[go: up one dir, main page]

JPS6237350A - 表面熱処理装置 - Google Patents

表面熱処理装置

Info

Publication number
JPS6237350A
JPS6237350A JP60177196A JP17719685A JPS6237350A JP S6237350 A JPS6237350 A JP S6237350A JP 60177196 A JP60177196 A JP 60177196A JP 17719685 A JP17719685 A JP 17719685A JP S6237350 A JPS6237350 A JP S6237350A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mirror
cylindrical
heat treatment
laser beam
workpiece
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP60177196A
Other languages
English (en)
Inventor
Seiichiro Kimura
盛一郎 木村
Hidekazu Aoki
青木　英一
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP60177196A priority Critical patent/JPS6237350A/ja
Priority to EP86111095A priority patent/EP0213471B1/en
Priority to DE8686111095T priority patent/DE3665031D1/de
Priority to US06/895,735 priority patent/US4692583A/en
Publication of JPS6237350A publication Critical patent/JPS6237350A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C21—METALLURGY OF IRON
    • C21D—MODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
    • C21D1/00—General methods or devices for heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering
    • C21D1/06—Surface hardening
    • C21D1/09—Surface hardening by direct application of electrical or wave energy; by particle radiation
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/073—Shaping the laser spot
    • B23K26/0732—Shaping the laser spot into a rectangular shape

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Heat Treatment Of Articles (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、レーザ光によるワークの表面熱処理装置に関
する。
〔発明の技術的背慎とその問題点〕
一般に、ワークの表面熱処理手段は、レーザ発Ｓ器によ
るレーザ光によってワークの加工特性に大きな影響を与
える。
既に提案されているワークの表面熱処理装置は、第２図
に示されるように、レーザ発振器（図示されず）からの
レーザ光１を平面８１２及び凹面形をなすシリンドリカ
ルミラー３を介してワーク（試料）Ｗの表面に集光し、
これによってワークＷの表面を熱処理するようになって
いる。
このように上述した表面熱処理装置における上記ワーク
Ｗの焦点位置の集光形状による熱処理部４は、扁平な楕
円形になり、しかも、レーザ光１の熱強度分布は、熱処
理部４の中央部４ａで強くなり、その両端部４ｂ、４ｃ
では弱くなるようになっている。
しかしながら、上述したワークの表面熱処理装置は、ワ
ークＷの表面熱処理に使用する際、上記ワークＷの熱処
理部４の幅をある程度必要とするため、上記ワークＷの
焦点位置をずらして、熱処印部４を略楕円形になるにう
にして使用している関係上、上述したように、レーザ光
１の熱強度分布は、熱処理部４の中央部４ａで強くなり
、他方、その両端部４ｂ、４．０で弱くなり、これに起
因して、上記ワークＷの表面熱処理が不均一な深さにな
り、均一な深さの表面熱処理を施すことが困難である。
〔発明の目的〕
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって
、シリンドリカルセグメントミラーでワークの焦点位置
に形成される集光形状による熱処理部を幅広くして、し
から、均一な深さの表面熱処理を廠すようにしたことを
目的とする表面熱処理装置を提供するしのである。
〔発明の１要〕 本発明は、凸面形をなす一対のシリンドリカルセグメン
トミラーをＶ形に接合して設け、この両シリンドリカル
セグメントミラーの接合部の近傍にレーザ光を照射し、
このレーザ光の反射光路上に凹面形をなすシリンドリカ
ルミラーを設け、このシリンドリカルミラーのレー會ア
光でワークの焦点位置に幅広くして、しかも、均一な深
さの集光形状の熱処理部を形成するようにゼ４成したも
のである。
〔発明の実施例〕
以下、本発明を図示の一実施例について説明する。
なお、本発明は、上述した具体例と同一構成部材には、
同じ符号を付して説明する。
第１図において、７１号５は、凸面形をなり一対のシリ
ンドリカルセグメントミラーであって、この両シリンド
リカルセグメントミラー５は、Ｖ形に接合して設けられ
ており、この両シリンドリ力ルレグメントミラ−５の接
合部５ａの近傍には、図示されないレーザ発振器からの
レーザ光１が照射されるようになっている。又、この両
シリンドリカルセグメントミラー５の上位、つまり、シ
リンドリカルセグメントミラー５のレーザ光の反射光路
には、凹面形をすなシリンドリカルミラー３が配設され
ており、このシリンドリカルミラー３は、上記両シリン
ドリカルピグメントミラー５からのレーザ光１を反射し
てワークＷの焦点位置に幅広くして、しかも、幅方向に
も均一な深さの集光形状による熱処理部６を形成するよ
うになっている。
従って、本発明によるワークＷに対するレーザ光１の熱
強度分布は、集光形状による熱処理部６の中央部６ａ及
びその両端部６ｂ、６ｃでも、均一な深さ１＠となり、
しかも、幅広くして形成されている。
このように、ワークＷの焦点位置に幅広くして、しかも
幅方向にも均一へ深さＨの熱処理部６を形成づるのは、
上記両シリンドリカルセグメントミラー５どシリンドリ
カルミラー３との光学系によるものである。特に、上記
シリンドリカルセグメントミラー５は、第１図に示され
るように、凸面形の表面に長さ方向のセグメントミラー
５ｂを形成すると共に、上記両シリンドリカルセグメン
トミラー５の接合面５ａをｖ形に形成するようにテーパ
ー角αを付されている。
なお、上記シリントリＪ」ルセグメン１−ミラー５の’
ＥＪ’１Ｍ手段は、例えば、ゴニオステージのような角
度調節器のステージにシリンドリカルセグメントミラー
５として素祠を載置し、上記ステージの角度を一定の間
隔で調整しながらダイＶカッターでミラー面を研削する
と共に、上記テーパー角αに切削し、しかる後、両シリ
ンドリカルセグメントミラー５の接合面５ａをＶ形のテ
ーパー面を形成するようになっている。
以下、本発明の作用について説明する。
従って、今、レーザー発振器からのレーザ光が上記シリ
ンドリカルセグメントミラ−５の接合部５ａの近傍に照
射されると、このシリンドリカルセグメントミラー５の
レーザ光は、いくつかの長方形をなす光として分割され
、上記シリンドリカルミラー３へ反射される。すると、
このシリンドリカルミラー３の反射光は、左右に交差す
ると共に反転する。さらに、上記シリンドリカルミラー
３で反射したレーザ光は、ワークＷの焦点位置に長方形
の投影像を形成して、長方形の熱！ｌ！！理部６を形成
する。
特に、上記熱処理部６は、ト記シリンドリカルセグメン
トミラー５のセグメントミラー５ｂの幅に基づき幅広く
形成されると共に、両シリンドリカルセグメントミラー
５をＶ形をなすようにテーパ角αを形成して接合しであ
るので、これによってレー音ア先の光路長を調整し、レ
ーザ光の熱強度分布は、上記熱処理部６の中央部６ａ及
びその両端部６ｂ、６Ｃでも、均一な深さＨとなるよう
に調整されている。
囚に、上記両シリンドリカルセグメントミラー５は、上
記セグメントミラー５ｂの幅とデーパ角αを変えること
により、上記熱処理部６の幅や熱処理部の深さ１」を自
由に調整づる。ことができる。
〔発明の効果〕
以上述べたように本発明によれば、凸面形をなす一対の
シリンドリカルセグメン１〜ミラー５をＶ形に接合して
設け、この両シリンドリカルしグメントミラ−５の接合
部５ａの近傍にレーザ光１を照射し、このレーザ光の反
則光路上に凹面形をなすシリンドリカルミラー３を設け
、このシリンドリカルミラー３のレーザ光でワークＷの
焦点位置に幅広くして、しかも、均一な深さ１」の熱処
理部６を形成りるようにイ【つでいるので、ワークＷに
対しレーリ゛光１の光束を有効適切に照射して熱処理を
滴りことができるばかりでなく、均一な深さの熱処理部
６を成形することができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は、本発明の表面熱処理装置を示づ斜面図、第２
図は、既に提案されている表面熱処１ｊＪｊ装置の斜面
図である。 １・・・レーザ光、３・・・シリンドリカルミラー、５
・・・シリンドリカルｅグメントミラー、６・・・熱ｉ
１里部。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 凸面形をなす一対のシリンドリカルセグメントミラーを
    Ｖ形に接合して設け、この両シリンドリカルセグメント
    ミラーの接合部の近傍にレーザ光を照射し、このレーザ
    光の反射光路上に凹面形をなすシリンドリカルミラーを
    設け、このシリンドリカルミラーのレーザ光で、ワーク
    の焦点位置に幅広くして、しかも、均一な深さの熱処理
    部を形成するようにしたことを特徴とする表面熱処理装
    置。
JP60177196A 1985-08-12 1985-08-12 表面熱処理装置 Pending JPS6237350A (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60177196A JPS6237350A (ja) 1985-08-12 1985-08-12 表面熱処理装置
EP86111095A EP0213471B1 (en) 1985-08-12 1986-08-11 Surface heat treating apparatus
DE8686111095T DE3665031D1 (en) 1985-08-12 1986-08-11 Surface heat treating apparatus
US06/895,735 US4692583A (en) 1985-08-12 1986-08-12 Surface heat treating apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60177196A JPS6237350A (ja) 1985-08-12 1985-08-12 表面熱処理装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6237350A true JPS6237350A (ja) 1987-02-18

Family

ID=16026856

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP60177196A Pending JPS6237350A (ja) 1985-08-12 1985-08-12 表面熱処理装置

Country Status (4)

Country Link
US (1) US4692583A (ja)
EP (1) EP0213471B1 (ja)
JP (1) JPS6237350A (ja)
DE (1) DE3665031D1 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0444353U (ja) * 1990-08-15 1992-04-15
JPH04127253U (ja) * 1991-05-10 1992-11-19 三菱自動車工業株式会社 円筒内面のレーザ焼入装置

Families Citing this family (33)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4673207A (en) * 1986-10-14 1987-06-16 Collins & Aikman One-piece automotive trunk liner
GB8819351D0 (en) * 1988-08-15 1988-09-14 Gersan Anstalt Making elongate cut using high energy radiation
US5285320A (en) * 1989-04-14 1994-02-08 Carl-Zeiss-Stiftung Mirror for changing the geometrical form of a light beam
US5138490A (en) * 1989-04-29 1992-08-11 Carl-Zeiss-Stiftung Arrangement for changing the geometrical form of a light beam
DE3922378A1 (de) * 1989-07-07 1991-01-17 Audi Ag Verfahren zum herstellung verschleissfester oberflaechen an bauteilen aus einer aluminium-silicium-legierung
US5696625A (en) * 1989-12-29 1997-12-09 Malifaud; Pierre Leon A. Distributor for electromagnetic radiation, particularly a projection screen
DE4011801A1 (de) * 1990-04-12 1991-10-17 Messer Griesheim Gmbh Verfahren zum thermischen beschichten von oberflaechen mit einem fluorpolymeren
DE4023904A1 (de) * 1990-07-27 1992-01-30 Zeiss Carl Fa Spiegel zur veraenderung der geometrischen gestalt eines lichtbuendels
US5120926A (en) * 1990-11-26 1992-06-09 General Motors Corporation Method and apparatus for high speed laser cutting
AU1537392A (en) * 1991-04-12 1992-11-17 Mli Lasers Process for remelting metal surfaces by laser
US5872663A (en) * 1992-03-06 1999-02-16 Quantum Corporation Apparatus and method for fabricating a deflection mirror tower
DE4212035C2 (de) * 1992-04-10 1996-08-14 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren zum Umschmelzen von Oberflächen von Werkstücken mit Laserstrahlung
JP2655465B2 (ja) * 1993-01-20 1997-09-17 日本電気株式会社 反射型ホモジナイザーおよび反射型照明光学装置
US5397327A (en) * 1993-07-27 1995-03-14 Coherent, Inc. Surgical laser handpiece for slit incisions
AU7682594A (en) * 1993-09-08 1995-03-27 Uvtech Systems, Inc. Surface processing
US5814156A (en) * 1993-09-08 1998-09-29 Uvtech Systems Inc. Photoreactive surface cleaning
WO1995018984A1 (en) * 1994-01-07 1995-07-13 Coherent, Inc. Apparatus for creating a square or rectangular laser beam with a uniform intensity profile
DE19519150A1 (de) * 1995-05-30 1996-12-12 Fraunhofer Ges Forschung Laserstrahlgerät und Verfahren zur Bearbeitung von Werkstücken
US6856630B2 (en) * 2000-02-02 2005-02-15 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Beam homogenizer, laser irradiation apparatus, semiconductor device, and method of fabricating the semiconductor device
US20020107510A1 (en) * 2001-02-05 2002-08-08 Andrews Robert R. Laser apparatus useful for myocardial revascularization
US6767674B2 (en) * 2001-10-26 2004-07-27 Infineon Technologies Ag Method for obtaining elliptical and rounded shapes using beam shaping
JP2009514188A (ja) * 2003-07-09 2009-04-02 カール・ツァイス・エスエムティー・アーゲー ファセットミラーおよび鏡面ファセットの製造方法
FR2878185B1 (fr) 2004-11-22 2008-11-07 Sidel Sas Procede de fabrication de recipients comprenant une etape de chauffe au moyen d'un faisceau de rayonnement electromagnetique coherent
US10857722B2 (en) 2004-12-03 2020-12-08 Pressco Ip Llc Method and system for laser-based, wavelength specific infrared irradiation treatment
US7425296B2 (en) 2004-12-03 2008-09-16 Pressco Technology Inc. Method and system for wavelength specific thermal irradiation and treatment
WO2006066687A1 (en) * 2004-12-22 2006-06-29 Carl Zeiss Laser Optics Gmbh Optical system for creating a line focus, a scanning system for producing a scanning beam focus and a method for laser processing of a substrate
EP1745859A1 (en) * 2005-07-20 2007-01-24 Vlaamse Instelling Voor Technologisch Onderzoek (Vito) A method and apparatus for applying a coating on a substrate
FR2913210B1 (fr) 2007-03-02 2009-05-29 Sidel Participations Perfectionnements a la chauffe des matieres plastiques par rayonnement infrarouge
FR2917005B1 (fr) 2007-06-11 2009-08-28 Sidel Participations Installation de chauffage des corps de preformes pour le soufflage de recipients
ES2360732B1 (es) * 2009-10-24 2012-04-24 Universidad De Vigo Método de obtención de recubrimientos porosos mediante proyección térmica asistida por l�?ser.
DE102009050858A1 (de) * 2009-10-27 2011-04-28 Ima Klessmann Gmbh Holzbearbeitungssysteme Vorrichtung und Verfahren zur Bekantung von Werkstücken
US20170248793A1 (en) * 2016-02-29 2017-08-31 Universal Laser Systems, Inc. Laser processing system with modified beam energy distribution
CN108422077B (zh) * 2018-03-16 2020-04-24 张家港康得新光电材料有限公司 一种激光打码设备

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54838A (en) * 1977-06-03 1979-01-06 Fujitsu Ltd Data transfer system
US4195913A (en) * 1977-11-09 1980-04-01 Spawr Optical Research, Inc. Optical integration with screw supports
JPS583478B2 (ja) * 1978-03-03 1983-01-21 株式会社日立製作所 レ−ザ加熱方法および装置
US4475027A (en) * 1981-11-17 1984-10-02 Allied Corporation Optical beam homogenizer

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0444353U (ja) * 1990-08-15 1992-04-15
JPH04127253U (ja) * 1991-05-10 1992-11-19 三菱自動車工業株式会社 円筒内面のレーザ焼入装置

Also Published As

Publication number Publication date
EP0213471A3 (en) 1987-06-03
US4692583A (en) 1987-09-08
DE3665031D1 (en) 1989-09-21
EP0213471A2 (en) 1987-03-11
EP0213471B1 (en) 1989-08-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS6237350A (ja) 表面熱処理装置
US4315130A (en) Method of treating object by laser beam and apparatus therefor
EP0080597B1 (en) Optical beam homogenizer
KR940008797A (ko) 레이저빔 용접장치 및 방법
JPS6293095A (ja) レ−ザ加工装置
JPS6159837B2 (ja)
JPH02137687A (ja) レーザ集光装置
JPS58159514A (ja) レ−ザビ−ム空間分布形成方法
JPH0436794B2 (ja)
JP2662065B2 (ja) レーザー・マーキング用光学システム
JPH02187259A (ja) 光ビーム加熱加工装置
JPS6317035B2 (ja)
GB2139613A (en) Method and apparatus for cutting glass
JPH0159076B2 (ja)
JP2003528727A (ja) 材料のレーザ処理装置
JPS5829447Y2 (ja) シユウコウソウチ
JPH02297986A (ja) ビームの均一化方法並びに均一化したビームの伝送装置および照射装置
JP2003033893A (ja) レーザ加工方法及び加工装置
JPS59166389A (ja) レ−ザ加工装置
JPH0819139A (ja) レ−ザ加工装置
JPH03184687A (ja) レーザ加工装置
JPH03193289A (ja) レーザ加工装置
JPS6160290A (ja) レ−ザを用いたワ−クの処理方法
JPS6142120A (ja) レ−ザ光照射装置
JPH04127990A (ja) レーザ光照射装置