KR101614750B1 - 세라믹 적층체의 제조 장치 및 그 제조 방법 - Google Patents

Abstract

[과제] 성막 지지 수단으로부터 박리 전사 롤을 통해서 적층 지지 수단으로 세라믹 시트를 전사할 때에 세라믹 시트에 큰 부하를 가하지 않고 반송할 수 있고, 품질이 좋은 세라믹 적층체를 제조하는 것.
[해결 수단] 표면에 세라믹 시트(S)가 형성된 성막 롤(12)과, 성막 롤(12)에 대하여 세라믹 시트(S)를 사이에 두고 접촉하고, 세라믹 시트를 성막 롤로부터 박리하는 박리 전사 롤(14)과, 세라믹 시트(S)를 사이에 두고 박리 전사 롤과 접촉하고, 박리 전사 롤로부터 세라믹 시트를 박리해서 그 세라믹 시트를 적층함으로써 세라믹 적층체를 얻는 적층 롤(16)을 구비한다. 박리 전사 롤(14)의 외주부를 세라믹 시트에 대한 접착력이 성막 롤(12)보다 크지 않은 탄성체(14b)로 구성하고, 성막 롤(12)과 박리 전사 롤(14)의 접촉 위치에 탄성체(14b)에 의한 전단 변형에 의해 흡수할 수 있는 속도차를 부여했다.

Description

세라믹 적층체의 제조 장치 및 그 제조 방법{APPARATUS FOR MANUFACTURING CERAMIC LAMINATE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME}

본 발명은 적층 세라믹 콘덴서 등의 적층형 전자 부품의 제조 공정에서 사용되는 세라믹 적층체의 제조 장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다.

적층 세라믹 콘덴서를 제조할 경우, 특허문헌 1과 같이 장척인 캐리어 필름 상에 세라믹 그린시트를 형성하고, 그 위에 내부 전극을 인쇄하고, 세라믹 그린시트를 원하는 사이즈로 컷팅해서 캐리어 필름으로부터 박리함과 아울러 컷팅된 세라믹 그린시트를 복수 층 적층해서 적층체 블록을 형성하는 방법이 일반적이다. 캐리어 필름으로부터 세라믹 그린시트를 박리하는 방법으로서 정반 상에 흡인 구멍에 의해 세라믹 그린시트를 지지하는 캐리어 필름의 하면을 흡착 유지함과 아울러 정반의 상방에 다수의 흡인 구멍을 갖는 흡착 헤드를 설치하고, 흡착 헤드의 흡인 구멍에 의해 세라믹 그린시트의 상면을 흡착한 상태로 흡착 헤드를 상승시킴으로써 세라믹 그린시트를 캐리어로부터 박리하고 있다.

그렇지만, 정반과 흡착 헤드가 함께 평판 형상이기 때문에 박리 모드는 면 박리이다. 흡착 헤드의 흡인 구멍은 소정의 간격을 두고 형성되어 있으므로 흡인 구멍 사이의 세라믹 그린시트는 유지되어 있지 않다. 그 때문에, 세라믹 그린시트가 얇고 강도가 작을 경우, 정반 상의 캐리어 필름으로부터 세라믹 그린시트를 박리하는 도중에 흡인 구멍 사이의 세라믹 그린시트가 파단될 가능성이 있다.

특허문헌 2의 도 3에는 효율적인 세라믹 적층체의 제조 장치가 개시되어 있다. 이 제조 장치는 이형(離型) 처리가 실시된 성막 롤 상에 성막 장치에 의해 세라믹 슬러리를 박막 형상으로 도포하고, 세라믹 슬러리를 건조 장치에 의해 건조한 후, 그 세라믹 시트를 박리 전사 롤에 옮겨 놓고, 또한 박리 전사 롤로부터 적층 롤로 세라믹 시트를 전사함으로써 적층 롤 상에 세라믹 시트를 다층으로 적층하고 있다. 적층 롤 상에서는 전극 형성 장치에 의해 각 세라믹 시트 상에 전극을 형성하고 있다.

특허문헌 2에 기재된 장치에서는 연속 운전에 의해 세라믹 슬러리를 성막할 수 있으므로 간헐적인 성막 방법에 비해서 막 두께의 안정 영역이 넓어지고, 품질 및 양산성이 향상됨과 아울러 캐리어 필름을 사용하지 않고 성막, 적층할 수 있으므로 제조 비용을 저감할 수 있다는 이점이 있다. 또한, 적층 롤 상에 세라믹 시트가 적층됨에 따라서 적층 롤의 직경이 증대되지만, 그에 따라 박리 전사 롤의 위치나 압력을 조정할 수 있으므로 적층체의 품질을 안정화시킬 수 있다. 또한, 적층 롤이 성막 롤에 직접 접촉하지 않으므로 적층 롤의 가압력이 성막 롤을 손상시킨다는 문제를 해소할 수 있다.

일본 특허 공개 2002-254421호 공보 일본 특허 공개 2011-258928호 공보

특허문헌 2에서는 성막 롤로부터 박리 전사 롤로 세라믹 시트를 확실하게 옮겨 놓게 하기 위해서 성막 롤 상에는 이형 처리가 실시되고, 박리 전사 롤에는 점착 수단 또는 흡착 수단(흡인 또는 정전 흡착)이 설치되어 있다.

그런데, 박리 전사 롤에 점착 수단을 사용한 경우에는 그 점착력을 적절하게 제어하는 것이 어렵고, 점착력이 지나치게 강하면 세라믹 시트를 적층 롤에 원활하게 전사할 수 없고, 반대로 점착력이 지나치게 약하면 성막 롤로부터 세라믹 시트를 원활하게 박리할 수 없다.

한편, 박리 전사 롤로서 흡입 롤과 같은 흡착 수단을 사용하면 유지력의 제어는 간단하지만, 캐리어 필름에 의해 지지되어 있지 않은 세라믹 시트의 표면을 진공 흡인하기 때문에 흡인 구멍을 갖지 않는 영역에서 세라믹 시트에 연장이 발생하거나, 흡인 구멍에 의한 흡인 흔적이 세라믹 시트의 표면에 남는 경우가 있어 세라믹 적층체의 품질 저하를 초래할 가능성이 있다. 특히, 막 두께가 작은 저강도의 세라믹 시트의 경우, 약간의 부하로도 세라믹 시트가 뒤틀리므로 진공 흡인에 의한 흡착 수단은 채용하기 어렵다.

그래서, 본 발명의 목적은 성막 지지 수단으로부터 박리 전사 롤을 통해서 적층 지지 수단으로 세라믹 시트를 전사할 때에 세라믹 시트에 큰 부하를 가하지 않고 반송할 수 있고, 품질이 좋은 세라믹 적층체를 제조할 수 있는 세라믹 적층체의 제조 장치 및 제조 방법을 제공하는 것에 있다.

상기 목적을 달성하기 위해서 본 발명에 의한 세라믹 적층체의 제조 장치는 표면 상에 세라믹 시트가 형성된 성막 지지 수단과, 상기 세라믹 시트를 사이에 두고 상기 성막 지지 수단과 접촉하고, 상기 세라믹 시트를 성막 지지 수단으로부터 박리하는 박리 전사 롤과, 상기 세라믹 시트를 사이에 두고 상기 박리 전사 롤과 접촉하고, 상기 박리 전사 롤로 전사시킨 세라믹 시트를 상기 박리 전사 롤로부터 박리함과 아울러 박리한 세라믹 시트를 적층함으로써 상기 세라믹 시트의 적층체를 얻는 적층 지지 수단을 구비하는 세라믹 적층체의 제조 장치에 있어서, 상기 박리 전사 롤의 적어도 외주부를 상기 세라믹 시트에 대한 접착력이 상기 성막 지지 수단보다 크지 않은 탄성체로 구성되고, 상기 성막 지지 수단과 상기 박리 전사 롤의 접촉 위치에 상기 탄성체에 의한 전단 변형에 의해 흡수할 수 있는 속도차를 부여한 것을 특징으로 하는 것이다.

본 발명에 의한 세라믹 적층체의 제조 방법은 성막 지지 수단의 표면에 세라믹 시트를 형성하는 성막 형성 공정과, 상기 성막 지지 수단에 대하여 상기 세라믹 시트를 통해서 박리 전사 롤을 접촉시킴으로써 상기 세라믹 시트를 상기 성막 지지 수단으로부터 박리하고, 박리한 상기 세라믹 시트를 박리 전사 롤의 외주로 전사하는 박리 전사 공정과, 상기 박리 전사 롤에 대하여 상기 세라믹 시트를 통해서 적층 지지 수단을 접촉시킴으로써 상기 세라믹 시트를 상기 박리 전사 롤로부터 박리하고, 박리한 상기 세라믹 시트를 상기 적층 지지 수단 상에 적층함으로써 세라믹 적층체를 형성하는 적층체 형성 공정을 갖는 세라믹 적층체의 제조 방법에 있어서, 상기 박리 전사 롤의 적어도 외주부를 상기 세라믹 시트에 대한 접착력이 상기 성막 지지 수단보다 크지 않은 탄성체로 구성되고, 상기 성막 지지 수단과 상기 박리 전사 롤의 접촉 위치에 상기 탄성체에 의한 전단 변형에 의해 흡수할 수 있는 속도차를 부여한 것을 특징으로 하는 것이다. 여기에서, 「전단 변형」이란 탄성체의 이동 방향의 변형인 것이다. 탄성체가, 예를 들면 롤의 외주부에 설치되어 있을 경우에는 롤의 접선 방향이 변형된 것을 가리킨다.

성막 지지 수단 상에 형성된 세라믹 시트는 성막 지지 수단과 박리 전사 롤의 접촉 위치까지 반송된다. 박리 전사 롤의 둘레속도와 성막 지지 수단 상의 세라믹 시트의 반송 속도를 어긋나게 하고, 또한 박리 전사 롤의 적어도 외주부를 탄성체로 구성함으로써 세라믹 시트와 성막 지지 수단의 계면에 전단력을 작용시켜서 전단 박리 모드로 세라믹 시트를 성막 지지 수단으로부터 박리할 수 있다. 성막 지지 수단과 박리 전사 롤의 속도차는 박리 전사 롤의 탄성체의 전단 변형에 의해 흡수할 수 있는 정도의 차이므로 세라믹 시트에 주름이나 파단이 발생할 일이 없다.

성막 지지 수단으로부터 박리 전사 롤에 전사된 후, 재차 박리 전사 롤로부터 세라믹 시트를 박리할 경우, 박리 전사 롤이 원통 형상이기 때문에 박리 모드는 면 박리가 아니고 선 박리이다. 박리 전사 롤의 외주부에 설치한 탄성체는 세라믹 시트에 대한 접착력이 성막 지지 수단보다 크지 않으므로 탄성체의 접착력 자체가 작아 박리 전사 롤로부터 적층 지지 수단으로 세라믹 시트를 용이하게 전사할 수 있다. 이와 같이 해서 성막 지지 수단으로부터 박리 전사 롤로 적층 지지 수단에 세라믹 시트에 부하를 더 가하지 않고 전사할 수 있으므로 지금까지 박리가 어려웠고 강도가 낮은 세라믹 시트(두께가 얇고, 세라믹 그린시트 중의 수지가 적어 세라믹 그린시트 중의 수지의 분자량이 작다)에서도 박리 적층이 가능하다. 그 때문에, 고품질의 세라믹 적층체를 얻을 수 있다.

박리 전사 롤의 외주부에 설치되는 탄성체는 그 표면이 비점착성이고, 또한 세라믹 시트의 두께보다 작은 표면 거칠기(Ra)를 갖는 것이 바람직하다. 탄성체가 점착성을 가질 경우에는 박리 전사 롤로부터 적층 지지 수단으로 세라믹 시트를 전사하기 어려워지기 때문이다. 또한, 비점착성이란 세라믹 시트에 대하여 전혀 점착성을 갖지 않을 경우뿐만 아니라 다소의 점착성을 가져도 좋지만, 성막 지지 수단의 점착성보다 크지 않은 점착력을 갖는 것이 좋다. 또한, 탄성체는 소정의 표면 거칠기(Ra)를 가지므로 성막 지지 수단 상의 세라믹 시트와 박리 전사 롤이 접촉하는 부분에서는 세라믹 시트가 탄성체의 표면의 요철을 따라 변형되고, 세라믹 시트와의 접촉 면적이 증대한 상태로 박리 전사 롤에 접착한다. 그 때문에, 탄성체의 표면이 비점착성이어도 성막 지지 수단으로부터 박리 전사 롤 상에 세라믹 시트를 확실하게 전사할 수 있다. 또한, 요철은 세라믹 시트의 두께보다 작으므로 세라믹 시트를 필요 이상으로 크게 변형시키지 않고, 변형의 발생을 방지할 수 있다.

탄성체의 전단 변형에 의해 흡수할 수 있는 성막 지지 수단과 박리 전사 롤의 접촉 위치에 있어서의 속도차는 탄성체의 두께, 탄성률, 표면 거칠기에 따라 바뀐다. 이하와 같이, 속도차의 상한과 하한을 결정할 수 있다. 성막 지지 수단보다 박리 전사 롤의 속도가 빠를 경우, 속도차의 상한은 시트가 파단할지의 여부에 의해 결정할 수 있다. 구체적으로는, 속도차에 의해 발생하는 박리 전사 롤의 탄성체의 표면에 가해지는 전단력이 시트를 파단시키기 때문에 필요한 힘(물성값)보다 커지지 않도록 설정하면 좋다. 성막 지지 수단보다 전사 롤의 속도가 느릴 경우, 속도의 상한은 박리 전사 롤 상에서 시트에 주름이나 늘어짐이 대량으로 발생하는지의 여부에 의해 결정할 수 있다. 성막 지지 수단보다 박리 전사 롤의 속도가 느리면 박리 전사 롤에 시트가 과잉으로 공급되어 박리 전사 롤 상에서의 갈 곳을 잃어버려서 박리 전사 롤 상에서 시트에 주름이나 늘어짐이 발생한다. 이러한 주름이나 늘어짐은 전단 방향의 시트의 압축에 의해 어느 정도는 흡수할 수 있지만, 그 이상이 되면 흡수하기 어렵다. 그래서, 예를 들면 시트의 압축률이 1~3%의 범위가 되도록 속도차를 설정하면 시트의 주름이나 늘어짐을 허용할 수 있다. 속도차의 하한은 성막 지지 수단으로부터 정상적으로 시트를 박리 가능한지에 의해 결정할 수 있다. 구체적으로는 박리 전사 롤의 탄성체의 표면에 가해지는 전단력이 성막 지지 수단 상의 시트의 박리력(박리 각도 0°일 때의 값)보다 커지도록 설정하면 시트를 박리할 수 있다.

일례로서, 성막 지지 수단과 박리 전사 롤의 접촉 위치에 있어서의 속도차를 성막 지지 수단의 접촉 위치에 있어서의 속도에 대하여 ±1~3%의 범위로 해도 좋다. 탄성체의 두께를 크게 하면 그만큼 탄성체의 전단 변형에 의해 속도차의 흡수 범위가 넓어지지만, 탄성체의 두께를 너무 크게 하면 성막 지지 수단과 박리 전사 롤의 접촉 위치에 있어서의 탄성체의 변형량이 커지고, 세라믹 시트와 탄성체의 표면의 접촉 면적이 증대해서 세라믹 시트와 박리 전사 롤의 접착력이 과대해진다. 그 때문에, 세라믹 시트를 적층 지지 수단으로 양호하게 전사할 수 없을 가능성이 있다. 그래서, 탄성체의 두께를 적당한 두께로 하기 위해서 성막 지지 수단과 박리 전사 롤의 속도차를 ±1~3%로 하는 것이 바람직하다.

성막 지지 수단은 그 외주면 상에 성막 장치에 의해 세라믹 슬러리가 직접 도포되고, 또한 세라믹 슬러리가 건조되어서 세라믹 시트가 형성되는 성막 롤로 해도 좋다. 이 경우는 성막 롤도 박리 전사 롤도 원통형이기 때문에 박리 모드가 선 박리가 되고, 비교적 작은 힘으로 박리할 수 있다. 게다가, 캐리어 필름을 사용하지 않고 세라믹 시트를 연속 성막할 수 있으므로 캐리어 필름의 연장의 영향이 없고, 또한 제조 비용을 저감할 수 있는 이점이 있다.

성막 지지 수단은 연속 형상의 캐리어 필름과, 이 캐리어 필름의 내주면을 지지하는 가이드 롤을 포함하고, 세라믹 시트는 캐리어 필름의 외주면 상에 형성되고, 가이드 롤과 박리 전사 롤이 캐리어 필름을 사이에 두고 접촉하고, 가이드 롤의 둘레속도와 박리 전사 롤의 둘레속도에 탄성체에 의한 전단 변형에 의해 흡수할 수 있는 속도차를 부여해도 좋다. 이 경우는 캐리어 필름 상에 미리 세라믹 시트를 형성해 둘 수 있으므로 가이드 롤의 주위에 성막 장치나 건조 장치를 배치할 필요가 없고, 장치를 간소화할 수 있다. 또한, 캐리어 필름 상에 세라믹 시트뿐만 아니라 그 시트 상에 전극 패턴을 미리 형성해 둘 수도 있다. 이 경우에는 적층 지지 수단의 주위에 전극 형성 장치나 건조 장치를 형성할 필요가 없다.

적층 지지 수단으로서는 적층 롤이어도 좋고, 평판 형상의 적층 지지판이어도 좋다. 적층 롤을 사용한 경우에는 그 외주면에 세라믹 적층체를 연속적으로 형성할 수 있으므로 간헐적인 적층 방법에 비해서 품질 및 양산성이 향상되는 이점이 있다.

(발명의 효과)

이상과 같이, 본 발명에 의하면, 박리 전사 롤의 적어도 외주부를 탄성체로 구성하고, 성막 지지 수단과 박리 전사 롤의 접촉부 간에 소정의 속도차를 부여했으므로 세라믹 시트에 주름이나 파단을 발생시키지 않고 세라믹 시트를 성막 지지 수단으로부터 박리할 수 있고, 박리 전사 롤로부터 적층 지지 수단으로의 전사도 양호하게 행할 수 있다. 그 결과, 고품질의 세라믹 적층체를 얻을 수 있다.

도 1은 본 발명에 의한 세라믹 적층체의 제조 장치의 제 1 실시예의 개략 정면도이다.
도 2는 도 1에 나타내는 제조 장치의 평면도이다.
도 3은 본 발명에 의한 세라믹 적층체의 제조 장치의 제 2 실시예의 개략 정면도이다.
도 4는 본 발명에 의한 세라믹 적층체의 제조 장치의 제 3 실시예의 부분 개략도이다.
도 5는 본 발명에 의한 세라믹 적층체의 제조 장치의 제 4 실시예의 부분 개략도이다.
도 6은 본 발명에 의한 세라믹 적층체의 제조 장치의 제 5 실시예의 부분 개략도이다.

이하에 본 발명에 의한 세라믹 적층체의 제조 장치의 복수의 실시예를 도면을 참조하면서 구체적으로 설명한다. 또한, 본 발명이 대상으로 하고 있는 세라믹 적층체에는 적층 세라믹 콘덴서나 적층 세라믹 인덕터 등의 적층형 전자 부품을 제조하기 위한 적층체 블록 등이 포함된다.

[제 1 실시예]

도 1에 나타내는 제조 장치(10)는 성막 롤(12)과, 박리 전사 롤(14)과, 적층 롤(16)을 포함한다. 성막 롤(12)은 그 외주면에 세라믹 시트(S)를 형성하기 위한 금속 등의 강체 롤(원기둥 형상 또는 원통 형상)이며, 그 외주면에는, 예를 들면 불소계 수지 코팅 등의 이형 처리가 실시되어 있다.

성막 롤(12)의 주위에는 성막 롤(12)의 외주면에 세라믹 시트(세라믹 그린시트)(S)의 재료로 이루어지는 세라믹 슬러리를 도포하기 위한 성막 장치(20)와, 성막 롤(12) 상의 세라믹 슬러리를 건조시키기 위한 건조 장치(21)가 배치되어 있다. 성막 장치(20)로서는, 예를 들면 다이 코터, 독터 블레이드, 롤 코터, 잉크젯형 코터 등을 적당히 사용할 수 있다. 성막 장치(20)로부터 성막 롤(12) 상에 연속적으로 세라믹 슬러리를 도포함으로써 박막(예를 들면, 두께가 10㎛ 이하)의 세라믹 시트(S)를 형성할 수 있다. 세라믹 슬러리는 세라믹 분말에 수지 성분을 첨가하고, 유기 용매(수계 용매라도 좋다)에서 용해 분산한 슬러리이다. 건조 장치(21)로서는 열풍에 의해 건조하는 방법, 성막 롤(12)의 외주면을 가열하는 방법, 진공 건조법 등이 채용되지만, 용매의 성질에 따라서 슬러리를 건조시키는 수단이면 임의로 선택 가능하다.

박리 전사 롤(14)은 금속 롤(14a)의 외주부 전체 둘레에 소정 두께의 탄성체(14b)를 고정한 롤이며, 그 직경[탄성체(14b)의 외경]은 성막 롤(12)의 직경보다 작다. 탄성체(14b)의 외주면(14b₁)은 비점착성이며, 세라믹 시트(S)의 두께보다 작은 표면 거칠기(Ra)를 갖고 있다. 표면 거칠기(Ra)는 바람직하게는 0.03~3㎛가 바람직하다. 탄성체(14b)의 두께는 세라믹 시트(S)의 두께보다 크고, 예를 들면 30~100㎛가 바람직하다. 탄성체(14b)는, 예를 들면 경도가 20~80°(쇼어 경도: JIS K 6253:2006)의 탄성 재료로 형성되어 있는 것이 바람직하다. 박리 전사 롤(14)은 도시하지 않은 압력 부여 기구에 의해 성막 롤(12) 및 적층 롤(16)에 대하여 소정의 압력으로 압박되어 있다. 또한, 적층 롤(16) 상에 세라믹 시트(S)가 적층됨에 따라서 적층 롤(16)의 직경이 증대되므로 그에 따라 박리 전사 롤(14)의 위치나 압력을 조정할 수 있도록 구성하는 것이 바람직하다.

적층 롤(16)은 박리 전사 롤(14)로부터 박리된 세라믹 시트(S)를 권취하여 세라믹 적층체를 형성하는 롤이다. 적층 롤(16)의 직경은 박리 전사 롤(14)의 직경보다 크다. 적층 롤(16)은 회전축에 대하여 탈착 가능한 금속제의 원통 지그(16a)를 구비하고 있고, 그 원통 지그(16a)의 외주면 상에 세라믹 시트(S)를 권취할 수 있다. 적층 롤(16)에서 권취된 세라믹 시트(S)는 포개지는 시트층끼리가 압착되어서 서로 유지한다. 이 유지력은 박리 전사 롤(14)이 세라믹 시트(S)를 유지하는 힘보다 크게 설정되어 있기 때문에 세라믹 시트(S)는 박리 전사 롤(14)로부터 박리되어서 적층 롤(16)로 전사된다. 또한, 적층 롤(16)로서 흡입 롤이나 점착 롤을 사용해도 좋다.

적층 롤(16)의 주위에는 적층 롤(16)의 표면에 권취된 세라믹 시트(S)에 전극 패턴을 형성하기 위한 전극 인쇄 장치(22)와, 전극 패턴을 건조시키기 위한 건조 장치(23)가 배치되어 있다. 전극 인쇄 장치(22)로서는, 예를 들면 그라비어 오프셋 인쇄기나 잉크젯 인쇄기와 같은 인쇄 장치를 사용할 수 있다. 건조 장치(23)로서는 건조 장치(21)와 같은 장치를 사용할 수 있다.

적층 롤(16) 상에 세라믹 시트(S)를 소정 매수만 적층한 후, 적층 롤(16)의 권취를 정지하고, 세라믹 적층체를 원통 지그(16a)와 함께 회전축으로부터 떼어낸다. 그리고, 원통 형상인 채로 가압 프레스를 행하거나, 또는 원통 지그로부터 분리한 후 가압 프레스를 행하고, 다이서 커팅(dicer cutting)에 의해 세라믹 적층체를 소정의 크기로 컷팅한다. 그 후, 소성 공정, 외부 전극 형성 공정을 거쳐서 적층형 전자 부품을 완성한다.

도 2에 나타내는 바와 같이, 성막 롤(12), 박리 전사 롤(14), 및 적층 롤(16)은 각각 개별의 구동 장치(30, 31, 32)에 의해 화살표 방향으로 회전 구동된다. 구동 장치(30~32)에는 각각 회전 속도 센서(30a~32a)가 내장되어 있고, 각 롤의 회전 속도(롤의 둘레속도)를 검출하고, 원하는 회전 속도로 조정하는 것이 가능하다. 또한, 도 2에서는 성막 롤(12), 박리 전사 롤(14), 적층 롤(16)만을 나타내고, 다른 장치는 생략했다. 도 2에서는 모든 롤(12, 14, 16)이 개별의 구동 장치(30, 31, 32)를 구비하는 예를 나타냈지만, 공통의 구동 장치를 사용하고, 기어나 벨트 등의 전동 기구를 통해서 롤(12, 14, 16)을 소정의 회전 속도비로 동기 회전시키도록 해도 좋다.

본 실시예에서는 세라믹 시트(S)를 성막 롤(12)로부터 박리 전사 롤(14)로 확실하게 전사하기 위해서 성막 롤(12)에 세라믹 시트(S)와의 접착력을 될 수 있는 한 낮게 하는 이형 처리를 실시함과 아울러 박리 전사 롤(14)의 외주부에 비점착성이며 또한 소정의 표면 거칠기(Ra)를 갖는 탄성체(14b)를 설치하고, 성막 롤(12)과 박리 전사 롤(14)의 접촉 위치에 탄성체(14b)의 전단 변형에 의해 흡수할 수 있는 속도차를 부여하도록 구동 장치(30, 31)의 속도를 조정하고 있다. 전단 변형이란 탄성체(14b)의 이동 방향의 탄성 변형, 즉 접선 방향의 탄성 변형을 가리킨다. 또한, 박리 전사 롤(14)과 적층 롤(16) 사이에 둘레속도 차가 없도록 구동 장치(31, 32)의 속도를 설정하고 있다.

예를 들면, 접촉 위치에 있는 성막 롤(12)의 둘레속도를 V1, 박리 전사 롤(14)의 둘레속도를 V2로 하고, 탄성체(14b)에 의한 전단 변형에 의해 흡수할 수 있는 최대 속도차를 α로 하면,

V1≠V2이고, 또한 |V1-V2|≤α

가 되도록 설정되어 있다.

바람직하게는, α의 값은

α=(0.01~0.03)×V1

로 하는 것이 좋다.

여기에서, 성막 롤(12)로부터 박리 전사 롤(14)로의 세라믹 시트(S)의 전사메커니즘에 대해서 설명한다. 성막 롤(12) 상에서 건조된 세라믹 시트(S)는 성막 롤(12)과 박리 전사 롤(14)의 접촉 위치로 운반되고, 여기에서 양쪽의 롤 사이에서 끼워진다. 성막 롤(12)의 둘레속도[세라믹 시트(S)의 반송 속도]와 박리 전사 롤(14)의 둘레속도가 다르므로 세라믹 시트(S)와 성막 롤(12)의 계면에 전단력이 작용하고, 전단 박리 모드로 세라믹 시트(S)는 성막 롤(12)로부터 박리된다. 성막 롤(12)과 박리 전사 롤(14)의 둘레속도 차는 탄성체(14b)의 전단 변형에 의해 흡수할 수 있는 속도차이기 때문에 세라믹 시트(S)에 주름이나 파단이 발생할 일이 없다. 또한, 본 실시예에서는 성막 롤(12) 상의 세라믹 시트(S)와 박리 전사 롤(14)이 접촉하는 부분에서 세라믹 시트(S)가 박리 전사 롤(14)의 탄성체(14b)의 표면의 요철을 따라 변형되므로 세라믹 시트(S)와의 접촉 면적이 증대한 상태로 박리 전사 롤(14)에 접착한다. 그 때문에, 단위면적당 세라믹 시트(S)와 탄성체(14b)의 접착력이 미소해도[탄성체(14b)가 점착성을 갖지 않아도] 박리 전사 롤(14) 상에 세라믹 시트(S)를 확실하게 유지할 수 있다.

재차, 박리 전사 롤(14)로부터 세라믹 시트(S)를 박리해서 적층 롤(16)로 전사할 경우, 박리 전사 롤(14)과 적층 롤(16)이 함께 원통 형상이기 때문에 박리 모드는 면 박리가 아니고 선 박리이며, 게다가 박리 전사 롤(14)과 적층 롤(16)의 둘레속도 차가 0이 되도록 설정되어 있다. 탄성체(14b)는 점착성을 갖지 않으므로 단위면적당 세라믹 시트(S)와 탄성체(14b)의 접착력은 작고, 이에 비해서 적층 롤(16) 상에 적층된 세라믹 시트(S)와의 접착력은 충분히 크므로 세라믹 시트(S)를 박리 전사 롤(14)로부터 적층 롤(16)로 확실하게 전사할 수 있다. 적층 롤(16)로의 전사할 때, 세라믹 시트(S)끼리의 접착력을 높이기 위해서 적층 롤(16)의 외주면을 소정의 온도가 되도록 온도 조정해도 좋다.

도 1의 구성에서 성막 롤(12)과 박리 전사 롤(14)의 둘레속도 차를 변화시켰을 때의 성막 롤(12)로부터의 세라믹 시트(S)의 박리 상태를 표 1에 기재한다. 단, 이하의 조건으로 실험했다.

성막 롤: φ200mm의 금속 롤

박리 전사 롤: 표면에 탄성체를 부착한 φ150mm의 금속 롤

탄성체의 표면 거칠기: Ra=1㎛

탄성체의 두께: 100㎛

탄성체의 경도: 55°(쇼어 경도)

성막 롤(12)보다 박리 전사 롤(14)의 둘레속도가 5% 느린 조건에서는 박리 전사 롤(14)에 전사된 세라믹 시트(S)에 주름이 발생했다. 성막 롤(12)보다 박리 전사 롤(14)의 둘레속도가 3% 느린 조건~3% 빠른 조건에서는 박리 전사 롤(14)에 전사한 세라믹 시트(S)의 외관 불량은 없었다. 성막 롤(12)보다 박리 전사 롤(14)의 둘레속도가 5% 빠른 조건에서는 세라믹 시트(S)가 수mm 피치로 롤 축 방향으로 파단되면서 박리 전사 롤(14)에 전사되었다.

표 1의 결과에 대해서 검토하면, 이하와 같다. 박리 전사 롤(14)의 회전 속도와 세라믹 시트(S)의 반송 속도를 어긋나게 함으로써 세라믹 시트(S)와 성막 롤(12)의 계면에 전단력이 가해져, 전단 박리 모드로 세라믹 시트(S)를 박리할 수 있었다. 박리 전사 롤(14)의 둘레속도가 지나치게 느리면, 성막 롤(12)과 박리 전사 롤(14)의 둘레속도 차를 박리 전사 롤(14) 표면의 탄성체(14b)에서 흡수할 수 없고, 공급 과다가 된 세라믹 시트(S)가 주름이 되어서 박리 전사 롤(14) 상에 나타났다. 박리 전사 롤(14)의 둘레속도가 지나치게 빠르면, 박리 전사 롤(14)의 전단 변형량이 세라믹 시트(S)의 파단 강도를 상회하고, 세라믹 시트(S)가 파단되었다. 이상의 점에서, 상술한 조건 하에서는 성막 롤(12)의 둘레속도(V1)와 박리 전사 롤(14)의 둘레속도(V2)의 차를 둘레속도(V1)의 1%~3%의 범위로 하는 것이 바람직하다.

제 1 실시예의 제조 장치의 경우, 성막 롤(12)로부터 박리 전사 롤(14)로의 전사를 박리 전사 롤(14)의 외주에 형성한 탄성체(14b)와 양쪽 롤 간의 둘레속도 차에 의해 달성되므로 종래에서는 박리가 어려웠던 저강도의 세라믹 시트에서도 양호하게 박리·전사할 수 있다. 또한, 세라믹 시트(S)가 성막 롤(12)로부터 박리되고, 박리 전사 롤(14)을 거쳐 적층 롤(16)에 권취되어 세라믹 적층체가 형성되어 있을 때에 성막 롤(12)에는 새로운 세라믹 시트(S)가 계속해서 형성되기 때문에 성막 롤(12)에 있어서의 세라믹 시트(S)의 형성과, 적층 롤(16)에 있어서의 세라믹 적층체의 형성이 동시에 실행된다. 이에 의해, 성막 롤(12)의 회전 구동을 일단 정지할 일 없이 연속적으로 세라믹 시트(S)를 형성할 수 있고, 또한 적층 롤(16)의 회전 구동을 일단 정지할 일이 없이 연속적으로 세라믹 적층체를 제조할 수 있다. 이와 같이, 연속 운전에 의해 세라믹 적층체를 형성할 수 있기 때문에 간헐적인 성막 방법에 비해서 막 두께의 균일성이 양호해지고, 품질 및 양산성이 향상된다. 또한, 캐리어 필름을 사용하지 않고 성막, 적층할 수 있으므로 제조 비용을 저감할 수 있다.

또한, 제 1 실시예에서는 탄성체(14b)의 표면이 비점착성이며, 또한 그 표면에 세라믹 시트(S)의 두께보다 작은 표면 거칠기(Ra)를 갖는 예에 대해서 설명했지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 탄성체(14b)의 세라믹 시트(S)에 대한 점착력을 성막 롤(12)의 세라믹 시트(S)에 대한 점착력과 동등하거나 또는 그보다 작은 점착력으로 해도 좋다.

[제 2 실시예]

도 3은 본 발명의 제 2 실시예에 의한 제조 장치를 나타낸다. 또한, 제 1 실시예와 동일하거나 또는 공통되는 기능을 갖는 부분에는 동일 부호를 붙여서 중복 설명을 생략한다.

제 2 실시예에서는 성막 지지 수단을 연속 형상의 캐리어 필름(F)과, 이 캐리어 필름(F)의 내주면을 지지하는 가이드 롤(40)로 구성하고, 캐리어 필름(F)을 사이에 두고 가이드 롤(40)과 박리 전사 롤(14)을 압접시킨 것이다. 캐리어 필름(F)의 외주면에는 이형 처리가 실시되고, 그 외주면에는 세라믹 시트(그린시트)(S) 및 그 위에 전극 패턴(도시하지 않음)이 미리 형성되어 있다. 캐리어 필름(F) 상으로의 세라믹 시트(S)의 형성, 및 전극 패턴의 형성은 공지와 같이 세라믹 슬러리를 도포, 건조시킨 후, 그 세라믹 시트 상에 전극 패턴을 인쇄, 건조시킴으로써 형성할 수 있다.

세라믹 시트(S) 및 전극 패턴을 형성한 캐리어 필름(F)은 공급 롤(41)로부터 연속적으로 공급되고, 이 캐리어 필름(F)이 가이드 롤(40)과 박리 전사 롤(14) 사이를 통과함으로써 캐리어 필름(F)으로부터 전극 패턴을 갖는 세라믹 시트(S)가 박리되어 캐리어 필름(F)만이 권취 롤(42)에 권취된다.

가이드 롤(40)로서는 캐리어 필름(F)과의 사이에서 상대적인 어긋남이 발생하지 않도록 흡입 롤이나 점착 롤 등의 공지의 롤을 사용해도 좋다. 박리 전사 롤(14)의 구성은 제 1 실시예와 동일하다. 적층 롤(16)의 주위에는 전극 인쇄 장치(22)나 건조 장치(23)는 설치되어 있지 않다.

또한, 상술한 바와 같이 캐리어 필름(F) 상에 세라믹 시트(S)와 전극 패턴이 형성된 상태로 공급되어도 좋지만, 캐리어 필름(F) 상에 세라믹 시트(S)만을 형성해 두어도 좋다. 이 경우에는 제 1 실시예와 마찬가지로 적층 롤(16) 상에 세라믹 시트(S)를 적층한 후에 전극 패턴을 형성해도 좋다.

가이드 롤(40)의 둘레속도와 박리 전사 롤(14)의 둘레속도 간에 박리 전사 롤(14)의 외주부에 설치한 탄성체(14b)의 전단 변형에 의해 흡수 가능한 속도차를 부여하고 있다. 세라믹 시트(S)를 형성한 캐리어 필름(F)이 가이드 롤(40)과 박리 전사 롤(14)의 접촉 위치로 반송되었을 때, 캐리어 필름(F)은 가이드 롤(40)과 일체로 이동하므로 가이드 롤(40)과 박리 전사 롤(14)의 둘레속도 차에 의해 세라믹 시트(S)와 캐리어 필름(F)의 계면에 전단력이 작용한다. 세라믹 시트(S)와 박리 전사 롤(14)이 접촉하는 부분에서는 세라믹 시트(S)가 탄성체(14b)의 표면의 요철을 따라 변형되므로 세라믹 시트(S)와의 접촉 면적이 증대한 상태로 박리 전사 롤(14)에 접착한다. 그 때문에, 전단 박리 모드로 세라믹 시트(S)는 캐리어 필름(F)으로부터 박리되어 박리 전사 롤(14) 상에 세라믹 시트(S)를 확실하게 유지할 수 있다. 가이드 롤(40)과 박리 전사 롤(14)의 둘레속도 차는 탄성체(14b)의 전단 변형에 의해 흡수할 수 있는 속도차이기 때문에 세라믹 시트(S)에 주름이나 파단이 발생할 일이 없다.

박리 전사 롤에 탄성체를 사용한 제 2 실시예의 구성과, 박리 전사 롤에 강체 흡인 기구(흡입 롤)를 사용한 구성을 비교하고, 가이드 롤 상의 캐리어 필름으로부터의 박리가 가능한 세라믹 그린시트의 두께를 조사했다. 실험 결과를 표 2에 기재한다.

표 2의 결과로부터 박리 전사 롤에 흡인 기구보다 탄성체를 형성한 쪽이 보다 얇은 세라믹 시트를 박리할 수 있는 것을 알 수 있다. 그 이유는 이하와 같은 것으로 생각된다. 박리 전사 롤이 흡인 기구를 가질 경우, 흡인 구멍 사이의 세라믹 그린시트는 일절 유지되어 있지 않다. 세라믹 그린시트의 강도가 캐리어 필름으로부터의 박리 강도보다 작으면 흡인 구멍 사이의 세라믹 그린시트는 변형되고, 세라믹 그린시트의 파단 신장을 초과하면 파단된다. 한편, 박리 전사 롤의 표면에 탄성체를 형성했을 경우, 세라믹 그린시트 전체가 탄성체에 접하고 있어 세라믹 그린시트의 일부가 크게 변형할 일은 없다. 따라서, 두께가 얇은 세라믹 그린시트가 박리 중에 파단될 일이 없이 캐리어 필름으로부터 박리할 수 있다. 또한, 본 실시예와 마찬가지로 박리 전사 롤(14)에 의해 캐리어 필름(F)으로부터 세라믹 시트(S)를 연속적으로 박리하면 캐리어 필름(F)에 컷팅 흔적 등의 상처가 없기 때문에 차회의 세라믹 적층체의 제조 공정 등에 캐리어 필름(F)을 재이용하는 것이 가능해진다.

[제 3 실시예]

도 4는 본 발명의 제 3 실시예에 의한 제조 장치를 나타낸다. 또한, 제 2 실시예와 동일하거나 또는 공통되는 기능을 갖는 부분에는 동일 부호를 붙여서 중복 설명을 생략한다.

제 3 실시예에서는 성막 지지 수단을 제 2 실시예와 마찬가지로 캐리어 필름(F)과, 이 캐리어 필름(F)을 지지하는 가이드 롤(40)로 구성함과 아울러 적층 지지 수단을 평판 형상의 적층 지지판(50)으로 구성한 것이다. 적층 지지판(50)은 박리 전사 롤(14)의 접촉 위치에 있어서의 속도가 동일해지도록 도시하지 않는 구동 장치에 의해 직진 구동된다.

이 실시예에서는 제 2 실시예의 작동에 추가하여 박리 전사 롤(14)로부터 적층 지지판(50)으로 세라믹 시트(S)의 전사가 행해진다. 박리 전사 롤(14)과 세라믹 시트(S)의 단위면적당 유지력에 비해서 적층 지지판(50) 상의 세라믹 시트(S)끼리의 단위면적당 접착력 쪽이 크므로 세라믹 시트(S)는 주름이나 파단을 일으킬 일이 없이 적층 지지판(50)으로 원활하게 전사된다. 적층 지지판(50) 상에 적층된 세라믹 적층체는 가압 프레스한 후, 소정의 크기로 컷팅되고, 소성 공정, 외부 전극 형성 공정을 거쳐서 적층형 전자 부품이 완성된다.

이 실시예에서는 세라믹 시트(S)를 적층 지지판(50)에 1회 적층한 후, 적층 지지판(50)을 원래의 위치로 되돌리기 위해서 가이드 롤(40) 및 박리 전사 롤(14)을 간헐적으로 정지시켜 적층 지지판(50)과 박리 전사 롤(14)의 접촉 상태를 해제할 필요가 있다.

[제 4 실시예]

도 5는 본 발명의 제 4 실시예에 의한 제조 장치를 나타낸다. 또한, 제 2 실시예와 동일하거나 또는 공통되는 기능을 갖는 부분에는 동일 부호를 붙여서 중복 설명을 생략한다.

제 4 실시예에서는 성막 지지 수단을 제 2 실시예와 마찬가지로 캐리어 필름(F)과, 이 캐리어 필름(F)을 지지하는 가이드 롤(40)로 구성하고, 적층 지지 수단을 평판 형상의 적층 지지판(50)으로 구성함과 아울러 박리 전사 롤(60)을 비원형 단면 형상으로 하고 있다. 여기에서는, 박리 전사 롤(60)의 단면 형상은, 예를 들면 원통형 롤의 외주의 일부가 컷팅된 반월 형상으로 되어 있다. 박리 전사 롤(60)의 원통 형상 외주면에는 탄성체(61)가 고정되어 있다. 이 탄성체(61)도 제 1 실시예와 마찬가지로 표면이 비점착성이며, 또한 소정의 표면 거칠기(Ra)를 갖는 것이 좋다. 이 실시예의 경우도 적층 지지판(50)은 박리 전사 롤(60)과의 접촉부에 있어서의 속도가 동일해지도록 직진 구동된다.

박리 전사 롤(60)의 둘레 길이(결손부를 제외한다)와 적층 지지판(50)의 길이를 거의 동등하게 해 둠으로써 적층 지지판(50)의 길이만큼 세라믹 시트(S)를 적층한 후, 박리 전사 롤(60)의 결손부가 적층 지지판(50)과 대응하여 박리 전사 롤(60)과 적층 지지판(50)이 일시적으로 비접촉 상태가 되기 때문에 그 동안에 적층 지지판(50)을 원래의 위치로 되돌릴 수 있다. 이 경우에는 가이드 롤(40)과 박리 전사 롤(60)을 연속 회전시키는 것이 가능해진다.

[제 5 실시예]

도 6은 본 발명의 제 5 실시예에 의한 제조 장치를 나타낸다. 또한, 제 2 실시예와 동일하거나 또는 공통되는 기능을 갖는 부분에는 동일 부호를 붙여서 중복 설명을 생략한다.

제 5 실시예에서는 성막 지지 수단을 제 2 실시예와 마찬가지로 캐리어 필름(F)과, 이 캐리어 필름(F)을 지지하는 가이드 롤(40)로 구성하고, 적층 지지 수단을 흡입 롤(51)과 평판 형상의 적층 지지판(50)으로 구성하고 있다. 박리 전사 롤(14)은 외주에 탄성체(14b)를 갖는 단면 원형 롤이다.

이 실시예에서는 세라믹 시트(S)를 갖는 캐리어 필름(F)이 간헐적으로 공급되고, 박리 전사 롤(14)에 세라믹 시트(S)를 전사한 후, 재차 표면에 흡인 기구를 갖는 흡입 롤(51)에 세라믹 시트(S)를 전사하고, 또한 적층 지지판(50)에 세라믹 시트(S)를 전사하여 적층한다. 적층 후의 적층 지지판(50)은 재차 적층 전의 위치로 되돌리고, 다음 층의 적층을 행한다.

제 1~3 실시예에 있어서, 박리 전사 롤(14)로부터 적층 롤(16) 또는 적층 지지판(50)에 세라믹 시트(S)를 전사할 경우, 세라믹 시트(S)와 박리 전사 롤(14)의 탄성체(14b)의 접착력이 세라믹 적층체와 세라믹 시트(S)의 접착력을 저하시키는 방향으로 작용한다. 그 때문에, 박리 전사 롤(14)과 적층 롤(16) 또는 적층 지지판(50)의 면압을 높게 할 필요가 생긴다. 흡입 롤(51)을 사용할 경우에는 적층 지지판(50)으로의 전사 부분에 있어서 흡입 롤(51)의 흡인압을 억제(또는 반대로 가압한다)할 수 있으므로 세라믹 적층체와 세라믹 시트(S)의 접착력의 저하를 없앤다. 그 때문에, 낮은 면압으로 세라믹 시트(S)를 적층할 수 있다. 낮은 면압으로 적층할 수 있는 쪽이 적층 중의 세라믹 적층체의 변형을 억제할 수 있는 이점이 있다.

본 발명은 상기와 같은 실시예에 한정되는 것이 아니다. 제 1~제 5 실시예에 있어서의 일부의 요소를 별도의 실시예의 요소로 치환함으로써 새로운 실시예를 구성할 수도 있다. 예를 들면, 제 3, 제 4 실시예(도 4, 도 5)에서는 캐리어 필름(F)을 사용한 성막 지지 수단과 평판 형상의 적층 지지판(50)을 조합시켰지만, 제 1 실시예와 같은 성막 롤(12)과 평판 형상의 적층 지지판(50)을 조합시켜서 사용해도 좋다.

S: 세라믹 시트(세라믹 그린시트) F: 캐리어 필름
10: 제조 장치 12: 성막 롤(성막 지지 수단)
14: 박리 전사 롤 14b: 탄성체
16: 적층 롤(적층 지지 수단) 20: 성막 장치
21: 건조 장치 22: 전극 인쇄 장치
23: 건조 장치 30, 31, 32: 구동 장치
40: 가이드 롤 50: 적층 지지판

Claims (6)

1. 표면 상에 세라믹 시트가 형성된 성막 지지 수단과,
   상기 세라믹 시트를 사이에 두고 상기 성막 지지 수단과 접촉하고, 상기 세라믹 시트를 성막 지지 수단으로부터 박리하는 박리 전사 롤과,
   상기 세라믹 시트를 사이에 두고 상기 박리 전사 롤과 접촉하고, 상기 박리 전사 롤로 전사시킨 세라믹 시트를 상기 박리 전사 롤로부터 박리함과 아울러 박리한 세라믹 시트를 적층함으로써 상기 세라믹 시트의 적층체를 얻는 적층 지지 수단을 구비하는 세라믹 적층체의 제조 장치에 있어서,
   상기 박리 전사 롤의 적어도 외주부를 탄성체로 구성하고, 상기 탄성체는 상기 세라믹 시트에 대한 접착력이 상기 성막 지지 수단보다 크지 않고,
   상기 성막 지지 수단과 상기 박리 전사 롤의 접촉 위치에서, 상기 성막 지지 수단과 상기 박리 전사롤 사이에, 상기 탄성체에 의한 전단 변형에 의해 흡수할 수 있는 속도차를 부여한 것을 특징으로 하는 세라믹 적층체의 제조 장치.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 탄성체는 그 표면이 비점착성이고, 또한 상기 세라믹 시트의 두께보다 작은 표면 거칠기(Ra)를 갖는 것을 특징으로 하는 세라믹 적층체의 제조 장치.
3. 제 1 항에 있어서,
   상기 성막 지지 수단과 상기 박리 전사 롤의 접촉 위치에 있어서의 속도차를 상기 성막 지지 수단의 접촉 위치에 있어서의 속도에 대하여 1~3%의 범위로 한 것을 특징으로 하는 세라믹 적층체의 제조 장치.
4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 성막 지지 수단은 그 외주면 상에 성막 장치에 의해 세라믹 슬러리가 직접 도포되고, 또한 상기 세라믹 슬러리가 건조되어서 세라믹 시트가 형성되는 성막 롤을 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 적층체의 제조 장치.
5. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 성막 지지 수단은 연속 형상의 캐리어 필름과, 이 캐리어 필름의 내주면을 지지하는 가이드 롤을 포함하고, 상기 세라믹 시트는 상기 캐리어 필름의 외주면 상에 형성되고, 상기 가이드 롤과 상기 박리 전사 롤이 상기 캐리어 필름을 사이에 두고 접촉하고, 상기 가이드 롤의 둘레속도와 상기 박리 전사 롤의 둘레속도로 상기 탄성체에 의한 전단 변형에 의해 흡수할 수 있는 속도차를 부여한 것을 특징으로 하는 세라믹 적층체의 제조 장치.
6. 성막 지지 수단의 표면에 세라믹 시트를 형성하는 성막 형성 공정과,
   상기 성막 지지 수단에 대하여 상기 세라믹 시트를 통해서 박리 전사 롤을 접촉시킴으로써 상기 세라믹 시트를 상기 성막 지지 수단으로부터 박리하고, 박리한 상기 세라믹 시트를 박리 전사 롤의 외주로 전사하는 박리 전사 공정과,
   상기 박리 전사 롤에 대하여 상기 세라믹 시트를 통해서 적층 지지 수단을 접촉시킴으로써 상기 세라믹 시트를 상기 박리 전사 롤로부터 박리하고, 박리한 상기 세라믹 시트를 상기 적층 지지 수단 상에 적층함으로써 세라믹 적층체를 형성하는 적층체 형성 공정을 포함하는 세라믹 적층체의 제조 방법에 있어서,
   상기 박리 전사 롤의 적어도 외주부를 탄성체로 구성하고, 상기 탄성체는 상기 세라믹 시트에 대한 접착력이 상기 성막 지지 수단보다 크지 않고,
   상기 성막 지지 수단과 상기 박리 전사 롤의 접촉 위치에서, 상기 성막 지지 수단과 상기 박리 전사롤 사이에, 상기 탄성체에 의한 전단 변형에 의해 흡수할 수 있는 속도차를 부여한 것을 특징으로 하는 세라믹 적층체의 제조 방법.

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