[go: up one dir, main page]

JPH09119942A - 回転角速度センサ - Google Patents

回転角速度センサ

Info

Publication number
JPH09119942A
JPH09119942A JP8207355A JP20735596A JPH09119942A JP H09119942 A JPH09119942 A JP H09119942A JP 8207355 A JP8207355 A JP 8207355A JP 20735596 A JP20735596 A JP 20735596A JP H09119942 A JPH09119942 A JP H09119942A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
angular velocity
velocity sensor
axis
rotational angular
sensor according
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP8207355A
Other languages
English (en)
Inventor
Markus Lutz
ルッツ マルクス
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch GmbH filed Critical Robert Bosch GmbH
Publication of JPH09119942A publication Critical patent/JPH09119942A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
    • G01C19/5719—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using planar vibrating masses driven in a translation vibration along an axis
    • G01C19/5733—Structural details or topology
    • G01C19/574—Structural details or topology the devices having two sensing masses in anti-phase motion
    • G01C19/5747—Structural details or topology the devices having two sensing masses in anti-phase motion each sensing mass being connected to a driving mass, e.g. driving frames

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Gyroscopes (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来の回転角速度センサを改良することにあ
る。 【解決手段】 回転角速度センサが、第１の方向（Ｘ軸
方向）で振動を励起される振動体（１）を有している。
Ｚ軸を中心として回転した場合に、Ｙ軸方向でコリオリ
力が発生する。このコリオリ力は、振動ばね（２）によ
って検出エレメント（３）に伝達されかつこの検出エレ
メントにおいて可動な電極（５）の変位により検出され
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、特許請求の範囲第
１項の上位概念に記載の形式の回転角速度センサに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】ヨーロッパ特許第５３９３９３号明細書
から、振動体が第１の方向で振動を励起される加速度セ
ンサが公知である。振動軸線に対して垂直な軸線を中心
としてセンサが回転した場合には、振動体の変位を生ぜ
しめるコリオリ力が発生する。この場合、振動体は、変
位によってキャパシタンスを変えられる平板コンデンサ
のプレートとして構成されている。この配置形式の測定
信号及び感度は、製作誤差によって著しく影響を及ぼさ
れる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、従来
の回転角速度センサを改良することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】前記課題は本発明によれ
ば、特許請求の範囲第１項の特徴部分に記載の構成の本
発明による回転角速度センサによって解決された。
【０００５】
【発明の効果】本発明による回転角速度センサの利点
は、コリオリ力の検出が特にこのために設けられた検出
エレメント内で行われる、ということにある。振動体及
び検出エレメントは、ほぼコリオリ力のみを伝達する弾
性エレメントによって結合されている。従って、検出エ
レメントは、振動体とは無関係にコリオリ力を検出する
ために最良に利用される。
【０００６】請求項第２項以降に記載の構成によって、
請求項１に記載の回転角速度センサの有利な構成及び改
良が得られる。第１の方向で大きな剛性を有する偏位ば
ねに検出エレメントを懸架することによって、振動方向
での検出エレメントの運動が抑制される。従って、検出
エレメントはほぼ第２の方向でのみ可動であるので、検
出エレメントの感度に対する製作誤差の影響は僅かであ
る。特に簡単には、検出部材は、定置の電極と共に平板
コンデンサを形成する可動な電極を有している。このよ
うな検出エレメントは十分な感度を有している。
【０００７】特に簡単には、振動体の振動励起は静電式
の駆動装置によって行われる。僅かな熱膨張に基づき、
サブストレート材料としてはシリコンが適している。更
に、センサは特に簡単には、シリコン又は金属から製作
される。互いに連結された多数の振動体を使用すること
によって、回転角速度センサの信号が高められもしくは
外乱作用が抑制される。
【０００８】
【発明の実施の形態】第１図では平面図で、４つの振動
ばね２に懸架された振動体１を有する本発明による回転
角速度センサが図示されている。振動ばね２は、Ｘ軸方
向の力によって容易に変形する縦長の折り合わされた撓
み部材として構成されている。従って、振動ばね２は、
Ｘ軸方向で僅かな剛性を有する。Ｘ軸方向で振動ばね２
が僅かな剛性を有することにより、振動体１は、Ｘ軸方
向の力によって励起されて、特に簡単に変位もしくは振
動せしめられる。
【０００９】しかしながら、振動ばね２は、Ｙ軸方向、
即ち、 Ｘ軸方向に対して垂直方向では、比較的大きな
剛性を有する。振動体１にＹ軸方向の力が発生した場合
には、この力は、振動ばね２を介して振動ばねの懸架部
に伝達される。
【００１０】振動ばね２は評価エレメント３に結合もし
くは懸架されている。評価エレメント３は、振動ばね２
が固定される可動なフレーム４、可動な電極５及び定置
の電極６を有している。定置の電極６は、中央ビーム７
を介してアンカー部材８に結合されていて、このアンカ
ー部材はサブストレート上に不動に固着されている。可
動な電極５はフレーム４に固定されていて、このフレー
ム４は、偏位ばね９を介してアンカー部材１０に結合さ
れている。
【００１１】アンカー部材１０は、同様にサブストレー
ト上に不動に固着されている。偏位ばね９は、Ｙ軸方向
で僅かな剛性を有しかつＸ軸方向で比較的大きな剛性を
有している。従って、フレーム４は、Ｙ軸方向で比較的
僅かな力によって変位させられるのに対して、 Ｘ軸方
向の力は、フレーム４を僅かに変位させるに過ぎない。
【００１２】Ｙ軸方向でフレーム４が変位した場合、フ
レームに固定された可動な電極も変位する。しかしなが
ら、定置の電極６は、中央ビーム７もしくはアンカー部
材８を介して不動にサブストレートに結合されていてひ
いてはサブストレートに対して相対的に運動しない。
【００１３】第１図ＩＩＩーＩＩＩ線に沿った第３図横
断面図では、アンカー部材１０、偏位ばね９、可動な電
極５、定置の電極６、可動なフレーム４、振動ばね２及
び振動体１が図示されている。アンカー部材１０は、中
間層２２を介して不動にサブストレート２１に固着され
ている。第３図で図示のその他のエレメントは、サブス
トレート２１に直接結合されておらずひいてはサブスト
レート２１に対して相対的に移動可能である。この場
合、定置の電極６を中間層２２を介してサブストレート
２１に固着することもできる。
【００１４】Ｚ軸方向での著しい伸張に基づいて、振動
ばね２及び偏位ばね９は、著しい変形を生ぜしめること
なく、 Ｚ軸方向の大きな力を吸収することができる。
従って、振動体１及び評価エレメント３の比較的大きな
質量を若干のばねエレメント及びアンカー部材１０によ
ってサブストレートとは別個に保持することができる。
【００１５】第１図で図示のセンサは、回転角速度セン
サとして使用される。このために、振動体１はＸ軸方向
で振動を励起される。この場合、振動ばね２の僅かな剛
性に基づいて、Ｘ軸方向で僅かな力がフレーム４に伝達
されるに過ぎない。フレーム４は、偏位ばね９によって
Ｘ軸方向で比較的剛性的に支承されているので、前記力
によってフレーム４もしくは可動な電極５の僅かな変位
が生ぜしめられるに過ぎない。
【００１６】センサがＺ軸（第３図参照）を中心として
回転した場合には、振動方向に対して垂直方向でコリオ
リ力が発生する。このコリオリ力は、Ｙ軸方向で作用し
かつこの方向で大きな剛性を有する振動ばね２を介して
フレーム４に伝達される。偏位ばね９は、Ｙ軸方向で僅
かな剛性を有するに過ぎないので、Ｙ軸方向のこの力に
よって偏位ばね９の偏位ひいてはフレーム４の変位が生
ぜしめられる。
【００１７】フレーム４のこのような変位によって、可
動な電極５と定置の電極６との間の間隔が変化する。従
って、可動な電極５と定置の電極６との間のキャパシタ
ンスを測定することによって、フレーム４の変位が測定
され、かつこれによりコリオリ力もしくはＺ軸を中心と
した回転が検出される。この場合、製作誤差は、評価エ
レメントの信号に僅かな影響を及ぼすに過ぎない。
【００１８】Ｘ軸方向で評価エレメント３の振動が生じ
た場合には、電極５，６相互の厳密な平行配列からの僅
かな偏差が生ずるだけで信号が生ぜしめられる。しかし
ながら、振動ばね２及び偏位ばね９に基づいてＹ軸方向
の運動のみが可能であるので、製作誤差は測定信号に極
めて僅かな影響を及ぼすに過ぎない。
【００１９】振動体１の振動を励起するために、静電式
のライン駆動装置３１，３２が設けられている。ライン
駆動装置は、静電式の電極３３を有していて、この電極
は、アンカー部材１０によってサブストレート２１に固
定されていてかつ振動体１の別の電極３４と協働する。
静電式の電極３３と別の電極３４とは平板コンデンサを
成していて、この平板コンデンサのキャパシタンスは、
振動体１がＸ軸方向に移動した場合に変化する。従っ
て、静電式の電極３３に電位をかけることによって、振
動体１に力作用を及ぼすことができる。
【００２０】両ライン駆動装置３１，３２は、該ライン
駆動装置がそれぞれプッシュプルで振動体１に静電的な
力作用を及ぼすように、運転される。更に、ライン駆動
装置の一方３１を振動体１の振動を励起するために利用
し、かつ、他方のライン駆動装置３２を、前記振動が静
電式の電極３３と別の電極３４との間のキャパシタンス
を測定することによって検出されるように、利用するこ
ともできる。この場合、このように測定された振動の信
号は、第１のライン駆動装置３１にかけられる電位の強
さもしくは周波数に影響を及ぼすのに利用することがで
きる。
【００２１】当業者にとって周知のように、別の駆動形
式、例えば圧電式又はマグネット式のエレメントによる
駆動形式も可能である。更に、静電式の駆動のために任
意の別の電極形式も可能である。
【００２２】本実施例では評価エレメント３は、発生す
るコリオリ力によってキャパシタンスを変えられる平板
コンデンサとして構成されている。同様に、圧電式、圧
電抵抗式又は別の検出構想に従って作業する別の評価エ
レメントを利用することもできる。しかしながら、第１
図で図示の容量式の評価エレメントの利点は、評価エレ
メントが特に簡単に構成されかつ高い感度を有するとい
うことにある。更に、振動体１の容量式の駆動装置及び
容量式の評価エレメントを有する図示のセンサは、特に
簡単に製作することができる。
【００２３】第１図及び第３図によるセンサの製作形式
を第２図及び第３図により説明する。プロセスはサブス
トレート２１から出発し、このサブストレート上には、
結合層としての中間層２２が取り付けられかつこの中間
層上には、上側のシリコン層２３が取り付けられてい
る。有利には、サブストレート２１はシリコンから形成
されかつ結合層２２は酸化シリコンから形成される。こ
のような層構造は、ＳＯＩ・ウエハー（絶縁体上のシリ
コン）として半導体技術から公知である。
【００２４】しかしながら、サブストレート２１のため
に別の材料を使用することもできる。結合層２２のため
には、上側のシリコン層２３に対して選択的にエッチン
グできるあらゆる材料が適している。従って、結合層２
２はセンサを製作するために犠牲層とも呼ばれる。第２
図では、一貫した結合層２２が図示されている。しかし
ながら、サブストレート２１に対して相対的に可動にす
べき構造物が上側のシリコン層２３内に形成される所で
のみ、結合層２２を設けることもできる。
【００２５】シリコン層２３の上側には、例えば組織化
されたホトレジストから成るエッチングマスク２４が設
けられている。エッチングマスク２４は、第１図による
センサの組織構造を有している。この場合、エッチング
によってエッチングマスク２４の組織構造が上側のシリ
コン層２３に移される。この場合、上側のシリコン層２
３のエッチングは、結合層２２が露出するまで、行われ
る。
【００２６】次いで、別のエッチングステップで結合層
２２がエッチングされる。この場合、結合層２２のエッ
チングは、結合層がアンカー部材１０の下側で完全に除
去される前に、停止する。この場合、第３図で図示され
ているように、アンカー部材１０は、結合層２２によっ
て依然として不動にサブストレート２１に結合されてい
る。
【００２７】しかしながらこの場合、偏位ばね９、可動
な電極５、フレーム４、振動ばね２及び振動体１は、下
部エッチングされる、即ち、結合層２２はこれら構造物
の下側で完全に除去される。第２図で図示されているよ
うに一貫した結合層２２の場合、アンカー部材１０は、
大きな横方向寸法に基づき、完全に下部エッチングされ
ない。
【００２８】振動体１もしくはフレーム４の下部エッチ
ングを保証するために、シリコン層２３の上面から結合
層２２まで延びるエッチング孔２５が設けられている。
第１図ではこのようなエッチング孔２５は、振動体１の
中央範囲に一例として図示されている。しかしながらこ
のようなエッチング孔２５は、同様にフレーム４のため
に及び振動体１の別の全ての範囲のためにも設けられ
る。しかしこのようなエッチング孔２５は、図面を明瞭
にするために、図示されていない。
【００２９】第１図による回転角速度センサは、２つの
評価エレメント３を有している。両評価エレメント３
は、一方の評価エレメントのキャパシタンスが増大した
場合に、他方の評価エレメントのキャパシタンスが減少
するように、設計されている。２つの容量式の評価エレ
メントのこのような配置形式は、特に容量式の信号を継
続処理するために有利である。
【００３０】第４図では、それぞれ２つの評価エレメン
ト３及びそれぞれ２つのライン駆動装置３１，３２を備
えた２つの振動体１を有する回転角速度センサの別の実
施例が図示されている。両振動体１は、アンカー部材１
０の２つのねじりばね４２に懸架されたねじりエレメン
ト４１を介して結合されている。ねじりエレメント４１
は、それぞれ１つのロッドエレメント４３及び弾性的な
補償エレメント４４を介して両振動体１に結合されてい
る。
【００３１】ロッドエレメント４３によって、Ｘ軸方向
で力がねじりエレメント４１に伝達される。弾性的な補
償エレメント４４に基づき、前記力は、ねじりエレメン
トの端部において引張り力又は圧縮力として生ずる。こ
のようにしてねじりばね４２に基づき、Ｚ軸（Ｘ軸方向
及びＹ軸方向に対して垂直）を中心としたねじりエレメ
ント４１のねじりが生ぜしめられる。これによりねじり
エレメント４１によって、両振動体１の振動のカップリ
ングが生ぜしめられる。
【００３２】従って、両振動体１の振動は互いに逆位相
である、即ち、一方の振動体が正のＸ軸方向で振動した
場合には、他方の振動体は負のＸ軸方向で、及び、これ
とは逆の関係で振動する。この場合両振動体において生
ずるコリオリ力は、異なる符号を有するので、両振動体
１の信号の単純な差形成に基づき、Ｙ軸方向で直線的な
不都合な加速によって生ぜしめられる信号成分が考慮さ
れる。
【００３３】第５図では、別のカップリング形式が図示
されている。両振動体１の振動は、評価エレメント３の
フレーム４に作用する連結エレメント５１を介して互い
に連結される。フレーム４における連結エレメント５１
の結合は、弾性的な補償エレメント５２を介して行われ
る。この場合、連結エレメント５１によって、両振動体
１の振動のカップリングが得られる。ライン駆動装置３
１，３２にかけられる周波数に関連して、両振動体１の
逆位相の振動並びに同位相の振動が得られる。
【００３４】更に、パラレルな振動及びアンチパラレル
な振動の共振周波数を分離するために、連結エレメント
をばねとして構成することもできる。パラレルな振動の
場合、ばねは偏位せずかつ共振周波数は振動ばね２によ
ってのみ規定される。アンチパラレルな振動の場合、連
結ばね５３はＸ軸方向に偏位し、これによって、システ
ムの剛性が高められる。
【００３５】連結エレメント５１並びに連結ばね５３に
よって、パラレル又はアンチパラレルな振動モードが得
られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による回転角速度センサの第１実施例の
平面図。
【図２】回転角速度センサ製作の中間ステップの横断面
図。
【図３】第１図ＩＩＩーＩＩＩ線に沿った横断面図。
【図４】本発明による回転角速度センサの別の実施例の
平面図。
【図５】本発明による回転角速度センサの別の実施例の
平面図。
【符号の説明】
１ 振動体 ２ 振動ばね ３ 評価エレメント ４ フレーム ５，６，３３，３４ 電極 ７ 中央ビーム ８，１０ アンカー部材 ９ アンカーばね ２１ サブストレート ２２ 中間層（結合層） ２３ シリコン層 ２４ エッチングマスク ２５ エッチング孔 ３１，３２ ライン駆動装置 ４２ ねじりばね ４３ ロッドエレメント ４４，５２ 補償エレメント ５１ 連結エレメント ５３ 連結ばね

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 回転角速度センサであって、少なくとも
    １つの振動体（１）を備え、該振動体が、第１の方向
    （Ｘ軸方向）で振動を励起されかつ回転時に発生するコ
    リオリ力により、第１の方向に対して垂直な第２の方向
    （Ｙ軸方向）で変位可能である形式のものにおいて、振
    動体（１）が、弾性エレメント（２）を介して検出エレ
    メント（３）に結合されており、弾性エレメント（２）
    が、第１の方向（Ｘ軸）で僅かな剛性を有しかつ第２の
    方向（Ｙ軸）で大きな剛性を有することを特徴とする、
    回転角速度センサ。
  2. 【請求項２】 検出エレメント（３）が、第２の方向で
    力を検出する、請求項１記載の回転角速度センサ。
  3. 【請求項３】 サブストレート（２１）が設けられてい
    て、該サブストレート（２１）に、偏位ばね（９）を有
    する検出エレメント（３）が固着されており、偏位ばね
    （９）が、第１の方向（Ｘ軸）で僅かな剛性を有しかつ
    第２の方向（Ｙ軸）で大きな剛性を有している、請求項
    ２記載の回転角速度センサ。
  4. 【請求項４】 検出エレメント（３）が、偏位ばね
    （９）が固定されるフレーム（４）を有していて、該フ
    レーム（４）に、サブストレート（２１）に不動に結合
    された定置の電極（６）に向かい合って配置された可動
    な電極（５）が固定されている、請求項３記載の回転角
    速度センサ。
  5. 【請求項５】 振動体（１）の振動を励起するために静
    電式の駆動装置（３１，３２）が設けられており、静電
    式の電極（３３）が、アンカー部材（１０）を介してサ
    ブストレート（２１）に固着されており、振動体（１）
    が、静電式の電極（３３）と協働して平板コンデンサを
    形成する別の電極（３４）を有している、請求項３又は
    ４記載の回転角速度センサ。
  6. 【請求項６】 サブストレート（２１）がシリコンから
    形成されている、請求項３から５までのいずれか１項記
    載の回転角速度センサ。
  7. 【請求項７】 振動体（１）及び検出エレメント（３）
    が、シリコン又は金属から形成されている、請求項１か
    ら６までのいずれか１項記載の回転角速度センサ。
  8. 【請求項８】 少なくとも２つの振動体（１）が設けら
    れていて、該振動体が機械的に互いに連結されている、
    請求項１から７までのいずれか１項記載の回転角速度セ
    ンサ。
  9. 【請求項９】 第１及び第２の方向に対して垂直な軸線
    を中心として回動可能なねじりエレメント（４１）が設
    けられており、両振動体（１）がロッドエレメント（４
    ３）を介してねじりエレメント（４１）に結合されてい
    る、請求項８記載の回転角速度センサ。
  10. 【請求項１０】 両振動体の検出エレメント（３）が、
    ロッド状の連結エレメント（５１）によって互いに結合
    されている、請求項８記載の回転角速度センサ。
  11. 【請求項１１】 両振動体の検出エレメント（３）が、
    ばね（５３）によって互いに結合されている、請求項８
    記載の回転角速度センサ。
JP8207355A 1995-08-16 1996-08-06 回転角速度センサ Pending JPH09119942A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19530007A DE19530007C2 (de) 1995-08-16 1995-08-16 Drehratensensor
DE19530007.6 1995-08-16

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH09119942A true JPH09119942A (ja) 1997-05-06

Family

ID=7769537

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP8207355A Pending JPH09119942A (ja) 1995-08-16 1996-08-06 回転角速度センサ

Country Status (3)

Country Link
US (1) US5728936A (ja)
JP (1) JPH09119942A (ja)
DE (1) DE19530007C2 (ja)

Cited By (32)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10339640A (ja) * 1997-04-10 1998-12-22 Nissan Motor Co Ltd 角速度センサ
JP2000009471A (ja) * 1998-06-18 2000-01-14 Aisin Seiki Co Ltd 角速度センサ
JP2000097708A (ja) * 1998-09-18 2000-04-07 Denso Corp 角速度センサとその製造方法
JP2000329562A (ja) * 1999-03-12 2000-11-30 Denso Corp 角速度センサ装置
US6267008B1 (en) 1998-10-23 2001-07-31 Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha Angular rate detecting device
JP2001304872A (ja) * 2000-02-18 2001-10-31 Denso Corp 角速度センサ
JP2003510573A (ja) * 1999-09-24 2003-03-18 ザ・チャールズ・スターク・ドレイパー・ラボラトリー・インコーポレイテッド 微細組立式音叉ジャイロスコープおよび面外回転を検知するための関連する３軸慣性測定システム
US6557414B2 (en) 1998-11-25 2003-05-06 Hitachi, Ltd. Inertia sensor and method of fabricating the same
JP2004518971A (ja) * 2001-02-21 2004-06-24 ローベルト　ボツシユ　ゲゼルシヤフト　ミツト　ベシユレンクテル　ハフツング 回転レートセンサー
JP2004518969A (ja) * 2001-02-21 2004-06-24 ローベルト　ボツシユ　ゲゼルシヤフト　ミツト　ベシユレンクテル　ハフツング ヨーレートセンサ
JP2004518970A (ja) * 2001-02-21 2004-06-24 ローベルト　ボツシユ　ゲゼルシヤフト　ミツト　ベシユレンクテル　ハフツング 回転レートセンサー
JP2005516207A (ja) * 2002-01-30 2005-06-02 ローベルト　ボツシユ　ゲゼルシヤフト　ミツト　ベシユレンクテル　ハフツング マイクロメカニカル回転速度センサ
JP2005292117A (ja) * 2004-03-12 2005-10-20 Matsushita Electric Works Ltd ジャイロセンサおよびそれを用いたセンサ装置
JP2006058022A (ja) * 2004-08-17 2006-03-02 Nippon Soken Inc 角速度センサ
JP2006071477A (ja) * 2004-09-02 2006-03-16 Denso Corp 角速度センサ
JP2006138855A (ja) * 2004-11-12 2006-06-01 Ind Technol Res Inst 回転量計測装置とその製作方法
JP2007519891A (ja) * 2003-09-25 2007-07-19 キオニックス インコーポレイテッド Ｚ軸角速度センサー
JP2007199077A (ja) * 2007-02-26 2007-08-09 Denso Corp 振動型角速度センサ
JP2008145338A (ja) * 2006-12-12 2008-06-26 Hitachi Ltd 角速度センサ
JP2008545128A (ja) * 2005-07-05 2008-12-11 テールズ 振動質量体の運動の示差測定のための微細機械加工されたジャイロメータセンサ
JP2009075135A (ja) * 2009-01-09 2009-04-09 Wacoh Corp 角速度センサ
JP2009520970A (ja) * 2005-12-23 2009-05-28 コミサリア、ア、レネルジ、アトミク 少なくとも２つの機械的に結合された振動質量体を備えるマイクロシステム、より詳細にはマイクロジャイロ
JP2009150815A (ja) * 2007-12-21 2009-07-09 Toyota Central R&D Labs Inc 角速度センサ
JP2009529666A (ja) * 2006-03-10 2009-08-20 コンティネンタル・テーベス・アクチエンゲゼルシヤフト・ウント・コンパニー・オッフェネ・ハンデルスゲゼルシヤフト 連結棒を有する回転速度センサ
WO2009119470A1 (ja) * 2008-03-24 2009-10-01 アルプス電気株式会社 角速度センサ
JP2010531446A (ja) * 2007-06-29 2010-09-24 ノースロップ グルマン リテフ ゲーエムベーハー コリオリジャイロ
JP2010531447A (ja) * 2007-06-29 2010-09-24 ノースロップ グルマン リテフ ゲーエムベーハー 回転速度センサー
JP2011053185A (ja) * 2009-09-04 2011-03-17 Denso Corp 振動型角速度センサ
JP2011191318A (ja) * 2011-05-30 2011-09-29 Wacoh Corp 角速度センサ
JP2012519295A (ja) * 2009-03-02 2012-08-23 ヴィーティーアイ テクノロジーズ オーワイ 角速度の振動微小機械センサ
WO2017056222A1 (ja) * 2015-09-30 2017-04-06 株式会社日立製作所 ジャイロスコープ
JP2018136132A (ja) * 2017-02-20 2018-08-30 セイコーエプソン株式会社 ジャイロセンサー、電子機器、および移動体

Families Citing this family (103)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100327481B1 (ko) * 1995-12-27 2002-06-24 윤종용 마이크로 자이로스코프
JP3039364B2 (ja) * 1996-03-11 2000-05-08 株式会社村田製作所 角速度センサ
JPH1047966A (ja) * 1996-07-31 1998-02-20 Aisin Seiki Co Ltd 角速度センサ
US5945599A (en) * 1996-12-13 1999-08-31 Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho Resonance type angular velocity sensor
US5911156A (en) 1997-02-24 1999-06-08 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Split electrode to minimize charge transients, motor amplitude mismatch errors, and sensitivity to vertical translation in tuning fork gyros and other devices
JP3702607B2 (ja) * 1997-02-28 2005-10-05 株式会社村田製作所 角速度検出素子
JPH112526A (ja) * 1997-06-13 1999-01-06 Mitsubishi Electric Corp 振動型角速度センサ
EP0911606A1 (en) 1997-10-23 1999-04-28 STMicroelectronics S.r.l. Integrated angular speed sensor device and production method thereof
US6122961A (en) 1997-09-02 2000-09-26 Analog Devices, Inc. Micromachined gyros
WO1999019734A2 (en) * 1997-10-14 1999-04-22 Irvine Sensors Corporation Multi-element micro gyro
JP4075022B2 (ja) * 1998-06-24 2008-04-16 アイシン精機株式会社 角速度センサ
JP3106395B2 (ja) * 1998-07-10 2000-11-06 株式会社村田製作所 角速度センサ
JP3796991B2 (ja) * 1998-12-10 2006-07-12 株式会社デンソー 角速度センサ
KR100363786B1 (ko) * 1999-05-13 2002-12-11 삼성전기주식회사 마이크로 자이로스코프
KR100363785B1 (ko) * 1999-06-04 2002-12-11 삼성전기주식회사 마이크로 자이로스코프
KR100374812B1 (ko) * 1999-11-04 2003-03-03 삼성전자주식회사 두개의 공진판을 가진 마이크로 자이로스코프
KR100373484B1 (ko) * 2000-01-27 2003-02-25 국방과학연구소 진동형 마이크로자이로스코프
WO2001079862A1 (en) * 2000-04-14 2001-10-25 Microsensors, Inc. Z-axis micro-gyro
US6873931B1 (en) 2000-10-10 2005-03-29 Csi Technology, Inc. Accelerometer based angular position sensor
JP2002188924A (ja) * 2000-12-20 2002-07-05 Denso Corp 半導体装置
US6742389B2 (en) 2001-01-24 2004-06-01 The Regents Of The University Of Michigan Filter-based method and system for measuring angular speed of an object
KR100418624B1 (ko) * 2001-02-12 2004-02-11 (주) 인텔리마이크론즈 자이로스코프 및 그 제조 방법
US6474160B1 (en) * 2001-05-24 2002-11-05 Northrop Grumman Corporation Counterbalanced silicon tuned multiple accelerometer-gyro
US6955084B2 (en) * 2001-08-10 2005-10-18 The Boeing Company Isolated resonator gyroscope with compact flexures
US7017410B2 (en) * 2001-08-10 2006-03-28 The Boeing Company Isolated resonator gyroscope with a drive and sense plate
US7316161B2 (en) 2002-01-12 2008-01-08 Robert Bosch Gmbh Rotation rate sensor
JP2005514608A (ja) 2002-01-12 2005-05-19 ローベルト　ボツシユ　ゲゼルシヤフト　ミツト　ベシユレンクテル　ハフツング 回転速度センサ
US6701786B2 (en) * 2002-04-29 2004-03-09 L-3 Communications Corporation Closed loop analog gyro rate sensor
US6944931B2 (en) * 2002-08-12 2005-09-20 The Boeing Company Method of producing an integral resonator sensor and case
US7040163B2 (en) * 2002-08-12 2006-05-09 The Boeing Company Isolated planar gyroscope with internal radial sensing and actuation
US7168318B2 (en) * 2002-08-12 2007-01-30 California Institute Of Technology Isolated planar mesogyroscope
AU2003259814A1 (en) 2002-08-12 2004-02-25 The Boeing Company Isolated planar gyroscope with internal radial sensing and actuation
US6823733B2 (en) * 2002-11-04 2004-11-30 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Z-axis vibration gyroscope
FR2846740B1 (fr) * 2002-11-05 2005-02-04 Thales Sa Capteur gyrometrique micro-usine, a detection dans le plan de la plaque usinee
US6860151B2 (en) * 2003-02-07 2005-03-01 Honeywell International Inc. Methods and systems for controlling movement within MEMS structures
US7514283B2 (en) * 2003-03-20 2009-04-07 Robert Bosch Gmbh Method of fabricating electromechanical device having a controlled atmosphere
JP2004294332A (ja) * 2003-03-27 2004-10-21 Denso Corp 半導体力学量センサ
US8912174B2 (en) * 2003-04-16 2014-12-16 Mylan Pharmaceuticals Inc. Formulations and methods for treating rhinosinusitis
US7994877B1 (en) 2008-11-10 2011-08-09 Hrl Laboratories, Llc MEMS-based quartz hybrid filters and a method of making the same
US8766745B1 (en) 2007-07-25 2014-07-01 Hrl Laboratories, Llc Quartz-based disk resonator gyro with ultra-thin conductive outer electrodes and method of making same
US7581443B2 (en) * 2005-07-20 2009-09-01 The Boeing Company Disc resonator gyroscopes
US7075160B2 (en) * 2003-06-04 2006-07-11 Robert Bosch Gmbh Microelectromechanical systems and devices having thin film encapsulated mechanical structures
US6936491B2 (en) 2003-06-04 2005-08-30 Robert Bosch Gmbh Method of fabricating microelectromechanical systems and devices having trench isolated contacts
US7285844B2 (en) * 2003-06-10 2007-10-23 California Institute Of Technology Multiple internal seal right micro-electro-mechanical system vacuum package
US6952041B2 (en) 2003-07-25 2005-10-04 Robert Bosch Gmbh Anchors for microelectromechanical systems having an SOI substrate, and method of fabricating same
FR2860865B1 (fr) * 2003-10-10 2006-01-20 Thales Sa Gyrometre micromecanique infertiel a diapason
US7043985B2 (en) * 2004-01-13 2006-05-16 Georgia Tech Research Corporation High-resolution in-plane tuning fork gyroscope and methods of fabrication
US7068125B2 (en) 2004-03-04 2006-06-27 Robert Bosch Gmbh Temperature controlled MEMS resonator and method for controlling resonator frequency
JP2005283428A (ja) * 2004-03-30 2005-10-13 Denso Corp 力学量センサ装置
US7102467B2 (en) * 2004-04-28 2006-09-05 Robert Bosch Gmbh Method for adjusting the frequency of a MEMS resonator
US7437253B2 (en) * 2004-07-29 2008-10-14 The Boeing Company Parametrically disciplined operation of a vibratory gyroscope
US7302847B2 (en) * 2004-08-17 2007-12-04 Nippon Soken, Inc. Physical quantity sensor having movable portion
DE102005041059B4 (de) * 2004-09-02 2014-06-26 Denso Corporation Winkelratensensor und Anbringungsstruktur eines Winkelratensensors
US7267005B1 (en) * 2005-03-02 2007-09-11 United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army SOI-MEMS gyroscope having three-fold symmetry
US7228738B2 (en) * 2005-06-06 2007-06-12 Bei Technologies, Inc. Torsional rate sensor with momentum balance and mode decoupling
US7222533B2 (en) * 2005-06-06 2007-05-29 Bei Technologies, Inc. Torsional rate sensor with momentum balance and mode decoupling
US20070170528A1 (en) 2006-01-20 2007-07-26 Aaron Partridge Wafer encapsulated microelectromechanical structure and method of manufacturing same
US7555824B2 (en) 2006-08-09 2009-07-07 Hrl Laboratories, Llc Method for large scale integration of quartz-based devices
FR2905457B1 (fr) * 2006-09-01 2008-10-17 Commissariat Energie Atomique Microsysteme, plus particulierement microgyrometre, avec element de detection a electrodes capacitives.
US8061201B2 (en) 2007-07-13 2011-11-22 Georgia Tech Research Corporation Readout method and electronic bandwidth control for a silicon in-plane tuning fork gyroscope
US10266398B1 (en) 2007-07-25 2019-04-23 Hrl Laboratories, Llc ALD metal coatings for high Q MEMS structures
US7836765B2 (en) * 2007-07-31 2010-11-23 The Boeing Company Disc resonator integral inertial measurement unit
DE102007057042A1 (de) 2007-09-10 2009-03-12 Continental Teves Ag & Co. Ohg Mikromechanischer Drehratensensor mit Kopplungsbalken und Aufhängungs-Federelementen zur Unterdrückung der Quadratur
US8042396B2 (en) 2007-09-11 2011-10-25 Stmicroelectronics S.R.L. Microelectromechanical sensor with improved mechanical decoupling of sensing and driving modes
US8151640B1 (en) 2008-02-05 2012-04-10 Hrl Laboratories, Llc MEMS on-chip inertial navigation system with error correction
US7802356B1 (en) 2008-02-21 2010-09-28 Hrl Laboratories, Llc Method of fabricating an ultra thin quartz resonator component
JP5228675B2 (ja) * 2008-07-29 2013-07-03 富士通株式会社 角速度センサおよび電子装置
ITTO20090489A1 (it) 2008-11-26 2010-12-27 St Microelectronics Srl Circuito di lettura per un giroscopio mems multi-asse avente direzioni di rilevamento inclinate rispetto agli assi di riferimento, e corrispondente giroscopio mems multi-asse
IT1391973B1 (it) * 2008-11-26 2012-02-02 St Microelectronics Rousset Giroscopio microelettromeccanico mono o biassiale con aumentata sensibilita' al rilevamento di velocita' angolari
IT1391972B1 (it) 2008-11-26 2012-02-02 St Microelectronics Rousset Giroscopio microelettromeccanico con movimento di azionamento rotatorio e migliorate caratteristiche elettriche
IT1392741B1 (it) 2008-12-23 2012-03-16 St Microelectronics Rousset Giroscopio microelettromeccanico con migliorata reiezione di disturbi di accelerazione
US8393212B2 (en) 2009-04-01 2013-03-12 The Boeing Company Environmentally robust disc resonator gyroscope
US8322028B2 (en) * 2009-04-01 2012-12-04 The Boeing Company Method of producing an isolator for a microelectromechanical system (MEMS) die
IT1394007B1 (it) * 2009-05-11 2012-05-17 St Microelectronics Rousset Struttura microelettromeccanica con reiezione migliorata di disturbi di accelerazione
US8327526B2 (en) 2009-05-27 2012-12-11 The Boeing Company Isolated active temperature regulator for vacuum packaging of a disc resonator gyroscope
US9970764B2 (en) 2009-08-31 2018-05-15 Georgia Tech Research Corporation Bulk acoustic wave gyroscope with spoked structure
US9097524B2 (en) 2009-09-11 2015-08-04 Invensense, Inc. MEMS device with improved spring system
US8534127B2 (en) 2009-09-11 2013-09-17 Invensense, Inc. Extension-mode angular velocity sensor
US8176607B1 (en) 2009-10-08 2012-05-15 Hrl Laboratories, Llc Method of fabricating quartz resonators
DE102009046506B4 (de) 2009-11-06 2024-01-18 Robert Bosch Gmbh Drehratensensor
ITTO20091042A1 (it) 2009-12-24 2011-06-25 St Microelectronics Srl Giroscopio integrato microelettromeccanico con migliorata struttura di azionamento
US8912711B1 (en) 2010-06-22 2014-12-16 Hrl Laboratories, Llc Thermal stress resistant resonator, and a method for fabricating same
DE102010038919B4 (de) 2010-08-04 2018-06-07 Robert Bosch Gmbh Mikromechanisches System
JP5822177B2 (ja) * 2011-05-20 2015-11-24 セイコーエプソン株式会社 ジャイロセンサー、電子機器
ITTO20110806A1 (it) 2011-09-12 2013-03-13 St Microelectronics Srl Dispositivo microelettromeccanico integrante un giroscopio e un accelerometro
JP6191151B2 (ja) * 2012-05-29 2017-09-06 株式会社デンソー 物理量センサ
JP6016228B2 (ja) * 2012-07-03 2016-10-26 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 センサデバイス
US9250074B1 (en) 2013-04-12 2016-02-02 Hrl Laboratories, Llc Resonator assembly comprising a silicon resonator and a quartz resonator
US9599470B1 (en) 2013-09-11 2017-03-21 Hrl Laboratories, Llc Dielectric high Q MEMS shell gyroscope structure
US9404747B2 (en) 2013-10-30 2016-08-02 Stmicroelectroncs S.R.L. Microelectromechanical gyroscope with compensation of quadrature error drift
US9977097B1 (en) 2014-02-21 2018-05-22 Hrl Laboratories, Llc Micro-scale piezoelectric resonating magnetometer
US9991863B1 (en) 2014-04-08 2018-06-05 Hrl Laboratories, Llc Rounded and curved integrated tethers for quartz resonators
US10308505B1 (en) 2014-08-11 2019-06-04 Hrl Laboratories, Llc Method and apparatus for the monolithic encapsulation of a micro-scale inertial navigation sensor suite
US10031191B1 (en) 2015-01-16 2018-07-24 Hrl Laboratories, Llc Piezoelectric magnetometer capable of sensing a magnetic field in multiple vectors
FI127202B (en) * 2015-04-16 2018-01-31 Murata Manufacturing Co Three axis gyroscope
CN106066175B (zh) * 2015-04-24 2019-09-24 意法半导体股份有限公司 用于感测角速率的微机电陀螺仪及感测角速率的方法
KR101679592B1 (ko) * 2015-05-12 2016-11-25 주식회사 신성씨앤티 대칭형 z축 멤스 자이로스코프
US9689677B2 (en) 2015-06-19 2017-06-27 Nxp Usa, Inc. MEMS device with common mode rejection structure
US10110198B1 (en) 2015-12-17 2018-10-23 Hrl Laboratories, Llc Integrated quartz MEMS tuning fork resonator/oscillator
US10175307B1 (en) 2016-01-15 2019-01-08 Hrl Laboratories, Llc FM demodulation system for quartz MEMS magnetometer
DE102016211984A1 (de) * 2016-06-30 2018-01-04 Robert Bosch Gmbh Inertialsensor zur Messung einer Drehrate und/oder Beschleunigung
US10192850B1 (en) 2016-09-19 2019-01-29 Sitime Corporation Bonding process with inhibited oxide formation
US11237000B1 (en) 2018-05-09 2022-02-01 Hrl Laboratories, Llc Disk resonator gyroscope with out-of-plane electrodes

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4022495A1 (de) * 1990-07-14 1992-01-23 Bosch Gmbh Robert Mikromechanischer drehratensensor
US5396797A (en) * 1991-02-08 1995-03-14 Alliedsignal Inc. Triaxial angular rate and acceleration sensor
US5359893A (en) * 1991-12-19 1994-11-01 Motorola, Inc. Multi-axes gyroscope
JPH05333038A (ja) * 1992-06-03 1993-12-17 Canon Inc 角速度センサ
DE69413792T2 (de) * 1994-01-25 1999-03-04 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc., Cambridge, Mass. Mikromechanischer Stimmgabelumdrehungsmesser mit kammförmigen Antriebselemente
FR2726361B1 (fr) * 1994-10-28 1997-01-17 Sextant Avionique Microgyrometre

Cited By (40)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10339640A (ja) * 1997-04-10 1998-12-22 Nissan Motor Co Ltd 角速度センサ
JP2000009471A (ja) * 1998-06-18 2000-01-14 Aisin Seiki Co Ltd 角速度センサ
JP2000097708A (ja) * 1998-09-18 2000-04-07 Denso Corp 角速度センサとその製造方法
US6267008B1 (en) 1998-10-23 2001-07-31 Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha Angular rate detecting device
US6557414B2 (en) 1998-11-25 2003-05-06 Hitachi, Ltd. Inertia sensor and method of fabricating the same
JP2000329562A (ja) * 1999-03-12 2000-11-30 Denso Corp 角速度センサ装置
JP2003510573A (ja) * 1999-09-24 2003-03-18 ザ・チャールズ・スターク・ドレイパー・ラボラトリー・インコーポレイテッド 微細組立式音叉ジャイロスコープおよび面外回転を検知するための関連する３軸慣性測定システム
DE10107327B4 (de) * 2000-02-18 2013-01-24 Denso Corporation Zur Verhinderung einer unnötigen Oszillation geeigneter Winkelgeschwindigkeitssensor
JP2001304872A (ja) * 2000-02-18 2001-10-31 Denso Corp 角速度センサ
JP2004518971A (ja) * 2001-02-21 2004-06-24 ローベルト　ボツシユ　ゲゼルシヤフト　ミツト　ベシユレンクテル　ハフツング 回転レートセンサー
JP2004518970A (ja) * 2001-02-21 2004-06-24 ローベルト　ボツシユ　ゲゼルシヤフト　ミツト　ベシユレンクテル　ハフツング 回転レートセンサー
JP2004518969A (ja) * 2001-02-21 2004-06-24 ローベルト　ボツシユ　ゲゼルシヤフト　ミツト　ベシユレンクテル　ハフツング ヨーレートセンサ
KR100978982B1 (ko) * 2001-02-21 2010-08-30 로베르트 보쉬 게엠베하 회전 속도 센서
JP2005516207A (ja) * 2002-01-30 2005-06-02 ローベルト　ボツシユ　ゲゼルシヤフト　ミツト　ベシユレンクテル　ハフツング マイクロメカニカル回転速度センサ
JP2007519891A (ja) * 2003-09-25 2007-07-19 キオニックス インコーポレイテッド Ｚ軸角速度センサー
JP2005292117A (ja) * 2004-03-12 2005-10-20 Matsushita Electric Works Ltd ジャイロセンサおよびそれを用いたセンサ装置
JP4654668B2 (ja) * 2004-03-12 2011-03-23 パナソニック電工株式会社 ジャイロセンサおよびそれを用いたセンサ装置
JP2006058022A (ja) * 2004-08-17 2006-03-02 Nippon Soken Inc 角速度センサ
JP2006071477A (ja) * 2004-09-02 2006-03-16 Denso Corp 角速度センサ
JP2006138855A (ja) * 2004-11-12 2006-06-01 Ind Technol Res Inst 回転量計測装置とその製作方法
JP2008545128A (ja) * 2005-07-05 2008-12-11 テールズ 振動質量体の運動の示差測定のための微細機械加工されたジャイロメータセンサ
JP2009520970A (ja) * 2005-12-23 2009-05-28 コミサリア、ア、レネルジ、アトミク 少なくとも２つの機械的に結合された振動質量体を備えるマイクロシステム、より詳細にはマイクロジャイロ
JP2009529666A (ja) * 2006-03-10 2009-08-20 コンティネンタル・テーベス・アクチエンゲゼルシヤフト・ウント・コンパニー・オッフェネ・ハンデルスゲゼルシヤフト 連結棒を有する回転速度センサ
JP2008145338A (ja) * 2006-12-12 2008-06-26 Hitachi Ltd 角速度センサ
JP2007199077A (ja) * 2007-02-26 2007-08-09 Denso Corp 振動型角速度センサ
JP2010531446A (ja) * 2007-06-29 2010-09-24 ノースロップ グルマン リテフ ゲーエムベーハー コリオリジャイロ
JP2010531447A (ja) * 2007-06-29 2010-09-24 ノースロップ グルマン リテフ ゲーエムベーハー 回転速度センサー
US8342023B2 (en) 2007-06-29 2013-01-01 Northrop Grumman Litef Gmbh Coriolis gyro
JP2009150815A (ja) * 2007-12-21 2009-07-09 Toyota Central R&D Labs Inc 角速度センサ
US8104344B2 (en) 2007-12-21 2012-01-31 Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho Angular velocity sensor utilizing coriolis force
WO2009119470A1 (ja) * 2008-03-24 2009-10-01 アルプス電気株式会社 角速度センサ
JP2009075135A (ja) * 2009-01-09 2009-04-09 Wacoh Corp 角速度センサ
JP2012519295A (ja) * 2009-03-02 2012-08-23 ヴィーティーアイ テクノロジーズ オーワイ 角速度の振動微小機械センサ
US8904865B2 (en) 2009-03-02 2014-12-09 Murata Electronics Oy Vibrating micro-mechanical sensor of angular velocity
US8997565B2 (en) 2009-03-02 2015-04-07 Murata Electronics Oy Micro-mechanical sensor of angular velocity
TWI481872B (zh) * 2009-03-02 2015-04-21 Murata Electronics Oy 微機械振動式角速度感測器
JP2011053185A (ja) * 2009-09-04 2011-03-17 Denso Corp 振動型角速度センサ
JP2011191318A (ja) * 2011-05-30 2011-09-29 Wacoh Corp 角速度センサ
WO2017056222A1 (ja) * 2015-09-30 2017-04-06 株式会社日立製作所 ジャイロスコープ
JP2018136132A (ja) * 2017-02-20 2018-08-30 セイコーエプソン株式会社 ジャイロセンサー、電子機器、および移動体

Also Published As

Publication number Publication date
DE19530007A1 (de) 1997-02-20
US5728936A (en) 1998-03-17
DE19530007C2 (de) 1998-11-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH09119942A (ja) 回転角速度センサ
KR101105059B1 (ko) 수직으로 집적화된 일렉트로닉스 및 웨이퍼 스케일 밀봉패키징을 갖는 ｘ―ｙ축 듀얼 매스 튜닝 포크자이로스코프를 제조 방법
US7621183B2 (en) X-Y axis dual-mass tuning fork gyroscope with vertically integrated electronics and wafer-scale hermetic packaging
TWI247896B (en) X-Y axis dual-mass tuning fork gyroscope with vertically integrated electronics and wafer-scale hermetic packaging
KR101100021B1 (ko) Ｚ-축 각속도 센서
US6484578B2 (en) Vibrating beam accelerometer
JP5620903B2 (ja) 振動型マイクロメカニカル角速度センサ
US6349597B1 (en) Rotation rate sensor with uncoupled mutually perpendicular primary and secondary oscillations
JP5450451B2 (ja) 垂直方向に集積した電子回路およびウェハスケール密封包装を含むｘ−ｙ軸二重質量音叉ジャイロスコープ
US6089088A (en) Vibrating microgyrometer
US7546768B2 (en) Mounting structure of angular rate sensor
EP1098170B1 (en) Microgyroscope with two resonant plates
US5537872A (en) Angular rate sensor
JP2004518971A (ja) 回転レートセンサー
JP2008545128A (ja) 振動質量体の運動の示差測定のための微細機械加工されたジャイロメータセンサ
JP3882972B2 (ja) 角速度センサ
JPH112526A (ja) 振動型角速度センサ
JP2000046560A (ja) 角速度センサ
JP2013134064A (ja) 振動型角速度センサ
JP4362877B2 (ja) 角速度センサ
US5656777A (en) Miniature box vibrating gyroscope
JP4126826B2 (ja) 角速度センサ
JP2000074673A (ja) 複合運動センサ
US20200088519A1 (en) Vibration type angular velocity sensor
JP2012047537A (ja) 角速度センサ

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20060714

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20060802

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20061031

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20061106

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070201

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20070914