고, 또한 상기 검사 대차는 가이드 위치의 양 / 불량의 데이터를 검사 데이터로서 취득하도록 구성되어 있다. 이와 같이 하면 가이드 위치의 불량을 검사할 수 있다.
바람직하게는, 상기 검사 대차는 상기 급전선의 느슨해짐에 관한 검사 데이터를 취득하도록 구성되어 있다. 이와 같이 하면 급전선의 느슨해짐을 검사할 수 있다.
바람직하게는, 상기 진단용 컴퓨터는 주행 루트의 레이아웃에 중첩하여 반송차 시스템의 문제를 모니터에 표시하도록 구성되어 있다. 이 표시에 의해, 문제의 발생 위치를 시각적으로 작업자가 알 수 있다.
또한 바람직하게는, 상기 진단용 컴퓨터는 반송차 시스템의 문제의 종류에 따라 아이콘의 종류를 바꾸고, 또한 문제의 정도에 따라 아이콘의 색을 바꾸어 표시하도록 구성되어 있다. 이와 같이 하면 문제의 종류와 정도를 시각적으로 작업자가 알 수 있다.
도 1은 검사 대차와 레일을 나타내는 측면도이다.
도 2는 대차 유닛과 가이드 레일을 나타내는 평면도이다.
도 3은 리츠선으로부터의 수전의 검사와 피더 통신의 검사를 나타내는 도이다.
도 4는 검사 대차의 통신 환경을 나타내는 도이다.
도 5는 진단용 컴퓨터의 블록도이다.
도 6은 검사 대차를 중심으로 한 표시를 나타내는 도이다.
도 7은 주행 루트의 검사 결과의 표시를 나타내는 도이다.
도 8은 복수 주(周) 주행했을 시의 검사 결과의 표시를 나타내는 도이다.
이하에 본 발명을 실시하기 위한 최적 실시예를 나타낸다. 본 발명의 범위는, 특허 청구의 범위의 기재에 기초하여 명세서의 기재와 이 분야에서의 주지 기술을 참작하여 당업자의 이해에 따라 정해져야 한다.
[실시예]
도 1 ~ 도 8에 실시예를 나타낸다. 2는 검사 대차이며, 레일(4)의 검사용의 기기를 탑재하고 검사 데이터의 처리부를 구비하고 있는 것 외에는, 다른 천장 주행차와 동일하다. 또한 검사 대차(2)는 다른 천장 주행차와 동일한 주행 룰로, 즉 동일한 충돌의 회피 룰과, 동일한 속도 규제 룰 및 동일한 가감속의 패턴으로 주행한다. 검사 대차는 다른 천장 주행차와 동일한 통신 프로토콜로, 로드 포트, 버퍼, 스태커 등과 통신한다. 검사 대차(2)는 또한, 도 4에 나타내는 지상측 컨트롤러로부터 다른 천장 주행차와 동일한 프로토콜의 주행 지령을 받아 지정된 출발지에서 목적지까지 주행하고, 그 동안에 물품의 반송과 주행 레일(4)의 검사를 행한다. 또한 수백 대의 다른 천장 주행차가 레일(4)을 주행하고, 검사 대차(2)는 예를 들면 1 대 ~ 복수 대 배치되어 있다.
레일(4)은 예를 들면 클린룸의 천장 스페이스에 마련되고, 검사 대차(2)는 전후 한 쌍의 대차 유닛(6, 6)을 구비하고, 대차 유닛(6, 6) 사이에 구동륜 유닛(8)이 배치되어 있다. 10은 검사 대차(2)의 본체부이다. 구동륜 유닛(8)은 구동륜인 주행 차륜(12)과 주행 모터(14)를 구비하고, 전후 양단을 대차 유닛(6, 6)에 연직축 둘레로 회동 가능하게 지지되고, 부세부(付勢部)(16)에 의해 정해진 접촉 압력으로 레일(4)의 답면(踏面)(50)에 접하도록 가압되어 있다. 대차 유닛(6, 6)은 종동륜(20)과 분기와 직진의 전환용의 가이드 롤러(22, 24)를 구비하고 있다. 또한 대차 유닛(6, 6)은 수전(受電) 유닛(28)을 구비하고, 크로스 롤러 베어링(30, 30)에 의해 본체부(10)를 지지하고 있다. 수전 유닛(28)의 상세는 도 3에 나타낸다.
검사 대차(2)는 리니어 센서(32)를 구비하고, 레일(4)에 설치된 자기 마크를 판독하여 검사 대차(2)의 절대 위치를 검출한다. 또한 주행 모터(14)의 도시하지 않은 엔코더에 의해 주행 차륜(12)의 회전수를 검출한다. 또한 검사 대차는 지상측 컨트롤러와 피더 무선 및 무선 LAN을 개재하여 통신한다. 본체부(10)는 래터럴 유닛(34)을 구비하여 θ 유닛(36)과 호이스트(38)를 주행 방향으로 수평면 내에서 직각으로 횡이동시키고, θ 유닛(36)은 호이스트(38)를 연직축 둘레로 회동시키고, 호이스트(38)는 척(41)을 구비하는 핸드(40)를 승강시킨다. 레일(4)은 답면(50, 51)을 구비하고, 리츠선 홀더(52, 52)에 의해 리츠선을 지지하고, 수전 유닛(28)에 비접촉으로 급전한다.
검사 대차(2)는, 예를 들면 본체부(10)의 상부에 변위 센서(46)를 구비하고, 레일(4)에 장착된 도시하지 않은 바코드가 정규의 위치로부터 아래로 처져 있지 않은가를 검사한다. 또한 바코드가 아래로 처져 있으면 바코드 리더와 간섭할 우려가 있다. 또한 예를 들면 척(41)에 가속도 센서 등의 진동 센서(48)를 구비하고, FOUP 등의 반송 물품이 주행 중과 승강 중에 받는 진동을 검사한다. 또한 진동 센서(48)를 FOUP이 구비하고 있어도 된다.
도 2에 나타내는 바와 같이, 한 쌍의 가이드(53, 53)가 하향으로 돌출되고, 가이드 롤러(22, 24)를 가이드하여 분기와 직진을 가이드한다. 가이드(53)의 두께는 정확하지만, 레일(4)의 장착 불량 등에 의해 가이드 롤러(22)와의 간격에 문제가 생길 가능성이 있다. 따라서 과전류 센서(54)에 의해, 가이드 롤러(22)측에서의 가이드(53)의 가이드면의 위치를 검사한다. 이에 의해 가이드 롤러(24)측에서의 가이드면의 위치도 동시에 검사된다. 과전류 센서(54)는 가이드면과의 간격을 측정할 수 있는 센서의 예로, 실시예에서는 알루미늄제의 레일과 스테인리스제의 레일 어느 것에도 대응할 수 있도록 한 쌍의 대차 유닛(6, 6)의 일방에 알루미늄용의 과전류 센서를, 타방에 철용의 과전류 센서를 마련한다. 과전류 센서(54)에 의해 가이드 롤러(24)측에서의 가이드면의 위치를 검사해도 된다.
도 3에 리츠선(58) 및 피더선(59)에 관한 검사를 나타내며, 이들은 리츠선 홀더(52)에 지지되어 있다. 레일(4)은 좌우 쌍방에 리츠선 홀더(52)를 구비하고 있으므로, 좌우 어느 리츠선 홀더(52)도 검사할 수 있도록, 광원(L1 ~ L4)과 수광 소자(D1 ~ D4)를 좌우 쌍방에 마련한다. 55는 자성체의 수전 코어로, 도시하지 않은 코일이 감겨져, 리츠선(58)을 흐르는 교류 전류로부터의 자계에 의해 비접촉으로 수전한다. 또한 안테나(56)를 개재하여 피더선(59)과의 사이에서 무선 통신한다.
리츠선(58)의 느슨해짐을 광원(L1, L2)과 수광단(D1, D2)에 의해 검사하고, 피더선(59)의 느슨해짐을 광원(L3, L4)과 수광단(D3, D4)에 의해 검사한다. 또한 로드(57)는 수광단(D3, D4)을 지지하고 있다. 수전 코어(55)에 감겨진 코일의 양단이 정류부(60)에 접속되며, 커패시터(62)로 축전하고, 인버터(64)를 개재하여 주행 모터(14)와 승강 모터(66)로 전력이 공급된다. 그리고, 전압 센서(S1)에 의해 주행 모터(14)의 전원 전압을 감시하고, 전압 센서(S2)에 의해 승강 모터(66)의 전원 전압을 감시한다.
68은 피더 통신용의 통신 유닛으로, 안테나(56)를 경유하여 피더선(59)과의 사이에서 통신하고, 통신 환경 측정부(S3)는 피더선(59)으로부터의 신호의 전계 강도와 통신의 성공률, 예를 들면 송신의 성공률 혹은 수신과 송신 쌍방의 성공률을 측정한다.
도 4는 검사 대차(2)의 통신 환경을 나타낸다. 검사 대차(2) 및 다른 반송 대차는 예를 들면 피더 통신에 의해 지상측 컨트롤러(75)와 통신하고, 그 지령에 따라 물품의 반송과 레일의 검사를 행하고, 정해진 룰에 따라 주행함으로써 다른 천장 주행차와의 간섭을 회피한다. 검사 대차(2)는 무선 LAN(76) 경유로도 통신할 수 있고, 무선 LAN에서의 고유의 통신 어드레스가 할당되어, 예를 들면 메인터넌스 에어리어에서 정지했을 시, 진단용 컴퓨터(72)에 액세스 포인트(70)를 개재하여 검사 데이터를 송신한다. 또한 검사 대차(2)에 USB 메모리 등을 장착하고, 검사 데이터를 USB 메모리를 개재하여 진단용 컴퓨터(72)에 출력해도 된다. 73은 모니터, 74는 키보드, 마우스 등의 유저 입력이다.
도 5에 검사 대차(2)에서의 검사 데이터의 수집과 진단용 컴퓨터(72)에서의 처리를 나타낸다. 검사 데이터는 종류마다, 목표값과 정상 범위, 정상 범위를 일탈한 경고 범위 및 경고 범위를 일탈한 이상 범위가 규정되어 있다. 샘플링부(80)는, 센서등으로부터 검사 데이터를 예를 들면 10 m초의 샘플링 주기로 샘플링한다. 검사 데이터를 비교부(81), 일시 메모리(82)에서 처리하여, 예를 들면 100 m초 등의 기억 주기 내에서의 최악값(목표값으로부터의 차이가 최대인 데이터)을 기억부(84)에 저장한다. 기억부(84)는 불휘발성의 EEPROM 등이다. 또한 통신 환경은 수신 전계의 강도와 통신의 성공률을 의미한다. 검사 데이터의 종류마다 동일한 처리를 행하므로, 1 종류의 처리를 도시한다. 비교부(81)에서 일시 메모리(82) 내의 검사 데이터와 금회의 데이터 중 어느 것이 목표값으로부터 벗어나 있는가를 비교하고, 목표값으로부터 벗어나 있는 측의 검사 데이터(최악값)를 일시 메모리(82)에 저장한다. 그리고, 기억부(84)에는 100 m초 주기로 최악값이 기억된다.
기억되는 검사 데이터의 레코드는, 예를 들면 검사 데이터의 값, 불량 / 경고 / 정상 등의 평가로 이루어지고, 시각은 레코드의 어드레스로부터 판명되며, 주행 루트 상의 위치(어느 레일의 어느 위치인가)는 로그 파일 기억부(86)에서의 시각과 위치의 기록으로부터 판명된다. 시각과 위치의 데이터를 검사 데이터의 레코드에 추가해도 된다.
진단용 컴퓨터(72)는 기억부(84)의 검사 데이터의 레코드와 로그 파일 기억부(86)의 데이터를 뷰어(90)로 처리한다. 맵 기억부(92)에 기억하고 있는 주행 루트의 레이아웃의 정보를 이용하여, 뷰어(90)는 검사 데이터를 주행 루트의 레이아웃에 중첩하여 모니터(73)에 표시한다. 이 표시에 대하여, 작업자는 유저 입력(74)으로부터 질문, 검색 등을 할 수 있다.
도 6 ~ 도 8에 모니터에서의 표시의 예를 나타낸다. 도 6은 검사 대차의 위치를 중심으로 한 표시로, 표시 영역(100)에는 주행 루트의 레이아웃에 중첩하여 검사 대차의 위치가 직사각형의 마크로 나타내지고, 검사 대차는 레이아웃 상을 이동한다. 또한 A01 등의 기호는 주행 루트의 위치를 나타내는 포인트이다. 표시 영역(102)에서는 X축, Y축, Z축에서의 진동의 강도를 나타내는 것이 나타내지고, 다른 검사 항목으로 변경할 수 있다. 표시 영역(104)에는 표시하는 시간의 범위가 나타내지고, 이 동안의 진동의 거동은 표시 영역(106)에 나타나 있다.
도 7은 주행 루트의 검사 결과의 표시로, 검사 완료와 미검사로 주행 루트가 구분되어 나타내지며, 검사 완료 구간은 정상은 흑색이며, 경고(이상과 정상의 사이)와 이상은 색으로 분류하거나 또는 형상을 상이하게 하여 나타나 있다. 그리고 경고와 이상에 대하여, 문제의 종류를 나타내는 아이콘이 표시되고, 아이콘은 경고와 이상에서 색으로 분류하거나 또는 형상을 상이하게 하고 있다. 도 7에서는 포인트(A11 - A12) 사이에서 통신의 성공률이 낮다고 경고되어 있다.
검사의 정확을 기하기 위하여, 검사 대차로 주행 루트를 복수 주(周) 주행시킨다.
이 경우, 1 주마다 아이콘을 비켜 배치하면 보기 쉬우며, 이러한 예를 도 8에 나타낸다. 도 8에서는 3 주분의 검사 데이터가 나타내지고, 포인트(A02 - A03) 사이에서는, 주행 모터에 대한 수전 전압이 1 주째와 3 주째에서 이상이며, 2 주째에서 경고이다. 그 외에, foup의 진동이 1 주째에서 이상, 2 주째에서 정상, 3 주째는 경고이다. 포인트(A03 - A04) 사이에서는, 승강 모터에 대한 수전 전압이 1 주째와 3 주째에서 경고이고, 2 주째에서 정상이다.
실시예에서는, 수백 대 규모의 천장 주행차가 주행하는 천장 주행차 시스템을 가동 중에 검사할 수 있다.
2 : 검사 대차
4 : 레일
6 : 대차 유닛
8 : 구동륜 유닛
10 : 본체부
12 : 주행 차륜
14 : 주행 모터
16 : 부세부
20 : 종동륜
22, 24 : 가이드 롤러
28 : 수전 유닛
30 : 크로스 롤러 베어링
32 : 리니어 센서
34 : 래터럴 유닛
36 : θ 유닛
38 : 호이스트
40 : 핸드
41 : 척
46 : 변위 센서
48 : 진동 센서
50, 51 : 답면
52 : 리츠선 홀더
53 : 가이드
54 : 과전류 센서
55 : 수전 코어
56 : 안테나
57 : 로드
58 : 리츠선
59 : 피더선
60 : 정류부
62 : 커패시터
64 : 인버터
66 : 승강 모터
68 : 통신 유닛
70 : 액세스 포인트
72 : 진단용 컴퓨터
73 : 모니터
74 : 유저 입력
75 : 지상측 컨트롤러
76 : LAN
80 : 샘플링부
81 : 비교부
82 : 일시 메모리
84 : 기억부
86 : 로그 파일 기억부
90 : 뷰어
92 : 맵 기억부
100 ~ 106 : 표시 영역
L1 ~ L4 : 광원
D1 ~ D4 : 수광 소자
S1, S2 : 전압 센서
S3 : 통신 환경 측정부

Claims (15)

  1. 복수 대의 반송차와 적어도 1 대의 검사 대차가 지상측 컨트롤러로부터의 지령에 의해 주행 루트를 주행하는 반송차 시스템에 있어서,
    상기 검사 대차는 상기 복수 대의 반송차와 충돌의 회피 룰과 속도의 규제 룰 및 가감속의 패턴이 공통이고,
    또한 상기 검사 대차는 주행 루트를 주행 중에 주행 루트에 대한 검사 데이터를 취득하도록 구성되고, 샘플링 주기마다 검사 데이터를 샘플링하도록 구성되고, 또한 복수의 샘플링 주기를 1 기억 주기로 하여, 1 기억 주기 내에서 허용 범위로부터 가장 벗어난 검사 데이터를 기억 주기의 검사 데이터로서 기억하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 반송차 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 검사 대차는 주행 중에는 검사 데이터를 외부에 출력하지 않고 메모리에 기억하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 반송차 시스템.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 검사 대차는 상기 허용 범위로부터 벗어난 검사 데이터가 없는 기억 주기에 대하여 상기 허용 범위 내에서 목표값으로부터 가장 벗어난 검사 데이터를 기억하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 반송차 시스템.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 복수 대의 반송차와 검사 대차는 LAN을 개재하여 상기 지상측 컨트롤러와 통신하도록 구성되고,
    상기 검사 대차는 고유의 통신 어드레스가 부여되어 있는 무선 통신 유닛을 더 구비하고, 반송차 시스템의 진단용 컴퓨터에 접속된 무선 액세스 포인트를 경유하여 상기 검사 데이터를 진단용 컴퓨터에 출력하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 반송차 시스템.
  5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 검사 대차는 상기 복수 대의 반송차와 공통의 캐리어를 반송할 수 있고, 또한 상기 캐리어가 반송 중에 받는 진동을 검사 데이터로서 취득하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 반송차 시스템.
  6. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 검사 대차와 상기 복수 대의 반송차는 주행 루트에 부설된 급전선으로부터 비접촉으로 수전하도록 구성되고,
    또한 상기 검사 대차는 급전선으로부터의 수전 전력을 검사 데이터로서 취득하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 반송차 시스템.
  7. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 검사 대차와 상기 복수 대의 반송차는 지상측 컨트롤러와 무선 통신하도록 구성되고,
    또한 상기 검사 대차는 무선 통신에서의 수신 전계 강도와 통신의 성공률을 검사 데이터로서 취득하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 반송차 시스템.
  8. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 검사 대차와 상기 복수 대의 반송차는 주행 루트에 마련된 바코드를 판독하도록 구성되고,
    또한 상기 검사 대차는 바코드의 장착의 양 / 불량의 데이터를 검사 데이터로서 취득하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 반송차 시스템.
  9. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    주행 루트에는 상기 검사 대차 및 상기 복수 대의 반송차를 가이드하는 가이드가 마련되고,
    또한 상기 검사 대차는 가이드 위치의 양 / 불량의 데이터를 검사 데이터로서 취득하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 반송차 시스템.
  10. 제 6 항에 있어서,
    상기 검사 대차는 상기 급전선의 느슨해짐에 관한 검사 데이터를 취득하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 반송차 시스템.
  11. 제 4 항에 있어서,
    상기 진단용 컴퓨터는 주행 루트의 레이아웃에 중첩하여 반송차 시스템의 문제를 모니터에 표시하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 반송차 시스템.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 진단용 컴퓨터는 반송차 시스템의 문제의 종류에 따라 아이콘의 종류를 바꾸고, 또한 문제의 정도에 따라 아이콘의 색을 바꾸어 표시하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 반송차 시스템.
  13. 복수 대의 반송차가 지상측 컨트롤러로부터의 지령에 의해 주행 루트를 주행하는 반송차 시스템의 검사 방법에 있어서,
    상기 복수 대의 반송차와 충돌의 회피 룰과 속도의 규제 룰 및 가감속의 패턴이 공통인 검사 대차를 구비하고,
    또한 상기 검사 대차는 주행 루트의 검사 데이터를 취득하기 위하여 주행 루트를 주행 중에 샘플링 주기마다 검사 데이터를 샘플링하고, 복수의 샘플링 주기를 1 기억 주기로 하여, 1 기억 주기 내에서 허용 범위로부터 가장 벗어난 검사 데이터를 기억 주기의 검사 데이터로서 기억하는 것을 특징으로 하는 반송차 시스템의 검사 방법.
  14. 복수 대의 반송차가 지상측 컨트롤러로부터의 지령에 의해 주행 루트를 주행하는 반송차 시스템에서의, 주행 루트를 검사하는 검사 대차에 있어서,
    상기 검사 대차는 상기 복수 대의 반송차와 충돌의 회피 룰과 속도의 규제 룰 및 가감속의 패턴이 공통이고,
    또한 상기 검사 대차는 주행 루트를 주행 중에 주행 루트에 대한 검사 데이터를 취득하도록 구성되고, 샘플링 주기마다 검사 데이터를 샘플링하도록 구성되고, 또한 복수의 샘플링 주기를 1 기억 주기로 하여, 1 기억 주기 내에서 허용 범위로부터 가장 벗어난 검사 데이터를 기억 주기의 검사 데이터로서 기억하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 검사 대차.
  15. 삭제
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