KR100190478B1

KR100190478B1 - 중공체 및 중공체 장착 밸브

Info

Publication number: KR100190478B1
Application number: KR1019910016523A
Authority: KR
Inventors: 위르겐부흐홀쯔; 마르틴마이어; 우도외르니크; 한스-페테르트라흐
Original assignee: 클라우스 포스, 게오르그 뮐러; 로베르트 보쉬 게엠베하
Priority date: 1990-09-21
Filing date: 1991-09-20
Publication date: 1999-06-01
Anticipated expiration: 2011-09-20
Also published as: EP0476298B1; KR920006635A; DE4112150C2; DE59103408D1; JPH04272475A; EP0476298A1; DE4112150A1; ES2064831T3; US5402937A

Abstract

제 1 매체 예를들어 연료를 공급하기 위한 분출구와, 제 2 매체 예를들어 가스를 공급하기 위한 통로를 특히 정확하게 구성하고, 이에 의해 양 매체의 정확한 조량을 보증하고, 또한 후조정의 필요가 없도록 할수 있다. 적어도 하나의 분출구를 갖는 상부소판과, 통류구를 갖는 하부소판으로 이루어지고, 상기 상부소판과 하부소판과의 사이에 적어도 하나의 통로를 형성하고 있는 중공체에 있어서, 상부소판(24)의 적어도 하나의 분출구(60)과 하부소판(25)의 통류구(66)가 중합되어 있는 또한 적어도 하나의 통로(28)가 상하의 양 소판(24,25)의 외주와 상기 통류구를 연락하는 구성으로 되어 있다.

Description

중공체 및 중공체 장착 밸브

제 1도는 본 발명에 따라 구성된 연료분사 밸브의 실시예의 부분 종단면도.

제 2도는 제 1 실시예에 의한 중공체의 단면도.

제 3도는 제 2도의 선 Ⅲ-Ⅲ을 따른 단면도에 상당하는 하부소형판의 평면도.

제 4도는 제 2도의 화살표 Ⅹ방향으로 본 제 1 실시예에 따른 중공체의 평면도.

제 5도는 제 3도에 도시된 중공체 단면도에 상당하는 제 2 실시예에 대한 하부소형판의 평면도.

제 6도는 제 3 실시예에 따른 중공체의 단면도.

제 7도는 제 6도의 선 Ⅶ-Ⅶ을 다른 단면도에 상당하는 상부소형판의 하면도.

제 8도는 제 4 실시예에 따른 중공체의 단면도.

제 9도는 제 5 실시예에 따른 중공체의 단면도.

제 10도는 제 6 실시예에 따른 중공체의 단면도.

제 11도는 제 10도의 선 XI-XI을 따른 단면도에 상당하는 하부소형판의 평면도.

제 12도는 제 14도의 선 XII-XII을 따른 제 7 실시예에 따른 중공체의 단면도.

제 13도는 제 12도의 선 XIII-XIII을 따른 단면도.

제 14도는 제 13도의 선 XIV-XIV을 따른 단면도에 상당하는 상부소형판의 하면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 밸브 종축선 2 : 노즐 본체

5 : 유동 통로 8 : 밸브 유닛

9 : 밸브 개폐부 10 : 밸브절단면

11 : 가이드부분 13 : 상부안내고리

14 : 하부안내고리 16 : 회전자계

17 : 가동자 18 : 전자 코일

19 : 원통형의 통류부분 20 : 유동구

22 : 중공체 24 : 상부소형판

25 : 하부소형판 26 : 하단면

27 : 상단면 28, 28' : 통로

29 : 분출단부 30 : 오목부

33 : 공급홈 34 : 단면

36 : 공급부시 40 : 저부

42 : 맞닿음단부 43 : 맞닿음면

44 : 혼합구 45 : 혼합기 분출구

47 : 제 1 환상홈 48 : 밀봉링

50 : 제 2 환상홈 51 : 제 3 환상홈

60 : 절단각추형 분출구 61 : 외측면

62, 63 : 대칭축선 64 : 오목부

65, 65; : 유입실 66 : 통류구

67 : 사각형 바닥 69, 69' : 하부통과홈

73 : 사각형 바닥 80 : 상단면

81 : 측면 82, 82' : 상부통과홈

84,84' : 오목부 85 : 사각형 바닥

88 : 제 1 대칭선 89 : 제 2 대칭선

90 : 사각형 바닥 90' : 테이퍼바닥

91 : 모서리

본 발명은 청구범위 제 1항에 기재된 적어도 하나의 분출구를 갖는 상부소형판과, 통류구를 갖는 하부소형판으로 이루어지며, 상기 당부소형판과 하부소형판 사이에 적어도 하나의 통로를 형성하고 있는 중공체, 및 청구범위 제 15항에 기재한 밸브 시트면과 협동하는 밸브폐쇄 부분과, 상기 밸브 시트면의 하류측에 배치한 중공체를 장착한 밸브, 특히 내연기관에 연료-가스 혼합기를 공급하기 위한 연료분사밸브에 관한 것이다.

연료-가스 혼합기를 분사하기 위한 연료분사 밸브가 그 하류측단부에 금속박판제의 가스 가이드 슬리브를 갖고 있음은 독일 연방공화국 특허출원 공개 제 3240554호 명세서를 기초로 하여 공지되어 있다. 연료분사 밸브의 분출구는 가스 가이드 슬리브의 바로 인접한 부분에서, 가스 환형 통로와 연통 하는 가스 환형 캡에 의해 둘러싸여 있다. 가스량을 조절하는 가스 환형 캡을 내연기관의 필요조건에 적합시키기 위해서는, 가스 환형 캡의 피할 수 없는 제작 오차외에도 각각의 연료분사 밸브에 있어서 가스량을 측정한 다음 가스 가이드 슬리브를 그에 따라 만곡 또는 시프트하는 것, 즉 조정할 필요가 있다. 이 조정 조작을 달성하기 위해서는 높은 노동력 투하량과 소요 경비가 필요하므로 공지의 연료분사량은 대량 생산임에도 불구하고 비용이 많이든다.

또, 두개의 규소소형판으로 이루어지는 중공체를 사용한 연료분사 밸브가 유럽 특허출원 공개 제 0354659호 명세서를 기초로 하여 공지이다. 이 경우, 상기 소형판의 분출구와 하부소형판의 통류구는 서로 엇갈려 위치되어 있다, 그러나 상하 양 소형판은 단지 연료를 조제 혹은 조량하기 위한 것에 지나지 않으며, 상기 연료를 둘러싸는 가스를 조량하기 위해 사용되는 것은 아니다.

본 발명의 과제는 제 1 매체, 예를 들면 연료를 공급하기 위한 분출구와, 제 2매체, 예를들면 가스를 공급하기 위한 통로를 특히 정확히 구성하고, 이에 의해 양 매체의 정확한 조량을 보증하고, 게다가 후조정의 필요가 없게 하는 것이다.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 중공체의 구성수단은 상기 소형판의 적어도 하나의 분출구와 하부소형판의 통류구가 중합되어 있으며, 또 적어도 하나의 통로가 상하 양 소형판의 외주와 상기 통류구를 연락하고 있는 점에 있다.

중공체를 이렇게 구성하면 극히 좁은 공간에 있어서 양 매체의 정확하면서도 균질한 혼합 혹은 극히 미소한 액체 안개방울이 단순한 방식으로 얻어진다.

또 본 발명에 따른 중공체 장착 밸브의 구성 수단은 중공체가 상기 밸브 시트면을 향하고 있고 적어도 하나의 분출구를 갖는 상부소형판과, 상기 상부소형판에 접하고 있고 통류구를 갖는 하부소형판으로 이루어지며, 또 상기 상부 소형판과 하부소형판이, 적어도 하나의 통로를 형성하고 있으며, 상기 통로를 거쳐 가스가 공급되고, 또 적어도 하나의 분출구를 통하여 송출되는 연료를 향해 방위되어 있는 점에 있다.

중공체 장착 밸브 통로를 이와 같이 정확히 구성한 것을 기초로 하여 극히 좁은 공간에 있어서 연료의 조량 및 상기 연료를 포위하여 조제하는 가스의 조량이 가능해지며, 도 조립 완료된 연료분사 밸브에 있어서 다시 조량가스량의 조량이 필요해지는 일이없다.

이와 같이, 극히 좁은 공간에 있어서 연료 조량 동작과 가스조량 동작이 조합됨으로써 극히 우수한 연료 조제가 얻어진다. 중공체내에 있어서의 통로의 적정 위치에 의해 단수 혹은 복수의 연료분류에 대해 겨냥대로 가스를 방위시킬 수 있게 된다.

본 발명의 중공체는 청구범위 제 2항 이하에 기재한 수단에 의해, 또 본 발명의 중공체 장착 밸브는 청구범위 제 16항 이하에 기재한 수단에 의해 더 한층 개선시킬 수 있다.

연료와, 상기 연료에 방위된 가스를 특히 정확히 조량하기 때문에, 상부소형판과 하부소형판이 단결정질의 규소로 구성되어 있으며, 또 상부소형판 및 하부소형판의 상기 분출구, 통류구, 통과홈 및 오목부가 이방성 에칭에 의해 성형되어 있는 것이 유리하다. 상기 상하 양 소형판은 이리하여 간단한 방식으로 제작할 수 있을 뿐아니라, 또 현저히 높은 제작 정밀도를 갖고 있다.

상부소형판과 하부소형판을 저부에 의해 서로 접합하고, 이리하여 양 소형판간의 확실한 결합부를 만드는 것이 유리하다.

적어도 하나의 통로를 간단하고도 저렴하게 구성하기 위해서도, 상부소형판에 면한 하부소형판의 상단면내에, 적어도 하나의 하부통과홈이 성형되어 있으며, 상기 하부통과홈이 상기 하부소형판에 대면한 상기 소형판의 하단면과 짝을 이루어 적어도 1개의 통로를 형성하고 있는 것이 특히 유리하다. 같은 이유를 기초로 하여, 하부소형판에 면한 상부소형판의 하단면내에 적어도 하나의 상부통과홈이 성형되어 있으며, 상기 상부통과홈이 상기 상부소형판에 대면한 하부소형판의 상단면과 짝을 이루어 적어도 하나의 통로를 형성하고 있는 것이 특히 유리하다.

상기 통로로 가스를 공급하기 위해서는 하부소형판 및/또는 상부소형판의 측면을 기점으로하여 상하 양 소형판의 외주와 통로를 연통시키는 오목부가 적어도 하나의 분출구 또는 통류구의 방향으로 연장되어 있는 것이 특히 유리하다.

그러나, 특히 다량의 가스량의 공급, 따라서 적어도 하나의 통로의 큰 횡단면적이 필요한 경우에는 하부소형판에 면한 상부소형판의 하단면이 적어도 하나의 상부통과 홈을, 또 상부소형판에 면한 하부소형판의 상단면이 적어도 하나의 하부 통과홈을 갖고, 상기 적어도 하나의 통로가 상기 적어도 하나의 상부통과홈과 상기 적어도 하나의 하부통과홈에 의해 형성되어 있는 것이 유리하다.

연료를 양호하게 무화하기 위해, 통로의 중심선이 적어도 하나의 분출구의 중심선을 갖는 평면내에 위치하고 있는 것이 유리하다.

상기 통로내로의 연료 유입을 피하기 위해, 상부 소형판내에 있어서 적어도 하나의 상부통과홈이, 분출구까지는 도달하지 않게 구성되어 있으며, 또 통로가 밸브 종축선에 대해서 경사져서 통류구에 개구되어 있는 것이 유리하다.

중공체에 가스를 공급하기 위해, 밸브의 분출 단부가 중공체를 수용하고 또 공급 부시에 의해 포위되어 있으며, 상기 공급 부시의 주위벽에 적어도 하나의 가스 공급용 횡방향 개구가 구성되어 있는 것이 유리하다.

다음에 도면을 기초로 하여 본 발명의 실시예를 상술살한다.

제 1도에는, 예를들어 혼합기 압축식 점화 플러그형 내연기관의 분사장치에 사용가능한 실시예에 의한 연료분사 밸브가 부분적으로 도시되어 있다. 연료분사 밸브의 예를들어 강자성 재료로 구성된 노즐본체(2)는, 밸브 종축선(1)에 동심적으로 단차있는 유동 통로(5)를 갖고 있다. 예를 들면 하류측에서 원추형으로 테이퍼를 이루는 밸브 폐쇄부분(9)으로서 구성된, 밸브 니들의 하류측 단부에서, 상기 밸브니들(8)은 상기 유동 통로(5)의, 예를들어 유동 방향으로 원추형으로 테이퍼를 이루는 밸브면(10)과 협동한다. 상기 밸브 시트면(10)의 상류측에 구성된, 유동통로(5)의 가이드 부분(11)은 상기 밸브시트(8)의 방향 운동시에 상기 밸브 니들을 안내하기 위한 것이며, 또 상기 밸브 니들(8)은 상기 안내 플랜지(13)와 하부 안내 플랜지(14)가 약간의 반경 방향 간격을 두고 유동 통로(5)의 가이드 부분(11)을 관통하고 있다.

밸브 니들(8)의 축방향 운동, 이에 수반하는 연료분사 밸브의 밸브 개발, 폐쇄 동작은 예를들어 공지와 같이 전자식으로 행해진다. 제 1도에 도시한 바와 같이, 밸브 니들(8)은 밸브 시트면(10)으로부터 이격된 쪽의 단부에서 가동자(17)와 결합되어 있으며, 상기 가동자는 연료분사 밸브의 전자 코일(18)과 회전자계(16)와 협동한다.

유동 통로(5)는 예를 들어 전자 코일(18)로부터 떨어진 방향으로 상기 원추형 밸브 시트면(10)에 이어 원통형 통류부분(19)에 접속하고 또 노즐 본체(2)의 유동구(20)에서 끝나고 있다. 하류측 방향에서 상기 유동구(20)에 직접 접속하여 중공체(22)가 배치되어 있으며, 상기 중공체는 밸브 시트면(10) 근처에 예를들어 정방형의 상부소형판(24)과 정방형의 하부소형판(25)으로 되어 있다. 상부소형판(24)은 상기 유동구(20)로부터 떨어진 쪽의 하단면(26)을 가지고 상부 소형판(24)에 대면한 쪽의, 하부소형판(25)의 상단면(27)에 접촉하고 또 상기 하부소형판과 결합되어 있다. 상부소형판(24)도 하부소형판(25)과 함께 예를들어 단결정 규소로 구성되어 있으나, 다른 적당한 재료 예를들어 게르마늄과 같은 다른 단결정 반도체 또는 갈륨 비소 같은 화합물 반도체를 선택하는 것도 가능하다. 상부소형판(24) 및 하부소형판(25)의 축방향 두께는 각각 0.2 내지 0.5㎜, 특히 유리하게는 0.3㎜이다.

상부소형판(24)과 하부소형판(25) 사이에는 적어도 하나의 통로(28)가 형성되어 있으며, 연료-가스 혼합기의 생성을 위한 가스가 상기 통로(28)를 거쳐 상하소형판(24,25)의 외주로부터 반경 방향으로 유도되어 연료쪽을 향해 유동할 수 있다.

단차 유동 통로(5)의 유동구(20)에 대한 중공체(22)의 일정위치를 보증하기 위해, 또 유동구(20)에 대한 중공체(22)의 수평 방향 엇갈림을 방지하기 위해, 노즐 본체(2)의 하류측의 분출 단부(29)의 단면(34)에는 오목부(30)가 설치되어 있으며, 상기 오목부는 상기 중공체(22)를 둘러싸고 또 유동구(20)는 중공체(22)가 상부소형판(24)과 접하고 있는 상기 오목부(300의 저부(21)에서 개구하도록 구성되어 있다. 가스가 중공체(22)의 상기 적어도 하나의 통로(28)에 도달할 수 있게 하기 위해, 노즐 본체(2)의 분출 단부(29)의 외주와 상기 오목부(30) 사이에 예를들어 반경방향으로 적어도 하나의 공급홈(33)이 구성되어 있으며, 상기 공급홈은 분출 단부(29)의 단면(34)을 기점으로하여 예를들어 축방향으로 밸브 시트면(10)쪽에 적어도 상기 통로(28)에 도달하기 까지 연장되어 있다.

그러나 또, 동일 목적을 위해 노즐 본체(2)의 분출 단부(29)내에 적어도 하나의 공급구멍이, 혹은 중공체(22)의 외부 모서리와 오목부(30)의 주위벽 사이에 적어도 하나의 공급 통로를 구성하는 것도 가능하다.

노즐 본체(2)는 상기 분출단부(29)의 단면(34) 부근의 단부에서 예를들면 공급 부시(36)에 의해 반경 방향 및 축방향으로 둘러싸여 있다, 축방향에서는 분출 단부(29)의 범위에 공급 부시(36)는 예를들어 4개의 횡방향 개구(37)를 갖고, 상기 횡방향 개구는 반경 방향에서는 공급 부시(36)의 외주에서 내향으로 환상의 공급실(38)로 연장 되고 상기 공급실은 분출 단부(29)의 외주와 공급부시(36)의 단부착의 종방향 개구(39)와의 사이에 형성되어 있다. 노즐 본체(2)의 분출 단부(29)에 대면한 방향의 공급 부시(36)의 바닥(40)은 반경 방향으로 밸브 종축선(1)의 근처에 맞닿음단부(42)를 갖는다. 상기 맞닿음단부(42)의 밸브 종축선(1)에 대해 수직으로 연장되는 편평한 맞닿음면(43)은, 축방향에서 분출 단부(29) 근처에 사기 바닥(40)을 초과하여 연장되어 있다. 공급 부시(36)의 편평한 맞닿음면(43)은 중공체(22)에 긴밀하게 맞닿고 노즐 본체(2)의 오목부(30)내에 중공체(22)의 축방향 위치를 확실하게 고정하고, 또한 가스가 상기 적어도 하나의 통로(28)를 거칠뿐 분사 연료의 방향으로 흐르게 된다. 유동 방향으로 중공체(22)에 직접 접속되어 공급 부시(36)의 바닥(40)으로부터 밸브 종축선(1)에 동심적으로 연장되는 예를들어 원통형의 혼합구(44)가 개구되고, 상기 혼합구에는 하류 측방향에 호퍼상으로 확장되는 혼합기 분축구(45)가 접속되어 있다.

공급 부시(36)의 종방향 개구(39)에는 상기 혼합기 분출구(45)에서 이탈된 방향의 단부에서 상기의 예를들어 4개의 횡방향 개구(37)보다 상위에 제1 환형홈(47)이 형성되어 있고, 상기 환상홈은 밀봉링(48)을 수용하고 있다. 상기 밀봉링(48)은 노즐 본체(2)의 외주와 공급 부시(36)의 종방향 개구(39)와의 사이의 밀봉부를 형성하고 있다.

연료분사 밸브를 공급 부시(36)와 함께 예를들면 내연 기관의 흡기도관의 밸브 장착부 내연 조합하는 경우, 횡방향 개구(37)의 상위와 하위에 있어서 공급 부시(36)를 밸브 장착부의 주위벽에 대해 밀봉할 필요가 있다. 상기 목적을 위해 공급 부시(36)의 외주에는 횡방향 개구(37)의 상위에서는 전자 코일(18) 근처에 제 2의 환상홈(50)이, 또한 횡방향 개구(37)의 하위에서는 제 3의 환형홈(51)이 일체 성형되어 있고 각 환형홈(50,51)에는 각각 밀봉링을 배치할 수 있다.

제 2도는 제 1도에 도시한 제 1 실시예에 의한 중공체(22)를 도시하고 있다. 제 3도에는 제2도의 II-II 선을 따른 단면도에 상응하는 하부 소형판(25)의 평면도가, 또한 제 4도에는 제 2도의 화살표 X 방향으로 투시한 중공체(22)의 평면도가 도시되어 있다.

제 2도 내지 제 4도에서, 예를들면 정방형의 상부소형한(24)은 밸브 횡축선(1)에 대해 대칭적으로, 예를들면 4개의 머리부를 절단한 원추형의 분출구(60)를 갖고, 이들 분출구는 상부소형판(24)의 하단면(26)의 방향을 향하여 확장하고 또한 상기 하단면(26)에 대하여 상호 직접 접합되어 있다. 유동 통로(5)의 유동구(20)는 전체의 분출구(60)를 커버하는 횡단면적을 갖고 또한 하류 방향에서 상기 분출구(60)와 연동되어 있다. 분출구(60)의 긴변은 최대로 좁은 부위에서 약 0.1 내지 0.25㎜이다.

예를 들어 정방형의 하부 소형판(25)은 4변의 외측면(61)을 갖고 상기 외측면은 밸브 횡축선(1)에 평행으로 연장 하는 수직 방향으로 하부 소형판(25)의 외측을 제한하고 또한 단부에서는 서로 직각으로 위치되어 있다. 상부소형판(24)과 하부소형판(25)로 형성된 중공체(22)를 조합체 위해서는 실시예의 단면에서도 미루어보아 상부소형판(24)와 하부 소형판(25)이 외주 형상의 점에서 일치한 촌법을 갖고 있는 것이 특히 유리하다. 중공체(22)는 제 1 대칭축선(62)와 제 2 대칭축선(63)을 갖고, 양 대칭 축선은 각각 외측면(61)을 2등분하고 있다. 상기 측면(61)을 기점으로 하여 상기 외측면 보다도 폭이 좁고 하부소형판(25)의 상단면(27)에는 상기 대칭축선(62,63)에 대해 중심대칭으로 직사각형의 바닥(67)을 갖는 오목부(64)가 각각 1개 형성되어 있다. 상기 오목부(64)는 상기 바닥(67)로부터 하부소형판(25)의 상단면(27)으로 향하여 테형상으로 확장되고 또한 상부소형판(24)의 하단면(26)과 어울려 각각 하나의 유입실(65)을 형성하고 있다. 하부소형판(25)은 밸브 횡축선(1)에 동심적으로, 예를들면 정방형의 통류구(66)를 갖고, 상기 통류구는 유동 방향으로 절단 각추형상으로 확장 되어 있다. 상기 오목부(64) 또는 유입실(65)은 통규구(66)의 방향으로 내향으로 연장되지만 상기 통류구(66)와는 직접 연통되지 않는다.

각 대칭축선(62,63)의 방향에서 하부소형판(25)의 상단면(27)에는 각 오목부(64)와 통류구(66) 사이에서 각각 적어도 하나의, 제 1 실시예에서는 두개의, 내측으로 통하는 하부 통과홈(69)이 형성되어 있고, 이 하부 통과홈은 상부소형판(24)의 하단면(26)과 상응하여 각각 하나의 통로(28)를 형성하고 있다.

이 통로(28)는 상하 소형판(24,25)의 외주쪽을 향해 열린 유입실(65)과 중공체(22)의 통류구(66)를 연통시키고, 또한 각 대칭축선(62,63)에 평행하게 연장하고 있다. 공통의 유입실(65)로부터 병렬로 배치되어 있는 두개의 통로(28)는 각 대칭축선(62,63)에 대해 등간격을 가지므로, 축대칭, 점대칭 으로 구성된 중공체(22)가 나온다. 하부 통과홈(69)은 사각 형상의 바닥(73)을 갖고 또한 하부소형판(25)의 상단면(27)까지 사다리꼴 형상으로 확장하고 있다. 대칭축선(62,63)의 방향에서 측정한 하부 통과홈(69)의 축방향 칫수는 약 0.1 내지 0.25㎜이다. 상기 통로(28)는 분출 가스가 분출구(60)의 하나로부터 유출하는 연료에 각각 충돌하도록 방위가 되어 있는 것이 특히 유리하다. 통로(28)의 중심선은 분출구(60)의 중심선의 적어도 하나를 통과하는 평면내에 위치하는 것이 유리하다. 통로(28)는 그 중심선에 대해 직각인 횡방향에서는 폭이 좁고, 통류구(66) 또는 분출구(60)의 외주부분 구역에만 걸쳐서 연장하는데 불과하다.

단결정질 규소로된 상부소형판(24) 및 하부소형판(25)에 있어서 분출구(60), 오목부(64), 통류구(66) 및 하부 통과홈(69)은 공지의 방식으로, 예를들면 이소트로프(이방성). 에칭에 의해 형성된다. 먼저 얇은 규소 소형판의 평면이 연마되고, 얇은 산화물층으로 코팅되며, 이 평면상에 포토층이 제공된다. 이 포토층상에 포토마스크가 놓여지고, 이어서 노광된다. 현상액의 사용에 의해 상기 소형판상에는 포토층으로 덮힌 부위와 노출한 산화물 부위로 이루어진 패턴이 생긴다. 불화수소산을 수용한 욕중에서, 노출한 산화물 부위에 에칭 처리가 실시되고, 이어서 포토층이 제거된다. 이렇게 해서 소형판상에 산화물패턴이 얻어지고, 이것은 다음의 에칭을 위한 마스크로서 작용한다. 알칼리액 또는 산은 노출한 규소에 작용하고, 단결정질 소형판에 오목부를 생기게 한다. 이방성 에칭제의 사용에 의해 오목부는 넓혀짐이 없이 오로지 심도를 증대한다. 그때, 오목부의 측벽은 규소소형판의 결정 평면에 의해 형성되므로, 오목부의 사다리꼴 형상횡단면이 생긴다.

상기 에칭 조작은 에칭의 방향에서 예를들어 붕소로 도핑된 층에 도달하면 곧바로 정지된다.

제 1 실시에에서 도시한 바와같이 분출구(60), 오목부(64), 통류구(66) 및 하부 통과홈(69)의 횡단면을 이방성 에칭에 의해 사다리꼴 형상 또는 머리부를 절단한 원추 형상으로 성형하는 이외에 기타의, 예를들면 사각형상의 횡단면도 가능하다.

상부소형판(24)의 하단면(26)과 하부소형판(25)의 상단면(27)은 접착제에 의해 서로 접합되어 있다. 이 때문에, 먼저 상부소형판(24)의 하단면(26)과 하부소형판(25)의 상단면(27)이 연마되고, 표면에 화학처리가 실시된다.

다음에, 서로 접합해야할 상부소형판(24)과 하부소형판(25)의 준비된 표면이 실온에서 합체된다. 접합 조작은 예를들어 질소 분위기중에서 상부소형판(24)과 하부소형판(25)을 온도처리하므로서 종료한다.

연료 가스 혼합기를 형성하기 위한 가스는 횡방향 개구(37)를 통해 공급실(38)내에 도달한다. 이 공급실(38)은 노즐 본체(2)의 외주와 공급 부시(36)의 종방향 개구(39) 사이에 형성되어 있다. 이 공급실(38)로부터 상기 가스는 예를들어 네개의 유입실(65)과, 각 유입실에 연통한 각각 두개의 통로(28)의 통류구(66)로 유입한다. 이 통류구(66) 내로는 분출구(60)를 통해 연료도 송출된다.

상기 통로(28)는 유동 가스를 교축하고, 나아가서는 가스를 조량하기 위해 도와주는 좁은 횡단면을 갖고 있다.

또, 이 좁은 횡단면은 가스를 가속하게도 하므로, 가스는 분출된 연료에 고속도로 충돌하고 또한 이 연료를 에워싼다.

이에 따라 현저하게 균질인 연료 가스 혼합기의 형성이 얻어진다. 이 연료가스 혼합기는 혼합기 분출구(45)를 통해 예를들면 내연기관의 흡기도관으로 송출된다.

상술한 가스라 함은 예를들어 내연기관의 흡기관 내에 배치된 교축 밸브의 바로 앞에서 바이패스에 의해 분기된 공기이다. 그러나 또, 유해 물질의 방출을 저하시키기 위해 내연기관의 회수 배기가스를 사용하는 것, 혹은 부속팬에 의해 압송되는 가스(공기,배기가스)를 사용하는 것도 가능하다.

제 5 도에는 본 발명의 제 2 실시예에 의한 중공체(22)의 하부소형판(25)이 도시되어 있다. 동일한 구성부분 및 동일한 작용의 구성부분에는 제 1 도 내지 제 4 도에 도시한 제 1 실시예의 경우와 동일 부호를 붙혔다.

제 2 실시예가 제 1 실시예와 다른 점은 통로(28)의 수, 혹은 하부소형판(25)의 상단면(27)에 성형된 하부 통과홈(69)의 수가 다르다는 것뿐이다. 상기 상단면(27)의 네개의 오목부(64)를 기점으로 내향으로 통하는 하부 통과홈(69)이 각각 하나씩 구성되어 있고, 이 하부 통과홈은 예를들어 하부소형판(25)의 각 대칭축선(62,63)에 평행 연장하여 통류구(66)로 개구하고 있다. 하부소형판(25)의 각 유입실(65)로부터 통류구(66)로의 유동 방향에서 하부 통과홈(69)은 모두, 예를들어 각 대칭축선(62,63)의 우측에 구성되어 있다.

이 구성에 의거하여 통류구(66)에의 가스의 공급은 선회를 수반하여 생긴다. 이에 따라, 연료와 가스의 혼합기 형성이 현저히 개선된다.

제 6 도 및, 이 제 6도의 VII-VII 선을 따른 단면도에 상당하는 상부소형판(24)의 하면도로서의 제 7도에서는 본 발명의 제 3 실시예에 의한 중공체(22)가 도시되어 있다. 단, 동일 구성부분 및 동일 작용의 구성 부분에는 제 1도 내지 제 5도에 도시한 실시에의 경우와 같은 부호를 붙혔다. 제 1 및 제 2 실시예의 경우와 마찬가지로, 제 3 실시예의 경우도 정방형의 상부소형판924)과 정방형의 하부소형판(25)은 단결정질 규소로 이루어지며 또한 저부에 의해 서로 접속되어 있다. 분출구(60), 오목부(84), 통류구(66) 및 상부 통과홈(82)은 예를들어 이방성 에칭에 의해 성형되어 있다.

하부소형판(25)에는 밸브 종축선(1)에 동심적으로, 하부소형판(25)의 상단면(27)으로부터 유동 방향으로 머리부를 절단한 원추 형상으로 확장하는 정방형의 통류구(66)가 구성되어 있다. 상부소형판(24)내에는 밸브 종축선(1)에 대칭으로 성형된 예를들어 네개의 정방형분출구(60)가 상기 통류구(66)와 연통하고 있다. 상기 분출구(60)는 상부소형판(24)의 상단면(80)을 기점으로 이 상부소형판의 하단면(26)쪽을 향해 절두 각추 형상으로 확장하고 이 상부소형판(24)의 하단면(26)에서 서로 직접 접합하고 있다.

상부소형판(24)은 외주를 네개의 측면(81)에 의해 제한하고 있고, 이 측면은 단부에서 서로에 직각으로 위치하고 있다. 상부소형판(24)의 하단면(26)에는 각 측면(81)을 기점으로 분출구(60)쪽을 향해 내향으로 연장하고 있어 사각형상의 바닥(73)을 갖는 오목부(84)가 각각 한개 성형되어 있으며, 게다가 각 오목부(84)는 대칭 축선(62또는 63)에 대해 대칭으로 형성되어 있으며 또한 이 대칭축선에 의해 이등분된다. 이 오목부(84)는 상부소형판(24)의 상단면(80)쪽을 향해 사다리꼴 형상으로 테이퍼를 이루고 있다.

하부소형판(25)의 상단면(27)과 어울려 오목부(84)는 각각 한개의 유입실(65)을 구성하고 있다. 각 유입실(65)은 예를들어 각각 두개의 통로(28)에 의해 분출구(60)의 하류측 단부와 연통하고 있다. 상기 통로(28)는 상부소형판(24)의 하단면(26)에 연장하고 있어 상단면(80)쪽에 사각형상의 바닥(85)을 갖는 상부 통과홈(82)과 하부소형판(25)의 상단면(27)에 의해 형성되어 있으며, 또한 이 통로의 중심선에 대해 직각인 횡방향으로 폭이 좁고, 따라서 이 통로는 통류구(66)의 외주부분 구역 혹은 하나의 분출구(60)의 외주부분 구역에 걸쳐있는데 불과하다. 상부 통과홈(82)은 사다리꼴 형상의 횡단면을 갖고, 상부소형판(24)의 상단면(80)쪽을 향해 테이퍼를 이루고 있다. 상부 통과홈(82)의 축방향 칫수는 약 0.1 내지 0.25㎜이다.

특히 균질의 연료가스 혼합기를 얻기 위해, 각각 두개의 통로(28)가 각각 하나의 유입실(65)을 기점으로 각 대칭축선(62,63)에 대해 대칭으로 등거리를 두어 평행하게 연장하고 있다. 각 통로(28)는 분출구(60)에 직접 개구하며, 또한 공급 가스는 중앙에서 송출되는 연료에 충돌한다.

제 8도에는 본 발명의 제 4 실시에에 의한 중공체(22)가 도시되어 있다. 단, 동일 구성부분 및 동일 작용의 구성 부분에는 제 1도 내지 제 7도에 도시한 실시예의 경우와 같은 부호를 붙혔다. 제 3 실시예와는 달리, 상부 소형판(24)내에서 연장하는 통로(28)는 상부소형판(24)의 분출구(60)에 직접 개구하는 것이 아니고, 경사 하방으로 밸브 종축선(1)에 대해 경사져서 하부소형판(25)의 통류구(66)에 개구하고 있으므로, 가스는 유입실(65) 및 통로(28)를 통해 직접 통류구(66)내에 도달하며, 또한 상술한 세개의 실시예와는 달리, 송출된 연료에 대해 수직이 아니고, 연료 유동 방향으로 경사지게 충돌한다. 또, 상기 통로(28)내로의 연료의 유입은 저지된다. 기타의 점에서는 제 4 실시예는 실질적으로 제 3 실시예에 상당한다.

제 9 도에는 본 발명의 제 5 실시에에 의한 중공체(22)가 도시되어 있다. 단, 동일 구성부분 및 동일 작용의 구성 부분에는 제 1도 내지 제 8도에 도시한 실시예의 경우와 같은 부호를 붙혔다.

상부소형판(24)내에는 예를들어 네개의 정방형 분출구(60)가 밸브 종축선(1)에 대해 대칭으로 성형되어 있다. 정방형 분출구(60)가 밸브 종축선(1)에 대해 대칭으로 성형되어 있다. 정방형 분출구(60)는 상부소형판(24)의 상단면(80)을 기점으로 하단면(26)쪽을 향해 머리부를 절단한 원추 형상으로 확장하며, 또한 상기 하단면(26)에서 서로에 직접 접합하고 있다. 하부소형판(25)은 밸브 종축선(1)에 동심적으로, 유동 방향에 머리부를 절단한 원추 형상으로 확장하는 정방형 횡단면의 통류구(66)를 갖고 있다.

하부소형판(25)의 네개의 각 측면(61)을 기점으로, 이 하부소형판(25)의 상단면(27)에는 사각형상의 바닥(67)을 갖는 각각 하나의 오목부(64)가 성형되어 있고, 이 오목부는 하부소형판(25)의 통류구(66)쪽을 향해 연장하고 있다. 오목부(64)는 이미 제 1 실시예에 대해 도시한 바와같이 대칭축선(62,63)에 대해 대칭으로 위치하고 있고, 게다가 이 대칭축선(62,63)은 상기 오목부(64)의 중심선을 이루고 있다. 오목부(64)는 상부 소형판(24)에서 떨어진 방향으로 사다리꼴 형상으로 테이퍼를 이루고 있다.

네개의 오목부(64)의 각각을 기점으로 하부소형판(25)의 상단면(27)에는 예를들어 각각 두개의 하부 통과홈(69)이 성형되어 있으며, 이 하부 통과홈은 통류구(66)까지 연장하여 이 통류구(66)에 개구하고 있다. 본 실시예의 하부 통과홈(69)의 구성은 예를들어 제 1 실시예에 도시한 하부 통과홈(69)의 구성에 상당한다.

상기 상단면(27)에 대향한, 상부소형판(24)의 하단면(26)내에는 상부소형판(24)의 네개의 측면(81)의 각각을 기점으로, 사각형상의 바닥(73)을 갖는 오목부(84)가 성형되어 있다. 이 오목부(84)는 분출구(60)쪽을 향해 내향으로 연장하고, 이 분출구의 바로 앞에서 끝나고 있으며, 또한 예를들어 제 3 실시예에 도시한 것같이 대칭축선(62,63)에 대해 대칭으로 위치하고 있고, 게다가 이 대칭축선(62,63)은 오목부(64)의 중심축선에도 있다. 사다리꼴 형상의 오목부(84)는 상부소형판(24)의 상단면(80)쪽을 향해 테이퍼를 이루고 있다.

하부소형판(25)의 상단면(27)에 있어서 오목부(64)는 상부소형판(24)의 하단면(26)에 있어서 오목부(84)와 합치하고, 서로 어울려 각 유입실(65)을 형성하며, 또한 상기 오목부(64)와 오목부(84)는 예를들어 적어도 합치하는 구역에서는 일치한 기하학적 칫수를 갖고, 또 대칭축선(62,63)에 대해 일치한 위치를 점유하고 있다.

상부소형판(24)의 하단면(26)에 성형된 네개의 오목부(26)의 각각을 기점으로, 각각 두개의 상부 통과홈(82)이 분출구(60) 방향으로 내향으로 연장하고 있다. 이 상부 통과홈(82)은 각 대칭축선(62,63)에 평행으로 연장하며, 상단면(80)측에 사다리꼴 형상으로 테이퍼를 이루는 횡단면을 갖고, 사각형상의 바닥(85)을 갖고 있다. 개개의 상부 통과홈(82)과 하부 통과홈(69)은 상부소형판(24)의 하단면(26) 및 하부소형판(24)의 상단면을 따라 겹쳐지며, 각각 하나의 상부 통과홈(82)과 하부통과홈(69)은 서로 어울려 하나의 통로(28)를 형성하고, 이 통로는 분출구(60)까지는 도달하지 않고, 오히려 밸브 종축선(1)에 대해 하향경사져서 하부 소형판(25)의 통류구(66)에 개구하고, 또한 분출구(60)로부터 분출하는 연료 분류에 방위되어 있다. 각 상부 통과홈(82)과 각 하부 통과홈(69)은 적어도 양자가 겹쳐지는 구역에서는 일치한 기하학적 칫수를 갖고, 대칭축선(62,63)에 대해 일치한 위치를 점유하고 있다.

제 10도 및 제 11 도에는 본 발명의 제 6 실시예에 의한 중공체(22)가 도시되어 있다.

단, 제 11도는 제 10도의 XI-XI선에 따른 단면도에 상당하여 하부소형판(25)의 방향으로 본 평면도이다. 이 경우, 동일 구성부분 및 동일 작용의 구성부분에는 제 1도 내지 제 9도에 도시한 실시예의 경우와 같은 부호를 붙혔다. 중공체(22)는 정방형의 상부소형판(24)과 정방형의 하부소형판(25)으로 이루어지며, 상하의 양 소형판(24,25)은 공히 단결정질 규소로 이루어지고, 저부에 의해 서로 접합되어 있다. 정방형의 상부 소형판(24)과 정방형의 하부소형판(25)은 동일한 외측칫수를 갖고 있다. 상부소형판(24)내에는 제 10 도에 파선으로 개략 도시한 것같이, 예를들어 네개의 정방형 분출구(60)가 성형 되어 있고, 이들 분출구(60)는 밸브 종축선(1)에 대해 대칭으로 연장하고 있으며, 또한 상부소형판(24)의 상단면(80)을 기점으로 하단면(26)으로 향해 머리부를 절단한 원추 형상으로 확장하고 상기 하단면(26)에서 서로에 직접 접합하고 있다. 하부소형판(25)은 밸브 종축선(1)에 동심으로 연장하는 하나의 통류구(66)를 갖고, 이 통류구는 예를들어 정방형 단면을 가지며, 또한 상부소형판(24)에서 떨어진 방향으로 사다리꼴 형상으로 확장하고 있다.

제 11 도에서는 외측면(61)에 평행하게 연장하는 대칭축선(62,63)외에 하부소형판(25)의 제 1대각선이 부호 88로, 또 제2대각선이 부호 89로 표시되어 있다. 하부 소형판(25)의 각 외측면(61)을 기점으로 양 대칭축선(62,63)에 평행하게 하부 통과홈(69)이 성형되고, 또 상기 양 대각선(88,89)에 대칭으로 각 모서리(91)를 기점으로 각각 두개의 서로 대향한 하부 통과홈(69')가 하부소형판(25)의 상단면(27)에 성형되어 있으며, 이 통과홈은 내측으로 향해 통류구(66)까지 연장하고 있다. 그경우, 대칭축선(62,63) 및 대각선(88,89)은 상기 하부 통과홈(69,69')의 중심축선을 형성하고 있다. 대칭축선(62,63)에 평행하게 연장하는 하부 통과홈(69)이 사각형상의 바닥(90)을 갖고 있는데 대해, 대각선(88,89)에 대칭으로 연장하는 하부 통과홈(69')은 통류구(66)방향으로 테이퍼를 이루는 바닥(90')을 갖고 있다. 상단면(27)에서 떨어진 방향으로 하부 통과홈(69,69')은 사다리꼴 형상으로 테이퍼를 이루고 있다. 상부 소형판(24)의 하단면(26)과 어울려 하부 통과홈(69,69')은 통류구(66)에 개구하는 통로(28)를 형성하고 있다.

본 실시예는 분출구(60)에서 송출되는 연료 통로(28)를 통해 공급되는 가스에 의해 특히 균등하게 포위하고, 또한 균질한 혼합기로 조제하는 것을 가능하게 한다.

제12도 내지 제14도에는 본 발명의 제 7실시예에 의한 중공체(22)가 도시되어 있다. 이경우, 동일 구성 부분 및 동일 작용의 구성부분에는 제 1도 내지 제 11도에 도시한 실시예의 경우와 같은 부호를 붙혔다. 또한, 제 13도는 제12도의 XIII-XIII선에 따른 단면도, 또 제 14도는 제 14도의 XIV-XIV선에 따른 단면도에 상당하는 상부소형판(24)의 하면도이다. 정방형의 상부소형판(24)과 정방형의 하부소형판(25)은 단결정질 규소로 이루어지며, 예를 들어 저부에 의해 서로 접합되어 있다. 분출구(60), 오목부(84), 통류구(66) 및 상부 통과홈(82,82')은 예를 들어 이방성 에칭에 의해 성형되어 있다.

밸브 종축선(1)에 동심적으로 하부소형판(25)에는 상기 하부소형판(25)의 상단면(27)을 기점으로 유동방향으로 머리부를 절단한 원추 형상으로 확장하는 사각형상의 통류구(66)가 형성되어 있다. 통류구(66)에는 예를 들어 네개의 정방형 분출구(60)가 연통하고, 이분출구는 상부소형판(24)내에 밸브 종축선(1)에 대칭으로 성형되어 있다. 이 분출구(60)는 상부 소형판(24)의 상단면(80)을 기점으로 하단면(26)쪽을 향해 머리부를 절단한 원추 형상으로 확장하며, 예를 들어 상부 소형판(24)의 하단면(26)에서 서로에 접합하고 있다.

상부 소형판(24)의 서로에 직각으로 위치하는 네개의 측면(81)의 각각을 기점으로 예를들어 사각형상의 바닥(73)을 갖고 었어 분출구(60)쪽을 향해 내향으로 연장하는 각각 하나의 오목부(84,84')가 상부 소형판(24)의 하단면(26)에 성형되어 있다. 오목부(84)는 예를 들어 대칭축선(63)에 대칭으로 위치하고, 또 오목부(84')는 예를들어 대칭축선(62)에 대칭으로 위치하며, 각각 대칭축선(63,62)에 의해 이등분되고, 또한 상부 소형판(24)의 상단면(27)쪽을 향해 테이퍼를 이루고 있다.

상기 오목부(84,84')는 하부소형판(25)의 상단면(27)과 어울려 각각 하나의 유입실(65,65')을 형성하고 있다.

예를들어 대칭축선(63)에 의해 이등분되는, 서로에 대향한 두개의 유입실(65)은 각각 두개의 통로(28)에 의해 분출구(60)의 하류측단부와 연통하고 있다. 이 통로(28)는 상부 소형판(24)의 하단면(26)내에서 연장하는 상부 통과홈(82)과, 하부소형판(25)의 상단면(27)에 의해 형성되어 있고, 예를들어 통로 중심선에 대해 직각인 횡방향에서는 폭이 좁고, 따라서 이 통로는 분출구(60)의 부분 범위에 걸쳐 있는데 불과하다. 상기 상부 통과홈(82)은 상부 소형판(24)의 상단면(80) 방향에 테이퍼를 이루고 있다.

상기 유입실(65)에 대해 각도를 두고 배치되어 있어, 예를들어 대칭축선(62)에 의해 이등분되어 있는 서로 대향한 두개의 유입실(65')은 분출구(60)에 까지는 도달하지 않고, 경사 하방으로 밸브 종축선(1)에 대해 경사진 각각 두개의 통로(28')에 의해 하부소형판(25)의 통류구(66)와 연통하고 있다. 상기 통로(28')는 상부 소형판(24)내에서 연장하고 있는 상부 통과홈(82')에 의해 구성되어 있다. 이렇게 해서 가스는 유입실(65')과 통로(28')를 통해 직접 상기 통류구(66)내로 도달하고 연료 유동 방향에 대해 경사지게 송출 연료에 충돌한다.

이렇게 하여, 가스의 일부분이 먼저 분출구(60)를 통해 흐르는 연료에 충돌하고, 또한 가스의 다른부분이 통류구(66)의 구역에서는 경사져서 연료 가스 혼합 기류에 대해 공급되므로써, 특히 균질한 연료가스 혼합기가 얻어진다.

본 발명에 의한 실시예에서는, 통로(28,28')가 통로 중심선에 대해 직각인 횡방향에서는 현저하게 폭이 좁고 통류구(66) 또는 분출구(60)의 외주 부분 범위에 걸쳐 있는데 불과하므로, 조립이 끝난 밸브에 있어서, 소망의 조량 가스량을 얻기 위해 상기 통로(28,28')를 조정하는 것이 필요함이 없이, 극히 좁은 공간에서 조량하는 것이 가능해진다. 그 때문에, 상부 소형판(24) 및 하부 소형판(25)의 극히 정확한 제작이 필요하다.

이 정밀 제작을 위해 상부 소형판(24)과 하부소형판(25)을 단결정질 규소로 구성하고, 또한 분출구(60), 오목부(64 및 84,84'), 통류구(66), 하부 통과홈(69,69') 및 상부 통과홈(82,82')을 예를들어 이방성 에칭에 의해 성형하는 것이 특히 유리하다.

본 발명의 중공체(22)는 연료분사 장치를 위한 연료 분사 밸브로서 적용할 수 있을 뿐 아니라, 다른 매체를 무화하기 위해, 즉 극미립이 액적을 필요로 하는 경우에는 항상 예를들어 제조 프로세스에 있어서 잉크나 락카를 균등하게 분무하기 위해서도 적용할 수가 있다.

Claims

적어도 하나의 분사구를 갖는 상부소형판과, 통류구를 갖는 하부소형판으로 이루어지며, 상기 상부소형판과 하부소형판 사이에 적어도 하나의 통로를 형성하고 있는 중공체에 있어서,

상부 소형판(24)의 적어도 하나의 분출구(60)와 하부소형판(25)의 통류구(66)가 중합되어 있으며, 또 적어도 하나의 통로(28,28')가 상하 양소형판(24,25)의 외주와 상기 통류구(66)를 연락하고 있는 것을 특징으로 하는 중공체.
제1항에 있어서,

상부 소형판(24)과 하부소형판(25)이 단결정질의 규소로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 중공체.
제2항에 있어서,

상부소형판(24) 및 하부소형판(25)의 상기분출구(60), 통류구(66), 통과홈(69,69',82,82') 및 오목부(64,84,84')가 이방성 에칭에 의해 성형되어 있는 것을 특징으로 하는 중공체.
제2항에 있어서,

상부 소형판(24)과 하부소형판(25)이 저부에 의해 서로 접합되어 있는것을 특징으로 하는 중공체.
제1항에 있어서,

상부 소형판(24)에 대면한 하부소형판(25)의 상단면(27)내에, 적어도 하나의 하부통과홈(69,69')이 성형되어 있으며, 상기 하부 통과홈이 상기 하부소형판(25)에 대면한 상부 소형판(24)의 하단면(26)과 짝을 이루어 적어도 하나의 통로(28)를 형성하고 있는 것을 특징으로 하는 중공체.
제1항에 있어서,

하부소형판(25)에 면한 상부 소형판(24)의 하단면(26)내에, 적어도 하나의 상부 통과홈(82,82')이 성형되어 있으며, 상기 상부통과홈이 상기 상부 소형판(24)에 대면한 하부소형판(25)의 상단면(27)과 짝을 이루어 적어도 하나의 통로(28,28')를 형성하고 있는 것을 특징으로 하는 중공체.
제1항에 있어서,

상부 소형판(24)의 하단면(26)이 적어도 하나의 상부 통과 홈(82,82')을 갖고 또한, 하부소형판(25)의 상단면(27)이 적어도 하나의 하부 통과 홈(69,69')을 갖고, 적어도 하나의 통로(28,28')이 상기상부 통과 홈(82,82')과 상기 하부 통과홈(69,69')의 중합에 의해 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 중공체.
제1항에 있어서,

하부소형판(25)도는 상부 소형판(24)의 측면(61,81)을 기점으로 하여 상하 양 소형판(24,25)의 외주와 통로(28,28')를 연통시키는 오목부(64,84,84')가 연장되어 있는 것을 특징으로 하는 중공체.
제1항에 있어서,

통로(28,28')의 중심선이 적어도 하나의 분출구(60)의 중심선을 갖는 평면내에 위치되어 있는 것을 특징으로 하는 중공체.
제9항에 있어서,

서로 직교하는 방향으로 연장되는 두개의 통로(28)가 하나의 분출구(60)를 향하는 방향으로 위치하는 것을 특징으로 하는 중공체.
제9항에 있어서,

상기 소형판(24)내에, 서로 인접한 4개의 분출구(60)가 밸브 종축선(1)에 대해 대칭적으로 형성되어 있으며, 또 상기 각 분출구(60)에 하나의 통로(28)가 각각 방향으로 위치되어 있는 것을 특징으로 하는 중공체.
제6항 내지 제 11항중 어느 한항에 있어서,

상기 소형판(24)내에 있어서 적어도 하나의 상기 통과 홈(82,82')이 분출구(60)에 까지는 도달하지 않도록 구성되어 있으며, 또 통로(28,28')가 밸브 종축선(1)에 대해 경사져서 통류구(66)로 개구되어 있는 것을 특징으로 하는 중공체.
제6항에 있어서,

상부소형판(24)의 서로 마주보는 상부 통과 홈(82)이, 상기 상부소형판(24)의 각각 하나의 분출구(60)에 각각 방향으로 위치하는 하나의 통로(28)를 형성하도록 구성되어 있으며, 또 상기 통로에 각도를 이루어 서로 마주보고 있는, 상부 소형판(24)의 다른 상부 통과 홈(82')은 분출구(60)까지는 도달되지 않고 밸브 종축선(1)에 경사져서 통류구(66)로 개구되는 각각 하나의 통로(28')를 형성하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 중공체.
제1항 내지 제11항중 어느 한항에 있어서,

하부소형판(25)이 정방향으로 구성되어 있으며, 또 각 축면(61)과 각 모서리(91)를 기점으로 하여 각각 하나의 통로(28,28')가 상기 통류구(66)로 통하고 있는 것을 특징으로 하는 중공체.
밸브 시트면(10)과 협동하는 밸브 폐쇄 부분(9)과, 상기 밸브 시트면의 하류측에 배치된 중공체(22)를 장착 밸브, 특히 내연기관에 연료-가스 혼합기를 공급하기 위한 연료분사 밸브에 있어서,

중공체(22)가, 상기 밸브 시트면(10)을 향하고 있고 적어도 하나의 분사구(60)를 갖는 상부소형판(24)과, 상기 상부 소형판에 접해 있고 통류구(66)를 갖는 하부소형판(25)으로 이루어지며, 또 상기 상부소형판(24)과 하부소형판(25)이 적어도 하나의 통로(28,28')을 형성하고 있으며, 상기 통로를 거쳐 가스가 공급되고, 또 적어도 하나의 분출구(60)를 통해 송출되는 연료를 향하는 방향으로 위치되어 있는 것을 특징으로 하는 중공체 장착 밸브.
제15항에 있어서,

상부소형판(24)과 하부소형판(25)이 단결정질의 규소로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 중공체 장착 밸브.
제16항에 있어서,

상부소형판(24) 및 하부소형판(25)에 설치되어 있는 분출구(60), 통류구(66), 통과홈(69,69')및 오목부(64,84,84')가 이방성 에칭에 의해 성형되어 있는 것을 특징으로 하는 중공체 장착 밸브.
제16항에 있어서,

상부소형판(24)과 하부소형판(25)이 저부에 의해 서로 접합되어 있는 것을 특징으로 하는 중공체 장착 밸브.
제15항에 있어서,

상부소형판(24)에 대면한 하부소형판(25)의 상단면(27)내에 적어도 하나의 하부 통과홈(69,69')이 성형되어 있으며, 상기 하부 통과홈이 상기 하부소형판(25)에 대면한 상부소형판(24)의 하단면(26)과 짝을 이루어 적어도 하나의 통로(28)를 형성하고 있는 것을 특징으로 하는 중공체 장착 밸브.
제15항에 있어서,

하부소형판(25)에 면한 상부소형판(24)의 하단면(26) 내에 적어도 하나의 상부 통과홈(82,82')이 성형되어 있으며, 상기 상부통과홈이 상기 상부소형판(24)에 대면한 하부소형판(25)의 상단면(27)과 짝을 이루어, 적어도 하나의 통로(28,28')을 형성하고 있는 것을 특징으로 하는 중공체 장착 밸브.
제15항에 있어서,

상부소형판(24)의 하단면(26)이 적어도 하나의 상부 통과홈(82,82')을, 그리고 하부소형판(25)의 상단면(27)이 적어도 하나의 하부 통과홈(69,69')을 구비하고, 상기 적어도 하나의 통로(28,28')가 상기 상부 통과홈(82,82')과 상기 하부 통과홈(69,69')의 중합에 의해 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 중공체 장착 밸브.
제15항에 있어서,

하부소형판(25) 또는 상부소형판(24)의 측면(61,81)을 기점으로하여 상하 양 소형판(24,25)의 외주와 통로(28,28')를 연동시키는 오목부(64,84,84')가 연장되어 있는 것을 특징으로 하는 중공체 장착 밸브.
제15항에 있어서,

상부소형판(24)내의 적어도 하나의 분출구(60)와 하부 소형판(25)내의 통류구(66)가 서로 중합되어 있는 것을 특징으로 하는 중공체 장착 밸브.
제15항에 있어서,

통로(28,28')의 중심선이 적어도 하나의 분출구(60)의 중심선을 갖는 평면내에 위치되어 있는 것을 특징으로 하는 중공체 장착 밸브.
제24항에 있어서,

서로 직교하는 방향으로 연장되는 두개의 통로(28)가 하나의 분출구(60)를 향하는 방향으로 위치되어 방위되어 있는 것을 특징으로 하는 중공체 장착 밸브.
제24항에 있어서,

상부소형판(24)내에 서로 인접한 4개의 분출구(60)가 밸브 종축선(1)에 대해 대칭적으로 형성되어 있으며, 또 상기 각 분출구(60)에 하나의 통로(28)가 각각 방향으로 위치되어 있는 것을 특징으로 하는 중공체 장착 밸브.
제17항에 있어서,

상부소형판(24)내에 있어서 적어도 하나의 상부 통과홈(82,82')이 분출구(60)에 까지는 도달하지 않도록 구성되어 있으며, 또 통로(28,28')가 밸브 종축선(1)에 대해 경사져서 통류구(66)로 개구되어 있는 것을 특징으로 하는 중공체 장착 밸브.
제20항에 있어서,

상부소형판(24)의 서로 마주보는 상부 통과홈(82)의 상기 상부소형판(24)의 각각 하나의 분출구(60)를 향하는 방향으로 위치되어 있는 각각 하나의 통로(28)를 형성하도록 구성되어 있으며, 또 상기 통로에 각도를 이루어 서로 마주보고 있는 상부소형판의 다른 상부 통과홈(82')은 분출구(60)까지는 도달되지 않고 밸브 종축선(1)에 경사져서 통류구(66)로 개구되는 각각 하나의 통로(28')를 형성하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 중공체 장착 밸브.
제15항 내지 제28항중 어느 한 항에 있어서,

하부소형판(25)이 정방형으로 구성되어 있으며, 또 각 측면(61)과 각 모서리(91)를 기점으로 하여, 각각 하나의 통로(28,28')가 상기 통류구(66)로 통하고 있는 것을 특징으로 하는 중공체 장착 밸브.
제15항에 있어서,

밸브의 분출단부(29)가 중공체(22)를 수용하고 또 공급 부시(36)에 의해 포위되어 있으며, 상기 공급 부시의 주위벽에 적어도 하나의 가스 공급용 횡방향 개구(37)가 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 중공체 장착 밸브.