JPH09304147A - 熱式空気流量計用測定素子及びそれを含む熱式空気流量計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】支持体および抵抗体同志の熱絶縁を改善し、温
度特性の優れた高精度の熱式空気流量計用測定素子を提
供する。 【解決手段】熱式空気流量計用測定素子は、空気流８の
流れ方向に並設された、基板１の発熱体成膜部位６に成
膜された発熱抵抗体２及び基板の補償体成膜部位７に成
膜された温度補償用抵抗体３と、支持体５と当接し基板
１が支持される基板支持部位１１に成膜されてそれぞれ
の抵抗体から電気信号を取り出す為の複数の電極端子９
および引出電極１０とから構成され、発熱体成膜部位６
と補償体成膜部位７とは、第一のスリット１６を挟んで
流れ方向に対して下流側と上流側に各々離間配置され、
且つ、温度補償用抵抗体３と基板支持部位１１間に基板
支持部位端から温度補償用抵抗体３への熱伝導を調整す
る為の第二のスリット１５が設けられている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、熱式空気流量計用
測定素子に係り、特に内燃機関の吸入空気量を測定する
のに好適な熱式空気流量計用測定素子及び熱式空気流量
計に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より自動車などの内燃機関の電子制
御燃料噴射装置に設けられ吸入空気量を測定する空気流
量計として、熱式のものが質量空気量を直接検知できる
ことから主流となってきており、特に、製造コストを低
減するために基板に薄膜抵抗体を成膜した薄膜型の熱式
空気流量計が主流になりつつある。薄膜型の熱式空気流
量計としては、特開昭６３−１３４９２０号公報、特開
平１−１８５４１６号公報に開示されたものがある。上
記公報に記載の技術は、薄膜型であることから製造コス
トはある程度低減されているが、吸入空気の逆流の影響
により誤差を生ずるもの、また熱式空気流量計として温
度特性に関して考慮されていないという問題があった。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記従来技術には次の
ような課題がある。これについて、特開昭６３−１３４
９２０号公報(第２図)に記載の従来技術の薄膜型の熱式
空気流量計用測定素子の鳥瞰図である図１２を参照し説
明する。図において、１がセラミック等よりなる絶縁基
板、Ｒｋが補償抵抗(温度補償用)、Ｒｓが加熱抵抗、Ｒ
ｈが測定抵抗、８が吸入空気の流れ方向、５が支持体、
１６がスリットで基板１が上流側部分２９と下流側３０
に分割されている。この従来例は傍熱型の熱式空気流量
計の構成になっている、すなわち加熱抵抗(Ｒｓ)は基板
１を介して反対側の面に形成された測定抵抗(Ｒｈ)を加
熱(傍熱)し、上流側の基板２９に形成され空気温度に対
応する補償抵抗(Ｒｋ)より、上記測定抵抗(Ｒｈ)の温度
が一定温度高くなるように制御されており加熱抵抗(Ｒ
ｓ)に流す電流値より空気流量を検出するものである。

【０００４】スリット１６は、加熱抵抗(Ｒｓ)からの熱
伝導を防ぎ空気温度となるべき補償抵抗(Ｒｋ)の温度上
昇を防止するためのものである。このような構成の従来
技術では、逆流の空気が流れた場合、逆流を検知できな
いとともに、空気温度となるべき補償抵抗(Ｒｋ)がスリ
ット１６の存在にもかかわらず、逆流空気の熱伝達によ
り加熱抵抗(Ｒｓ)の熱が伝わり温度が上昇し、空気流量
測定の誤差を伴う。また、支持体５が、内燃機関等の熱
により空気温度より上昇した場合、上記補償抵抗体(Ｒ
ｋ)に熱が伝わり、温度特性が劣化することがある。

【０００５】次に、逆流を検知する従来例としての上記
特開平１−１８５４１６号公報に関する課題について、
該公報に記載の第４図である図１３により以下に説明す
る。図１３は従来の逆流を検知する熱式空気流量計用測
定素子を示す平面図である。図において、１がセラミッ
ク等の熱伝導率の大きい電気絶縁材料からなる基板、２
ａ，２ｂが発熱抵抗体、３ａ，３ｂが温度補償用抵抗
体、９が電極端子、１６がスリット、８が空気の流れ方
向である。このような構成では発熱抵抗体２ａ，２ｂと
温度補償用抵抗体３ａ，３ｂの間にスリット１６を設け
ているが、両抵抗体間が近接していると共に、熱伝導率
の大きい基板１がスリット１６の両端部で繋がっている
ために、発熱抵抗体２ａ，２ｂから温度補償用抵抗体３
ａ，３ｂへ熱が容易に移動し熱絶縁が十分でないため、
空気流量の計測精度を悪化させている。

【０００６】また、発熱抵抗体２ａ，２ｂ及び温度補償
用抵抗体３ａ，３ｂからの電気信号は、基板１の両端に
位置する電極端子９より取り出され、基板１の両端で支
持され、且つ図示していない外部回路に接続される両端
支持構造となっている。上記従来技術で記したように、
このような構成では支持体(該特開平１−１８５４１６
号公報の第２図参照)が内燃機関等の熱により空気温度
より上昇した場合、両端の支持体からの熱伝導が無視で
きず温度補償用抵抗体３ａ，３ｂの温度が空気温度より
上がるために温度特性に問題がある。

【０００７】従って、本発明の目的は、抵抗体同志の熱
絶縁を改善し、温度特性の優れた高精度の熱式空気流量
計用素子及びそれを含む熱式空気流量計を提供すること
にある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記の目的は、被測定流
体の流れ方向に並設されている、基板の発熱体成膜部位
に成膜された発熱抵抗体および前記基板の補償体成膜部
位に成膜された温度補償用抵抗体と、前記発熱抵抗体及
び前記温度補償用抵抗体から電気信号を取り出す為の、
前記発熱体成膜部位及び前記補償体成膜部位を除いた前
記基板の部位であって当該基板が支持される基板支持部
位に成膜された複数の電極とから、前記被測定流体の流
量を検出する検出回路として構成された熱式空気流量計
用測定素子において、前記発熱体成膜部位と前記補償体
成膜部位とは、前記基板に形成された第一のスリットを
挟んで、前記被測定流体の流れ方向に対して下流側と上
流側に各々離間配置され、且つ、前記温度補償用抵抗体
と前記基板支持部位間に、前記基板支持部位端から前記
温度補償用抵抗体への熱伝導を調整する為の第二のスリ
ットを設けることにより達成される。

【０００９】更には、第二のスリットの形状は、前記基
板を伝わる熱伝導における前記基板支持部位端から前記
発熱抵抗体に至る熱抵抗と、前記基板支持部位端から前
記温度補償用抵抗体に至る熱抵抗とがほぼ同じになるよ
うにして定められていることが望ましい。

【００１０】また、上記目的を達成する熱式空気流量計
は、請求項１ないし請求項３のいずれか１項記載の熱式
空気流量計用測定素子を含み被測定流体の流量を測定す
るものである。

【００１１】本発明によれば、基板支持部位端からの伝
導熱の影響が隔絶されるので、温度特性の優れた高精度
の熱式空気流量計用素子及びそれを含む熱式空気流量計
が提供される。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照し説明する。図１は、本発明による第一
の実施例の熱式空気流量計用測定素子を示す平面図であ
る。熱式空気流量計用測定素子は、基板１と、該基板１
の空気流８の下流側に配置され成膜された発熱抵抗体２
と、上流側に配置され成膜された温度補償用抵抗体３
と、温度補償用抵抗体３の抵抗値を調整するための抵抗
値補償用抵抗体４と、発熱抵抗体及び温度補償用抵抗体
から電気信号を取り出すための電極としての引出電極１
０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄと電極端子９ａ，９ｂ，
９ｃ，９ｄとから構成される。

【００１３】そして、基板１は、発熱抵抗体２が成膜さ
れる発熱体成膜部位６と、温度補償用抵抗体３が成膜さ
れる補償体成膜部位７と、該発熱体成膜部位及び補償体
成膜部位を除いた基板の部位であって、支持体５に当接
して基板１が支持される基板支持部位１１とを有し、且
つ、第一のスリット１６、第二のスリット１５を有して
いる。そして、図１の破線で図示されている部分は、基
板１を支持する支持体５を示す仮想線である。

【００１４】また、発熱体成膜部位６(発熱抵抗体２)と
補償体成膜部位７(温度補償用抵抗体３)との位置関係
は、被測定流体としての空気流８の流れ方向に対して上
流側と下流側の位置関係(前と後方向の関係)および左右
の位置関係(流れに対して垂直方向の位置関係)に離間配
置されて(ずれて)いるものとする。すなわち、例えば図
１に図示したように、発熱体成膜部位６が下流左側に配
置されれば、補償体成膜部位７は上流右側に配置される
ように、空気流８の流れ方向に対し、前後左右に段違い
でずれた位置関係にあるものとする。これは、発熱抵抗
体２と温度補償用抵抗体３とが空気流８の流れ方向に対
し重ならないようにし、且つ、発熱抵抗体２と温度補償
用抵抗体３との間を出来るだけ遠くに離し、熱絶縁の向
上を図るためのものである。

【００１５】更に、上記の段違いに且つずらして配置さ
れた発熱体成膜部位６と補償体成膜部位７との間に、第
一のスリット１６を、また、温度補償用抵抗体３と基板
支持部位１１との間に、第二のスリット１５を設ける。
このスリット１５，１６は、発熱抵抗体２と温度補償用
抵抗体３間をさらに隔離するので、さらに熱絶縁を良く
する。特に、定温度制御をするブリッジ回路構成におい
ては、温度補償用抵抗体３の発熱を防止するために、温
度補償用抵抗体３の電気抵抗は発熱抵抗体２に比較して
大きく設定される。このため、大きい電気抵抗の温度補
償用抵抗体３を形成する前記補償体成膜部位７の基板幅
は、前記発熱体成膜部位６の基板幅より大きくなる。従
って、温度補償用抵抗体３と基板支持部位１１間に形成
される第二のスリット１５は、前記温度補償用抵抗体３
の熱絶縁を図る上で効果的な役割を担っている。また、
第一のスリット１６を、図１に示す破線で図示されてい
る基板支持部位１１の境界５ａに達するまで、流れ方向
の左右方向に延長することによって、基板１を介して伝
達される発熱抵抗体２の熱が、支持体５の方へ放熱され
るので、温度補償用抵抗体３への熱影響が低減され、更
に測定精度を向上させることが出来る。これは、余分な
基板端による熱移動がなくなり、熱伝導路が遮断される
からである。

【００１６】また、第二のスリット１５は、支持体５が
内燃機関等の熱により空気温度より上昇した場合、支持
体５からの熱伝導で温度補償用抵抗体３の温度に影響を
及ぼすのを防止する効果がある。温度補償用抵抗体３の
温度が、上記支持体５の熱伝導により空気流８の本来の
温度より上昇すると、温度補償用抵抗体３の温度より一
定温度高く設定制御(定温度制御)されている発熱抵抗体
２に過剰の加熱電流(空気流量信号に相当)が流れ、実際
の空気流量値に対して多い(プラス)誤差を示すことにな
る。第二のスリット１５を設けることにより、支持体５
から温度補償用抵抗体３への熱伝導が低減できることか
ら、上記支持体の温度上昇による測定誤差を低減でき
る。更に、上記支持体５からの熱伝導が避けられない場
合においても、スリット１５の形状を、基板支持部位端
５ａから温度補償用抵抗体３に至る熱伝導路の熱抵抗
(主に基板１の熱伝導率と基板支持部位端５ａから温度
補償用抵抗体３に至る基板の断面積と長さにより決ま
る)を、基板支持部位端５ｂから発熱抵抗体２に至る熱
伝導路の熱抵抗とほぼ同一になるように設定することに
より、支持体５の温度上昇の影響を無くすことが出来
る。これは、支持体５から温度補償用抵抗体３および発
熱抵抗体２に至る熱抵抗が同じになると、支持体５から
温度補償用抵抗体３と発熱抵抗体２に伝わる熱量および
両抵抗体３、２の温度上昇がほぼ同じくなり、定温度制
御している両抵抗体３、２の温度上昇がキャンセルし、
発熱抵抗体２に流れる加熱電流(空気流量信号)に変化が
なくなるためである。

【００１７】なお、抵抗値補償用抵抗体４は、温度補償
用抵抗体３の抵抗値をあらかじめ設定された値に調整す
るためのものである。抵抗体２，３，４、引出電極１０
および電極端子９が形成された基板１は、支持体５によ
って、機械的に支持されると共に、図示されていない外
部回路１４と電極端子９とが電気的に接続されるよう
に、一方端が支持される。

【００１８】図２は、図１の熱式空気流量計用測定素子
を実装した実施例を示す断面図である。例えば、内燃機
関の吸気通路に実装した熱式空気流量計の実施例を示す
断面図である。熱式空気流量計は、図のように、熱式空
気流量計用測定素子と支持体５と外部回路１４とを含み
構成される。そして吸気通路１２の内部にある副通路１
３に熱式空気流量計用測定素子(図では、発熱体成膜部
位６、補償体成膜部位７を示す)が配置される。外部回
路１４は支持体５を介して抵抗体２，３に電気的に接続
されている。ここで、通常では吸気空気は８で示された
方向に流れており、ある内燃機関の条件によって８とは
逆の方向(逆流)に吸気空気が流れる。

【００１９】図３は、図１の発熱抵抗体２の薄膜パター
ンを示す拡大図、図４は同じく図１の温度補償抵抗体３
および抵抗値補償用抵抗体４の薄膜パターンを示す拡大
図である。図４において、第二のスリット１５は上記し
たように支持体５から発熱抵抗体２および温度補償用抵
抗体３に至るまでの熱抵抗が同じになる様に、所定の形
状に形成される。また、抵抗値補償用抵抗体４ａ，４
ｂ，４ｃは、温度補償用抵抗体３の抵抗値を調整するた
めのもので、抵抗値が所定の値になるように抵抗体４
ａ，４ｂ，４ｃに並列に接続されている引出電極１０ａ
の一部をレーザ等によって焼け切って所望の抵抗値を実
現する。

【００２０】ここで、基板１は、アルミナ等のセラミッ
クよりなり、空気流量測定の応答速度を高めるために、
０．０５ｍｍから０．１５ｍｍの極めて薄い厚みのもの
から選択される。発熱抵抗体２、温度補償用抵抗体３及
び抵抗値補償用抵抗体４は、白金薄膜よりなり、スパッ
タ、蒸着などの方法により、０．１ミクロンから２ミク
ロンの膜厚で、一括して基板１上に着膜される。その
後、ホトエッチングなどの方法により、図３、４に示し
た形状に形成される。

【００２１】なお、『一括して』とは、同一材料を用い
て同一行程の同一製造条件で同一膜厚に成膜することを
意味している。すなわち、図１に示した実施例では、発
熱抵抗体２、温度補償用抵抗体３および抵抗値補償用抵
抗体４は、基板１上に、同一材料を用いて同一行程の同
一製造条件で同一膜厚に成膜される。これによって、発
熱抵抗体２、温度補償用抵抗体３および抵抗値補償用抵
抗体４の電気抵抗の温度係数が同じになるので、各抵抗
体間の温度特性のばらつきが低減でき、この点からも計
測精度が向上する。

【００２２】また、発熱抵抗体２と温度補償用抵抗体３
を外部回路に接続するための引出電極１０および電極端
子９は、発熱を防ぎさらに電気抵抗を少なくするため
に、抵抗体２、３、４の白金薄膜より厚い白金ー銀合金
等の厚膜を、該白金薄膜上に印刷等の方法で形成する。
また、抵抗体２，３，４上には、アルミナ、二酸化珪素
やガラス等からなる保護膜(図示していないもの)が形成
される。スリット１５，１６は、レーザ加工等の方法で
形成される。

【００２３】図５は、本発明の第二の実施例の熱式空気
流量計用測定素子の平面図である。ここで、図１の第一
の実施例と異なるところは、第二のスリット１５が、抵
抗値補償用抵抗体４と支持体５の間に形成されていると
ころである。このようにスリット１５を形成した場合に
おいても、第一の実施例と同様の効果を示す。なお、抵
抗値補償用抵抗体４の設置は必須ではなく選択されるも
のである。

【００２４】図６は、本発明の第三の実施例の熱式空気
流量計用測定素子の平面図である。ここで、図１の第一
の実施例と異なるところは、第三の実施例では空気流量
の逆流を検出できるように、発熱抵抗体２、温度補償用
抵抗体３および抵抗値補償用抵抗体４を各々一対にした
ことである。このように抵抗体をそれぞれ一対としたこ
とにより、例えば、空気の流れが図６の８の方向(順流)
のときには、上流に設置された発熱抵抗体２ａが下流に
設置された発熱抵抗体２ｂに比較してより空気流８に冷
やされるためにより大きい加熱電流(空気流量信号)が流
れる、一方空気流８と反対方向(逆流)になると、今度は
下流側に設置された発熱抵抗体２ｂのほうが冷却され、
より大きい加熱電流が流れる。従って、発熱抵抗体２
ａ，２ｂに流れる加熱電流の値を比較すれば空気流の方
向(順流か逆流)が、また、各々の加熱電流値より空気流
量値が測定出来る。また、スリット１５，１６を図１の
第一の実施例と同様に形成しているので、第一の実施例
と同様の効果により測定精度が実現出来る。

【００２５】図７は、本発明の第四の実施例である熱式
空気流量計用測定素子の平面図である。 この実施例
は、図６に示した第三の実施例と異なるのは、 第二の
スリット１５を抵抗値補償用抵抗体４と支持体５の間に
形成したことであり、第三の実施例と同様の効果が実現
できる。

【００２６】図８は、図６の第三の実施例の測定素子の
補償体形成部位７の拡大図である。図から、温度補償用
抵抗体３は３ａ,３ｂ、抵抗値補償用抵抗体４は４ａ,４
ｂ,４ｃ,４ｄ,４ｅ,４ｆと各々一対形成されている。温
度補償用抵抗体３ａ,３ｂは図９で示す様に発熱抵抗体
２ａ,２ｂと各々ブリッジ回路１７ａ,１７ｂを構成す
る。

【００２７】図９は、逆流を検知できる前記第三及び第
四の実施例の外部回路１４と抵抗体２ａ，２ｂ，３ａ，
３ｂの電気回路を示す図である。図９を参照し、 本発
明の実施例の動作について説明する。 駆動回路１７
ａ，１７ｂは、それぞれ独立した回路であり、電源１８
に接続され、別々に空気流量に応じた信号を出力する。
駆動回路１７ａは、上流側に配置された発熱抵抗体２
ａ、温度補償用抵抗体３ａ、抵抗１９ａ，２０ａからな
るホイーストンブリッジ回路により、ブリッジ中点の電
位差が零になるように差動増幅噐２２ａ、トランジスタ
２１ａによって発熱抵抗体２ａに流れる加熱電流を調整
するように構成されている。この構成により、発熱抵抗
体２ａの温度(抵抗値)は空気温度に対応する温度補償用
抵抗体３ａの温度(抵抗値)より設定されたある一定値
(例えば１５０℃)高く制御される。このとき、発熱抵抗
体２ａによる空気流量に対応する信号は図中Ａ点の電位
である。又、駆動回路１７ｂの下流側に配置された発熱
抵抗体２ｂでも同様であり、空気流量に対応する信号は
図中Ｂ点の電位である。

【００２８】上記したように、空気の流れの方向は図中
のＡ、Ｂ点の電位を電圧比較噐２３で比較し、Ａ点の電
位が高い場合には順流、Ｂ点の電位が高い場合には逆流
を判別し方向信号Ｃとして出力する。また、空気流量値
は電圧比較噐２３で判別した後、反転スイッチ回路２５
を切り替えることによりＡ点あるいはＢ点の高い電位の
方を出力信号Ｄとして出力する。

【００２９】図１０は、熱式空気流量計の動作を説明す
る図である。図により動作について説明する。一般に空
気流量は４気筒以下のエンジンの低回転、重負荷時の場
合、吸入空気量の脈動振幅が大きく図１０(ａ)に示す様
に、逆流と呼ぶ負の空気流量を伴う正弦波に近い波形と
なる。これは例えば、エンジン回転数が1000ｒｐｍの場
合は、約３３Ｈｚの脈動周波数となる。このような現象
は、エンジンの燃焼室形状、吸排気管形状およびエアク
リーナ形状などによって異なった形態を示す。逆流検知
の機能のない場合には、図１０(ｂ)に示す様に、真の空
気流量が逆流であっても順流と判断してしまい、真の空
気流量値に対して正の誤差を含んで出力する。一方、逆
流検知の機能をもつ第三、第四の実施例のような場合に
は、図１０(ｃ)のように逆流を判定することから、真の
空気流量に近い流量信号を正確な流量信号を出力する。

【００３０】図１１は、本発明の実施例の効果を示した
ものである。真の空気流量(Ｑ)に対する前記した支持体
５の温度が２５℃から８０℃に上昇した場合の空気流量
誤差(％)を示したものである。ここで、２５℃の空気流
量を基準としている。図中曲線(Ａ)は従来例の特性であ
り、曲線(Ｂ)は本発明の実施例の特性である。本発明の
実施例のように、第一のスリット１６、第二のスリット
１５を、支持体５から発熱抵抗体２および温度補償用抵
抗体３に至る熱抵抗をほぼ同じに設定することにより、
支持体５の温度の影響の少ない(流量測定誤差の少ない)
図中曲線Ｂのような特性が実現できる。

【００３１】本実施例では、基板１に形成された第一の
スリット１６は基板１の途中で途切れた構成になってい
るが、場合によっては、スリット１６が基板１を完全に
切断するような構成(発熱抵抗体２と温度補償用抵抗体
３が完全に分離された構成)においても、組立行程がや
や繁雑になるが、本発明の効果に変わりがないことは明
確である。また、本実施例では、抵抗値補償用抵抗体４
を常に有していたが、この抵抗体４がない場合において
も本発明の効果に変わりがないことは明らかである。

【００３２】

【発明の効果】本発明によれば、発熱抵抗体２および支
持体５から温度補償用抵抗体３への熱絶縁がより効果的
に行えると共に、第二のスリット１５の形状を変えるこ
とにより支持体５から各抵抗体２，３に至る熱抵抗を同
じにできることから、温度特性の優れた高精度の空気流
量計測が可能な熱式空気流量計用測定素子及びそれを含
む熱式空気流量計が提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による第一の実施例の熱式空気流量計用
測定素子を示す平面図である。

【図２】図１の熱式空気流量計用測定素子を実装した実
施例を示す断面図である。

【図３】図１の発熱抵抗体の薄膜抵抗パターンを示す拡
大図である。

【図４】図１の温度補償抵抗体の薄膜抵抗パターンを示
す拡大図である。

【図５】本発明による第二の実施例の熱式空気流量計用
測定素子を示す平面図である。

【図６】本発明による第三の実施例の熱式空気流量計用
測定素子を示す平面図である。

【図７】本発明による第四の実施例の熱式空気流量計用
測定素子を示す平面図である。

【図８】図６の温度補償抵抗体の薄膜抵抗パターンを示
す拡大図である。

【図９】外部回路１４と抵抗体２ａ、２ｂ、３ａ、３ｂ
の電気回路を示す図である。

【図１０】本発明の実施例の動作を示す図である。

【図１１】本発明の実施例の効果を示す図である。

【図１２】従来の熱式空気流量計用測定素子を示す鳥瞰
図である。

【図１３】従来の熱式空気流量計用測定素子を示す平面
図である。

【符号の説明】

１…基板、２，２ａ，２ｂ…発熱抵抗体、３，３ａ，３
ｂ…温度補償用抵抗体 ４…抵抗値補償用抵抗体、５…支持体、６…発熱体成膜
部位、７…補償体成膜部位、８…空気流、９ａ，９ｂ，
９ｃ，９ｄ，９ｅ，９ｆ…電極端子、１０ａ，１０ｂ，
１０ｃ，１０ｄ，１０ｅ，１０ｆ…引出電極、１１…基
板支持部位、１２…空気主通路、１３…副通路、１４…
外部回路、１５…第二のスリット、１６…第一のスリッ
ト、１７ａ，１７ｂ…駆動回路、２２ａ，２２ｂ，２３
…差動増幅器、２１ａ，２１ｂ…トランジスタ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 渡辺 泉 茨城県ひたちなか市高場2477番地 株式会 社日立カーエンジニアリング内 (72)発明者 磯野 忠 茨城県ひたちなか市高場2477番地 株式会 社日立カーエンジニアリング内

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】被測定流体の流れ方向に並設されている、
   基板の発熱体成膜部位に成膜された発熱抵抗体および前
   記基板の補償体成膜部位に成膜された温度補償用抵抗体
   と、 前記発熱抵抗体及び前記温度補償用抵抗体から電気信号
   を取り出す為の、前記発熱体成膜部位及び前記補償体成
   膜部位を除いた前記基板の部位であって当該基板が支持
   される基板支持部位に成膜された複数の電極とから、前
   記被測定流体の流量を検出する検出回路として構成され
   た熱式空気流量計用測定素子において、 前記発熱体成膜部位と前記補償体成膜部位とは、前記基
   板に形成された第一のスリットを挟んで、前記被測定流
   体の流れ方向に対して下流側と上流側に各々離間配置さ
   れ、 且つ、前記温度補償用抵抗体と前記基板支持部位間に、
   前記基板支持部位端から前記温度補償用抵抗体への熱伝
   導を調整する為の第二のスリットを設けたことを特徴と
   する熱式空気流量計用測定素子。
2. 【請求項２】被測定流体の流れ方向に並設されている、
   基板の発熱体成膜部位に成膜された一対の発熱抵抗体な
   らびに前記基板の補償体成膜部位に成膜された一対の温
   度補償用抵抗体と、 それぞれの前記発熱抵抗体及び前記温度補償用抵抗体か
   ら電気信号を取り出す為の、前記発熱体成膜部位及び前
   記補償体成膜部位を除いた前記基板の部位であって当該
   基板が支持される基板支持部位に成膜された複数の電極
   とから、前記被測定流体の流量を検出する検出回路とし
   て構成された熱式空気流量計用測定素子において、 前記発熱体成膜部位と前記補償体成膜部位とは、前記基
   板に形成された第一のスリットを挟んで、前記被測定流
   体の流れ方向に対して下流側と上流側に各々離間配置さ
   れ、 且つ、前記発熱抵抗体と前記温度補償抵抗体とが前記流
   れ方向に対して重ならないように前記発熱体成膜部位が
   前記補償体成膜部位に対して前記基板の先端方向に突き
   出て配置され、 且つ、前記温度補償用抵抗体と前記基板支持部位間に、
   前記基板支持部位端から前記温度補償用抵抗体への熱伝
   導を調整する為の第二のスリットを設けたことを特徴と
   する熱式空気流量計用測定素子。
3. 【請求項３】請求項１または請求項２において、前記第
   二のスリットの形状は、前記基板を伝わる熱伝導におけ
   る前記基板支持部位端から前記発熱抵抗体に至る熱抵抗
   と、前記基板支持部位端から前記温度補償用抵抗体に至
   る熱抵抗とがほぼ同じになるようにして定められたこと
   を特徴とする熱式空気流量計用測定素子。
4. 【請求項４】請求項１ないし請求項３のいずれか１項記
   載の熱式空気流量計用測定素子を含み被測定流体の流量
   を測定することを特徴とする熱式空気流量計。