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KR101614750B1 - Apparatus for manufacturing ceramic laminate and method for manufacturing the same - Google Patents

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KR101614750B1
KR101614750B1 KR1020140080809A KR20140080809A KR101614750B1 KR 101614750 B1 KR101614750 B1 KR 101614750B1 KR 1020140080809 A KR1020140080809 A KR 1020140080809A KR 20140080809 A KR20140080809 A KR 20140080809A KR 101614750 B1 KR101614750 B1 KR 101614750B1
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KR
South Korea
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roll
ceramic sheet
transfer roll
peeling transfer
ceramic
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KR1020140080809A
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Korean (ko)
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츠요시 나카가와
토모아키 아사카와
카즈히사 하야카와
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가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼
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Abstract

[과제] 성막 지지 수단으로부터 박리 전사 롤을 통해서 적층 지지 수단으로 세라믹 시트를 전사할 때에 세라믹 시트에 큰 부하를 가하지 않고 반송할 수 있고, 품질이 좋은 세라믹 적층체를 제조하는 것.
[해결 수단] 표면에 세라믹 시트(S)가 형성된 성막 롤(12)과, 성막 롤(12)에 대하여 세라믹 시트(S)를 사이에 두고 접촉하고, 세라믹 시트를 성막 롤로부터 박리하는 박리 전사 롤(14)과, 세라믹 시트(S)를 사이에 두고 박리 전사 롤과 접촉하고, 박리 전사 롤로부터 세라믹 시트를 박리해서 그 세라믹 시트를 적층함으로써 세라믹 적층체를 얻는 적층 롤(16)을 구비한다. 박리 전사 롤(14)의 외주부를 세라믹 시트에 대한 접착력이 성막 롤(12)보다 크지 않은 탄성체(14b)로 구성하고, 성막 롤(12)과 박리 전사 롤(14)의 접촉 위치에 탄성체(14b)에 의한 전단 변형에 의해 흡수할 수 있는 속도차를 부여했다.
[PROBLEMS] To produce a ceramic laminated body which can be conveyed without a large load applied to the ceramic sheet when transferring the ceramic sheet from the film-forming supporting means to the lamination supporting means through the peeling transfer roll.
A film forming apparatus includes a film forming roll 12 having a surface on which a ceramic sheet S is formed and a peeling transfer roll 12 contacting the film forming roll 12 with the ceramic sheet S sandwiched therebetween, (14), a lamination roll (16) which is in contact with the peeling transfer roll with the ceramic sheet (S) sandwiched therebetween, peeling off the ceramic sheet from the peeling transfer roll, and laminating the ceramic sheet to obtain a ceramic laminate. The outer peripheral portion of the peeling transfer roll 14 is constituted by the elastic body 14b whose adhesion to the ceramic sheet is not larger than the film forming roll 12 and the elastic body 14b ) At a speed difference that can be absorbed by the shear deformation caused by the shear deformation.

Description

세라믹 적층체의 제조 장치 및 그 제조 방법{APPARATUS FOR MANUFACTURING CERAMIC LAMINATE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME}Technical Field [0001] The present invention relates to an apparatus for manufacturing a ceramic laminated body,

본 발명은 적층 세라믹 콘덴서 등의 적층형 전자 부품의 제조 공정에서 사용되는 세라믹 적층체의 제조 장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for manufacturing a ceramic laminated body used in a manufacturing process of a multilayer electronic component such as a multilayer ceramic capacitor and a manufacturing method thereof.

적층 세라믹 콘덴서를 제조할 경우, 특허문헌 1과 같이 장척인 캐리어 필름 상에 세라믹 그린시트를 형성하고, 그 위에 내부 전극을 인쇄하고, 세라믹 그린시트를 원하는 사이즈로 컷팅해서 캐리어 필름으로부터 박리함과 아울러 컷팅된 세라믹 그린시트를 복수 층 적층해서 적층체 블록을 형성하는 방법이 일반적이다. 캐리어 필름으로부터 세라믹 그린시트를 박리하는 방법으로서 정반 상에 흡인 구멍에 의해 세라믹 그린시트를 지지하는 캐리어 필름의 하면을 흡착 유지함과 아울러 정반의 상방에 다수의 흡인 구멍을 갖는 흡착 헤드를 설치하고, 흡착 헤드의 흡인 구멍에 의해 세라믹 그린시트의 상면을 흡착한 상태로 흡착 헤드를 상승시킴으로써 세라믹 그린시트를 캐리어로부터 박리하고 있다.When a multilayer ceramic capacitor is manufactured, a ceramic green sheet is formed on a long carrier film as in Patent Document 1, an internal electrode is printed on the ceramic green sheet, the ceramic green sheet is cut into a desired size and is peeled off from the carrier film, A method of forming a laminated block by laminating a plurality of cut ceramic green sheets is common. There is provided a method for peeling a ceramic green sheet from a carrier film, comprising the steps of: adsorbing and retaining a lower surface of a carrier film supporting a ceramic green sheet by a suction hole on a surface of a plate; providing an adsorption head having a plurality of suction holes above a surface plate; The adsorption head is lifted in a state in which the top surface of the ceramic green sheet is adsorbed by the suction hole of the head to peel the ceramic green sheet from the carrier.

그렇지만, 정반과 흡착 헤드가 함께 평판 형상이기 때문에 박리 모드는 면 박리이다. 흡착 헤드의 흡인 구멍은 소정의 간격을 두고 형성되어 있으므로 흡인 구멍 사이의 세라믹 그린시트는 유지되어 있지 않다. 그 때문에, 세라믹 그린시트가 얇고 강도가 작을 경우, 정반 상의 캐리어 필름으로부터 세라믹 그린시트를 박리하는 도중에 흡인 구멍 사이의 세라믹 그린시트가 파단될 가능성이 있다. However, since the base plate and the adsorption head are in a flat plate shape, the peeling mode is face peeling. Since the suction holes of the suction heads are formed at predetermined intervals, the ceramic green sheets between the suction holes are not held. Therefore, when the ceramic green sheet is thin and has low strength, there is a possibility that the ceramic green sheet between the suction holes is broken during peeling of the ceramic green sheet from the carrier film on the surface.

특허문헌 2의 도 3에는 효율적인 세라믹 적층체의 제조 장치가 개시되어 있다. 이 제조 장치는 이형(離型) 처리가 실시된 성막 롤 상에 성막 장치에 의해 세라믹 슬러리를 박막 형상으로 도포하고, 세라믹 슬러리를 건조 장치에 의해 건조한 후, 그 세라믹 시트를 박리 전사 롤에 옮겨 놓고, 또한 박리 전사 롤로부터 적층 롤로 세라믹 시트를 전사함으로써 적층 롤 상에 세라믹 시트를 다층으로 적층하고 있다. 적층 롤 상에서는 전극 형성 장치에 의해 각 세라믹 시트 상에 전극을 형성하고 있다.FIG. 3 of Patent Document 2 discloses an apparatus for manufacturing an efficient ceramic laminate. In this manufacturing apparatus, a ceramic slurry is applied in a thin film form on a film-forming roll on which a release process has been performed by a film-forming apparatus, the ceramic slurry is dried by a drying apparatus, the ceramic sheet is transferred to a peeling transfer roll , And further, the ceramic sheet is transferred from the peeling transfer roll to the lamination roll to laminate the ceramic sheets on the lamination roll in multiple layers. In the laminated roll, electrodes are formed on the respective ceramic sheets by an electrode forming apparatus.

특허문헌 2에 기재된 장치에서는 연속 운전에 의해 세라믹 슬러리를 성막할 수 있으므로 간헐적인 성막 방법에 비해서 막 두께의 안정 영역이 넓어지고, 품질 및 양산성이 향상됨과 아울러 캐리어 필름을 사용하지 않고 성막, 적층할 수 있으므로 제조 비용을 저감할 수 있다는 이점이 있다. 또한, 적층 롤 상에 세라믹 시트가 적층됨에 따라서 적층 롤의 직경이 증대되지만, 그에 따라 박리 전사 롤의 위치나 압력을 조정할 수 있으므로 적층체의 품질을 안정화시킬 수 있다. 또한, 적층 롤이 성막 롤에 직접 접촉하지 않으므로 적층 롤의 가압력이 성막 롤을 손상시킨다는 문제를 해소할 수 있다.In the apparatus described in Patent Document 2, since the ceramic slurry can be formed by continuous operation, the stability of the film thickness is widened as compared with the intermittent film forming method, and the quality and mass productivity are improved. In addition, So that the manufacturing cost can be reduced. Further, as the ceramic sheet is laminated on the lamination roll, the diameter of the lamination roll is increased, but the position and pressure of the peeling transfer roll can be adjusted, thereby stabilizing the quality of the lamination. In addition, since the lamination roll does not directly contact the film formation roll, the problem that the pressing force of the lamination roll damages the film formation roll can be solved.

일본 특허 공개 2002-254421호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-254421 일본 특허 공개 2011-258928호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2011-258928

특허문헌 2에서는 성막 롤로부터 박리 전사 롤로 세라믹 시트를 확실하게 옮겨 놓게 하기 위해서 성막 롤 상에는 이형 처리가 실시되고, 박리 전사 롤에는 점착 수단 또는 흡착 수단(흡인 또는 정전 흡착)이 설치되어 있다.In Patent Document 2, in order to surely transfer the ceramic sheet from the film forming roll to the peeling transfer roll, the film forming roll is subjected to a releasing treatment, and the peeling transfer roll is provided with an adhering means or an adsorption means (suction or electrostatic adsorption).

그런데, 박리 전사 롤에 점착 수단을 사용한 경우에는 그 점착력을 적절하게 제어하는 것이 어렵고, 점착력이 지나치게 강하면 세라믹 시트를 적층 롤에 원활하게 전사할 수 없고, 반대로 점착력이 지나치게 약하면 성막 롤로부터 세라믹 시트를 원활하게 박리할 수 없다.However, when the peeling transfer roll is provided with an adhesive means, it is difficult to appropriately control the adhesive force. If the adhesive force is too strong, the ceramic sheet can not be transferred smoothly to the lamination roll. On the contrary, if the adhesive force is too low, It can not be smoothly peeled off.

한편, 박리 전사 롤로서 흡입 롤과 같은 흡착 수단을 사용하면 유지력의 제어는 간단하지만, 캐리어 필름에 의해 지지되어 있지 않은 세라믹 시트의 표면을 진공 흡인하기 때문에 흡인 구멍을 갖지 않는 영역에서 세라믹 시트에 연장이 발생하거나, 흡인 구멍에 의한 흡인 흔적이 세라믹 시트의 표면에 남는 경우가 있어 세라믹 적층체의 품질 저하를 초래할 가능성이 있다. 특히, 막 두께가 작은 저강도의 세라믹 시트의 경우, 약간의 부하로도 세라믹 시트가 뒤틀리므로 진공 흡인에 의한 흡착 수단은 채용하기 어렵다.On the other hand, when the suction means such as a suction roll is used as the peeling transfer roll, the control of the holding force is simple. However, since the surface of the ceramic sheet not supported by the carrier film is vacuum-sucked, Or a suction trace due to the suction hole may remain on the surface of the ceramic sheet, which may result in deterioration of the quality of the ceramic laminated body. Particularly, in the case of a low-strength ceramic sheet having a small film thickness, since the ceramic sheet is warped even with a slight load, it is difficult to adopt a suction means by vacuum suction.

그래서, 본 발명의 목적은 성막 지지 수단으로부터 박리 전사 롤을 통해서 적층 지지 수단으로 세라믹 시트를 전사할 때에 세라믹 시트에 큰 부하를 가하지 않고 반송할 수 있고, 품질이 좋은 세라믹 적층체를 제조할 수 있는 세라믹 적층체의 제조 장치 및 제조 방법을 제공하는 것에 있다.It is therefore an object of the present invention to provide a ceramic laminate which can carry a ceramic sheet without transferring a large load to the ceramic sheet when transferring the ceramic sheet from the film deposition supporting means to the lamination supporting means through the peeling transfer roll, And an object of the present invention is to provide an apparatus and a method for manufacturing a ceramic laminated body.

상기 목적을 달성하기 위해서 본 발명에 의한 세라믹 적층체의 제조 장치는 표면 상에 세라믹 시트가 형성된 성막 지지 수단과, 상기 세라믹 시트를 사이에 두고 상기 성막 지지 수단과 접촉하고, 상기 세라믹 시트를 성막 지지 수단으로부터 박리하는 박리 전사 롤과, 상기 세라믹 시트를 사이에 두고 상기 박리 전사 롤과 접촉하고, 상기 박리 전사 롤로 전사시킨 세라믹 시트를 상기 박리 전사 롤로부터 박리함과 아울러 박리한 세라믹 시트를 적층함으로써 상기 세라믹 시트의 적층체를 얻는 적층 지지 수단을 구비하는 세라믹 적층체의 제조 장치에 있어서, 상기 박리 전사 롤의 적어도 외주부를 상기 세라믹 시트에 대한 접착력이 상기 성막 지지 수단보다 크지 않은 탄성체로 구성되고, 상기 성막 지지 수단과 상기 박리 전사 롤의 접촉 위치에 상기 탄성체에 의한 전단 변형에 의해 흡수할 수 있는 속도차를 부여한 것을 특징으로 하는 것이다.In order to attain the above object, an apparatus for producing a ceramic laminated body according to the present invention comprises: a film-formation supporting means having a ceramic sheet formed on a surface thereof; a supporting member for supporting the ceramic sheet, And peeling off the ceramic sheet from the peeling transfer roll in contact with the peeling transfer roll with the ceramic sheet sandwiched therebetween and transferring the peeled transfer roll to the peeling transfer roll, Wherein at least an outer peripheral portion of the peeling transfer roll is made of an elastic body having an adhesion force to the ceramic sheet that is not greater than that of the film forming and supporting means, And the peeling transfer roll is brought into contact with the film- Is characterized in that given the speed difference can be absorbed by the shear deformation due to the magnetic material.

본 발명에 의한 세라믹 적층체의 제조 방법은 성막 지지 수단의 표면에 세라믹 시트를 형성하는 성막 형성 공정과, 상기 성막 지지 수단에 대하여 상기 세라믹 시트를 통해서 박리 전사 롤을 접촉시킴으로써 상기 세라믹 시트를 상기 성막 지지 수단으로부터 박리하고, 박리한 상기 세라믹 시트를 박리 전사 롤의 외주로 전사하는 박리 전사 공정과, 상기 박리 전사 롤에 대하여 상기 세라믹 시트를 통해서 적층 지지 수단을 접촉시킴으로써 상기 세라믹 시트를 상기 박리 전사 롤로부터 박리하고, 박리한 상기 세라믹 시트를 상기 적층 지지 수단 상에 적층함으로써 세라믹 적층체를 형성하는 적층체 형성 공정을 갖는 세라믹 적층체의 제조 방법에 있어서, 상기 박리 전사 롤의 적어도 외주부를 상기 세라믹 시트에 대한 접착력이 상기 성막 지지 수단보다 크지 않은 탄성체로 구성되고, 상기 성막 지지 수단과 상기 박리 전사 롤의 접촉 위치에 상기 탄성체에 의한 전단 변형에 의해 흡수할 수 있는 속도차를 부여한 것을 특징으로 하는 것이다. 여기에서, 「전단 변형」이란 탄성체의 이동 방향의 변형인 것이다. 탄성체가, 예를 들면 롤의 외주부에 설치되어 있을 경우에는 롤의 접선 방향이 변형된 것을 가리킨다.A method for producing a ceramic laminated body according to the present invention includes a film forming step of forming a ceramic sheet on the surface of a film forming and supporting means and a step of forming a ceramic film on the ceramic film by contacting the peeling transfer roll with the film- A peeling transfer step of transferring the ceramic sheet peeled off from the support means to the outer periphery of the peeling transfer roll; and a peeling transfer step of bringing the ceramic sheet into contact with the peeling transfer roll through the ceramic sheet, And a laminated body forming step of forming a ceramic laminated body by laminating the peeled ceramic sheet on the laminated support means, the method comprising the steps of: forming at least an outer peripheral portion of the peeling transfer roll on the ceramic sheet Is higher than that of the film-forming supporting means And a speed difference capable of being absorbed by shearing deformation by the elastic body is imparted to a contact position between the film forming and supporting means and the peeling transfer roll. Here, " shear deformation " is a deformation of the moving direction of the elastic body. When the elastic body is provided, for example, on the outer peripheral portion of the roll, it means that the tangential direction of the roll is deformed.

성막 지지 수단 상에 형성된 세라믹 시트는 성막 지지 수단과 박리 전사 롤의 접촉 위치까지 반송된다. 박리 전사 롤의 둘레속도와 성막 지지 수단 상의 세라믹 시트의 반송 속도를 어긋나게 하고, 또한 박리 전사 롤의 적어도 외주부를 탄성체로 구성함으로써 세라믹 시트와 성막 지지 수단의 계면에 전단력을 작용시켜서 전단 박리 모드로 세라믹 시트를 성막 지지 수단으로부터 박리할 수 있다. 성막 지지 수단과 박리 전사 롤의 속도차는 박리 전사 롤의 탄성체의 전단 변형에 의해 흡수할 수 있는 정도의 차이므로 세라믹 시트에 주름이나 파단이 발생할 일이 없다.The ceramic sheet formed on the film-forming supporting means is conveyed to the contact position of the film-forming supporting means and the peeling transfer roll. The peripheral speed of the peeling transfer roll and the conveying speed of the ceramic sheet on the film forming and supporting means are shifted and at least the outer peripheral portion of the peeling transfer roll is made of an elastic body so that a shearing force is applied to the interface between the ceramic sheet and the film forming and supporting means, The sheet can be peeled off from the film forming and supporting means. The speed difference between the film forming and supporting means and the peeling transfer roll is a difference in degree that can be absorbed by the shearing deformation of the elastic body of the peeling transfer roll, so that the wrinkle and the breakage of the ceramic sheet do not occur.

성막 지지 수단으로부터 박리 전사 롤에 전사된 후, 재차 박리 전사 롤로부터 세라믹 시트를 박리할 경우, 박리 전사 롤이 원통 형상이기 때문에 박리 모드는 면 박리가 아니고 선 박리이다. 박리 전사 롤의 외주부에 설치한 탄성체는 세라믹 시트에 대한 접착력이 성막 지지 수단보다 크지 않으므로 탄성체의 접착력 자체가 작아 박리 전사 롤로부터 적층 지지 수단으로 세라믹 시트를 용이하게 전사할 수 있다. 이와 같이 해서 성막 지지 수단으로부터 박리 전사 롤로 적층 지지 수단에 세라믹 시트에 부하를 더 가하지 않고 전사할 수 있으므로 지금까지 박리가 어려웠고 강도가 낮은 세라믹 시트(두께가 얇고, 세라믹 그린시트 중의 수지가 적어 세라믹 그린시트 중의 수지의 분자량이 작다)에서도 박리 적층이 가능하다. 그 때문에, 고품질의 세라믹 적층체를 얻을 수 있다.When the ceramic sheet is peeled off again from the peeling transfer roll after it is transferred from the film forming and supporting means to the peeling transfer roll, the peeling transfer roll is cylindrical, so that the peeling mode is not peeling but delamination. Since the adhesive force of the elastic body itself is small since the adhesive force to the ceramic sheet is not greater than the adhesive force of the elastic sheet provided on the peripheral portion of the peeling transfer roll, the ceramic sheet can be easily transferred from the peeling transfer roll to the lamination support means. Since the ceramic sheet can be transferred from the film forming and supporting means to the lamination supporting means without being further loaded on the ceramic sheet by the peeling transfer roll, the ceramic sheet having low thickness and low strength And the molecular weight of the resin in the sheet is small). Therefore, a high-quality ceramic laminate can be obtained.

박리 전사 롤의 외주부에 설치되는 탄성체는 그 표면이 비점착성이고, 또한 세라믹 시트의 두께보다 작은 표면 거칠기(Ra)를 갖는 것이 바람직하다. 탄성체가 점착성을 가질 경우에는 박리 전사 롤로부터 적층 지지 수단으로 세라믹 시트를 전사하기 어려워지기 때문이다. 또한, 비점착성이란 세라믹 시트에 대하여 전혀 점착성을 갖지 않을 경우뿐만 아니라 다소의 점착성을 가져도 좋지만, 성막 지지 수단의 점착성보다 크지 않은 점착력을 갖는 것이 좋다. 또한, 탄성체는 소정의 표면 거칠기(Ra)를 가지므로 성막 지지 수단 상의 세라믹 시트와 박리 전사 롤이 접촉하는 부분에서는 세라믹 시트가 탄성체의 표면의 요철을 따라 변형되고, 세라믹 시트와의 접촉 면적이 증대한 상태로 박리 전사 롤에 접착한다. 그 때문에, 탄성체의 표면이 비점착성이어도 성막 지지 수단으로부터 박리 전사 롤 상에 세라믹 시트를 확실하게 전사할 수 있다. 또한, 요철은 세라믹 시트의 두께보다 작으므로 세라믹 시트를 필요 이상으로 크게 변형시키지 않고, 변형의 발생을 방지할 수 있다.It is preferable that the elastic body provided on the outer peripheral portion of the peeling transfer roll has a surface of non-adhesive property and a surface roughness (Ra) smaller than the thickness of the ceramic sheet. When the elastic body has stickiness, it is difficult to transfer the ceramic sheet from the peeling transfer roll to the lamination support means. The non-tackiness is not only the case where the ceramic sheet has no tackiness at all, but it may have some tackiness. However, it is preferable that the tackiness is not greater than the tackiness of the film-forming and supporting means. Further, since the elastic body has a predetermined surface roughness (Ra), the ceramic sheet is deformed along the unevenness of the surface of the elastic body at the portion where the ceramic sheet on the film-forming supporting means and the peeling transfer roll come into contact with each other, And adhered to the peeling transfer roll in the same state. Therefore, even if the surface of the elastic body is non-tacky, the ceramic sheet can be reliably transferred from the film-form supporting means onto the peeling transfer roll. Further, since the concavity and convexity is smaller than the thickness of the ceramic sheet, the ceramic sheet is not deformed more than necessary, and the occurrence of deformation can be prevented.

탄성체의 전단 변형에 의해 흡수할 수 있는 성막 지지 수단과 박리 전사 롤의 접촉 위치에 있어서의 속도차는 탄성체의 두께, 탄성률, 표면 거칠기에 따라 바뀐다. 이하와 같이, 속도차의 상한과 하한을 결정할 수 있다. 성막 지지 수단보다 박리 전사 롤의 속도가 빠를 경우, 속도차의 상한은 시트가 파단할지의 여부에 의해 결정할 수 있다. 구체적으로는, 속도차에 의해 발생하는 박리 전사 롤의 탄성체의 표면에 가해지는 전단력이 시트를 파단시키기 때문에 필요한 힘(물성값)보다 커지지 않도록 설정하면 좋다. 성막 지지 수단보다 전사 롤의 속도가 느릴 경우, 속도의 상한은 박리 전사 롤 상에서 시트에 주름이나 늘어짐이 대량으로 발생하는지의 여부에 의해 결정할 수 있다. 성막 지지 수단보다 박리 전사 롤의 속도가 느리면 박리 전사 롤에 시트가 과잉으로 공급되어 박리 전사 롤 상에서의 갈 곳을 잃어버려서 박리 전사 롤 상에서 시트에 주름이나 늘어짐이 발생한다. 이러한 주름이나 늘어짐은 전단 방향의 시트의 압축에 의해 어느 정도는 흡수할 수 있지만, 그 이상이 되면 흡수하기 어렵다. 그래서, 예를 들면 시트의 압축률이 1~3%의 범위가 되도록 속도차를 설정하면 시트의 주름이나 늘어짐을 허용할 수 있다. 속도차의 하한은 성막 지지 수단으로부터 정상적으로 시트를 박리 가능한지에 의해 결정할 수 있다. 구체적으로는 박리 전사 롤의 탄성체의 표면에 가해지는 전단력이 성막 지지 수단 상의 시트의 박리력(박리 각도 0°일 때의 값)보다 커지도록 설정하면 시트를 박리할 수 있다.The speed difference at the contact position between the film-forming supporting means and the peeling transfer roll which can be absorbed by the shear deformation of the elastic body changes depending on the thickness, elastic modulus, and surface roughness of the elastic body. The upper and lower limits of the speed difference can be determined as follows. When the speed of the peeling transfer roll is faster than that of the film formation supporting means, the upper limit of the speed difference can be determined by whether or not the sheet is broken. Specifically, the shearing force applied to the surface of the elastic body of the peeling transfer roll generated by the speed difference may be set so as not to become larger than the force (physical property value) required to break the sheet. When the speed of the transfer roll is slower than that of the film formation supporting means, the upper limit of the speed can be determined depending on whether or not a large amount of wrinkles or sagging occurs on the sheet on the release transfer roll. If the speed of the peeling transfer roll is slower than that of the film forming and supporting means, the sheet is excessively supplied to the peeling transfer roll, so that the place on the peeling transfer roll is lost and wrinkles or sagging occurs on the peeling transfer roll. Such wrinkles or sagging can be absorbed to some extent by the compression of the sheet in the shearing direction, but it is difficult to absorb the creases or sagging. Thus, for example, if the speed difference is set so that the compression ratio of the sheet is in the range of 1 to 3%, wrinkling or sagging of the sheet can be allowed. The lower limit of the speed difference can be determined by whether or not the sheet can be peeled normally from the film-forming and supporting means. Specifically, the sheet can be peeled off by setting the shearing force applied to the surface of the elastic body of the peeling transfer roll to be larger than the peeling force (value when the peeling angle is 0 DEG) of the sheet on the film forming and supporting means.

일례로서, 성막 지지 수단과 박리 전사 롤의 접촉 위치에 있어서의 속도차를 성막 지지 수단의 접촉 위치에 있어서의 속도에 대하여 ±1~3%의 범위로 해도 좋다. 탄성체의 두께를 크게 하면 그만큼 탄성체의 전단 변형에 의해 속도차의 흡수 범위가 넓어지지만, 탄성체의 두께를 너무 크게 하면 성막 지지 수단과 박리 전사 롤의 접촉 위치에 있어서의 탄성체의 변형량이 커지고, 세라믹 시트와 탄성체의 표면의 접촉 면적이 증대해서 세라믹 시트와 박리 전사 롤의 접착력이 과대해진다. 그 때문에, 세라믹 시트를 적층 지지 수단으로 양호하게 전사할 수 없을 가능성이 있다. 그래서, 탄성체의 두께를 적당한 두께로 하기 위해서 성막 지지 수단과 박리 전사 롤의 속도차를 ±1~3%로 하는 것이 바람직하다.As an example, the speed difference at the contact position between the film-forming supporting means and the peeling transfer roll may be set within a range of ± 1 to 3% with respect to the speed at the contact position of the film-forming and supporting means. If the thickness of the elastic body is increased, the amount of deformation of the elastic body at the contact position between the film forming and supporting means and the peeling transfer roll becomes large. On the other hand, And the surface of the elastic body increases, so that the adhesive force between the ceramic sheet and the peeling transfer roll becomes excessive. Therefore, there is a possibility that the ceramic sheet can not be transferred satisfactorily to the lamination support means. Therefore, in order to make the thickness of the elastic body to be an appropriate thickness, it is preferable to set the speed difference between the film-forming supporting means and the peeling transfer roll at 1 to 3%.

성막 지지 수단은 그 외주면 상에 성막 장치에 의해 세라믹 슬러리가 직접 도포되고, 또한 세라믹 슬러리가 건조되어서 세라믹 시트가 형성되는 성막 롤로 해도 좋다. 이 경우는 성막 롤도 박리 전사 롤도 원통형이기 때문에 박리 모드가 선 박리가 되고, 비교적 작은 힘으로 박리할 수 있다. 게다가, 캐리어 필름을 사용하지 않고 세라믹 시트를 연속 성막할 수 있으므로 캐리어 필름의 연장의 영향이 없고, 또한 제조 비용을 저감할 수 있는 이점이 있다.The film forming and supporting means may be a film forming roll on which the ceramic slurry is directly applied on the outer peripheral surface thereof by the film forming apparatus and the ceramic slurry is dried to form the ceramic sheet. In this case, since the film-forming roll and the peeling-transfer roll are also cylindrical, the peeling mode is peeled off and peeling can be performed with a relatively small force. In addition, since the ceramic sheet can be continuously formed without using a carrier film, there is no influence of elongation of the carrier film, and the manufacturing cost can be reduced.

성막 지지 수단은 연속 형상의 캐리어 필름과, 이 캐리어 필름의 내주면을 지지하는 가이드 롤을 포함하고, 세라믹 시트는 캐리어 필름의 외주면 상에 형성되고, 가이드 롤과 박리 전사 롤이 캐리어 필름을 사이에 두고 접촉하고, 가이드 롤의 둘레속도와 박리 전사 롤의 둘레속도에 탄성체에 의한 전단 변형에 의해 흡수할 수 있는 속도차를 부여해도 좋다. 이 경우는 캐리어 필름 상에 미리 세라믹 시트를 형성해 둘 수 있으므로 가이드 롤의 주위에 성막 장치나 건조 장치를 배치할 필요가 없고, 장치를 간소화할 수 있다. 또한, 캐리어 필름 상에 세라믹 시트뿐만 아니라 그 시트 상에 전극 패턴을 미리 형성해 둘 수도 있다. 이 경우에는 적층 지지 수단의 주위에 전극 형성 장치나 건조 장치를 형성할 필요가 없다.The film forming and supporting means includes a continuous carrier film and a guide roll for supporting the inner circumferential surface of the carrier film. The ceramic sheet is formed on the outer circumferential surface of the carrier film, and the guide roll and the peeling transfer roll sandwich the carrier film therebetween And the peripheral speed of the guide roll and the peripheral speed of the peeling transfer roll may be imparted with a speed difference which can be absorbed by the shearing deformation by the elastic body. In this case, since the ceramic sheet can be formed on the carrier film in advance, it is not necessary to arrange the film forming apparatus or the drying apparatus around the guide roll, and the apparatus can be simplified. Further, not only the ceramic sheet but also an electrode pattern may be previously formed on the carrier film. In this case, there is no need to form an electrode forming apparatus or a drying apparatus around the lamination supporting means.

적층 지지 수단으로서는 적층 롤이어도 좋고, 평판 형상의 적층 지지판이어도 좋다. 적층 롤을 사용한 경우에는 그 외주면에 세라믹 적층체를 연속적으로 형성할 수 있으므로 간헐적인 적층 방법에 비해서 품질 및 양산성이 향상되는 이점이 있다.The lamination support means may be a lamination roll or a laminated support plate in the form of a flat plate. In the case of using a lamination roll, since the ceramic laminate can be continuously formed on the outer peripheral surface thereof, there is an advantage that quality and mass productivity are improved as compared with an intermittent lamination method.

(발명의 효과)(Effects of the Invention)

이상과 같이, 본 발명에 의하면, 박리 전사 롤의 적어도 외주부를 탄성체로 구성하고, 성막 지지 수단과 박리 전사 롤의 접촉부 간에 소정의 속도차를 부여했으므로 세라믹 시트에 주름이나 파단을 발생시키지 않고 세라믹 시트를 성막 지지 수단으로부터 박리할 수 있고, 박리 전사 롤로부터 적층 지지 수단으로의 전사도 양호하게 행할 수 있다. 그 결과, 고품질의 세라믹 적층체를 얻을 수 있다.As described above, according to the present invention, since at least the outer peripheral portion of the peeling transfer roll is made of an elastic body and a predetermined speed difference is given between the contact portion of the film formation supporting means and the peeling transfer roll, Can be peeled off from the film forming and supporting means, and the transfer from the peeling transfer roll to the lamination supporting means can be performed well. As a result, a high-quality ceramic laminate can be obtained.

도 1은 본 발명에 의한 세라믹 적층체의 제조 장치의 제 1 실시예의 개략 정면도이다.
도 2는 도 1에 나타내는 제조 장치의 평면도이다.
도 3은 본 발명에 의한 세라믹 적층체의 제조 장치의 제 2 실시예의 개략 정면도이다.
도 4는 본 발명에 의한 세라믹 적층체의 제조 장치의 제 3 실시예의 부분 개략도이다.
도 5는 본 발명에 의한 세라믹 적층체의 제조 장치의 제 4 실시예의 부분 개략도이다.
도 6은 본 발명에 의한 세라믹 적층체의 제조 장치의 제 5 실시예의 부분 개략도이다.
1 is a schematic front view of a first embodiment of an apparatus for producing a ceramic laminate according to the present invention.
2 is a plan view of the manufacturing apparatus shown in Fig.
3 is a schematic front view of a second embodiment of an apparatus for producing a ceramic laminate according to the present invention.
4 is a partial schematic view of a third embodiment of the apparatus for producing a ceramic laminate according to the present invention.
5 is a partial schematic view of a fourth embodiment of the apparatus for producing a ceramic laminate according to the present invention.
6 is a partial schematic view of a fifth embodiment of the apparatus for producing a ceramic laminate according to the present invention.

이하에 본 발명에 의한 세라믹 적층체의 제조 장치의 복수의 실시예를 도면을 참조하면서 구체적으로 설명한다. 또한, 본 발명이 대상으로 하고 있는 세라믹 적층체에는 적층 세라믹 콘덴서나 적층 세라믹 인덕터 등의 적층형 전자 부품을 제조하기 위한 적층체 블록 등이 포함된다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A plurality of embodiments of an apparatus for producing a ceramic laminated body according to the present invention will be described in detail below with reference to the drawings. The ceramic laminate to which the present invention is applied includes a laminate block for producing a multilayer electronic device such as a multilayer ceramic capacitor or a multilayer ceramic inductor.

[제 1 실시예][First Embodiment]

도 1에 나타내는 제조 장치(10)는 성막 롤(12)과, 박리 전사 롤(14)과, 적층 롤(16)을 포함한다. 성막 롤(12)은 그 외주면에 세라믹 시트(S)를 형성하기 위한 금속 등의 강체 롤(원기둥 형상 또는 원통 형상)이며, 그 외주면에는, 예를 들면 불소계 수지 코팅 등의 이형 처리가 실시되어 있다.The production apparatus 10 shown in Fig. 1 includes a film formation roll 12, a peeling transfer roll 14, and a lamination roll 16. The film forming roll 12 is a rigid roll (cylindrical or cylindrical shape) such as a metal for forming the ceramic sheet S on the outer peripheral surface thereof, and the outer peripheral surface thereof is subjected to a releasing treatment such as a fluorine resin coating .

성막 롤(12)의 주위에는 성막 롤(12)의 외주면에 세라믹 시트(세라믹 그린시트)(S)의 재료로 이루어지는 세라믹 슬러리를 도포하기 위한 성막 장치(20)와, 성막 롤(12) 상의 세라믹 슬러리를 건조시키기 위한 건조 장치(21)가 배치되어 있다. 성막 장치(20)로서는, 예를 들면 다이 코터, 독터 블레이드, 롤 코터, 잉크젯형 코터 등을 적당히 사용할 수 있다. 성막 장치(20)로부터 성막 롤(12) 상에 연속적으로 세라믹 슬러리를 도포함으로써 박막(예를 들면, 두께가 10㎛ 이하)의 세라믹 시트(S)를 형성할 수 있다. 세라믹 슬러리는 세라믹 분말에 수지 성분을 첨가하고, 유기 용매(수계 용매라도 좋다)에서 용해 분산한 슬러리이다. 건조 장치(21)로서는 열풍에 의해 건조하는 방법, 성막 롤(12)의 외주면을 가열하는 방법, 진공 건조법 등이 채용되지만, 용매의 성질에 따라서 슬러리를 건조시키는 수단이면 임의로 선택 가능하다.A film forming apparatus 20 for applying a ceramic slurry made of a material of a ceramic sheet (ceramic green sheet) S to the outer circumferential surface of the film forming roll 12 is provided around the film forming roll 12, A drying device 21 for drying the slurry is disposed. As the film forming apparatus 20, for example, a die coater, a doctor blade, a roll coater, an ink jet coater, or the like can be suitably used. A ceramic sheet S having a thin film (for example, a thickness of 10 탆 or less) can be formed by continuously applying a ceramic slurry on the film forming roll 12 from the film forming apparatus 20. The ceramic slurry is a slurry prepared by adding a resin component to a ceramic powder and dissolving and dispersing it in an organic solvent (which may be an aqueous solvent). As the drying device 21, a method of drying by hot air, a method of heating the outer peripheral surface of the film formation roll 12, a vacuum drying method and the like are employed, but any means can be selected as long as it is a means for drying the slurry according to the properties of the solvent.

박리 전사 롤(14)은 금속 롤(14a)의 외주부 전체 둘레에 소정 두께의 탄성체(14b)를 고정한 롤이며, 그 직경[탄성체(14b)의 외경]은 성막 롤(12)의 직경보다 작다. 탄성체(14b)의 외주면(14b1)은 비점착성이며, 세라믹 시트(S)의 두께보다 작은 표면 거칠기(Ra)를 갖고 있다. 표면 거칠기(Ra)는 바람직하게는 0.03~3㎛가 바람직하다. 탄성체(14b)의 두께는 세라믹 시트(S)의 두께보다 크고, 예를 들면 30~100㎛가 바람직하다. 탄성체(14b)는, 예를 들면 경도가 20~80°(쇼어 경도: JIS K 6253:2006)의 탄성 재료로 형성되어 있는 것이 바람직하다. 박리 전사 롤(14)은 도시하지 않은 압력 부여 기구에 의해 성막 롤(12) 및 적층 롤(16)에 대하여 소정의 압력으로 압박되어 있다. 또한, 적층 롤(16) 상에 세라믹 시트(S)가 적층됨에 따라서 적층 롤(16)의 직경이 증대되므로 그에 따라 박리 전사 롤(14)의 위치나 압력을 조정할 수 있도록 구성하는 것이 바람직하다.The peeling transfer roll 14 is a roll in which an elastic body 14b of a predetermined thickness is fixed around the entire outer periphery of the metal roll 14a and its diameter (outer diameter of the elastic body 14b) is smaller than the diameter of the film roll 12. The outer peripheral surface 14b 1 of the elastic body 14b is non-tacky and has a surface roughness Ra smaller than the thickness of the ceramic sheet S. The surface roughness (Ra) is preferably 0.03 to 3 mu m. The thickness of the elastic body 14b is larger than the thickness of the ceramic sheet S, and is preferably 30 to 100 占 퐉, for example. The elastic body 14b is preferably formed of, for example, an elastic material having a hardness of 20 to 80 degrees (Shore hardness: JIS K 6253: 2006). The peeling transfer roll 14 is pressed against the film forming roll 12 and the lamination roll 16 at a predetermined pressure by a pressure applying mechanism (not shown). The diameter of the lamination roll 16 is increased as the ceramic sheet S is laminated on the lamination roll 16 so that the position and pressure of the peeling transfer roll 14 can be adjusted accordingly.

적층 롤(16)은 박리 전사 롤(14)로부터 박리된 세라믹 시트(S)를 권취하여 세라믹 적층체를 형성하는 롤이다. 적층 롤(16)의 직경은 박리 전사 롤(14)의 직경보다 크다. 적층 롤(16)은 회전축에 대하여 탈착 가능한 금속제의 원통 지그(16a)를 구비하고 있고, 그 원통 지그(16a)의 외주면 상에 세라믹 시트(S)를 권취할 수 있다. 적층 롤(16)에서 권취된 세라믹 시트(S)는 포개지는 시트층끼리가 압착되어서 서로 유지한다. 이 유지력은 박리 전사 롤(14)이 세라믹 시트(S)를 유지하는 힘보다 크게 설정되어 있기 때문에 세라믹 시트(S)는 박리 전사 롤(14)로부터 박리되어서 적층 롤(16)로 전사된다. 또한, 적층 롤(16)로서 흡입 롤이나 점착 롤을 사용해도 좋다.The lamination roll 16 is a roll for winding the ceramic sheet S peeled off from the peeling transfer roll 14 to form a ceramic laminate. The diameter of the lamination roll 16 is larger than the diameter of the peeling transfer roll 14. The lamination roll 16 is provided with a metallic cylindrical jig 16a detachable from the rotating shaft and the ceramic sheet S can be wound on the outer peripheral surface of the cylindrical jig 16a. The ceramic sheets S wound around the lamination roll 16 are squeezed and held together by the overlapping sheet layers. Since the holding force is set to be larger than the holding force of the peeling transfer roll 14 to hold the ceramic sheet S, the ceramic sheet S is peeled off from the peeling transfer roll 14 and transferred to the lamination roll 16. As the lamination roll 16, a suction roll or an adhesive roll may be used.

적층 롤(16)의 주위에는 적층 롤(16)의 표면에 권취된 세라믹 시트(S)에 전극 패턴을 형성하기 위한 전극 인쇄 장치(22)와, 전극 패턴을 건조시키기 위한 건조 장치(23)가 배치되어 있다. 전극 인쇄 장치(22)로서는, 예를 들면 그라비어 오프셋 인쇄기나 잉크젯 인쇄기와 같은 인쇄 장치를 사용할 수 있다. 건조 장치(23)로서는 건조 장치(21)와 같은 장치를 사용할 수 있다.An electrode printing apparatus 22 for forming an electrode pattern on the ceramic sheet S wound on the surface of the lamination roll 16 and a drying apparatus 23 for drying the electrode pattern are formed around the lamination roll 16 Respectively. As the electrode printing apparatus 22, for example, a printing apparatus such as a gravure offset printer or an inkjet printing apparatus can be used. As the drying device 23, a device such as the drying device 21 can be used.

적층 롤(16) 상에 세라믹 시트(S)를 소정 매수만 적층한 후, 적층 롤(16)의 권취를 정지하고, 세라믹 적층체를 원통 지그(16a)와 함께 회전축으로부터 떼어낸다. 그리고, 원통 형상인 채로 가압 프레스를 행하거나, 또는 원통 지그로부터 분리한 후 가압 프레스를 행하고, 다이서 커팅(dicer cutting)에 의해 세라믹 적층체를 소정의 크기로 컷팅한다. 그 후, 소성 공정, 외부 전극 형성 공정을 거쳐서 적층형 전자 부품을 완성한다.After a predetermined number of ceramic sheets S are stacked on the lamination roll 16, the winding of the lamination roll 16 is stopped and the ceramic laminate is removed from the rotation shaft together with the cylindrical jig 16a. Then, the ceramic laminate is cut into a predetermined size by dicer cutting, after performing a press-press while keeping the shape of a cylinder or separating from a cylindrical jig. Thereafter, the multilayer electronic component is completed through a firing step and an external electrode forming step.

도 2에 나타내는 바와 같이, 성막 롤(12), 박리 전사 롤(14), 및 적층 롤(16)은 각각 개별의 구동 장치(30, 31, 32)에 의해 화살표 방향으로 회전 구동된다. 구동 장치(30~32)에는 각각 회전 속도 센서(30a~32a)가 내장되어 있고, 각 롤의 회전 속도(롤의 둘레속도)를 검출하고, 원하는 회전 속도로 조정하는 것이 가능하다. 또한, 도 2에서는 성막 롤(12), 박리 전사 롤(14), 적층 롤(16)만을 나타내고, 다른 장치는 생략했다. 도 2에서는 모든 롤(12, 14, 16)이 개별의 구동 장치(30, 31, 32)를 구비하는 예를 나타냈지만, 공통의 구동 장치를 사용하고, 기어나 벨트 등의 전동 기구를 통해서 롤(12, 14, 16)을 소정의 회전 속도비로 동기 회전시키도록 해도 좋다.2, the film forming roll 12, the peeling transfer roll 14, and the lamination roll 16 are rotationally driven in the direction of the arrow by the respective driving devices 30, 31, and 32, respectively. The rotational speed sensors 30a to 32a are incorporated in the driving devices 30 to 32, respectively, and it is possible to detect the rotational speed (circumferential speed of the roll) of each roll and adjust the rotational speed to a desired rotational speed. In Fig. 2, only the film forming roll 12, the peeling transfer roll 14 and the laminating roll 16 are shown, and other devices are omitted. 2, all of the rolls 12, 14 and 16 are provided with the individual drive devices 30, 31 and 32, but a common drive device may be used, (12, 14, 16) may be synchronously rotated at a predetermined rotation speed ratio.

본 실시예에서는 세라믹 시트(S)를 성막 롤(12)로부터 박리 전사 롤(14)로 확실하게 전사하기 위해서 성막 롤(12)에 세라믹 시트(S)와의 접착력을 될 수 있는 한 낮게 하는 이형 처리를 실시함과 아울러 박리 전사 롤(14)의 외주부에 비점착성이며 또한 소정의 표면 거칠기(Ra)를 갖는 탄성체(14b)를 설치하고, 성막 롤(12)과 박리 전사 롤(14)의 접촉 위치에 탄성체(14b)의 전단 변형에 의해 흡수할 수 있는 속도차를 부여하도록 구동 장치(30, 31)의 속도를 조정하고 있다. 전단 변형이란 탄성체(14b)의 이동 방향의 탄성 변형, 즉 접선 방향의 탄성 변형을 가리킨다. 또한, 박리 전사 롤(14)과 적층 롤(16) 사이에 둘레속도 차가 없도록 구동 장치(31, 32)의 속도를 설정하고 있다.In this embodiment, in order to surely transfer the ceramic sheet S from the film formation roll 12 to the peeling transfer roll 14, the film formation roll 12 is subjected to a release process for lowering the adhesive force to the ceramic sheet S as low as possible And an elastic body 14b having a predetermined surface roughness Ra is provided on the outer peripheral portion of the peeling transfer roll 14 and the contact position between the film forming roll 12 and the peeling transfer roll 14 The speed of the drive devices 30 and 31 is adjusted so as to give a speed difference that can be absorbed by shearing deformation of the elastic body 14b. Shear deformation refers to elastic deformation in the moving direction of the elastic body 14b, that is, elastic deformation in the tangential direction. In addition, the speeds of the driving devices 31 and 32 are set so that there is no difference in peripheral speed between the peeling transfer roll 14 and the lamination roll 16.

예를 들면, 접촉 위치에 있는 성막 롤(12)의 둘레속도를 V1, 박리 전사 롤(14)의 둘레속도를 V2로 하고, 탄성체(14b)에 의한 전단 변형에 의해 흡수할 수 있는 최대 속도차를 α로 하면,For example, when the peripheral speed of the film forming roll 12 at the contact position is V1, the peripheral speed of the peeling transfer roll 14 is V2, and the maximum speed difference that can be absorbed by the shearing deformation by the elastic body 14b Is given as?,

V1≠V2이고, 또한 |V1-V2|≤αV1? V2, and | V1-V2 |??

가 되도록 설정되어 있다..

바람직하게는, α의 값은Preferably, the value of [alpha]

α=(0.01~0.03)×V1alpha = (0.01 to 0.03) x V1

로 하는 것이 좋다..

여기에서, 성막 롤(12)로부터 박리 전사 롤(14)로의 세라믹 시트(S)의 전사메커니즘에 대해서 설명한다. 성막 롤(12) 상에서 건조된 세라믹 시트(S)는 성막 롤(12)과 박리 전사 롤(14)의 접촉 위치로 운반되고, 여기에서 양쪽의 롤 사이에서 끼워진다. 성막 롤(12)의 둘레속도[세라믹 시트(S)의 반송 속도]와 박리 전사 롤(14)의 둘레속도가 다르므로 세라믹 시트(S)와 성막 롤(12)의 계면에 전단력이 작용하고, 전단 박리 모드로 세라믹 시트(S)는 성막 롤(12)로부터 박리된다. 성막 롤(12)과 박리 전사 롤(14)의 둘레속도 차는 탄성체(14b)의 전단 변형에 의해 흡수할 수 있는 속도차이기 때문에 세라믹 시트(S)에 주름이나 파단이 발생할 일이 없다. 또한, 본 실시예에서는 성막 롤(12) 상의 세라믹 시트(S)와 박리 전사 롤(14)이 접촉하는 부분에서 세라믹 시트(S)가 박리 전사 롤(14)의 탄성체(14b)의 표면의 요철을 따라 변형되므로 세라믹 시트(S)와의 접촉 면적이 증대한 상태로 박리 전사 롤(14)에 접착한다. 그 때문에, 단위면적당 세라믹 시트(S)와 탄성체(14b)의 접착력이 미소해도[탄성체(14b)가 점착성을 갖지 않아도] 박리 전사 롤(14) 상에 세라믹 시트(S)를 확실하게 유지할 수 있다.Here, the transfer mechanism of the ceramic sheet S from the film forming roll 12 to the peeling transfer roll 14 will be described. The ceramic sheet S dried on the film forming roll 12 is conveyed to the contact position of the film forming roll 12 and the peeling transfer roll 14, and sandwiched therebetween. Since the peripheral speed of the film forming roll 12 (conveying speed of the ceramic sheet S) and the peripheral speed of the peeling transfer roll 14 are different from each other, a shear force acts on the interface between the ceramic sheet S and the film forming roll 12, The ceramic sheet S is peeled from the film formation roll 12 in the shear peeling mode. The peripheral speed difference between the film forming roll 12 and the peeling transfer roll 14 does not cause wrinkles or breakage in the ceramic sheet S because of the speed difference that can be absorbed by the shearing deformation of the elastic body 14b. In this embodiment, in the portion where the ceramic sheet S on the film forming roll 12 and the peeling transfer roll 14 are in contact with each other, the ceramic sheet S is peeled off from the surface of the elastic body 14b of the peeling transfer roll 14 And is adhered to the peeling transfer roll 14 in a state in which the contact area with the ceramic sheet S is increased. Therefore, even if the adhesive force between the ceramic sheet S and the elastic body 14b per unit area is small (even if the elastic body 14b does not have adhesiveness), the ceramic sheet S can be reliably held on the peeling transfer roll 14 .

재차, 박리 전사 롤(14)로부터 세라믹 시트(S)를 박리해서 적층 롤(16)로 전사할 경우, 박리 전사 롤(14)과 적층 롤(16)이 함께 원통 형상이기 때문에 박리 모드는 면 박리가 아니고 선 박리이며, 게다가 박리 전사 롤(14)과 적층 롤(16)의 둘레속도 차가 0이 되도록 설정되어 있다. 탄성체(14b)는 점착성을 갖지 않으므로 단위면적당 세라믹 시트(S)와 탄성체(14b)의 접착력은 작고, 이에 비해서 적층 롤(16) 상에 적층된 세라믹 시트(S)와의 접착력은 충분히 크므로 세라믹 시트(S)를 박리 전사 롤(14)로부터 적층 롤(16)로 확실하게 전사할 수 있다. 적층 롤(16)로의 전사할 때, 세라믹 시트(S)끼리의 접착력을 높이기 위해서 적층 롤(16)의 외주면을 소정의 온도가 되도록 온도 조정해도 좋다.When the ceramic sheet S is peeled again from the peeling transfer roll 14 and transferred to the lamination roll 16 again, since the peeling transfer roll 14 and the lamination roll 16 are formed in a cylindrical shape together, , And the peripheral speed difference between the peeling transfer roll 14 and the lamination roll 16 is set to be zero. The adhesive force between the ceramic sheet S and the elastic body 14b per unit area is small because the elastic body 14b has no tackiness and the adhesive force between the ceramic sheet S and the elastic sheet 14b on the laminated roll 16 is sufficiently large, (S) can be reliably transferred from the peeling transfer roll 14 to the laminating roll 16. The temperature of the outer circumferential surface of the lamination roll 16 may be adjusted to a predetermined temperature in order to increase the adhesive force between the ceramic sheets S when transferring the laminated sheet to the lamination rolls 16. [

도 1의 구성에서 성막 롤(12)과 박리 전사 롤(14)의 둘레속도 차를 변화시켰을 때의 성막 롤(12)로부터의 세라믹 시트(S)의 박리 상태를 표 1에 기재한다. 단, 이하의 조건으로 실험했다.Table 1 shows the peeling state of the ceramic sheet S from the film formation roll 12 when the peripheral speed difference between the film formation roll 12 and the peeling transfer roll 14 is changed in the constitution of Fig. However, the experiment was conducted under the following conditions.

성막 롤: φ200mm의 금속 롤Film roll: ø 200 mm metal roll

박리 전사 롤: 표면에 탄성체를 부착한 φ150mm의 금속 롤Peeling transfer roll: a metal roll having a diameter of 150 mm and having an elastic body on its surface

탄성체의 표면 거칠기: Ra=1㎛Surface roughness of the elastic body: Ra = 1 탆

탄성체의 두께: 100㎛Thickness of elastic body: 100 탆

탄성체의 경도: 55°(쇼어 경도)Hardness of the elastic body: 55 [deg.] (Shore hardness)

Figure 112014061338695-pat00001
Figure 112014061338695-pat00001

성막 롤(12)보다 박리 전사 롤(14)의 둘레속도가 5% 느린 조건에서는 박리 전사 롤(14)에 전사된 세라믹 시트(S)에 주름이 발생했다. 성막 롤(12)보다 박리 전사 롤(14)의 둘레속도가 3% 느린 조건~3% 빠른 조건에서는 박리 전사 롤(14)에 전사한 세라믹 시트(S)의 외관 불량은 없었다. 성막 롤(12)보다 박리 전사 롤(14)의 둘레속도가 5% 빠른 조건에서는 세라믹 시트(S)가 수mm 피치로 롤 축 방향으로 파단되면서 박리 전사 롤(14)에 전사되었다.Wrinkles occurred in the ceramic sheet S transferred to the peeling transfer roll 14 under the condition that the peripheral speed of the peeling transfer roll 14 was slower than the film forming roll 12 by 5%. Under the condition that the peripheral speed of the peeling transfer roll 14 was 3% slower than that of the film forming roll 12 to 3%, there was no defect in appearance of the ceramic sheet S transferred to the peeling transfer roll 14. The ceramic sheet S was transferred to the peeling transfer roll 14 while being ruptured in the roll axis direction at a pitch of several mm in the condition that the peripheral speed of the peeling transfer roll 14 was 5% faster than the film forming roll 12.

표 1의 결과에 대해서 검토하면, 이하와 같다. 박리 전사 롤(14)의 회전 속도와 세라믹 시트(S)의 반송 속도를 어긋나게 함으로써 세라믹 시트(S)와 성막 롤(12)의 계면에 전단력이 가해져, 전단 박리 모드로 세라믹 시트(S)를 박리할 수 있었다. 박리 전사 롤(14)의 둘레속도가 지나치게 느리면, 성막 롤(12)과 박리 전사 롤(14)의 둘레속도 차를 박리 전사 롤(14) 표면의 탄성체(14b)에서 흡수할 수 없고, 공급 과다가 된 세라믹 시트(S)가 주름이 되어서 박리 전사 롤(14) 상에 나타났다. 박리 전사 롤(14)의 둘레속도가 지나치게 빠르면, 박리 전사 롤(14)의 전단 변형량이 세라믹 시트(S)의 파단 강도를 상회하고, 세라믹 시트(S)가 파단되었다. 이상의 점에서, 상술한 조건 하에서는 성막 롤(12)의 둘레속도(V1)와 박리 전사 롤(14)의 둘레속도(V2)의 차를 둘레속도(V1)의 1%~3%의 범위로 하는 것이 바람직하다.The results of Table 1 are as follows. Shear force is applied to the interface between the ceramic sheet S and the film forming roll 12 by shifting the rotational speed of the peeling transfer roll 14 and the conveying speed of the ceramic sheet S so that the ceramic sheet S is peeled off in the front- Could. The circumferential speed difference between the film forming roll 12 and the peeling transfer roll 14 can not be absorbed by the elastic body 14b on the surface of the peeling transfer roll 14, And the resulting ceramic sheet S was wrinkled and appeared on the peeling transfer roll 14. If the peripheral speed of the peeling transfer roll 14 is excessively fast, the amount of shear deformation of the peeling transfer roll 14 exceeds the breaking strength of the ceramic sheet S and the ceramic sheet S is broken. The difference between the peripheral speed V1 of the film forming roll 12 and the peripheral speed V2 of the peeling transfer roll 14 is set to be in the range of 1% to 3% of the peripheral speed V1 .

제 1 실시예의 제조 장치의 경우, 성막 롤(12)로부터 박리 전사 롤(14)로의 전사를 박리 전사 롤(14)의 외주에 형성한 탄성체(14b)와 양쪽 롤 간의 둘레속도 차에 의해 달성되므로 종래에서는 박리가 어려웠던 저강도의 세라믹 시트에서도 양호하게 박리·전사할 수 있다. 또한, 세라믹 시트(S)가 성막 롤(12)로부터 박리되고, 박리 전사 롤(14)을 거쳐 적층 롤(16)에 권취되어 세라믹 적층체가 형성되어 있을 때에 성막 롤(12)에는 새로운 세라믹 시트(S)가 계속해서 형성되기 때문에 성막 롤(12)에 있어서의 세라믹 시트(S)의 형성과, 적층 롤(16)에 있어서의 세라믹 적층체의 형성이 동시에 실행된다. 이에 의해, 성막 롤(12)의 회전 구동을 일단 정지할 일 없이 연속적으로 세라믹 시트(S)를 형성할 수 있고, 또한 적층 롤(16)의 회전 구동을 일단 정지할 일이 없이 연속적으로 세라믹 적층체를 제조할 수 있다. 이와 같이, 연속 운전에 의해 세라믹 적층체를 형성할 수 있기 때문에 간헐적인 성막 방법에 비해서 막 두께의 균일성이 양호해지고, 품질 및 양산성이 향상된다. 또한, 캐리어 필름을 사용하지 않고 성막, 적층할 수 있으므로 제조 비용을 저감할 수 있다.In the case of the production apparatus of the first embodiment, since the transfer from the film formation roll 12 to the peeling transfer roll 14 is achieved by the peripheral speed difference between the elastic body 14b formed on the outer periphery of the peeling transfer roll 14 and both rolls It is possible to satisfactorily peel and transfer even a low-strength ceramic sheet which has been conventionally difficult to peel off. When the ceramic sheet S is peeled from the film formation roll 12 and wound around the lamination roll 16 via the peeling transfer roll 14 to form a ceramic laminate, a new ceramic sheet S are continuously formed, the formation of the ceramic sheet S in the film formation roll 12 and the formation of the ceramic laminate in the lamination roll 16 are performed simultaneously. As a result, the ceramic sheet S can be continuously formed without stopping the rotation of the film-forming roll 12 once, and the continuous rotation of the lamination roll 16 can be stopped without stopping the ceramic- A sieve can be produced. As described above, since the ceramic laminate can be formed by continuous operation, the uniformity of the film thickness is better than that of the intermittent film forming method, and the quality and mass productivity are improved. In addition, since the film can be formed and laminated without using a carrier film, the manufacturing cost can be reduced.

또한, 제 1 실시예에서는 탄성체(14b)의 표면이 비점착성이며, 또한 그 표면에 세라믹 시트(S)의 두께보다 작은 표면 거칠기(Ra)를 갖는 예에 대해서 설명했지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 탄성체(14b)의 세라믹 시트(S)에 대한 점착력을 성막 롤(12)의 세라믹 시트(S)에 대한 점착력과 동등하거나 또는 그보다 작은 점착력으로 해도 좋다.In the first embodiment, the surface of the elastic body 14b is non-tacky and the surface thereof has a surface roughness Ra smaller than the thickness of the ceramic sheet S. However, the present invention is not limited thereto. For example, the adhesive force of the elastic body 14b to the ceramic sheet S may be equal to or smaller than the adhesive force of the film forming roll 12 to the ceramic sheet S.

[제 2 실시예][Second Embodiment]

도 3은 본 발명의 제 2 실시예에 의한 제조 장치를 나타낸다. 또한, 제 1 실시예와 동일하거나 또는 공통되는 기능을 갖는 부분에는 동일 부호를 붙여서 중복 설명을 생략한다.Fig. 3 shows a manufacturing apparatus according to a second embodiment of the present invention. Parts having the same or common functions as those of the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and redundant description will be omitted.

제 2 실시예에서는 성막 지지 수단을 연속 형상의 캐리어 필름(F)과, 이 캐리어 필름(F)의 내주면을 지지하는 가이드 롤(40)로 구성하고, 캐리어 필름(F)을 사이에 두고 가이드 롤(40)과 박리 전사 롤(14)을 압접시킨 것이다. 캐리어 필름(F)의 외주면에는 이형 처리가 실시되고, 그 외주면에는 세라믹 시트(그린시트)(S) 및 그 위에 전극 패턴(도시하지 않음)이 미리 형성되어 있다. 캐리어 필름(F) 상으로의 세라믹 시트(S)의 형성, 및 전극 패턴의 형성은 공지와 같이 세라믹 슬러리를 도포, 건조시킨 후, 그 세라믹 시트 상에 전극 패턴을 인쇄, 건조시킴으로써 형성할 수 있다.In the second embodiment, the film-forming and supporting means is constituted by a continuous carrier film F and a guide roll 40 for supporting the inner circumferential surface of the carrier film F, (40) and the peeling transfer roll (14). On the outer peripheral surface of the carrier film F, a release process is performed, and on the outer peripheral surface thereof, a ceramic sheet (green sheet) S and an electrode pattern (not shown) are formed thereon in advance. The formation of the ceramic sheet S on the carrier film (F) and the formation of the electrode pattern can be carried out by coating and drying a ceramic slurry as is well known in the art, printing an electrode pattern on the ceramic sheet, and drying .

세라믹 시트(S) 및 전극 패턴을 형성한 캐리어 필름(F)은 공급 롤(41)로부터 연속적으로 공급되고, 이 캐리어 필름(F)이 가이드 롤(40)과 박리 전사 롤(14) 사이를 통과함으로써 캐리어 필름(F)으로부터 전극 패턴을 갖는 세라믹 시트(S)가 박리되어 캐리어 필름(F)만이 권취 롤(42)에 권취된다.The carrier film F on which the ceramic sheet S and the electrode pattern are formed is continuously supplied from the supply roll 41 and the carrier film F passes between the guide roll 40 and the peeling transfer roll 14 The ceramic sheet S having the electrode pattern is peeled off from the carrier film F so that only the carrier film F is wound around the winding roll 42. [

가이드 롤(40)로서는 캐리어 필름(F)과의 사이에서 상대적인 어긋남이 발생하지 않도록 흡입 롤이나 점착 롤 등의 공지의 롤을 사용해도 좋다. 박리 전사 롤(14)의 구성은 제 1 실시예와 동일하다. 적층 롤(16)의 주위에는 전극 인쇄 장치(22)나 건조 장치(23)는 설치되어 있지 않다.As the guide roll 40, a well-known roll such as a suction roll or an adhesive roll may be used so that relative displacement does not occur between the guide roll 40 and the carrier film F. The configuration of the peeling transfer roll 14 is the same as that of the first embodiment. The electrode printing apparatus 22 and the drying apparatus 23 are not provided around the lamination roll 16.

또한, 상술한 바와 같이 캐리어 필름(F) 상에 세라믹 시트(S)와 전극 패턴이 형성된 상태로 공급되어도 좋지만, 캐리어 필름(F) 상에 세라믹 시트(S)만을 형성해 두어도 좋다. 이 경우에는 제 1 실시예와 마찬가지로 적층 롤(16) 상에 세라믹 시트(S)를 적층한 후에 전극 패턴을 형성해도 좋다.The ceramic sheet S and the electrode pattern may be supplied on the carrier film F as described above. Alternatively, only the ceramic sheet S may be formed on the carrier film F. In this case, the electrode pattern may be formed after the ceramic sheet S is laminated on the lamination roll 16 as in the first embodiment.

가이드 롤(40)의 둘레속도와 박리 전사 롤(14)의 둘레속도 간에 박리 전사 롤(14)의 외주부에 설치한 탄성체(14b)의 전단 변형에 의해 흡수 가능한 속도차를 부여하고 있다. 세라믹 시트(S)를 형성한 캐리어 필름(F)이 가이드 롤(40)과 박리 전사 롤(14)의 접촉 위치로 반송되었을 때, 캐리어 필름(F)은 가이드 롤(40)과 일체로 이동하므로 가이드 롤(40)과 박리 전사 롤(14)의 둘레속도 차에 의해 세라믹 시트(S)와 캐리어 필름(F)의 계면에 전단력이 작용한다. 세라믹 시트(S)와 박리 전사 롤(14)이 접촉하는 부분에서는 세라믹 시트(S)가 탄성체(14b)의 표면의 요철을 따라 변형되므로 세라믹 시트(S)와의 접촉 면적이 증대한 상태로 박리 전사 롤(14)에 접착한다. 그 때문에, 전단 박리 모드로 세라믹 시트(S)는 캐리어 필름(F)으로부터 박리되어 박리 전사 롤(14) 상에 세라믹 시트(S)를 확실하게 유지할 수 있다. 가이드 롤(40)과 박리 전사 롤(14)의 둘레속도 차는 탄성체(14b)의 전단 변형에 의해 흡수할 수 있는 속도차이기 때문에 세라믹 시트(S)에 주름이나 파단이 발생할 일이 없다.Between the peripheral speed of the guide roll 40 and the peripheral speed of the peeling transfer roll 14 is given a speed difference capable of being absorbed by the shearing deformation of the elastic body 14b provided on the outer peripheral portion of the peeling transfer roll 14. [ The carrier film F moves integrally with the guide roll 40 when the carrier film F on which the ceramic sheet S is formed is transported to the contact position between the guide roll 40 and the peeling transfer roll 14 A shearing force acts on the interface between the ceramic sheet S and the carrier film F by the peripheral speed difference between the guide roll 40 and the peeling transfer roll 14. [ The ceramic sheet S is deformed along the irregularities of the surface of the elastic body 14b at the portion where the ceramic sheet S and the peeling transfer roll 14 are in contact with each other so that the contact area with the ceramic sheet S is increased, To the roll (14). Therefore, in the shear peeling mode, the ceramic sheet S can be peeled off from the carrier film F to reliably hold the ceramic sheet S on the peeling transfer roll 14. The peripheral speed difference between the guide roll 40 and the peeling transfer roll 14 does not cause wrinkles or breakage of the ceramic sheet S because of the speed difference that can be absorbed by the shearing deformation of the elastic body 14b.

박리 전사 롤에 탄성체를 사용한 제 2 실시예의 구성과, 박리 전사 롤에 강체 흡인 기구(흡입 롤)를 사용한 구성을 비교하고, 가이드 롤 상의 캐리어 필름으로부터의 박리가 가능한 세라믹 그린시트의 두께를 조사했다. 실험 결과를 표 2에 기재한다.The configuration of the second embodiment using the elastic body in the peeling transfer roll and the configuration using the rigid suction mechanism (suction roll) with the peeling transfer roll were compared and the thickness of the ceramic green sheet capable of peeling from the carrier film on the guide roll was examined . The experimental results are shown in Table 2.

Figure 112014061338695-pat00002
Figure 112014061338695-pat00002

표 2의 결과로부터 박리 전사 롤에 흡인 기구보다 탄성체를 형성한 쪽이 보다 얇은 세라믹 시트를 박리할 수 있는 것을 알 수 있다. 그 이유는 이하와 같은 것으로 생각된다. 박리 전사 롤이 흡인 기구를 가질 경우, 흡인 구멍 사이의 세라믹 그린시트는 일절 유지되어 있지 않다. 세라믹 그린시트의 강도가 캐리어 필름으로부터의 박리 강도보다 작으면 흡인 구멍 사이의 세라믹 그린시트는 변형되고, 세라믹 그린시트의 파단 신장을 초과하면 파단된다. 한편, 박리 전사 롤의 표면에 탄성체를 형성했을 경우, 세라믹 그린시트 전체가 탄성체에 접하고 있어 세라믹 그린시트의 일부가 크게 변형할 일은 없다. 따라서, 두께가 얇은 세라믹 그린시트가 박리 중에 파단될 일이 없이 캐리어 필름으로부터 박리할 수 있다. 또한, 본 실시예와 마찬가지로 박리 전사 롤(14)에 의해 캐리어 필름(F)으로부터 세라믹 시트(S)를 연속적으로 박리하면 캐리어 필름(F)에 컷팅 흔적 등의 상처가 없기 때문에 차회의 세라믹 적층체의 제조 공정 등에 캐리어 필름(F)을 재이용하는 것이 가능해진다.From the results shown in Table 2, it can be seen that a thinner ceramic sheet can be peeled off when an elastic body is formed on the peeling transfer roll rather than the suction mechanism. The reason is considered as follows. When the peeling transfer roll has the suction mechanism, no ceramic green sheets are held between the suction holes. When the strength of the ceramic green sheet is smaller than the peel strength from the carrier film, the ceramic green sheet between the suction holes is deformed, and if the strength exceeds the peel strength of the ceramic green sheet, the ceramic green sheet is broken. On the other hand, when an elastic body is formed on the surface of the peeling transfer roll, the entire ceramic green sheet is in contact with the elastic body, so that a part of the ceramic green sheet is not greatly deformed. Therefore, the thin ceramic green sheet can be peeled off from the carrier film without being broken during peeling. When the ceramic sheet S is continuously peeled off from the carrier film F by the peeling transfer roll 14 as in the present embodiment, there is no cut marks or the like on the carrier film F. Therefore, The carrier film F can be reused in the manufacturing process of the carrier film F.

[제 3 실시예][Third Embodiment]

도 4는 본 발명의 제 3 실시예에 의한 제조 장치를 나타낸다. 또한, 제 2 실시예와 동일하거나 또는 공통되는 기능을 갖는 부분에는 동일 부호를 붙여서 중복 설명을 생략한다.4 shows a manufacturing apparatus according to a third embodiment of the present invention. Portions having the same or common functions as those of the second embodiment are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.

제 3 실시예에서는 성막 지지 수단을 제 2 실시예와 마찬가지로 캐리어 필름(F)과, 이 캐리어 필름(F)을 지지하는 가이드 롤(40)로 구성함과 아울러 적층 지지 수단을 평판 형상의 적층 지지판(50)으로 구성한 것이다. 적층 지지판(50)은 박리 전사 롤(14)의 접촉 위치에 있어서의 속도가 동일해지도록 도시하지 않는 구동 장치에 의해 직진 구동된다.In the third embodiment, the film-forming and holding means is constituted by the carrier film F and the guide roll 40 for supporting the carrier film F as in the second embodiment, and the lamination support means is constituted by the plate- (50). The laminated support plate 50 is linearly driven by a driving device (not shown) so that the speed at the contact position of the peeling transfer roll 14 becomes the same.

이 실시예에서는 제 2 실시예의 작동에 추가하여 박리 전사 롤(14)로부터 적층 지지판(50)으로 세라믹 시트(S)의 전사가 행해진다. 박리 전사 롤(14)과 세라믹 시트(S)의 단위면적당 유지력에 비해서 적층 지지판(50) 상의 세라믹 시트(S)끼리의 단위면적당 접착력 쪽이 크므로 세라믹 시트(S)는 주름이나 파단을 일으킬 일이 없이 적층 지지판(50)으로 원활하게 전사된다. 적층 지지판(50) 상에 적층된 세라믹 적층체는 가압 프레스한 후, 소정의 크기로 컷팅되고, 소성 공정, 외부 전극 형성 공정을 거쳐서 적층형 전자 부품이 완성된다.In this embodiment, in addition to the operation of the second embodiment, the ceramic sheet S is transferred from the peeling transfer roll 14 to the laminated support plate 50. [ The adhesive force per unit area of the ceramic sheets S on the laminated support plate 50 is larger than the holding force per unit area of the peeling transfer roll 14 and the ceramic sheet S so that the ceramic sheet S can be wrinkled or broken So that it is smoothly transferred to the laminated support plate 50. The ceramic laminated body stacked on the laminated support plate 50 is pressed into a predetermined size and then subjected to a firing step and an external electrode forming step to complete the multilayer electronic component.

이 실시예에서는 세라믹 시트(S)를 적층 지지판(50)에 1회 적층한 후, 적층 지지판(50)을 원래의 위치로 되돌리기 위해서 가이드 롤(40) 및 박리 전사 롤(14)을 간헐적으로 정지시켜 적층 지지판(50)과 박리 전사 롤(14)의 접촉 상태를 해제할 필요가 있다.In this embodiment, after the ceramic sheet S is once stacked on the laminated support plate 50, the guide roll 40 and the peeling transfer roll 14 are intermittently stopped to return the laminated support plate 50 to its original position It is necessary to release the contact state between the laminated support plate 50 and the peeling transfer roll 14.

[제 4 실시예][Fourth Embodiment]

도 5는 본 발명의 제 4 실시예에 의한 제조 장치를 나타낸다. 또한, 제 2 실시예와 동일하거나 또는 공통되는 기능을 갖는 부분에는 동일 부호를 붙여서 중복 설명을 생략한다.Fig. 5 shows a manufacturing apparatus according to a fourth embodiment of the present invention. Portions having the same or common functions as those of the second embodiment are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.

제 4 실시예에서는 성막 지지 수단을 제 2 실시예와 마찬가지로 캐리어 필름(F)과, 이 캐리어 필름(F)을 지지하는 가이드 롤(40)로 구성하고, 적층 지지 수단을 평판 형상의 적층 지지판(50)으로 구성함과 아울러 박리 전사 롤(60)을 비원형 단면 형상으로 하고 있다. 여기에서는, 박리 전사 롤(60)의 단면 형상은, 예를 들면 원통형 롤의 외주의 일부가 컷팅된 반월 형상으로 되어 있다. 박리 전사 롤(60)의 원통 형상 외주면에는 탄성체(61)가 고정되어 있다. 이 탄성체(61)도 제 1 실시예와 마찬가지로 표면이 비점착성이며, 또한 소정의 표면 거칠기(Ra)를 갖는 것이 좋다. 이 실시예의 경우도 적층 지지판(50)은 박리 전사 롤(60)과의 접촉부에 있어서의 속도가 동일해지도록 직진 구동된다.In the fourth embodiment, the film-forming and holding means is constituted by a carrier film F and a guide roll 40 for supporting the carrier film F as in the second embodiment, and the lamination support means is constituted by a laminate support plate 50, and the peeling transfer roll 60 has a non-circular cross-sectional shape. Here, the cross-sectional shape of the peeling transfer roll 60 is, for example, a half-moon shape in which a part of the outer periphery of the cylindrical roll is cut. An elastic body 61 is fixed to the cylindrical outer circumferential surface of the peeling transfer roll 60. As in the first embodiment, the elastic body 61 is also preferably non-sticky on the surface and has a predetermined surface roughness (Ra). In this embodiment also, the laminated support plate 50 is linearly driven so that the speed at the contact portion with the peeling transfer roll 60 becomes the same.

박리 전사 롤(60)의 둘레 길이(결손부를 제외한다)와 적층 지지판(50)의 길이를 거의 동등하게 해 둠으로써 적층 지지판(50)의 길이만큼 세라믹 시트(S)를 적층한 후, 박리 전사 롤(60)의 결손부가 적층 지지판(50)과 대응하여 박리 전사 롤(60)과 적층 지지판(50)이 일시적으로 비접촉 상태가 되기 때문에 그 동안에 적층 지지판(50)을 원래의 위치로 되돌릴 수 있다. 이 경우에는 가이드 롤(40)과 박리 전사 롤(60)을 연속 회전시키는 것이 가능해진다.The ceramic sheet S is laminated by the length of the laminated support plate 50 by making the circumferential length of the peeling transfer roll 60 (excluding the defective portion) and the length of the laminated support plate 50 substantially equal to each other, The peeling transfer roll 60 and the laminated support plate 50 are temporarily brought into a noncontact state corresponding to the defective portion of the roll 60 corresponding to the laminated support plate 50 so that the laminated support plate 50 can be returned to its original position . In this case, the guide roll 40 and the peeling transfer roll 60 can be continuously rotated.

[제 5 실시예][Fifth Embodiment]

도 6은 본 발명의 제 5 실시예에 의한 제조 장치를 나타낸다. 또한, 제 2 실시예와 동일하거나 또는 공통되는 기능을 갖는 부분에는 동일 부호를 붙여서 중복 설명을 생략한다.6 shows a manufacturing apparatus according to a fifth embodiment of the present invention. Portions having the same or common functions as those of the second embodiment are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.

제 5 실시예에서는 성막 지지 수단을 제 2 실시예와 마찬가지로 캐리어 필름(F)과, 이 캐리어 필름(F)을 지지하는 가이드 롤(40)로 구성하고, 적층 지지 수단을 흡입 롤(51)과 평판 형상의 적층 지지판(50)으로 구성하고 있다. 박리 전사 롤(14)은 외주에 탄성체(14b)를 갖는 단면 원형 롤이다.In the fifth embodiment, the film forming and holding means is constituted by a carrier film F and a guide roll 40 for supporting the carrier film F as in the second embodiment, and the lamination supporting means is constituted by a suction roll 51, And a laminated support plate 50 in the form of a flat plate. The peeling transfer roll 14 is an endless circular roll having an elastic body 14b on the outer periphery.

이 실시예에서는 세라믹 시트(S)를 갖는 캐리어 필름(F)이 간헐적으로 공급되고, 박리 전사 롤(14)에 세라믹 시트(S)를 전사한 후, 재차 표면에 흡인 기구를 갖는 흡입 롤(51)에 세라믹 시트(S)를 전사하고, 또한 적층 지지판(50)에 세라믹 시트(S)를 전사하여 적층한다. 적층 후의 적층 지지판(50)은 재차 적층 전의 위치로 되돌리고, 다음 층의 적층을 행한다.In this embodiment, the carrier film F having the ceramic sheet S is intermittently supplied, and after the ceramic sheet S is transferred to the peeling transfer roll 14, the suction roll 51 And then the ceramic sheet S is transferred to the laminated support plate 50 to be laminated. The laminated support plate 50 after lamination is returned to the position before lamination again, and lamination of the next layer is performed.

제 1~3 실시예에 있어서, 박리 전사 롤(14)로부터 적층 롤(16) 또는 적층 지지판(50)에 세라믹 시트(S)를 전사할 경우, 세라믹 시트(S)와 박리 전사 롤(14)의 탄성체(14b)의 접착력이 세라믹 적층체와 세라믹 시트(S)의 접착력을 저하시키는 방향으로 작용한다. 그 때문에, 박리 전사 롤(14)과 적층 롤(16) 또는 적층 지지판(50)의 면압을 높게 할 필요가 생긴다. 흡입 롤(51)을 사용할 경우에는 적층 지지판(50)으로의 전사 부분에 있어서 흡입 롤(51)의 흡인압을 억제(또는 반대로 가압한다)할 수 있으므로 세라믹 적층체와 세라믹 시트(S)의 접착력의 저하를 없앤다. 그 때문에, 낮은 면압으로 세라믹 시트(S)를 적층할 수 있다. 낮은 면압으로 적층할 수 있는 쪽이 적층 중의 세라믹 적층체의 변형을 억제할 수 있는 이점이 있다.When the ceramic sheet S is transferred from the peeling transfer roll 14 to the lamination roll 16 or the lamination support plate 50 in the first to third embodiments, The adhesive strength of the elastic body 14b of the ceramic laminate and the ceramic sheet S acts in a direction to lower the adhesive force between the ceramic laminate and the ceramic sheet S. Therefore, it is necessary to increase the surface pressure of the peeling transfer roll 14 and the lamination roll 16 or the lamination support plate 50. When the suction roll 51 is used, the suction pressure of the suction roll 51 can be suppressed (or vice versa) in the transfer portion to the laminated support plate 50, so that the adhesion of the ceramic laminate and the ceramic sheet S . Therefore, the ceramic sheet S can be laminated with a low surface pressure. It is advantageous in that deformation of the ceramic laminate during the lamination can be suppressed when the laminate can be laminated with a low surface pressure.

본 발명은 상기와 같은 실시예에 한정되는 것이 아니다. 제 1~제 5 실시예에 있어서의 일부의 요소를 별도의 실시예의 요소로 치환함으로써 새로운 실시예를 구성할 수도 있다. 예를 들면, 제 3, 제 4 실시예(도 4, 도 5)에서는 캐리어 필름(F)을 사용한 성막 지지 수단과 평판 형상의 적층 지지판(50)을 조합시켰지만, 제 1 실시예와 같은 성막 롤(12)과 평판 형상의 적층 지지판(50)을 조합시켜서 사용해도 좋다.The present invention is not limited to the above-described embodiments. A new embodiment may be constructed by replacing some elements in the first to fifth embodiments with elements in another embodiment. For example, in the third and fourth embodiments (Figs. 4 and 5), the film deposition supporting means using the carrier film F and the laminated support plate 50 in the flat plate shape are combined, (12) and the plate-like laminated support plate (50) may be used in combination.

S: 세라믹 시트(세라믹 그린시트) F: 캐리어 필름
10: 제조 장치 12: 성막 롤(성막 지지 수단)
14: 박리 전사 롤 14b: 탄성체
16: 적층 롤(적층 지지 수단) 20: 성막 장치
21: 건조 장치 22: 전극 인쇄 장치
23: 건조 장치 30, 31, 32: 구동 장치
40: 가이드 롤 50: 적층 지지판
S: Ceramic sheet (ceramic green sheet) F: Carrier film
10: manufacturing apparatus 12: film forming roll (film forming supporting means)
14: Peeling transfer roll 14b: Elastic body
16: lamination roll (lamination support means) 20: film forming apparatus
21: drying device 22: electrode printing device
23: drying device 30, 31, 32: driving device
40: guide roll 50: laminated support plate

Claims (6)

표면 상에 세라믹 시트가 형성된 성막 지지 수단과,
상기 세라믹 시트를 사이에 두고 상기 성막 지지 수단과 접촉하고, 상기 세라믹 시트를 성막 지지 수단으로부터 박리하는 박리 전사 롤과,
상기 세라믹 시트를 사이에 두고 상기 박리 전사 롤과 접촉하고, 상기 박리 전사 롤로 전사시킨 세라믹 시트를 상기 박리 전사 롤로부터 박리함과 아울러 박리한 세라믹 시트를 적층함으로써 상기 세라믹 시트의 적층체를 얻는 적층 지지 수단을 구비하는 세라믹 적층체의 제조 장치에 있어서,
상기 박리 전사 롤의 적어도 외주부를 탄성체로 구성하고, 상기 탄성체는 상기 세라믹 시트에 대한 접착력이 상기 성막 지지 수단보다 크지 않고,
상기 성막 지지 수단과 상기 박리 전사 롤의 접촉 위치에서, 상기 성막 지지 수단과 상기 박리 전사롤 사이에, 상기 탄성체에 의한 전단 변형에 의해 흡수할 수 있는 속도차를 부여한 것을 특징으로 하는 세라믹 적층체의 제조 장치.
Film-forming and holding means having a ceramic sheet formed on its surface,
A peeling transfer roll which is in contact with the film forming and supporting means via the ceramic sheet and separates the ceramic sheet from the film forming and supporting means,
A ceramic sheet in contact with the peeling transfer roll with the ceramic sheet interposed therebetween and peeling the ceramic sheet transferred from the peeling transfer roll from the peeling transfer roll and laminating the peeled ceramic sheet to obtain a laminated body of the ceramic sheet; In the apparatus for producing a ceramic laminated body provided with means,
Wherein at least an outer peripheral portion of the peeling transfer roll is formed of an elastic body, the elastic force of the elastic body is not greater than that of the film supporting means,
Wherein a speed difference capable of being absorbed by shearing deformation by said elastic body is imparted between said film forming and supporting means and said peeling transfer roll at a contact position of said film forming and supporting means and said peeling transfer roll, Manufacturing apparatus.
제 1 항에 있어서,
상기 탄성체는 그 표면이 비점착성이고, 또한 상기 세라믹 시트의 두께보다 작은 표면 거칠기(Ra)를 갖는 것을 특징으로 하는 세라믹 적층체의 제조 장치.
The method according to claim 1,
Characterized in that the surface of the elastic body is non-tacky and has a surface roughness (Ra) smaller than the thickness of the ceramic sheet.
제 1 항에 있어서,
상기 성막 지지 수단과 상기 박리 전사 롤의 접촉 위치에 있어서의 속도차를 상기 성막 지지 수단의 접촉 위치에 있어서의 속도에 대하여 1~3%의 범위로 한 것을 특징으로 하는 세라믹 적층체의 제조 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the speed difference at the contact position of the film forming and supporting means and the peeling transfer roll is set in a range of 1 to 3% with respect to the speed at the contact position of the film forming and supporting means.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 성막 지지 수단은 그 외주면 상에 성막 장치에 의해 세라믹 슬러리가 직접 도포되고, 또한 상기 세라믹 슬러리가 건조되어서 세라믹 시트가 형성되는 성막 롤을 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 적층체의 제조 장치.
4. The method according to any one of claims 1 to 3,
Wherein the film forming and supporting means includes a film forming roll on which a ceramic slurry is directly applied on the outer peripheral surface thereof by a film forming apparatus and the ceramic slurry is dried to form a ceramic sheet.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 성막 지지 수단은 연속 형상의 캐리어 필름과, 이 캐리어 필름의 내주면을 지지하는 가이드 롤을 포함하고, 상기 세라믹 시트는 상기 캐리어 필름의 외주면 상에 형성되고, 상기 가이드 롤과 상기 박리 전사 롤이 상기 캐리어 필름을 사이에 두고 접촉하고, 상기 가이드 롤의 둘레속도와 상기 박리 전사 롤의 둘레속도로 상기 탄성체에 의한 전단 변형에 의해 흡수할 수 있는 속도차를 부여한 것을 특징으로 하는 세라믹 적층체의 제조 장치.
4. The method according to any one of claims 1 to 3,
Wherein the film forming and supporting means includes a continuous carrier film and a guide roll for supporting an inner circumferential surface of the carrier film, wherein the ceramic sheet is formed on an outer circumferential surface of the carrier film, And a speed difference capable of being absorbed by the shearing deformation by the elastic body is imparted to the circumferential speed of the guide roll and the peripheral speed of the peeling transfer roll, .
성막 지지 수단의 표면에 세라믹 시트를 형성하는 성막 형성 공정과,
상기 성막 지지 수단에 대하여 상기 세라믹 시트를 통해서 박리 전사 롤을 접촉시킴으로써 상기 세라믹 시트를 상기 성막 지지 수단으로부터 박리하고, 박리한 상기 세라믹 시트를 박리 전사 롤의 외주로 전사하는 박리 전사 공정과,
상기 박리 전사 롤에 대하여 상기 세라믹 시트를 통해서 적층 지지 수단을 접촉시킴으로써 상기 세라믹 시트를 상기 박리 전사 롤로부터 박리하고, 박리한 상기 세라믹 시트를 상기 적층 지지 수단 상에 적층함으로써 세라믹 적층체를 형성하는 적층체 형성 공정을 포함하는 세라믹 적층체의 제조 방법에 있어서,
상기 박리 전사 롤의 적어도 외주부를 탄성체로 구성하고, 상기 탄성체는 상기 세라믹 시트에 대한 접착력이 상기 성막 지지 수단보다 크지 않고,
상기 성막 지지 수단과 상기 박리 전사 롤의 접촉 위치에서, 상기 성막 지지 수단과 상기 박리 전사롤 사이에, 상기 탄성체에 의한 전단 변형에 의해 흡수할 수 있는 속도차를 부여한 것을 특징으로 하는 세라믹 적층체의 제조 방법.
A film forming step of forming a ceramic sheet on the surface of the film-
A peeling transfer step of peeling the ceramic sheet from the film forming and supporting means by bringing the peeling transfer roll into contact with the film forming and supporting means through the ceramic sheet and transferring the peeled ceramic sheet to the outer periphery of the peeling transfer roll,
A peeling transfer roll, peeling the ceramic sheet from the peeling transfer roll by bringing the lamination support means into contact with the peeling transfer roll through the ceramic sheet, and laminating the peeled ceramic sheet on the lamination support means to form a ceramic laminate A method of manufacturing a ceramic laminate including a body forming step,
Wherein at least an outer peripheral portion of the peeling transfer roll is formed of an elastic body, the elastic force of the elastic body is not greater than that of the film supporting means,
Wherein a speed difference capable of being absorbed by shearing deformation by said elastic body is imparted between said film forming and supporting means and said peeling transfer roll at a contact position of said film forming and supporting means and said peeling transfer roll, Gt;
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