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KR101074957B1 - Apparatus and method for drying substrate - Google Patents

Apparatus and method for drying substrate Download PDF

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KR101074957B1
KR101074957B1 KR1020040047143A KR20040047143A KR101074957B1 KR 101074957 B1 KR101074957 B1 KR 101074957B1 KR 1020040047143 A KR1020040047143 A KR 1020040047143A KR 20040047143 A KR20040047143 A KR 20040047143A KR 101074957 B1 KR101074957 B1 KR 101074957B1
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KR
South Korea
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substrate
rectifying plate
air
exhaust means
cover
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KR1020040047143A
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Korean (ko)
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KR20050001374A (en
Inventor
시마이후토시
가와타시게루
Original Assignee
도쿄 오카 고교 가부시키가이샤
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Publication date
Application filed by 도쿄 오카 고교 가부시키가이샤 filed Critical 도쿄 오카 고교 가부시키가이샤
Publication of KR20050001374A publication Critical patent/KR20050001374A/en
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Publication of KR101074957B1 publication Critical patent/KR101074957B1/en

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Abstract

본 발명은 기판 표면의 미스트(mist)로 되어 비산하는 양이 매우 적은 건조장치를 제공한다.

반송롤러(2) 상을 반송되어 오는 기판(W)의 윗면에 부착되어 있는 액체는 상부 에어나이프(11)로부터의 공기에 의해 기판 윗면과 상부 정류판(10) 사이의 간극에 밀어넣어지고, 밀어넣어진 액체는 기판 윗면과 상부 정류판(10) 사이에 형성되어 있는 상류쪽으로의 기류와 상부 에어나이프(11)로부터의 공기에 의해 기판 윗면을 따라 상류쪽 또한 상부 정류판(10)은 비스듬하게 배치되어 있기 때문에 한 옆쪽을 향하여 밀려나와, 최종적으로는 기판(W) 윗면으로부터 상부 배기수단(6)을 향하여 흘러 건조장치의 외부에 폐기된다.

Figure R1020040047143

기판 건조장치, 에어나이프, 배기수단, 정류판, 커버

The present invention provides a drying apparatus having a very small amount of mist scattering on the substrate surface.

The liquid adhering to the upper surface of the substrate W being conveyed on the conveying roller 2 is pushed into the gap between the upper surface of the substrate and the upper rectifying plate 10 by the air from the upper air knife 11, The pushed in liquid is upstream along the upper surface of the substrate by the air flow upstream formed between the upper surface of the substrate and the upper rectifying plate 10 and the air from the upper air knife 11, and the upper rectifying plate 10 is oblique. It is disposed so as to be pushed toward one side, and finally flows from the upper surface of the substrate W toward the upper exhaust means 6 to be disposed outside of the drying apparatus.

Figure R1020040047143

Substrate Dryer, Air Knife, Exhaust Means, Rectifier Plate, Cover

Description

기판 건조장치 및 기판 건조방법{Apparatus and method for drying substrate}Apparatus and method for drying substrate

도 1은 본 발명의 기판 건조장치의 단면도이다.1 is a cross-sectional view of a substrate drying apparatus of the present invention.

도 2는 본 발명의 기판 건조장치의 주요부 단면도이다.2 is a cross-sectional view of an essential part of the substrate drying apparatus of the present invention.

도 3은 본 발명의 기판 건조장치의 주요부 평면도이다.3 is a plan view of an essential part of the substrate drying apparatus of the present invention.

부호의 설명Explanation of the sign

1…기판 건조장치, 2…반송롤러, 3…개구(開口), 4…위 커버, 5…아래 커버, 6…상부 배기수단, 7…프레임, 8…하부 배기수단, 9…배기용 정류판(整流板), 10…상부 정류판, 11…상부 에어나이프(air knife), 12…하부 정류판, 13…하부 에어나이프, 14…상부 슬라이드 커버, 15…하부 슬라이드 커버, W…기판.One… Substrate drying apparatus, 2... Conveying roller, 3... Opening, 4.. Top cover, 5... Bottom cover, 6.. Upper exhaust means, 7.. Frame, 8... Lower exhaust means, 9.. Exhaust rectifying plate, 10.. Upper rectifying plate, 11... Upper air knife, 12... Lower rectifying plate, 13... Bottom air knife, 14... Top slide cover, 15... Lower slide cover, W... Board.

본 발명은 유리기판이나 반도체 웨이퍼 등의 기판 표면을 건조시키는 장치와 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus and method for drying a substrate surface such as a glass substrate or a semiconductor wafer.

종래부터, 기판 표면에 레지스트액이나 SOG액을 도포하기에 앞서 기판 표면을 세정하고 있다. 세정한 표면을 자연건조시키면 시간이 걸리기 때문에 에어나이 프를 사용하여 표면을 건조시키는 기술이 특허문헌 1, 특허문헌 2에 제안되어 있다.Conventionally, the substrate surface is cleaned prior to applying the resist liquid or SOG liquid to the substrate surface. Since it takes time when the cleaned surface is naturally dried, Patent Literature 1 and Patent Literature 2 propose techniques for drying the surface using an air knife.

특허문헌 1에는, 반송되는 기판의 윗면쪽 및 아랫면쪽에 에어나이프를 배치하고, 이 에어나이프로부터 기판의 윗면 및 아랫면에 반송방향 상류쪽을 향해 공기를 분출하여, 기판의 표면에 부착되어 있는 액체(세정액)를 에어나이프의 바로 상류쪽에 배치한 흡인부재를 향해 불어날리는 내용이 개시되어 있다.In patent document 1, an air knife is arrange | positioned at the upper surface and the lower surface of the board | substrate to be conveyed, and air is blown from the air knife toward the upper direction and the lower surface of a board | substrate toward a conveyance direction upstream, and the liquid adhered to the surface of a board | substrate ( Disclosed is the blowing of the cleaning liquid) toward the suction member disposed immediately upstream of the air knife.

특허문헌 2에는, 반송되는 기판의 윗면쪽에 특허문헌 1과 동일한 에어나이프와 흡인 덕트(duct)를 배치하는 구성 외에 에어나이프의 배치방향을 평면에서 보아 기판의 반송방향에 대해서 비스듬하게 하는 내용이 개시되어 있다.Patent Literature 2 discloses a configuration in which an air knife and a suction duct similar to that of Patent Literature 1 are disposed on the upper surface of the substrate to be conveyed, and the air knife arrangement direction is oblique with respect to the conveying direction of the substrate. It is.

[특허문헌][Patent Documents]

특허문헌 1: 일본국 실용공개 제(평)2-44327호 공보 도 1Patent Document 1: Japanese Utility Model Publication No. 2-44327 Publication 1

특허문헌 2: 일본국 특허공개 제(평)7-35478호 공보 단락[0008]Patent Document 2: Japanese Patent Laid-Open No. 7-35478 Paragraph [0008]

상기한 특허문헌 1, 2에 개시되는 내용은 모두 에어나이프로부터 분출하는 공기에 의해 강제적으로 액체를 기판 표면으로부터 박리하여 이것을 흡인 덕트에 의해 배제한다는 것으로, 흡인 덕트로 완전히 포획하지 못한 액체가 주변으로 날아올라가 미스트(mist)가 되어 장치의 내면 등에 부착하고, 이것이 다시 파티클이 되어 기판 표면에 부착한다는 문제가 있다.The contents disclosed in Patent Documents 1 and 2 described above are forcibly peeling liquid from the substrate surface by air ejected from the air knife and excluding it by the suction duct. There is a problem in that it is blown up and adhered to the inner surface of the apparatus and the like, and this becomes particles again and adheres to the substrate surface.

상기 과제를 해결하기 위해 본 발명의 기판 건조장치는, 기판의 반송로 내의 공기를 배기하는 상부 배기수단, 기판의 반송방향을 기준으로 하여 상기 상부 배기수단보다도 하류쪽에 배치되고 기판 윗면과의 사이에 상류쪽을 향하여 공기가 흐르는 간극을 형성하는 상부 정류판 및 이 상부 정류판에 근접한 하류쪽에 배치되어 반송되는 기판의 윗면에 상류쪽을 향하여 공기를 내뿜는 상부 에어나이프를 구비하는 구성으로 하였다.In order to solve the above problems, the substrate drying apparatus of the present invention includes an upper exhaust means for exhausting air in a conveyance path of a substrate and a downstream side of the upper exhaust means based on a conveying direction of the substrate and between the upper surface and the upper surface of the substrate. An upper rectifying plate forming a gap in which air flows toward the upstream side, and an upper air knife that blows air toward the upstream side on the upper surface of the substrate disposed and transported downstream of the upper rectifying plate are provided.

본 발명의 기판 건조장치로서는 상기한 상부 배기수단, 상부 정류판 및 상부 에어나이프 외에, 하부 배기수단, 하부 정류판 및 하부 에어나이프를 구비한 구성이어도 된다. 이 경우, 하부 정류판과 기판 사이에는 반송용 롤러 등의 반송수단을 설치하는 스페이스가 필요하게 되므로 하부 정류판과 기판 사이의 간격은 상부 정류판과 기판 사이의 간극보다도 넓어진다.The substrate drying apparatus of the present invention may be provided with a lower exhaust means, a lower rectifier plate and a lower air knife in addition to the upper exhaust means, the upper rectifying plate and the upper air knife. In this case, a space is provided between the lower rectifying plate and the substrate for providing a conveying means such as a conveying roller, so that the distance between the lower rectifying plate and the substrate is wider than the gap between the upper rectifying plate and the substrate.

또한, 상기 반송로를 위 커버와 아래 커버로 나누어 이루게 하는 것이 바람직하다. 건조공간의 용적을 위 커버와 아래 커버를 설치함으로써 작게 하고, 에어나이프로부터의 공기가 확산하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 위 커버와 아래 커버를 설치하는 경우, 위 커버에는 상부 정류판을 상하위치 조정 가능하게 장치하고 아래 커버에는 하부 정류판을 장치하는 것을 생각할 수 있다.In addition, it is preferable to divide the conveyance path into an upper cover and a lower cover. The volume of the drying space can be reduced by providing the upper cover and the lower cover, and the air from the air knife can be prevented from diffusing. In addition, when installing the upper cover and the lower cover, it is conceivable to install the upper rectifying plate in the upper cover so that the upper and lower positions can be adjusted, and to install the lower rectifying plate in the lower cover.

또한, 위 커버와 상부 에어나이프 사이 및 아래 커버와 하부 에어나이프 사이에, 에어나이프로부터의 공기 확산을 방지하는 상부 슬라이드 커버 및 하부 슬라이드 커버를 설치해도 된다.In addition, an upper slide cover and a lower slide cover may be provided between the upper cover and the upper air knife and between the lower cover and the lower air knife to prevent air diffusion from the air knife.

더욱이, 상부 배기수단의 근방에 기판 표면으로부터의 액체방울을 상부 배기수단으로 유도하는 동시에 상부 배기수단에 의한 흡인력으로 기판이 부상(浮上)하 는 것을 방지하는 배기용 정류판을 설치해도 된다.Furthermore, an exhaust rectifying plate may be provided in the vicinity of the upper exhaust means to guide the liquid droplets from the surface of the substrate to the upper exhaust means and to prevent the substrate from floating by the suction force by the upper exhaust means.

본원 발명과 선행기술과의 큰 상이점은, 선행기술이 에어나이프에 의해 기판 표면의 액체를 비산시켜 이것을 흡인 덕트로 포획하는 것에 대해서, 본 발명은 기판 윗면으로부터 적극적으로 액체를 비산시키지 않고 상부 정류판과 기판의 간극에 액체를 밀어넣어 기판 윗면을 따라 상류쪽에 액체를 흘러가게 하는 점에 있다.The main difference between the present invention and the prior art is that the prior art uses an air knife to scatter liquid on the surface of the substrate and traps it in the suction duct, while the present invention provides an upper rectifying plate without actively discharging liquid from the upper surface of the substrate. The liquid is pushed into the gap between the substrate and the substrate so that the liquid flows upstream along the upper surface of the substrate.

이와 같이 함으로써 건조공간에 액체가 미스트형상으로 비산하지 않아, 파티클이 되어 기판 표면에 재부착하는 것을 방지할 수 있다.By doing in this way, liquid does not scatter in a dry space in mist form, and it can prevent that it becomes a particle and reattaches to the surface of a board | substrate.

이하에 본 발명의 실시형태를 첨부도면을 토대로 설명한다. 도 1은 본 발명의 기판 건조장치의 단면도, 도 2는 본 발명의 기판 건조장치의 주요부 단면도, 도 3은 본 발명의 기판 건조장치의 주요부 평면도이다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Below, embodiment of this invention is described based on an accompanying drawing. 1 is a cross-sectional view of a substrate drying apparatus of the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional view of an essential part of the substrate drying apparatus of the present invention, and FIG. 3 is a plan view of a main part of the substrate drying apparatus of the present invention.

기판 건조장치(1) 내에는 반송수단으로서 다수의 반송롤러(2)…가 설치되고, 기판 건조장치(1)의 개구(3)으로부터 반송롤러(2) 상에 기판(W)가 반입된다. 반송롤러(2)…의 위쪽에는 위 커버(4)가 배치되고 반송롤러(2)…의 아래쪽에는 아래 커버(5)가 배치되며, 이들 위 커버(4)와 아래 커버(5)로 건조공간의 용적을 작게 하고 있다.In the substrate drying apparatus 1, a plurality of conveying rollers 2... Is provided, and the board | substrate W is carried in on the conveyance roller 2 from the opening 3 of the board | substrate drying apparatus 1. Conveying roller 2... The upper cover 4 is disposed above the conveying roller 2... The lower cover 5 is arrange | positioned underneath, and the volume of a dry space is made small by these upper cover 4 and the lower cover 5.

상기 위 커버(4)에는 상부 배기수단(6)이 설치되고, 아래 커버(5) 보다도 아래쪽의 프레임(7)에는 하부 배기수단(8)이 설치되어 있다. 이들 배기수단(6,8)은 예를 들면 배기 블로우(blow)에 연결되는 배기 덕트로 한다. 이들 상부 배기수단(6) 및 하부 배기수단(8)에 의해 위 커버(4)와 아래 커버(5) 사이에 형성되는 건조공간에 기판(W)의 반송방향을 기준으로 하여 하류쪽으로부터 상류쪽(도 1 에 있어서 오른쪽으로부터 왼쪽)을 향한 공기의 흐름이 형성된다.An upper exhaust means 6 is provided on the upper cover 4, and a lower exhaust means 8 is provided on the frame 7 below the lower cover 5. These exhaust means 6 and 8 are exhaust ducts connected to the exhaust blow, for example. In the drying space formed between the upper cover 4 and the lower cover 5 by these upper exhaust means 6 and the lower exhaust means 8 from the downstream side to the upstream side with respect to the conveying direction of the substrate W. The flow of air toward (from right to left in FIG. 1) is formed.

상기 상부 배기수단(6)의 흡인구 바로 아래 위치에 배기용 정류판(9)가 장치되어 있다. 이 배기용 정류판(9)에 의해 기판 표면으로부터의 액체방울이 상부 배기수단으로 유도되고, 또한 배기에 의한 흡인력으로 기판이 부상하는 것을 방지한다.An exhaust rectifying plate 9 is provided at a position just below the suction port of the upper exhaust means 6. The exhaust rectifying plate 9 guides the liquid droplets from the surface of the substrate to the upper exhaust means and prevents the substrate from floating due to the suction force by the exhaust.

또한 기판(W)의 반송방향을 기준으로 하여, 상부 배기수단(6)보다도 하류쪽의 위 커버(4)에 상부 정류판(10)이 장치되어 있다. 이 상부 정류판(10)은 위 커버(4)에 상하방향으로 조정 가능 및 반송방향으로 조정 가능하게 되어 있다. 또한 상부 정류판(10)은 평면에서 보아 기판(W)의 반송방향에 대해서 비스듬하게 배치되어 있다.Moreover, the upper rectifying plate 10 is provided in the upper cover 4 downstream of the upper exhaust means 6 on the basis of the conveyance direction of the board | substrate W. As shown in FIG. The upper rectifying plate 10 is adjustable to the upper cover 4 in the vertical direction and in the conveying direction. The upper rectifying plate 10 is arranged obliquely with respect to the conveyance direction of the substrate W in plan view.

상기 상부 정류판(10)의 바로 하류쪽에는 상부 에어나이프(11)이 배치되어 있다. 상부 에어나이프(11)의 각도는 기판(W)의 윗면에 비스듬하게 위에서 상류쪽을 향하여 공기를 내뿜는 각도로 되어 있다.An upper air knife 11 is disposed immediately downstream of the upper rectifying plate 10. The angle of the upper air knife 11 is an angle which blows air toward an upstream side obliquely from the upper surface of the board | substrate W. As shown in FIG.

한편, 상기 상부 정류판(10) 및 상부 에어나이프(11)과 대응하는 기판(W)의 아래쪽 위치에 하부 정류판(12) 및 하부 에어나이프(13)이 설치되어 있다. 상기 상부 정류판(10)은 기판(W)의 두께가 변경되어도 일정 간극을 형성하기 때문에 상하위치 조정 가능하게 되어 있지만, 하부 정류판(12)는 사이에 반송롤러(2)…가 배치되기 때문에 비교적 큰 공간이 기판 아랫면과의 사이에 형성된다. 또한 하부 에어나이프(13)의 각도는 기판(W)의 아랫면에 비스듬하게 아래에서 상류쪽을 향하여 공기를 내뿜는 각도로 되어 있다. On the other hand, the lower rectifying plate 12 and the lower air knife 13 are provided at a lower position of the substrate W corresponding to the upper rectifying plate 10 and the upper air knife 11. Since the upper rectifying plate 10 forms a constant gap even if the thickness of the substrate W is changed, the upper and lower positions can be adjusted, but the lower rectifying plate 12 is formed between the transfer rollers 2... Since is disposed, a relatively large space is formed between the bottom surface of the substrate. In addition, the angle of the lower air knife 13 is an angle which blows air toward an upstream from obliquely to the lower surface of the board | substrate W. As shown in FIG.                     

더욱이, 위 커버(4)와 상부 에어나이프(11) 사이 및 아래 커버(5)와 하부 에어나이프(13) 사이에는 반송로로부터 공기가 새는 것을 방지하는 상부 슬라이드 커버(14) 및 하부 슬라이드 커버(15)를 배치하고 있다.Moreover, between the upper cover 4 and the upper air knife 11 and between the lower cover 5 and the lower air knife 13, the upper slide cover 14 and the lower slide cover (to prevent air leakage from the conveying path) 15) is placed.

이상에 있어서, 반송롤러(2) 상을 반송되어 오는 기판(W)의 윗면에 부착되어 있는 세정수 등의 액체는 상부 에어나이프(11)로부터의 공기에 의해 기판 윗면과 상부 정류판(10) 사이의 간극에 밀어넣어지고 또한 상부 정류판(10)은 비스듬하게 배치되어 있기 때문에, 밀어넣어진 액체는 기판 윗면과 상부 정류판(10) 사이에 형성되어 있는 상류쪽으로의 기류와 상부 에어나이프(11)로부터의 공기에 의해 기판 윗면을 따라 상류쪽 또한 한 옆쪽을 향하여 밀려나와, 최종적으로는 기판(W) 윗면으로부터 상부 배기수단(6)을 향하여 흘러 건조장치에 외부에 폐기된다.In the above, the liquid such as the washing water attached to the upper surface of the substrate W, which is conveyed on the conveying roller 2, is transferred from the upper air knife 11 to the upper surface of the substrate and the upper rectifying plate 10. Since the upper rectifying plate 10 is pushed in the gap between the upper rectifying plate 10 and the upper rectifying plate 10, the pushed liquid is formed by the air flow upstream and the upper air knife formed between the upper surface of the substrate and the upper rectifying plate 10. Air from 11) is pushed upstream and also to one side along the upper surface of the substrate, and finally flows from the upper surface of the substrate W toward the upper exhaust means 6 and disposed of externally in the drying apparatus.

또한, 기판(W)의 아랫면에 부착되어 있는 액체는 기판(W)의 아랫면을 따라 흐르지 않고 아래쪽으로 낙하하여 하부 배기수단(8)을 향하여 흘러 건조장치의 외부에 폐기되지만, 원래 부착되어 있는 양이 적어 미스트가 되어 비산하지는 않는다.In addition, the liquid attached to the lower surface of the substrate W does not flow along the lower surface of the substrate W, but falls downward and flows toward the lower exhaust means 8 to be disposed of outside of the drying apparatus. It is small and does not scatter and become mist.

이상에 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면, 반송되는 기판 위쪽에 상부 정류판을 배치하고, 상부 정류판 아랫면과 기판 윗면과의 사이에 기판 반송방향을 기준으로 하여 하류쪽으로부터 상류쪽으로 향하는 공기의 흐름을 형성하며, 에어나이프로부터의 공기의 압력으로 기판 윗면에 부착되어 있는 액체(세정액)를 상기 상부 정류판 아랫면과 기판 윗면 사이의 간극에 밀어넣어, 공기의 흐름에 의해 액체를 기판 윗면을 따라 상류쪽으로 밀어내도록 했기 때문에 기판 윗면으로부터의 액체 비산을 적게 하여 기판의 건조를 행할 수 있다.As described above, according to the present invention, the upper rectifying plate is disposed above the substrate to be conveyed, and the air flows from the downstream side to the upstream side based on the substrate conveying direction between the lower surface of the upper rectifying plate and the upper surface of the substrate. And a liquid (cleaning liquid) attached to the upper surface of the substrate by the pressure of the air from the air knife is pushed into the gap between the lower surface of the upper rectifying plate and the upper surface of the substrate, and the liquid flows upstream along the upper surface of the substrate. Since it pushed out, it can dry the board | substrate with little liquid scattering from the upper surface of a board | substrate.

그 결과, 건조공간에 미스트형상으로 액체가 비산하지 않고, 또한 장치 내면에 액체가 부착하지도 않게 되어 파티클의 발생을 저감할 수 있어 생산율이 향상한다.As a result, liquid does not scatter in the dry space in the form of a mist and liquid does not adhere to the inner surface of the device, thereby reducing the generation of particles and improving the production rate.

Claims (6)

기판의 반송로, 반송로 내의 공기를 배기하는 상부 배기수단, 기판의 반송방향을 기준으로 하여 상기 상부 배기수단보다도 하류쪽에 배치되고 기판 윗면과의 사이에 상류쪽을 향하여 공기가 흐르는 간극을 형성하는 상부 정류판 및 이 상부 정류판에 근접한 하류쪽에 배치되고 반송되는 기판의 윗면에 상류쪽을 향하여 공기를 내뿜는 상부 에어나이프를 구비하는 기판 건조장치로서,An upper exhaust means for evacuating air in the conveying path, a substrate disposed on a lower side than the upper exhaust means based on the conveying direction of the substrate, and forming a gap in which air flows upstream between the upper surface of the substrate and the upper exhaust means; A substrate drying apparatus having an upper rectifying plate and an upper air knife that blows air upstream on an upper surface of a substrate disposed and transported downstream of the upper rectifying plate. 상기 반송로는 위 커버와 아래 커버로 나누어 이루어지고, 위 커버에는 상기 상부 정류판이 상하위치 조정 가능하게 장치되며, 아래 커버에는 하부 정류판이 장치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 건조장치.The conveying path is divided into an upper cover and a lower cover, the upper cover is provided with the upper rectifying plate to be adjustable up and down position, the lower cover is a substrate drying apparatus characterized in that the lower rectifying plate is provided. 제1항에 있어서, 이 기판 건조장치는, 반송로 내의 공기를 배기하는 하부 배기수단, 기판의 반송방향을 기준으로 하여 상기 하부 배기수단보다도 하류쪽에 배치되고 기판 아랫면과의 사이에 상류쪽을 향하여 공기가 흐르는 공간을 형성하는 하부 정류판 및 이 하부 정류판에 근접한 하류쪽에 배치되고 반송되는 기판의 아랫면에 상류쪽을 향하여 공기를 내뿜는 하부 에어나이프를 추가로 구비하는 기판 건조장치.The substrate drying apparatus according to claim 1, wherein the substrate drying apparatus is disposed on a lower side of the lower exhaust means for evacuating air in the conveying path and on a lower side of the lower exhaust means on the basis of the conveying direction of the substrate and is located upstream between the lower surface of the substrate. And a lower air knife which blows the air toward the upstream side of the lower rectifying plate forming a space in which air flows, and a lower surface of the substrate disposed downstream of the lower rectifying plate and being conveyed. 삭제delete 제1항에 있어서, 상기 위 커버와 상부 에어나이프 사이 및 아래 커버와 하부 에어나이프 사이에는 에어나이프로부터의 공기 확산을 방지하는 상부 슬라이드 커버 및 하부 슬라이드 커버가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 건조장치.2. A substrate drying apparatus according to claim 1, wherein an upper slide cover and a lower slide cover are installed between the upper cover and the upper air knife and between the lower cover and the lower air knife to prevent air diffusion from the air knife. . 제1항에 있어서, 상기 반송로 내의 상부 배기수단의 근방에는 기판 표면으로부터의 액체방울을 상부 배기수단으로 유도하는 동시에 상부 배기수단에 의한 흡인력으로 기판이 부상하는 것을 방지하는 배기용 정류판이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 건조장치.The exhaust rectifying plate of claim 1, wherein an exhaust rectifying plate is provided near the upper exhaust means in the conveying path to guide the liquid droplets from the surface of the substrate to the upper exhaust means and to prevent the substrate from floating by the suction force by the upper exhaust means. There is a substrate drying apparatus. 삭제delete
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