JPH08278467A - Led・レンズアレイヘッド - Google Patents
Led・レンズアレイヘッドInfo
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Landscapes
- Optical Fibers, Optical Fiber Cores, And Optical Fiber Bundles (AREA)
Abstract
の小さいLEDアレイヘッドを提供する。 【構成】 LEDアレイチップ1の大きさと略同程度の
大きさの屈折率分布レンズ(GRINレンズ)2を各L
EDアレイチップの周期に対応させてアレイ化した結像
光学系を有する。LEDアレイチップ1上の各LED素
子からの出射光束の強度中心がGRINレンズ2の光軸
(中心)近傍に集束する。ここで用いるGRINレンズ
は、レンズ長をZ0、蛇行周期をpとした時、 1/2p<Z0≦p を満足すれば、等倍正立実像系を構成し、LEDアレイ
のLED光源間隔と一致するドットを像面上に形成する
ことができる。こうした構成をとることにより、結像素
子のつなぎ目による光量むらやビームスポットの不均一
性を大きく低減することが可能となる。
Description
ting Diode:発光ダイオード)アレイヘッドとレンズ
アレイよりなるLED・レンズアレイに関し、より詳細
には、LEDプリンタ、ディジタル複写機、ディジタル
ファクシミリ等におけるLED・レンズアレイヘッド
(結像光学系)に関する。
ッドの光学系を示す図で、31はLED(Light Emit
ting Diode)アレイチップ、31-1〜33-nはLED
素子、32は屈折率分布(GRIN:Gradient Index)
レンズ、33は像面である。
1-1〜31-nは、等倍正立実像系のGRINレンズ32
を通して像面33上にドット33-1〜33-nを形成す
る。この時、LED素子31-4,31-8からの出射光束
(ここでは出射光束の中心強度を示す光線のみを図示し
た)は、GRINレンズ32の光軸近傍を通るため光量
ロスが少なく、安定したビームスポットを像面33上に
形成することができる。ところが、LEDアレイチップ
31とGRINレンズ32の配列周期が一致していない
ため、LED素子31-2,31-6,31-10からの出射
光束は、GRINレンズ32のつなぎ目付近に入射する
ため、光量ロスが大きく、つなぎ目でのフレア光や収差
のため、ビームスポット形状が乱れ易い。その結果、像
面33上のドット33-1〜33-11に光量むらやビーム
スポットの不均一を発生している。
MLA:Roof Mirror Lens Array)を用いた結像光学系
の例を示す図で、図6(a)は要部斜視図、図6(b)
はY方向(LAとRMAの配列方向)の基本構成と光路
(正立像系)を示す図、図6(c)はX方向(LA,R
MAの配列と直交する方向)の基本構成と光路(倒立像
系)を示す図で、このRMLAは、光路分離ミラー(S
M)41、レンズアレイ(LA)42、ルーフミラーア
レイ(RMA)43等から構成される等倍型の結像素子
であり、周知のように、44上の物体(o)の像(i)
を像面45に形成するものである。このRMLAと前述
のごときLEDアレイを用いて(物体(o)に代ってL
EDアレイを用いる)結像光学系を構成する場合にも、
LEDチップとRMLの配列周期が一致してないと、前
述のGRINレンズを用いた場合と同様、像面上のドッ
トに光量むらやビームスポットの不均一を発生する。
いたLEDアレイヘッドは、半導体レーザ(LD)を用
いたラスタースキャン方式に比べて機械動作部がないた
め、振動や騒音に対して信頼性が高く、また小型化に有
利といったメリットがある。その反面、1ライン内での
光量ばらつきが大きく、ビームスポット形状が各ドット
間で不均一になり易いといった問題点があった。こうし
た光量ばらつきやビームスポットの乱れは、出力画面上
で黒すじ等の濃度むらを発生し、特に写真画像のような
多値画像の場合に顕著にあらわれ易い。
の乱れは、LED自身よりも結像光学系に依るところが
大きい。すなわち、 結像光学素子(ロッド、ミラーレンズ、アレイ等)の
つなぎ目(素子の接合部)で光量ロスを生じるため、つ
なぎ目の周期で光量ばらつきを発生する。 結像光学素子つなぎ目付近でのフレア光の発生により
均一なビームスポットが得られない。
大きな技術課題として、高密度化技術がある。LEDア
レイヘッドは数十個のLEDアレイチップを接合し、長
尺化して使われるのが普通であるが、チップの接合部で
マージンを確保する必要がある。このマージンはウェハ
ーからチップを切り出す時の切りしろ及び接合時にチッ
プがぶつからないためのギャップからなる。通常、この
マージンは最低でも15μm程度見込んでおく必要があ
り、これが高密度実装の大きな弊害となっている。
れたもので、本発明の第1の目的は、光量ばらつきや、
ビームスポット径ばらつきの小さいLED・レンズアレ
イヘッドを提供することにある。また、本発明の第2の
目的は、高密度化に適したLED・レンズアレイヘッド
を提供することにある。
決するために、(1)発光源を有するLEDアレイチッ
プと、該LEDアレイチップの配列の周期に一致させて
配置された屈折率分布レンズアレイと、前記LEDアレ
イチップの各LED素子からの出射光束の強度中心を前
記屈折率分布レンズアレイの光軸近傍に集束させる集束
手段とを有すること、更には、(2)前記LEDアレイ
チップ上のLED発光素子を、前記屈折率分布レンズの
配列周期に一致するように、グループ分けするととも
に、各グループにおいて、各LED素子からの出射光束
の強度中心を前記屈折率分布レンズの光軸近傍に集束さ
せる集束手段を有すること、更には、(3)前記LED
アレイチップの各LED素子からの出射光束の強度中心
が屈折率分布レンズの光軸近傍に集束させる集束手段と
して、LEDチップ上の各LED素子の発光端面に傾き
をもたせるように配置したこと、更には、(4)前記屈
折率分布レンズの結像倍率を若干拡大したこと、或い
は、(5)複数の発光源を有するLEDアレイチップ
と、該LEDアレイチップの配列周期に一致させて配置
されたルーフミラーレンズアレイ(RMLA)とによ
り、正立結像光学系を構成したこと、更には、(6)前
記LEDアレイチップとして、端面発光型LEDアレイ
チップを用いるとともに、該LEDアレイチップの各L
ED素子からの出射光方向が、各々ルーフミラーレンズ
(RML)の中心近傍に集束するように、各LEDを傾
けて配置したこと、更には、(7)前記LEDアレイチ
ップ上のLED発光素子を、前記ルーフミラーレンズの
配列周期に一致するようにグループ分けするとともに、
各グループにおいて、各LED素子からの出射光束の強
度中心を前記ルーフミラーレンズの光軸近傍に集束させ
る集束手段を有すること、更には、(8)前記ルーフミ
ラーレンズの結像倍率を若干拡大にしたこと、更には、
(9)各ルーフミラーレンズアレイの間に光遮蔽板を配
置したことを特徴としたものである。
Dアレイチップの配列の周期に一致させて配置し、これ
により結像光学系を構成し、前記LEDアレイチップの
各LED素子からの出射光束の強度中心が、前記屈折率
分布レンズ又はルーフミラーレンズの光軸近傍に集束さ
せる。 (2)前記LEDアレイチップのLED素子からの出射
光束の強度中心が屈折率分布レンズ又はルーフミラーレ
ンズの光軸近傍に集束させるために、前記LEDアレイ
チップ上の各LED素子の発光端面に傾きをもたせて配
置する。 (3)LEDアレイチップの配列周期に屈折率分布レン
ズ又はルーフミラーレンズの配列周期を一致させること
により、光量むら、ビームスポット径のばらつきを小さ
くする。 (4)LEDアレイチップとして、端面発光型LEDア
レイチップを用いるとともに、そのLEDアレイチップ
の各LED素子からの出射光方向を各々屈折率分布レン
ズ又はルーフミラーレンズの中心近傍に集束するよう
に、各LEDを傾けて配置することにより、光量むら、
ビームスポット径のばらつきを小さくする。 (5)屈折率分布レンズ又はルーフミラーレンズの結像
倍率を若干拡大にすることにより、LEDチップ接合時
のマージンを取り易くし、高密度化を容易にする。 (6)各ルーフミラーレンズアレイの間に光遮蔽板を配
置し、フレア光による結像特性の劣化を防止する。 (7)LEDアレイチップ上のLED発光素子をいくつ
かのグループに分けるとともに、このグループの周期を
屈折率分布レンズ或いはルーフミラーレンズの配列周期
と一致させるように配設し、実装効率を高める。
する。図1は、本発明によるLEDアレイヘッドの一実
施例を説明するための構成図で、図中、1はLED(L
ight Emitting Diode)アレイチップ、2はGRIN
(Gradient Index)レンズ、3は像面である。
は端面発光型のいずれでもかまわない。LEDアレイチ
ップ1は、通常、数mm角のチップ内に数十個の発光源
を有している。本発明は、LEDアレイチップの大きさ
と略同程度の大きさの屈折率分布レンズ(GRIN(G
radient Index)レンズ)を各LEDアレイチップの周
期に対応させてアレイ化した結像光学系を有することを
特徴としている。さらに、LEDアレイチップ1上の各
LED素子からの出射光束の強度中心がGRINレンズ
の光軸(中心)近傍に集束する構成となっている。
をZ0、蛇行周期をpとした時、 1/2p<Z0≦p を満足すれば、等倍正立実像系を構成し、LEDアレイ
のLED光源間隔と一致するドットを像面上に形成する
ことができる。
素子からの出射光束のほとんどがGRINレンズの光軸
近傍を通るため、前述の結像素子のつなぎ目による光量
むらやビームスポットの不均一性を大きく低減すること
が可能となる。
ズ)は、「光用語事典」((株)オーム社、昭和56年
11月30日発行p63〜64)には以下のように説明
されている。すなわち、屈折率がふつう半径方向に分布
をもつ円柱状レンズ、半径方向の距離をγとしたとき、
屈折率n(γ)は、 n2(γ)=n2(0){1−(gγ)2+h4(gγ)4+h6(gγ)6+…} で与えられる。ここに、g,h4,h6:定数、ふつうg
γは1より十分小さく、 n(γ)=n(0){1−(gγ)2/2} と近似される。
をとって進み、円柱の長さをlとしたとき、焦点距離f
は、 f=1/(n(0)gsin(gl)) で与えられる。はじめの式のh4,h6を適当に選ぶこと
によって収差補正が行える。イオン交換、拡散重合法な
どの方法で、それぞれガラス、プラスチック製のものが
つくられている。
一例を説明するための構成図で、図中、11はLEDア
レイチップ、12は電極パターン、13はLED素子、
14はGRINレンズ、15は像面である。図1におい
て説明したように、各LED素子13からの出射光束の
強度中心がGRINレンズ14の光軸近傍に集束させる
集束手段として、LEDアレイチップ11上のLED素
子13の出射端面を光軸から離れるに従い、しだいに傾
けて配置することにより実現している。これは、LED
アレイチップ11の半導体パターン作成時に容易に達成
することができる。
の他の実施例(RMLAを用いた例)を説明するための
図で、図中、21はLEDアレイチップ、21-1〜21
-nはLED、22はレンズ、23はルーフミラー(R
M)で、同図は、RMLA光学系を等価回路図で示した
もので、実際には、図10に示したように、像面24
は、LEDアレイチップ21側になる。而して、この実
施例においても、LEDアレイチップ(画素密度に対応
したLEDが複数個配列されたチップ)21の周期に一
致させて、RMLAを配置させ、且つ、各LEDからの
出射光束の重心(強度が最も高い光束の方向)が、RM
Lの中心近傍に集束する構成となっており、これによ
り、これまでのレンズ環界での光量ロスや収差の影響に
よる光量むらやビームスポット径のばらつきを大幅に低
減可能としている。
射光束の重心がRMLの中心近傍に集束するように、前
記LED21-1〜21-nを配列するための一例を示す図
で、図2に示した実施例と同様に、各LED21-1〜2
1-nからの出射光に指向性を持たせるために、LEDチ
ップ21上の各LED21-1〜21-nの出射端面を各R
MLの光軸に対して傾けて配置し、チップ21の両端ほ
ど傾きが大きく、チップ中央部で光軸と平行になるよう
にLEDチップを構成するようにしている。このように
LEDの出射光束に指向性を持たせることは、端面型L
EDの場合、パターン作成の変更だけで容易に達成する
ことができる。
問題となるのが、各LEDアレイチップを接続する際の
マージン25である。多数のLEDアレイを接続して長
尺化する際、例えば、600dpiでは、各LED素子の
間隔は42μmピッチであり、接続部においてもそのピ
ッチを満足しなければならない。ところがチップ両端は
ダイシングと呼ばれるウェハーからの切削工程におい
て、切りしろのマージンが10μm程度は必要とされ
る。さらに、接続時にチップとチップが互いにぶつから
ないために5μmのマージンが必要とされ、トータルで
15μm程度のマージンを考えなければならず、これ
が、高密度化の大きな弊害となっている。
めに、図3に示すように、RMLAの結像倍率を若干拡
大光学系にし、つまり、RM23から像面24までの距
離をLED素子からRM23までの距離より大きくして
LEDチップを倍率分だけ小さく作成しておくことによ
り、チップ接合部のマージン25を確保するようにして
いる。
もはや等倍結像系ではなくなるため、LEDからの出射
光束が隣りのRMLに入射した場合、この光束がフレア
光となり結像性能を劣化させる。そこで、図3に示すよ
うに、各RMLの間に光遮蔽板26を設け、この光遮蔽
板26により、このフレア光をカットさせ、良好なビー
ムスポットを得るようにしている。
めの図で、図中、1はLEDアレイチップ、2は屈折率
分布(GRIN)レンズ、3は像面で、この実施例は、
LEDアレイチップ1上のLED発光素子をいくつかの
グループG1,G2に分けるとともにこのグループの周期
と屈折率分布レンズアレイ2のアレイ周期とが一致する
ように配置する。さらに、図6に示すように、グループ
G1,G2内の各LED発光素子13からの出射光束の強
度中心(重心)が、各屈折率分布レンズ2の光軸近傍に
集束する構成にする。光学配置をこのように設定するこ
とにより、各LED素子13からの殆どの光束はけられ
ることなくレンズ光軸近傍をトレースして像面3に達す
るため、光量ロス及び光量ばらつきが小さい光学系を実
現することが可能となる。また、光軸近傍を光束が通る
ことは、収差的にも有利であり(特に球面収差、コマ収
差が低減される)、安定したビームスポットを得ること
ができる。
保し、高密度実装に適した光学配置を実現するために、
GRINレンズ2の結像倍率を若干拡大光学系としてい
る。LEDチップ1上の前記LED素子のグループを倍
率分だけ小さく作成することにより、チップ自身が小さ
くなり、結果としてギャップ25を広く取ることができ
る。
したように、各LED素子13-1〜13-nからの出射光
束の強度中心をGRINレンズ2の光軸近傍に集束させ
る手段として、まず、LEDアレイチップ1上のグルー
プ分けされたLED素子群G1,G2において、LED発
光素子13の出射端面を光軸から離れるに従い、しだい
に傾けて配置することにより実現している。これはLE
Dアレイチップの半導体パターン作成時に容易に達成す
ることができる。図7に上述のごとくして得られる各グ
ループG1,G2内の各発光素子の光束強度分布の中心を
示す。
めの図で、図5に示した実施例と同様に、LEDアレイ
チップ1上のLED発光素子13-1〜13-nをいくつか
のグループG1,G2に分けるとともに、このグループの
周期とレンズ22、ルーフミラー(RM)23よりなる
ルーフミラーレンズアレイ(RMLA)の配列の周期が
一致するように配置し、さらにグループ内の各LED発
光素子13-1〜13-nからの出射光束の強度中心が、ル
ーフミラーレンズの光軸近傍に集束するように構成した
ものである。
より、各LED素子からの殆どの光束がけられることな
く、レンズ光軸の近傍をトレースして像面に達するため
光量ロス及び光量ばらつきが小さい光学系を実現するこ
とが可能となる。また、収差的に有利な光軸近傍を光束
がトレースし、且つつなぎ目でのフレア光が少ないた
め、安定したビームスポットを得ることができる。
の各LED素子からの出射光束の強度中心がRMLAの
中心近傍に集束させる手段として、各LED発光素子の
発光端面に傾きをもたせるように配置することにより、
更に、光量ばらつきが少なく、ビームスポット径の安定
したLEDAヘッドを提供することが可能となる。ま
た、この場合も、前記RMLの結像倍率を若干拡大する
ことにより、高密度実装に対応したLEDヘッドを提供
することが可能となる。
よると、以下のような効果がある。 (1)請求項1に対応する効果:屈折率分布レンズアレ
イは、LEDアレイチップの配列の周期に一致させて配
置され、これにより結像光学系を構成している。前記L
EDアレイチップの各LED素子からの出射光束の強度
中心は、前記屈折率分布レンズの光軸近傍に集束する。
このような構成をとることにより、GRINレンズのつ
なぎ目に伴う光量むらやビームスポットの乱れを効果的
に改善することができる。 (2)請求項2に対応する効果:前記LEDチップアレ
イ上のLED素子を複数のグループにグループ分けし、
このグループを屈折率分布レンズアレイの周期に一致さ
せるようにしたので、LEDチップアレイ上のLED素
子の実装効率を向上させることができる。 (3)請求項3に対応する効果:前記LEDアレイチッ
プのLED素子からの出射光束の強度中心を屈折率分布
レンズの光軸近傍に集束させるために、前記LEDアレ
イチップ上の各LED素子の発光端面に傾きをもたせて
配置してある。このような構成は、半導体作成プロセス
で容易に実現することができ、収差が良好なレンズの光
軸近傍を光束が通るため、安定したビームスポットを得
ることができる。また、つなぎ目(レンズ素子の接合
部)での光のけられが少なく、光量ロスを改善すること
ができる。 (4)請求項4に対応する効果:屈折率分布レンズの結
像倍率を高くすることによって、LEDチップ接合時の
マージンを取り易くすることができ、高密度化を容易に
達成することができる。 (5)請求項5に対応する効果:LEDチップアレイの
配列周期とRMLAの配列周期を一致させたので、これ
まで問題であった光量むら、ビームスポット径のばらつ
きの少ないLEDAヘッドを提供することができる。 (6)請求項6に対応する効果:前記LEDチップアレ
イ上のLED素子を複数のグループにグループ分けし、
このグループをルーフミラーレンズアレイの周期に一致
させるようにしたので、LEDチップアレイ上のLED
素子の実装効率を向上させることができる。 (7)請求項7に対応する効果:LEDアレイチップの
各LED素子からの出射光方向を各々RMLAの中心近
傍に集束するようにしたので、光量むらやスポット径の
ばらつきを小さくすることができる。 (8)請求項8に対応する効果:RMLAの結像倍率を
高くすることによって、LEDチップ接合時のマージン
を取り易くすることができ、高密度化を容易に達成する
ことができる。 (9)請求項9に対応する効果:各RMLL間に光遮蔽
板を設けることによって、請求項8の構成を採用した際
に発生し易い結像性能の劣化を防ぐことができる。
を説明するための構成図である。
するための構成図である。
例を説明するための構成図である。
するための構成図である。
を説明するための構成図である。
するための構成図である。
するための構成図である。
例を説明するための構成図である。
ヘッドの構成図である。
ドの構成図である。
プ、2…GRIN(Gradient Index)レンズ、3…像
面、11…LEDアレイチップ、12…電極パターン、
13-1〜13-n…LED素子、14…GRINレンズ、
15…像面、21…LEDアレイチップ、21-1〜21
-n…LED素子、22…レンズ、23…ルーフミラー、
24…像面、25…ギャップ、26…遮蔽板。
Claims (9)
- 【請求項1】 発光源を有するLEDアレイチップと、
該LEDアレイチップの配列の周期に一致させて配置さ
れた屈折率分布レンズアレイと、前記LEDアレイチッ
プの各LED素子からの出射光束の強度中心を前記屈折
率分布レンズアレイの光軸近傍に集束させる集束手段と
を有することを特徴とするLED・レンズアレイヘッ
ド。 - 【請求項2】 前記LEDアレイチップ上のLED発光
素子を、前記屈折率分布レンズの配列周期に一致するよ
うに、グループ分けするとともに、各グループにおい
て、各LED素子からの出射光束の強度中心を前記屈折
率分布レンズの光軸近傍に集束させる集束手段を有する
ことを特徴とする請求項1に記載のLED・レンズアレ
イヘッド。 - 【請求項3】 前記LEDアレイチップの各LED素子
からの出射光束の強度中心が屈折率分布レンズの光軸近
傍に集束させる集束手段として、LEDチップ上の各L
ED素子の発光端面に傾きをもたせるように配置したこ
とを特徴とする請求項1又は2に記載のLED・レンズ
アレイヘッド。 - 【請求項4】 前記屈折率分布レンズの結像倍率を若干
拡大したことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに
記載のLED・レンズアレイヘッド。 - 【請求項5】 複数の発光源を有するLEDアレイチッ
プと、該LEDアレイチップの配列周期に一致させて配
置されたルーフミラーレンズアレイとにより、正立結像
光学系を構成したことを特徴とするLED・レンズアレ
イヘッド。 - 【請求項6】 前記LEDアレイチップとして、端面発
光型LEDアレイチップを用いるとともに、該LEDア
レイチップの各LED素子からの出射光方向が、各々ル
ーフミラーレンズの中心近傍に集束するように、各LE
Dを傾けて配置したことを特徴とする請求項5に記載の
LED・レンズアレイヘッド。 - 【請求項7】 前記LEDアレイチップ上のLED発光
素子を、前記ルーフミラーレンズの配列周期に一致する
ようにグループ分けするとともに、各グループにおい
て、各LED素子からの出射光束の強度中心を前記ルー
フミラーレンズの光軸近傍に集束させる集束手段を有す
ることを特徴とする請求項5に記載のLED・レンズア
レイヘッド。 - 【請求項8】 前記ルーフミラーレンズの結像倍率を若
干拡大にしたことを特徴とする請求項5乃至7のいずれ
かに記載のLED・レンズアレイヘッド。 - 【請求項9】 各ルーフミラーレンズアレイの間に光遮
蔽板を配置したことを特徴とする請求項5乃至8のいず
れかに記載のLED・レンズアレイヘッド。
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