KR100346045B1 - 박막트랜지스터 액정표시장치용 어레이기판 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 액정표시장치의 어레이기판에 관한것으로, 어레이 형성과정 중 데이타배선 간의 정전기 발생을 방지하기 위해, 상기 데이타배선을 형성하기 전에 다수의 데이터배선과 동시에 접촉하는 액티브라인을 형성하면 데이터배선간에 발생하는 정전기를 방지하는 효과가 있다.
Description
본 발명은 박막트랜지스터형 액정표시장치(TFT-LCD)의 어레이기판에 관한 것으로, 더 상세하게는 데이터배선(data line)과 게이트배선(gate line)을 포함하는 어레이기판의 형성과정 중 상기 데이터배선 간의 정전기 발생을 방지하기위한 어레이기판 형성방법에 관한 것이다.
일반적으로, 액정표시장치는 크게 표시부(display part)와 패드부(pad part)로 나눌수 있다.
상기 표시부는 액정패널(LC Panel)로서 액정을 사이에 둔 두개의 투명기판으로 구성되며, 이러한 액정패널의 한쪽 기판에는 공통전극(common electrod)이 형성되고, 다른쪽 기판은 어레이기판으로서, 복수개의 화소(Piexl)에 대응하여 각 화소를 구동하는 다수의 박막트랜지스터가 형성된다.
상기 패드부는 상기 게이트배선에 신호전압(signal voltage)을 인가하는 게이트패드(gate pad)와 상기 소스배선에 데이타전압(data voltage)을 인가하는 소스패드(source pad)로 구성된다.
일반적으로, 상기 게이트패드는 상기 표시부의 양측에 접하여 각각 구성되고, 소스패드는 상기 게이트패드와 마주보지 않는 일측에 접하여 구성된다.
전술한 어레이기판을 형성하기 위해서는 공정별로 증착(deposition), 포토리소그라피(photolithography), 식각(etching) 등을 반복하면서 각각의 요소들을 형성하게 된다.
상기 공정 중 식각공정은 식각방법에 따라 식각되는 방향이 정해 지며, 식각되는 물질에 따라 식각되는 수단도 달라질 수 있다.
예를 들어, 식각방법은 크게 건식식각(dry etching)과 습식식각(wet etching)으로 나눌 수 있으며, 상기 습식식각은 등방적으로 식각됨으로 측면식각이 동시에 행해지는 것이 특징이다. 반대로 상기 건식식각은 비등방적 식각이 필요한 경우에 많이 행하게 된다. 일반적으로 상기 습식식각은 화학약품을 식각액으로 사용하나, 상기 건식식각은 식각액이 아닌 가스를 이용하여 식각을 하게된다.
상기 건식식각은 식각가스를 플라즈마(plasma) 상태로 두어 상기 식각가스와 식각될 부분의 물질이 반응하도록 하여 식각부분을 제거하는 경우와, 이온빔(Ion beam)을 이용하여 식각부분을 제거하는 경우를 예를 들 수 있다.
상기 방법들은 높은 전계를 필요로 하며, 이러한 건식식각 방법을 사용할 경우에는 기존에 형성된 배선 등에 정전기를 발생시킬 가능성이 매우 크며, 따라서 그 하부배선의 단선(open)이나 그 하부 배선과의 단락(short)을 초래할 수 있다.
그럼으로, 상기 다수의 게이트배선과 데이타배선을 형성할 경우에는 모든 배선들이 등전위를 가질 수 있도록 상기 다수의 배선들을 하나로 묶는단락배선(shorting bar)을 형성하였다.
도 1은 종래의 액정표시장치용 어레이기판의 일부를 도시한 평면도이다.
도시한 바와 같이, 액정표시장치용 어레이기판은 화소(P)와 상기 화소에 주사신호를 전달하는 게이트배선(13)과 상기 화소(P)에 데이터신호를 전달하는 데이터배선(19)으로 이루어 지며, 상기 게이트배선(13)과 데이터배선(19)의 교차지점에 스위칭 소자(A)가 형성되어 있다. 상기 스위칭 소자는 여러물질이 증착되고 패터닝되어 복합적으로 구성된 소자이며, 일반적으로 박막트랜지스터를 스위칭소자로 사용한다.
상기 게이트배선(13)의 일 끝단에는 소정면적의 게이트패드(11)가 형성되어 있고, 상기 게이트패드(11)는 게이트 단락배선(23)에 수직으로 연결되어 있다.
또한, 상기 데이터배선(13)의 일 끝단에는 소정면적의 데이터패드(15a)(15b)가 형성되어 있고, 상기 다수의 데이터패드중 홀수번째 데이터패드(15a)는 제 1 데이터단락배선(25)과 짝수번째 데이터패드(15b)는 제 2 데이터 단락배선(29)과 직교하여 형성된다.
또한, 상기 박막트랜지스터는 상기 게이트배선(13)과 연결된 게이트전극(10)과 상기 데이터배선(19)의 일부에서 돌출연장되어 형성된 소스전극(17)과 상기 소스전극(17)과 평면적으로 소정간격 이격된 드레인전극(18)으로 형성된다.
또한, 상기 소스전극(17)과 드레인전(18)과 게이트전극(10)에 중첩되어 채널의 역할을 하는 액티브층(16)을 포함한다.
전술한 구성에서 상기 게이트배선(13)과 소스배선(19)을 이루는 물질은 도전성금속이며, 상기 각 요소들을 전기적으로 절연하기 위한 절연층(미도시)은 실리콘 산화막(SiO2)이나 실리콘 질화막(SiNX)등의 절연물질을 사용하며, 상기 액티브층(16)은 아몰퍼스실리콘(a-Si)이나 폴리실리콘(p-Si)등의 반도전성 물질을 사용한다.
이때, 상기 물질 중 액티브층(16)과 절연층(미도시)은 주로 건식식각방법에 의해 패터닝되며, 상기 금속은 건식식각 방식과 습식식각 방식을 선택적으로 채택하여 패터닝 될 수 있다.
전술한 물질을 증착하고, 식각하는 공정이 반복되는 동안 기판에는 정전기가 발생하게 되며, 이러한 정전기는 배선의 단선이나, 배선간의 단락을 초래할 수있다.
따라서, 종래에는 전술한 바와같이, 다수의 게이트배선(13)과 데이터배선(19)을 형성할 때 각 배선을 홀수번째와 짝수번째로 나누어 각각 연결하는 게이트단락배선(23)과 데이터 단락배선(25)(29)을 형성하여 주었다.
그러나 전술한 단락배선은 홀수번째 간의 정전기나 짝수번째 간의 정전기는방지할 수 있었으나, 홀수번째와 짝수번째간에 발생하는 정전기에는 아무런 효과를 보지 못한다. 특히나 데이터배선의 경우에는 절연층과 반도체층과 가까이 위치함으로 상기 물질들의 식각 공정에 직접적인 영향을 받기 때문에 정전기 발생률이 더욱높다.
도 2는 상기 도 1의 A부분을 확대한 확대도로서, 종래의 박막트래지스터의구조를 확대하여 도시한 확대도평면도이다.
도시한 바와 같이, 박막트랜지스터의 게이트전극(10)은 상기 게이트배선(13)의 일부분에서 사각형 형상으로 돌출연장되어 형성되어 있다.
또한, 상기 박막트랜지스터의 액티브층(16)은 상기 제 1 액티브라인(도 1의 28 참조)에서 일방향으로 돌출연장되어 상기 게이트전극(10)의 상부에 형성되어 있고, 이때 상기 액티브패턴의 일부분은 C부분과 같이 상기 게이트전극(10)의 모서리부에 걸쳐 형성되었다.
전술한 액티브층의 구조는 건식식각에 의한 액티브층의 패턴공정 시, 상기 액티브층(16)에서 발생한 정전기로 인해 상기 액티브층이 그 하부의 게이트전극과 단락되는 정전기 불량을 초래할 수 있다.
더 자세히 설명하면, 상기 액티브층(16)과 상기 게이트전극(10)사이에는 제 1 절연층(미도시)이 형성되어 있고, 상기 액티브층(16)의 패턴공정중에 발생되는 정전기는 상기 절연층 및 그 하부의 게이트전극(10)으로 유입되어 국소적으로 존재하게 된다. 특히, 상기 게이트전극에 유입된 정전기는 상기 액티브층(16)의 하부에 위치한 게이트전극의 에지(edge)부분으로 모이게 된다.
이러한 정전기는 전하량은 매우 작지만 국소적으로 존재하기 때문에 그 전압은 매우 높아서 계속적인 액티브패턴 공정시 상기 액티브층(16)과 게이트전극(10)간의 단락(short)이 발생하게 되는 것이다.
따라서, 종래의 액정표시장치용 어레이기판은 전술한 바와 같이, 데이타배선의 단선발생과, 액티브패턴 공정 중 발생하는 정전기로 인한 게이트금속의 정전기불량발생으로 인해 제품의 수율이 상당히 저하되고 있다
따라서, 전술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해, 상기 어레이기판의 공정중 상기 데이터배선간에 발생하는 단선이나, 박막트랜지스터에서 발생하는 단락방지를 위한 액정표시장치용 어레이기판 형성방법을 제안하는데 그 목적이 있다.
도 1은 종래의 액정표시장치 어레이기판의 일부를 도시한 평면도이고,
도 2는 상기 도 1의 A부분을 확대한 확대도이고,
도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정표시장치 어레이기판의 일부를 도시한 평면도이고,
도 4는 상기 도 3의 Ⅵ-Ⅵ을 따라 절단한 단면을 도시한 완성된 공정단면도이고,
도 5는 상기 도 3의 B부분을 확대한 확대도이고,
도 6은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정표시장치의 어레이기판의 일부를 도시한 평면도이고,
도 7은 상기 도 6의 Ⅶ-Ⅶ을 따라 절단한 단면을 도시한 완성된 공정단면도이다.
<도면의 주요부분에 대한 간단한 설명>
113 : 게이트 단락배선 125 : 제 1 데이타 단락배선
133, 128 : 액티브라인 129 : 제 2 데이타 단락배선
전술한 바와같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 액정표시장치용 어레이기판 제조방법은 기판을 구비하는 단계와; 상기 기판상에 복수개의 데이터배선을 형성하는 단계와; 상기 데이터배선의 일 끝단에 형성되고, 외부로 연장된 연장부를 가지는 데이터패드부를 형성하는 단계와; 상기 복수개의 데이터패드 연장부를 통하여 홀수 번째 데이터배선들을 단락하는 제 1의 데이터 단락배선을 형성하는 단계와; 상기 복수개의 데이터패드 연장부를 통하여 짝수번째 데이터배선들을 단락하는 제 2의 데이터 단락배선을 형성하는 단계와; 상기 복수개의 데이터배선과 연장부를 포함하는 데이터패드와 제 1 또는 제 2 데이터 단락배선의 하부에 겹쳐지는 반도체층을 형성하는 단계와; 상기 반도체층과 동일층에 형성되고, 상기 다수의 연장부에 접촉된 반도체층에서 좌/우로 수직연장하여 전체 데이터배선을 단락하는 제 3 데이터 단락배선을 형성하는 단계를 포함한다.
상기 제 3 데이터 단락배선은 반도체 물질인 것을 특징으로 한다.
상기 데이터 배선을 형성하는 공정 후에, 상기 다수의 데이터 배선 사이의 액티브 라인의 일부를 식각하는 단계를 더욱 포함한다.
상기 제 1, 제 2, 제 3의 단락배선과 상기 연장부의 일부를 상기 기판을 절단하여 제거하고, 상기 데이터배선들을 각각 절연하는 단계를 더욱 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 특징에 따른 액정표시장치용 어레이기판 제조방법은 기판을 구비하는 단계와; 상기 기판상에 형성된 복수개의 게이트배선과 상기 게이트배선에 일방향으로 돌출된 게이트전극을 형성하는 단계와; 상기 게이트배선과 교차하는 데이터배선과, 상기 데이터배선의 일 끝에 형성되고 외부로 연장된 연장부를 같는 데이터패드와 상기 데이터배선에서 일방향으로 돌출된 소스전극과 이와는 소정간격 이격된 드레인전극을 형성하는 단계와; 상기 게이트배선과 상기 데이터배선 사이에서 상기 게이트배선과는 교차하고, 상기 데이터배선과 데이터패드와 상기 게이트, 소스, 드레인 전극과 중첩되도록 반도체층을 형성하는 단계와; 상기 복수개의 데이터패드 연장부를 통하여 짝수번째 데이터배선을 단락하는 제 1의 데이터 단락배선을 형성하는 단계와; 상기 복수개의 데이터패드 연장부를 통하여 홀수번째 데이터배선을 연결하는 제 2의 데이터 단락배선을 형성하는 단계와; 상기 데이터패드 연장부에 접촉된 반도체층에서 좌우로 수직연장하여 상기 전체 데이터패드를 단락하는 제 3 데이터 단락배선을 형성하는 단계를 포함한다.
상기 제 3 데이터 단락배선은 반도체 물질인 것을 특징으로 한다.
상기 제 3 데이터 단락배선은 상기 반도체층과 동시에 동일층에 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 제1, 제2. 제3의 단락배선과 상기 연장부 일부를 상기 기판을 절단하여 제거하고, 상기 데이터배선들을 각각 절연하는 단계를 포함한다.
상기 반도체층은 상기 게이트전극과 측면부만 중첩하는 것을 특징으로 한다.
이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하도록 한다.
-- 제 1 실시예--
본 발명의 제 1 실시예에 따른 박막트랜지스터용 어레이기판 제조방법은 홀수번째와 짝수번째의 데이터배선 간의 정전기발생을 방지하기 위해 상기 홀수번째와 짝수번째의 데이타배선을 동시에 직교하여 지나가는 액티브라인을 형성한다. 이와같은 구조는 상기 데이타배선이 상기 액티브라인을 형성하는 반도체물질에 의해 동시에 연결되어 등전위를 형성하도록 하는 구조이다.
이하 도면을 참조하여 전술한 구성에 대해 알아보도록 한다.
도 3은 종래의 액티브 매트릭스형태인 어레이기판의 일부를 도시한 평면도 이다. 도시한 바와 같이, 액정표시장치의 어레이기판(109)을 구성하는 요소는 크게 박막트랜지스터(B)와 화소(P)와 게이트패드(111)와 게이트배선(113)을 포함하는 게이트라인(G) 및 데이타패드(115a,115b)와 데이타배선(119)을 포함하는 데이타라인(D)으로 구성된다.
상기 박막트랜지스터(B)는 소스전극(117)과 드레인전극(118)사이에 채널역할을 하는 액티브층(116)과 게이트전극(110)으로 구성되며, 상기 게이트전극(110)은 상기 게이트배선(113)에서 소정의 면적으로 돌출연장하여 형성하고, 상기 소스전극(117) 또한, 상기 데이타배선(119)의 일부에서 돌출연장하여 형성한다.
또한, 상기 게이트패드(gate pad)(111)와 데이타패드(data pad)(115a,115b)는 신호를 받거나 보내는 역할을 한다.
이때, 상기 다수의 게이트배선(113)과 데이타배선(119)은 각각 하나의 배선으로 연결 형성되며, 이를 일반적으로 단락배선(shorthing bar)(123)(125)(129)이라 한다.
상기 단락배선은 상기 다수의 배선을 등전위상태로 만들어 주기 때문에 어레이기판의 형성시 발생하는 정전기에 의한 배선의 단선이나 단락을 막는 역할을 한다.
상기 게이트배선(111)의 게이트단락배선(123)은 액정패널의 양끝단에 형성되며, 일측의 게이트단락배선은 상기 게이트패드(111)의 홀수번째 게이트패드를 모두 연결하고 있고, 타측의 게이트단락배선(미도시)은 상기 짝수번째 게이트패드를 모두 연결하여 형성한다.
물론 전술한 경우와 반대의 경우도 가능하다.
이 때, 상기 데이타패드(115a,115b)의 단락배선 중 홀수번째 데이타패드(115a)를 연결하는 제 1 데이타단락배선(125)은 상기 게이트단락배선(123)과 동일층에 하고, 짝수번째 데이타패드(115b)를 연결하는 제 2 데이타단락배선(129)은 데이타배선(119)과 동일층에 형성한다.
또한, 상기 제 1 데이타단락배선(125)은 아랫방향으로 소정의 면적으로 돌출연장된 연장부(124)를 포함하며, 상기 다수의 홀수번째 데이타패드는 상기 연장부(124)상에 형성된 단락배선콘택홀(127)을 통해 전기적으로 접촉함으로써 상기 제 1 데이터단락배선(125)에 연결되어 비로소 홀수번째 데이타배선이 등전위를 형성하게 된다.
이 때, 전술한 구성을 갖는 어레이기판에서 데이터배선(119)에 정전기가 발생하며, 이를 방지하기 위해 상기 데이터배선(119)을 형성하기전 액티브라인(133, 128)을 구성하여 준다.
이하 공정 단면도를 참고로 하여 상기 데이터배선의 단선에 대해 자세히 알아보도록 한다.
도 4는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ를 따라 절단한 단면도로서, 상기 액티브라인(도 3의 133,138 참조)과 상기 데이타패드(115a)의 완성된 공정단면도를 나타내었다.
전술한 공정단면도를 참고로 이하 데이타패드부의 대략적인 공정과정을 설명하도록 한다.
도시한 바와 같이, 도전성금속을 증착하고 패터닝하여 연장부(124)를 포함한 제 1 데이타단락배선(125)을 형성한다.
다음으로, 제 1 절연층(126)과 진성반도체층과 불순물 반도체층을 적층한다.
상기 진성반도체층과 상기 불순물반도체 층을 통합하여 액티브층이라 칭한다.
상기 액티브층은 추후 형성될 데이타패드와 데이터배선과 동일한 형상인 제1 액티브라인(128)과, 이와는 독립적으로 형성되며 상기 데이터패드에서 연장된 데이터패드연결라인(134b)과는 수직으로 연장되어 형성되는 제 2 액티브라인(133)으로 패터닝된다.
다음으로, 상기 패터닝된 액티브라인(128,133)상에 전술한 제 1 금속층과 유사한 도전성금속을 증착하여 제 2 금속층을 형성한다.
다음으로, 상기 제 2 금속층을 패터닝하되 데이터패드연결라인(134b)을 지나가는 제 2 액티브라인(133)을 제외한 상기 제 1 액티브라인(128)과 평면적으로 겹쳐지도록 데이타배선(119)과 데이터패드(115a)를 형성한다.
이때, 상기 데이타패드(115a)는 데이터패드 연결라인(134b)에 의해 상기 데이타단락배선(129)과 연결된다.
다음으로, 상기 데이타배선 등이 형성된 기판의 전면에 제 2 절연층(135)을 형성한다.
다음으로, 상기 연장부(124)상의 제 1 절연층(126)과 제 2 절연층(135)을 식각하여 형성한 데이타단락배선 콘택홀(127)과 상기 데이타패드(115a)상부의 제 2 절연층(135)을 식각하여 형성한 데이타패드 콘택홀(136)을 통해 동시에 접촉되는 데이터패드단자(138)를 형성한다.
또한, 도시하지는 않았지만 상기 데이터패드 중 짝수번째 데이터패드는 상기 데이타패드 콘택홀(미도시)을 통해 전기적으로 연결되는 데이타패드단자(미도시)가 형성된다.
전술한 방법으로 형성된 구성 중, 상기 데이터패드연결라인(34b)은 전술한액티브라인(133)과 수직으로 직교하여 형성된다.
따라서, 상기 액티브라인(133)에 의해 상기 홀수번째 와 짝수번째 데이터배선이 전기적으로 연결되어 등전위를 이루게 된다.
도 5는 도 3의 B부분을 확대한 평면확대도로서, 박막트랜지스터의 평면구성을 도시하고 있다.
본 실시예에서는 액티브층(116)과 상기 게이트전극(110)의 모서리부에서 발생하는 종래의 박막트랜지터의 정전기 발생문제를 해결 하기위해, 박막트랜지스터의 액티브층(116)을 패터닝 할 때, 상기 사각형상으로 돌출연장된 게이트전극(110)의 모서리부분(A)을 피해 상기 액티브층(116)을 패터닝하여 형성하였다.
따라서, 상기 게이트전극(110)의 모서리부의 국소전압에 의한 상기 액티브층(116)과의 단락을 방지할 수 있다.
-- 제 2 실시예--
본 발명의 제 2 실시예는 상기 제 1 실시예의 다른 변형예로서, 상기 홀수번째와 짝수번째 데이터배선을 연결하는 액티브라인을 연결할 경우, 상기 데이터배선하부에 일방향으로 형성되는 액티브층에서 연장하여 형성하는 방법을 제안한다.
도 4를 참조하여 도시한 바와 같이, 액티브라인의 단차부인 E 의 a부분과 b부분의 단차에 의해 데이터패드연결라인(134a)(134b)이 단선 될 수 있는 가능성을 배제할 수 없기 때문이다. 이러한 경우는 포토리소그라피 과정에서, 상기 액티브라인의 단차부분에서 상기 포토레지스트가 약간이나마 부착력을 잃을 수 있고, 이로인해 식각 용액이 상기 부착력을 잃은 포토레지스트의 하부 데이터배선 부분까지 식각하게되는 경우이다.
이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 제 2 실시 예를 설명하도록 한다.
도 6은 본 발명에 따른 액정표시장치 어레이기판의 일부를 보인 평면도로서, 전술한 바와 같이 어레이기판(200)의 구성은 크게 박막트랜지스터(C)와, 일 끝단에 소정의 면적을 가지고 게이트패드(201)가 형성되는 게이트배선(203)과, 상기 게이트배선(203)과는 상기 박막트랜지스터를 중심으로 교차하며, 일 끝단에 소정의 면적을 가지고 데이터패드(205,206)가 형성되는 데이터배선(207)과, 상기 게이트배선(203)과 데이터배선(207)에 의해 정의되는 화소(P)로 구성된다.
상기 구성을 참고로, 이하 본 실시예에 따른 어레이기판을 설명하도록 한다.
도시한 바와 같이, 먼저 상기 게이트배선(203)에 연결된 게이트패드(201)는 게이트단락배선(215)에 동시에 연결되어 형성되고, 동시에 게이트단락배선(215)과는 평행하지 않고, 일방향으로 돌출연장되어 소정의 면적을 갖는 연장부(211)를 포함한 제 1 데이터단락배선(221)을 형성한다.
이때, 상기 박막트랜지스터(C)가 형성되는 위치에서 상기 게이트배선(203)의 일부가 사각형 형상으로 돌출연장된 게이트전극(209)을 형성한다.
다음으로, 상기 게이트배선 등이 형성된 기판상에 제 1 절연층(미도시)과 진성반도체층과 옴익콘택층을 연속으로 적층하고, 상기 진성반도체층과 옴익콘택층으로 구성된 액티브층을 소정의 형상으로 패터닝한다.
상기 액티브층의 패턴은 상기 액티브층 상에 형성되고 패터닝되는 제 2 금속층의 패턴과 동일하게 한다.
즉, 상기 액티브층은 추후에 형성될 데이타패드(205, 206)와 데이타배선(207)과 제 2 데이타단락배선(225)과 평면적으로 겹쳐지는 제 1 액티브라인(223)을 형성하고, 동시에 상기 제 1 액티브라인(223)에서 일방향으로 돌출 연장되어 상기 게이트전극(209)상부에 소정의 면적을 갖는 액티브층(208)을 형성한다.
이때, 상기 데이터패드(205, 206)에서 상기 단락배선(221,225)으로 연장된 데이터패드 연결라인(227)부분의 제 1 액티브라인(203a)에서 양방향으로 수직으로 연장되어 이어진 제 2 액티브라인(224)을 형성하여 준다.
그럼으로, 상기 제 1 액티브라인(223)과 제 2 액티브라인(224)은 전기적으로 서로 연장되는 결과를 얻을 수 있으며, 이는 액티브라인(223,224)이 등전위를 형성하는 구조가 되었음을 알 수 있다.
다음으로, 상기 액티브라인(223, 224)이 형성된 기판에 제 2 금속층을 형성한다.
다음으로 상기 제 2 금속층을 패터닝하여, 데이터배선(207)과, 상기 데이터배선의 일끝단에 소정의 면적을 가지고 연장된 데이터패드(205)와 제 2 데이터단락배선(225)과, 상기 데이터배선(207)의 일부분에서 일방향으로 돌출연장된 소스전극(211)과, 상기 소스전극과 소정간격 이격된 드레인전극(212)을 형성한다.
상기 데이터패드(205)와 데이터배선(207)과 제 2 데이타단락배선(225)은 상기 패터닝된 제 1 액티브라인(223, 203a)과 평면적으로 겹쳐 형성된다.
이때, 제 2 데이터단락배선(225)은 상기 짝수번째 데이타패드(206)를 모두 연결하면서 형성된다.
도시한 바와 같이, 전술한 구성은 상기 데이터패드연결라인(224) 하부에 패터닝된 제 1 액티브라인(203a)에서 연장된 상기 제 2 액티브라인(224)과 상기 데이터패드 연결라인(227)의 직교부인 F부분에 단차가 발생하지 않아, 단차에 의한 식각용액의 침입이 없고 결과적으로 상기 데이터배선 패턴시 단선이 발생하지 않는다.
또한, 상기 제 2 액티브라인이 상기 제 1 액티브라인에 연장되어 형성되기 때문에 액티브라인 간의 정전기발생을 방지할 수 있다.
도 7은 도 6의 Ⅶ-Ⅶ를 따라 절단한 단면을 도시한 단면도로서, 어레이기판의 일부분으로서 홀수번째 데이터패드(205)와 이를 동시에 연결하고 상기 데이터패드연결라인(227)을 포함하는 제 1 데이터단락배선(221)과, 상기 제 1 데이터단락배선(221)과 소정간격으로 평행한 제 2 데이터단락배선(225)의 단면을 도시하고 있다.
도시한 바와 같이, 상기 데이터패드연결라인(227)과 그 하부에서 직교하는 액티브라인(224)과의 교차부인 F부분에는 단차가 존재하지 않는다.
이는 앞에서도 설명하였지만, 상기 데이터패드연결라인(227)을 수직으로 지나가는 제 2 액티브연결라인을 상기 데이터패드연결라인(227) 하부의 제 1 액티브라인(223)에서 연장하여 형성함으로써, 전술한 종래의 어레이기판처럼 데이터패드연결라인(227)이 교차하는 상기 액티브라인(224)에 단차가 발생하지 않는다.전술한 제 1 실시예와 제 2 실시예에서, 상기 다수의 데이터 배선을 전기적으로 하나로 연결하는 액티브 라인은 상기 데이터 배선을 형성하는 공정 중 발생하는 정전하를 외부로 방전하는 역할을 하기 때문에, 데이터 배선을 형성하는 공정 중 데이터 배선이 단선 되거나, 데이터 배선들이 단락되는 현상이 발생하지 않는다.도시하지는 않았지만, 상기 데이터 배선을 형성하는 공정을 완료한 후, 상기 짝수 번째 데이터 배선과 홀수 번째 데이터 배선 사이를 지나가는 액티브라인의 일부를 식각하여, 홀수 번째 데이터 배선과 짝수 번째 데이터 배선을 전기적으로 플로팅하는 공정을 더욱 진행한다.이와 같이 한 후, 상기 데이터 배선을 홀수 번째와 짝수 번째로 나누어 전기적인 테스트를 진행하면 된다.
따라서, 전술한 바와같이 본 발명에 따른 액정표시장치 어레이기판은 다수의 홀수번째 데이터패드와 짝수번째 데이터패드를 연결하는 액티브라인을 형성함으로써, 홀수번째와 짝수번째 데이터배선간의 정전기 발생을 방지하는 효과가 있다.
또한, 상기 액티브라인을 모두 연결하여 등전위를 형성함과 동시에 상기 박막트랜지스터의 액티브층 패턴시 상기 게이트전극의 모서리부를 피해 형성함으로서
상기 액티브층과 그 하부의 게이트금속의 정전기불량을 방지할 수 있는 효과가 있다.
Claims (11)
- 기판을 구비하는 단계와;상기 기판상에 복수개의 데이터배선을 형성하는 단계와;상기 데이터배선의 일 끝단에 형성되고, 외부로 연장된 연장부를 가지는 데이터패드부를 형성하는 단계와;상기 복수개의 데이터패드 연장부를 통하여 홀수 번째 데이터배선들을 단락하는 제 1의 데이터 단락배선을 형성하는 단계와;상기 복수개의 데이터패드 연장부를 통하여 짝수번째 데이터배선들을 단락하는 제 2의 데이터 단락배선을 형성하는 단계와;상기 복수개의 데이터배선과 연장부를 포함하는 데이터패드와 제 1 또는 제 2 데이터 단락배선의 하부에 겹쳐지는 반도체층을 형성하는 단계와;상기 반도체층과 동일층에 형성되고, 상기 다수의 연장부에 접촉된 반도체층에서 좌/우로 수직연장하여 전체 데이터배선을 단락하는 제 3 데이터 단락배선(액티브라인)을 형성하는 단계를 포함하는 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 3 데이터 단락배선은 반도체 물질인 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.
- 제 2 항에 있어서,상기 제 3 데이터 단락배선은 상기 반도체층과 동시에 동일층에 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 데이터 배선을 형성하는 공정 후에, 상기 다수의 데이터 배선 사이의 액티브 라인을 식각하는 단계를 더욱 포함하는 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 1, 제 2, 제 3의 단락배선과 상기 연장부의 일부를 상기 기판을 절단하여 제거하고, 상기 데이터배선들을 각각 절연하는 단계를 더욱 포함하는 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.
- 기판을 구비하는 단계와;상기 기판 상에 형성된 복수개의 게이트배선과 상기 게이트배선에 일방향으로 돌출된 게이트전극을 형성하는 단계와;상기 게이트배선과 교차하는 데이터배선과, 상기 데이터배선의 일 끝에 형성되고 외부로 연장된 연장부를 같는 데이터패드와 상기 데이터배선에서 일방향으로 돌출된 소스전극과 이와는 소정간격 이격된 드레인전극을 형성하는 단계와;상기 게이트배선과 상기 데이터배선 사이에서 상기 게이트배선과는 교차하고, 상기 데이터배선과 데이터패드와 상기 게이트, 소스, 드레인 전극과 중첩되도록 반도체층을 형성하는 단계와;상기 복수개의 데이터패드 연장부를 통하여 짝수번째 데이터배선을 단락하는 제 1의 데이터 단락배선을 형성하는 단계와;상기 복수개의 데이터패드 연장부를 통하여 홀수번째 데이터배선을 연결하는 제 2의 데이터 단락배선을 형성하는 단계와;상기 데이터패드 연장부에 접촉된 반도체층에서 좌우로 수직연장하여 상기 전체 데이터패드를 단락하는 제 3 데이터 단락배선(액티브 라인)을 형성하는 단계를 포함하는 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.
- 제 6 항에 있어서,상기 제 3 데이터 단락배선은 반도체 물질인 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.
- 제 7 항에 있어서,상기 제 3 데이터 단락배선은 상기 반도체층과 동시에 동일층에 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.
- 제 6 항에 있어서,상기 데이터 배선을 형성하는 공정 후에, 상기 다수의 데이터 배선 사이의 액티브 라인을 식각하는 단계를 더욱 포함하는 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.
- 제 6 항에 있어서,상기 제1, 제2. 제3의 단락배선과 상기 연장부 일부를 상기 기판을 절단하여 제거하고, 상기 데이터배선들을 각각 절연하는 단계를 포함하는 액정표시치용 어레이기판.
- 제 6 항에 있어서,상기 반도체층은 상기 게이트전극과 측면부만 중첩하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.
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