JPH10227761A - ガスセンサ及びガス分析装置 - Google Patents
ガスセンサ及びガス分析装置Info
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Abstract
含まれる各種のガスの分析に用いられ、燃焼炉等へ直接
に脱着することが可能であり、保守性に優れ、かつ構造
が簡易であるために、低コストで作製可能なガスセンサ
およびガス分析装置を提供する。 【解決手段】 板状のガスセンサ素子60のガス検出部
61が露出するようにして、ガスセンサ素子60の胴体
部62を一次カバー24を貫通して円筒形碍管22内に
ガラス等の粉体により気密に固定し、ガスセンサ素子6
0に取り付けられた延長リード線14を保護碍管18に
通したものを、任意長さの円筒形金属パイプ26と一次
カバー24が接続されるように円筒形金属パイプ26内
に固定し、ガス検出部61を保護する保護カバー25を
一次カバー24に取り付けた。
Description
炉等から排出される排気ガス等に含まれる酸素、一酸化
炭素あるいは二酸化炭素等のガス濃度を検出するための
ガスセンサとガス分析装置に関し、さらに詳しくは、燃
焼炉や大型の排気管に容易に直接に脱着することが可能
であり、かつ、メンテナンスの容易なガスセンサおよび
ガス分析装置に関するものである。
ンジン等の内燃機関、あるいは、燃焼炉、焼却炉等から
の排気ガス中に含まれる酸素や一酸化炭素、あるいは二
酸化炭素等のガス濃度を検知し、その検出信号に基づい
て内燃機関等の燃焼状態を最適に制御するように、酸化
剤である空気あるいは燃料の供給量を制御することによ
って、不完全燃焼ガスの排出抑制、排気ガスの浄化、あ
るいは燃費の節減等を行うことに使用されている。
ガスとの選択的反応性が高いことは言うまでもなく、高
温の排気ガスに対して化学的に安定であり、しかも製造
が容易であり、コンパクト化が可能なものが好ましい。
したがって、固体センサ素子を用いたものが好ましく、
たとえば、酸素イオン伝導性を有する固体電解質を利用
した酸素センサや、酸化すずの半導体特性を利用した一
酸化炭素センサが知られている。
いた酸素センサの基本構造としては、図9に示されるよ
うに、固体電解質70として筒状の安定化ジルコニア焼
結体を用い、固体電解質70の内外面に電極71、72
を白金等により形成してリード線73、74を取付けた
ものがあげられる。この場合、たとえば、電極71には
測定ガスが接触し、電極72には基準ガスが接触するよ
うにそれぞれのガスを緻密体75で隔離すると、酸素濃
淡電池が形成され、測定ガスと基準ガスの酸素分圧の差
に応じて発生した起電力を測定することによって測定ガ
ス中の酸素濃度を知ることが可能となる。
用にあたっては上述した基本構造等を基にして様々に構
造が変更されるが、一般に、固体電解質板や半導体基板
あるいは電極やリード線が露出した状態では、ガスセン
サ素子が損傷しやすく、また、被測定ガスが流れる排気
管等への取付けが困難である。したがって、ガスセンサ
素子は種々のハウジングに納められた形で使用に供され
る。たとえば、実公平7−54852号公報には、図1
0に示す酸素ガスセンサが開示されており、ここで酸素
センサ素子80はそのガス検出部86が露出するように
して、セラミックサポータ81の間に充填されたタルク
82を介して固定されると同時に気密に封止されてお
り、このセラミックサポータ81が金属製円筒83を溶
接した金属製のハウジング84に固定される。さらに、
酸素センサ素子80のガス検出部86を取り囲むように
して、ガス検出部86を保護するためのフィルタ85が
ハウジング84に取付けられている。こうした酸素セン
サあるいはこれに類似したガスセンサは、実際の排気管
等へ装着されて使用されることとなる。
94の実際の排気管等への取付け状態を示したもので、
従来型ガスセンサ94は、燃焼室壁または燃焼炉壁90
から分岐した排気管91等に設けられたセンサ取付け金
具92に固定される。したがって、従来型ガスセンサ9
4は排気管91に流れ込んだ管壁近くのガスを分析する
ことになる。一方、図13に示すガス分析装置100
は、特公平6−40091号公報または特開平4−28
5850号公報に開示されているように、ガスセンサ素
子101は、プローブ102の先端部にフィルタ103
とともに固定されており、ガス分析装置の長さに応じた
特定位置を流れるガスの分析が可能となる。
した従来型ガスセンサ94においては、排気管91等の
内壁近傍の空燃比しか測定ができず、燃焼ガス全体の平
均的組成を計測しているかは疑問である。また、大型の
燃焼炉等に使用する場合には、排気管91の径が大きく
なり、排気管91の肉厚も厚くなることから、直接には
取付けが出来ず、偏流板やサンプリング装置を必要とし
た。さらに、このようなガスセンサは、燃焼部の下流側
に取付けられることが多く、燃焼直後の空燃比を測定で
きるとは言い難い面がある。
00は、製造メーカーの規格で挿入長さが決められてい
ることが多いことから、使用する排気管の中心にガス検
出部が合うようにガス分析装置の取付けフランジ位置を
調整する合フランジを取付ける等の必要が生ずる。
ず、ガス分析装置のメンテナンスを行う際には、ガス分
析装置全体を排気管等から取り外さなければならず、し
かもガスセンサ素子やそれを保護するフィルターは、小
型のボルトやナット、ネジ等によってハウジングあるい
は金属製のプローブパイプ等のガス分析装置の先端部に
固定されるためにこれらを取り外さなければならず、手
間がかかる。さらに、高温で使用した場合には、フィル
タの取付け部が焼き付いてフィルタの取外しができなく
なる場合もあり、この場合、ガス分析装置全体を新品と
交換する必要が生ずる。
題点に鑑みてなされたものであり、燃焼部や大型の排気
管に任意の長さに調節して直接に挿入することが可能で
あり、かつ、メンテナンスの容易なガスセンサおよびガ
ス分析装置を提供することを目的とする。すなわち、本
発明によれば、板状のガスセンサ素子を、該ガスセンサ
素子に設けられたガス検出部が露出するようにして、該
ガスセンサ素子の残部を円筒形碍管に気密固定し、該ガ
スセンサ素子の検出部分が測定雰囲気と連通した状態
で、該円筒形碍管の外周を囲むように、該円筒形碍管を
円筒形金属パイプ内へ気密に取付けたことを特徴とする
ガスセンサ、が提供される。
出部を除く他の部分の円筒形碍管への気密固定、および
円筒形碍管の円筒形金属パイプへの気密固定には、それ
ぞれの部材の間隙に、ガラスまたは/およびタルク等の
無機粉体を充填して行われることが好ましい。また、円
筒形碍管の該円筒形金属パイプ内への固定方法として
は、円筒形金属パイプの両端部の少なくとも一方の端部
をかしめ加工することが好ましい。さらに、ガスセンサ
に用いられるガスセンサ素子としては、ジルコニア固体
電解質を用いた限界電流方式のものであって、センサの
温度を一定温度に制御するヒータを一体化させたガスセ
ンサが好適に用いられる。そして、このようなセンサの
排気管等への取付けに際して、前記ガスセンサが、チュ
ーブ継手の内孔を貫通して配管/ダクト等の排気管に取
付けられることで、任意長さでのセンサの挿入が可能と
なる。
られたガス分析装置用取付けフランジに第1のチューブ
継手を設け、該第1のチューブ継手の貫通孔を貫通する
ように金属製のガイドパイプを挿入して、該ガイドパイ
プの一方の先端を該排気管内の任意の測定位置に合わせ
て該ガイドパイプが該第1のチューブ継手において固定
され、該ガイドパイプの他端には第2のチューブ継手が
設けられ、ガスセンサ素子の先端部が該ガイドパイプの
先端位置に合うように、ガスセンサが該第2のチューブ
継手の貫通孔を貫通して該ガイドパイプに挿入されて、
該第2のチューブ継手により固定されたことを特徴とす
るガス分析装置、が提供される。
タが設けられ、ガイドパイプとガスセンサとの間に生ず
る間隙は校正ガス導入口として好適に用いられる。
ンサおよびガス分析装置によれば、ガスセンサの構造が
簡単であるので、低コストで作製することができ、種々
の長さのガスセンサをチューブ継手を貫通して任意の位
置に取付けることが可能となる。さらに、ガスセンサを
保護するフィルタとガスセンサ自体は別々に構成される
ことから、センサ自体のメンテナンスが容易である利点
を有する。以下、本発明について図面を参照しながら説
明するが、本発明はこれらの実施形態に限定されるもの
ではない。
センサの一つである酸素センサ素子1の構造を示したも
ので、図1(a)は正面断面図、図1(b)は側面断面
図である。図1(a)より、酸素センサ素子1はセンサ
部2とヒータ部3に大別され、さらにセンサ部2はセン
シングセル部4とポンピングセル部5に分けることがで
きる。一方、図1(b)より、酸素センサ素子1は固体
電解質板6・10、電極7・11、ガス検出室8、基準
酸素室9およびヒータ部3等から構成されるガス検出部
20と、ガス検出部20を支持する胴体部21とに分け
ることができる。
6を挟む一対の電極7の一方がガス検出室8に、他方の
電極が基準酸素室9に設けられ、また、ポンピングセル
部5には固体電解質板10を挟む一対の電極11の一方
がガス検出室8に、他方の電極が測定ガス側に設けられ
ており、これらの電極のそれぞれに内蔵リード線12が
接続されて、この内蔵リード線12の酸素センサ素子1
の外表面に設けられた接続ターミナル13おいて、さら
に延長リード線14が取付けられて構成される。また、
ガス検出室8の外周にはガス拡散孔15が設けられ、ヒ
ータ部3には発熱抵抗体16を内蔵したセラミックヒー
タ17等が用いられる。
電解質板6・10としては、高い酸素イオン伝導性を有
する材料が用いられ、本発明においては、高温安定性、
化学的安定性に優れた安定化ジルコニアが好適に使用さ
れる。安定化ジルコニアとは、安定化材と呼ばれる2価
または3価の金属酸化物を固溶させて、酸化ジルコニウ
ムの高温安定相である立方晶を全温度範囲で安定相とさ
せたものである。また、このような安定化材の固溶は、
酸素欠陥を生じさせ、イオン伝導度を向上させる役割を
も果たす。本発明における安定化材としては、酸化マグ
ネシウム(MgO)、酸化カルシウム(CaO)、酸化
イットリウム(Y2O3)、酸化セリウム(CeO2)、
酸化スカンジウム(Sc2O3)および希土類酸化物が好
適に用いられる。
耐熱性に優れる白金が好適に用いられ、内蔵リード線1
2としても、高温での安定性に優れる白金あるいは白金
系合金が使用される。また、延長リード線14として
は、安価で耐熱性に優れるニッケル線、あるいはニッケ
ル合金線が好適に使用され、その長さは、酸素センサ素
子1で感知される電流、電圧の延長リード線14の抵抗
による電圧降下が酸素濃度の定量に支障のない範囲内で
あればよい。そして、延長リード線14の接続ターミナ
ル13への取付は、スポット溶接により強固に行われ
る。さらに、各延長リード線14はそれぞれが接触しな
いように、絶縁性の保護碍管18によって保護される。
この保護碍管18としては、単数あるいは複数穴を有す
るアルミナ碍管、あるいは酸化マグネシウムをステンレ
スパイプ内に充填したもので、延長リード線14のそれ
ぞれが接触またはステンレスパイプの内面に接触しない
ように配置されたものが好適に使用される。
ングセル部4の電極7の間に微小電流を流して基準酸素
室9の酸素濃度を約100%とすると、センシングセル
部4の電極7の間にはガス検出室8と基準酸素室9との
酸素濃度の違いによりネルンストの式に基づく起電力が
発生する。このとき、センシングセル部4の電極7の間
に生じた起電力が、固体電解質板6に隔離された基準酸
素室9の酸素濃度100%のガスと、ガス検出室8の酸
素濃度がほぼ0%の測定ガスによる濃淡電池の起電力値
となるように、ポンピングセル部5に設けた電極11に
電流を流してガス検出室8の酸素濃度がほぼ0%となる
ように制御すると、ポンピングセル部5の電極11に印
加する電流値と測定ガス中の酸素濃度が比例することか
ら、測定ガス中の酸素濃度を測定することができる。な
お、センシングセル部4の電極7に電流を流すことによ
ってガス検出室8から基準酸素室9へ移動する酸素の量
は、極めて少ないためにガス検出室8内の酸素濃度への
影響はないものとみなすことができる。
伝導度は温度によって変化することから、測定精度を向
上させるためにはセンサ温度を常に一定に保つ必要があ
る。ヒータ部3は測定ガスの温度によらず、センサ部2
を一定温度に保持する役割を果たし、モルタルやガラス
といった高温耐熱接着剤等によるヒータ接続部19によ
ってセンサ部2と一体化される。
れず、図12に示されるように、固体素子を用いたガス
センサ素子60は、一般的に、半導体や固体電解質等に
電極を設けたガス検出部61とガス検出部61を支持す
る胴体部62とから構成される。たとえば、図1に示し
た酸素センサ素子1において、センシングセル部4のガ
ス検出室8側に設けられる電極7として、金からなる多
孔性電極を形成した場合には、この金電極は基準酸素室
9に設けられた白金電極と比べて、一酸化炭素および酸
素との反応性やガス選択性が異なるので、一酸化炭素ガ
スセンサとして使用することができる。また、半導体表
面へのガス分子の吸着や反応による半導体の電気的特性
の変化を利用したガスセンサ、たとえば、多孔性酸化す
ず焼結体からなる一酸化炭素および硫化水素用のガスセ
ンサ素子の基本構造もまた、図12に示したガスセンサ
素子60と同様である。したがって、以下、上述した酸
素センサ素子1を、酸素センサ素子1を含む一般的なガ
スセンサ素子60に置き換えて、本発明のガスセンサの
構造について説明する。
図2に示されるように、そのガス検出部61が測定ガス
雰囲気に露出するように、そして胴体部62が円筒形碍
管22内に固定されるようにして円筒形碍管22へ挿入
され、これらの間に生じた隙間23にガラスまたはタル
クが充填されて気密に封止される。このときの円筒形碍
管22としては、アルミナ管が好適に使用される。
子60のガス検出部61側の端部には、ガスセンサ素子
60の位置決めと円筒形碍管22の脱落を防止するため
の一次カバー24が、ガスセンサ素子60が一次カバー
24を貫通するように配置され、円筒形碍管22とガラ
スまたはタルクによって固定される。なお、この一次カ
バー24の材質としては、円筒形碍管22と熱膨張係数
が近似するフェライトまたはマルテンサイト系ステンレ
スが好適に用いられる。
サ素子60のガス検出部61を保護するための保護カバ
ー25が取付けられる。この保護カバー25は一次カバ
ー24と同じ材料あるいは耐熱合金からなるものが好適
に用いられ、保護カバー25と一次カバー24との接続
は、かしめ加工または溶接によって接続しても良いし、
一次カバー24と保護カバー25が一体のパイプを用い
てもよい。ただし、後述する図7に示されるように、本
発明のガスセンサは、ガスセンサと相似形のガイドパイ
プ44に挿入される場合、そのガイドパイプ44の先端
部には、ガス検出部61を保護するフィルタ51が取付
けられていることから、この保護カバー25は、必ず取
付けなければならない部品ではない。
線14用の保護碍管18を円筒形金属パイプ26に挿入
して、円筒形金属パイプ26と一次カバー24とを溶接
またはかしめ加工によって接合する。このとき、円筒形
金属パイプ26としては、一次カバー24と同じ材質の
ものが最も扱い易い。また、円筒形碍管22または保護
碍管18と円筒形金属パイプ26の隙間が大きい場合に
は、それぞれの隙間にガラスまたはタルク等を充填し
て、円筒形碍管22および保護碍管18を円筒形金属パ
イプ24内で安定させる処理が施される。
ド線14の取出し口側の端部は、図3に示されるよう
に、円筒形金属パイプ26を固定するための金属製の固
定パイプ27と、延長リード線14に接続される絶縁被
覆付電線28を有する端子箱29に固定される。この作
業は、たとえば、まず絶縁被覆付電線28を固定パイプ
27の開口端から引き出して、絶縁被覆付電線28の数
と同じ孔を有するバイトンゴムブーツ30を貫通させ、
そして各絶縁被覆付電線28を対応する延長リード線1
4と溶接して、その溶接部分を覆うようにバイトンゴム
ブーツ30をはめ込み、続いて円筒形金属パイプ26を
固定パイプ27に挿入して固定パイプ27の開口端にお
いて、溶接またはかしめ加工によって行うことができ
る。また、延長リード線14と絶縁被覆付電線28との
接続は、外部を絶縁被覆した圧着端子を用いて行っても
よく、こうして本発明のガスセンサ31が作製される。
カバーの形状、あるいは円筒金属パイプの端部における
円筒形碍管の固定方法等を変更した実施形態を示した。
まず、図4に示す実施形態においては、円筒形碍管22
と一次カバー24との接続は、図2に示した実施形態と
同じであるが、保護カバー32および円筒形金属パイプ
33が一次カバー24の外側を覆うようにして、かしめ
加工あるいは溶接によって一次カバー24と接続され、
円筒形金属パイプ33と円筒形碍管22との隙間34に
は、ガラスまたはタルクが充填される。
示した円筒形金属パイプ26と一次カバー24とを一体
化させた有底円筒形金属パイプ35を使用したものであ
る。有底円筒形金属パイプ35の底部には、ガスセンサ
素子60のガス検出部61が貫通できる孔が設けられ、
ガスセンサ素子60を固定した円筒形碍管22が有底円
筒形金属パイプ35に挿入されて、それらに生じた隙間
36にガラスまたはタルクが充填される。さらに、有底
円筒形金属パイプ35の開口端は円筒形碍管22の長さ
に応じてかしめ加工部37が形成されることにより円筒
形碍管22が固定され、ガスセンサ素子60のガス検出
部61が露出する有底円筒形金属パイプ35の底部に
は、保護カバー38が取付けられる。なお、有底円筒形
金属パイプ35の材質としては、円筒形碍管22と熱膨
張係数の近似したフェライトまたはマルテンサイト系ス
テンレスが好適に使用される。
パイプ35の開口端を円筒形碍管22の長さに合わせて
いるために、延長リード線14を保護する保護碍管18
を保護する延長パイプ39を別途取付けなければならな
い。この延長パイプ39は有底円筒形金属パイプ35と
同材質のものが好ましく、かしめ加工された有底円筒形
金属パイプ35の開口端部に、溶接またはかしめ加工に
よって取付けられる。
をかしめた円筒形金属パイプ40に、ガスセンサ素子6
0のガス検出部61が貫通する孔を設けた円板41とガ
スセンサ素子60を固定した円筒形碍管22を挿入し
て、円筒形金属パイプ40との間に生じた隙間42にガ
ラスまたはタルクを充填し、さらに円筒形金属パイプ4
0の他端を、延長リード線14の保護碍管18を貫通す
る円板43を介してかしめ加工することにより、円筒形
碍管22が固定されるものである。本実施形態の場合に
も、ガスセンサ素子60のガス検出部61が露出する部
分には保護カバー38が、円筒形金属パイプ40の延長
リード線14側の端部には延長パイプ39が、それぞれ
かしめ加工あるいは溶接によって取付けられる。
31を、次に、図7に示されるガイドパイプ44に挿入
する。このガイドパイプ44は、図3に示した端子箱2
9と固定パイプ27との接合部45から、ガスセンサ3
1先端までの外形と相似形であり、ステンレス等の耐熱
金属が好適に用いられる。また、ガイドパイプ44のガ
スセンサ31の挿入口にはチューブ継手46が溶接また
はネジ込みされており、このチューブ継手46の拡大断
面図を図8に示す。チューブ継手46とガスセンサ31
の固定パイプ27とが、フロントフェルール47とリア
フェルール48を介してナット49で締めつけることに
よって気密に固定される。このようなチューブ継手46
を用いた接続方法により、ガスセンサ31は、いつでも
簡単にガイドパイプ44との取付け、取外しが可能とな
る。
サ31校正用の空気等を送入するための校正ガス導入口
50が形成され、ガイドパイプ44とガスセンサ31と
の間に生じた隙間が導入通路として利用される。このよ
うな構造とすることで、ガスセンサ31を取外すことな
く、ガスセンサの検出感度を校正することが可能とな
る。
ガイドパイプ44の先端には、ガスセンサ素子60のガ
ス検出部61を保護するための焼結金属製、あるいはセ
ラミック製のフィルタ51がかしめ加工、溶接あるいは
フィルタ51とガイドパイプ44の先端とをネジ加工す
るなどの方法により取付けられる。こうして、ガスセン
サ31の先端にも保護フィルタを設けることにより、二
重にガスセンサ素子60のガス検出部61を保護するこ
とも可能である。
4が取付けられたガスセンサ31は、排気管等へ取付け
られることとなるが、図7には、本発明のガスセンサ3
1を取付けるために、排気管等に取付けられるフランジ
52の構造も示されている。フランジ52はボルト等を
用いて排気管等へ固定される。そして、フランジ52の
中央部には、ガスセンサ31に取付けられたガイドパイ
プ44を貫通できるチューブ継手54が溶接またはネジ
込みされ、この貫通部分にガイドパイプ44が挿入され
る。こうして、図8に示したチューブ継手46を用いた
場合と同様の方法によって、ガイドパイプ44は図7に
示されるガイドパイプ44の一部分である長さAの範囲
内の任意の位置でチューブ継手54において、ナット5
5によって固定することができる。このようにして、フ
ランジ52等からなる排気管取付け金具と、ガイドパイ
プ44およびガスセンサ31とから構成されるガス分析
装置が形成される。
いては、チューブ継手54を利用すると、ガスセンサ3
1のガス検出部61を、ガスセンサ31を取付けるガイ
ドパイプ44の長さの範囲内において自由に調整するこ
とでき、排気管内の任意の位置での燃焼ガスのガス濃度
分析が可能となる。また、ガスセンサ31の取付け方法
は、上述してきたように、予めガスセンサ31をガイド
パイプ44にチューブ継手46によって固定したものを
排気管へ取付けられたフランジ52から挿入し、チュー
ブ継手54で固定することができる。あるいは、先にガ
イドパイプ44を排気管等に取付けられたフランジ52
に挿入して測定位置を決定し、チューブ継手54によっ
て固定した後に、ガスセンサ31をガイドパイプ44に
挿入してチューブ継手46で固定してもよい。さらに、
チューブ継手46を排気管等に直接取付けた後、ガスセ
ンサ31をガイドパイプ44なしで排気管内へ挿入して
チューブ継手46で固定してもよい。
析装置について、詳述してきたが、本発明はこれらの実
施形態によって何らの限定をも受けるものでないことは
言うまでもないところである。また、本発明には、上記
の実施形態の他にも、本発明の趣旨を逸脱しない限りに
おいて、当業者の知識に基づいて種々の変更、修正、改
良等を加え得るものであることが理解されるべきであ
る。
れば、ガスセンサのガス検出部の位置を、ガス分析装置
に設けられたガイドパイプの長さ調整が可能な範囲内で
任意に設定することが可能となるので、測定位置の変更
ごとのガスセンサの交換を必要とせず、しかも、小刻み
に位置を調節することが可能である。したがって、排気
管等内の種々の位置でのガス組成を分析することが可能
となるので、より良好な燃焼状態への燃料や酸化剤の供
給制御を可能とする顕著な効果を奏する。また、ガスセ
ンサはガイドパイプと、ガイドパイプはフランジと、そ
れぞれチューブ継手によってのみ気密に固定されること
から、取付け取外しが容易であり、ガスセンサ自体やフ
ィルタのメンテナンスを簡単に行うことが可能であると
いう効果を奏する。さらに、従来のガスセンサにおいて
は、必要に応じて種々の長さのセンサを製造、品揃えし
なければならなかったが、本発明のセンサにおいては、
センサの長さ調節範囲が重複しない範囲で品揃えすれば
よく、しかも構造が簡単であるので、低コスト化、在庫
の低減にも効果を有する。
素子の構造の一例を示すもので、(a)は正面断面図、
(b)は側面断面図である。
断面図である。
断面図である。
示す断面図である。
一部を示す断面図である。
一部を示す断面図である。
す断面図である。
ある。
ある。
図である。
の例を示す断面図である。
す斜視図である。
…センシングセル部、5…ポンピングセル部、6…固体
電解質板、7…電極、8…ガス検出室、9…基準酸素
室、10…固体電解質板、11…電極、12…内蔵リー
ド線、13…接続ターミナル、14…延長リード線、1
5…ガス拡散孔、16…発熱抵抗体、17…セラミック
ヒータ、18…保護碍管、19…ヒータ接続部、20…
ガス検出部、21…胴体部、22…円筒形碍管、23…
ガスセンサ素子60と円筒形碍管22との隙間、24…
一次カバー、25…保護カバー、26…円筒形金属パイ
プ、27…固定パイプ、28…絶縁被覆付電線、29…
端子箱、30…バイトンゴムブーツ、31…ガスセン
サ、32…保護カバー、33…円筒形金属パイプ、34
…円筒形金属パイプ33と円筒形碍管22との隙間、3
5…有底円筒形金属パイプ、36…有底円筒形金属パイ
プ35と円筒形碍管22との隙、37…かしめ加工部、
38…保護カバー、39…延長パイプ、40…円筒形金
属パイプ、41…円板、42…円筒形金属パイプ40と
円筒形碍管22との隙間、43…円板、44…ガイドパ
イプ、45…接合部、46…チューブ継手、47…フロ
ントフェルール、48…リアフェルール、49…ナッ
ト、50…校正ガス導入口、51…フィルタ、52…フ
ランジ、54…チューブ継手、55…ナット、60…ガ
スセンサ素子、61…ガス検出部、62…胴体部、70
…固体電解質、71…電極、72…電極、73…リード
線、74…リード線、75…緻密体、80…酸素センサ
素子、81…セラミックサポータ、82…タルク、83
…金属製円筒、84…ハウジング、85…フィルタ、8
6…ガス検出部、90…燃焼室壁または燃焼炉壁、91
…排気管、92…センサ取付け金具、94…従来型ガス
センサ、96…ガスセンサ先端、100…ガス分析装
置、101…ガスセンサ素子、102…プローブ、10
3…フィルタ、A…ガイドパイプ固定調節範囲。
Claims (9)
- 【請求項1】 板状のガスセンサ素子を、該ガスセンサ
素子に設けられたガス検出部が露出するようにして、該
ガスセンサ素子の残部を円筒形碍管に気密固定し、該ガ
スセンサ素子の検出部分が測定雰囲気と連通した状態
で、該円筒形碍管の外周を囲むように、該円筒形碍管を
円筒形金属パイプ内へ気密に取付けたことを特徴とする
ガスセンサ。 - 【請求項2】 前記板状のガスセンサ素子の露出したガ
ス検出部を除く他の部分が、ガラスまたは/および粉体
を用いて前記円筒形碍管内に気密に固定されていること
を特徴とする請求項1記載のガスセンサ。 - 【請求項3】 前記円筒形碍管がガラスまたは/および
タルク等の無機粉体によって前記円筒形金属パイプ内に
気密に固定されていることを特徴とする請求項1または
2記載のガスセンサ。 - 【請求項4】 前記円筒形金属パイプの両端部の少なく
とも一方の端部をかしめ加工することにより、前記円筒
形碍管を該円筒形金属パイプ内に気密に固定したことを
特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のガスセン
サ。 - 【請求項5】 前記ガスセンサ素子が、安定化ジルコニ
アを固体電解質板として用いたガスセンサ素子であっ
て、該ガスセンサの温度を一定に保持するためのヒータ
を具備したガスセンサ素子であることを特徴とした請求
項1〜4のいずれかに記載のガスセンサ。 - 【請求項6】 前記ガスセンサが、チューブ継手の内孔
を貫通して配管/ダクト等の排気管に取付けられること
を特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のガスセン
サ。 - 【請求項7】 排気管に設けられたガス分析装置用取付
けフランジに第1のチューブ継手を設け、該第1のチュ
ーブ継手の貫通孔を貫通するように金属製のガイドパイ
プを挿入して、該ガイドパイプの一方の先端を該排気管
内の任意の測定位置に合わせて該ガイドパイプが該第1
のチューブ継手において固定され、該ガイドパイプの他
端には第2のチューブ継手が設けられ、ガスセンサ素子
のガス検出部が該ガイドパイプの先端位置に合うよう
に、ガスセンサが該第2のチューブ継手の貫通孔を貫通
して該ガイドパイプに挿入されて、該第2のチューブ継
手により固定されたことを特徴とするガス分析装置。 - 【請求項8】 前記ガイドパイプの先端にフィルタを設
けたことを特徴とする請求項7記載のガス分析装置。 - 【請求項9】 前記ガイドパイプと前記ガスセンサとの
間に生ずる間隙を校正ガス導入口として用いることによ
り、校正ガスを供給することを特徴とする請求項7また
は8記載のガス分析装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP02922997A JP3649544B2 (ja) | 1997-02-13 | 1997-02-13 | ガス分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP02922997A JP3649544B2 (ja) | 1997-02-13 | 1997-02-13 | ガス分析装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10227761A true JPH10227761A (ja) | 1998-08-25 |
JP3649544B2 JP3649544B2 (ja) | 2005-05-18 |
Family
ID=12270401
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP02922997A Expired - Fee Related JP3649544B2 (ja) | 1997-02-13 | 1997-02-13 | ガス分析装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP3649544B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003517598A (ja) * | 1999-12-14 | 2003-05-27 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 漏れを検査しかつ漏れの箇所をつきとめるための方法ならびに該方法を実施するために適した装置 |
JP2005274554A (ja) * | 2004-01-27 | 2005-10-06 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ガス検出システム |
-
1997
- 1997-02-13 JP JP02922997A patent/JP3649544B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003517598A (ja) * | 1999-12-14 | 2003-05-27 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 漏れを検査しかつ漏れの箇所をつきとめるための方法ならびに該方法を実施するために適した装置 |
JP2009244284A (ja) * | 1999-12-14 | 2009-10-22 | Inficon Gmbh | 漏れを検査しかつ漏れの箇所をつきとめるための方法ならびに該方法を実施するために適した装置 |
JP2005274554A (ja) * | 2004-01-27 | 2005-10-06 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ガス検出システム |
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JP3649544B2 (ja) | 2005-05-18 |
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