JPS5855376A - 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 - Google Patents
窒化アルミニウム焼結体の製造方法Info
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- JPS5855376A JPS5855376A JP56152140A JP15214081A JPS5855376A JP S5855376 A JPS5855376 A JP S5855376A JP 56152140 A JP56152140 A JP 56152140A JP 15214081 A JP15214081 A JP 15214081A JP S5855376 A JPS5855376 A JP S5855376A
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- Japan
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明社窒化アル１＝ウム焼結体の製造方法に係り、′
１ＬＫＷＩｐじくは、窒化アル之ニウム自身が本質的に
有している高熱伝導性等の優れた諸特性を略その１１維
持・発揮して−ると共に、高緻密質である窒化アル１＝
ウム焼結体の製造方法に関する。
１ＬＫＷＩｐじくは、窒化アル之ニウム自身が本質的に
有している高熱伝導性等の優れた諸特性を略その１１維
持・発揮して−ると共に、高緻密質である窒化アル１＝
ウム焼結体の製造方法に関する。
窒化アル１＝ウム（ＡＪＮ ）焼結体は、耐熱性、耐食
性及び耐熱衝撃性などの高温材貴とし【の必須の特徴を
有していると共に１高熱伝導性を有する材料とし【注目
を集めている。
性及び耐熱衝撃性などの高温材貴とし【の必須の特徴を
有していると共に１高熱伝導性を有する材料とし【注目
を集めている。
ところで、これらの諸特性をＡｊＮ焼結体に発揮させる
Ｋは、ｊＬＩＮ焼結体が緻密質であることが必要とされ
る０この為、従来から緻密ｆｋ ｊｋｊＮ焼結体を製造
する技術の確立に精力が注がれている。
Ｋは、ｊＬＩＮ焼結体が緻密質であることが必要とされ
る０この為、従来から緻密ｆｋ ｊｋｊＮ焼結体を製造
する技術の確立に精力が注がれている。
かかるｍ焼結体線、通常、Ａ／Ｎ粉末を加圧成形、常圧
焼結して得られるのであるが、Ａ／Ｎ粉末を単独で用−
ゐと、焼結性が良くない為に、緻密な焼結体が得られず
、焼結密度は、ｕＮの真密度に対して、高々８０襲前後
と極めて低いものであった。
焼結して得られるのであるが、Ａ／Ｎ粉末を単独で用−
ゐと、焼結性が良くない為に、緻密な焼結体が得られず
、焼結密度は、ｕＮの真密度に対して、高々８０襲前後
と極めて低いものであった。
この為、ホット・プレスを用いた加圧焼結の方法を活用
することも試みられたが、良好な結果は得られてい表い
＠また、ＡｊＮ粉末に酸化イツトリウム（Ｙ１０□）や
醗化ランタンｌａｔｏｍ）等の希土類元素の酸化物を焼
結助剤とし【添加して焼結する方法も試みられ【おり、
可成良質の焼結体が得られている。
することも試みられたが、良好な結果は得られてい表い
＠また、ＡｊＮ粉末に酸化イツトリウム（Ｙ１０□）や
醗化ランタンｌａｔｏｍ）等の希土類元素の酸化物を焼
結助剤とし【添加して焼結する方法も試みられ【おり、
可成良質の焼結体が得られている。
しかしながら、希土類元素の酸化物は高価な為に１コス
Ｆの面で難点がある上、Ａ／Ｎ −Ｙｔ Ｏｓ系焼結体
は、ｋｌＮ単独の焼結体と比べて、熱伝導度が低下する
領内にあり、Ａ／Ｎ本来の高熱伝導性を維持・発揮する
ことがで禽ないという難点があった。
Ｆの面で難点がある上、Ａ／Ｎ −Ｙｔ Ｏｓ系焼結体
は、ｋｌＮ単独の焼結体と比べて、熱伝導度が低下する
領内にあり、Ａ／Ｎ本来の高熱伝導性を維持・発揮する
ことがで禽ないという難点があった。
特１１＠５０−２３４１１ 号公報、もしくは窯業協
会誌第ＳＳ＊、３３０〜３３６頁（１９８１） Ｋｔ
ｉ、ムｊＮ１１末にカルシウム、バリウムもしく社スト
ロンチウムの酸化物、もしくは炭酸塩の粉末を添加して
焼結するＡｊＮ焼結体の製造方法が開示されている。か
かる添加物を用いたＡ／Ｎ焼結体は、幻Ｒの真密度に対
して９５〜９８％、或−は９９％を超える焼結密度を有
する高緻密質のものとなる〇ところが、かかる高緻密化
を達成する為ＫＦｉ、通常の非酸化性雰囲気下にお−て
は、焼結温度を１８００℃以上とする必賛がある。従っ
て、焼結炉の消耗度が高く、或−は製品コストが高くな
るといった経済面での難点があった。
会誌第ＳＳ＊、３３０〜３３６頁（１９８１） Ｋｔ
ｉ、ムｊＮ１１末にカルシウム、バリウムもしく社スト
ロンチウムの酸化物、もしくは炭酸塩の粉末を添加して
焼結するＡｊＮ焼結体の製造方法が開示されている。か
かる添加物を用いたＡ／Ｎ焼結体は、幻Ｒの真密度に対
して９５〜９８％、或−は９９％を超える焼結密度を有
する高緻密質のものとなる〇ところが、かかる高緻密化
を達成する為ＫＦｉ、通常の非酸化性雰囲気下にお−て
は、焼結温度を１８００℃以上とする必賛がある。従っ
て、焼結炉の消耗度が高く、或−は製品コストが高くな
るといった経済面での難点があった。
本発明の目的は、従来の窒化アルミニウム焼結体の製造
方法が有して−た上述の不都合な鱗消して、窒化アルＳ
ニウム自身が本質的に有している高熱伝導性等の優れた
諸特性を略その１１維持・発揮して−ると共に高緻密質
である窒化アルにラム焼結体を、比較的（低い焼結温度
で製造する方法を提供することｋある。
方法が有して−た上述の不都合な鱗消して、窒化アルＳ
ニウム自身が本質的に有している高熱伝導性等の優れた
諸特性を略その１１維持・発揮して−ると共に高緻密質
である窒化アルにラム焼結体を、比較的（低い焼結温度
で製造する方法を提供することｋある。
即ち、本発明の窒化アルｒ＝ウム焼結体の製造方法社、
窒化アルミニウム粉末に、カルシウム、バリウム及びス
トロンチウムから選ばれた少なくと％１種のチタン酸塩
粉末、又は、焼成忙よってチタン酸塩となりつる、カル
シウム、バリウムもしくはストロンチウムの酸化物と、
チタンの酸化物からなる粉末を、チタン酸塩の量として
、０．１〜１５重量％添加して混合した後、この混合粉
末を成形、次いで焼結することを特徴とするものである
。
窒化アルミニウム粉末に、カルシウム、バリウム及びス
トロンチウムから選ばれた少なくと％１種のチタン酸塩
粉末、又は、焼成忙よってチタン酸塩となりつる、カル
シウム、バリウムもしくはストロンチウムの酸化物と、
チタンの酸化物からなる粉末を、チタン酸塩の量として
、０．１〜１５重量％添加して混合した後、この混合粉
末を成形、次いで焼結することを特徴とするものである
。
本発明の最も特徴とする部分は、窒化アルミニウム（Ａ
／Ｎ ）粉末を成形、焼結するに際して、予め該ＡｊＮ
粉末に、カルシウム、バリウム及びストロンチウムから
選ばれた少なくとも１種のチタン酸塩を添加することに
ある。
／Ｎ ）粉末を成形、焼結するに際して、予め該ＡｊＮ
粉末に、カルシウム、バリウム及びストロンチウムから
選ばれた少なくとも１種のチタン酸塩を添加することに
ある。
本発明に用いる、前記チタン酸塩は、通常は、メタチタ
ン酸カルシウム（ＣａＴｉ０． ） 、メタチタン酸バ
リウム（ＢａＴｉ０＝ ＞％しく祉メタチタン酸ストロ
ンチウム（８ｒＴｉＯｓ ）であるが、例えば、オルト
チタン酸バリウム（Ｃａｔ Ｔｉ０ｉ ） 、オルトチ
タン酸バリウム（Ｂ’＊ ＴｌＯ４） ｓオルトチタン
酸スト騨ンチウム（ａｒｍ Ｔｉ０ｉ ）等の前記メタ
チタン酸塩以外のＣａＯ１ｌａＯもしくは８ｒＯとＴ１
０，０２或分系複合酸化物であっても良−０或−は、焼
成によって、これらのチタン酸塩を生成する、カルシウ
ム、バリウムもしくはストロンチウムの酸化物、炭酸塩
、硝酸塩、硫酸塩等と、ＴｌＯ，とり２或分系混合粉末
を用いても良−６これらのチタン酸塩もしくは混合粉末
は、１種でも２種以上の混合系としても用−ることがで
き、ＡｊＮ粉末への添加量が微量であつ【も有効に働く
０例えば、前記混合粉末の全組成重量を１００重量悌と
して、ＣａＴｌ０．、ＢａＴ１０ｇもしく ｄ ８ｒＴ
ｉＯ，Ｋ換算して、０．１重量襲程度でも有効に作用し
”Ｃ、ＡｊＮ焼結体の良熱伝導性等の優れた一特性を損
なうむとなく、高緻密化することができる。また、添加
量が余り多くなると、ＭＮ焼結体の優れた性質が失なわ
れる。側光ば、前記ＣａＴｉＯｓ ｓ ＢａＴ１０Ｂも
しくは８ｒＴｉＯｍ に換算して、１５重量囁を超え
て添加すると、結晶粒の成長が顕著になり、焼結体の強
度が次第に低下すると共に熱伝導性も低下する。従がっ
て、前記カルシウム、バリウム及びストロンチウムから
選ばれた少なくとも１種のチタン酸塩の添加量は０．１
〜１５重量外重量和は、０．２〜１０重量％添加するこ
とが好ましい。
ン酸カルシウム（ＣａＴｉ０． ） 、メタチタン酸バ
リウム（ＢａＴｉ０＝ ＞％しく祉メタチタン酸ストロ
ンチウム（８ｒＴｉＯｓ ）であるが、例えば、オルト
チタン酸バリウム（Ｃａｔ Ｔｉ０ｉ ） 、オルトチ
タン酸バリウム（Ｂ’＊ ＴｌＯ４） ｓオルトチタン
酸スト騨ンチウム（ａｒｍ Ｔｉ０ｉ ）等の前記メタ
チタン酸塩以外のＣａＯ１ｌａＯもしくは８ｒＯとＴ１
０，０２或分系複合酸化物であっても良−０或−は、焼
成によって、これらのチタン酸塩を生成する、カルシウ
ム、バリウムもしくはストロンチウムの酸化物、炭酸塩
、硝酸塩、硫酸塩等と、ＴｌＯ，とり２或分系混合粉末
を用いても良−６これらのチタン酸塩もしくは混合粉末
は、１種でも２種以上の混合系としても用−ることがで
き、ＡｊＮ粉末への添加量が微量であつ【も有効に働く
０例えば、前記混合粉末の全組成重量を１００重量悌と
して、ＣａＴｌ０．、ＢａＴ１０ｇもしく ｄ ８ｒＴ
ｉＯ，Ｋ換算して、０．１重量襲程度でも有効に作用し
”Ｃ、ＡｊＮ焼結体の良熱伝導性等の優れた一特性を損
なうむとなく、高緻密化することができる。また、添加
量が余り多くなると、ＭＮ焼結体の優れた性質が失なわ
れる。側光ば、前記ＣａＴｉＯｓ ｓ ＢａＴ１０Ｂも
しくは８ｒＴｉＯｍ に換算して、１５重量囁を超え
て添加すると、結晶粒の成長が顕著になり、焼結体の強
度が次第に低下すると共に熱伝導性も低下する。従がっ
て、前記カルシウム、バリウム及びストロンチウムから
選ばれた少なくとも１種のチタン酸塩の添加量は０．１
〜１５重量外重量和は、０．２〜１０重量％添加するこ
とが好ましい。
前記混合粉末には、更に、パラフィン、ステアリン醗、
ＰＶＡ等の結合剤を成形助剤として添加しても良い。
ＰＶＡ等の結合剤を成形助剤として添加しても良い。
本発明に用いる、前記窒化アルミニウム粉末は、焼結性
を良くする為に、粒径が５μｍ以下、更にｔｉ２μｍ以
下のものであることが好ましい。
を良くする為に、粒径が５μｍ以下、更にｔｉ２μｍ以
下のものであることが好ましい。
かくして得られる混合粉末を、常温圧縮などして成形し
た後、得られた成形体を焼結する。焼結社、重化防止の
為に、窒素ガス（Ｎｌ ） 、アルヅンガス（人ｒ）、
木葉ガス（ル）、もしくはこれらの混合ガス、又は、Ｎ
、十−酸化炭素（ＣＯ）混合ガス等の非酸化性ガス雰囲
気、或−は真空中で行なうのが好ましく、焼結温度は１
５００〜１９００℃、更には、１ｓ５０〜１８００℃で
あることが好ましい。
た後、得られた成形体を焼結する。焼結社、重化防止の
為に、窒素ガス（Ｎｌ ） 、アルヅンガス（人ｒ）、
木葉ガス（ル）、もしくはこれらの混合ガス、又は、Ｎ
、十−酸化炭素（ＣＯ）混合ガス等の非酸化性ガス雰囲
気、或−は真空中で行なうのが好ましく、焼結温度は１
５００〜１９００℃、更には、１ｓ５０〜１８００℃で
あることが好ましい。
１５００℃未満であると、高緻密質の焼結体が得られな
一０１９００℃を超えると、ＭＮの分堺が始まる為であ
る。また、添加物として、焼成によってチタン酸塩を生
成する前記混合粉末、もしくは前記結合剤を用いる場合
には、前記成形体を仮焼する工程を設けると良い。
一０１９００℃を超えると、ＭＮの分堺が始まる為であ
る。また、添加物として、焼成によってチタン酸塩を生
成する前記混合粉末、もしくは前記結合剤を用いる場合
には、前記成形体を仮焼する工程を設けると良い。
また、以上の説明においては、前記混合粉末を常温圧縮
により成形し、次いで常圧焼結し一″Ｃ−るのであるが
、本発明方法においては、前記混合粉末をホラＦ・プレ
ス等を用−て加圧焼結しても良く、或−は、得られた焼
結体を、熱間静水圧加圧（ＨＩ Ｐ’）処理などして、
更に高緻密化しても良いＯ′ 本発明の窒化アルミニウム焼結体の製造方法によれ７ば
、窒化−アル々ニウム粉末に、カルシウム、バリウム及
びストロンチウムから選ばれた少なくとも１種のチタン
酸塩を添加して得られた混合粉末を、成形、焼結するこ
とｋより、ＡｊＮの真密度に近−焼結密度を有する高緻
密質の焼結体を得ることができる。しかも、ｕＮ粉末に
アルカリ土類元素の酸化物等を添加する、従来の方法が
、かかる高緻密質の焼結体を得る為に、焼結温度を１６
００℃以上とする必要があったのと比べて、本発明方法
によれば、１５００℃以上の焼結温度でも、ＡＪＮの真
密度に対して、９９％を超える焼結密度を得ることがで
きる。しかも、ＡｊＮ自身が本質的に有している、高熱
伝導性及び耐熱性、耐食性、耐熱衝撃性などの優れた護
持性を良好に維持・発揮する焼結体が得られる。
により成形し、次いで常圧焼結し一″Ｃ−るのであるが
、本発明方法においては、前記混合粉末をホラＦ・プレ
ス等を用−て加圧焼結しても良く、或−は、得られた焼
結体を、熱間静水圧加圧（ＨＩ Ｐ’）処理などして、
更に高緻密化しても良いＯ′ 本発明の窒化アルミニウム焼結体の製造方法によれ７ば
、窒化−アル々ニウム粉末に、カルシウム、バリウム及
びストロンチウムから選ばれた少なくとも１種のチタン
酸塩を添加して得られた混合粉末を、成形、焼結するこ
とｋより、ＡｊＮの真密度に近−焼結密度を有する高緻
密質の焼結体を得ることができる。しかも、ｕＮ粉末に
アルカリ土類元素の酸化物等を添加する、従来の方法が
、かかる高緻密質の焼結体を得る為に、焼結温度を１６
００℃以上とする必要があったのと比べて、本発明方法
によれば、１５００℃以上の焼結温度でも、ＡＪＮの真
密度に対して、９９％を超える焼結密度を得ることがで
きる。しかも、ＡｊＮ自身が本質的に有している、高熱
伝導性及び耐熱性、耐食性、耐熱衝撃性などの優れた護
持性を良好に維持・発揮する焼結体が得られる。
一一一一−−−−−
実施例１
平均粒径０．９声ｍのムＩＮ粉末９５重量部と、平均粒
径１．６μｍのＣａＴｉ０．粉末５重量部とを配合して
混合し、更にパイシ〆−としてＩ＃ラフイン５重量部を
添加混合した。得られた混合粉末を１ ｔｏｎ／−の成
形圧で成形して４０ｓｏ＊Ｘ４０■ＸＩＯ■の板状成形
体を得た・この成形体を凡 気流中で４００℃まで予め
加熱した後、仁の試料なＡｊＮルツＩ内に入れ、試料の
周Ｎ Ｋ ＡｊＮ粉末を、つめ粉とし１充填した後ＳＮ
富雰囲気中、１７００℃で６０分間焼結破しめた。この
結果、ＡＪＮの真密度に対して９７襲の相対密度を有す
る、高緻密質で且つ高熱伝導性を有する焼結体を得た。
径１．６μｍのＣａＴｉ０．粉末５重量部とを配合して
混合し、更にパイシ〆−としてＩ＃ラフイン５重量部を
添加混合した。得られた混合粉末を１ ｔｏｎ／−の成
形圧で成形して４０ｓｏ＊Ｘ４０■ＸＩＯ■の板状成形
体を得た・この成形体を凡 気流中で４００℃まで予め
加熱した後、仁の試料なＡｊＮルツＩ内に入れ、試料の
周Ｎ Ｋ ＡｊＮ粉末を、つめ粉とし１充填した後ＳＮ
富雰囲気中、１７００℃で６０分間焼結破しめた。この
結果、ＡＪＮの真密度に対して９７襲の相対密度を有す
る、高緻密質で且つ高熱伝導性を有する焼結体を得た。
比較例ｌ
ＣａＴｉＯｓ 粉末を配合しな≠以外轄、実施例１と
同一粒径、同一組成の混合粉末を用い【、同一の方法に
よｅ＊結体を得た。得られた焼結体は相対密度７５襲の
多孔質体であった。
同一粒径、同一組成の混合粉末を用い【、同一の方法に
よｅ＊結体を得た。得られた焼結体は相対密度７５襲の
多孔質体であった。
実施例２〜９、参考例１
実施例２〜９及び参考例１として、第１表の組成を有す
る各混合粉末を得、この混合粉末を１実施例１と同一条
件で成形し【同−膨軟の成形体を得た。次−でこの成形
体を刈、雰囲気中、４００℃重で予め加熱した後、Ａｊ
Ｎルツー内に入れ、周Ｎ Ｋ ＡｊＮ粉末をつめ粉とし
て充填し、凡雰囲気中、１７００℃で３０時間焼結した
。得られた焼結体の相対密度、及び抗折強度を測定した
０結呆をｓ１表に示した。
る各混合粉末を得、この混合粉末を１実施例１と同一条
件で成形し【同−膨軟の成形体を得た。次−でこの成形
体を刈、雰囲気中、４００℃重で予め加熱した後、Ａｊ
Ｎルツー内に入れ、周Ｎ Ｋ ＡｊＮ粉末をつめ粉とし
て充填し、凡雰囲気中、１７００℃で３０時間焼結した
。得られた焼結体の相対密度、及び抗折強度を測定した
０結呆をｓ１表に示した。
第 １ 表
第１表から明らかな様に、本発明方法により得られた窒
化アル１ニウム焼結体は、高緻密質で、機械的強度の高
ψものである。
化アル１ニウム焼結体は、高緻密質で、機械的強度の高
ψものである。
実施例１０〜１５、比較例２
実施例１Ｏ〜１５、比較例２として、第２表の組成を有
する各混合粉末を得、この混合粉末を、実施例１と同一
条件で成形し【同一形状の成形体を得た・次−でこの成
形体をＮ、雰囲気中、４００℃まで予め加熱した後、）
ＪＮＮフッ内に入れ、周囲Ｋ ＡｊＮ粉末をつめ粉とし
て充填し、Ｎ、雰囲気中、第２表に示した焼結温度で３
時間焼結した。
する各混合粉末を得、この混合粉末を、実施例１と同一
条件で成形し【同一形状の成形体を得た・次−でこの成
形体をＮ、雰囲気中、４００℃まで予め加熱した後、）
ＪＮＮフッ内に入れ、周囲Ｋ ＡｊＮ粉末をつめ粉とし
て充填し、Ｎ、雰囲気中、第２表に示した焼結温度で３
時間焼結した。
得られた焼結体の相対密度、及び抗折強度を測定した◇
結果を第２表に示した。
結果を第２表に示した。
第 ２ 表
第２表から明らかなように１本発明方法によれば、１５
５０℃という極めて低い焼結温度においても相対密度９
０％以上の高密度を有し１機械的強度の大である窒化ア
ルミニウム焼結体が得られる。
５０℃という極めて低い焼結温度においても相対密度９
０％以上の高密度を有し１機械的強度の大である窒化ア
ルミニウム焼結体が得られる。
実施例１６
平均粒径ｔ、ｓｘｍのＡｊＮ粉末９５重量部と、平均粒
径０．３μｍのＢＩＬＣＯ，粉末２重量部及び平均粒径
０．８μｍのＴｉｅ、粉末３重量部とを配合して混合し
、更にパイン〆−とし″′Ｃパラフィン５重量部を添加
、混合した。かくして得られた混合粉末を、実施例１と
同一条件により成形、焼結した。得られた焼結体の相対
密度は、９６．ＳＪＧであった。
径０．３μｍのＢＩＬＣＯ，粉末２重量部及び平均粒径
０．８μｍのＴｉｅ、粉末３重量部とを配合して混合し
、更にパイン〆−とし″′Ｃパラフィン５重量部を添加
、混合した。かくして得られた混合粉末を、実施例１と
同一条件により成形、焼結した。得られた焼結体の相対
密度は、９６．ＳＪＧであった。
実施例１７
平均粒径１．５μｍのムｊＮ粉末９５重ｆｆｉ部と、平
均粒径１．２μｍの８ｒＴｉＯ，粉末５重社部とを配合
して混合し、更にバインダーとしてノ々ラフイン５重量
部を添加、混合した。かくして得られた混合粉末を、実
施例１と同一条件により成形、焼結した。
均粒径１．２μｍの８ｒＴｉＯ，粉末５重社部とを配合
して混合し、更にバインダーとしてノ々ラフイン５重量
部を添加、混合した。かくして得られた混合粉末を、実
施例１と同一条件により成形、焼結した。
得られた焼結体の相対密度は、９７．５−であった。
実施例１８
平均粒径１．２μｍ ｌＦ） ＡｊＮ粉末ｇ１重量撮と
、平均粒径１．４μｍ ｆ） ＢａＴｉＯｓ粉末１重量
部とを配合して混合し、更にバインダーとしてパラフィ
ン５重量部を添加、混合した。かくして得られた混合粉
末を、実施例１と同一条件により成形し２ｏ諺ｙｉＸ１
０■の円板状成形体を得、次いでこの成形体を実施例１
と同一条件により焼結したところ、高緻密質で良熱伝導
性の焼結体が得られた。
、平均粒径１．４μｍ ｆ） ＢａＴｉＯｓ粉末１重量
部とを配合して混合し、更にバインダーとしてパラフィ
ン５重量部を添加、混合した。かくして得られた混合粉
末を、実施例１と同一条件により成形し２ｏ諺ｙｉＸ１
０■の円板状成形体を得、次いでこの成形体を実施例１
と同一条件により焼結したところ、高緻密質で良熱伝導
性の焼結体が得られた。
Claims (1)
- 窒化アルミニウム粉末に１カルシウム、バリウム及びス
）ロンチウムから選杜れた少なくとも１種のチタン酸塩
粉末、又は、焼成によってチタンｌＩ塩となシうる、カ
ルシウム、バリウムもしくはストロンチウムの酸化物と
、チタンの酸化物からなる粉末を、チタン酸塩の量とし
て、０．１〜１５重量襲重量上添加合した後、この混合
粉末を成形、次−で焼結することを特徴とする窒化アル
ミニウム焼結体のＩＩ造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56152140A JPS5855376A (ja) | 1981-09-28 | 1981-09-28 | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56152140A JPS5855376A (ja) | 1981-09-28 | 1981-09-28 | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5855376A true JPS5855376A (ja) | 1983-04-01 |
| JPS646141B2 JPS646141B2 (ja) | 1989-02-02 |
Family
ID=15533908
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56152140A Granted JPS5855376A (ja) | 1981-09-28 | 1981-09-28 | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5855376A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6096578A (ja) * | 1983-10-15 | 1985-05-30 | ヴエー・ツエー・ヘレウス・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクター・ハフツング | 温度平衡材の製法 |
| JPS62153173A (ja) * | 1985-06-28 | 1987-07-08 | 株式会社東芝 | 窒化アルミニウム焼結体およびその製造方法 |
| JPS6317262A (ja) * | 1986-07-10 | 1988-01-25 | 株式会社東芝 | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
| JPH0283266A (ja) * | 1988-09-20 | 1990-03-23 | Murata Mfg Co Ltd | ＡｌＮ焼結体の製造方法 |
| US5001089A (en) * | 1985-06-28 | 1991-03-19 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Aluminum nitride sintered body |
| JPH07176656A (ja) * | 1985-06-28 | 1995-07-14 | Toshiba Corp | 窒化アルミニウム焼結体放熱板及びその製造方法 |
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1981
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
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