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JPH09129499A - Manufacture of laminated electronic part - Google Patents

Manufacture of laminated electronic part

Info

Publication number
JPH09129499A
JPH09129499A JP28516895A JP28516895A JPH09129499A JP H09129499 A JPH09129499 A JP H09129499A JP 28516895 A JP28516895 A JP 28516895A JP 28516895 A JP28516895 A JP 28516895A JP H09129499 A JPH09129499 A JP H09129499A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ceramic green
green sheet
carrier film
sheet
suction head
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP28516895A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kazuharu Onigata
和治 鬼形
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Taiyo Yuden Co Ltd
Original Assignee
Taiyo Yuden Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Taiyo Yuden Co Ltd filed Critical Taiyo Yuden Co Ltd
Priority to JP28516895A priority Critical patent/JPH09129499A/en
Publication of JPH09129499A publication Critical patent/JPH09129499A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28BSHAPING CLAY OR OTHER CERAMIC COMPOSITIONS; SHAPING SLAG; SHAPING MIXTURES CONTAINING CEMENTITIOUS MATERIAL, e.g. PLASTER
    • B28B11/00Apparatus or processes for treating or working the shaped or preshaped articles
    • B28B11/14Apparatus or processes for treating or working the shaped or preshaped articles for dividing shaped articles by cutting
    • B28B11/16Apparatus or processes for treating or working the shaped or preshaped articles for dividing shaped articles by cutting for extrusion or for materials supplied in long webs
    • B28B11/168Apparatus or processes for treating or working the shaped or preshaped articles for dividing shaped articles by cutting for extrusion or for materials supplied in long webs in which the material is cut-out from a strand or web by means of a frame-shaped knife

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Ceramic Capacitors (AREA)
  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method of a laminated electronic part with which manufacturing cost can be reduced by reusing a carrier film by a method wherein a green sheet can be pulled out without scratching the carrier film. SOLUTION: A cut line of rectangular profile is formed by penetrating a punching blade 3 to the depth which does not come into contact with the surface of a carrier film F to a ceramic green sheet S, and the ceramic green sheet Sa inside the cut line is taken out by attractingly holding it by an attraction head 2. As a result, the flaw which was conventionally generated, is not generated on the surface of the carrier film F in a process in which a ceramic green sheet Sa is pulled out. To be more precise, if the remains of the sheet of the carrier film F is removed after the ceramic green sheet Sa has been pulled out, the carrier film F can be reused, and the repeated use of the carrier film F greatly contributes to the reduction in manufacturing cost.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、所定寸法のセラミ
ックグリーンシートを積み重ねて製造される積層型電子
部品の製造方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a laminated electronic component manufactured by stacking ceramic green sheets having a predetermined size.

【0002】[0002]

【従来の技術】積層型電子部品として代表的な積層コン
デンサは、従来、以下のようにして製造されている。
2. Description of the Related Art A typical multilayer capacitor as a multilayer electronic component has been conventionally manufactured as follows.

【0003】まず、PET等からなるキャリアフィルム
の表面に、ドクターブレードやリバースロールコータ等
を用いた塗工法によってセラミックスラリーを均一な厚
さで塗布し、これを乾燥させて、キャリアフィルム上に
セラミックグリーンシートを形成する。
First, the surface of a carrier film made of PET or the like is coated with a ceramic slurry in a uniform thickness by a coating method using a doctor blade, a reverse roll coater or the like, and this is dried to form a ceramic on the carrier film. Form a green sheet.

【0004】次に、このセラミックグリーンシートの表
面に、スクリーン印刷等によって導体ペーストを所定パ
ターンで印刷し、これを乾燥させて内部電極となる導体
層を形成する。
Next, a conductor paste is printed in a predetermined pattern on the surface of the ceramic green sheet by screen printing or the like, and the conductor paste is dried to form a conductor layer to be an internal electrode.

【0005】次に、セラミックグリーンシートが形成さ
れたキャリアフィルムを台盤上に搬送し、セラミックグ
リーンシートに対して打抜刃の刃先を食い込ませて該セ
ラミックグリーンシートを所定寸法で打ち抜く。
Next, the carrier film on which the ceramic green sheets are formed is conveyed onto a pedestal, and the cutting edge of the punching blade is cut into the ceramic green sheets to punch the ceramic green sheets to a predetermined size.

【0006】次に、打ち抜かれた所定寸法のセラミック
グリーンシートをキャリアフィルムから剥離して抜き取
り、これの積み重ねを行う。上記の手順は、所定寸法の
セラミックグリーンシートが所定枚数積み重ねられるま
で繰り返され、積み重ね後はこれを加圧して積層物を得
る。
Next, the punched ceramic green sheets of a predetermined size are peeled off from the carrier film, extracted, and stacked. The above procedure is repeated until a predetermined number of ceramic green sheets having a predetermined size are stacked, and after stacking, this is pressed to obtain a laminate.

【0007】次に、積層物を部品個々に対応する寸法に
切断してこれを焼成し、焼成チップの両端部に導体ペー
ストを塗布し焼き付けて外部電極を形成し、必要に応じ
て外部電極の表面に半田メッキ層等を形成する。
Next, the laminate is cut into a size corresponding to each component and fired, and a conductor paste is applied to both ends of the fired chip and baked to form an external electrode. A solder plating layer or the like is formed on the surface.

【0008】図4は先に述べたシート抜き取りの工程で
一般に使用される装置を示すもので、図中、101は台
盤、102は吸着ヘッド、103は打抜刃、Fはキャリ
アフィルム、Sはセラミックグリーンシートである。
FIG. 4 shows an apparatus generally used in the above-mentioned sheet extracting process. In the figure, 101 is a base, 102 is a suction head, 103 is a punching blade, F is a carrier film, and S is a film. Is a ceramic green sheet.

【0009】台盤101はキャリアフィルムFの幅より
も大きな平坦上面を備え、該上面に多数の吸引孔101
aを有している。これら吸引孔101aは図示省略の負
圧源に接続されており、必要に応じて吸引力を作用させ
てキャリアフィルムFを吸着保持する。
The base 101 has a flat upper surface larger than the width of the carrier film F, and a large number of suction holes 101 are formed on the upper surface.
a. These suction holes 101a are connected to a negative pressure source (not shown), and apply a suction force as necessary to suck and hold the carrier film F.

【0010】吸着ヘッド102は台盤101の上面と平
行に向き合う平坦下面を備え、該下面に多数の吸引孔1
02aを有している。これら吸引孔102aは図示省略
の負圧源に接続されており、必要に応じて吸引力を作用
させて打抜後のセラミックグリーンシートを吸着する。
この吸着ヘッド102は台盤101の上面と直行する方
向の上下動とシート積層位置への水平移動とを可能とし
ている。
The suction head 102 has a flat lower surface facing parallel to the upper surface of the base 101, and a large number of suction holes 1 are formed on the lower surface.
02a. These suction holes 102a are connected to a negative pressure source (not shown), and apply a suction force as necessary to suck the punched ceramic green sheet.
The suction head 102 is capable of vertical movement in a direction perpendicular to the upper surface of the base 101 and horizontal movement to the sheet stacking position.

【0011】打抜刃103は先鋭な刃先を有する平刃を
吸着ヘッド102の4側面に隙間なく配置、または同刃
先を有する四角筒形の刃を吸着ヘッド102の周囲に配
置して構成されており、その刃先を吸着ヘッド102の
下面から下方に突出している。この刃先突出量は、乾燥
後のセラミックグリーンシートSの厚みよりも僅かに大
きく設定されている。
The punching blade 103 is configured by arranging a flat blade having a sharp cutting edge on the four side surfaces of the suction head 102 without a gap, or a square tubular blade having the same cutting edge around the suction head 102. The blade edge projects downward from the lower surface of the suction head 102. The blade edge protrusion amount is set to be slightly larger than the thickness of the ceramic green sheet S after drying.

【0012】[0012]

【発明が解決しようとする課題】上記の従来方法では、
所定寸法のセラミックグリーンシートを得る際に、図5
(a)に示すようにキャリアフィルムF上のセラミック
グリーンシートSに対して打抜刃103をその刃先がキ
ャリアフィルムFの表面に僅かに入り込む深さまで食い
込ませているため、同図(b)に示すようにキャリアフ
ィルムFの表面には刃先による傷跡Faが形成されてし
まう。このようなキャリアフィルムFはシート残骸を除
去しても再び使用することは不可能であり、通常は1回
限りで廃棄処分されてしまうことからコスト的にも負担
が大きい。この問題は積層コンデンサに限らず、積層イ
ンダクタや厚膜多層基板等の他の積層型電子部品におい
ても同様のシート抜き取りを実施する場合に生じ得る。
In the above conventional method,
As shown in FIG.
As shown in (a), the punching blade 103 is made to dig into the ceramic green sheet S on the carrier film F to such a depth that the cutting edge slightly enters the surface of the carrier film F. As shown in the drawing, a scar Fa is formed on the surface of the carrier film F by the cutting edge. Such a carrier film F cannot be reused even if the sheet debris is removed, and since it is normally disposed of only once, the cost is heavy. This problem may occur not only in the case of the multilayer capacitor, but also in the case of performing similar sheet extraction in other multilayer electronic components such as a multilayer inductor and a thick film multilayer substrate.

【0013】本発明は上記問題点に鑑みてなされたもの
で、その目的とするところは、キャリアフィルムを傷つ
けることなくシート抜き取りが行えるようにすること
で、キャリアフィルムの再利用を可能として製造コスト
の低減に貢献できる積層型電子部品の製造方法を提供す
ることにある。
The present invention has been made in view of the above problems. An object of the present invention is to make it possible to remove a sheet without damaging the carrier film, thereby making it possible to reuse the carrier film and to reduce the manufacturing cost. It is an object of the present invention to provide a method for manufacturing a multilayer electronic component that can contribute to reduction of power consumption.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、キャリアフィルムの表面に形成されたセ
ラミックグリーンシートから所定寸法のセラミックグリ
ーンシートを抜き取ってこれを積み重ねるようにした積
層型電子部品の製造方法において、表面にセラミックグ
リーンシートが形成されたキャリアフィルムを台盤上に
搬送し、セラミックグリーンシートに対して打抜刃をそ
の刃先がキャリアフィルム表面に接触しない深さまで食
い込ませて所定輪郭の切込線を形成し、切込線内側のセ
ラミックグリーンシートを吸着ヘッドで吸着保持して抜
き取る工程を具備したこと、また、表面にセラミックグ
リーンシートが形成されたキャリアフィルムを台盤上に
搬送し、セラミックグリーンシートに対して丸い刃先を
有する打抜刃をその刃先がキャリアフィルム表面に圧接
する深さまで食い込ませて所定輪郭の切込線を形成し、
切込線内側のセラミックグリーンシートを吸着ヘッドで
吸着保持して抜き取る工程を具備したことをその主たる
特徴としている。
In order to achieve the above object, the present invention relates to a laminated electronic device in which a ceramic green sheet having a predetermined size is extracted from a ceramic green sheet formed on the surface of a carrier film and stacked. In the method of manufacturing a component, a carrier film having a ceramic green sheet formed on the surface is conveyed onto a pedestal, and a punching blade bites into the ceramic green sheet to a depth at which the cutting edge does not contact the surface of the carrier film. It has a step of forming a contour cut line, sucking and holding the ceramic green sheet inside the cut line with a suction head, and taking out the carrier film on the surface of which the ceramic green sheet is formed. Conveying and punching a punching blade with a round edge against the ceramic green sheet Previously by biting depth for pressing the carrier film surface to form a score line of a predetermined contour,
Its main feature is that it has a step of sucking and holding the ceramic green sheet inside the score line with a suction head and pulling it out.

【0015】本発明に係る積層型電子部品の製造方法で
は、セラミックグリーンシートに対して打抜刃をその刃
先がキャリアフィルム表面に接触しない深さまで食い込
ませて所定輪郭の切込線を形成、または、セラミックグ
リーンシートに対して丸い刃先を有する打抜刃をその刃
先がキャリアフィルム表面に圧接する深さまで食い込ま
せることによって所定輪郭の切込線を形成しているの
で、所定寸法のセラミックグリーンシートを抜き取る工
程においてキャリアフィルム表面には従来のような傷跡
が生じない。つまり、所定寸法のセラミックグリーンシ
ートを抜き取った後にキャリアフィルム上のシート残骸
を除去すれば、キャリアフィルムを再利用することがで
きる。
In the method of manufacturing a laminated electronic component according to the present invention, a punching blade is made to penetrate into the ceramic green sheet to a depth such that the cutting edge does not contact the surface of the carrier film to form a cut line having a predetermined contour, or , A ceramic green sheet having a rounded cutting edge is formed into a cutting line having a predetermined contour by cutting the cutting edge to a depth at which the cutting edge is pressed against the surface of the carrier film. No scratches are formed on the surface of the carrier film in the extracting step unlike the conventional case. That is, the carrier film can be reused by removing the sheet debris on the carrier film after extracting the ceramic green sheet having a predetermined size.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
従って説明する。尚、本発明は積層コンデンサ,積層イ
ンダクタ,厚膜多層基板等の各種の積層型電子部品に適
用可能であるが、ここでは従来例と同様に本発明を積層
コンデンサに適用した例について説明する。また、積層
コンデンサの製造方法は、所定寸法のセラミックグリー
ンシートを抜き取る工程を除き従来のものと同様である
ため、説明の重複を避けここでは改良工程のみを主に説
明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. The present invention can be applied to various laminated electronic components such as a laminated capacitor, a laminated inductor, and a thick film multilayer substrate. Here, an example in which the present invention is applied to a laminated capacitor as in the conventional example will be described. Further, the manufacturing method of the multilayer capacitor is the same as the conventional one except the step of extracting the ceramic green sheet having a predetermined size, and therefore, only the improving step will be mainly described here to avoid duplication of description.

【0017】図1は所定寸法のセラミックグリーンシー
トを抜き取る工程の一手順を示すもので、図中、1は台
盤、2は吸着ヘッド、3は打抜刃、Fはキャリアフィル
ム、Sはセラミックグリーンシートである。
FIG. 1 shows a procedure for extracting a ceramic green sheet having a predetermined size. In the figure, 1 is a base, 2 is a suction head, 3 is a punching blade, F is a carrier film, and S is ceramic. It is a green sheet.

【0018】台盤1はキャリアフィルムFの幅よりも大
きな平坦上面を備え、該上面に多数の吸引孔1aを有し
ている。これら吸引孔1aは図示省略の負圧源に接続さ
れており、必要に応じて吸引力を作用させてキャリアフ
ィルムFを吸着保持する。
The base 1 has a flat upper surface larger than the width of the carrier film F, and has a large number of suction holes 1a on the upper surface. These suction holes 1a are connected to a negative pressure source (not shown), and apply a suction force as needed to suck and hold the carrier film F.

【0019】吸着ヘッド2は台盤1の上面と平行に向き
合う平坦下面を備え、該下面に多数の吸引孔2aを有し
ている。これら吸引孔2aは図示省略の負圧源に接続さ
れており、必要に応じてキャリアフィルムに対するシー
ト付着力よりも大きな吸引力を作用させて打抜後のセラ
ミックグリーンシートSaを吸着保持する。この吸着ヘ
ッド2は、台盤1の上面と直行する方向の上下動と、シ
ート積層位置への水平移動とを可能としている。
The suction head 2 has a flat lower surface facing in parallel with the upper surface of the base 1, and has a large number of suction holes 2a on the lower surface. These suction holes 2a are connected to a negative pressure source (not shown), and apply a suction force larger than the sheet adhering force to the carrier film as necessary to suck and hold the punched ceramic green sheet Sa. The suction head 2 is capable of vertical movement in a direction perpendicular to the upper surface of the base 1 and horizontal movement to the sheet stacking position.

【0020】打抜刃3は先鋭な刃先を有する平刃を吸着
ヘッド2の4側面に隙間なく配置、または同刃先を有す
る四角筒形の刃を吸着ヘッド2に周囲に配置して構成さ
れており、その刃先を吸着ヘッド2の下面から下方に突
出している。この刃先突出量は、乾燥後のセラミックグ
リーンシートSの厚みよりも僅かに小さく設定されてい
る。
The punching blade 3 is constructed by arranging a flat blade having a sharp cutting edge on the four side surfaces of the suction head 2 without a gap, or a square cylindrical blade having the same cutting edge around the suction head 2. And the blade edge projects downward from the lower surface of the suction head 2. This blade edge protrusion amount is set to be slightly smaller than the thickness of the dried ceramic green sheet S.

【0021】シート抜き取りに際しては、まず、表面に
セラミックグリーンシートSが形成されたキャリアフィ
ルムFを台盤1上に搬送し、所定位置でこれを停止させ
る。そして、台盤1の吸引孔1aに吸引力を作用させて
キャリアフィルムFの下面を台盤1に吸着保持させる。
At the time of removing the sheet, first, the carrier film F having the ceramic green sheet S formed on the surface is conveyed onto the base 1 and stopped at a predetermined position. Then, a suction force is applied to the suction holes 1a of the base 1 to suck and hold the lower surface of the carrier film F on the base 1.

【0022】次に、図1(a)に示すように、吸着ヘッ
ド2を所定ストローク下降させて、その下面をセラミッ
クグリーンシートSの上面に密着させると共に、打抜刃
3の刃先をキャリアフィルムF上のセラミックグリーン
シートSに食い込ませる。先に述べたように打抜刃3の
刃先突出量はセラミックグリーンシートSの厚みよりも
僅かに小さく設定されているため、打抜刃3の刃先はキ
ャリアフィルムFの表面までは到達せず、刃先とキャリ
アフィルム表面との間には数μm程度の隙間t1が形成
される。つまり、セラミックグリーンシートSに対する
打抜刃3の食い込みによって、該シートSにはシート厚
みよりも小さな深さの切込線が矩形状輪郭で形成される
ことになる。
Next, as shown in FIG. 1 (a), the suction head 2 is moved down by a predetermined stroke to bring the lower surface of the suction head 2 into close contact with the upper surface of the ceramic green sheet S, and the cutting edge of the punching blade 3 to the carrier film F. Let it bite into the upper ceramic green sheet S. As described above, since the protruding amount of the punching blade 3 is set to be slightly smaller than the thickness of the ceramic green sheet S, the cutting edge of the punching blade 3 does not reach the surface of the carrier film F, A gap t1 of about several μm is formed between the cutting edge and the surface of the carrier film. That is, when the punching blade 3 bites into the ceramic green sheet S, a cut line having a depth smaller than the sheet thickness is formed in the sheet S with a rectangular contour.

【0023】次に、図1(b)に示すように、吸着ヘッ
ド2の吸引孔2aに吸引力を作用させて切込線内側のセ
ラミックグリーンシートSaを吸着保持させ、該吸着ヘ
ッド2を上昇復帰させて該シートSaをキャリアフィル
ムFから剥離して抜き取る。切込線内側のシートSa
は、上記隙間t1の部分を介してシート本体Sとくっつ
いているが、同部分の厚みは極めて薄いため、吸着ヘッ
ド2の上昇復帰過程でこれを簡単に引きちぎることがで
き、このときシート本体Sと抜き取ったシートSaに変
形を生じる心配もない。
Next, as shown in FIG. 1B, a suction force is applied to the suction holes 2a of the suction head 2 to suck and hold the ceramic green sheet Sa inside the score line, and the suction head 2 is raised. After returning, the sheet Sa is separated from the carrier film F and removed. Sheet Sa inside the score line
Adheres to the sheet main body S through the gap t1. However, since the thickness of the portion is extremely thin, it can be easily torn off during the ascending and returning process of the suction head 2. At this time, the sheet main body S There is no concern that the extracted sheet Sa will be deformed.

【0024】このように、上述の方法では、セラミック
グリーンシートSに対して打抜刃3をその刃先がキャリ
アフィルムFの表面に接触しない深さまで食い込ませて
矩形状輪郭の切込線を形成し、切込線内側のセラミック
グリーンシートSaを吸着ヘッド2で吸着保持して取り
出すようにしているので、所定寸法のセラミックグリー
ンシートSaを抜き取る工程においてキャリアフィルム
Fの表面には従来のような傷跡が生じない。つまり、所
定寸法のセラミックグリーンシートSaを抜き取った後
にキャリアフィルムF上のシート残骸を除去すれば、該
キャリアフィルムFを再利用することが可能であり、キ
ャリアフィルムFを繰り返し使用できるようにして製造
コストの低減に大きく貢献できる。
As described above, in the above-described method, the punching blade 3 is cut into the ceramic green sheet S to a depth such that the cutting edge does not contact the surface of the carrier film F to form a cut line having a rectangular contour. Since the ceramic green sheet Sa on the inside of the score line is sucked and held by the suction head 2 and taken out, the surface of the carrier film F has a conventional scratch in the step of extracting the ceramic green sheet Sa having a predetermined size. Does not happen. In other words, if the sheet debris on the carrier film F is removed after the ceramic green sheet Sa having a predetermined size is removed, the carrier film F can be reused, and the carrier film F can be used repeatedly. It can greatly contribute to cost reduction.

【0025】図2は所定寸法のセラミックグリーンシー
トを抜き取る工程の他の手順を示すもので、図中、11
は台盤、12は吸着ヘッド、13は打抜刃、Fはキャリ
アフィルム、Sはセラミックグリーンシートである。
FIG. 2 shows another procedure for extracting the ceramic green sheet having a predetermined size.
Is a base, 12 is a suction head, 13 is a punching blade, F is a carrier film, and S is a ceramic green sheet.

【0026】台盤11はキャリアフィルムFの幅よりも
大きな平坦上面を備え、該上面に多数の吸引孔11aを
有している。これら吸引孔11aは図示省略の負圧源に
接続されており、必要に応じて吸引力を作用させてキャ
リアフィルムFを吸着保持する。
The base 11 has a flat upper surface larger than the width of the carrier film F, and has a large number of suction holes 11a on the upper surface. These suction holes 11a are connected to a negative pressure source (not shown), and apply a suction force as necessary to suck and hold the carrier film F.

【0027】吸着ヘッド12は台盤1の上面と平行に向
き合う平坦下面を備え、該下面に多数の吸引孔12aを
有している。これら吸引孔12aは図示省略の負圧源に
接続されており、必要に応じてキャリアフィルムに対す
るシート付着力よりも大きな吸引力を作用させて打抜後
のセラミックグリーンシートSaを吸着保持する。この
吸着ヘッド12は、台盤11の上面と直行する方向の上
下動と、シート積層位置への水平移動とを可能としてい
る。
The suction head 12 has a flat lower surface facing the upper surface of the base 1 in parallel, and has a large number of suction holes 12a on the lower surface. These suction holes 12a are connected to a negative pressure source (not shown), and apply a suction force larger than the sheet adhering force to the carrier film as necessary to suck and hold the punched ceramic green sheet Sa. The suction head 12 is capable of vertical movement in a direction perpendicular to the upper surface of the base 11 and horizontal movement to the sheet stacking position.

【0028】打抜刃13は丸い刃先を有する平刃を吸着
ヘッド12の4側面に隙間なく配置、または同刃先を有
する四角筒形の刃を吸着ヘッド12に周囲に配置して構
成されており、その刃先を吸着ヘッド12の下面から下
方に突出している。この刃先突出量は、乾燥後のセラミ
ックグリーンシートSの厚みよりも僅かに大きく設定さ
れている。
The punching blade 13 is configured by arranging flat blades having a round blade edge on the four side surfaces of the suction head 12 with no gaps or quadrangular cylindrical blades having the same blade edge around the suction head 12. The cutting edge projects downward from the lower surface of the suction head 12. The blade edge protrusion amount is set to be slightly larger than the thickness of the ceramic green sheet S after drying.

【0029】シート抜き取りに際しては、まず、表面に
セラミックグリーンシートSが形成されたキャリアフィ
ルムFを台盤11上に搬送し、所定位置でこれを停止さ
せる。そして、台盤11の吸引孔11aに吸引力を作用
させてキャリアフィルムFの下面を台盤11に吸着保持
させる。
At the time of removing the sheet, first, the carrier film F having the ceramic green sheet S formed on the surface is conveyed onto the base 11 and stopped at a predetermined position. Then, a suction force is applied to the suction holes 11 a of the base 11 to suck and hold the lower surface of the carrier film F on the base 11.

【0030】次に、図2(a)に示すように、吸着ヘッ
ド12を所定ストローク下降させて、その下面をセラミ
ックグリーンシートSの上面に密着させると共に、打抜
刃13の刃先をキャリアフィルムF上のセラミックグリ
ーンシートSに食い込ませる。先に述べたように打抜刃
3の刃先突出量はセラミックグリーンシートSの厚みよ
りも僅かに大きく設定されているため、打抜刃13の丸
い刃先はキャリアフィルムFの表面に僅かな深さt2だ
け入り込んで、同部分を下方に押圧変形させる。つま
り、セラミックグリーンシートSに対する打抜刃13の
食い込みによって、該シートSにはシート厚みと同等深
さの切込線が矩形状輪郭で形成されることになる。
Next, as shown in FIG. 2A, the suction head 12 is lowered by a predetermined stroke to bring the lower surface thereof into close contact with the upper surface of the ceramic green sheet S, and the cutting edge of the punching blade 13 to the carrier film F. Let it bite into the upper ceramic green sheet S. As described above, since the protruding amount of the punching blade 3 is set to be slightly larger than the thickness of the ceramic green sheet S, the rounded cutting edge of the punching blade 13 has a slight depth on the surface of the carrier film F. Only t2 enters and the same part is pressed and deformed downward. That is, when the punching blade 13 bites into the ceramic green sheet S, a cut line having a depth equal to the sheet thickness is formed in the sheet S with a rectangular contour.

【0031】次に、図2(b)に示すように、吸着ヘッ
ド12の吸引孔12aに吸引力を作用させて切込線内側
のセラミックグリーンシートSaを吸着保持させ、該吸
着ヘッド12を上昇復帰させて該シートSaをキャリア
フィルムFから剥離して抜き取る。切込線内側のシート
Saは、切断刃13によって押し切ることができなかっ
た部分を介してシート本体Sとくっついている場合もあ
るが、同部分の厚みは極めて薄いため、吸着ヘッド12
の上昇復帰過程でこれを簡単に引きちぎることができ、
このときシート本体Sと抜き取ったシートSaに変形を
生じる心配もない。
Next, as shown in FIG. 2B, a suction force is applied to the suction holes 12a of the suction head 12 to suck and hold the ceramic green sheet Sa inside the score line, and the suction head 12 is raised. After returning, the sheet Sa is separated from the carrier film F and removed. The sheet Sa on the inside of the score line may be attached to the sheet main body S via a portion that cannot be completely cut by the cutting blade 13, but since the thickness of the portion is extremely thin, the suction head 12
You can easily tear this off in the process of rising
At this time, there is no concern that the sheet body S and the pulled-out sheet Sa will be deformed.

【0032】このように、上述の方法では、セラミック
グリーンシートSに対して丸い抜刃を有する打抜刃13
をその刃先がキャリアフィルムFの表面に圧接する深さ
まで食い込ませて矩形状輪郭の切込線を形成し、切込線
内側のセラミックグリーンシートSaを吸着ヘッド2で
吸着保持して取り出すようにしているので、所定寸法の
セラミックグリーンシートSaを抜き取る工程において
キャリアフィルムFの表面には従来のような傷跡が生じ
ない。つまり、所定寸法のセラミックグリーンシートS
aを抜き取った後にキャリアフィルムF上のシート残骸
を除去すれば、該キャリアフィルムFを再利用すること
が可能であり、キャリアフィルムFを繰り返し使用でき
るようにして製造コストの低減に大きく貢献できる。
As described above, in the above method, the punching blade 13 having the round punching blade with respect to the ceramic green sheet S is used.
Is cut into a depth where the blade edge is pressed against the surface of the carrier film F to form a rectangular cut line, and the ceramic green sheet Sa inside the cut line is sucked and held by the suction head 2 and taken out. Therefore, in the process of extracting the ceramic green sheet Sa having a predetermined size, the surface of the carrier film F is not scratched as in the conventional case. That is, the ceramic green sheet S having a predetermined size
If the sheet debris on the carrier film F is removed after removing a, the carrier film F can be reused, and the carrier film F can be repeatedly used, which can greatly contribute to reduction in manufacturing cost.

【0033】ちなみに、図1に示したシート抜き取り方
法と図2に示したシート抜き取り方法は、何れも従来の
ようにシートを完全に切断してから抜き取るものではな
いので、抜き取ったシートSaの周縁にはバリが残存す
る恐れがある。これを嫌う場合には、図3に示すよう
に、第1の吸着ヘッド31及び打抜刃32と、これより
も小型な第2の吸着ヘッド41及び打抜刃42を用意し
て、シート抜き取りを2段階に分けて実施するようにす
るとよい。
By the way, the sheet extracting method shown in FIG. 1 and the sheet extracting method shown in FIG. 2 do not completely cut the sheet as in the conventional case, so that the peripheral edge of the sheet Sa is removed. There is a possibility that burrs will remain on. If this is disliked, as shown in FIG. 3, the first suction head 31 and the punching blade 32, and the second suction head 41 and the punching blade 42 that are smaller than this are prepared, and the sheet is pulled out. It is advisable to carry out in two steps.

【0034】第1の吸着ヘッド31及び打抜刃32は、
図1に示したシート抜き取り方法と図2に示したシート
抜き取り方法のそれぞれで用いたものと同様の構造のも
のであり、該第1の吸着ヘッド31には所定寸法のセラ
ミックグリーンシートSaが吸着保持されている。
The first suction head 31 and the punching blade 32 are
The structure is the same as that used in each of the sheet extracting method shown in FIG. 1 and the sheet extracting method shown in FIG. 2, and a ceramic green sheet Sa of a predetermined size is sucked onto the first suction head 31. Is held.

【0035】一方、第2の吸着ヘッド41は第1の吸着
ヘッド31の下面と平行に向き合う平坦上面を備え、該
上面に多数の吸引孔41aを有している。これら吸引孔
41aは図示省略の負圧源に接続されており、必要に応
じて第1の吸着ヘッド側よりも大きな吸引力を作用させ
て打抜後のセラミックグリーンシートSbを吸着保持す
る。この第2の吸着ヘッド41は、第1の吸着ヘッド3
1の下面と直行する方向の上下動と、180度反転と、
シート積層位置への水平移動とを可能としている。ま
た、第2の打抜刃42は先鋭な刃先を有する平刃を吸着
ヘッド42の4側面に隙間なく配置、または同刃先を有
する四角筒形の刃を吸着ヘッド41に周囲に配置して構
成されており、その刃先を吸着ヘッド41の上面から上
方に突出している。この刃先突出量は、乾燥後のセラミ
ックグリーンシートSの厚みと同じく設定されている。
On the other hand, the second suction head 41 has a flat upper surface facing in parallel with the lower surface of the first suction head 31, and has a large number of suction holes 41a on the upper surface. These suction holes 41a are connected to a negative pressure source (not shown), and apply a suction force larger than that on the side of the first suction head as required to suck and hold the punched ceramic green sheet Sb. The second suction head 41 corresponds to the first suction head 3
Vertical movement in a direction perpendicular to the lower surface of 1 and 180 degree inversion,
Horizontal movement to the sheet stacking position is possible. Further, the second punching blade 42 is configured by arranging flat blades having a sharp blade edge on the four side surfaces of the suction head 42 without a gap, or quadrangular cylindrical blades having the same blade edge around the suction head 41. The blade edge is projected upward from the upper surface of the suction head 41. The blade edge protrusion amount is set to be the same as the thickness of the dried ceramic green sheet S.

【0036】シート抜き取りに際しては、まず、図3
(a)に示すように、第1の吸着ヘッド31及び打抜刃
32を用いて図1に示したシート抜き取り方法または図
2に示したシート抜き取り方法を実施して、所定寸法の
セラミックグリーンシートSaを第1の吸着ヘッド31
に吸着保持させる。
When removing the sheet, first, FIG.
As shown in (a), using the first suction head 31 and the punching blade 32, the sheet extracting method shown in FIG. 1 or the sheet extracting method shown in FIG. Sa is the first suction head 31
To be held by suction.

【0037】次に、図3(b)に示すように、第2の吸
着ヘッド41を所定ストローク上昇させて、その上面を
セラミックグリーンシートSaの下面に密着させると共
に、第2の打抜刃42の刃先をセラミックグリーンシー
トSaに食い込ませる。先に述べたように第2の打抜刃
42の刃先突出量はセラミックグリーンシートSaの厚
みと同じく設定されているため、該打抜刃42の刃先は
ヘッド下面に当接する。つまり、セラミックグリーンシ
ートSaに対する第2の打抜刃42の食い込みによっ
て、該シートSaにはシート厚みと同じ深さの切込線が
矩形状輪郭で形成され、シートSaは完全に切断され
る。
Next, as shown in FIG. 3B, the second suction head 41 is raised by a predetermined stroke to bring the upper surface thereof into close contact with the lower surface of the ceramic green sheet Sa, and the second punching blade 42. The cutting edge of is cut into the ceramic green sheet Sa. As described above, since the amount of protrusion of the cutting edge of the second punching blade 42 is set to be the same as the thickness of the ceramic green sheet Sa, the cutting edge of the punching blade 42 contacts the lower surface of the head. That is, when the second punching blade 42 bites into the ceramic green sheet Sa, a cut line having the same depth as the sheet thickness is formed in a rectangular contour on the sheet Sa, and the sheet Sa is completely cut.

【0038】次に、第2の吸着ヘッド41の吸引孔41
aに吸引力を作用させて切込線内側のセラミックグリー
ンシートSbを吸着保持させ、該吸着ヘッド41を下降
復帰させて該シートSbを第1の吸着ヘッド31から剥
離して抜き取る。
Next, the suction hole 41 of the second suction head 41
A suction force is applied to a to attract and hold the ceramic green sheet Sb on the inside of the score line, and the attraction head 41 is lowered and returned to separate and pull out the sheet Sb from the first attraction head 31.

【0039】このように、1回目のシート抜き取りでシ
ートSa周縁にバリが残存する場合でも、第2の吸着ヘ
ッド41及び打抜刃42による2回目のシート抜き取り
によってバリのないシートSbを得ることができ、1回
目の抜き取りシートの面積を大きめに設定しておけば2
回目のシート抜き取りによって所望寸法のシートを得る
ことができる。
In this way, even if burrs remain on the periphery of the sheet Sa in the first sheet removal, the burr-free sheet Sb can be obtained by the second sheet removal by the second suction head 41 and the punching blade 42. 2 is possible if the area of the first sampling sheet is set to be large.
A sheet having a desired size can be obtained by the sheet withdrawal for the next time.

【0040】[0040]

【発明の効果】以上詳述したように、請求項1及び2の
発明によれば、所定寸法のセラミックグリーンシートを
抜き取る工程においてキャリアフィルムの表面に従来の
ような傷跡を生じることがないので、所定寸法のセラミ
ックグリーンシートを抜き取った後にキャリアフィルム
上のシート残骸を除去すれば、該キャリアフィルムを再
利用することが可能であり、キャリアフィルムを繰り返
し使用できるようにして製造コストの低減に大きく貢献
できる。
As described above in detail, according to the inventions of claims 1 and 2, in the process of extracting the ceramic green sheet of a predetermined size, the surface of the carrier film is not scratched as in the conventional case. It is possible to reuse the carrier film by removing the sheet debris on the carrier film after pulling out the ceramic green sheet of a predetermined size, making it possible to reuse the carrier film and greatly contributing to the reduction of manufacturing cost. it can.

【0041】請求項3の発明によれば、1回目のシート
抜き取りでシート周縁にバリが残存する場合でも、第2
の吸着ヘッド及び打抜刃による2回目のシート抜き取り
によってバリのないシートを得ることができ、1回目の
抜き取りシートの面積を大きめに設定しておけば2回目
のシート抜き取りによって所望寸法のシートを得ること
ができる。他の効果は請求項1,2の発明と同様であ
る。
According to the third aspect of the present invention, even if the burr remains on the peripheral edge of the sheet by the first sheet removal, the second
A burr-free sheet can be obtained by the second sheet withdrawing using the suction head and the punching blade, and if the area of the first withdrawing sheet is set to a large area, the sheet with the desired size can be obtained by the second sheet withdrawing. Obtainable. Other effects are similar to those of the first and second aspects of the invention.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係るシート抜き取りの一手順を示す図FIG. 1 is a diagram showing a procedure for extracting a sheet according to the present invention.

【図2】本発明に係るシート抜き取りの他の手順を示す
FIG. 2 is a diagram showing another procedure of sheet withdrawal according to the present invention.

【図3】本発明に係るシート抜き取りのさらに他の手順
を示す図
FIG. 3 is a diagram showing still another procedure of sheet withdrawal according to the present invention.

【図4】シート抜き取りに用いられる従来装置の断面図FIG. 4 is a cross-sectional view of a conventional device used for sheet removal.

【図5】従来の問題点の説明図FIG. 5 is an explanatory diagram of a conventional problem.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,11…台盤、1a,11a…吸引孔、2,12,3
1,41…吸着ヘッド、2a,12a,31a,41a
…吸引孔、3,13,32,42…打抜刃、F…キャリ
アフィルム、S…セラミックグリーンシート、Sa,S
b…抜き取られたセラミックグリーンシート。
1, 11 ... Platform, 1a, 11a ... Suction holes, 2, 12, 3
1, 41 ... Suction heads 2a, 12a, 31a, 41a
... suction holes, 3, 13, 32, 42 ... punching blades, F ... carrier film, S ... ceramic green sheet, Sa, S
b ... The removed ceramic green sheet.

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 キャリアフィルムの表面に形成されたセ
ラミックグリーンシートから所定寸法のセラミックグリ
ーンシートを抜き取ってこれを積み重ねるようにした積
層型電子部品の製造方法において、 表面にセラミックグリーンシートが形成されたキャリア
フィルムを台盤上に搬送し、セラミックグリーンシート
に対して打抜刃をその刃先がキャリアフィルム表面に接
触しない深さまで食い込ませて所定輪郭の切込線を形成
し、切込線内側のセラミックグリーンシートを吸着ヘッ
ドで吸着保持して抜き取る工程を具備した、 ことを特徴とする積層型電子部品の製造方法。
1. A method of manufacturing a laminated electronic component, wherein a ceramic green sheet having a predetermined size is extracted from a ceramic green sheet formed on the surface of a carrier film and the stacked ceramic green sheets are stacked, and a ceramic green sheet is formed on the surface. The carrier film is conveyed onto the base plate, the punching blade is cut into the ceramic green sheet to a depth where the cutting edge does not contact the surface of the carrier film to form a cut line with a predetermined contour, and the ceramic inside the cut line is formed. A method of manufacturing a multilayer electronic component, comprising a step of sucking and holding a green sheet with a suction head and extracting the green sheet.
【請求項2】 キャリアフィルムの表面に形成されたセ
ラミックグリーンシートから所定寸法のセラミックグリ
ーンシートを抜き取ってこれを積み重ねるようにした積
層型電子部品の製造方法において、 表面にセラミックグリーンシートが形成されたキャリア
フィルムを台盤上に搬送し、セラミックグリーンシート
に対して丸い刃先を有する打抜刃をその刃先がキャリア
フィルム表面に圧接する深さまで食い込ませて所定輪郭
の切込線を形成し、切込線内側のセラミックグリーンシ
ートを吸着ヘッドで吸着保持して抜き取る工程を具備し
た、 ことを特徴とする積層型電子部品の製造方法。
2. A method of manufacturing a laminated electronic component, wherein a ceramic green sheet having a predetermined size is extracted from a ceramic green sheet formed on the surface of a carrier film and the stacked ceramic green sheets are stacked, and the ceramic green sheet is formed on the surface. The carrier film is conveyed onto the base plate, and a punching blade having a rounded blade edge is cut into the ceramic green sheet to a depth at which the blade edge is pressed against the surface of the carrier film to form a cut line having a predetermined contour, and the cut is made. A method of manufacturing a multilayer electronic component, comprising a step of sucking and holding a ceramic green sheet on the inner side of a line with a suction head and pulling it out.
【請求項3】 上記吸着ヘッドに吸着保持されているセ
ラミックグリーンシートに対して第2の打抜刃をその刃
先がヘッド吸着面に当接する深さまで食い込ませて所定
輪郭の切込線を形成し、切込線内側のセラミックグリー
ンシートを第2の吸着ヘッドで吸着保持して抜き取る工
程を具備した、 ことを特徴とする請求項1または2記載の積層型電子部
品の製造方法。
3. A cutting line having a predetermined contour is formed by causing the second punching blade to bite into the ceramic green sheet sucked and held by the suction head to a depth at which the cutting edge contacts the head suction surface. 3. The method for manufacturing a laminated electronic component according to claim 1, further comprising a step of sucking and holding the ceramic green sheet on the inside of the score line with a second suction head to extract the ceramic green sheet.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100475344B1 (en) * 2001-03-19 2005-03-10 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 Device for laminating green sheets, method for laminating green sheets and method of manufacturing monolithic ceramic electronic component
CN113426877A (en) * 2021-07-06 2021-09-24 淮安市东旭达五金粘胶制品有限公司 Automatic receive cell-phone steel sheet processing of material function with tailorring equipment

Cited By (2)

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