JPH1182522A - 磁気軸受装置のタッチダウン軸受 - Google Patents
磁気軸受装置のタッチダウン軸受Info
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- JPH1182522A JPH1182522A JP9252307A JP25230797A JPH1182522A JP H1182522 A JPH1182522 A JP H1182522A JP 9252307 A JP9252307 A JP 9252307A JP 25230797 A JP25230797 A JP 25230797A JP H1182522 A JPH1182522 A JP H1182522A
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- General Engineering & Computer Science (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】タッチダウン軸受における保持器の強度を確保
すると共に、滑り摩擦を生ずる表面の偏摩耗を防止する
ことである。 【解決手段】本発明のタッチダウン軸受は、保持器が機
械強度を有する材料（例えば、軟鋼材，ステンレス鋼
材，セラミックス材料等）からなり、かつ、保持器の滑
り摩擦を生ずる部分に固体潤滑剤被膜（例えばＰＴＦ
Ｅ，鉛等）が形成されている。
すると共に、滑り摩擦を生ずる表面の偏摩耗を防止する
ことである。 【解決手段】本発明のタッチダウン軸受は、保持器が機
械強度を有する材料（例えば、軟鋼材，ステンレス鋼
材，セラミックス材料等）からなり、かつ、保持器の滑
り摩擦を生ずる部分に固体潤滑剤被膜（例えばＰＴＦ
Ｅ，鉛等）が形成されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ターボ分子ポンプ
等の磁気軸受装置において、磁気軸受の制御不能時に回
転軸を支持するタッチダウン軸受に関するものである。
等の磁気軸受装置において、磁気軸受の制御不能時に回
転軸を支持するタッチダウン軸受に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図４に示すように、ターボ分子ポンプ等
の磁気軸受装置Ａは、縦型の回転軸１に対して隙間をも
って配設される複数の磁気軸受２と、回転軸１の上下両
端部に配設されるタッチダウン軸受３，４とを有する。
常時は、磁気軸受２が電磁的作用により回転軸１を非接
触支持するが、突然の断線や停電等によって突発的に磁
気軸受２が制御不能となった場合（いわゆるタッチダウ
ン時）には、上下一対のタッチダウン軸受３，４が、回
転軸１を支持して回転軸１および磁気軸受２の損傷を防
ぐように構成されている。
の磁気軸受装置Ａは、縦型の回転軸１に対して隙間をも
って配設される複数の磁気軸受２と、回転軸１の上下両
端部に配設されるタッチダウン軸受３，４とを有する。
常時は、磁気軸受２が電磁的作用により回転軸１を非接
触支持するが、突然の断線や停電等によって突発的に磁
気軸受２が制御不能となった場合（いわゆるタッチダウ
ン時）には、上下一対のタッチダウン軸受３，４が、回
転軸１を支持して回転軸１および磁気軸受２の損傷を防
ぐように構成されている。
【０００３】特に、下端部のタッチダウン軸受４は、図
５に示すように、２個のアンギュラ玉軸受１０，１１の
正面組合せとして、ラジアル荷重とアキシャル荷重の両
方を受けるようにしている。この各アンギュラ玉軸受１
０，１１は、内輪１２と、外輪１３と、複数のボール１
４と、リング状の保持器１５とを具備する。
５に示すように、２個のアンギュラ玉軸受１０，１１の
正面組合せとして、ラジアル荷重とアキシャル荷重の両
方を受けるようにしている。この各アンギュラ玉軸受１
０，１１は、内輪１２と、外輪１３と、複数のボール１
４と、リング状の保持器１５とを具備する。
【０００４】内輪１２は、外径面に軌道面１２ａが形成
され、上端面１２ｂと内径面１２ｃにタッチダウン面を
有している。外輪１３は、内径面に軌道面１３ａが形成
され、外径面がハウジング７に嵌合されている。ボール
１４は、内・外輪１２，１３の軌道面１２ａ，１３ａ間
に介装され自転・公転運動する。保持器１５は、ボール
１４を等間隔に保持するものである。
され、上端面１２ｂと内径面１２ｃにタッチダウン面を
有している。外輪１３は、内径面に軌道面１３ａが形成
され、外径面がハウジング７に嵌合されている。ボール
１４は、内・外輪１２，１３の軌道面１２ａ，１３ａ間
に介装され自転・公転運動する。保持器１５は、ボール
１４を等間隔に保持するものである。
【０００５】図６に示すように、各ボール１４は、保持
器１５に円周等間隔に複数設けられたポケット孔１６内
に収容される。また、ボール１４の円滑な転動を確保す
るため、ポケット孔１６のポケット面１６ａとボール１
４との間には、ポケット隙間ｓが設けられる。保持器１
５は、内径面１５ａが内輪１２と接触しつつ回転する。
器１５に円周等間隔に複数設けられたポケット孔１６内
に収容される。また、ボール１４の円滑な転動を確保す
るため、ポケット孔１６のポケット面１６ａとボール１
４との間には、ポケット隙間ｓが設けられる。保持器１
５は、内径面１５ａが内輪１２と接触しつつ回転する。
【０００６】上記タッチダウン面（１２ｂ，１２ｃ）
は、磁気軸受２が正常に作動しているときは、回転軸１
との間に所定の隙間を有しているが、タッチダウン時
は、回転軸１と接触してこれを支持するものである。
は、磁気軸受２が正常に作動しているときは、回転軸１
との間に所定の隙間を有しているが、タッチダウン時
は、回転軸１と接触してこれを支持するものである。
【０００７】上記構造のタッチダウン軸受４では、内輪
１２が回転軸１に対向し、その上端面および内径面がタ
ッチダウン面（１２ｂ，１２ｃ）になる。その反対に図
４においてハウジング７側を回転させ、中央の回転軸１
に設けた磁気軸受２によってハウジング７を支持する場
合には、タッチダウン軸受４の外輪１３が回転部材であ
るハウジング７に対向し、外輪１３の外径面でタッチダ
ウンすることになる。このようにタッチダウン面は軸受
の支持構造によりその位置が変わるものである。
１２が回転軸１に対向し、その上端面および内径面がタ
ッチダウン面（１２ｂ，１２ｃ）になる。その反対に図
４においてハウジング７側を回転させ、中央の回転軸１
に設けた磁気軸受２によってハウジング７を支持する場
合には、タッチダウン軸受４の外輪１３が回転部材であ
るハウジング７に対向し、外輪１３の外径面でタッチダ
ウンすることになる。このようにタッチダウン面は軸受
の支持構造によりその位置が変わるものである。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】回転軸１が内輪１２の
タッチダウン面（１２ｂ，１２ｃ）と接触すると、内輪
１２が急激に回転し始め、これに追従してボール１４も
急激に自転・公転運動を開始する。このとき、非負荷域
に位置するボール１４と負荷域に位置するボール１４と
の間には公転の遅れ・進みがあり、この遅れ・進みによ
って保持器１５に大きな引張力或いは圧縮力が作用す
る。この繰り返し引張力・圧縮力により保持器１５に疲
労が生じるため、保持器１５の強度が問題となる。ま
た、軸受回転時、保持器１５のポケット面１６ａとボー
ル１４の表面，保持器１５の内径面１５と内輪１２の外
径面との間に滑り摩擦が生じるので、これらの表面の偏
摩耗が問題となる。
タッチダウン面（１２ｂ，１２ｃ）と接触すると、内輪
１２が急激に回転し始め、これに追従してボール１４も
急激に自転・公転運動を開始する。このとき、非負荷域
に位置するボール１４と負荷域に位置するボール１４と
の間には公転の遅れ・進みがあり、この遅れ・進みによ
って保持器１５に大きな引張力或いは圧縮力が作用す
る。この繰り返し引張力・圧縮力により保持器１５に疲
労が生じるため、保持器１５の強度が問題となる。ま
た、軸受回転時、保持器１５のポケット面１６ａとボー
ル１４の表面，保持器１５の内径面１５と内輪１２の外
径面との間に滑り摩擦が生じるので、これらの表面の偏
摩耗が問題となる。
【０００９】特に、極低温環境で使用する場合は、保持
器１５を極低温で潤滑特性の良好なＰＴＦＥで形成する
場合が多いが、ＰＴＦＥでは必要な機械強度が得られな
い。
器１５を極低温で潤滑特性の良好なＰＴＦＥで形成する
場合が多いが、ＰＴＦＥでは必要な機械強度が得られな
い。
【００１０】そこで、本発明は、上記のようなタッチダ
ウン軸受における保持器の強度を確保すると共に、滑り
摩擦を生ずる表面の偏摩耗を防止することを目的とす
る。
ウン軸受における保持器の強度を確保すると共に、滑り
摩擦を生ずる表面の偏摩耗を防止することを目的とす
る。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明のタッチダウン軸
受は、固定側に配設された磁気軸受により非接触状態で
支持される回転部材を、タッチダウン時に支持するタッ
チダウン軸受であって、内輪と、外輪と、前記内・外輪
間に転動自在に介装された複数のボールと、ボールを円
周所定間隔に保持する保持器とを有し、前記保持器が軟
鋼材、ステンレス鋼材、セラミックス材料等の機械強度
を有する材料からなり、保持器の滑り摩擦を生ずる表面
には固体潤滑剤被膜が形成されている。
受は、固定側に配設された磁気軸受により非接触状態で
支持される回転部材を、タッチダウン時に支持するタッ
チダウン軸受であって、内輪と、外輪と、前記内・外輪
間に転動自在に介装された複数のボールと、ボールを円
周所定間隔に保持する保持器とを有し、前記保持器が軟
鋼材、ステンレス鋼材、セラミックス材料等の機械強度
を有する材料からなり、保持器の滑り摩擦を生ずる表面
には固体潤滑剤被膜が形成されている。
【００１２】ここで、保持器の「滑りを生ずる表面」と
は、ボール案内形式の保持器ではポケット面、軌道輪案
内形式の保持器ではポケット面及び案内面を意味する。
ただし、軌道輪案内形式の保持器では、ポケット面及び
案内面のうち少なくとも一方に固体潤滑剤被膜が形成さ
れていれば良い。
は、ボール案内形式の保持器ではポケット面、軌道輪案
内形式の保持器ではポケット面及び案内面を意味する。
ただし、軌道輪案内形式の保持器では、ポケット面及び
案内面のうち少なくとも一方に固体潤滑剤被膜が形成さ
れていれば良い。
【００１３】上記固体潤滑剤被膜の材料として、例えば
ＰＴＦＥ又は鉛が用いられる。また、上記固体潤滑剤被
膜の膜厚は、０．５μｍ〜２ｍｍであることが好まし
い。
ＰＴＦＥ又は鉛が用いられる。また、上記固体潤滑剤被
膜の膜厚は、０．５μｍ〜２ｍｍであることが好まし
い。
【００１４】
【発明の実施の形態】本発明の一実施形態を図面に基づ
き説明する。
き説明する。
【００１５】本発明に係るタッチダウン軸受は、図４に
示すような磁気軸受装置における回転軸１の上下両端部
に配設される。例えば、図１に示すように下端部のタッ
チダウン軸受６は、２個のアンギュラ玉軸受１９，２０
の正面組合せとして、ラジアル荷重とアキシャル荷重の
両方を受けるようにしている。また、上端部のタッチダ
ウン軸受も同様の構成である。
示すような磁気軸受装置における回転軸１の上下両端部
に配設される。例えば、図１に示すように下端部のタッ
チダウン軸受６は、２個のアンギュラ玉軸受１９，２０
の正面組合せとして、ラジアル荷重とアキシャル荷重の
両方を受けるようにしている。また、上端部のタッチダ
ウン軸受も同様の構成である。
【００１６】回転軸１の下端部には段部１ｂが形成さ
れ、この段部１ｂが上段のアンギュラ玉軸受１９の上端
面２１ｂとタッチダウン隙間ｕを介して対向し、また、
下端部の外周面１ｃが上下アンギュラ玉軸受１９，２０
の内輪２１，２６の内径面２１ｃ，２６ｃとタッチダウ
ン隙間ｕを介して対向している。内輪２１，２６の上端
面２１ｂ及び内径面２１ｃ，２６ｃには、タッチダウン
接触時の摩耗を防止するため、ＰＴＦＥ，二硫化モリブ
デン、鉛等による固体潤滑剤被膜が形成されている。
れ、この段部１ｂが上段のアンギュラ玉軸受１９の上端
面２１ｂとタッチダウン隙間ｕを介して対向し、また、
下端部の外周面１ｃが上下アンギュラ玉軸受１９，２０
の内輪２１，２６の内径面２１ｃ，２６ｃとタッチダウ
ン隙間ｕを介して対向している。内輪２１，２６の上端
面２１ｂ及び内径面２１ｃ，２６ｃには、タッチダウン
接触時の摩耗を防止するため、ＰＴＦＥ，二硫化モリブ
デン、鉛等による固体潤滑剤被膜が形成されている。
【００１７】アンギュラ玉軸受１９，２０の外輪２２，
２７はハウジング７の嵌合孔の内周面に嵌合され、さら
に下段の外輪２７の下面はハウジング７に固定された保
持リング８にて支持されている。
２７はハウジング７の嵌合孔の内周面に嵌合され、さら
に下段の外輪２７の下面はハウジング７に固定された保
持リング８にて支持されている。
【００１８】また、アンギュラ玉軸受１９，２０の各内
輪２１，２６の組合せ面には研削加工により隙間ｔが設
けられる。これにより、タッチダウン時の摩擦熱による
内輪２１，２６の軸線方向の熱膨張が許容され、軸受１
９，２０に過度の予圧がかからないよう構成されてい
る。
輪２１，２６の組合せ面には研削加工により隙間ｔが設
けられる。これにより、タッチダウン時の摩擦熱による
内輪２１，２６の軸線方向の熱膨張が許容され、軸受１
９，２０に過度の予圧がかからないよう構成されてい
る。
【００１９】各アンギュラ玉軸受１９，２０の内輪２
１，２６と外輪２２，２７との間に複数のボール２３，
２８が介装され、保持器２４，２９によって円周等間隔
に保持される。
１，２６と外輪２２，２７との間に複数のボール２３，
２８が介装され、保持器２４，２９によって円周等間隔
に保持される。
【００２０】ボール２３，２８は、内輪２１，２６の軌
道面２１ａ，２６ａと、外輪２２，２７の軌道面２２
ａ，２７ａとの間に所定の予圧荷重を与えられた状態で
介装され、保持器２４，２９のポケット孔２５，３０に
収容される。保持器２４，２９は内輪案内形式のもの
で、内輪２１，２６の外径面との間にわずかな案内隙間
を有する。
道面２１ａ，２６ａと、外輪２２，２７の軌道面２２
ａ，２７ａとの間に所定の予圧荷重を与えられた状態で
介装され、保持器２４，２９のポケット孔２５，３０に
収容される。保持器２４，２９は内輪案内形式のもの
で、内輪２１，２６の外径面との間にわずかな案内隙間
を有する。
【００２１】保持器２４（保持器２９も同様の構成であ
る。）は、図２及び図３に示すように、リング状の部材
で、所要の機械強度を有する材料（例えば、軟鋼材、ス
テンレス鋼材、セラミックス材料等）で形成され、円周
等間隔に複数のポケット孔２５を有する。各ポケット孔
２５には、それぞれボール２３が収容される。各ポケッ
ト孔２５のポケット面２５ａとボール２３との間には、
ボール２３の円滑な転動を確保すべく所定のポケット隙
間ｓが設けられる。
る。）は、図２及び図３に示すように、リング状の部材
で、所要の機械強度を有する材料（例えば、軟鋼材、ス
テンレス鋼材、セラミックス材料等）で形成され、円周
等間隔に複数のポケット孔２５を有する。各ポケット孔
２５には、それぞれボール２３が収容される。各ポケッ
ト孔２５のポケット面２５ａとボール２３との間には、
ボール２３の円滑な転動を確保すべく所定のポケット隙
間ｓが設けられる。
【００２２】軸受回転時、保持器２４は内径面２４ａを
内輪２１によって接触案内されながら回転し、ポケット
孔２５のポケット面２５ａでボール２３と接触する。
内輪２１によって接触案内されながら回転し、ポケット
孔２５のポケット面２５ａでボール２３と接触する。
【００２３】保持器２４の滑り摩擦を生じる表面、この
実施形態では、ポケット面２５ａと案内面２４ａは、Ｐ
ＴＦＥ、鉛、或いは二硫化モリブデン等の固体潤滑剤で
被膜される。この固体潤滑剤被膜の膜厚は０．５μｍ〜
２ｍｍが好ましい。
実施形態では、ポケット面２５ａと案内面２４ａは、Ｐ
ＴＦＥ、鉛、或いは二硫化モリブデン等の固体潤滑剤で
被膜される。この固体潤滑剤被膜の膜厚は０．５μｍ〜
２ｍｍが好ましい。
【００２４】次に上記の如く構成されたタッチダウン軸
受６の作用について説明する。
受６の作用について説明する。
【００２５】電源系統の断線や停電等により磁気軸受の
機能が停止するタッチダウン時において、回転軸１がタ
ッチダウン軸受６の内輪２１，２６のタッチダウン面２
１ｂ，２１ｃ，２６ｃに接触すると、内輪２１，２６が
急激に回転し始める。同時に各ボール２３，２８は急激
に自転及び公転運動し始める。この際、各ボール２３，
２８には均等に負荷がかかっているのではなく、実際は
負荷域に位置するものと非負荷域に位置するものとがあ
って、これによりボール２３，２８の遅れ・進みが生じ
る。このボール２３，２８の遅れ・進みにより、保持器
２４，２９には引張力，圧縮力がかかり、これが保持器
２４，２９に疲労を生じさせる一因となる。しかしなが
ら、このタッチダウン軸受６は、保持器２４が軟鋼材、
ステンレス鋼材、セラミックス材料等の機械強度を有す
る材料で形成されており、上記の引張力・圧縮力に対し
て十分な強度があるため、疲労が生じにくく、その耐久
性が高いものとなる。
機能が停止するタッチダウン時において、回転軸１がタ
ッチダウン軸受６の内輪２１，２６のタッチダウン面２
１ｂ，２１ｃ，２６ｃに接触すると、内輪２１，２６が
急激に回転し始める。同時に各ボール２３，２８は急激
に自転及び公転運動し始める。この際、各ボール２３，
２８には均等に負荷がかかっているのではなく、実際は
負荷域に位置するものと非負荷域に位置するものとがあ
って、これによりボール２３，２８の遅れ・進みが生じ
る。このボール２３，２８の遅れ・進みにより、保持器
２４，２９には引張力，圧縮力がかかり、これが保持器
２４，２９に疲労を生じさせる一因となる。しかしなが
ら、このタッチダウン軸受６は、保持器２４が軟鋼材、
ステンレス鋼材、セラミックス材料等の機械強度を有す
る材料で形成されており、上記の引張力・圧縮力に対し
て十分な強度があるため、疲労が生じにくく、その耐久
性が高いものとなる。
【００２６】また、保持器２４，２９のポケット面２５
ａおよび内径面２４ａに形成された固体潤滑剤被膜によ
って、滑り潤滑部分の潤滑が成される。さらに、ボール
２３，２８との接触、内輪２１，２６との接触によっ
て、ポケット面２５ａ及び内径面２４ａに形成された固
体潤滑剤被膜が、ボール２３，２８の表面、内輪２１，
２６の外径面、内・外輪の軌道面２１ａ，２２ａ，２６
ａ，２７ａに転着して転着被膜を形成する。これによ
り、保持器２４，２９のポケット面２５ａや内径面２４
ａの偏摩耗が防止され、保持器２４，２９の回転、或い
はボール２３，２８の自転・公転運動が円滑になされ
る。
ａおよび内径面２４ａに形成された固体潤滑剤被膜によ
って、滑り潤滑部分の潤滑が成される。さらに、ボール
２３，２８との接触、内輪２１，２６との接触によっ
て、ポケット面２５ａ及び内径面２４ａに形成された固
体潤滑剤被膜が、ボール２３，２８の表面、内輪２１，
２６の外径面、内・外輪の軌道面２１ａ，２２ａ，２６
ａ，２７ａに転着して転着被膜を形成する。これによ
り、保持器２４，２９のポケット面２５ａや内径面２４
ａの偏摩耗が防止され、保持器２４，２９の回転、或い
はボール２３，２８の自転・公転運動が円滑になされ
る。
【００２７】特に、極低温環境で用いられる場合は、固
体潤滑剤としてＰＴＦＥを用いることにより、極低温環
境においても保持器２４，２９に良好な潤滑特性が得ら
れ、タッチダウン軸受の作動性は向上する。
体潤滑剤としてＰＴＦＥを用いることにより、極低温環
境においても保持器２４，２９に良好な潤滑特性が得ら
れ、タッチダウン軸受の作動性は向上する。
【００２８】上記の実施形態では、保持器２４，２９の
ポケット面２５ａと内径面２４ａの両方に固体潤滑剤被
膜が形成されているが、ポケット面２５ａと内径面２４
ａのいずれか一方に固体潤滑剤被膜を形成すれば、上記
のような効果を得ることが期待できる。但し、回転初期
時の潤滑特性を良好なものとするため、ポケット面２５
ａと内径面２４ａの両方に固体潤滑剤被膜を形成するの
が好ましい。
ポケット面２５ａと内径面２４ａの両方に固体潤滑剤被
膜が形成されているが、ポケット面２５ａと内径面２４
ａのいずれか一方に固体潤滑剤被膜を形成すれば、上記
のような効果を得ることが期待できる。但し、回転初期
時の潤滑特性を良好なものとするため、ポケット面２５
ａと内径面２４ａの両方に固体潤滑剤被膜を形成するの
が好ましい。
【００２９】なお、この実施形態では、保持器２４の内
径面２４ａが内輪２１の外径面により案内される形式
（内輪案内形式）であるが、保持器の外径面が外輪の内
径面により案内される形式（外輪案内形式）において
は、保持器の外径面とポケット面の少なくとも一方に固
体潤滑剤被覆を形成する。また、保持器がボールによっ
て案内される形式（転動体案内形式）においては、保持
器のポケット面に固体潤滑剤被膜を形成する。
径面２４ａが内輪２１の外径面により案内される形式
（内輪案内形式）であるが、保持器の外径面が外輪の内
径面により案内される形式（外輪案内形式）において
は、保持器の外径面とポケット面の少なくとも一方に固
体潤滑剤被覆を形成する。また、保持器がボールによっ
て案内される形式（転動体案内形式）においては、保持
器のポケット面に固体潤滑剤被膜を形成する。
【００３０】
【発明の効果】本発明のタッチダウン軸受は、保持器が
所要の機械強度を有する材料で形成され、かつ保持器の
滑り摩擦を生ずる表面に固体潤滑剤被膜が形成されてい
るので、保持器に疲労が生じにくく、また、偏摩耗が生
じにくい。さらに、固体潤滑剤被膜の潤滑作用により、
ボールの円滑な自転・公転運動及び保持器の円滑な回転
運動が促進される。従って、本発明によれば、タッチダ
ウン軸受における回転運動の安定化、耐久性向上を図る
ことができる。
所要の機械強度を有する材料で形成され、かつ保持器の
滑り摩擦を生ずる表面に固体潤滑剤被膜が形成されてい
るので、保持器に疲労が生じにくく、また、偏摩耗が生
じにくい。さらに、固体潤滑剤被膜の潤滑作用により、
ボールの円滑な自転・公転運動及び保持器の円滑な回転
運動が促進される。従って、本発明によれば、タッチダ
ウン軸受における回転運動の安定化、耐久性向上を図る
ことができる。
【００３１】また、極低温環境で使用されるものには固
体潤滑剤としてＰＴＦＥを用いることにより、極低温環
境での作動性も良好なものとすることができる。
体潤滑剤としてＰＴＦＥを用いることにより、極低温環
境での作動性も良好なものとすることができる。
【図１】 本発明の一実施形態に係るタッチダウン軸受
の縦断面図。
の縦断面図。
【図２】 本発明の一実施形態に係る保持器の展開図。
【図３】 本発明の一実施形態に係る保持器の斜視図。
【図４】 従来の磁気軸受装置の縦断面図。
【図５】 従来のタッチダウン軸受の縦断面図。
【図６】 従来の保持器の展開図。
１…回転軸 ２…磁気軸受 ６…タッチダウン
軸受 ７…ハウジング ２１，２６…内輪 ２１ａ，２２ａ，２６ａ，２７ａ…軌道面 ２２，２７…外輪 ２３，２８…ボー
ル ２４，２９…保持器 ２５ａ，３０ａ…
ポケット面 ２４ａ…内径面
軸受 ７…ハウジング ２１，２６…内輪 ２１ａ，２２ａ，２６ａ，２７ａ…軌道面 ２２，２７…外輪 ２３，２８…ボー
ル ２４，２９…保持器 ２５ａ，３０ａ…
ポケット面 ２４ａ…内径面
Claims (3)
- 【請求項１】内輪と、外輪と、前記内・外輪の軌道面間
に転動自在に介装された複数のボールと、各ボールを円
周所定間隔に保持する保持器とを有し、固定側に配設さ
れた磁気軸受により非接触状態で支持される回転部材
を、タッチダウン時に支持するタッチダウン軸受におい
て、 上記保持器が軟鋼、ステンレス鋼、セラミックス等の所
要の機械強度を有する材料からなり、かつ、保持器の滑
り摩擦を生ずる表面に固体潤滑剤被膜が形成されている
ことを特徴とする磁気軸受装置のタッチダウン軸受。 - 【請求項２】上記固体潤滑剤被膜が、ＰＴＦＥ被膜又は
鉛被膜であることを特徴とする請求項１の磁気軸受装置
のタッチダウン軸受。 - 【請求項３】上記固体潤滑剤被膜の膜厚が、０．５μｍ
〜２ｍｍであることを特徴とする請求項１又は請求項２
の磁気軸受装置のタッチダウン軸受装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9252307A JPH1182522A (ja) | 1997-09-17 | 1997-09-17 | 磁気軸受装置のタッチダウン軸受 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9252307A JPH1182522A (ja) | 1997-09-17 | 1997-09-17 | 磁気軸受装置のタッチダウン軸受 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1182522A true JPH1182522A (ja) | 1999-03-26 |
Family
ID=17235439
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9252307A Withdrawn JPH1182522A (ja) | 1997-09-17 | 1997-09-17 | 磁気軸受装置のタッチダウン軸受 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1182522A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6617733B1 (en) * | 1999-03-31 | 2003-09-09 | Seiko Instruments Inc. | Magnetic bearing apparatus and vacuum pump having magnetic bearing apparatus |
| JP2009236232A (ja) * | 2008-03-27 | 2009-10-15 | Ntn Corp | 転がり軸受 |
| JP2012172801A (ja) * | 2011-02-23 | 2012-09-10 | Nsk Ltd | 組合せアンギュラ玉軸受 |
| WO2012152541A1 (de) * | 2011-05-12 | 2012-11-15 | Schaeffler Technologies AG & Co. KG | Lageranordnung mit einem fanglager, insbesondere für eine lagerung einer schnelldrehenden welle |
| WO2012152539A1 (de) * | 2011-05-12 | 2012-11-15 | Schaeffler Technologies AG & Co. KG | Lageranordnung mit einem fanglager, insbesondere für eine lagerung der schnelldrehenden welle eines kompressors |
| US8485730B2 (en) | 2008-03-27 | 2013-07-16 | Ntn Corporation | Rolling bearing |
-
1997
- 1997-09-17 JP JP9252307A patent/JPH1182522A/ja not_active Withdrawn
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6617733B1 (en) * | 1999-03-31 | 2003-09-09 | Seiko Instruments Inc. | Magnetic bearing apparatus and vacuum pump having magnetic bearing apparatus |
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| WO2012152541A1 (de) * | 2011-05-12 | 2012-11-15 | Schaeffler Technologies AG & Co. KG | Lageranordnung mit einem fanglager, insbesondere für eine lagerung einer schnelldrehenden welle |
| WO2012152539A1 (de) * | 2011-05-12 | 2012-11-15 | Schaeffler Technologies AG & Co. KG | Lageranordnung mit einem fanglager, insbesondere für eine lagerung der schnelldrehenden welle eines kompressors |
| CN103534500A (zh) * | 2011-05-12 | 2014-01-22 | 谢夫勒科技股份两合公司 | 具有承托轴承的轴承系统，特别是用于支承快速转动的轴 |
| CN103534500B (zh) * | 2011-05-12 | 2016-03-30 | 舍弗勒技术股份两合公司 | 具有承托轴承的轴承系统，特别是用于支承快速转动的轴 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20041207 |