JPS62140620A - 薄膜の製造方法 - Google Patents
薄膜の製造方法Info
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- JPS62140620A JPS62140620A JP28108485A JP28108485A JPS62140620A JP S62140620 A JPS62140620 A JP S62140620A JP 28108485 A JP28108485 A JP 28108485A JP 28108485 A JP28108485 A JP 28108485A JP S62140620 A JPS62140620 A JP S62140620A
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- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Manufacture Of Porous Articles, And Recovery And Treatment Of Waste Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、薄膜の製造方法に関し、とくにガス分離膜形
成性Ｎ材の薄膜を均一な厚みで連続的に製造する方法に
関する。
成性Ｎ材の薄膜を均一な厚みで連続的に製造する方法に
関する。
［従来の技術］
ガス分離膜、たとえば、酸素を他の気体よりも多く透過
させる酸素富化膜、炭酸ガスを他の気体よりも多く透過
させる炭酸ガス分離膜等においては、その性能を向上さ
けるために膜厚を（へ力博くすることが望まれる。すな
わら、ガス分離膜におけるガス透過のメカニズムは、一
般に膜表面でガスが溶解され、膜内部ではガスの拡散が
行われると考えられており、膜表面におけるガスの分離
［生能はその膜を形成している物質固有の分離係数によ
り定まるか、膜内部においては、膜厚が厚くなると拡散
抵抗が大きくなり、その分ガス透過能力が低減覆るので
、能力を高めるためには膜厚を（へカ薄くすることが望
まれる。
させる酸素富化膜、炭酸ガスを他の気体よりも多く透過
させる炭酸ガス分離膜等においては、その性能を向上さ
けるために膜厚を（へ力博くすることが望まれる。すな
わら、ガス分離膜におけるガス透過のメカニズムは、一
般に膜表面でガスが溶解され、膜内部ではガスの拡散が
行われると考えられており、膜表面におけるガスの分離
［生能はその膜を形成している物質固有の分離係数によ
り定まるか、膜内部においては、膜厚が厚くなると拡散
抵抗が大きくなり、その分ガス透過能力が低減覆るので
、能力を高めるためには膜厚を（へカ薄くすることが望
まれる。
薄膜の製造方法として、水面上に高分子の非水溶性溶媒
溶液を展延して該溶液の薄味層を形成せしめ、次いでこ
れを脱溶媒する、いわゆる水面展開法か知られている。
溶液を展延して該溶液の薄味層を形成せしめ、次いでこ
れを脱溶媒する、いわゆる水面展開法か知られている。
その方法は、水面上に前記溶液の小滴を滴下したときに
生ずる界面現象に基づく溶液の展延を利用するものであ
るか、かかる方法による場合には、前記溶液の滴下量の
コントロールの難かしぎに起因する膜の不均一性や、大
面積の薄膜は得がたいという欠点があり、工業的に利用
するにはかなり回動である。
生ずる界面現象に基づく溶液の展延を利用するものであ
るか、かかる方法による場合には、前記溶液の滴下量の
コントロールの難かしぎに起因する膜の不均一性や、大
面積の薄膜は得がたいという欠点があり、工業的に利用
するにはかなり回動である。
近年、大面積の薄膜のＭＡのために種々の方法が提案さ
れており、とくに高分子溶液を液）内としてではなく線
状に水面上に供給することにより従来法の欠点を補Ｊ５
うとしているものでおる。たとえば、■水面上に一対の
仕切棒を設置し、該仕切棒て区切られた領域内に高分子
溶液を滴下りるとともに仕切棒の間隔を増大せしめると
いう方法（特公昭５８−３３０８６号公報）、■溶媒と
して水よりも高密度のものを使用し、水面下に設置した
溶液溜内に回転ロールのごとき可動面を通過させて、ぞ
のロール面に溶液を付着させ、水面上に引上げることに
より強制的に溶液を水面上に展延せしめる方法（米国特
許３７６７７３７号）、■水面上への高分子溶液の展延
を水相と高分子溶液相との相対的４γ液面位首の制御に
より行わしめる方法（特開ｔｇｒ５８−９２５２６号公
報）、■ポリマ溶液を、 Ｇ２を水中に浸漬した板状体
に沿って水面へ供給づる方法（特開［Ｍ’＋ ５９−２
２７２４号公＋Ｆｉ＞などである。
れており、とくに高分子溶液を液）内としてではなく線
状に水面上に供給することにより従来法の欠点を補Ｊ５
うとしているものでおる。たとえば、■水面上に一対の
仕切棒を設置し、該仕切棒て区切られた領域内に高分子
溶液を滴下りるとともに仕切棒の間隔を増大せしめると
いう方法（特公昭５８−３３０８６号公報）、■溶媒と
して水よりも高密度のものを使用し、水面下に設置した
溶液溜内に回転ロールのごとき可動面を通過させて、ぞ
のロール面に溶液を付着させ、水面上に引上げることに
より強制的に溶液を水面上に展延せしめる方法（米国特
許３７６７７３７号）、■水面上への高分子溶液の展延
を水相と高分子溶液相との相対的４γ液面位首の制御に
より行わしめる方法（特開ｔｇｒ５８−９２５２６号公
報）、■ポリマ溶液を、 Ｇ２を水中に浸漬した板状体
に沿って水面へ供給づる方法（特開［Ｍ’＋ ５９−２
２７２４号公＋Ｆｉ＞などである。
［発明か解決しようとする問題点］
ところが、薄膜を工業的に製造するには、均一な膜厚の
ものが容易にかつ連続的に製造される必要がおる。上述
の■の方法においては、薄膜が連続的に１ｑられないと
いう制約がおり、■の方法においては、可動ロール表面
に付着した溶液の水面上への移行が必ずしも完全に行わ
れにくいため薄膜の均一さが損われるという欠点を有し
ている。
ものが容易にかつ連続的に製造される必要がおる。上述
の■の方法においては、薄膜が連続的に１ｑられないと
いう制約がおり、■の方法においては、可動ロール表面
に付着した溶液の水面上への移行が必ずしも完全に行わ
れにくいため薄膜の均一さが損われるという欠点を有し
ている。
ざらに、■および■の方法を用いて連続的な薄膜の製造
を行うにあたっては、形成された薄膜を水面から取り出
す速度と、ポリマ溶液を注入する速度とのバランスを極
めて精密にコントロールフる必要があるという問題が必
る。
を行うにあたっては、形成された薄膜を水面から取り出
す速度と、ポリマ溶液を注入する速度とのバランスを極
めて精密にコントロールフる必要があるという問題が必
る。
また、酸素富化膜や炭酸ガス分離膜等のガス分離膜は、
たとえば０．０５μ程度の極薄膜に形成されることが望
まれるが、実際の使用にあたっては、０．０５μ程度の
極薄膜を単体で使用することは極めて回動であるので極
薄膜はガス透過性を有する支持膜上に支持された状態で
使用される。
たとえば０．０５μ程度の極薄膜に形成されることが望
まれるが、実際の使用にあたっては、０．０５μ程度の
極薄膜を単体で使用することは極めて回動であるので極
薄膜はガス透過性を有する支持膜上に支持された状態で
使用される。
したがって、製造段階で所定の支持膜との積層構造とし
て製造されたとしてもガス分離膜製品としてはなんら支
障はない。
て製造されたとしてもガス分離膜製品としてはなんら支
障はない。
本発明は、上記のような従来装置、従来方法に４３ける
問題点および上記支持膜との関連に看目し、酸素富化膜
等の薄膜形成が要求されるガス分離膜の装）貴方法にお
いて、容易にかつ確実に均一な厚みの薄膜を形成でき、
しかも大面積で連続的に形成可能な′ｄ、膜の製造方法
を提供することを目的とする。
問題点および上記支持膜との関連に看目し、酸素富化膜
等の薄膜形成が要求されるガス分離膜の装）貴方法にお
いて、容易にかつ確実に均一な厚みの薄膜を形成でき、
しかも大面積で連続的に形成可能な′ｄ、膜の製造方法
を提供することを目的とする。
［問題点を解決するための手段］
この目的に沿う本発明の薄膜の製造方法は、つぎの方法
からなる。すなわち、多孔質構造の水含浸支持膜を連続
的に搬送し、まザ該水含浸支持膜の表面−りの水滴を除
去し、水滴の除去された水含浸支持膜表面上に通気性を
有するポリマを主成分とする溶液をコーティングし、該
ポリマ溶液がコーティングされた水含浸支持膜を瞬間乾
燥して水含浸支持膜中の水を蒸発除去するとともに該支
持膜表面上に通気性を有するポリマからなる下地層を形
成し、該下地層の表面にガス分離膜形成性素材を主成分
とする有機溶媒溶液をコーティングし、該有は溶媒溶液
がコーティングされた支持膜および下地層を瞬間乾燥し
て下地層表面上に前記ガス分離膜形成性素材の薄膜を形
成する方法である。
からなる。すなわち、多孔質構造の水含浸支持膜を連続
的に搬送し、まザ該水含浸支持膜の表面−りの水滴を除
去し、水滴の除去された水含浸支持膜表面上に通気性を
有するポリマを主成分とする溶液をコーティングし、該
ポリマ溶液がコーティングされた水含浸支持膜を瞬間乾
燥して水含浸支持膜中の水を蒸発除去するとともに該支
持膜表面上に通気性を有するポリマからなる下地層を形
成し、該下地層の表面にガス分離膜形成性素材を主成分
とする有機溶媒溶液をコーティングし、該有は溶媒溶液
がコーティングされた支持膜および下地層を瞬間乾燥し
て下地層表面上に前記ガス分離膜形成性素材の薄膜を形
成する方法である。
本発明において、ガス分離膜形成性素材としては、一般
に溶媒注型によって実質的に無孔性のフィルムを形成し
得るガス分離性能を有する重合体（重合体混合物、グラ
フト車合体、ブロック千合体おＪ：び共重合体も含む）
が挙げられる。たとえば酸素富化膜においては、ポリ（
４−メチルペンテン−１〉が挙げられる。他に気体分離
膜素材としては、ポリアクリロニトリル、ポリアクリロ
ニトリル、Ｌｏｐａｃ （Ｍｏｎｓａｎｔｏ、Ｃｏ。
に溶媒注型によって実質的に無孔性のフィルムを形成し
得るガス分離性能を有する重合体（重合体混合物、グラ
フト車合体、ブロック千合体おＪ：び共重合体も含む）
が挙げられる。たとえば酸素富化膜においては、ポリ（
４−メチルペンテン−１〉が挙げられる。他に気体分離
膜素材としては、ポリアクリロニトリル、ポリアクリロ
ニトリル、Ｌｏｐａｃ （Ｍｏｎｓａｎｔｏ、Ｃｏ。
）、ポリ塩化ビニリデン、Ｂａｒｅｘ （３ｏｈ ｉＯ
，Ｃｏ、）、ポリエチレンテレフタレート、ナイロン−
６、ポリ塩化ビル（前回？）、ポリエチレン、（密度０
．９６４＞、酢酸セルロース、ブブルゴム、ポリカーボ
ネート、ポリプロピレン（密度０．９０７＞、ボリスヂ
レン、ポリエチレン密度０．９２２）、ネオプレン、テ
フ［」ン、ポリ（２，６−ジメヂルフエニレンオキシド
）、天然ゴム、ポリ−４−メチルペンテン−１、ポリジ
メチルシロキサンいずれも使用可能である。また、多孔
質構造の水含浸支持膜としては、いわゆる水分比（１膜
か使用でき、たとえば多孔質構造の不織イ１ｉの上にジ
メヂルホルムアミドで溶解したポリスルホンを水中で脱
溶媒したいわゆる湿式製膜法で積層さけた多孔質膜が用
いられる。さらに、通気性を有するポリマとしては、通
気能力の而からシリコン系ポリマが最適である。
，Ｃｏ、）、ポリエチレンテレフタレート、ナイロン−
６、ポリ塩化ビル（前回？）、ポリエチレン、（密度０
．９６４＞、酢酸セルロース、ブブルゴム、ポリカーボ
ネート、ポリプロピレン（密度０．９０７＞、ボリスヂ
レン、ポリエチレン密度０．９２２）、ネオプレン、テ
フ［」ン、ポリ（２，６−ジメヂルフエニレンオキシド
）、天然ゴム、ポリ−４−メチルペンテン−１、ポリジ
メチルシロキサンいずれも使用可能である。また、多孔
質構造の水含浸支持膜としては、いわゆる水分比（１膜
か使用でき、たとえば多孔質構造の不織イ１ｉの上にジ
メヂルホルムアミドで溶解したポリスルホンを水中で脱
溶媒したいわゆる湿式製膜法で積層さけた多孔質膜が用
いられる。さらに、通気性を有するポリマとしては、通
気能力の而からシリコン系ポリマが最適である。
［作用］
このように構成された製造方法においては、表面上から
水滴が除去された水含浸支持膜上に通気性を有するポリ
マがコーティングされるので、支持膜中に含浸されてい
る水によってコーティングポリマが支持膜中に浸み込む
ことは防止され、］−ティング後の瞬間乾燥により支持
膜中の水が除去されて支持膜は空孔を有する多孔質構造
とされる。したがってこの段階では、表面か孔のない通
気性を有ＪるポリマのＡ９層からなり内部か通気抵抗の
小さな多孔質構造の支持体からなる基伺か構成される。
水滴が除去された水含浸支持膜上に通気性を有するポリ
マがコーティングされるので、支持膜中に含浸されてい
る水によってコーティングポリマが支持膜中に浸み込む
ことは防止され、］−ティング後の瞬間乾燥により支持
膜中の水が除去されて支持膜は空孔を有する多孔質構造
とされる。したがってこの段階では、表面か孔のない通
気性を有ＪるポリマのＡ９層からなり内部か通気抵抗の
小さな多孔質構造の支持体からなる基伺か構成される。
この通気性を有するポリマ層を下地層として、ガス分離
膜形成性素材を主成分とする有機溶媒溶液が口金等から
シート状に吐出されて薄膜でコーティングされ、瞬間乾
燥により溶媒が除去されて、下地層表面上にガス分離膜
形成性素材の薄膜が形成される。
膜形成性素材を主成分とする有機溶媒溶液が口金等から
シート状に吐出されて薄膜でコーティングされ、瞬間乾
燥により溶媒が除去されて、下地層表面上にガス分離膜
形成性素材の薄膜が形成される。
水含浸支持膜は連続的に送り出され、ガス分離膜形成性
素材の薄膜形成およびその後の巻取等までが連続的に行
われるので、薄膜の連続的な製造が可能である。そして
、ガス分離膜形成性素材を主成分とする有機溶媒溶液は
平面の下地層上にコーティングされるので、確実で均一
な厚みの塗イ［が可能であり、乾燥接には均一な薄膜が
形成される。また、連続的に移動する下地層−ヒての形
成で必るから、大面積の薄膜も容易に形成される。
素材の薄膜形成およびその後の巻取等までが連続的に行
われるので、薄膜の連続的な製造が可能である。そして
、ガス分離膜形成性素材を主成分とする有機溶媒溶液は
平面の下地層上にコーティングされるので、確実で均一
な厚みの塗イ［が可能であり、乾燥接には均一な薄膜が
形成される。また、連続的に移動する下地層−ヒての形
成で必るから、大面積の薄膜も容易に形成される。
［実施例］
以下に本発明の望ましい実施例を図面を参照して説明す
る。
る。
第１図は、本発明の一実施例に係る薄膜の製造方法を実
施するための薄膜製造装置およびその工程を示しており
、酸素富化膜の製造工程に本発明を適用したものを示し
ている。第２図は、第１図の各工程に対応して薄膜がど
のように形成されていくかを示す各層の断面図である。
施するための薄膜製造装置およびその工程を示しており
、酸素富化膜の製造工程に本発明を適用したものを示し
ている。第２図は、第１図の各工程に対応して薄膜がど
のように形成されていくかを示す各層の断面図である。
図において、１は、連続的に搬送される多孔質構造の水
含浸支持膜を示しており、水含浸支持膜１は、シート状
のものが適当な巻出し装置２から送り出される。
含浸支持膜を示しており、水含浸支持膜１は、シート状
のものが適当な巻出し装置２から送り出される。
水含浸支持膜１は、第２図（イ）に示づように、ポリエ
ステル不８イ５またはタフタからなる多孔質層３の上に
湿式製膜法による、やはり多孔質構造のポリスルホン多
孔質膜４等が積層された積層構造からなっている。この
水含浸支持膜１は、湿式製膜法て製造されたものである
ため、必然的に内部に水が含浸されており、巻出し装置
２から送り出される状態では保存用水槽から取出したも
のであるので表裏面に水滴５が付着している。
ステル不８イ５またはタフタからなる多孔質層３の上に
湿式製膜法による、やはり多孔質構造のポリスルホン多
孔質膜４等が積層された積層構造からなっている。この
水含浸支持膜１は、湿式製膜法て製造されたものである
ため、必然的に内部に水が含浸されており、巻出し装置
２から送り出される状態では保存用水槽から取出したも
のであるので表裏面に水滴５が付着している。
巻出し装置２から送り出された水含浸支持膜１は、搬送
途中でエアナイフ６等の手段により表裏面の水滴５が除
去される。この状態では第２図（Ｃ＋ ）に示すように
、水含浸支持膜１は内部には水が充満しているが表面に
は水滴のない状態となる。
途中でエアナイフ６等の手段により表裏面の水滴５が除
去される。この状態では第２図（Ｃ＋ ）に示すように
、水含浸支持膜１は内部には水が充満しているが表面に
は水滴のない状態となる。
水滴の除去された水含浸支持膜１は、搬送［１−ルア、
ドラム８上を搬送され、ドラム８上方に設けられた口金
９のスリット１０から、通気性を有するポリマを主成分
とづる溶液１１か水含浸支持＋ｒ焚１表面上に吐出され
コーティングされる（第２図（ハ））。口金９は、アー
ム１２を介してウェイト１３と手足的にバランスされる
浮動口金に構成されており、水含浸支持膜１の厚みむら
等に良好に追従しつつ軽い押圧力で水含浸支持膜１の表
面側の両端部に接触できるようになっている。水滴か除
去された表面上へのコーティングで必るから、溶液１１
の均一なコーティングか可能であり、しかも内部には水
が充満しているので、溶液１１の水含浸支持膜１中への
浸透は防止される。通気性を有するポリマとしては、シ
リコン系ポリマか１役もガス透過性か優れていることか
知られている。
ドラム８上を搬送され、ドラム８上方に設けられた口金
９のスリット１０から、通気性を有するポリマを主成分
とづる溶液１１か水含浸支持＋ｒ焚１表面上に吐出され
コーティングされる（第２図（ハ））。口金９は、アー
ム１２を介してウェイト１３と手足的にバランスされる
浮動口金に構成されており、水含浸支持膜１の厚みむら
等に良好に追従しつつ軽い押圧力で水含浸支持膜１の表
面側の両端部に接触できるようになっている。水滴か除
去された表面上へのコーティングで必るから、溶液１１
の均一なコーティングか可能であり、しかも内部には水
が充満しているので、溶液１１の水含浸支持膜１中への
浸透は防止される。通気性を有するポリマとしては、シ
リコン系ポリマか１役もガス透過性か優れていることか
知られている。
溶液１１が表面にコーティングされた水含浸支持膜１は
、第１オーブン１４中に通される。第１オーブン１４は
、熱風オーブンからなり、給気口１５から熱風が供給さ
れ、排気口１６から排出される。１７はオーブン１４中
の１般送ロールでおる。
、第１オーブン１４中に通される。第１オーブン１４は
、熱風オーブンからなり、給気口１５から熱風が供給さ
れ、排気口１６から排出される。１７はオーブン１４中
の１般送ロールでおる。
この第１オーブン１４中で、溶液１１が表面にコーティ
ングされた水含浸支持膜１が瞬間的に乾燥され、水含浸
支持膜１中の水が蒸発除去されるとともに、該支持膜表
面上に通気性を有するポリマからなる下地層１８が形成
される（第２図（ニ））。この下地層１８は、一層ても
よいか、積層することによりピンボールの発生の確率が
極端に低下されるため、本実施例では二層に形成される
。すなわち、 Ｉ？Ｌｉの下地層１８が形成された、水
が蒸発除去された支持膜１９には、再度浮動型口金２Ｏ
から通気性を有するポリマを主成分とする溶液２１かコ
ーティングされ、それか第２Ａ−アン２２中に通されて
瞬間乾燥され、下地層２３に形成される（第２図（ニ）
（ホ））。
ングされた水含浸支持膜１が瞬間的に乾燥され、水含浸
支持膜１中の水が蒸発除去されるとともに、該支持膜表
面上に通気性を有するポリマからなる下地層１８が形成
される（第２図（ニ））。この下地層１８は、一層ても
よいか、積層することによりピンボールの発生の確率が
極端に低下されるため、本実施例では二層に形成される
。すなわち、 Ｉ？Ｌｉの下地層１８が形成された、水
が蒸発除去された支持膜１９には、再度浮動型口金２Ｏ
から通気性を有するポリマを主成分とする溶液２１かコ
ーティングされ、それか第２Ａ−アン２２中に通されて
瞬間乾燥され、下地層２３に形成される（第２図（ニ）
（ホ））。
下地層１８、下地層２３の形成された支持膜１９は、さ
らに連続的に搬送され、下地層２３上に浮動型口金２４
から、ガス分離膜形成性素材を主成分とする有機溶媒溶
液２５がコーティングされる（第２図（ホ））。ガス分
離膜形成性素材としては、たとえば酸素富化膜に対して
はポリ（４−メチルペンテン−１）が用いられる。この
右は溶媒溶液２５がコーティングされた支持膜１９は、
第３オーブン２６中を通され、瞬間乾燥される。
らに連続的に搬送され、下地層２３上に浮動型口金２４
から、ガス分離膜形成性素材を主成分とする有機溶媒溶
液２５がコーティングされる（第２図（ホ））。ガス分
離膜形成性素材としては、たとえば酸素富化膜に対して
はポリ（４−メチルペンテン−１）が用いられる。この
右は溶媒溶液２５がコーティングされた支持膜１９は、
第３オーブン２６中を通され、瞬間乾燥される。
乾燥後には、溶媒が除去され、コーティングされた有機
溶媒溶液２５は、ガス分離膜形成性素材が残されて薄膜
のガス分離膜層２７として形成される（第２図（ホ）
（へ））。このガス分離膜層も本実施例ではピンホール
防止のため二層に形成される。すなわち、■度浮動型口
金２８から、ガス分離膜形成性素材を主成分と覆る有機
溶媒溶液２９かコーティングされ、それが第４Ａ−アン
３０中に通されて瞬間乾燥され、薄膜のガス分離膜層３
１として形成される（第２図（へ）（ト））。
溶媒溶液２５は、ガス分離膜形成性素材が残されて薄膜
のガス分離膜層２７として形成される（第２図（ホ）
（へ））。このガス分離膜層も本実施例ではピンホール
防止のため二層に形成される。すなわち、■度浮動型口
金２８から、ガス分離膜形成性素材を主成分と覆る有機
溶媒溶液２９かコーティングされ、それが第４Ａ−アン
３０中に通されて瞬間乾燥され、薄膜のガス分離膜層３
１として形成される（第２図（へ）（ト））。
その後、念のため、ざらに第５オーブン３２中に通され
て水分が除去され、適当な巻取機３３に巻き取られる。
て水分が除去され、適当な巻取機３３に巻き取られる。
このようにしてｊｄられた酸素富化膜は、第３図に示す
ような断面構造を有する。
ような断面構造を有する。
図において、３はポリニスデル不織布またはタック、４
はポリスルホン多孔質膜を示しており、これらの積層、
構造からなる塁４４３４１に、トータルＩ″＄ざ０．１
μのシリコン系ポリマからなる二層の下地層３５かコー
ティングされ、その上にたとえば厚さ０．０５μのポリ
（４−メチルペンテン−１）からなるガス分離膜として
の二層構成の酸素富化膜３６か形成される。このＰｌｉ
素富素膜化膜３６溶剤に溶かした塗料状態では水よりも
低粘度である。シリコン系ポリマからなる下地層３５は
、低粘度のｌｖ２索富化摸３６か多孔質の基材３４内に
浸み込むのを防止しており、二段塗りするのは、前述の
如く、もし−ｍの下地層にピンホールが必った場合、二
Ｉｆ塗りすればピンホール同士か重なる確率は極めて低
くなるので、下地層３５に酸素富化膜３６が浸透するよ
うなピンホールの発生を防止できるからでおる。
はポリスルホン多孔質膜を示しており、これらの積層、
構造からなる塁４４３４１に、トータルＩ″＄ざ０．１
μのシリコン系ポリマからなる二層の下地層３５かコー
ティングされ、その上にたとえば厚さ０．０５μのポリ
（４−メチルペンテン−１）からなるガス分離膜として
の二層構成の酸素富化膜３６か形成される。このＰｌｉ
素富素膜化膜３６溶剤に溶かした塗料状態では水よりも
低粘度である。シリコン系ポリマからなる下地層３５は
、低粘度のｌｖ２索富化摸３６か多孔質の基材３４内に
浸み込むのを防止しており、二段塗りするのは、前述の
如く、もし−ｍの下地層にピンホールが必った場合、二
Ｉｆ塗りすればピンホール同士か重なる確率は極めて低
くなるので、下地層３５に酸素富化膜３６が浸透するよ
うなピンホールの発生を防止できるからでおる。
上記のように本実施例においては、薄膜の酸素富化膜３
６が連続的にしかも均一な厚みで形成される。
６が連続的にしかも均一な厚みで形成される。
なお、上記実施例は酸素富化膜についてのしのであるが
、本発明はガス分離膜全般を対象としており、炭酸ガス
分離膜等の製造にも適用できることは勿論のことでおる
。
、本発明はガス分離膜全般を対象としており、炭酸ガス
分離膜等の製造にも適用できることは勿論のことでおる
。
［発明の効果１
以上説明したように、本発明の薄膜の製造方法によると
ぎは、多孔質構造の水含浸支持膜を連続的に搬送し、そ
の上に通気陣を有するポリマからなる下地層を形成し、
該下地層の上にガス分離膜形成性素材を主成分とするイ
ｊ）人情媒溶液をコーディングして瞬間乾燥により均一
な平面の下地層表面上に１膜のガス分離膜を形成するに
うにしだので、均一な薄膜のガス分離膜を連続的にかつ
容“易に形成することができ、しかし連続形成であるか
ら大面積で必っても容易に目標とする面積の摸形成が可
能であり、工業的にも利用価値の高い製造方法か得られ
る。
ぎは、多孔質構造の水含浸支持膜を連続的に搬送し、そ
の上に通気陣を有するポリマからなる下地層を形成し、
該下地層の上にガス分離膜形成性素材を主成分とするイ
ｊ）人情媒溶液をコーディングして瞬間乾燥により均一
な平面の下地層表面上に１膜のガス分離膜を形成するに
うにしだので、均一な薄膜のガス分離膜を連続的にかつ
容“易に形成することができ、しかし連続形成であるか
ら大面積で必っても容易に目標とする面積の摸形成が可
能であり、工業的にも利用価値の高い製造方法か得られ
る。
そして、本発明を酸素富化膜のコーディングに適用すれ
ば、基材上に０．０５μ程度のごく薄い酸素富化膜のコ
ーティング層が均一に形成でき、酸素富化膜の酸素透過
性能は膜厚に逆比例するので、俺めて高性能のｒｅ、素
膜化膜が実現できる。
ば、基材上に０．０５μ程度のごく薄い酸素富化膜のコ
ーティング層が均一に形成でき、酸素富化膜の酸素透過
性能は膜厚に逆比例するので、俺めて高性能のｒｅ、素
膜化膜が実現できる。
第１図は本発明の一実施例に係る薄膜の製造方法を実施
するための薄膜製造装置（Ｂよび工程フローを示す概念
図、 第２図は第１図の工程に対応する膜の断面図、第３図は
ガス分離膜の一例としての酸素富化膜の断面図、 で必る。 １・・・・・・水含浸支持膜 ２・・・・・・巻出し装置 ３・・・・・・多孔質ｊ苫 ４・・・・・・ポリスルポン多孔質ｊ漠５・・・・・・
水滴 ６・・・・・・エアナイフ ８・・・・・・ドラム ９．２０．２４．２８・・・・・・口金１１．２１・・
・・・・通気性を有するポリマを主成分とする溶液 １４．２２．２６．３０．３２・・団・Ａ−ブン１８．
２３・・・・・・下地層 １９・・・・・・支持膜 ２５．２９・・・・・・有機溶媒溶液 ２７．３１・・・・・・ガス分離膜層 ３３・・・・・・巻取機 ３４・・・・・・基材 ３５・・・・・・下地層
するための薄膜製造装置（Ｂよび工程フローを示す概念
図、 第２図は第１図の工程に対応する膜の断面図、第３図は
ガス分離膜の一例としての酸素富化膜の断面図、 で必る。 １・・・・・・水含浸支持膜 ２・・・・・・巻出し装置 ３・・・・・・多孔質ｊ苫 ４・・・・・・ポリスルポン多孔質ｊ漠５・・・・・・
水滴 ６・・・・・・エアナイフ ８・・・・・・ドラム ９．２０．２４．２８・・・・・・口金１１．２１・・
・・・・通気性を有するポリマを主成分とする溶液 １４．２２．２６．３０．３２・・団・Ａ−ブン１８．
２３・・・・・・下地層 １９・・・・・・支持膜 ２５．２９・・・・・・有機溶媒溶液 ２７．３１・・・・・・ガス分離膜層 ３３・・・・・・巻取機 ３４・・・・・・基材 ３５・・・・・・下地層
Claims (1)
- （１）多孔質構造の水含浸支持膜を連続的に搬送し、ま
ず該水含浸支持膜の表面上の水滴を除去し、水滴の除去
された水含浸支持膜表面上に通気性を有するポリマを主
成分とする溶液をコーティングし、該ポリマ溶液がコー
ティングされた水含浸支持膜を瞬間乾燥して水含浸支持
膜中の水を蒸発除去するとともに該支持膜表面上に通気
性を有するポリマからなる下地層を形成し、該下地層の
表面にガス分離膜形成性素材を主成分とする有機溶媒溶
液をコーティングし、該有機溶媒溶液がコーティングさ
れた支持膜および下地層を瞬間乾燥して下地層表面上に
前記ガス分離膜形成性素材の薄膜を形成することを特徴
とする薄膜の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28108485A JPS62140620A (ja) | 1985-12-16 | 1985-12-16 | 薄膜の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28108485A JPS62140620A (ja) | 1985-12-16 | 1985-12-16 | 薄膜の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62140620A true JPS62140620A (ja) | 1987-06-24 |
Family
ID=17634105
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28108485A Pending JPS62140620A (ja) | 1985-12-16 | 1985-12-16 | 薄膜の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62140620A (ja) |
Cited By (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2786710A1 (fr) * | 1998-12-04 | 2000-06-09 | Ceramiques Tech Soc D | Membrane comprenant un support poreux et une couche d'un tamis modeculaire et son procede de preparation |
| EP1163949A3 (en) * | 2000-06-13 | 2005-03-30 | Praxair Technology, Inc. | Method of preparing composite gas separation membranes from perfluoropolymers |
| WO2012135065A2 (en) * | 2011-03-25 | 2012-10-04 | Porifera, Inc. | Membranes having aligned 1-d nanoparticles in a matrix layer for improved fluid separation |
| JP2013533370A (ja) * | 2010-08-13 | 2013-08-22 | エスケー イノベーション シーオー．， エルティーディー． | 孔隙が保護された多層複合分離膜およびその製造方法 |
| WO2014156173A1 (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-02 | 富士フイルム株式会社 | 酸性ガス分離用複合体の製造方法 |
| WO2014156162A1 (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-02 | 富士フイルム株式会社 | 酸性ガス分離用複合体の製造方法 |
| WO2014192883A1 (ja) * | 2013-05-30 | 2014-12-04 | 東レ株式会社 | 複合半透膜 |
| US8920654B2 (en) | 2010-09-30 | 2014-12-30 | Porifera, Inc. | Thin film composite membranes for forward osmosis, and their preparation methods |
| WO2015098839A1 (ja) * | 2013-12-27 | 2015-07-02 | 富士フイルム株式会社 | 複合体の製造方法および複合体 |
| US9227360B2 (en) | 2011-10-17 | 2016-01-05 | Porifera, Inc. | Preparation of aligned nanotube membranes for water and gas separation applications |
| US9636635B2 (en) | 2012-12-21 | 2017-05-02 | Porifera, Inc. | Separation systems, elements, and methods for separation utilizing stacked membranes and spacers |
| US9861937B2 (en) | 2013-03-15 | 2018-01-09 | Porifera, Inc. | Advancements in osmotically driven membrane systems including low pressure control |
| US10183257B2 (en) | 2014-02-04 | 2019-01-22 | Fujifilm Corporation | Method of producing composite |
| US10384169B2 (en) | 2014-10-31 | 2019-08-20 | Porifera, Inc. | Supported carbon nanotube membranes and their preparation methods |
| US11541352B2 (en) | 2016-12-23 | 2023-01-03 | Porifera, Inc. | Removing components of alcoholic solutions via forward osmosis and related systems |
| US11571660B2 (en) | 2015-06-24 | 2023-02-07 | Porifera, Inc. | Methods of dewatering of alcoholic solutions via forward osmosis and related systems |
-
1985
- 1985-12-16 JP JP28108485A patent/JPS62140620A/ja active Pending
Cited By (31)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000033948A1 (fr) * | 1998-12-04 | 2000-06-15 | Societe Des Ceramiques Techniques | Membrane comprenant un support poreux et une couche d'un tamis moleculaire et son procede de preparation |
| US6472016B1 (en) | 1998-12-04 | 2002-10-29 | Societe Des Ceramiques Techniques | Membrane comprising a porous carrier and a layer of a molecular sieve and its preparation |
| FR2786710A1 (fr) * | 1998-12-04 | 2000-06-09 | Ceramiques Tech Soc D | Membrane comprenant un support poreux et une couche d'un tamis modeculaire et son procede de preparation |
| EP1163949A3 (en) * | 2000-06-13 | 2005-03-30 | Praxair Technology, Inc. | Method of preparing composite gas separation membranes from perfluoropolymers |
| JP2013533370A (ja) * | 2010-08-13 | 2013-08-22 | エスケー イノベーション シーオー．， エルティーディー． | 孔隙が保護された多層複合分離膜およびその製造方法 |
| US8920654B2 (en) | 2010-09-30 | 2014-12-30 | Porifera, Inc. | Thin film composite membranes for forward osmosis, and their preparation methods |
| WO2012135065A2 (en) * | 2011-03-25 | 2012-10-04 | Porifera, Inc. | Membranes having aligned 1-d nanoparticles in a matrix layer for improved fluid separation |
| WO2012135065A3 (en) * | 2011-03-25 | 2013-01-03 | Porifera, Inc. | Membranes having aligned 1-d nanoparticles in a matrix layer for improved fluid separation |
| US9216391B2 (en) | 2011-03-25 | 2015-12-22 | Porifera, Inc. | Membranes having aligned 1-D nanoparticles in a matrix layer for improved fluid separation |
| US9227360B2 (en) | 2011-10-17 | 2016-01-05 | Porifera, Inc. | Preparation of aligned nanotube membranes for water and gas separation applications |
| US9636635B2 (en) | 2012-12-21 | 2017-05-02 | Porifera, Inc. | Separation systems, elements, and methods for separation utilizing stacked membranes and spacers |
| US11090611B2 (en) | 2012-12-21 | 2021-08-17 | Porifera, Inc. | Separation systems, elements, and methods for separation utilizing stacked membranes and spacers |
| US11759751B2 (en) | 2012-12-21 | 2023-09-19 | Porifera, Inc. | Separation systems, elements, and methods for separation utilizing stacked membranes and spacers |
| US9861937B2 (en) | 2013-03-15 | 2018-01-09 | Porifera, Inc. | Advancements in osmotically driven membrane systems including low pressure control |
| US10500544B2 (en) | 2013-03-15 | 2019-12-10 | Porifera, Inc. | Advancements in osmotically driven membrane systems including multi-stage purification |
| US12005396B2 (en) | 2013-03-15 | 2024-06-11 | Porifera, Inc. | Advancements in osmotically driven membrane systems including multi-stage purification |
| US9987598B2 (en) | 2013-03-29 | 2018-06-05 | Fujifilm Corporation | Method of producing composite for acid gas separation |
| WO2014156173A1 (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-02 | 富士フイルム株式会社 | 酸性ガス分離用複合体の製造方法 |
| WO2014156162A1 (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-02 | 富士フイルム株式会社 | 酸性ガス分離用複合体の製造方法 |
| JP2014195761A (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-16 | 富士フイルム株式会社 | 酸性ガス分離用複合体の製造方法 |
| JP2014195762A (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-16 | 富士フイルム株式会社 | 酸性ガス分離用複合体の製造方法 |
| JPWO2014192883A1 (ja) * | 2013-05-30 | 2017-02-23 | 東レ株式会社 | 複合半透膜 |
| WO2014192883A1 (ja) * | 2013-05-30 | 2014-12-04 | 東レ株式会社 | 複合半透膜 |
| US10974206B2 (en) | 2013-05-30 | 2021-04-13 | Toray Industries, Inc. | Composite semipermeable membrane |
| JP2015127036A (ja) * | 2013-12-27 | 2015-07-09 | 富士フイルム株式会社 | 複合体の製造方法および複合体 |
| US10173180B2 (en) | 2013-12-27 | 2019-01-08 | Fujifilm Corporation | Method of producing composite, and composite |
| WO2015098839A1 (ja) * | 2013-12-27 | 2015-07-02 | 富士フイルム株式会社 | 複合体の製造方法および複合体 |
| US10183257B2 (en) | 2014-02-04 | 2019-01-22 | Fujifilm Corporation | Method of producing composite |
| US10384169B2 (en) | 2014-10-31 | 2019-08-20 | Porifera, Inc. | Supported carbon nanotube membranes and their preparation methods |
| US11571660B2 (en) | 2015-06-24 | 2023-02-07 | Porifera, Inc. | Methods of dewatering of alcoholic solutions via forward osmosis and related systems |
| US11541352B2 (en) | 2016-12-23 | 2023-01-03 | Porifera, Inc. | Removing components of alcoholic solutions via forward osmosis and related systems |
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