KR101454686B1 - 에너지 변환 장치 및 방법 - Google Patents
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Abstract
인가된 신호의 에너지를 전기 에너지로 변환할 수 있는 에너지 변환 장치 및 방법이 개시된다. 상기 에너지 변환 장치는 인가된 신호에 의해 공진하는 나노와이어를 포함할 수 있다. 나노와이어는 공진하여 전극에 접촉할 수 있으며, 전극과 나노와이어 사이의 쇼트키 접합(Schottky contact)에 의해 전극 및 나노와이어에 전류가 흐를 수 있다. 또한 상기 에너지 변환 방법은, 나노와이어에 신호를 인가하여 나노와이어를 공진시키고, 공진하는 나노와이어와 전극의 접촉에 의해 전류를 생성하도록 구성될 수 있다.
나노와이어, 압전, 쇼트키, 에너지 변환, 공진
Description
본 발명은 에너지 변환 장치 및 방법에 관한 것으로, 상세하게는 전자기파 등의 신호에 의하여 전달된 에너지를 전기 에너지로 변환할 수 있는 에너지 변환 장치 및 방법에 관한 것이다.
최근 소자가 소형화되고 고성능화됨에 따라, 나노스케일의 소자들이 출현하였다. 또한, 이러한 나노스케일의 소자들을 제조하기 위해 나노와이어(nanowire)의 형성기술이 개발되었다. 나노와이어란 단면의 지름이 약 수 nm에서 약 수십 nm 정도인 극미세선이다. 또한, 나노와이어의 길이는 지름의 약 수십 배에서 약 수천 배 이상으로 성장될 수 있다.
이러한 나노와이어는 기존의 벌크 구조에서 나타나는 일반적인 성질과 달리 다양한 전기적, 화학적, 물리적 및 광학적 특성을 나타낸다. 이러한 특성들을 이용하여 더욱 세밀하고 집적된 소자들을 구현할 수 있다. 나노와이어는 레이저, 트랜지스터, 메모리 또는 센서 등 다양한 분야에 이용될 수 있다.
본 발명의 일 실시예는, 전자기파 등의 신호에 의하여 전달된 에너지를 나노와이어와 금속 사이의 쇼트키 접합(Schottky contact)을 이용하여 전기 에너지로 변환할 수 있는 에너지 변환 장치 및 방법을 제공할 수 있다.
본 발명의 일 실시예는 에너지 변환 장치를 제공한다. 상기 에너지 변환 장치는 서로 이격된 제1 전극 및 제2 전극; 및 상기 제1 전극상에 형성되며, 압전 물질로 이루어지고, 인가된 신호에 의해 공진하여 상기 제2 전극과 접촉하는 나노와이어를 포함할 수 있다.
상기 제2 전극은 요철부를 포함할 수 있다. 이때 나노와이어는 상기 제2 전극의 상기 요철부 중 오목한 부분에 인접하여 위치할 수 있다.
또한, 상기 에너지 변환 장치는 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 사이에 연결되며 전기 에너지를 저장하는 저장부를 더 포함할 수 있다. 상기 저장부는 충전 가능한 전지 또는 커패시터를 포함할 수 있다.
또한, 상기 나노와이어는 서로 상이한 공진 주파수를 갖는 복수 개의 나노와이어를 포함할 수 있다. 상기 복수 개의 나노와이어의 길이, 지름 또는 구성 물질은 서로 상이할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예는 에너지 변환 방법을 제공한다. 상기 에너지 변환 방법은 압전 물질로 이루어지는 나노와이어에 신호를 인가하여 상기 나노와이어를 공진시키는 단계; 및 공진하는 상기 나노와이어와 전극의 접촉에 의하여 전기 에너지를 생성하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 에너지 변환 장치 및 방법을 사용하면, 인가된 신호에 의해 나노와이어가 공진하면서 전극 및 나노와이어에 전류가 흐르게 되므로, 전자기파 등의 신호에 의하여 전달된 에너지를 전기 에너지로 변환할 수 있다.
이하에서는, 도면을 참조하여 실시예를 구체적으로 설명한다. 그러나, 본 발명이 하기 실시예에 의하여 제한되는 것은 아니다.
도 1은 일 실시예에 따른 에너지 변환 장치를 도시한 사시도이며, 도 2는 도 1에 도시된 에너지 변환 장치의 정면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 에너지 변환 장치는 서로 이격된 제1 전극(10) 및 제2 전극(20)과, 제1 전극(10)상에 형성된 하나 이상의 나노와이어(nanowire)(30)를 포함할 수 있다.
제1 전극(10)은 나노와이어(30)를 지지하는 하부 전극일 수 있다. 또한, 제1 전극(10)은 도전 물질을 포함하여 이루어질 수 있다.
일 실시예에서, 제1 전극(10)은 유리(glass), 실리콘(Si), 폴리머(polymer), 사파이어, 질화갈륨(GaN) 또는 탄화실리콘(SiC) 등으로 이루어진 기판(1) 상에 형성될 수도 있다. 예컨대, 제1 전극(10)은 기판(1) 상에 형성된 금속막 또는 전도성을 띄는 세라믹을 포함할 수도 있다.
또한, 일 실시예에서는 제1 전극(10) 자체가 기판 형태로 구성되는 것도 가능하다.
예를 들어, 부도체인 사파이어 기판을 제1 전극(10)으로 사용하고 나노와이어(30)가 산화아연(Zinc Oxide; ZnO)으로 이루어진 경우, 나노와이어(30)의 성장 이전에 사파이어 기판 상에 얇은 전도성 산화아연(ZnO)의 박막이 성장될 수 있다. 이 경우 산화아연 박막이 전극의 역할을 할 수 있으므로, 사파이어 기판이 제1 전극(10)으로 사용될 수 있다.
또한, 질화갈륨(GaN) 또는 탄화실리콘(SiC)으로 이루어진 기판의 경우 전도성이 있으므로, 추가적인 인주석 산화물(Indium Tin Oxide; ITO) 또는 금속 등이 전극이 없이도 제1 전극(1)의 역할을 할 수 있다.
제 2 전극(20)은 제1 전극(10)과 이격되어 위치할 수 있다. 제2 전극(20)은 도전 물질(40)에 의하여 제1 전극(10)과 연결될 수 있다. 또한, 제2 전극(20)을 도전 물질을 포함하여 이루어질 수 있다. 제1 전극(10)과 마찬가지로, 제2 전극(20) 역시 기판(2)상에 형성될 수도 있으며, 제2 전극(20) 자체가 기판으로 구성될 수도 있다.
제1 전극(10) 상에는 하나 이상의 나노와이어(30)가 형성될 수 있다. 제1 전극(10) 상에 형성된 나노와이어(30)는 제2 전극(20)과는 이격되어 위치할 수도 있다. 또한, 나노와이어(30)는 제1 전극(10) 및 제2 전극(20)에 수직한 방향(D1)으로 연장될 수 있다. 그러나, 나노와이어(30)는 제1 전극(10) 및 제2 전극(20)에 경사진 방향으로 연장될 수도 있다. 또한 본 명세서의 도면에 도시된 나노와이어(30)의 개수는 예시적인 것으로서, 나노와이어(30)의 개수는 장치의 크기 및 용도에 따라 상이할 수 있다.
도 2를 참조하면, 일 실시예에서 제2 전극(20)은 요철부(A)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 제2 전극(20)의 요철부(A)는 하나 이상의 오목한 부분(A1) 및 하나 이상의 볼록한 부분(A2)에 의한 물결 형상의 구조를 가질 수 있다. 일 실시예에서, 요철부(A)는 곡면 또는 경사면을 포함할 수 있다. 예를 들어, 제2 전극(20)은 도 2에 도시된 것과 같이 단면이 반원 형상인 요철부(A)를 포함할 수 있다.
제2 전극(20)이 요철부(A)를 포함하는 경우, 나노와이어(30)는 제2 전극(20)의 요철부(A)의 오목한 부분(A1)에 인접하여 위치할 수 있다.
한편, 나노와이어(30)에는 나노와이어(30)의 공진 주파수에 해당하는 주파수를 갖는 신호가 인가될 수 있다. 상기 신호는 무선으로 인가될 수도 있다. 일 실시예에서, 상기 신호는 전자기파일 수도 있다. 또한, 상기 신호는 라디오파(Radio Frequency wave; RF wave)일 수도 있다. 예를 들어, 라디오파는 약 3 kHz 에서 약 300 MHz의 주파수를 가질 수도 있다.
나노와이어(30)는 인장 강도가 높은 동시에 탄성이 큰 특성을 가질 수 있다. 이때, 나노와이어(30)에 신호가 인가되고, 인가되는 신호의 주파수가 나노와이어(30)의 공진 주파수에 해당하는 경우, 신호로부터 전달되는 에너지에 의하여 나노와이어(30)가 공진할 수 있다.
예를 들어, 나노와이어(30)의 공진 주파수에 해당하는 주파수를 갖는 전자기파가 나노와이어(30)에 인가될 수 있다. 이 경우 나노와이어(30)에 포함된 전자들 이 전자기파에 의해 생성되는 전자기장에 영향을 받아 움직일 수 있으며, 결과적으로 나노와이어(30)가 전자기파에 의해 공진할 수 있다. 즉, 나노와이어(30)는 인가된 신호에 의하여 양 방향(D2)으로 진동할 수 있다. 나노와이어(30)가 진동하는 경우, 휘어진 나노와이어(30)는 제2 전극(20)에 접촉할 수 있다.
한편, 상기 나노와이어(30)는 압전 물질(piezoelectric material)로 이루어질 수 있다. 압전 물질로 이루어진 나노와이어(30)가 휘어질 경우, 나노와이어(30)는 압전 효과(piezoelectric effect)를 나타낸다. 즉, 나노와이어(30)의 각 부분은 각 부분에 인가된 압축 응력 또는 인장 응력에 따라 소정의 전위를 가질 수 있다.
압전 물질의 일 예로서, 나노와이어(30)는 산화아연(ZnO)을 포함하여 이루어질 수 있다. 산화아연으로 이루어진 나노와이어(30)가 공진으로 인해 휘어질 경우, 산화아연(ZnO)의 비대칭적인 결정 구조로 인하여 나노와이어(30) 내의 각 부분이 전위를 가질 수 있다. 따라서, 휘어진 나노와이어(30)와 제2 전극(20) 사이에 전류가 흐를 수 있다. 이는 도 3을 참조하여 자세히 후술한다.
한편, 나노와이어(30)는 산화아연(ZnO)뿐만 아니라, 응력이 인가되는 경우 압전 효과를 나타내는 다른 상이한 압전 물질로 이루어질 수도 있다. 예컨대, 나노와이어(30)는 납-지르코늄-티타늄산화물(lead zirconate titanate; PZT) 또는 티탄산바륨(BaTiO3)으로 이루어질 수도 있다.
도 3은 도 1 및 도 2에 도시된 에너지 변환 장치에 신호가 인가되어 나노와 이어(30)가 공진하는 형태를 도시한 정면도이다.
도 3을 참조하면, 나노와이어(30)에 신호가 인가됨에 따라, 나노와이어(30)는 공진에 의해 양 방향(D2)으로 진동할 수 있다. 휘어진 나노와이어(30)는 제2 전극(20)에 접촉할 수 있다. 전술한 바와 같이, 나노와이어(30)는 압전 물질로 이루어질 수 있으며, 나노와이어(30)가 휘어지는 경우 압전 효과를 나타낼 수 있다.
예를 들어, 나노와이어(30)가 산화아연(ZnO)으로 이루어진 경우, 나노와이어(30)에 압축 응력이 인가된 부분(A3)은 음의 전위를 가질 수 있다. 한편, 나노와이어(30)에 인장 응력이 인가된 부분(A4)은 양의 전위를 가질 수 있다.
한편, 나노와이어(30)는 제2 전극(20)의 요철부(A)의 오목한 부분(A1)에 인접하여 위치할 수 있다. 따라서, 나노와이어(30)가 공진에 의해 휘어지는 경우, 휘어진 나노와이어(30)는 적어도 부분적으로 제2 전극(20)과 접촉할 수 있다.
전술한 바와 같이 나노와이어(30)에 압축 응력이 인가된 부분(A3)은 음의 전위를 가질 수 있다. 반면, 제2 전극(20)은 전위를 갖지 않는 상태일 수 있다. 따라서, 압축 응력이 인가된 부분(A3)과 제2 전극(20)은 순방향으로 연결된 쇼트키 다이오드(Schottky diode)를 형성할 수 있다. 따라서, 제2 전극(20)으로부터 나노와이어(30) 방향으로 전류가 흐를 수 있다. 이때, 전류는 제2 전극(20)-나노와이어(30)-제1 전극(10)-도전 물질(40)에 의해 형성되는 폐회로를 통하여 흐를 수 있다.
한편, 나노와이어(30)에 인장 응력이 인가된 부분(A4)은 양의 전위를 가질 수 있다. 따라서, 인장 응력이 인가된 부분(A4)과 제2 전극(20)은 역방향으로 연결 된 쇼트키 다이오드를 형성할 수 있다. 따라서, 인장 응력이 인가된 부분(A4)과 제2 전극(20) 사이에는 전류가 흐르지 않는다.
이상에서 살펴본 바와 같이, 나노와이어(30)에 나노와이어(30)의 공진 주파수에 해당하는 주파수의 신호를 인가하면 나노와이어(30)를 공진시킬 수 있다. 따라서, 공진하는 나노와이어(30)에 압축 응력이 인가된 부분과 제2 전극(20) 사이의 쇼트키 접합에 의해 전류가 흐를 수 있다. 따라서, 나노와이어(30)에 인가된 신호를 전기 에너지로 전환할 수 있다.
이상과 같이 구성된 에너지 변환 장치는 다양한 전자 장치에 응용될 수 있다. 예컨대 상기 에너지 변환 장치는 무선으로 인가된 신호를 전기 에너지로 변환할 수 있으므로, 무선 에너지 전송 기술을 구현하기 위해 사용될 수 있다.
예컨대 상기 에너지 변환 장치는 휴대폰과 같은 이동통신 장치에서 도선에 의한 접속 없이 원거리에서 전력을 공급하기 위한 용도로 사용될 수 있다. 나아가, 상기 에너지 변환 장치는 이동통신 관련 장치뿐만 아니라, TV 또는 오디오 등과 같은 거치형 장치에 원거리에서 전력을 공급하기 위한 용도로도 사용될 수 있다.
한편, 신호 생성 장치를 사용하여 상기 에너지 변환 장치에 나노와이어의 공진을 위한 신호를 인가할 수 있다. 예컨대, RF 파 생성기(RF wave generator) 등이 상기 신호 생성 장치로 사용될 수 있다. 또한, 나노와이어의 공진 주파수를 이동통신 장치에서 사용하는 주파수 대역과 일치시킬 경우, 별도의 신호원을 구비할 필요 없이 통신용 신호로부터 전기 에너지를 생성할 수도 있다.
도 4a는 다른 실시예에 따른 에너지 변환 장치의 사시도이다.
도 4a에 도시된 실시예에서, 에너지 변환 장치는 서로 상이한 공진 주파수를 갖는 복수 개의 나노와이어(31, 32)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 복수 개의 나노와이어(31, 32)는 공진 주파수가 제1 주파수인 제1 나노와이어(31) 및 공진 주파수가 제2 주파수인 제2 나노와이어(32)를 포함할 수 있다.
공진 주파수를 상이하게 하기 위하여, 제1 나노와이어(31)의 길이와 제2 나노와이어(32)의 길이가 서로 상이하게 구성될 수 있다. 나노와이어(31, 32)의 공진 주파수는 나노와이어(31, 32)의 길이 및 지름, 또는 나노와이어(31, 32)를 구성하는 물질의 종류에 적어도 부분적으로 기초하여 결정될 수 있다.
따라서, 복수 개의 나노와이어(31, 32) 중 상대적으로 긴 길이를 갖는 제1 나노와이어(31)의 공진 주파수와 상대적으로 짧은 길이를 갖는 제2 나노와이어(32)의 공진 주파수는 서로 상이할 수 있다.
한편 상이한 길이를 갖는 제1 및 제2 나노와이어(31, 32)에 전류가 흐르도록 하기 위하여, 제1 전극(10) 및 제2 전극(20)은 단차 구조를 가질 수도 있다. 예를 들어, 제1 전극(10)은 제1 영역(B1) 및 제2 영역(B2)을 포함하되, 제2 영역(B2)이 제1 영역(B1)에 비해 상대적으로 돌출되어 형성될 수 있다. 마찬가지로, 제2 전극(20) 역시 제1 영역(C1) 및 제2 영역(C2)을 포함하되, 제2 영역(C2)이 제1 영역(C1)에 비해 상대적으로 돌출되어 형성될 수 있다.
상기와 같이 복수 개의 나노와이어가 서로 상이한 공진 주파수를 가지도록 구성하면, 복수 개의 서로 다른 주파수의 신호로부터 전기 에너지를 생성할 수 있 다. 예컨대, 제1 주파수의 신호를 인가할 경우 제1 나노와이어(31)를 공진시켜 전류가 흐르게 할 수 있으며, 제2 주파수의 신호를 인가할 경우 제2 나노와이어(32)를 공진시켜 전류가 흐르게 할 수 있다.
도 4b는 또 다른 실시예에 따른 에너지 변환 장치의 정면도이다.
도 4b에 도시된 실시예에서, 제1 전극(10) 및 제2 전극(20)의 구성과 기능은 도 1 내지 도 3을 참조하여 전술한 실시예와 동일하므로, 자세한 설명을 생략한다.
한편, 상기 에너지 변환 장치는 서로 상이한 지름을 갖는 제3 나노와이어(33) 및 제4 나노와이어(34)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 제3 나노와이어(33)의 지름(T1)은 제4 나노와이어(34)의 지름(T2)에 비하여 상대적으로 작을 수 있다.
전술한 바와 같이, 나노와이어(33, 34)의 공진 주파수는 나노와이어(33, 34)의 길이, 지름 및 구성 물질 등을 기초로 하여 결정될 수 있다. 따라서, 서로 상이한 지름을 갖는 제3 나노와이어(33) 및 제4 나노와이어(34)는 서로 상이한 공진 주파수를 가질 수 있다.
도 4b에 도시된 에너지 변환 장치의 동작은 도 4a에 도시된 에너지 변환 장치로부터 용이하게 이해될 수 있으므로, 자세한 설명을 생략한다.
한편, 도 4a 및 도 4b에 도시된 에너지 변환 장치는 각각 복수 개의 나노와이어의 길이 및 지름을 서로 상이하게 함으로써 나노와이어가 서로 상이한 공진 주파수를 갖도록 할 수 있었다. 그러나, 다른 실시예에서는 복수 개의 나노와이어를 서로 상이한 물질로 구성함으로써, 복수 개의 나노와이어의 공진 주파수가 서로 상 이하도록 구성할 수도 있다.
도 5는 또 다른 실시예에 따른 에너지 변환 장치의 정면도이다.
도 5에 도시된 에너지 변환 장치에서, 제1 전극(10), 제2 전극(20) 및 나노와이어(30)의 구성 및 동작은 도 1 내지 도 3에 도시된 실시예와 동일하므로 자세한 설명을 생략한다.
한편, 도 5에 도시된 에너지 변환 장치는 제1 전극(10) 및 제2 전극(20) 사이에 연결된 저장부(50)를 더 포함할 수 있다. 저장부(50)는 나노와이어(30)가 공진하여 생성된 전기 에너지를 저장하기 위한 부분일 수 있다. 도 5에서는 저장부(50)가 도전 물질(40)의 중간에 연결되었으나, 이는 예시적인 것으로서, 저장부(50)는 도전 물질(40)과 병렬 연결될 수도 있다.
일 실시예에서, 저장부(50)는 충전 가능한 전지 또는 커패시터를 포함할 수 있다. 예를 들어, 저장부(50)는 니켈-카드뮴 전지, 니켈-수소 전지, 리튬 이온 전지 또는 리튬 폴리머(polymer) 전지 등과 같은 2차 전지 또는 커패시터를 포함할 수도 있다.
저장부(50)를 포함하는 에너지 변환 장치가 전자 장치에 사용되는 경우, 나노와이어(30)의 공진에 의해 생성된 전기 에너지는 바로 사용되는 대신 저장부(50)에 저장될 수 있다. 저장부(50)에 저장된 에너지는 추후 전자 장치가 동작하는 경우에 사용될 수 있다.
도 6a 내지 도 6d는 일 실시예에 따른 에너지 변환 장치에서 제1 전극 및 나노와이어를 제조하는 각 단계를 도시한 단면도이다.
도 6a를 참조하면, 먼저 기판(1) 상에 제1 전극층(100)을 형성할 수 있다. 일 실시예에서, 상기 기판(1)으로는 유리, 실리콘, 또는 폴리머 등으로 이루어진 기판이 사용될 수 있다. 상기 제1 전극층(100)은 도전 물질로 이루어질 수 있다. 또한, 제1 전극층(100)은 추후 형성될 나노와이어를 지지하는 하부 전극의 역할을 할 수 있다.
도 6b를 참조하면, 다음으로 제1 전극층(100) 상에 나노물질층(300)을 형성할 수 있다. 상기 나노물질층(300)은 스핀 코팅(spin coating) 등의 방법에 의하여 제1 전극층(100) 상에 얇은 두께로 형성될 수 있다. 일 실시예에서, 상기 나노물질층(300)은 초산아연(Zinc Acetate)으로 이루어질 수도 있다.
도 6c를 참조하면, 다음으로 나노물질층(도 6b, 300)이 형성된 기판(1)을 가열함으로써 하나 이상의 나노 핵(301)을 형성할 수 있다. 예컨대, 나노물질층(300)이 형성된 기판(1)을 100 °C의 온도에서 가열 및 건조하여 나노 핵(301)을 형성할 수 있다.
도 6d를 참조하면, 다음으로 나노 핵이 형성된 기판(1)을 나노 물질이 용해되어 있는 용액에 투입함으로써, 각각의 나노 핵으로부터 나노와이어(30)를 성장시킬 수 있다.
도 6a 내지 도 6d를 참조하여 전술한 단계에 의하여 일 실시예에서 따른 에너지 변환 장치의 제1 전극 및 나노와이어가 형성될 수 있다.
도 7a 내지 도 7g는 일 실시예에 따른 에너지 변환 장치에서 제2 전극을 제조하는 각 단계를 도시한 단면도이다.
도 7a를 참조하면, 먼저 템플릿(template) 기판(3) 상에 금속층(200)을 형성할 수 있다. 일 실시예에서, 상기 기판(3)으로는 실리콘 웨이퍼가 사용될 수도 있다. 또한, 일 실시예에서, 상기 금속층(200)은 알루미늄(Al)으로 이루어질 수도 있다.
도 7b를 참조하면, 다음으로 금속층(200)을 양극산화(anodizing)하여 양극산화막(201)을 형성할 수 있다. 양극산화란, 금속층(200)을 양극(cathode)으로 하여 전해질 용액 내에서 전기 분해하는 과정을 지칭할 수 있다. 양극산화 과정을 거치면, 금속층(200)의 구성 물질이 전해질 내로 용해되는 동시에 금속층(200) 상에 형성된 자연 산화막의 두께가 증가할 수 있다. 따라서, 도 6b에 도시된 것과 같은 구조의 양극산화막(201)이 형성될 수 있다.
도 7c를 참조하면, 다음으로 전술한 양극산화 과정에 의하여 형성된 양극산화막(201)을 제거할 수 있다. 예컨대, 양극산화막(201)은 습식 또는 건식 식각에 의하여 제거될 수 있다. 양극산화막(201)에 제거되고 난 후의 템플릿 기판(3)은 물결 형상의 구조를 갖는 요철부를 포함할 수 있다.
도 7d를 참조하면, 다음으로 템플릿 기판(3) 상에 제2 전극층(202)을 형성할 수 있다. 상기 제2 전극층(202)은 추후 나노와이어와 접촉하여 전류가 흐르는 상부 전극의 역할을 할 수 있다. 일 실시예에서, 상기 제2 전극층(202)은 금-팔라듐 합 금(AuPd), 금(Au), 백금(Pt), 팔라듐(Pd) 또는 루테늄(Ru)을 포함하여 이루어지며, 이온 스퍼터링(Ion sputtering)에 의하여 형성될 수도 있다.
한편, 일 실시예에서는, 도 7e에 도시된 바와 같이 제2 전극층(202) 상에 접착층(203)을 형성할 수 있다. 상기 접착층(203)은 제2 전극층(202)과 추후 형성될 운반용 기판 과의 접착성을 증가시키는 층일 수 있다. 일 실시예에서, 상기 접착층(203)은 니켈(Ni)을 포함하여 이루어질 수 있다. 또한, 접착층(203)은 전기도금(electroplating)에 의하여 형성될 수도 있다.
도 7f를 참조하면, 다음으로 접착층(203) 상에 운반용 기판(2)을 접합할 수 있다. 다른 실시예에서는, 접착층(203)이 없이 제2 전극층(202) 상에 운반용 기판(2)을 접합할 수도 있다. 또한, 일 실시예에서, 상기 운반용 기판(2)은 폴리머(polymer)를 포함하여 이루어질 수도 있다.
도 7g를 참조하면, 다음으로 제2 전극층(202), 접착층(203) 및 운반용 기판(2)을 템플릿 기판(3)으로부터 분리할 수 있다. 분리된 제2 전극층(202)은 템플릿 기판(3)의 형상으로 인하여 오목한 부분 및 볼록한 부분으로 구성된 요철부를 포함할 수 있다.
도 7a 내지 도 7g를 참조하여 전술한 각 단계에 의하여, 제1 전극 및 나노와이어에 접합될 제2 전극이 형성될 수 있다.
도 8a 및 도 8b는 나노와이어와 제2 전극을 서로 근접시켜 일 실시예에 따른 에너지 변환 장치의 제조를 완료하는 각 단계를 도시한 단면도이다.
도 8a를 참조하면, 먼저 나노와이어(30)를 제2 전극층(202)에 근접시킬 수 있다. 이때, 나노와이어(30)는 제2 전극층(202)에 접촉될 수도 있으며, 또는 제2 전극층(202)과 소정의 간격만큼 이격되어 위치할 수도 있다. 또한, 일 실시예에서, 각 나노와이어(30)는 제2 전극층(202)의 요철부(A)의 오목한 부분(A1)에 근접하도록 위치할 수도 있다.
도 8b를 참조하면, 다음으로 도전 물질(40)에 의하여 제1 전극층(100) 및 제2 전극층(202)을 서로 연결함으로써 일 실시예에 따른 에너지 변환 장치가 완성될 수 있다.
이상에서 살펴본 본 발명은 도면에 도시된 실시예들을 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 그러나, 이와 같은 변형은 본 발명의 기술적 보호범위 내에 있다고 보아야 한다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해서 정해져야 할 것이다.
도 1은 일 실시예에 따른 에너지 변환 장치를 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 에너지 변환 장치의 정면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 에너지 변환 장치에서 나노와이어가 공진하는 경우의 동작을 도시한 정면도이다.
도 4a는 다른 실시예에 따른 에너지 변환 장치를 도시한 정면도이다.
도 4b는 또 다른 실시예에 따른 에너지 변환 장치를 도시한 정면도이다.
도 5는 또 다른 실시예에 따른 에너지 변환 장치를 도시한 정면도이다.
도 6a 내지 도 6d는 일 실시예에 따른 에너지 변환 장치에서 제1 전극 및 나노와이어의 제조 단계를 도시한 단면도이다.
도 7a 내지 도 7g는 일 실시예에 따른 에너지 변환 장치에서 제2 전극의 제조 단계를 도시한 단면도이다.
도 8a 및 도 8b는 일 실시예에 따른 에너지 변환 장치에서 나노와이어와 제2 전극을 근접시키는 단계를 도시한 단면도이다.
Claims (16)
- 서로 이격된 제1 전극 및 제2 전극; 및상기 제1 전극상에 형성되며, 압전 물질로 이루어지고, 인가된 신호에 의해 공진하여 상기 제2 전극과 접촉하는 나노와이어를 포함하는 것을 특징으로 하는 에너지 변환 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 제2 전극은 요철부를 포함하며,상기 나노와이어는 상기 제2 전극의 상기 요철부 중 오목한 부분에 인접하여 위치하는 것을 특징으로 하는 에너지 변환 장치.
- 제 2항에 있어서,상기 요철부는 곡면 또는 경사면을 포함하는 것을 특징으로 하는 에너지 변환 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 사이에 연결되며, 전기 에너지를 저장하는 저장부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 에너지 변환 장치.
- 제 4항에 있어서,상기 저장부는 충전 가능한 전지 또는 커패시터를 포함하는 것을 특징으로 하는 에너지 변환 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 나노와이어는 서로 상이한 공진 주파수를 갖는 복수 개의 나노와이어를 포함하는 것을 특징으로 하는 에너지 변환 장치.
- 제 6항에 있어서,상기 복수 개의 나노와이어는 서로 상이한 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 에너지 변환 장치.
- 제 6항에 있어서,상기 복수 개의 나노와이어의 길이는 서로 상이한 것을 특징으로 하는 에너지 변환 장치.
- 제 6항에 있어서,상기 복수 개의 나노와이어의 지름은 서로 상이한 것을 특징으로 하는 에너지 변환 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 나노와이어는 산화아연(ZnO), 납-지르코늄-티타늄산화물(PZT) 또는 티탄산 바륨(BaTiO3)을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 에너지 변환 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 신호는 전자기파인 것을 특징으로 하는 에너지 변환 장치.
- 제 11항에 있어서,상기 신호는 라디오파인 것을 특징으로 하는 에너지 변환 장치.
- 압전 물질로 이루어지는 나노와이어에 신호를 인가하여 상기 나노와이어를 공진시키는 단계; 및공진하는 상기 나노와이어와 전극의 접촉에 의하여 전기 에너지를 생성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 에너지 변환 방법.
- 제 13항에 있어서,상기 나노와이어는 서로 상이한 공진 주파수를 갖는 복수 개의 나노와이어를 포함하며,상기 나노와이어를 공진시키는 단계는, 상기 나노와이어에 서로 상이한 주파수를 갖는 복수 개의 신호를 인가하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 에너지 변환 방법.
- 제 13항에 있어서,상기 신호는 전자기파인 것을 특징으로 하는 에너지 변환 방법.
- 제 15항에 있어서,상기 신호는 라디오파인 것을 특징으로 하는 에너지 변환 방법.
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