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JPH0990628A - Photopolymerizable composition - Google Patents

Photopolymerizable composition

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Publication number
JPH0990628A
JPH0990628A JP24457895A JP24457895A JPH0990628A JP H0990628 A JPH0990628 A JP H0990628A JP 24457895 A JP24457895 A JP 24457895A JP 24457895 A JP24457895 A JP 24457895A JP H0990628 A JPH0990628 A JP H0990628A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
weight
photopolymerizable
film
acid
linear copolymer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP24457895A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP3252081B2 (en
Inventor
Tsutomu Igarashi
勉 五十嵐
Tomoko Yoshida
友子 吉田
Hideki Matsuda
英樹 松田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Asahi Chemical Industry Co Ltd
Original Assignee
Asahi Chemical Industry Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Asahi Chemical Industry Co Ltd filed Critical Asahi Chemical Industry Co Ltd
Priority to JP24457895A priority Critical patent/JP3252081B2/en
Publication of JPH0990628A publication Critical patent/JPH0990628A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3252081B2 publication Critical patent/JP3252081B2/en
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  • Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a photopolymerizable resin compsn. suitable for a dry film photoresist having superior performance. SOLUTION: This photopolymerizable compsn. contains 20-90wt.% resin (a) for a binder, 5-60wt.% photopolymerizable unsatd. compd. (b) and 0.01-30wt.% photopolymn. initiator (c) as essential components. The resin (a) is a linear copolymer (A) having a carboxyl group content of 100-600 (expressed in terms of the equiv. of an acid) and a wt. average mol.wt. of 100,000-500,000 or a mixture prepd. by mixing the copolymer (A) with a linear copolymer (B) having a carboxyl group content of 100-600 (expressed in terms of the equiv. of an acid), a wt. average mol.wt. of 30,000-90,000 and using a vinyl compd. having a phenyl group as one of the copolymerized components so as to regulate the wt. ratio of A:B to 90:10 to 10:90.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は光重合性組成物およ
び光重合性積層体に関し、更に詳しくは印刷回路板作成
に適したアルカリ現像可能な光重合性組成物および光重
合性積層体に関する。
The present invention relates to a photopolymerizable composition and a photopolymerizable laminate, and more particularly to an alkali-developable photopolymerizable composition and a photopolymerizable laminate suitable for producing a printed circuit board.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、印刷回路作成用のレジストとして
支持層と光重合性層から成る、いわゆるドライフィルム
レジスト(以下DFRという)が用いられている。DF
Rは、一般に支持フィルム上に光重合性組成物を積層
し、多くの場合、さらに該組成物上に保護用のフィルム
を積層することにより作成される。このような光重合性
層としては、現像液として弱アルカリ水溶液を用いるア
ルカリ現像型が一般的である。
2. Description of the Related Art Conventionally, a so-called dry film resist (hereinafter referred to as DFR) composed of a support layer and a photopolymerizable layer has been used as a resist for producing a printed circuit. DF
R is generally prepared by laminating a photopolymerizable composition on a supporting film, and in many cases, laminating a protective film on the composition. Such a photopolymerizable layer is generally of an alkali developing type using a weak alkaline aqueous solution as a developing solution.

【0003】DFRを用いてプリント回路板を作成する
には、まず保護フィルムを剥離した後、銅張積層板等の
永久回路作成用基板上にラミネーター等を用いDFRを
積層し、配線パターンマスクフィルム等を通し露光を行
う。次に必要に応じて支持フィルムを剥離し、現像液に
より未露光部分の光重合性組成物を溶解、もしくは分散
除去し、基板上に硬化レジスト画像を形成させる。形成
されたレジスト画像をマスクとして基板の金属表面をエ
ッチング、またはめっきによる処理を行い、次いでレジ
スト画像を現像液よりも強いアルカリ水溶液を用いて剥
離して、プリント配線板等を形成する。特に最近は工程
の簡便さから貫通孔(スルーホール)を硬化膜で覆い、
その後エッチングするいわゆるテンティング法が多用さ
れている。エッチングには塩化第二銅、塩化第二鉄、銅
アンモニア錯体溶液などが用いられるが、現像やエッチ
ングの工程でスプレー等の圧力により、硬化膜が破れる
と、内部の導体が除去されて断線になり不良につなが
る。そのため硬化膜には強靭な膜強度、及び柔軟性が要
求される。一方、DFRは三層構造のロール状態で保存
されるため、保存時に端面から光重合性層がはみだす、
いわゆるコールドフローという現象が起こることがある
が、この現象は取り扱い上好ましくない。
In order to produce a printed circuit board using DFR, the protective film is first peeled off, and then the DFR is laminated on a substrate for producing a permanent circuit such as a copper clad laminate using a laminator or the like to form a wiring pattern mask film. And the like to expose. Next, if necessary, the supporting film is peeled off, and the photopolymerizable composition in the unexposed portion is dissolved or dispersed by a developing solution to form a cured resist image on the substrate. Using the formed resist image as a mask, the metal surface of the substrate is subjected to etching or plating, and then the resist image is peeled off using an alkaline aqueous solution stronger than the developing solution to form a printed wiring board or the like. Especially recently, the through-holes (through-holes) are covered with a cured film because of the simplicity of the process.
A so-called tenting method of etching thereafter is often used. Cupric chloride, ferric chloride, copper ammonia complex solution, etc. are used for etching, but when the cured film is broken by the pressure of spray etc. in the process of development and etching, the internal conductor is removed and the wire breaks. Will lead to defects. Therefore, the cured film is required to have strong film strength and flexibility. On the other hand, since the DFR is stored in a roll having a three-layer structure, the photopolymerizable layer protrudes from the end surface during storage,
A so-called cold flow phenomenon may occur, but this phenomenon is not preferable in terms of handling.

【0004】また、DFRにおける未露光の光重合性層
が硬いと、それを基板上にラミネートした時に密着性が
悪く、凹凸の有る基板表面においては、光重合性層が凹
凸を埋めることができず光重合性層と基板との間に空間
を生じることがある。このような空間が生ずると、エッ
チング液が基板に浸透するため、断線、欠け等の不良が
生じる。
Further, if the unexposed photopolymerizable layer in the DFR is hard, the adhesion is poor when it is laminated on the substrate, and the photopolymerizable layer can fill the irregularities on the irregular substrate surface. There may be a space between the photopolymerizable layer and the substrate. When such a space is created, the etching liquid permeates the substrate, resulting in defects such as disconnection and chipping.

【0005】現在広く用いられているDFRの光重合性
層は、(1)少なくとも一個のエチレン性基を有し、光
重合開始剤によって重合体を形成できる不飽和化合物、
(2)熱可塑性有機重合体結合剤、(3)光重合開始
剤、及び(4)その他の添加剤からなる組成物から構成
されている。(特公昭50ー9177号公報、特公昭5
7ー21697号公報参照)。前記不飽和化合物として
は、脂肪族系多価アルコールのアクリル酸及びメタクリ
ル酸エステルが最も一般的で、トリメチロールプロパン
トリアクリレートペンタエリストールトリアクリレー
ト、ポリエチレングリーコールジアクリレート等の少な
くとも二個の不飽和基を持つものが知られている。
The photopolymerizable layer of DFR, which is widely used at present, has (1) an unsaturated compound having at least one ethylenic group and capable of forming a polymer by a photopolymerization initiator,
It is composed of a composition comprising (2) a thermoplastic organic polymer binder, (3) a photopolymerization initiator, and (4) other additives. (Japanese Patent Publication No. 50-9177, Japanese Patent Publication No. 5)
7-21697). As the unsaturated compound, acrylic acid and methacrylic acid esters of aliphatic polyhydric alcohols are most common, and at least two unsaturated compounds such as trimethylolpropane triacrylate pentaerythritol triacrylate and polyethylene glycol diacrylate. Those having a group are known.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】コールドフローを改良
するためには、光重合性層における結合剤の配合割合を
相対的に増加させればよいが、そうすると光重合性層の
基板への追従性が低下し、テンティング膜の柔軟性、及
び強度が低下する。また、テンティング膜強度及び光重
合性層の基板への追従性を良くするには、光重合性層に
おける結合剤の配合割合を相対的に減少させれば良い
が、そうするとコールドフローの悪化、剥離時間が増加
するという問題点が生じる。従って、これらの特性を同
時に満足する光重合性組成物が望まれていた。
In order to improve the cold flow, it suffices to relatively increase the blending ratio of the binder in the photopolymerizable layer, and then the followability of the photopolymerizable layer to the substrate. Of the tenting film, and the flexibility and strength of the tenting film are decreased. Further, in order to improve the tenting film strength and the followability of the photopolymerizable layer to the substrate, the compounding ratio of the binder in the photopolymerizable layer may be relatively decreased, which causes deterioration of cold flow, There is a problem that the peeling time increases. Therefore, a photopolymerizable composition that satisfies these properties at the same time has been desired.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決すべく
鋭意検討を重ねた結果、下記(a)の線状重合体を用い
た光重合性組成物をDFRに用いた場合に、硬化レジス
トの柔軟性が良好、テント膜強度が強靭、コールドフロ
ー性と光重合性層の基板への追従性が良好、常温での保
存が6ヶ月以上可能になる等の特性が得られることを見
いだし、本発明を完成するに至った。
[Means for Solving the Problems] As a result of intensive studies to solve the above problems, a cured resist was obtained when the photopolymerizable composition using the linear polymer of the following (a) was used for DFR. It was found that such properties as good flexibility, good tent film strength, good cold flow property and good followability of the photopolymerizable layer to the substrate, and storage at room temperature for 6 months or more can be obtained. The present invention has been completed.

【0008】すなわち、本発明は、(a)カルボキシル
基含有量が酸当量で100〜600であり、かつ、重量
平均分子量が10万〜50万の線状共重合体Aからなる
バインダー用樹脂、20〜90重量%、(b)光重合可
能な不飽和化合物、5〜60重量%、(c)光重合開始
剤、0.01〜30重量%を含有することを特徴とする
光重合性組成物を提供する。
That is, according to the present invention, (a) a binder resin comprising a linear copolymer A having a carboxyl group content of 100 to 600 in acid equivalent and a weight average molecular weight of 100,000 to 500,000, 20 to 90% by weight, (b) a photopolymerizable unsaturated compound, 5 to 60% by weight, (c) a photopolymerization initiator, and 0.01 to 30% by weight. Provide things.

【0009】また、本発明は、(a)カルボキシル基含
有量が酸当量で100〜600であり、かつ、重量平均
分子量が10万〜50万の線状共重合体A、及びカルボ
キシル基含有量が酸当量で100〜600であり、か
つ、重量平均分子量が3万〜9万のフェニル基を有する
ビニル化合物を共重合成分の1つとする線状共重合体B
を重量比率、A/Bが90/10〜10/90となるよ
うに混合したバインダー用樹脂、20〜90重量%、
(b)光重合可能な不飽和化合物、5〜60重量%、
(c)光重合開始剤、0.01〜30重量%を含有する
ことを特徴とする光重合性組成物も提供する。
The present invention also provides (a) a linear copolymer A having a carboxyl group content of 100 to 600 in acid equivalent and a weight average molecular weight of 100,000 to 500,000, and a carboxyl group content. Is a linear copolymer B having an acid equivalent of 100 to 600 and a vinyl compound having a phenyl group with a weight average molecular weight of 30,000 to 90,000 as one of the copolymerization components.
20 to 90% by weight of a binder resin in which A / B is mixed in a weight ratio of 90/10 to 10/90.
(B) a photopolymerizable unsaturated compound, 5 to 60% by weight,
(C) A photopolymerization composition containing a photopolymerization initiator in an amount of 0.01 to 30% by weight is also provided.

【0010】本発明に用いるバインダー樹脂(a)を構
成する線状共重合体Aに含まれるカルボキシル基の量は
酸当量で100〜600である必要があり、300〜4
00が好ましい。また線状共重合体Aの分子量は10〜
50万である必要があり、より好ましくは20〜40万
である。線状共重合体Aの分子量が50万を超えると現
像性が低下し、10万未満ではテンティング膜強度、光
重合性層の基板への追従性が悪化する。
The amount of carboxyl groups contained in the linear copolymer A constituting the binder resin (a) used in the present invention must be 100 to 600 in terms of acid equivalent, and 300 to 4
00 is preferable. The molecular weight of the linear copolymer A is 10 to
It is necessary to be 500,000, and more preferably 200,000 to 400,000. If the molecular weight of the linear copolymer A exceeds 500,000, the developability will decrease, and if it is less than 100,000, the tenting film strength and the followability of the photopolymerizable layer to the substrate will deteriorate.

【0011】ここで酸当量とはその中に1当量のカルボ
キシル基を有するポリマーの重量を言う。なお、酸当量
の測定は電位差滴定法により行われる。また分子量はゲ
ルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)によ
り重量平均分子量(ポリスチレン換算)として求められ
る。また、線状共重合体中のカルボキシル基はDFRに
アルカリ水溶液に対する現像性や剥離性を与えるために
必要である。酸当量が100未満では、塗工溶媒または
他の組成物、例えばモノマーとの相溶性が低下し、60
0を超えると現像性や剥離性が低下する。
Here, the acid equivalent means the weight of the polymer having 1 equivalent of a carboxyl group therein. The measurement of the acid equivalent is performed by a potentiometric titration method. The molecular weight is determined as a weight average molecular weight (converted to polystyrene) by gel permeation chromatography (GPC). Further, the carboxyl group in the linear copolymer is necessary for giving the DFR developability and releasability to an aqueous alkaline solution. If the acid equivalent is less than 100, the compatibility with the coating solvent or other composition, for example, the monomer is lowered, and 60
When it exceeds 0, the developability and the peeling property are deteriorated.

【0012】線状共重合体Aは下記の2種類の単量体の
中より各々一種またはそれ以上の単量体を共重合させる
ことにより得られる。第一の単量体は分子中に重合性不
飽和基を一個有するカルボン酸または酸無水物である。
例えば(メタ)アクリル酸、フマル酸、ケイ皮酸、クロ
トン酸、イタコン酸、マレイン酸無水物、マレイン酸半
エステル等である。第二の単量体は非酸性で、分子中に
重合性不飽和基を一個有し、光重合性層の現像性、エッ
チング及びめっき工程での耐性、硬化膜の可とう性等の
種々の特性を保持するように選ばれる。例えば、メチル
(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、
ブチル(メタ)アクリレート、2ーエチルヘキシル(メ
タ)アクリレート等のアルキル(メタ)アクリレート類
がある。また、フェニル基を有するビニル化合物(例え
ばスチレン)も用いることができる。
The linear copolymer A can be obtained by copolymerizing one or more of the following two types of monomers. The first monomer is a carboxylic acid or acid anhydride having one polymerizable unsaturated group in the molecule.
For example, (meth) acrylic acid, fumaric acid, cinnamic acid, crotonic acid, itaconic acid, maleic anhydride, maleic acid half ester and the like. The second monomer is non-acidic, has one polymerizable unsaturated group in the molecule, and has various properties such as developability of the photopolymerizable layer, resistance in etching and plating steps, and flexibility of the cured film. Selected to retain properties. For example, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate,
There are alkyl (meth) acrylates such as butyl (meth) acrylate and 2-ethylhexyl (meth) acrylate. Also, a vinyl compound having a phenyl group (for example, styrene) can be used.

【0013】線状共重合体Aは単独で用いても追従性、
密着性は良好であるが、線状共重合体Bと併用すること
により、より迅速な現像処理が可能となる。また、併用
する場合のA/B(重量比)は90/10〜10/90
である。本発明に用いる線状共重合体Bに含まれるカル
ボキシル基の量は酸当量で100〜600である必要が
あり、300〜400が好ましい。また線状共重合体B
の分子量は3〜9万である必要がある。線状共重合体B
の分子量が9万を超えると現像性が低下し、3万未満で
はテンティング膜強度、コールドフロー性が悪化する。
The linear copolymer A, even if used alone, has a following property,
Although the adhesiveness is good, the combined use with the linear copolymer B enables a more rapid development process. When used in combination, A / B (weight ratio) is 90/10 to 10/90.
It is. The amount of the carboxyl group contained in the linear copolymer B used in the present invention needs to be 100 to 600 in terms of acid equivalent, and preferably 300 to 400. In addition, linear copolymer B
The molecular weight of is required to be 30,000 to 90,000. Linear copolymer B
If the molecular weight exceeds 90,000, the developability will decrease, and if it is less than 30,000, the tenting film strength and cold flow properties will deteriorate.

【0014】ここで酸当量とはその中に1当量のカルボ
キシル基を有するポリマーの重量を言う。なお、酸当量
の測定は電位差滴定法により行われる。また分子量はゲ
ルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)によ
り重量平均分子量(ポリスチレン換算)として求められ
る。また、線状共重合体中のカルボキシル基はDFRに
アルカリ水溶液に対する現像性や剥離性を与えるために
必要である。酸当量が100未満では、塗工溶媒または
他の組成物、例えばモノマーとの相溶性が低下し、60
0を超えると現像性や剥離性が低下する。
Here, the acid equivalent means the weight of a polymer having 1 equivalent of a carboxyl group therein. The measurement of the acid equivalent is performed by a potentiometric titration method. The molecular weight is determined as a weight average molecular weight (converted to polystyrene) by gel permeation chromatography (GPC). Further, the carboxyl group in the linear copolymer is necessary for giving the DFR developability and releasability to an aqueous alkaline solution. If the acid equivalent is less than 100, the compatibility with the coating solvent or other composition, for example, the monomer is lowered, and 60
When it exceeds 0, the developability and the peeling property are deteriorated.

【0015】線状共重合体BはAと同様、上記単量体か
ら選ばれた単量体を共重合することにより得られるが、
フェニル基を有するビニル化合物を必須成分とする。ビ
ニル化合物としてはスチレンが好ましい。本発明の光重
合性組成物に含有されるバインダー用樹脂(a)の量は
20〜90重量%の範囲であり、好ましくは30〜70
重量%である。バインダー用樹脂(a)の量が20重量
%未満または90重量%を超えると、露光によって形成
される硬化画像が十分にレジストとしての特性、例えば
テンティング、エッチング、各種めっき工程において十
分な耐性を有しない。
The linear copolymer B, like A, can be obtained by copolymerizing a monomer selected from the above monomers.
A vinyl compound having a phenyl group is an essential component. Styrene is preferred as the vinyl compound. The amount of the binder resin (a) contained in the photopolymerizable composition of the present invention is in the range of 20 to 90% by weight, preferably 30 to 70%.
% By weight. When the amount of the binder resin (a) is less than 20% by weight or more than 90% by weight, the cured image formed by exposure has sufficient resist characteristics, for example, sufficient resistance in tenting, etching and various plating steps. I don't have it.

【0016】本発明に用いることのできる光重合開始剤
(c)としては、各種の活性光線、例えば紫外線などに
より活性化され重合を開始する公知の光重合開始剤が挙
げられる。このような光重合開始剤しては、例えば、2
ーエチルアントラキノン、オクタエチルアントラキノ
ン、1、2ーベンズアントラキノン、2、3ーベンズア
ントラキノン、2ーフェニルアントラキノン、2、3ー
ジフェニルアントラキノン、1ークロロアントラキノ
ン、2ークロロアントラキノン、2ーメチルアントラキ
ノン、1、4ーナフトキノン、9、10ーフェナントラ
キノン、2ーメチル1、4ーナフトキノン、2、3ージ
メチルアントラキノン、3ークロロー2ーメチルアント
ラキノンなどのキノン類、ベンゾフェノン、ミヒラーズ
ケトン[4、4’ービス(ジメチルアミノ)ベンゾフェ
ノン]、4、4’ービス(ジエチルアミノ)ベンゾフェ
ノンなどの芳香族ケトン類、ベンゾイン、ベンゾインエ
チルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル、メチルベ
ンゾイン、エチルベンゾインなどのベンゾインエーテル
類、ベンジルジメチルケタール、ベンジルジエチルケタ
ール、2ー(οークロロフェニル)ー4、5ージフェニ
ルイミダゾリル二量体等のビイミダゾール化合物、チオ
キサントン類とアルキルアミノ安息香酸の組み合わせ、
例えばエチルチオキサントンとジメチルアミノ安息香酸
エチル、2ークロルチオキサントンとジメチルアミノ安
息香酸エチル、イソプロピルチオキサントンとジメチル
アミノ安息香酸エチルとの組み合わせ、また、2ー(ο
ークロロフェニル)ー4、5ージフェニルイミダゾリル
二量体とミヒラーズケトンとの組み合わせ、9ーフェニ
ルアクリジン等のアクリジン類、1ーフェニルー1、2
ープロパンジオンー2ーοーベンゾイルオキシム、1ー
フェニルー1、2ープロパンジオンー2ー(οーエトキ
シカルボニル)オキシム等のオキシムエステル類等があ
る。これらの光重合開始剤の好ましい例としては、ジエ
チルチオキサントン、クロルチオキサントン等のチオキ
サントン類、ジメチルアミノ安息香酸エチル等のジアル
キルアミノ安息香酸エステル類、ベンゾフェノン、4、
4’ービス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4、
4’ービス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2ー
(οークロロフェニル)ー4、5ージフェニルイミダゾ
リル二量体、及びこれらの組み合わせを挙げることがで
きる。
Examples of the photopolymerization initiator (c) that can be used in the present invention include known photopolymerization initiators that are activated by various actinic rays such as ultraviolet rays to initiate polymerization. Examples of such a photopolymerization initiator include 2
-Ethylanthraquinone, octaethylanthraquinone, 1,2-benzanthraquinone, 2,3-benzanthraquinone, 2-phenylanthraquinone, 2,3-diphenylanthraquinone, 1-chloroanthraquinone, 2-chloroanthraquinone, 2-methylanthraquinone, 1 Quinones such as 4-naphthoquinone, 9,10-phenanthraquinone, 2-methyl 1,4-naphthoquinone, 2,3-dimethylanthraquinone, 3-chloro-2-methylanthraquinone, benzophenone, Michler's ketone [4,4'-bis (dimethylamino ) Benzophenone], 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone and other aromatic ketones, benzoin, benzoin ethyl ether, benzoin phenyl ether, methylbenzoin, ethylbenzo Benzoin ethers such as down, benzyl dimethyl ketal, benzyl diethyl ketal, 2-(o over-chlorophenyl) over 4,5 over diphenyl imidazolylmethyl dimers such biimidazole compounds of the combination of thioxanthones and alkylamino benzoic acid,
For example, a combination of ethylthioxanthone and ethyl dimethylaminobenzoate, 2-chlorothioxanthone and ethyl dimethylaminobenzoate, a combination of isopropylthioxanthone and ethyl dimethylaminobenzoate, and 2- (ο
-Chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer in combination with Michler's ketone, acridines such as 9-phenylacridine, 1-phenyl-1,2
There are oxime esters such as -propanedione-2-o-benzoyl oxime, 1-phenyl-1,2-propanedione-2- (o-ethoxycarbonyl) oxime and the like. Preferred examples of these photopolymerization initiators include thioxanthones such as diethylthioxanthone and chlorothioxanthone, dialkylaminobenzoic acid esters such as ethyl dimethylaminobenzoate, benzophenone, and 4,
4'-bis (dimethylamino) benzophenone, 4,
Mention may be made of 4′-bis (diethylamino) benzophenone, 2- (o-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer, and combinations thereof.

【0017】本発明の光重合性組成物を構成する光重合
可能な不飽和化合物(b)としては、好ましくは、少な
くとも二つの末端エチレン基を持つ光重合性モノマーが
用いられる。この例としては、1、6ーヘキサンジオー
ルジ(メタ)アクリレート、1、4ーシクロヘキサンジ
オールジ(メタ)アクリレート、またポリプロピレング
リコールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコ
ールジ(メタ)アクリレート、ポリオキシエチレンポリ
オキシプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート等
のポリオキシアルキレングリコールジ(メタ)アクリレ
ート、2ージ(pーヒドロキシフェニル)プロパンジ
(メタ)アクリレート、グリセロールトリ(メタ)アク
リレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリ
レート、ポリオキシプロピルトリメチロールプロパント
リ(メタ)アクリレート、ポリオキシエチルトリメチロ
ールプロパントリアクリレート、ジペンタエリスリトー
ルペンタ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパ
ントリグリシジルエーテルトリ(メタ)アクリレート、
ビスフェノールAジグリシジルエーテルジ(メタ)アク
リレート、2、2ービス(4ーメタクリロキシペンタエ
トキシフェニル)プロパン、及びウレタン基を含有する
多官能(メタ)アクリレート等がある。
As the photopolymerizable unsaturated compound (b) constituting the photopolymerizable composition of the present invention, a photopolymerizable monomer having at least two terminal ethylene groups is preferably used. Examples thereof include 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, 1,4-cyclohexanediol di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (meth) acrylate, polyethylene glycol di (meth) acrylate, and polyoxyethylene poly. Polyoxyalkylene glycol di (meth) acrylates such as oxypropylene glycol di (meth) acrylate, 2-di (p-hydroxyphenyl) propane di (meth) acrylate, glycerol tri (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate , Polyoxypropyltrimethylolpropane tri (meth) acrylate, polyoxyethyltrimethylolpropane triacrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, Trimethylolpropane triglycidyl ether tri (meth) acrylate,
Examples include bisphenol A diglycidyl ether di (meth) acrylate, 2,2-bis (4-methacryloxypentaethoxyphenyl) propane, and a polyfunctional (meth) acrylate containing a urethane group.

【0018】好ましい例としては、下記一般式(I)及
び(II)で表されるものが挙げられる。これらは単独
で用いてもよいし、その他の多官能モノマー、または単
官能モノマーと併用しても良い。また、一般式(I)と
(II)のモノマーを併用する系も望ましく、これらの
モノマーを使用することにより、光重合性層の基板への
追従性が良好で柔軟、かつ強靭なテンティング膜が得ら
れる。
Preferred examples include those represented by the following general formulas (I) and (II). These may be used alone or in combination with other polyfunctional monomers or monofunctional monomers. A system in which the monomers of the general formulas (I) and (II) are used in combination is also desirable, and by using these monomers, the tenting film which is flexible and has good followability to the substrate of the photopolymerizable layer Is obtained.

【0019】[0019]

【化1】 Embedded image

【0020】[0020]

【化2】 Embedded image

【0021】一般式(I)で表される化合物としては、
例えばヘキサメチレンジイソシアネート、トリレンジイ
ソシアネートまたは、2、2、4、ートリメチルヘキサ
メチレンジイソシアネート等のジイソシアネート化合物
と、一分子中にヒドロキシル基と(メタ)アクリル基を
有する化合物(例えば、2ーヒドロキシプロピルアクリ
レート、オリゴプロピレングリコールモノメタクリレー
ト等)とのウレタン化合物等がある。これらは公知の方
法により合成できる。
The compound represented by the general formula (I) includes
For example, a diisocyanate compound such as hexamethylene diisocyanate, tolylene diisocyanate or 2,2,4-trimethylhexamethylene diisocyanate, and a compound having a hydroxyl group and a (meth) acryl group in one molecule (for example, 2-hydroxypropyl acrylate) , Oligopropylene glycol monomethacrylate and the like). These can be synthesized by a known method.

【0022】一般式(II)で表される化合物におい
て、n3、n4、n5が3よりも小さいと当該化合物の
沸点が低下して、レジストの臭気が強くなり、使用が著
しく困難になる。また、n3、n4、n5が20を越え
ると単位重量あたりの光活性部位の濃度が低くなるた
め、実用的感度が得られない。一般式(II)で表され
る化合物は、プロピレンオキサイドとエチレンオキサイ
ドを反応させ得られた生成物を適当な酸触媒の存在下で
アクリル酸またはメタクリル酸によりエステル化する方
法により合成することができる。
In the compound represented by the general formula (II), when n3, n4 and n5 are smaller than 3, the boiling point of the compound is lowered, the odor of the resist becomes strong and the use becomes extremely difficult. Further, when n3, n4 and n5 exceed 20, the concentration of photoactive sites per unit weight becomes low, so that practical sensitivity cannot be obtained. The compound represented by the general formula (II) can be synthesized by a method in which a product obtained by reacting propylene oxide and ethylene oxide is esterified with acrylic acid or methacrylic acid in the presence of a suitable acid catalyst. .

【0023】これらモノマーは、一種類でも二種類以上
を併用してもよい。使用量は5〜60重量%の範囲から
選ばれ、5重量%未満では、感度、膜強度の点で充分で
はなく、60重量%を越えるとDFRに用いた場合に保
存時の光重合性層のはみ出しが著しくなるため好ましく
ない。本発明の光重合性組成物に含有される光重合開始
剤の量は、0.01重量〜30重量%であり、好ましく
は、0.05重量〜10重量%である。光重合開始剤が
30重量%を超えると光重合性組成物の活性吸収率が高
くなり、光重合積層体として用いた場合、光重合性層の
底の部分の重合による硬化が不十分になる。また、光重
合開始剤が0.01重量%未満では充分な感度がでなく
なる。
These monomers may be used alone or in combination of two or more. The amount used is selected from the range of 5 to 60% by weight. When it is less than 5% by weight, the sensitivity and film strength are not sufficient, and when it exceeds 60% by weight, the photopolymerizable layer during storage when used for DFR. This is not preferable, because the protrusion of the notch becomes remarkable. The amount of the photopolymerization initiator contained in the photopolymerizable composition of the present invention is 0.01% by weight to 30% by weight, preferably 0.05% by weight to 10% by weight. If the amount of the photopolymerization initiator exceeds 30% by weight, the active absorption rate of the photopolymerizable composition becomes high, and when used as a photopolymerizable laminate, curing due to polymerization of the bottom portion of the photopolymerizable layer becomes insufficient. . If the amount of the photopolymerization initiator is less than 0.01% by weight, sufficient sensitivity cannot be obtained.

【0024】本発明の光重合性組成物の熱安定性、保存
安定性を向上させるために、光重合性組成物にラジカル
重合禁止剤を含有させることは好ましいことである。こ
のようなラジカル重合禁止剤としては、例えば、p−メ
トキシフェノール、ハイドロキノン、ピロガロール、ナ
フチルアミン、tertーブチルカテコール、塩化第一
銅、2、6ージ−tertーブチルーpークレゾール、
2、2’ーメチレンビス(4ーエチルー6ーtertー
ブチルフェノール)、2、2’ーメチレンビス(4ーメ
チルー6ーtertーブチルフェノール)、ニトロソフ
ェニルヒドロキシアミンアルミニウム塩、ジフェニルニ
トロソアミン等が挙げられる。
In order to improve the thermal stability and storage stability of the photopolymerizable composition of the present invention, it is preferable to add a radical polymerization inhibitor to the photopolymerizable composition. Examples of such a radical polymerization inhibitor include p-methoxyphenol, hydroquinone, pyrogallol, naphthylamine, tert-butylcatechol, cuprous chloride, 2,6-di-tert-butyl-p-cresol,
2,2'-methylenebis (4-ethyl-6-tert-butylphenol), 2,2'-methylenebis (4-methyl-6-tert-butylphenol), nitrosophenylhydroxyamine aluminum salt, diphenylnitrosamine and the like.

【0025】本発明の光重合性組成物には、染料、顔料
等の着色物質を含有させることもできる。このような着
色物質としては、例えば、フクシン、フタロシアニング
リーン、オーラミン塩基、カルコキシドグリーンS,パ
ラマジエンタ、クリスタルバイオレット、メチルオレン
ジ、ナイルブルー2B、ビクトリアブルー、マラカイト
グリーン、ベイシックブルー20、ダイヤモンドグリー
ン等が挙げられる。
The photopolymerizable composition of the present invention may contain coloring substances such as dyes and pigments. Examples of such coloring substances include fuchsin, phthalocyanine green, auramine base, chalcoxide green S, paramagenta, crystal violet, methyl orange, Nile blue 2B, Victoria blue, malachite green, basic blue 20, diamond green and the like. To be

【0026】また、光照射により発色する発色系染料を
本発明の光重合性組成物に含有させることもできる。発
色系染料としては、ロイコ染料またはフルオラン染料
と、ハロゲン化合物の組み合わせが挙げられる。ロイコ
染料としては、例えば、トリス(4ージメチルアミノー
2ーメチルフェニル)メタン[ロイコクリスタルバイオ
レット]、トリス(4ージメチルアミノー2ーメチルフ
ェニル)メタン[ロイコマラカイトグリーン]等が挙げ
られる。一方ハロゲン化合物としては臭化アミル、臭化
イソアミル、臭化イソブチレン、臭化エチレン、臭化ジ
フェニルメチル、臭化ベンザル、臭化メチレン、トリブ
ロモメチルフェニルスルフォン、4臭化炭素、トリス
(2、3ージブロモプロピル)ホスフェート、トリクロ
ロアセトアミド、ヨウ化アミル、ヨウ化イソブチル、
1、1、1ートリクロロー2、2ービス(p−クロロフ
ェニル)エタン、ヘキサクロロエタン、トリアジン化合
物、等が挙げられる。
Further, a color-forming dye which develops color upon irradiation with light may be contained in the photopolymerizable composition of the present invention. Examples of the color forming dye include a combination of a leuco dye or a fluorane dye and a halogen compound. Examples of the leuco dye include tris (4-dimethylamino-2-methylphenyl) methane [leuco crystal violet], tris (4-dimethylamino-2-methylphenyl) methane [leucomalachite green], and the like. On the other hand, as the halogen compound, amyl bromide, isoamyl bromide, isobutylene bromide, ethylene bromide, diphenylmethyl bromide, benzal bromide, methylene bromide, tribromomethylphenyl sulfone, carbon bromide, tris (2,3,3). -Dibromopropyl) phosphate, trichloroacetamide, amyl iodide, isobutyl iodide,
1,1,1-trichloro-2,2-bis (p-chlorophenyl) ethane, hexachloroethane, triazine compounds and the like can be mentioned.

【0027】トリアジン化合物としては、2、4、6ー
トリス(トリクロロメチル)ーs−トリアジン、2ー
(4ーメトキシフェニル)ー4、6ービス(トリクロロ
メチル)ーs−トリアジンが挙げられる。また、このよ
うな発色系染料の中でもトリブロモメチルフェニルスル
フォンとロイコ染料との組み合わせや、トリアジン化合
物とロイコ染料との組み合わせが有用である。
Examples of the triazine compound include 2,4,6-tris (trichloromethyl) -s-triazine and 2- (4-methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine. Further, among such color-forming dyes, a combination of tribromomethylphenyl sulfone and a leuco dye or a combination of a triazine compound and a leuco dye is useful.

【0028】さらに、本発明の光重合性樹脂組成物に熱
発色防止剤として、グリシジルエーテル化合物を少量添
加しても良い。このような熱発色防止剤の具体例として
は、ポリプロピレングリコールジグリシジルエーテル、
グリセリンジグリシジルエーテル、水添ビスフェノール
Aジグリシジルエーテル、ビスフェノールAーPO2モ
ル付加ジグリシジルエーテル等が挙げられる。
Further, a small amount of a glycidyl ether compound may be added to the photopolymerizable resin composition of the present invention as a thermal color-developing agent. Specific examples of such a thermal color development inhibitor include polypropylene glycol diglycidyl ether,
Glycerin diglycidyl ether, hydrogenated bisphenol A diglycidyl ether, bisphenol A-PO2 mol addition diglycidyl ether and the like can be mentioned.

【0029】また本発明の光重合性組成物に必要に応じ
て可塑剤等の添加剤を含有させることもできる。そのよ
うな添加剤としては、例えば、ジエチルフタレート等の
フタル酸エステル類が挙げられる。DFR用の光重合性
樹脂積層体とする場合には、上記光重合性樹脂組成物を
含有した光重合性層に、該光重合性層を支持する支持層
を積層する。支持層としては、活性光を透過する透明な
ものが望ましい。活性光を透過する支持層としては、ポ
リエチレンテレフタレートフィルム、ポリビニルアルコ
ールフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、塩化ビニル共
重合体フィルム、ポリ塩化ビニリデンフィルム、塩化ビ
ニリデン共重合体フィルム、ポリメタクリル酸メチル共
重合体フィルム、ポリスチレンフィルム、ポリアクリロ
ニトリルフィルム、スチレン共重合体フィルム、ポリア
ミドフィルム、セルロース誘導体フィルム、等が挙げら
れる。また、必要に応じ、これらのフィルムを延伸して
使用することも可能である。そのようなフィルムの厚み
は薄い方が画像形成性、経済性の面で有利であるが、強
度を維持する必要から10〜30μmのものが一般的で
ある。
If desired, the photopolymerizable composition of the present invention may contain additives such as a plasticizer. Examples of such additives include phthalic esters such as diethyl phthalate. In the case of a photopolymerizable resin laminate for DFR, a support layer supporting the photopolymerizable layer is laminated on the photopolymerizable layer containing the photopolymerizable resin composition. As the support layer, a transparent layer that transmits active light is desirable. As the support layer that transmits active light, a polyethylene terephthalate film, a polyvinyl alcohol film, a polyvinyl chloride film, a vinyl chloride copolymer film, a polyvinylidene chloride film, a vinylidene chloride copolymer film, a polymethyl methacrylate copolymer film , Polystyrene films, polyacrylonitrile films, styrene copolymer films, polyamide films, cellulose derivative films, and the like. Moreover, these films can be stretched and used as needed. A thinner film is more advantageous in terms of image forming property and economical efficiency, but it is generally 10 to 30 μm in order to maintain strength.

【0030】支持体層と積層した光重合性層の反対側の
表面に、必要に応じて保護層を積層する。支持層よりも
保護層の方が光重合性層との密着力が充分小さく容易に
剥離できることがこの保護層としての重要な特性であ
る。このような保護層としては、例えば、ポリエチレン
フィルム、ポリプロピレンフィルム等が挙げられる。ま
た、保護層としては、特開昭59ー202457号公報
に示された剥離性の優れたフィルムを用いることもでき
る。
If necessary, a protective layer is laminated on the surface opposite to the photopolymerizable layer laminated with the support layer. An important characteristic of the protective layer is that the protective layer has a sufficiently small adhesive force with the photopolymerizable layer and can be easily peeled off more easily than the supporting layer. Examples of such a protective layer include a polyethylene film and a polypropylene film. Further, as the protective layer, a film having excellent releasability disclosed in JP-A-59-202457 can be used.

【0031】光重合性層の厚みは用途において異なる
が、印刷回路板作成用には、5〜100μm、好ましく
は、5〜90μmであり、光重合性層が薄いほど解像力
は向上する。また、光重合性層が厚いほど膜強度が向上
する。この光重合性樹脂積層体を用いた印刷回路板の作
成工程は公知の技術により行えるが、以下に簡単に述べ
る。
Although the thickness of the photopolymerizable layer varies depending on the use, it is 5 to 100 μm, preferably 5 to 90 μm for making a printed circuit board, and the thinner the photopolymerizable layer, the higher the resolution. Further, as the photopolymerizable layer is thicker, the film strength is improved. The process of producing a printed circuit board using this photopolymerizable resin laminate can be performed by a known technique, but it will be briefly described below.

【0032】保護層がある場合は、まず保護層を剥離し
た後、ラミネーターを用いて光重合性層を印刷回路板用
基板の金属表面に加熱圧着し積層する。この時の加熱温
度は一般的に40〜160℃である。次に必要ならば支
持層を剥離しマスクフィルムを通して活性光により画像
露光する。次に光重合性層上に支持フィルムがある場合
には必要に応じてこれを除き、続いてアルカリ水溶液を
用いて光重合性層の未露光部を現像除去する。アルカリ
水溶液としては、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、水酸
化ナトリウム、水酸化カリウム等の水溶液を用いる。こ
れらのアルカリ水溶液は光重合性層の特性に合わせて選
択されるが、一般的に0.5%〜3%の炭酸ナトリウム
水溶液が用いられる。次に、現像により露出した金属面
に既知のエッチング法、またはめっき法のいずれかの方
法を行うことにより、金属の画像パターンを形成する。
その後、一般的に現像で用いたアルカリ水溶液よりも更
に強いアルカリ性の水溶液により硬化レジスト画像を剥
離する。剥離用のアルカリ水溶液についても特に制限は
ないが、1%〜5%の水酸化ナトリウム、水酸化カリウ
ムの水溶液が一般的に用いられる。また、現像液や剥離
液に少量の水溶性有機溶媒を加えることも可能である。
When there is a protective layer, the protective layer is first peeled off, and then the photopolymerizable layer is laminated on the metal surface of the printed circuit board substrate by thermocompression bonding using a laminator. The heating temperature at this time is generally 40 to 160 ° C. Next, if necessary, the support layer is peeled off, and image exposure is performed with actinic light through a mask film. Next, if there is a support film on the photopolymerizable layer, it is removed if necessary, and subsequently, the unexposed portion of the photopolymerizable layer is removed by development using an alkaline aqueous solution. As the alkaline aqueous solution, an aqueous solution of sodium carbonate, potassium carbonate, sodium hydroxide, potassium hydroxide or the like is used. These alkaline aqueous solutions are selected according to the characteristics of the photopolymerizable layer, but generally 0.5% to 3% sodium carbonate aqueous solution is used. Next, a metal image pattern is formed by performing a known etching method or a plating method on the metal surface exposed by the development.
After that, the cured resist image is peeled off with an alkaline aqueous solution which is generally stronger than the alkaline aqueous solution used in the development. The alkaline aqueous solution for stripping is also not particularly limited, but an aqueous solution of 1% to 5% sodium hydroxide or potassium hydroxide is generally used. It is also possible to add a small amount of a water-soluble organic solvent to a developer or a stripper.

【0033】[0033]

【実施例】【Example】

【0034】[0034]

【実施例1】表1に示された組成(実施例1の欄)の化
合物を均一に溶解した。次にこの混合溶液を厚さ25μ
mのポリエチレンテレフタレートフィルムにバーコータ
ーを用いて均一に塗布し、95℃の乾燥機中で4分間乾
燥した。この時の光重合性層の厚さは40μmであっ
た。光重合性層のポリエチレンテレフタレートフィルム
を積層していない表面上に35μmのポリエチレンフィ
ルムを張り合わせ、積層フィルムを得た。一方、35μ
m圧延銅箔を積層した銅張積層板表面を湿式バフロール
研磨(スリーエム社製、商品名スコッチブライト#60
0、2連)し、この積層フィルムのポリエチレンフィル
ムを剥しながら光重合性層をホットロールラミネーター
を用いて105℃でラミネートした。
Example 1 A compound having the composition shown in Table 1 (column of Example 1) was uniformly dissolved. Next, add this mixed solution to a thickness of 25 μm.
m polyethylene terephthalate film was uniformly applied using a bar coater and dried in a dryer at 95 ° C. for 4 minutes. At this time, the thickness of the photopolymerizable layer was 40 μm. A 35 μm polyethylene film was laminated on the surface of the photopolymerizable layer on which no polyethylene terephthalate film was laminated to obtain a laminated film. On the other hand, 35μ
m Wet buff roll polishing of the surface of a copper clad laminate laminated with rolled copper foil (manufactured by 3M, trade name Scotch Bright # 60)
Then, the photopolymerizable layer was laminated at 105 ° C. by using a hot roll laminator while peeling off the polyethylene film of the laminated film.

【0035】この積層体にマスクフィルムを通して、超
高圧水銀ランプ(オーク製作所HMW−201KB)を
照射し、80mJ/cm2で光重合性層を露光した。続い
てポリエチレンテレフタレート支持フィルムを剥離した
後、30℃の1%炭酸ナトリウム水溶液を約90秒間ス
プレーし、未露光部分を溶解除去したところ良好な硬化
画像を得た。
This laminate was irradiated with an ultrahigh pressure mercury lamp (HMW-201KB manufactured by Oak Co., Ltd.) through a mask film to expose the photopolymerizable layer at 80 mJ / cm 2 . Then, after peeling off the polyethylene terephthalate support film, a 1% sodium carbonate aqueous solution at 30 ° C. was sprayed for about 90 seconds to dissolve and remove the unexposed portion, whereby a good cured image was obtained.

【0036】また、本発明の光重合性組成物を用いた積
層体について以下の評価を行った。 (1)コールドフロー性試験 上記実施例1で得られた積層体を2.5cm角に切断
し、直径10cmの鉄板にはさみ、40℃、5分間、1
00Kgの荷重をかけた。サンプルを取り出し、光重合
性層のはみ出し幅を測定した。以下のランク付けにより
評価した。
Further, the following evaluations were carried out on the laminates using the photopolymerizable composition of the present invention. (1) Cold Flow Property Test The laminate obtained in Example 1 was cut into 2.5 cm square pieces, sandwiched between iron plates having a diameter of 10 cm, and 40 ° C. for 5 minutes, 1
A load of 00 Kg was applied. The sample was taken out, and the width of the photopolymerizable layer that protruded was measured. The following rankings were used for evaluation.

【0037】○;300μm未満、ロール状態で、23
℃の条件で6ヶ月以上コールドフロー無しで保存可能。 △;300μm以上600μm未満、同条件で1ヶ月以
上6ヶ月未満コールドフロー無しで保存可能。 ×;600μm以上、1ヶ月未満コールドフロー無しで
保存可能。 (2)最小現像時間の測定 35μm圧延銅箔を積層した銅張り積層板にドライフィ
ルムレジストのポリエチレンフィルムを剥がしながら光
重合性層をホットロールラミネーターにより、105℃
でラミネートした。続いて、この積層体のポリエチレン
テレフタレート支持フィルムを剥離した後、30℃の1
%炭酸ナトリウム水溶液をスプレーし、未露光の光重合
性層が溶解する最小時間を測定し、その時間を最小現像
時間とした。実際の現像はこの最小現像時間の1.5倍
の時間でで行った。 (3)追従性評価試験 70μm圧延銅箔を積層した銅張り積層板に、あらかじ
め市販のドライフィルムレジストを使って、ラミネート
ー露光ー現像ーエッチングーレジスト剥離を行い、ライ
ン幅が100、110、120、130、140、15
0μmの線状の溝を作った。溝の深さは約10μmであ
った。
◯: less than 300 μm, 23 in roll state
Can be stored at ℃ for 6 months or more without cold flow. Δ: 300 μm or more and less than 600 μm, can be stored under the same conditions for 1 month or more and less than 6 months without cold flow. ×: 600 μm or more and less than 1 month Can be stored without cold flow. (2) Measurement of minimum development time The photopolymerizable layer was removed by a hot roll laminator at 105 ° C. while peeling off the polyethylene film of the dry film resist from the copper clad laminate laminated with 35 μm rolled copper foil.
It was laminated with. Then, after peeling off the polyethylene terephthalate support film of this laminated body, 1 degreeC of 30 degreeC was carried out.
% Aqueous solution of sodium carbonate was sprayed, and the minimum time required for the unexposed photopolymerizable layer to dissolve was measured, and this time was defined as the minimum development time. The actual development was carried out for 1.5 times the minimum development time. (3) Follow-up evaluation test Laminate exposure-development-etching resist peeling was previously performed on a copper-clad laminate laminated with 70 μm rolled copper foil using a commercially available dry film resist to obtain a line width of 100, 110, 120. , 130, 140, 15
A 0 μm linear groove was formed. The depth of the groove was about 10 μm.

【0038】こうして作成した溝付き基板を用い、上記
と同様の方法で上記積層体をラミネートした。この積層
体にマスクフィルムを通して、基板の溝に垂直になるよ
うなラインパターン(ライン幅;125μm)を使用し
て、露光、現像により画像パターンを得た。さらに、5
0℃の塩化第二銅溶液を120秒間スプレーし、レジス
トの無い部分の銅をエッチングした。最後に50℃の3
%水酸化ナトリウム水溶液を約90秒間スプレーして硬
化レジストを剥離した。こうして作られた銅ライン上
で、あらかじめ溝のあった部分が断線していない箇所を
数え、その数をxとした。反対にエッチングされて断線
している箇所を数え、その数をyとし、次の計算式によ
り断線率(%)を計算し、以下の方法によりランク付け
した。
Using the grooved substrate thus prepared, the above laminate was laminated in the same manner as above. An image pattern was obtained by exposing and developing a line pattern (line width; 125 μm) that was perpendicular to the groove of the substrate through the laminate with a mask film. Furthermore, 5
A cupric chloride solution at 0 ° C. was sprayed for 120 seconds to etch the copper in the resist-free area. Finally 3 at 50 ℃
% Aqueous sodium hydroxide solution was sprayed for about 90 seconds to remove the cured resist. On the copper line thus produced, the number of locations where the grooved portion was not broken was counted, and the number was defined as x. On the other hand, the number of locations where etching was caused and disconnection was counted, the number was defined as y, the disconnection rate (%) was calculated by the following calculation formula, and ranked by the following method.

【0039】断線率(%)=100x/(x+y) ○;断線率が30%未満 △;断線率が30%以上50%未満 ×;断線率が50%以上 (4)柔軟性及び膜強度試験 直径5mmのスルーホールを有する銅張り積層板に、実
施例1に記載の方法により両面にラミネートし、パター
ンマスクを使用せずに露光、及び現像した。次いで、片
面の硬化膜を除去し、引っ張り試験機の治具に突き刺し
棒をセットして、5Kgの荷重でスルーホールの膜の中
心部を10mm/分の速度で押しつけた。その結果、膜
が破れるまでの硬化膜の伸びと、その時の強度を測定し
た。
Breakage rate (%) = 100x / (x + y) ○; Breakage rate is less than 30% △; Breakage rate is 30% or more and less than 50% ×; Breakage rate is 50% or more (4) Flexibility and film strength test A copper-clad laminate having through holes with a diameter of 5 mm was laminated on both sides by the method described in Example 1, exposed and developed without using a pattern mask. Then, the cured film on one surface was removed, a piercing bar was set in a jig of a tensile tester, and the central portion of the film of the through hole was pressed at a speed of 10 mm / min with a load of 5 kg. As a result, the elongation of the cured film until the film was broken and the strength at that time were measured.

【0040】[0040]

【実施例2〜6、比較例1〜2】実施例1と同様の方法
により、表1及び表2記載の組成の光重合性樹脂積層体
を得、コールドフロー試験、追従性試験、柔軟性及び膜
強度試験を行った。結果を表1及び表2に示す。 <記号説明>P−1:メタクリル酸メチル70重量%、
メタクリル酸23重量%、アクリル酸ブチル7重量%の
三元共重合体のメチルエチルケトン溶液(固形分濃度3
2%、重量平均分子量8.5万) P−2:メタクリル酸メチル70重量%、メタクリル酸
23重量%、アクリル酸ブチル7重量%の三元共重合体
のメチルエチルケトン溶液(固形分濃度24%、重量平
均分子量30万) P−3:メタクリル酸メチル47重量%、メタクリル酸
23重量%、スチレン30重量%の三元共重合体のメチ
ルチルケトン溶液(固形分濃度32%、重量平均分子量
4.5万) P−4:メタクリル酸メチル47重量%、メタクリル酸
23重量%、スチレン30重量%の三元共重合体のメチ
ルチルケトン溶液(固形分濃度32%、重量平均分子量
8.5万) M−1:トリメチロールプロパントリアクリレート M−2:ヘキサメチレンジイソシアネートとオリゴプロ
ピレングリコールモノメタクリレート(日本油脂(株)
製ブレンマーPP1000)との反応物 M−3:平均8モルのプロピレンオキサイドを付加した
ポリプロピレングリコールにエチレンオキサイドをさら
に両端にそれぞれ平均3モル付加したグリコールのジメ
タクリレート M−4:テトラプロピレングリコールジメタクリレート M−5:テトラエチレングリコールジアクリレート A−1:ベンゾフェノン A−2:4、4’ービス(ジメチルアミノ)ベンゾフェ
ノン A−3:2ー(οークロロフェニル)ー4、5ージフェ
ニルイミダゾリル二量体 B−1:マラカイトグリーン B−2:ロイコクリスタルバイオレット B−3:トリブロモメチルフェニルスルフォン
Examples 2 to 6 and Comparative Examples 1 and 2 By the same method as in Example 1, photopolymerizable resin laminates having the compositions shown in Tables 1 and 2 were obtained, and cold flow test, followability test, and flexibility were obtained. And the film strength test was conducted. The results are shown in Tables 1 and 2. <Description of symbols> P-1: 70% by weight of methyl methacrylate,
Methyl ethyl ketone solution of terpolymer of 23% by weight methacrylic acid and 7% by weight butyl acrylate (solid content 3
2%, weight average molecular weight 85,000) P-2: 70% by weight of methyl methacrylate, 23% by weight of methacrylic acid, 7% by weight of butyl acrylate, methyl ethyl ketone solution of a terpolymer (solid concentration 24%, Weight average molecular weight 300,000) P-3: Methyl tylketone solution of terpolymer of methyl methacrylate 47% by weight, methacrylic acid 23% by weight, and styrene 30% by weight (solid content concentration 32%, weight average molecular weight 4. 50,000) P-4: Methyl tylketone solution of a terpolymer of methyl methacrylate 47% by weight, methacrylic acid 23% by weight, and styrene 30% by weight (solid content concentration 32%, weight average molecular weight 85,000). M-1: trimethylolpropane triacrylate M-2: hexamethylene diisocyanate and oligopropylene glycol monomethacrylate (NOF Corporation)
Reaction product with Blemmer PP1000) M-3: Dimethacrylate of glycol obtained by adding 3 mol of ethylene oxide on both ends on average to polypropylene glycol to which 8 mol of propylene oxide is added on average 3-4: Tetrapropylene glycol dimethacrylate M -5: Tetraethylene glycol diacrylate A-1: Benzophenone A-2: 4, 4'-bis (dimethylamino) benzophenone A-3: 2- (o-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer B- 1: Malachite Green B-2: Leuco Crystal Violet B-3: Tribromomethylphenylsulfone

【0041】[0041]

【表1】 [Table 1]

【0042】[0042]

【表2】 [Table 2]

【0043】[0043]

【発明の効果】本発明の光重合性樹脂組成物を用いたD
FRは、特に保存時のコールドフロー性が小さく、基板
へのラミネート時における追従性が良好で、さらに露光
後の硬化膜の柔軟性、及び膜強度に優れた性能を示し、
アルカリ現像型回路板作成用DFRとして有用である。
EFFECT OF THE INVENTION D using the photopolymerizable resin composition of the present invention
FR has a particularly low cold flow property during storage, good followability when laminated on a substrate, and further exhibits excellent performance in flexibility and film strength of a cured film after exposure,
It is useful as a DFR for making an alkali development type circuit board.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 (a)カルボキシル基含有量が酸当量で
100〜600であり、かつ、重量平均分子量が10万
〜50万の線状共重合体Aからなるバインダー用樹脂、
20〜90重量%、(b)光重合可能な不飽和化合物、
5〜60重量%、(c)光重合開始剤、0.01〜30
重量%を含有することを特徴とする光重合性組成物。
1. (a) A binder resin comprising a linear copolymer A having a carboxyl group content of 100 to 600 in acid equivalent and a weight average molecular weight of 100,000 to 500,000.
20 to 90% by weight, (b) a photopolymerizable unsaturated compound,
5 to 60% by weight, (c) photopolymerization initiator, 0.01 to 30
A photopolymerizable composition, characterized in that the photopolymerizable composition comprises a weight percentage.
【請求項2】 (a)カルボキシル基含有量が酸当量で
100〜600であり、かつ、重量平均分子量が10万
〜50万の線状共重合体A、及びカルボキシル基含有量
が酸当量で100〜600であり、かつ、重量平均分子
量が3万〜9万のフェニル基を有するビニル化合物を共
重合成分の1つとする線状共重合体Bを重量比率、A/
Bが90/10〜10/90となるように混合したバイ
ンダー用樹脂、20〜90重量%、(b)光重合可能な
不飽和化合物、5〜60重量%、(c)光重合開始剤、
0.01〜30重量%を含有することを特徴とする光重
合性組成物。
2. A linear copolymer A having a carboxyl group content of 100 to 600 in acid equivalent and a weight average molecular weight of 100,000 to 500,000, and a carboxyl group content in acid equivalent of (a). A linear copolymer B having a weight average molecular weight of 100 to 600 and a vinyl compound having a phenyl group having a weight average molecular weight of 30,000 to 90,000 as one of the copolymerization components has a weight ratio of A /
Resin for binder mixed so that B becomes 90/10 to 10/90, 20 to 90% by weight, (b) photopolymerizable unsaturated compound, 5 to 60% by weight, (c) photopolymerization initiator,
A photopolymerizable composition comprising 0.01 to 30% by weight.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2003042758A1 (en) * 2001-11-12 2003-05-22 Asahi Kasei Emd Corporation Photosensitive resin composition and applications thereof
JP2011076104A (en) * 2010-11-15 2011-04-14 Asahi Kasei E-Materials Corp Photosensitive resin laminate
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