JPS63134919A - 流れる媒体の流量測定装置 - Google Patents
流れる媒体の流量測定装置Info
- Publication number
- JPS63134919A JPS63134919A JP62278422A JP27842287A JPS63134919A JP S63134919 A JPS63134919 A JP S63134919A JP 62278422 A JP62278422 A JP 62278422A JP 27842287 A JP27842287 A JP 27842287A JP S63134919 A JPS63134919 A JP S63134919A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resistor
- substrate
- flow rate
- flowing medium
- resistance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
- G01F1/688—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow using a particular type of heating, cooling or sensing element
- G01F1/69—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow using a particular type of heating, cooling or sensing element of resistive type
- G01F1/692—Thin-film arrangements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/05—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
- G01F1/34—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure
- G01F1/48—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure the pressure or differential pressure being created by a capillary element
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/696—Circuits therefor, e.g. constant-current flow meters
- G01F1/698—Feedback or rebalancing circuits, e.g. self heated constant temperature flowmeters
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、特許請求の範囲第１項の上位概念に記載の流
れる媒体の流量測定装置から出発している。
れる媒体の流量測定装置から出発している。
従来の技術
米国特許第４３９９６９７号明細書から、支持板上に層
として形成されている２つの抵抗を備え、そのうち第１
の層は加熱抵抗として用いられかつ支持板上に直接固定
されており、−力筒２の層は温度に依存した測定抵抗と
して形成されておりかつ電気的な絶縁層が介挿されて上
記第１の層上に設けられている装置が既に公知である。
として形成されている２つの抵抗を備え、そのうち第１
の層は加熱抵抗として用いられかつ支持板上に直接固定
されており、−力筒２の層は温度に依存した測定抵抗と
して形成されておりかつ電気的な絶縁層が介挿されて上
記第１の層上に設けられている装置が既に公知である。
加熱抵抗及び測定抵抗を分離する絶縁層は、加熱抵抗か
ら測定抵抗への申し分のない熱伝導が可能である程度に
薄い。流量の流れの変化は、測定抵抗及び支持板の表面
に伝導される熱量の変化を来しかつ、測定抵抗は温度に
依存するので、測定抵抗の電気抵抗の変化を来すことに
なる。これによシ測定回路の不平衡が生じ、それが加熱
抵抗における加熱電流の変化によって補償される。流れ
る媒体の流量に対する尺度として、加熱抵抗に供給され
る電力が用いられる。別の支持板に設けられている付加
的な温度に依存する抵抗が、媒体の温度の補償のために
用いられる。
ら測定抵抗への申し分のない熱伝導が可能である程度に
薄い。流量の流れの変化は、測定抵抗及び支持板の表面
に伝導される熱量の変化を来しかつ、測定抵抗は温度に
依存するので、測定抵抗の電気抵抗の変化を来すことに
なる。これによシ測定回路の不平衡が生じ、それが加熱
抵抗における加熱電流の変化によって補償される。流れ
る媒体の流量に対する尺度として、加熱抵抗に供給され
る電力が用いられる。別の支持板に設けられている付加
的な温度に依存する抵抗が、媒体の温度の補償のために
用いられる。
発明が解決しようとする問題点
この公知の装置において不都合なのは、測定すべき媒体
に対流的に放出される熱の流れのみが検出さればかりで
なく、支持板から支持板の保持部への熱伝導によシ移動
する熱の流れも検出されることである。支持板は抵抗と
比べて大きな熱容量を有しているので、このような不都
合な熱伝導のために測定装置の所要作動温度に達するよ
うにする切換過程の投入が遅延されることになシ、又流
れる媒体の流量の変化に対する応答が緩慢になる。従っ
て、この公知の装置の測定抵抗の幾何学配置は巌適とは
認められない。というのは、支持板からのｆＡ＋１方向
における熱の流れが測定結果の精度に不都合に作用する
からである。即ち測定抵抗の、茹量変化に対する応答速
度が低くなる。
に対流的に放出される熱の流れのみが検出さればかりで
なく、支持板から支持板の保持部への熱伝導によシ移動
する熱の流れも検出されることである。支持板は抵抗と
比べて大きな熱容量を有しているので、このような不都
合な熱伝導のために測定装置の所要作動温度に達するよ
うにする切換過程の投入が遅延されることになシ、又流
れる媒体の流量の変化に対する応答が緩慢になる。従っ
て、この公知の装置の測定抵抗の幾何学配置は巌適とは
認められない。というのは、支持板からのｆＡ＋１方向
における熱の流れが測定結果の精度に不都合に作用する
からである。即ち測定抵抗の、茹量変化に対する応答速
度が低くなる。
更に公知の装置は、非常に汚れ易いという欠点を有する
。その理由は装置を内燃機関の吸気管に使用した場合、
吸気管雰囲気から成る汚れの粒子が測定抵抗の前縁に沈
積しかつ作動期間が比較的長くなると測定結果に不都合
に作用することになるからである。
。その理由は装置を内燃機関の吸気管に使用した場合、
吸気管雰囲気から成る汚れの粒子が測定抵抗の前縁に沈
積しかつ作動期間が比較的長くなると測定結果に不都合
に作用することになるからである。
従って本発明の課題は、機械的及び電子的に簡単な構成
であって投入接続時間が短く、流量変化に対する応答時
間が短く、かつ使用期間が比較的長くなっても高い測定
精度を有する、流れる媒体の流量測定装置を提供するこ
とである。
であって投入接続時間が短く、流量変化に対する応答時
間が短く、かつ使用期間が比較的長くなっても高い測定
精度を有する、流れる媒体の流量測定装置を提供するこ
とである。
問題点を解決するための手段及び発明の利点特許請求の
範囲２ｇ１項の特徴部分に記載の構成を有する本発明の
装置は、流量変化に対する応答時間が短いという利点を
有する。というのは、加熱抵抗の、測定抵抗に対する大
きさ及び位置が、支持板から支持板の固定部分への熱の
流れが測定結果に影響せずかつ測定抵抗がその面積全域
にわたって流量の程度に関係なくほぼ同じ温度プロフィ
ールを有するように、選定されているからである。
範囲２ｇ１項の特徴部分に記載の構成を有する本発明の
装置は、流量変化に対する応答時間が短いという利点を
有する。というのは、加熱抵抗の、測定抵抗に対する大
きさ及び位置が、支持板から支持板の固定部分への熱の
流れが測定結果に影響せずかつ測定抵抗がその面積全域
にわたって流量の程度に関係なくほぼ同じ温度プロフィ
ールを有するように、選定されているからである。
特許請求の範囲の実施態様項に記載の構成により、特許
請求の範囲７ｇ１項に記載の本発明の流れる媒体の流量
測定装置の有利な実施９１１及び改良例が可能である。
請求の範囲７ｇ１項に記載の本発明の流れる媒体の流量
測定装置の有利な実施９１１及び改良例が可能である。
例えば、抵抗から又は抵抗への障害となる熱の流れを妨
げるために熱絶縁性のスリットを支持板中に設けると有
利である。
げるために熱絶縁性のスリットを支持板中に設けると有
利である。
更に、測定抵抗を支持板の上流側の縁から出来るだけ遠
くに帷れた所に設けて、測定抵抗の領域における汚れの
程度を出来るだけ低く抑えるようにすれば有利である。
くに帷れた所に設けて、測定抵抗の領域における汚れの
程度を出来るだけ低く抑えるようにすれば有利である。
装置のその他の抵抗は有利には同じ支持板上に収容され
かつ同様熱絶縁性のスリットによって相互に分離される
。これらの抵抗における汚れの影響は測定抵抗の場合に
比して重大でないので、これら抵抗は測定抵抗より流れ
の上流の側に位置させることができる。
かつ同様熱絶縁性のスリットによって相互に分離される
。これらの抵抗における汚れの影響は測定抵抗の場合に
比して重大でないので、これら抵抗は測定抵抗より流れ
の上流の側に位置させることができる。
抵抗を層として形成しかつ種々の抵抗に対して平方セン
ナ当たり同じ抵抗値を有する同じ層を使用すれば、本発
明の装置の製造は著しく簡単化される。その場合それぞ
れの抵抗特性は、倒えばレーザ加工により切断される、
抵抗層のミアンダ状の形状化等、抵抗材料の除去により
精確に規定し得る。
ナ当たり同じ抵抗値を有する同じ層を使用すれば、本発
明の装置の製造は著しく簡単化される。その場合それぞ
れの抵抗特性は、倒えばレーザ加工により切断される、
抵抗層のミアンダ状の形状化等、抵抗材料の除去により
精確に規定し得る。
実施例
次に本発明を図示の実施例につき図面を用いて群細に説
明する。
明する。
第１図は本発明の回路を示すものであるが、その際１は
液体が質流する管であり、媒体の流れの方向は矢印２に
よって示されている。管１は例えば内燃機関の吸気管と
することができる。
液体が質流する管であり、媒体の流れの方向は矢印２に
よって示されている。管１は例えば内燃機関の吸気管と
することができる。
管１の流量を検出するために用いら九る、以下測定抵抗
と表す抵抗ＲＨが流れる媒体内に挿入されている。この
測定抵抗ＲＨは厚膜抵抗又は薄嘆抵抗として第１図には
図示されていないサブストレート上に形成されておりか
つ例えばブリッジ回路として構成されている抵抗検出装
置３の構成部分である。抵抗検出装置３にはその他抵抗
Ｒ１，Ｒに１．Ｒ２，Ｒ３が設けられており、全体とし
て抵抗測定ブリッジとして構成されてアームにおいて抵
抗Ｒ２，ＲＫｌ及びＲ，７他方ではＲ３及びＲＨが直列
接続されている。抵抗Ｒ１及びＲＨの接続線は回路点６
にまとめられている。調整増幅器７には、抵抗ＲＫｌ
及びＲ２の接続点である回路点９の信号並びに抵抗ＲＨ
及びＲ３の接続点である回路点１０の信号が供給される
。
と表す抵抗ＲＨが流れる媒体内に挿入されている。この
測定抵抗ＲＨは厚膜抵抗又は薄嘆抵抗として第１図には
図示されていないサブストレート上に形成されておりか
つ例えばブリッジ回路として構成されている抵抗検出装
置３の構成部分である。抵抗検出装置３にはその他抵抗
Ｒ１，Ｒに１．Ｒ２，Ｒ３が設けられており、全体とし
て抵抗測定ブリッジとして構成されてアームにおいて抵
抗Ｒ２，ＲＫｌ及びＲ，７他方ではＲ３及びＲＨが直列
接続されている。抵抗Ｒ１及びＲＨの接続線は回路点６
にまとめられている。調整増幅器７には、抵抗ＲＫｌ
及びＲ２の接続点である回路点９の信号並びに抵抗ＲＨ
及びＲ３の接続点である回路点１０の信号が供給される
。
調整増幅器は例えば差動増幅器として形成されているが
、本発明はこの形式の差動増幅器には限定されず、一般
にアナログであろうとデノタルであろうとどんな調整機
能にも使用可能である。
、本発明はこの形式の差動増幅器には限定されず、一般
にアナログであろうとデノタルであろうとどんな調整機
能にも使用可能である。
調整増幅器７の出力量は抵抗Ｒ３に供給され、この抵抗
の他方の接続線は回路点６に接続されているので、全体
として閉ループを成している。
の他方の接続線は回路点６に接続されているので、全体
として閉ループを成している。
抵抗検出装置３けブリッジ回路によってではなくて、別
の抵抗測定回路により実現してもよいことを強調してお
きたい。それ故に本発明の実現の念めに必ずしもブリツ
ノ回路である必要はなく、ブリッジに類似した測定回路
であってもよい。
の抵抗測定回路により実現してもよいことを強調してお
きたい。それ故に本発明の実現の念めに必ずしもブリツ
ノ回路である必要はなく、ブリッジに類似した測定回路
であってもよい。
この装置の原理的な動作は次の通りである：調整増幅器
７の出力電流によって、以下加熱抵抗と呼ぶ抵抗ＲＳの
加熱が行われ、その際この抵抗における加熱電力は実質
的に調整増幅器７に加わるブリッジ対角点電圧によって
決められる。加熱抵抗Ｒ８は、測定抵抗ＲＨと出来るだ
け直接的な熱接触が生じるように、構成されている。Ｒ
ＳとＲＨとの間の申し分のない熱接触によって、測定抵
抗ＲＨは媒体温度よシ著しく上方にある過度に高い温度
にされる。そこで管内を貫流する流量が変化すると、対
流により熱伝導が変化するために測定抵抗ＲＨの温度が
変化しかつ測定抵抗ＲＨは零とは異なった温度係数を有
するので、抵抗検出装置３が不平衡になり、これに基き
調整増幅器７は加熱抵抗Ｒ８に導かれる出力電流を変え
る。従って閉ループを介して、放出される又は流れ込む
熱量のため生じる測定抵抗ＲＨの変化は加熱抵抗Ｒ８の
加熱電力の変化によって常時補償され、その結果測定抵
抗ＲＨは所定の温度乃至所定の抵抗値に保持される。加
熱電流、加熱電力乃至調整増幅器７の出力電圧ＵＡは、
流れる媒体の流量に対する尺度である。
７の出力電流によって、以下加熱抵抗と呼ぶ抵抗ＲＳの
加熱が行われ、その際この抵抗における加熱電力は実質
的に調整増幅器７に加わるブリッジ対角点電圧によって
決められる。加熱抵抗Ｒ８は、測定抵抗ＲＨと出来るだ
け直接的な熱接触が生じるように、構成されている。Ｒ
ＳとＲＨとの間の申し分のない熱接触によって、測定抵
抗ＲＨは媒体温度よシ著しく上方にある過度に高い温度
にされる。そこで管内を貫流する流量が変化すると、対
流により熱伝導が変化するために測定抵抗ＲＨの温度が
変化しかつ測定抵抗ＲＨは零とは異なった温度係数を有
するので、抵抗検出装置３が不平衡になり、これに基き
調整増幅器７は加熱抵抗Ｒ８に導かれる出力電流を変え
る。従って閉ループを介して、放出される又は流れ込む
熱量のため生じる測定抵抗ＲＨの変化は加熱抵抗Ｒ８の
加熱電力の変化によって常時補償され、その結果測定抵
抗ＲＨは所定の温度乃至所定の抵抗値に保持される。加
熱電流、加熱電力乃至調整増幅器７の出力電圧ＵＡは、
流れる媒体の流量に対する尺度である。
しかし加熱電流、加熱電力乃至調整増幅器７の出力電圧
ＵＡは付加的に、流れる媒体の温度にも依存するので、
流れる媒体の温度変動は補償されねばならない。このた
めに同じく流れる媒体にさらされかつ直列接続された抵
抗ＲＫ１とＲ１とを組み合わせた補償抵抗ＲＫが用いら
れる。抵抗Ｒは薄膜抵抗として形成されておに１ りかつ測定抵抗ＲＨと同じ技術並びに同じ工程で製造す
ることができるが、抵抗Ｒ１は厚膜抵抗であり、その調
整は、補償抵抗Ｒに及び測定抵抗ＲＨの温度係数が信号
量を検出するための評価方式に応じて互いに前取て決め
られた関係が成立つように、例えばミアンダ形状の切断
加工によって行われる。
ＵＡは付加的に、流れる媒体の温度にも依存するので、
流れる媒体の温度変動は補償されねばならない。このた
めに同じく流れる媒体にさらされかつ直列接続された抵
抗ＲＫ１とＲ１とを組み合わせた補償抵抗ＲＫが用いら
れる。抵抗Ｒは薄膜抵抗として形成されておに１ りかつ測定抵抗ＲＨと同じ技術並びに同じ工程で製造す
ることができるが、抵抗Ｒ１は厚膜抵抗であり、その調
整は、補償抵抗Ｒに及び測定抵抗ＲＨの温度係数が信号
量を検出するための評価方式に応じて互いに前取て決め
られた関係が成立つように、例えばミアンダ形状の切断
加工によって行われる。
抵抗検出装置３は、回路点、５と回路点９との間にある
第１の基準抵抗Ｒ２並びに回路点５と回路点１０との間
にある第２の基準抵抗Ｒ３によって構成される。基準抵
抗Ｒ２及びＲ３は流れる媒体にさらす必要はないが、Ｒ
２及びＲ３は相互に出来るだけ密接に熱接触されている
ようにし、そうすれば抵抗Ｒ２及びＲ３の温度係数の許
容偏差に関する厳密な作業が省かれる。
第１の基準抵抗Ｒ２並びに回路点５と回路点１０との間
にある第２の基準抵抗Ｒ３によって構成される。基準抵
抗Ｒ２及びＲ３は流れる媒体にさらす必要はないが、Ｒ
２及びＲ３は相互に出来るだけ密接に熱接触されている
ようにし、そうすれば抵抗Ｒ２及びＲ３の温度係数の許
容偏差に関する厳密な作業が省かれる。
第２図及び第３図は、加熱抵抗Ｒ、測定抵抗ＲＨ、薄膜
抵抗Ｒに１ 及び厚膜抵抗Ｒ１を有する本発明の第１の
有利な実施例を示す。これら抵抗はすべて、基板として
用いられるプレート状のサブストレート２０上に薄い層
として形成されている。サブストレートは大体矩形であ
りかつその狭い側面が、固定部分２１において測定すべ
き媒体が貫流する管１に固定されている。矢印２３によ
って示されている媒体の流れの方向に対して垂直に、サ
ブストレート２０に２つのスリット２５．２６が設けら
れている。
抵抗Ｒに１ 及び厚膜抵抗Ｒ１を有する本発明の第１の
有利な実施例を示す。これら抵抗はすべて、基板として
用いられるプレート状のサブストレート２０上に薄い層
として形成されている。サブストレートは大体矩形であ
りかつその狭い側面が、固定部分２１において測定すべ
き媒体が貫流する管１に固定されている。矢印２３によ
って示されている媒体の流れの方向に対して垂直に、サ
ブストレート２０に２つのスリット２５．２６が設けら
れている。
これらスリットはサブストレートの固定部分２１とは反
対の側に始まって固定部分２１の近傍まで達している。
対の側に始まって固定部分２１の近傍まで達している。
スリット２５．２６によってサブストレート２０は第１
の唇状部分３１、第２の唇状部分３２並びに第３の唇状
部分３３に分割される。その際第１の唇状部分３１は一
方流 においてサブストレートの、流れの上側の縁３５によっ
て制限されており、他方において第１のスリット２５に
よって制限されている。サブストレートの第２の唇状部
分３２は一方において第１のスリット２５によって制限
され、他方において第２のスリット２６によって制限さ
れている。サブストレートの第３の唇状部分３３は、一
方において第２のスリット２６によって制限されておシ
、他方においてサブストレート２０の、流れの下流側の
縁３６によって制限されている。
の唇状部分３１、第２の唇状部分３２並びに第３の唇状
部分３３に分割される。その際第１の唇状部分３１は一
方流 においてサブストレートの、流れの上側の縁３５によっ
て制限されており、他方において第１のスリット２５に
よって制限されている。サブストレートの第２の唇状部
分３２は一方において第１のスリット２５によって制限
され、他方において第２のスリット２６によって制限さ
れている。サブストレートの第３の唇状部分３３は、一
方において第２のスリット２６によって制限されておシ
、他方においてサブストレート２０の、流れの下流側の
縁３６によって制限されている。
固定部分２１においてサブストレート２０ては接触面３
８が設けられている。これら接触面は一方においてサブ
ストレート２０に被着された導体路３９を介して抵抗Ｒ
Ｈ、Ｒ３、ＲＫＩ及びＲ１に接続されておシ、他方にお
いて抵抗Ｒ２，Ｒ，調整増幅器７及び零導体（第１図に
おける回路点６）に電気的に接続されている。
８が設けられている。これら接触面は一方においてサブ
ストレート２０に被着された導体路３９を介して抵抗Ｒ
Ｈ、Ｒ３、ＲＫＩ及びＲ１に接続されておシ、他方にお
いて抵抗Ｒ２，Ｒ，調整増幅器７及び零導体（第１図に
おける回路点６）に電気的に接続されている。
抵抗Ｒ３、ＲＨ，ＲＫＩ及びＲ１はそれぞれ固定部分２
１とは反対側の、唇状部分３１．３２゜３３の一部分を
被覆しておシかつ有利には、第が設けられており、第３
の唇状部分３３には測定抵抗ＲＨが設けられているよう
に配置構成されている。加熱抵抗Ｒ８は第２図及び第３
図の実施例ではサブストレート２０Ｌｖ裏面に設けられ
ており、固定部分２１とは反対側の、第３の唇状部分３
３の一部分を被覆している。従って測定抵抗ＲＨはサブ
ストレート２０の第３の唇状部分３３の第１の側に設け
られており、加熱抵抗ＲＳは他方の側に設けられており
、ＲＨ及びＲ３はサブストレート２０を中間介挿して熱
接触されている。
１とは反対側の、唇状部分３１．３２゜３３の一部分を
被覆しておシかつ有利には、第が設けられており、第３
の唇状部分３３には測定抵抗ＲＨが設けられているよう
に配置構成されている。加熱抵抗Ｒ８は第２図及び第３
図の実施例ではサブストレート２０Ｌｖ裏面に設けられ
ており、固定部分２１とは反対側の、第３の唇状部分３
３の一部分を被覆している。従って測定抵抗ＲＨはサブ
ストレート２０の第３の唇状部分３３の第１の側に設け
られており、加熱抵抗ＲＳは他方の側に設けられており
、ＲＨ及びＲ３はサブストレート２０を中間介挿して熱
接触されている。
サブストレート２０の大きさに関する抵抗の幾何学的な
大きさは、薄膜抵抗ＲＫｌ 及び加熱抵抗Ｒ３がサブス
トレート２０の固定部分２１とは反対体のおおよそ半部
を覆うよう【て、選定されている。スリット２５及び２
６の長さけ、それらがそれぞれの抵抗Ｒ８，ＲＨ１ＲＫ
１及 びＲ１よりＴＡ定部分２１により近くに達してい
るように選定されており、これにより個々の唇状部分３
１，３２，３３、従って個々の抵抗の非常に申し分のな
い熱絶縁が実現される。
大きさは、薄膜抵抗ＲＫｌ 及び加熱抵抗Ｒ３がサブス
トレート２０の固定部分２１とは反対体のおおよそ半部
を覆うよう【て、選定されている。スリット２５及び２
６の長さけ、それらがそれぞれの抵抗Ｒ８，ＲＨ１ＲＫ
１及 びＲ１よりＴＡ定部分２１により近くに達してい
るように選定されており、これにより個々の唇状部分３
１，３２，３３、従って個々の抵抗の非常に申し分のな
い熱絶縁が実現される。
薄膜抵抗ＲＫ１ 及び測定抵抗ＲＨを形成する抵抗層を
同じ材料から製造しかつそれらが固定部分２１の方向に
ほぼ同じ距離だけ延在するようにすれば、装置の製造は
著しく簡単化される。
同じ材料から製造しかつそれらが固定部分２１の方向に
ほぼ同じ距離だけ延在するようにすれば、装置の製造は
著しく簡単化される。
薄膜抵抗ＲＫ１ 及び測定抵抗ＲＨｌｄ平方センチ当た
り同じ抵抗値を有する同じ材料から製造されるので、必
要な個別抵抗を製造するためにこれら抵抗層はミアンダ
状形状の構造を備える。
り同じ抵抗値を有する同じ材料から製造されるので、必
要な個別抵抗を製造するためにこれら抵抗層はミアンダ
状形状の構造を備える。
これは例えば第２図に図示されていないレーザ切断加工
によって行うことができる。ＲＫｌ 及びＲＨを形成す
−る抵抗層に対する材料として、例えばプラチナが使用
される。
によって行うことができる。ＲＫｌ 及びＲＨを形成す
−る抵抗層に対する材料として、例えばプラチナが使用
される。
薄膜抵抗ＲＫ１ と測定抵抗ＲＨとの間において、サブ
ストレート２０の第２の唇状部分３２上に厚層抵抗Ｒ１
が例えば厚膜方法で被着されている。
ストレート２０の第２の唇状部分３２上に厚層抵抗Ｒ１
が例えば厚膜方法で被着されている。
測定抵抗ＲＨの領域から固定部分２１の方向への熱の流
りを妨げるために、加熱抵抗Ｒ８はり 測定抵抗ＲＨより固定部分２１によ橡近くまで延在して
いる。測定抵抗ＲＨを形成する抵抗層の、固定部分２１
とは反対側の部分のみを適当にミアンダ状の形状に構成
して導電性とし、一方この抵抗層の固定部分の方の側の
部分を電気的には作用しないようにして、電気的に接続
されていない層４０を形成するようにすれば、測定抵抗
ＲＨの有効面積の既述の制限が実現される。測定抵抗Ｒ
Ｈの有効面積のこのような幾何学的な構成は次のように
して実現される。即ち加熱抵抗Ｒ８の広がりによって決
められる、サブストレート２０の加熱される帯域が、測
定抵抗ＲＨより固定部分２１の方向により突出し、測定
抵抗ＲＨの領域から固定部分２１に向かう障害となる熱
放出がこのようにして妨げられ、従って測定抵抗ＲＨの
流量変化に対する応答速度が良好になる。それは流量変
化の際その都度測定抵抗ＲＨにおける新たな温度プロフ
ィールが設定調整される必要がないからである。
りを妨げるために、加熱抵抗Ｒ８はり 測定抵抗ＲＨより固定部分２１によ橡近くまで延在して
いる。測定抵抗ＲＨを形成する抵抗層の、固定部分２１
とは反対側の部分のみを適当にミアンダ状の形状に構成
して導電性とし、一方この抵抗層の固定部分の方の側の
部分を電気的には作用しないようにして、電気的に接続
されていない層４０を形成するようにすれば、測定抵抗
ＲＨの有効面積の既述の制限が実現される。測定抵抗Ｒ
Ｈの有効面積のこのような幾何学的な構成は次のように
して実現される。即ち加熱抵抗Ｒ８の広がりによって決
められる、サブストレート２０の加熱される帯域が、測
定抵抗ＲＨより固定部分２１の方向により突出し、測定
抵抗ＲＨの領域から固定部分２１に向かう障害となる熱
放出がこのようにして妨げられ、従って測定抵抗ＲＨの
流量変化に対する応答速度が良好になる。それは流量変
化の際その都度測定抵抗ＲＨにおける新たな温度プロフ
ィールが設定調整される必要がないからである。
個々の抵抗を調整するために、層状の抵抗Ｒ５をミアン
ダ状形状にすることもできる。
ダ状形状にすることもできる。
第３図は、第３の唇状部分３３に被着された加熱抵抗Ｒ
８を有する本発明の装置の裏面を示す。この抵抗は例え
ば固定部分２１の方向に開いた切り込み４１を有し、従
ってＵ字形の形状をしている。サブストレート２０の裏
面にも、導体路３９を介してＵ字形の加熱抵抗Ｒ３の脚
部に接続されている接点領域３８がある。サブストレー
ト２０の裏面において第１唇状部分３１及び第２唇状部
分３２の領域には電気的な構成部分は存在しない。
８を有する本発明の装置の裏面を示す。この抵抗は例え
ば固定部分２１の方向に開いた切り込み４１を有し、従
ってＵ字形の形状をしている。サブストレート２０の裏
面にも、導体路３９を介してＵ字形の加熱抵抗Ｒ３の脚
部に接続されている接点領域３８がある。サブストレー
ト２０の裏面において第１唇状部分３１及び第２唇状部
分３２の領域には電気的な構成部分は存在しない。
本発明の別の実姉例は第４図に、及び第５図にはその断
面図が図示されている。この実施例では測定抵抗ＲＨ及
び加熱抵抗ＲＳはサブストレート２０の異なった面に設
けられておらず、両方共、薄膜抵抗ＲＫ１ 及び厚膜抵
抗Ｒ１と同様にサブストレート２０の舵面に設けられて
いる。第１唇状部分３１と第２唇状部分３２の領域にお
ける抵抗層の配役は第１実施例と同様な方法で実現され
ているが、第３の唇状部分３３の領域におけるサブスト
レート２０の表面では加熱抵抗ＲＳ及び測定抵抗ＲＨの
層は上下方向に重なって被着されている。基板とて用い
られるサブストレート２０に直接加熱抵抗ＲＳが設けら
れておシ、その上に電気的には絶縁性だが、熱伝導性が
良好な層４３、例えばガラス層を中間介挿して測定抵抗
ＲＨが被着されている。個々の電気的な構成部分の構造
高さを補償しかつ製造技術上の理由から、サブストレー
ト２０の第３唇状部分３３のみならず、その他の２つの
唇状部分３１及び３２にも層４３が被せられ、その結果
サブストレート２０とは反対側において層４３は１つの
面内に終わる。層４３には測定抵抗ＲＨの他に厚膜抵抗
Ｒ１及び薄膜抵抗Ｒに１が設けられている。抵抗を汚れ
及び損傷からより良く保護するために、サブストレート
２０及び抵抗には付加的な保護層４４を被せることがで
きる。
面図が図示されている。この実施例では測定抵抗ＲＨ及
び加熱抵抗ＲＳはサブストレート２０の異なった面に設
けられておらず、両方共、薄膜抵抗ＲＫ１ 及び厚膜抵
抗Ｒ１と同様にサブストレート２０の舵面に設けられて
いる。第１唇状部分３１と第２唇状部分３２の領域にお
ける抵抗層の配役は第１実施例と同様な方法で実現され
ているが、第３の唇状部分３３の領域におけるサブスト
レート２０の表面では加熱抵抗ＲＳ及び測定抵抗ＲＨの
層は上下方向に重なって被着されている。基板とて用い
られるサブストレート２０に直接加熱抵抗ＲＳが設けら
れておシ、その上に電気的には絶縁性だが、熱伝導性が
良好な層４３、例えばガラス層を中間介挿して測定抵抗
ＲＨが被着されている。個々の電気的な構成部分の構造
高さを補償しかつ製造技術上の理由から、サブストレー
ト２０の第３唇状部分３３のみならず、その他の２つの
唇状部分３１及び３２にも層４３が被せられ、その結果
サブストレート２０とは反対側において層４３は１つの
面内に終わる。層４３には測定抵抗ＲＨの他に厚膜抵抗
Ｒ１及び薄膜抵抗Ｒに１が設けられている。抵抗を汚れ
及び損傷からより良く保護するために、サブストレート
２０及び抵抗には付加的な保護層４４を被せることがで
きる。
第２図及び第３図の第１実施例と第４図及び第５図の第
２実施例との差異は第１に、測定抵抗ＲＨと加熱抵抗Ｒ
３との間の電気的な絶縁が異なっていることである。即
ち第１実施例ではサブストレート２０自体が絶縁１者と
して用いられ、これに対して第２の実施例では層４３が
絶縁層として用いられる。勿論、加熱抵抗Ｒ５及び測定
抵抗ＲＨが層４３によってしか分離されていないときは
、これら抵抗に導かれる導体路３９も相互に電気的に絶
縁されなければならない。このことは同じ層４３を用い
て実現することができる。
２実施例との差異は第１に、測定抵抗ＲＨと加熱抵抗Ｒ
３との間の電気的な絶縁が異なっていることである。即
ち第１実施例ではサブストレート２０自体が絶縁１者と
して用いられ、これに対して第２の実施例では層４３が
絶縁層として用いられる。勿論、加熱抵抗Ｒ５及び測定
抵抗ＲＨが層４３によってしか分離されていないときは
、これら抵抗に導かれる導体路３９も相互に電気的に絶
縁されなければならない。このことは同じ層４３を用い
て実現することができる。
図示の両方の実施例に共通していることは、測定抵抗Ｒ
Ｈが流れの方向に見て、サブストレート２０の後方部分
にあり、これによりこの形式の装置の前方部分には非常
に沈着し易い汚れ沈着物が測定結果にほんの僅かしか影
響しないで という重要な特徴笈；ある。スリット２５．２６により
抵抗から又は抵抗への熱の流れが大幅に回避され、更に
スリット２５．２６は付加的な“汚れ溜まり場“とじて
用いられる。それは、スリットには汚れの粒子が沈着す
るからである。
Ｈが流れの方向に見て、サブストレート２０の後方部分
にあり、これによりこの形式の装置の前方部分には非常
に沈着し易い汚れ沈着物が測定結果にほんの僅かしか影
響しないで という重要な特徴笈；ある。スリット２５．２６により
抵抗から又は抵抗への熱の流れが大幅に回避され、更に
スリット２５．２６は付加的な“汚れ溜まり場“とじて
用いられる。それは、スリットには汚れの粒子が沈着す
るからである。
第１図は本発明を説明するための回路略図であり、第２
図は本発明の、流れる媒体の流量測定装置の第１実施例
の前面の平面図であり、第３図は相応の裏面の平面図で
あり、第４図は本発明の装置の第２実施例の平面図であ
り、第５図は第４図を線ｖ−■に沿って切断し念断面図
である。 Ｒ８・・・加熱抵抗、ＲＨ・・・測定抵抗、Ｒ１・・・
厚膜抵抗、Ｒ・・・薄膜抵抗、５・・・抵抗検出装置、
２０・・・サブストレート、２１・・・固定部分、２５
゜２６・・・スリット、３１，３２．３３・・・唇状部
分、３９・・・導体路。 Ｆｉｇ、１ Ｆｉｇ、２ Ｆｉｇ、３（６ｅ’Ｑ
図は本発明の、流れる媒体の流量測定装置の第１実施例
の前面の平面図であり、第３図は相応の裏面の平面図で
あり、第４図は本発明の装置の第２実施例の平面図であ
り、第５図は第４図を線ｖ−■に沿って切断し念断面図
である。 Ｒ８・・・加熱抵抗、ＲＨ・・・測定抵抗、Ｒ１・・・
厚膜抵抗、Ｒ・・・薄膜抵抗、５・・・抵抗検出装置、
２０・・・サブストレート、２１・・・固定部分、２５
゜２６・・・スリット、３１，３２．３３・・・唇状部
分、３９・・・導体路。 Ｆｉｇ、１ Ｆｉｇ、２ Ｆｉｇ、３（６ｅ’Ｑ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、測定すべき流体中に固定部分を用いて保持されてい
るサブストレートを備え、該サブストレート上に膜状の
、温度に依存する抵抗並びに抵抗検出装置を介して流れ
る媒体の流量に依存して閉ループ制御可能である加熱抵
抗が設けられており、該加熱抵抗は同様膜状でありかつ
上記測定抵抗とは電気的に絶縁されて重ねられている、
流れる媒体の流量測定装置において、 加熱抵抗（Ｒ＿Ｓ）の面積が測定抵抗（Ｒ＿Ｈ）の面積
より大きくかつ加熱抵抗（Ｒ＿Ｓ）が測定抵抗（Ｒ＿Ｈ
）より大幅に固定部分（２１）の方向に延在するように
したことを特徴とする流れる媒体の流量測定装置。 ２、測定抵抗（Ｒ＿Ｈ）及び加熱抵抗（Ｒ＿Ｓ）はサブ
ストレート（２０）の、流れの方向に対して垂直にサブ
ストレート（２０）を通って延在するスリット（２６）
より流れの下流側に存在している部分上に形成されてい
る特許請求の範囲第１項記載の流れる媒体の流量測定装
置。 ３、サブストレート（２０）は一方の側が固定されてお
りかつスリット（２６）は、サブストレート（２０）の
固定部分とは反対の側から始まって、固定部分（２１）
の方向に延びている特許請求の範囲第２項記載の流れる
媒体の流量測定装置。 ４、加熱抵抗（Ｒ＿Ｓ）は流れの上流の側においてスリ
ット（２６）によって制限されておりかつ流れの下流の
側においてサブストレート（２０）の流れの下流側の縁
（３６）によって制限されている特許請求の範囲第３項
記載の流れの媒体の流量測定装置。 ５、サブストレート（２０）においてスリット（２６）
より流れの上流の側に補償抵抗（Ｒ＿Ｋ）が設けられて
いる特許請求の範囲第４項記の流れる媒体の流量測定装
置。 ６、サブストレート（２０）は、スリット（２６）より
流れの上流の側において該スリット（２６）に対して平
行に延在する別のスリット（２５）を備えておりかつ該
別のスリット（２５）の一方の側に温度に依存する薄膜
抵抗（Ｒ＿Ｋ＿１）が、又他方の側に厚膜抵抗（Ｒ＿１
）がサブストレート上に被着されておりかつ上記薄膜抵
抗（Ｒ＿Ｋ＿１）及び厚膜抵抗（Ｒ＿１）は一緒に補償
抵抗（Ｒ＿Ｋ）を形成する特許請求の範囲第５項記載の
流れる媒体の流量測定装置。 ７、薄膜抵抗（Ｒ＿Ｋ＿１）は、スリット（２５）乃至
サブストレート（２０）の流れの下流側の縁（３５）に
よって終っている特許請求の範囲第６項記載の流れる媒
体の流量測定装置。 ８、加熱抵抗（Ｒ＿Ｓ）及び薄膜抵抗（Ｒ＿Ｋ＿１）は
、サブストレート（２０）の固定部分（２１）とは反対
側の部分に存在しかつサブストレート（２０）の固定部
分（２１）と反対側の縁まで達している特許請求の範囲
第７項記載の流れる媒体の流量測定装置。 ９、測定抵抗（Ｒ＿Ｈ）もサブストレート（２０）の、
固定部分（２１）とは反対側の縁まで達している特許請
求の範囲第８項記載の流れる媒体の流量測定装置。 １０、測定抵抗（Ｒ＿Ｈ）及び薄膜抵抗（Ｒ＿Ｋ＿１）
は平方センチ当たり同じ抵抗値を有しかつサブストレー
ト（２０）の同じ側の平面に形成されている特許請求の
範囲第６項から第９項までのいずれか１項記載の流れる
媒体の流量測定装置。 １１、抵抗群（Ｒ＿Ｈ、Ｒ＿Ｓ、Ｒ＿Ｋ＿１、Ｒ＿１）
の個々の抵抗は、ミアンダ状の切断加工によって決めら
れている特許請求の範囲第６項から第９項までのいずれ
か１項記載の流れる媒体の流量測定装置。 １２、測定抵抗（Ｒ＿Ｈ）及び加熱抵抗（Ｒ＿Ｓ）はそ
れぞれ、サブストレート（２０）の別の側の平面に形成
されている特許請求の範囲第１項から第１１項までのい
ずれか１項記載の流れる媒体の流量測定装置（第２図、
第３図）。 １３、測定抵抗（Ｒ＿Ｈ）及び加熱抵抗（Ｒ＿Ｓ）は、
サブストレート（２０）の同一側の平面に形成されてお
りかつ測定抵抗（Ｒ＿Ｈ）は加熱抵抗（Ｒ＿Ｓ）の下側
に設けられている特許請求の範囲第１項から第１１項ま
でのいずれか１項記載の流れる媒体の流量測定装置（第
４図、第５図）。 １４、少なくとも測定抵抗（Ｒ＿Ｈ）、薄膜抵抗（Ｒ＿
Ｋ＿１）、厚膜抵抗（Ｒ＿１）には、保護層（４４）が
被覆されている特許請求の範囲第１２項又は第１３項記
載の流れる媒体の流量測定装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19863638138 DE3638138A1 (de) | 1986-11-08 | 1986-11-08 | Vorrichtung zur bestimmung der masse eines stroemenden mediums |
| DE3638138.1 | 1986-11-08 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63134919A true JPS63134919A (ja) | 1988-06-07 |
| JPH07113560B2 JPH07113560B2 (ja) | 1995-12-06 |
Family
ID=6313498
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62278422A Expired - Fee Related JPH07113560B2 (ja) | 1986-11-08 | 1987-11-05 | 流れる媒体の流量測定装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4777820A (ja) |
| EP (1) | EP0271660B1 (ja) |
| JP (1) | JPH07113560B2 (ja) |
| KR (1) | KR960005639B1 (ja) |
| DE (2) | DE3638138A1 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5086745A (en) * | 1989-07-11 | 1992-02-11 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Method and apparatus for processing a thermal flowrate sensor signal |
| US5301126A (en) * | 1989-02-14 | 1994-04-05 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Method of processing a signal from a thermal type flow sensor |
| US5415029A (en) * | 1992-03-18 | 1995-05-16 | Hitachi, Ltd. | Air flow detector for engine control unit |
| US5423210A (en) * | 1992-09-18 | 1995-06-13 | Hitachi, Ltd. | Air flow rate meter and air flow rate detection |
Families Citing this family (28)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0244211A (ja) * | 1988-08-04 | 1990-02-14 | Sharp Corp | フローセンサ |
| DE3829195A1 (de) * | 1988-08-29 | 1990-03-08 | Bosch Gmbh Robert | Temperaturfuehler |
| DE3829194A1 (de) * | 1988-08-29 | 1990-03-08 | Bosch Gmbh Robert | Einrichtung zur messung einer stroemenden luftmenge |
| JP2789458B2 (ja) * | 1988-11-22 | 1998-08-20 | 株式会社エステック | 液体気化のための流量制御装置 |
| DE4009833C2 (de) * | 1989-03-31 | 1996-09-26 | Aisan Ind | Luftmengenmeßeinrichtung für Ansaugluft |
| DE69112251T2 (de) * | 1990-04-13 | 1996-02-22 | Yamatake Honeywell Co Ltd | Membransensor. |
| DE9006967U1 (de) * | 1990-06-22 | 1991-10-24 | Sensycon Gesellschaft für industrielle Sensorsysteme und Prozessleittechnik mbH, 30179 Hannover | Widerstandselement |
| JP2641333B2 (ja) * | 1991-03-13 | 1997-08-13 | 日本碍子株式会社 | 熱式流量センサ |
| US5201221A (en) * | 1991-03-15 | 1993-04-13 | Ford Motor Company | Flow sensor and method of manufacture |
| DE4115040A1 (de) * | 1991-05-08 | 1992-11-12 | Bosch Gmbh Robert | Messelement |
| DE4124032A1 (de) * | 1991-07-19 | 1993-01-21 | Bosch Gmbh Robert | Messelement |
| DE4139631C1 (en) * | 1991-11-30 | 1993-03-11 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart, De | Measuring element for intake air flowmeter of IC engine - has slot in substrate board separating film resistors |
| US5263380A (en) * | 1992-02-18 | 1993-11-23 | General Motors Corporation | Differential AC anemometer |
| US5369994A (en) * | 1992-07-21 | 1994-12-06 | Robert Bosch Gmbh | Flow sensor |
| DE4324040B4 (de) * | 1992-07-21 | 2009-09-17 | Robert Bosch Gmbh | Massenstromsensor |
| DE4308227C2 (de) * | 1993-03-16 | 1996-02-01 | Bosch Gmbh Robert | Vorrichtung zur Bestimmung der Masse eines strömenden Mediums |
| US5423212A (en) * | 1993-06-18 | 1995-06-13 | Ricoh Seiki Company, Ltd. | Flow sensor |
| DE4447570C2 (de) * | 1994-07-22 | 1999-06-02 | Bosch Gmbh Robert | Vorrichtung zur Messung der Masse eines strömenden Mediums |
| JP3758081B2 (ja) * | 2001-06-05 | 2006-03-22 | 三菱電機株式会社 | 熱式流量検出装置 |
| US6708561B2 (en) | 2002-04-19 | 2004-03-23 | Visteon Global Technologies, Inc. | Fluid flow meter having an improved sampling channel |
| US6826955B2 (en) * | 2002-09-20 | 2004-12-07 | Visteon Global Technologies, Inc. | Mass fluid flow sensor having an improved housing design |
| US6973825B2 (en) * | 2003-02-24 | 2005-12-13 | Visteon Global Technologies, Inc. | Hot-wire mass flow sensor with low-loss bypass passage |
| JP4881554B2 (ja) * | 2004-09-28 | 2012-02-22 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 流量センサ |
| DE102006005393B4 (de) * | 2006-02-03 | 2023-05-17 | Innovative Sensor Technology Ist Ag | Vorrichtung zur Bestimmung und/oder Überwachung mindestens einer Prozessgröße eines Mediums |
| JP5209232B2 (ja) * | 2007-05-24 | 2013-06-12 | アズビル株式会社 | 熱式流量計 |
| DE102008032300A1 (de) * | 2008-07-09 | 2010-01-14 | Continental Automotive Gmbh | Vorrichtung zur thermischen Massenstrommessung, insbesondere zur Messung der einer Brennkraftmaschine zugeführten Luftmasse |
| RU2486476C2 (ru) * | 2011-03-09 | 2013-06-27 | Валерий Алексеевич Березкин | Первичный преобразователь расхода текучих сред |
| CN114594277B (zh) * | 2022-03-23 | 2023-04-14 | 北京航空航天大学 | 一种基于旋转热膜设备的测试方法及其应用 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1477007A (en) * | 1974-07-09 | 1977-06-22 | Welwyn Electric Ltd | Resistors |
| US4399697A (en) * | 1980-03-26 | 1983-08-23 | Nippon Soken, Inc. | Gas flow measuring apparatus |
| JPS5793211A (en) * | 1980-12-02 | 1982-06-10 | Nippon Soken Inc | Measuring device for flow rate of gaseous body |
| JPS5793212A (en) * | 1980-12-02 | 1982-06-10 | Nippon Soken Inc | Measuring device for flow rate of gaseous body |
| DE3208096A1 (de) * | 1982-03-06 | 1983-09-15 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Messsonde zur bestimmung der masse und/oder temperatur eines stroemenden mediums |
| DE3248603A1 (de) * | 1982-12-30 | 1984-07-12 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Einrichtung zur messung des massendurchsatzes eines stroemenden mediums |
| US4561303A (en) * | 1984-12-06 | 1985-12-31 | Ford Motor Company | Mass airflow sensor with backflow detection |
| US4594889A (en) * | 1984-12-06 | 1986-06-17 | Ford Motor Company | Mass airflow sensor |
-
1986
- 1986-11-08 DE DE19863638138 patent/DE3638138A1/de not_active Withdrawn
-
1987
- 1987-10-09 EP EP19870114740 patent/EP0271660B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1987-10-09 DE DE8787114740T patent/DE3772534D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1987-10-13 US US07/107,446 patent/US4777820A/en not_active Expired - Lifetime
- 1987-11-05 JP JP62278422A patent/JPH07113560B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1987-11-07 KR KR1019870012563A patent/KR960005639B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5301126A (en) * | 1989-02-14 | 1994-04-05 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Method of processing a signal from a thermal type flow sensor |
| US5086745A (en) * | 1989-07-11 | 1992-02-11 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Method and apparatus for processing a thermal flowrate sensor signal |
| US5415029A (en) * | 1992-03-18 | 1995-05-16 | Hitachi, Ltd. | Air flow detector for engine control unit |
| US5423210A (en) * | 1992-09-18 | 1995-06-13 | Hitachi, Ltd. | Air flow rate meter and air flow rate detection |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR960005639B1 (ko) | 1996-04-30 |
| DE3772534D1 (de) | 1991-10-02 |
| KR880006529A (ko) | 1988-07-23 |
| EP0271660B1 (de) | 1991-08-28 |
| US4777820A (en) | 1988-10-18 |
| JPH07113560B2 (ja) | 1995-12-06 |
| DE3638138A1 (de) | 1988-05-11 |
| EP0271660A3 (en) | 1988-08-10 |
| EP0271660A2 (de) | 1988-06-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS63134919A (ja) | 流れる媒体の流量測定装置 | |
| US4912975A (en) | Direct-heated flow measuring apparatus having improved response characteristics | |
| EP0106455B1 (en) | Mass airflow sensor | |
| JPS6122889B2 (ja) | ||
| JPS6365892B2 (ja) | ||
| JPH063389B2 (ja) | 流体の流量測定装置 | |
| JPS59136620A (ja) | 流体の流量測定装置 | |
| JPH07119637B2 (ja) | 流量測定装置 | |
| US4843882A (en) | Direct-heated flow measuring apparatus having improved sensitivity response speed | |
| JPH0145852B2 (ja) | ||
| JPH06160142A (ja) | 流量センサ | |
| JP3839052B2 (ja) | 流量センサ | |
| JPS6156442B2 (ja) | ||
| KR930011169B1 (ko) | 유동매체 질량 측정장치 | |
| JP2648358B2 (ja) | 空気量測定装置およびその製造方法 | |
| GB2210170A (en) | Heatable electrical resistance for flow meters | |
| US5140854A (en) | Intake air quantity measuring apparatus | |
| US4761995A (en) | Direct-heated flow measuring apparatus having improved sensitivity and response speed | |
| JP3668921B2 (ja) | 流量検出素子 | |
| JPH0641133Y2 (ja) | 熱線式流量計 | |
| JPS60239624A (ja) | 流量測定装置 | |
| JPH09304147A (ja) | 熱式空気流量計用測定素子及びそれを含む熱式空気流量計 | |
| JPH0438425A (ja) | 熱式流量センサ | |
| JPH04147016A (ja) | 熱式流量センサ | |
| JPH0422268Y2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |