JPH10284346A - セラミック生シートの積層装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 剥離テーブル(4) −プレステーブル(7) 間の
搬送装置(1) の移動および位置決めを迅速かつ高精度で
行うことができ、さらにはセラミック生シートの切断を
容易かつ円滑にして安定生産を行うことができるように
したセラミック生シートの積層装置を提供することを目
的とする。 【解決手段】 キャリアフィルム(F) 上のセラミック生
シート(G) を所定の寸法に切断した後、剥離テーブル
(4) 上からプレステーブル(7) 上に搬送して積層圧着す
るための装置である。横方向切断刃(3) と吸着盤(2) と
を付設した搬送装置(1) 、その可動部(8a)に前記搬送装
置(1) を支持してシリンダーの長さ方向に大距離移動さ
せるためのロッドレス流体シリンダー(8) 、および、サ
ーボモーター(10)の駆動によって作動しかつ前記ロッド
レス流体シリンダー(8) をシリンダーの長さ方向に小距
離移動させるためのボールネジ(9) を備えている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、積層セラミック電
子部品に代表される積層製品を製造するときに必要なセ
ラミック生シートの積層装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】積層セラミックコンデンサー等の積層セ
ラミック電子部品を製造するときには、キャリアフィル
ム上にセラミック生シートを設け、さらにその上から電
極パターンと位置決め検出用マークとを印刷した積層シ
ートをコイル状に巻き取ったものを準備する。そして、
この積層シートを繰り出しながら、セラミック生シート
のみを縦方向および横方向に切断した後、所定の寸法に
切断された単位セラミック生シートをプレステーブル上
に搬送して積層圧着していく。たとえば、特公平７−５
４７７９号公報（特開昭６３−１０２２１６号公報）、
特開平７−１４２８号公報を参照。

【０００３】図１０は、本出願人が市場に出している従
来のセラミック生シートの積層装置の一例を示した要部
の説明図である。(F) はキャリアフィルム、(G) はセラ
ミック生シートであり、セラミック生シート(G) 上に印
刷した電極パターンと位置決め検出用マークとは図示を
省略してある。(1) は搬送装置、(2) は吸着盤、(3)は
横方向切断刃、(4) は剥離テーブル、(5) はサクション
ロール、(6）は縦切断手段、(7) はプレステーブル、
(9')は長尺のボールネジ軸、(10)はサーボモーター、(1
1)は軸継手、(13)はＣＣＤカメラである。図中の他の符
号は、後に詳述する本発明の諸装置または諸手段と共通
しているので、説明を省略する。

【０００４】図１０のように、従来は、搬送装置(1) の
移動および位置決めのために、長尺のボールネジ軸(9')
をサーボモーター(10)で駆動する機構を採用していた。
また、サクションロール(5) 上でキャリアフィルム(F)
上のセラミック生シート(G)の両縁側を縦方向に切断す
る縦切断手段(6) としては、自由回転する円板刃(6a)を
用いていた。さらにまた、剥離テーブル(4) 上でキャリ
アフィルム(F) 上のセラミック生シート(G) を搬送装置
(1) に付設の横方向切断刃(3) で横方向に切断するとき
には、その横方向切断刃(3) を単に剥離テーブル(4) 上
の積層シートに向けて下降させることにより行ってい
た。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、搬送装
置(1) の移動および位置決めのために、長尺のボールネ
ジ軸(9')をサーボモーター(10)で駆動する方法は、運転
を開始するとボールネジ軸(9')が発熱して温度が上昇し
て熱膨張するため、剥離テーブル(4) からプレステーブ
ル(7) までの距離が長いこともあって搬送装置(1) の停
止位置の変動量が大きく（たとえば、運転開始から１０
〜１５分の間に５０μm 位のずれを生じ、その後は釣り
合って安定するが、装置を止めてから運転を再開すると
やはり同様のずれを生ずる）、積層精度に悪影響を及ぼ
していた。この点が従来の装置を用いたときの最大の問
題点である。

【０００６】縦切断手段(6) として自由回転する円板刃
(6a)を用いる方法は、積層シートの厚みむらやサクショ
ンロール(5) の振れ（サクションロール(5) の近くに設
けたロールまたは台上で縦方向の切断を行うときには、
そのロールの振れや台の平坦度）により、セラミック生
シート(G) が切断不良を起こしたり、刃先に必要以上の
力がかかって損傷することがあった。

【０００７】また、積層シートのセラミック生シート
(G) の横方向切断のために搬送装置(1) に付設の横方向
切断刃(3) を剥離テーブル(4) に向けて下降させると、
たとえば平刃で１０μm の厚さのセラミック生シート
(G) を切断するときに、剥離テーブル(4) の平坦度と平
刃の真直度が両方合わせて１０μm 以上あるような場合
には全く切れない部分ができるわけであるから、１０μ
m 程度の良好な加工精度の剥離テーブル(4) や横方向切
断刃(3) を用いても、薄いセラミック生シート(G)を切
断するには、平刃を強い力でもって下層のキャリアフィ
ルム(F) まで喰い込ませる必要があり、刃の加工精度の
管理が難しい上、刃の寿命も短いという問題があった。

【０００８】本発明は、このような背景下において、剥
離テーブル(4) −プレステーブル(7) 間の搬送装置(1)
の移動および位置決めを迅速かつ高精度で行うことがで
き、さらにはセラミック生シートの切断を容易かつ円滑
にして安定生産を行うことができるようにしたセラミッ
ク生シートの積層装置を提供することを目的とするもの
である。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明のセラミック生シ
ートの積層装置は、キャリアフィルム(F) 上のセラミッ
ク生シート(G) を所定の寸法に切断した後、剥離テーブ
ル(4) 上からプレステーブル(7) 上に搬送して積層圧着
するための装置であって、横方向切断刃(3) と吸着盤
(2) とを付設した搬送装置(1) 、その可動部(8a)に前記
搬送装置(1) を支持してシリンダーの長さ方向に大距離
移動させるためのロッドレス流体シリンダー(8) 、およ
び、サーボモーター(10)の駆動によって作動しかつ前記
ロッドレス流体シリンダー(8) をシリンダーの長さ方向
に小距離移動させるためのボールネジ(9) を備えている
ことを特徴とするものである。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下本発明を詳細に説明する。

【００１１】キャリアフィルム(F) としては、二軸延伸
ポリエステルフィルム（二軸延伸ポリエチレンテレフタ
レートフィルム、二軸延伸ポリブチレンテレフタレート
フィルム、二軸延伸ポリエチレンナフタレートフィル
ム、二軸延伸ポリブチレンナフタレートフィルム等）、
二軸延伸ポリプロピレンフィルムなどが用いられ、コス
ト、物性、表面の性質などを総合考慮すると、単にポリ
エステルフィルムと通称される二軸延伸ポリエチレンテ
レフタレートフィルムや、二軸延伸ポリプロピレンフィ
ルムが重要である。キャリアフィルム(F) の上面は、後
にセラミックシートを容易に剥離できるように、離型処
理しておくのが一般的である。

【００１２】セラミック生シート(G) は、各種のセラミ
ック誘電体粉末、樹脂バインダーおよび溶媒からなるス
ラリー状の組成物をコーティング法または印刷法により
製膜することにより形成される。セラミック生シート
(G) の厚さ（焼成前の厚さ）は、たとえば３０〜２μm
程度、通常は２０〜２μm 程度とすることが多い。

【００１３】形成したセラミック生シート(G) の上面に
は、電極パターン（位置決め検出用マークやカットライ
ンのマークも）を印刷する。電極パターン形成用の導電
材組成物としては、銀やニッケル等の金属粉にバインダ
ー物質および溶剤を加えて均一に混合することによりペ
ースト状の組成物とした各種の導電材組成物が用いら
れ、積層セラミックコンデンサーの目的のときには、個
々の電極パターンは矩形状とすることが多い。

【００１４】キャリアフィルム(F) 上にセラミック生シ
ート(G) を形成し、さらにその上から電極パターン（位
置決め検出用マークやカットラインのマークも）を印刷
する方法１のほか、キャリアフィルム(F) 上にまず電極
パターン（位置決め検出用マークやカットラインのマー
クも）を印刷し、ついでセラミック生シート(G) を形成
する方法２、キャリアフィルム(F) 上に下地となるセラ
ミック生シート(G) を形成してから、電極パターン（位
置決め検出用マークやカットラインのマークも）を印刷
し、ついでセラミック生シート(G) を形成する方法３も
採用することができる。ただし方法２，３においては、
位置決め検出用マークやカットラインのマークが上層の
セラミック生シート(G) に隠れないように留意する。

【００１５】キャリアフィルム(F) 上のセラミック生シ
ート(G) を所定の寸法に切断した後は、単位セラミック
生シート(G) を剥離テーブル(4) 上からプレステーブル
(7)上に搬送して積層圧着する操作を行う。このための
積層装置としては種々の機構のものが採用できるが、次
の装置または機構、すなわち、 ・ キャリアフィルム(F) ／セラミック生シート(G) の
層構成を有するコイル状に巻き取った積層シートを繰り
出して供給する巻出装置(14)、 ・ その積層シートを下方から吸着して搬送させるサク
ションロール(5) 、 ・ そのサクションロール(5) （あるいはその近くに設
けたロールまたは台）上で積層シートのうちセラミック
生シート(G) のみ両縁側で縦方向に切断する縦切断手段
(6) 、 ・ 積層シートのうちセラミック生シート(G) のみを横
方向に切断しかつ所定の寸法に切断されたセラミック生
シート(G) をキャリアフィルム(F) と分離するときの支
台となる剥離テーブル(4) 、 ・ 分離したキャリアフィルム(F) を巻き取る巻取装置
(15)、 ・ 横方向切断刃(3) と吸着盤(2) とを付設した搬送装
置(1) 、 ・ その搬送装置(1) を剥離テーブル(4) −プレステー
ブル(7) 間で往復移動させる移動機構、 ・ 搬送されてきた単位セラミック生シート(G) を順次
積層してプレスするプレステーブル(7) 、を備えたもの
が好適である。各装置または機構の詳細は、後述の実施
例で説明する。

【００１６】そして本発明においては、上に述べた横方
向切断刃(3) と吸着盤(2) とを付設した搬送装置(1)
を、剥離テーブル(4) −プレステーブル(7) 間で往復移
動させる移動機構として、その可動部(8a)にこの搬送装
置(1) を支持してシリンダーの長さ方向に大距離移動さ
せるためのロッドレス流体シリンダー(8) と、サーボモ
ーター(10)の駆動によって作動しかつ前記ロッドレス流
体シリンダー(8) をシリンダーの長さ方向に小距離移動
させるためのボールネジ(9) とからなる機構を用いる。

【００１７】ロッドレス流体シリンダー(8) は、流体圧
（殊にエヤー圧）により可動部(8a)をシリンダーの長さ
方向に移動させるものであり、可動部(8a)の移動は極め
てすみやかに行われる。搬送装置(1) は、このロッドレ
ス流体シリンダー(8) の可動部(8a)に支持され、シリン
ダーの長さ方向に大距離（たとえば３００〜５００mm程
度の距離）を移動する。

【００１８】ボールネジ(9) は、ロッドレス流体シリン
ダー(8) の一端側に設けたボールメネジ(9b)にボールネ
ジ軸(9a)が螺合した構造を有し、軸継手(11)を介してサ
ーボモーター(10)の駆動によって作動する。ボールネジ
(9) は、上記のロッドレス流体シリンダー(8) をシリン
ダーの長さ方向に小距離（たとえば５〜２０mm程度の距
離）移動させるためのものであり、電極パターンに合わ
せて（操作的には位置決め検出用マークに合わせて）搬
送装置(1) を位置決めする際に微調整のために使うもの
であるので、ボールネジ軸(9a)は短いもので足りる。

【００１９】ロッドレス流体シリンダー(8) 本体の熱膨
張等による誤差を解消するためには、搬送装置(1) がプ
レステーブル(7) 側に移動したときの停止位置を規制す
る第１ストッパー(12)を設置することが必要である。

【００２０】また、搬送装置(1) が剥離テーブル(4) 側
に移動したときの停止位置を規制するための第２ストッ
パー(16)を、ロッドレス流体シリンダー(8) のストロー
ク端に設けることが好ましい。ただしこの第２ストッパ
ー(16)は、ロッドレス流体シリンダー(8) のストローク
限での停止位置が信頼性の高いものであるときには省略
することができる。

【００２１】剥離テーブル(4) の上記の横方向切断刃
(3) を受ける部位には、弾力材(4a)を埋設しておくこと
が特に好ましい。弾力材(4a)としては、ゴムやエラスト
マー材料などが用いられる。

【００２２】剥離テーブル(4) の上流側には、積層シー
トの円滑な走行とその積層シートのうちのセラミック生
シート(G) の両縁端側の縦方向切断を円滑に行うため
に、サクションロール(5) を設けることが特に好まし
い。

【００２３】そして、そのサクションロール(5) （ある
いはその近くに設けたロールまたは台）に近接して、キ
ャリアフィルム(F) 上のセラミック生シート(G) をその
両縁側において縦方向に切断する縦切断手段(6) を備え
るようにする。なお、サクションロール(5) のほかにロ
ールや台を設けることは部材点数が増えることになるの
で、通常はサクションロール(5) 上で縦方向切断を行
う。

【００２４】この縦切断手段(6) としては、回転自由な
円板刃(6a)と、その円板刃(6a)をサクションロール(5)
（あるいはその近くに設けたロールまたは台）に向けて
付勢する付勢手段(6b)とを備えていることが特に好まし
い。付勢手段(6b)としては、エヤーシリンダー(6b₁) や
バネ(6b₂) があげられ、これらのエヤーシリンダー(6
b₁) とバネ(6b₂) とを併用することが特に望ましい。

【００２５】本発明の装置は、積層セラミックコンデン
サー、積層セラミックバリスター、積層セラミックレジ
スター、圧電トランス、積層セラミック基板などの積層
セラミック製品を製造するためのセラミック生シートの
積層装置として有用である。

【００２６】〈作用〉本発明の積層装置にあっては、横
方向切断刃(3) と吸着盤(2) とを付設した搬送装置(1)
を、剥離テーブル(4) −プレステーブル(7) 間で往復移
動させる移動機構として、ロッドレス流体シリンダー
(8) と、サーボモーター(10)の駆動によって作動するボ
ールネジ(9) とからなる機構を用いている。

【００２７】以下、第１ストッパー(12)および第２スト
ッパー(16)を設けた典型的な本発明の積層装置の作用
を、詳細に説明する。まず、ロッドレス流体シリンダー
(8) の可動部(8a)に支持した搬送装置(1) は、流体圧
（殊にエヤー圧）による可動部(8a)の動きと共に移動す
るので、極めて迅速に剥離テーブル(4) からプレステー
ブル(7) への大距離を移動する。そして、搬送装置(1)
がプレステーブル(7) 側に移動したときの停止位置を規
制する第１ストッパー(12)に当って、ロッドレス流体シ
リンダー(8) のストロークを余して絶対的な位置決めが
達成されるので、ロッドレス流体シリンダー(8) 本体の
熱膨張やサーボモーター(10)の微小の位置決め誤差があ
っても、それとは無関係に高精度の位置決めが達成され
る。

【００２８】一方、搬送装置(1) が剥離テーブル(4) 側
に移動するときは、ロッドレス流体シリンダー(8) はス
トローク端側の第２ストッパー(16)に当って止まると共
に、ロッドレス流体シリンダー(8) はボールネジ(9) に
よりシリンダーの長さ方向に小距離移動できるようにし
てあるので、搬送装置(1) を電極パターンに合わせて
（操作的には位置決め検出用マークに合わせて）位置決
めする際に、微調整をすることができる。そしてボール
ネジ軸(9a)は短いもので足りるので、たとえボールネジ
軸(9a)が発熱して温度が上昇しても、位置決め精度への
影響が無視できるほどになる。

【００２９】このように本発明においては、搬送装置
(1) の剥離テーブル(4) −プレステーブル(7) 間の全移
動量の大部分をロッドレス流体シリンダー(8) によって
高速で行うことができ、かつボールネジ(9) により位置
決めも精度良くできるので、生産性の向上、位置決め精
度の双方において最適の結果が得られる。

【００３０】剥離テーブル(4) の横方向切断刃(3) を受
ける部位に弾力材(4a)を埋設しておくと、この弾力材(4
a)によって、横方向切断刃(3) として通常の加工精度の
平刃を用いたり、セラミック生シート(G) の厚さが薄か
ったりしたときでも、キャリアフィルム(F) 上のセラミ
ック生シート(G) のみを円滑に切断することができるよ
うになる。

【００３１】剥離テーブル(4) の上流側にサクションロ
ール(5) を設けると、積層シートの円滑な走行とその積
層シートのうちのセラミック生シート(G) の両縁端側の
縦方向切断を円滑に行うことができる。そして、そのサ
クションロール(5) （あるいはその近くに設けたロール
または台）に近接して、キャリアフィルム(F) 上のセラ
ミック生シート(G) をその両縁側において縦方向に切断
する縦切断手段(6) を備えると共に、その縦切断手段
(6) として、回転自由な円板刃(6a)と、その円板刃(6a)
をサクションロール(5) （あるいはその近くに設けたロ
ールまたは台）に向けて付勢する付勢手段(6b)とを備え
たものを用いると、たとえ積層シートの厚さむらやサク
ションロール(5) の振れ（サクションロール(5) の近く
に設けたロールまたは台上で縦方向の切断を行うときに
は、そのロールの振れや台の平坦度）があっても、セラ
ミック生シート(G) が切断不良を起こすことがなく、ま
たキャリアフィルム(F) にまで円板刃(6a)を喰い込ませ
る必要がない。

【００３２】上記のように、剥離テーブル(4) の横方向
切断刃(3) を受ける部位に弾力材(4a)を埋設し、また縦
切断手段(6) として回転自由な円板刃(6a)と付勢手段(6
b)とを備えたものを用いると、キャリアフィルム(F) を
傷つけることなくセラミック生シート(G) のみを最小限
の力で円滑に切断することができるので、刃の寿命が大
幅に延びる。

【００３３】

【実施例】以下実施例をあげて本発明をさらに詳細に説
明する。

【００３４】実施例１ 〈図１〜２の説明〉図１は本発明の積層装置の一例を示
した正面図である。図２は図１の積層装置の平面図であ
る。

【００３５】図１〜２において、積層シートのセラミッ
ク生シート(G) 側に電極パターンおよび位置決め検出用
マークを印刷して巻き取った材料を、巻出装置(14)にセ
ットして、ガイドロール(17a), (17b)、供給側テンショ
ンロール(18)、サクションロール(5) 、剥離テーブル
(4) 、移動ロール(19)、ガイドロール(17c) 、巻取側テ
ンションロール(20)、ガイドロール(17d), (17e), (17
f) を経て、巻取装置(15)にて巻き取るように装着して
ある。

【００３６】サクションロール(5) は、その表面を真空
状態にして積層シートを吸着しつつ回転し、積層シート
を搬送する。

【００３７】またこのサクションロール(5) の上部にセ
ラミック生シート(G) のみ進行方向に切断する２枚の回
転自由な円板刃(6a), (6a)を付設しており、セラミック
生シート(G) は一定の巾に切断されながら搬送されて、
印刷されたパターンが剥離テーブル(4) で停止、位置決
めされる。その位置決めされた正確な位置をＣＣＤカメ
ラ(13)で検出して、そのデータに基いて搬送装置(1) が
剥離テーブル(4) 上へ移動する。

【００３８】該搬送装置(1) が剥離テーブル(4) 上で、
セラミック生シート(G) を横方向切断刃（平刃）(3),
(3)で切断し、吸着盤(2) で吸着すると、剥離テーブル
(4) は図１の左方向へ移動し、セラミック生シート(G)
のみが吸着盤(2) に吸着されたままキャリアフィルム
(F) と分離される。

【００３９】その後、吸着盤(2) が上昇して、搬送装置
(1) はプレステーブル(7) 上に移動する。そのプレステ
ーブル(7) の上面にはキャリアプレート(21)が保持され
ており、プレステーブル(7) が上昇することによってセ
ラミック生シート(G) がキャリアプレート(21)上に圧着
され、プレステーブル(7) が下降をはじめる。と同時
に、吸着盤(2) の真空は断たれ、エヤーを吹き出すこと
によって吸着盤(2) に吸着されていたセラミック生シー
ト(G) はキャリアプレート(21)上に積層される。

【００４０】その後、搬送装置(1) は、前述の剥離テー
ブル(4) 上で位置決め停止されたセラミック生シート
(G) の印刷部分の正確な位置のデータをＣＣＤカメラ(1
3), (13)から受け取ってその位置に移動する。

【００４１】このときＣＣＤカメラ(13), (13)から受け
取ったデータに対して、印刷パターン寸法に応じた所定
の長さ分を一層積層するごとに加算および減算して位置
決めし切断することによって、印刷位置が交互に所定の
位置になるように積層することができる。

【００４２】上に述べたようにして、一連の積層操作が
繰り返されるわけである。

【００４３】一方、キャリアプレート(21)の上面にセラ
ミック生シート(G) をそれが動かないように貼り付けて
所定枚数積層圧着した後に、セラミック生シート(G) の
積層体を損傷することなく剥がすことを目的に、低粘着
性または熱剥離性の糊を塗布したキャリアプレート(2
1)、あるいは低粘着性または熱剥離性の糊を表面に塗布
したシート（この場合、両面接着シートが便利である）
を貼り付けたキャリアプレート(21)が、キャリアプレー
ト供給装置(22)のラックケースに収納されている。キャ
リアプレート(21)は、そこからキャリアプレート搬送コ
ンベヤー(23)によって搬送され、プレステーブル(21)上
に停止し、保持される。

【００４４】そこで前記の積層圧着の作業が繰り返され
るのであるが、所定枚数の積層作業が完了したり、また
は積層の途中で種類の異なったシート（印刷を施してな
いダミーシート等）を間に積層するときには、キャリア
プレート(21)はプレステーブル(7) より排出されるが、
このとき必要に応じてブランクシート供給装置(24)によ
って予め準備されたシートを載せることができる。

【００４５】次に、セラミック生シート(G) が積層され
たキャリアプレート(21)は、必要に応じて本圧着プレス
(25)内で停止して所定の圧力で加圧される。ここでは、
加熱しながら加圧することもできる。

【００４６】本圧着プレス(25)で加圧されたキャリアプ
レート(21)は、所定の枚数の積層が終了していなければ
キャリアプレート搬送コンベヤー(26), (27), (28)およ
び先に述べたキャリアプレート搬送コンベヤー(23)によ
って順次搬送され、プレステーブル(7) 上に戻り保持さ
れる。

【００４７】ここで所定の枚数の積層が終了すると、キ
ャリアプレート(21)はプレステーブル(7) より排出され
る。このときも、必要に応じて、ブランクシート供給装
置(24)によって準備されたシートを載せることができ
る。この作業が不要なとき、またはこの作用が終了した
ときは、必要に応じて前記本圧着プレス(25)で加圧され
た後、必要がなければ本圧着プレス(25)を通過させて、
キャリアプレート収納装置(29)に積層作業が終了したキ
ャリアプレート(21)を収納するのである。キャリアプレ
ート供給装置(22)からは別のキャリアプレート(21)が供
給されて、引き続いて前記の一連の積層作業が繰り返さ
れる。

【００４８】なお、図１〜２中、(32)はテーブル位置補
正機構、(33)は油圧シリンダー、(34)はガイド、(35)は
モニターである。

【００４９】〈図３〜５の説明〉図３、図４および図５
は、図１の積層装置の作動状態（殊に搬送装置(1) を移
動させる機構）を説明するための要部の正面図である。

【００５０】搬送装置(1) は、ロッドレス流体（エヤ
ー）シリンダー(8) の可動部(8a)に支持されており、そ
のロッドレス流体シリンダー(8) の本体ケース側の一端
にボールメネジ(9b)が付設されている。ボールメネジ(9
b)には、これに対となるボールネジ軸(9a)が組み合わさ
れており、ボールネジ軸(9a)は軸継手(11)を介してサー
ボモーター(10)に連結されている。従って、サーボモー
ター(10)の駆動によって、ロッドレス流体シリンダー
(8) 全体が移動できる仕組になっている。

【００５１】ここで搬送装置(1) がプレステーブル(7)
上に位置決めするときは、ロッドレス流体シリンダー
(8) の図で言うところの右端近くに移動した所で、該ロ
ッドレス流体シリンダー(8) のストロークを余して搬送
装置(1) 自体が機械本体側に付設した第１ストッパー(1
2)に押し当てられて停止するようにしておくことによっ
て、ロッドレス流体シリンダー(8) 本体の熱膨張やサー
ボモーター(10)の微小な位置決め誤差等と無関係に、絶
対的な高精度位置決めができる。

【００５２】次に、剥離テーブル(4) 上で位置決め停止
されたセラミック生シート(G) の印刷部分への正確な位
置決めをするときは、ロッドレス流体シリンダー(8) の
図で言うところの左端近くへ移動した所で、該ロッドレ
ス流体シリンダー(8) のストロークを余して搬送装置自
体がロッドレス流体シリンダー(8) の本体の図で言うと
ころの左端付近にこれと一体になるように付設された第
２ストッパー(16)に押し当てて止め、ロッドレス流体シ
リンダー(8) の定位置まで移動させる。ここでの第２ス
トッパー(16)は、ロッドレス流体シリンダー(8) のスト
ローク限での停止位置が信頼性の高いものであれば不要
である。

【００５３】上記のロッドレス流体シリンダー(8) によ
ってロッドレス流体シリンダー(8)の定位置へ移動させ
るのに加えて、ＣＣＤカメラ(13), (13)から受け取った
データや、一層積層するごとに必要な加算、減算の移動
分を、数値制御によるサーボモーター(10)、ボールネジ
(9) （ボールネジ軸(9a)とボールメネジ(9b)）によっ
て、ロッドレス流体シリンダー(8) 全体を移動させるの
である。

【００５４】こうすることによって、数値制御によるサ
ーボモーター(10)とボールネジ(9)での高精度位置決め
部分の移動量が少ないために、位置決め時間が短くて済
む。またボールネジ軸(9a)も短いものでよいので、ボー
ルネジ軸(9a)の熱膨張による位置決め精度への影響が少
なく、高精度が得られると共に、全移動量の大部分をロ
ッドレス流体シリンダー(8) によって高速で移動できる
ので、生産速度の向上につながるのである。

【００５５】〈図６の説明〉図６は図１の積層装置の縦
切断手段(6) の部分の拡大正面図である。

【００５６】セラミック生シート(G) は柔らかくて刃物
で切断しやすい性質を有し、一方キャリアフィルム(F)
はセラミック生シート(G) に比べるとかなり硬い樹脂の
フィルムである。

【００５７】そこでセラミック生シート(G) の進行方向
の切断用として、２組の回転自由な円板刃(6a), (6a)を
ロールまたはテーブル上に配置して、搬送されるセラミ
ック生シート(G) を所定の巾に連続して切断するが、そ
のときの加圧力は、円板刃(6a), (6a)をロールやテーブ
ルに向けて付勢する付勢手段(6b)を使用することによっ
て（図６ではサクションロール(5) 上でエヤーシリンダ
ー(6b₁) およびバネ(6b₂) を併用して切断する例を示し
ており、(6c)は支持具である）、フィルムの厚さむら、
ロール外周の振れ、テーブルの平坦度などによって生ず
るセラミック生シート(G) の切断不良を解消すると共
に、その加圧力を必要最小限にすることによって、キャ
リアフィルム(F) に傷をつけることなく確実にセラミッ
ク生シート(G) のみを切断することができ、キャリアフ
ィルム(F) の再利用および刃先の寿命の延長にもつなが
る。

【００５８】〈図７〜９の説明〉図７〜９は、図１の積
層装置における搬送装置(1) と剥離テーブル(4) の詳細
および作動状態を示した説明図である。

【００５９】剥離テーブル(4) （可動式の位置決めテー
ブル）上でセラミック生シート(G)を位置決め停止し、
その印刷部分の正確な位置をＣＣＤカメラ(13), (13)に
て検出して、そのデータに基いて搬送装置(1) を前記の
正確な位置へ移動させる。

【００６０】該搬送装置(1) には、下部に真空吸着機構
（吸引孔(2a)）を備えた下表面が小さな穴で形成される
多孔質層(2b)を有する吸着盤(2) をエヤーシリンダー(3
0),(30)で上下作動可能に付設していて、さらに該吸着
盤(2) と一体となった部分に、セラミック生シート(G)
の進行方向に対して前と後に各々１枚の横方向切断刃
（平刃）(3), (3)を、エヤーシリンダー(31), (31)で上
下作動可能に付設している。

【００６１】剥離テーブル(4) 上の正確な位置へ移動し
てきた搬送装置(1) は、吸着盤(2)を下降させながら前
後の２枚の横方向切断刃（平刃）(3), (3)をも下降させ
る。このとき吸着盤(2) とセラミック生シート(G) は密
着するかまたはわずかの隙間を残しながら対向してお
り、吸着面を真空状態にすることによってセラミック生
シート(G) は吸着盤(2) に吸着される。

【００６２】一方で横方向切断刃(3), (3)の下降する部
位の剥離テーブル(4) 側にはゴム等の弾力材(4a)が埋め
込んであり、横方向切断刃(3), (3)に押されたセラミッ
ク生シート(G) とキャリアフィルム(F) は、前記弾力材
(4a)によって横方向切断刃(3), (3)の刃先の全長にわた
って均等な力で押し当てられることになり、柔らかいセ
ラック生シート(G) は確実に切断される。

【００６３】この方法によると、１０μm 以下の薄いセ
ラミック生シート(G) でも、通常の加工精度の平刃を使
用して確実に切断することができるのである。

【００６４】前記横方向切断刃(3), (3)はエヤーシリン
ダー(31), (31)によって加圧されているため、エヤーシ
リンダー(31), (31)の加圧力を加減することによって、
キャリアフィルム(F) に傷をつけることなく、柔らかい
セラミック生シート(G) のみを確実に切断できるのであ
る。

【００６５】

【発明の効果】作用の項で詳細に述べたように、本発明
の積層装置にあっては、剥離テーブル(4) −プレステー
ブル(7) 間の搬送装置(1) の移動および位置決めを迅速
かつ高精度で行うことができるので、生産性の向上、位
置決め精度の双方において最適の結果が得られる。

【００６６】剥離テーブル(4) の横方向切断刃(3) を受
ける部位に弾力材(4a)を埋設し、また縦切断手段(6) と
して回転自由な円板刃(6a)と付勢手段(6b)とを備えたも
のを用いると、キャリアフィルム(F) を傷つけることな
くセラミック生シート(G) のみを最小限の力で円滑に切
断することができるので、刃の寿命が大幅に延びる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の積層装置の一例を示した正面図であ
る。

【図２】図１の積層装置の平面図である。

【図３】図１の積層装置の作動状態（殊に搬送装置(1)
を移動させる機構）を説明するための要部の正面図であ
る。

【図４】図１の積層装置の作動状態（殊に搬送装置(1)
を移動させる機構）を説明するための要部の正面図であ
る。

【図５】図１の積層装置の作動状態（殊に搬送装置(1)
を移動させる機構）を説明するための要部の正面図であ
る。

【図６】図１の積層装置の縦切断手段(6) の部分の拡大
正面図である。

【図７】図１の積層装置における搬送装置(1) と剥離テ
ーブル(4) の詳細および作動状態を示した説明図であ
る。

【図８】図１の積層装置における搬送装置(1) と剥離テ
ーブル(4) の詳細および作動状態を示した説明図であ
る。

【図９】図１の積層装置における搬送装置(1) と剥離テ
ーブル(4) の詳細および作動状態を示した説明図であ
る。

【図１０】従来のセラミック生シートの積層装置の一例
を示した要部の説明図である。

【符号の説明】

(F) …キャリアフィルム、(G) …セラミック生シート、
(1) …搬送装置、(2) …吸着盤、(2a)…吸引孔、(2b)…
多孔質層、(3) …横方向切断刃、(4) …剥離テーブル、
(4a)…弾力材、(5) …サクションロール、(6) …縦切断
手段、(6a)…円板刃、(6b)…付勢手段、(6b₁) …エヤー
シリンダー、(6b₂) …バネ、(6c)…支持具、(7) …プレ
ステーブル、(8) …ロッドレス流体シリンダー、(8a)…
可動部、(9) …ボールネジ、(9a)…ボールネジ軸、(9b)
…ボールメネジ、(9')…長尺のボールネジ軸、(10)…サ
ーボモーター、(11)…軸継手、(12)…第１ストッパー、
(13)…ＣＣＤカメラ、(14)…巻出装置、(15)…巻取装
置、(16)…第２ストッパー、(17a), (17b), (17c), (17
d), (17e), (17f)…ガイドロール、(18)…供給側テンシ
ョンロール、(19)…移動ロール、(20)…巻取側テンショ
ンロール、(21)…キャリアプレート、(22)…キャリアプ
レート供給装置、(23)…キャリアプレート搬送コンベヤ
ー、(24)…ブランクシート供給装置、(25)…本圧着プレ
ス、(26), (27), (28)…キャリアプレート搬送コンベヤ
ー、(29)…キャリアプレート収納装置、(30)…エヤーシ
リンダー、(31)…エヤーシリンダー (32)…テーブル位置補正機構、(33)…油圧シリンダー、
(34)…ガイド、(35)…モニター

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】キャリアフィルム(F) 上のセラミック生シ
   ート(G) を所定の寸法に切断した後、剥離テーブル(4)
   上からプレステーブル(7) 上に搬送して積層圧着するた
   めの装置であって、横方向切断刃(3) と吸着盤(2) とを
   付設した搬送装置(1) 、その可動部(8a)に前記搬送装置
   (1) を支持してシリンダーの長さ方向に大距離移動させ
   るためのロッドレス流体シリンダー(8) 、および、サー
   ボモーター(10)の駆動によって作動しかつ前記ロッドレ
   ス流体シリンダー(8) をシリンダーの長さ方向に小距離
   移動させるためのボールネジ(9) を備えていることを特
   徴とするセラミック生シートの積層装置。
2. 【請求項２】搬送装置(1) がプレステーブル(7) 側に移
   動したときの停止位置を規制する第１ストッパー(12)を
   設置してある請求項１記載の積層装置。
3. 【請求項３】剥離テーブル(4) の前記横方向切断刃(3)
   を受ける部位に弾力材(4a)を埋設してある請求項１記載
   の積層装置。
4. 【請求項４】剥離テーブル(4) の上流側に、サクション
   ロール(5) を設けてあり、また該サクションロール(5)
   あるいはその近くに設けたロールまたは台に近接して、
   キャリアフィルム(F) 上のセラミック生シート(G) をそ
   の両縁側において縦方向に切断する縦切断手段(6) を備
   えており、かつ該縦切断手段(6) が、回転自由な円板刃
   (6a)と、該円板刃(6a)をサクションロール(5) あるいは
   その近くに設けたロールまたは台に向けて付勢する付勢
   手段(6b)とを備えている請求項１記載の積層装置。