JPS5932115A - インダクタンス素子とその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、インダクタンス素子とその製造方法に係るも
ので、特に、磁性体と導体を積層することによって周回
するコイルパターンを具えたインダ・クタ／ス素子とそ
の製造方法に関するものでおる。

インダクタンス素子は、導電性線材をコイル状に巻回し
たものが古くから用いられているが、インダクタンスを
上げる念めにフェライトのコアなどの磁芯を併せて用い
ている。しかし、電子回路の小形化に伴って電子部品の
小形化の要求も高まっており、インダクタンス素子もそ
の例外ではない。インダクタンス素子の小形化は他の回
路素子に比較すると遅れているが、大別すると二つの方
向で開発が進められている。一つは、基本的には従来の
インダクタンス素子（コイル）の構造で寸法形状を小さ
くするものであり、もう一つは印刷方式等によって同体
化し巻線を不要とするものである。

印刷方式によるインダクタンス素子にも様々なタイプが
あるが、インダクタンス値を高くシ、シかも機械的な強
度を保つために、絶縁層の上に円弧状のコイル形成用金
属パターンを印刷し、その一端を残してその上に絶Ｒ層
を印刷し、次に金属パターンを端部を接続して形成し、
この工程を繰り返して形成されるタイプが注目を浴びて
いる。

これによって、絶縁体中に周回するパターンを形成しコ
イルとするものである。印刷する層の数を適宜選択する
ととによって所望のインダクタンス値を得ることができ
、また、絶縁層を磁性体で形成するととによって、イン
ダクタンス値を上げることも考えられている。

本発明は、上記のような、印刷によって周回導電パター
ンが形成されるインダクタンス素子とその製造方法に関
するものである。

印刷によって周回導電パターンを形成するインダクタン
ス素子は、導電パターンの周囲は絶縁体でなければなら
ず、また、インダクタンス値を上げる之めには磁性体で
あることが望ましい。そこで、一般には、導電パターン
と絶縁性の磁性体層を交互に印刷するものが多く用いら
れている。このようにして形成されたインダクタンス素
子において、隣り合う導電パターンの間には磁性体層が
介在することになる。また、電流の向きも同じとなるの
で、部分正面断面図である第１図に示したように、それ
ぞれの導体パターン１１の周囲に同じ向きに磁力線１２
が発生するととＫ　７る。したがって二つの導電ハタ−
７１１０間では磁力線の向きが逆となるので、磁気抵抗
が増すことになる。

これが、インダクタンス素子のＱ値の劣化をひき起こす
原因となっている。

本発明は、上記の問題を解決して、磁気抵抗を減少させ
て高いＱ値の得られる□インダクタンス素子を提供する
ことを目的とする。

また、単に磁気抵抗を減少させるだけでなく、信頼性が
高く、歩留の良好なインダクタンス素子を得ることを目
的とする。

本発明は、導電パターンの間には透磁率の低い層を介在
させることによって、上記の目的を達成するものである
。また、この透磁率の低い層は周囲の磁性体層と同じ材
料で構成されるが、組成の比率を変えることによって透
磁率を変化さ斗るようにしたものである。

以下、図面に従って本発明の実施例につき説明する。

第２図は、本発明によるインダクタンス素子の一例の正
面断面図を示す。Ｎｉ−Ｚｎ系フェライトから成る磁性
体１３中に、銀−パラジウム合金の導体パターン１４が
形成され、この導体パターン１４は周回するコイルパタ
ーンを形成している。

導体パターン１４０間には低透磁率の磁性体層１５を具
えている。この磁性体層１５は磁性体１３と同じ材料か
ら成るＮｉ−Ｚｎ系フェライトで構成されるが、Ｎｉの
含有量が少なくなっており、磁性体１３に比較すると透
磁率が低くなっている。

第３図は、本発明によるインダクタンス素子の製造方法
の一例を示す正面断面図である。基体１６上にＮｉ−Ｚ
ｎ系フェライト粉末をメチルセルロース、ブチラール゛
樹脂等のバインダー及び溶剤で線ってペースト状にした
フェライト１７全印刷する（蜀。このとき、後に導電パ
ターンを形成する部分を除いた他の部分にフェライト１
７を印刷する。

したがって、導電パターンを形成する（印刷する）領域
は、フェライト１７によって形成された溝の部分となる
。

次に、銀−パラジウム合金とバインダー及び溶剤を練っ
たペースト状の導体１８を印刷する。この印刷は二段階
に分けて行なうと良く、先ず、フェライト１７によって
形成された溝の部分を埋めるように印刷し、更忙、それ
と同じパターンで同程度の厚さを印刷して、フェライト
１７の二倍程度となるようにする（功。こうすれば、焼
結によって導体１８が収縮しても、十分な厚みを有する
周回導電パターンを形成できる。

導体１８を印刷した後に、再びフェライト１９全印刷す
るが、この場合にも二回重ねて印刷して厚みを大きくし
ておく（Ｑｏこれによって、再びフェライト１９によっ
て導体１８上に溝が形成されたことになる。このフェラ
イト１９は先に形成するフェライト１／と同じ位置に形
成されるとともに、同じペーストが用いられる。すなわ
ち、この場合であれば、Ｎｉ−Ｚｎ系フェライトのペー
ストを両方のフエライ）１７．１９の印刷に共用すれば
良い。導体１８上にフェライト１９によって囲まれて形
成された溝に、Ｎｉ−Ｚｎ系フェライトの仮焼粉末をバ
インター−と溶剤で練ったペースト状のフェライト２０
を印刷する（１０但し、このフェライトは、前記のフェ
ライト１７．１９よりも透磁率が低くなるようにしてお
く。すなわち、Ｎ１−Ｚｎの含有量゛を変化させ、Ｎｉ
の含有量を減少させることによって透磁率を低くするこ
とができる。このように、基本的には同じ材料から成る
フェライトを用いるが、組成の比率を変えるようにして
透磁率に変化をつけるようにし、電極となる導体の間の
部分を低い透磁率とする。

上記のようなエイエを繰り返し７て、導体パターンを接
続しながら層を重ねて周回各電パターンを形影する。導
体間は透磁率の低い磁性体で、中心部と周囲は透磁率の
高い磁性体でそれぞれ構成されたコ・イルが得ら八る。

本発明によれば、積層ネれた導体の間が低い透磁率の磁
性体で形成場れているので、磁気回路は中心と周囲の高
透磁率のフェライト内に形成されるようになる。したが
って、導体間に形成される磁気回路の磁束密度も小さく
なり、導体の磁気抵抗を減少させ、Ｑ値を向上ちぜるこ
とかで８る。

廿た、同じ磁性体利料で組成比ホを変えただけのフェラ
イトを用いるので、印刷、焼結の工程において収縮率を
均一にしたり剥離を防止できるといった利点もある。

更に、導体、二種類のフェライトを十分な厚みを保たせ
て印刷できるとともに、位置合わせも容易であるという
利点がある。

【図面の簡単な説明】

図、第２図は本発明ｒＣよるインダクタンス素子の一例
の正面断面図を示す。第３図は本発明によるインダクタ
ンス素子の製造方法を示す正面断面図である。 １５．１７．１９・・・・・・高透磁率磁性体１４．１
８・・・・・・導体。 １５．２０・・・・・・低透磁率磁性体特許出願人 東光株式会社

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）印刷法によって導電層と絶縁層が順次形成されて
   、絶縁層間を周回してコイルパターンが形成されたイン
   ダクタンス素子において、周回する導電層間に介在する
   絶縁層がその他の絶縁層と同じ材料を混合して形成され
   、かつ、該その他の絶縁層よ抄も低い透磁率を有する磁
   性体であ・ることを特徴とするインダクタンス素子。
2. （２）基体上に導電層の印刷パターンを除いて第一の磁
   性体粉末のペーストを印刷して第一の磁性体層を形成し
   、該第−の磁性体層によって形成される溝に導電層を印
   刷して更に同じパターンで導電層を形成し、該導電層に
   よって形成される溝に、該第−の磁性体粉末のペースト
   を印刷して更に同じパターンで該第−の磁性体粉末のペ
   ーストを印刷［７て第二の磁性体層を形成し、該第二の
   磁性体層によって形成される溝に該第−の磁性体粉末と
   同じ材料を混合して形成され、かつ、該第−の磁性体粉
   末より透磁率の低い第二の磁性体粉末のペーストを印刷
   して第三の磁性体層を形成し、この工程を反復すること
   によって稈回すＺ２コイルパターンを得ることを特徴と
   する特許請求の前）囲第１項記載のインダクタンス素子
   の製造方法。