JPH08186373A - プリント配線板の製造方法 - Google Patents
プリント配線板の製造方法Info
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- JPH08186373A JPH08186373A JP32791694A JP32791694A JPH08186373A JP H08186373 A JPH08186373 A JP H08186373A JP 32791694 A JP32791694 A JP 32791694A JP 32791694 A JP32791694 A JP 32791694A JP H08186373 A JPH08186373 A JP H08186373A
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 14
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 71
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 30
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 30
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 30
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 23
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 22
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 19
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 14
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 claims description 12
- -1 polyethylene Polymers 0.000 claims description 6
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 claims description 6
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 claims description 6
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 5
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 4
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 claims description 4
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 claims description 3
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 claims description 3
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 claims description 3
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 claims description 3
- 239000004744 fabric Substances 0.000 claims description 3
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 claims description 3
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 claims description 3
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 claims description 3
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 claims description 3
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 2
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 5
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 3
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 3
- 239000002966 varnish Substances 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 230000000740 bleeding effect Effects 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004065 wastewater treatment Methods 0.000 description 2
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)
- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】高密度プリント配線板の製造において、回路パ
ターン部分の導体厚のばらつきを極小に抑えて所定の回
路幅/間隔を容易に得る。 【構成】導体層1上にめっきマスク3を形成した後、所
定の穴径で貫通孔1aを形成し、無電解銅めっき層4を
形成し、めっきマスク3上のみの無電解銅めっき層4を
研磨して除去後、貫通孔1a内のみに電気銅めっき層5
aを形成し、めっきマスク3を除去後、導体層1を露出
させる。次に、電着塗装により感光性電着レジスト膜6
をコーティングし乾燥を経て均一な感光膜とする。続い
て、感光性電着レジスト膜6面にマスクフィルムを用い
紫外線により露光し、現像液にて除去する。この後、露
出した導体層1の部分を酸性のエッチング液により除去
し、最後に、感光性電着レジスト膜6を除去する。
ターン部分の導体厚のばらつきを極小に抑えて所定の回
路幅/間隔を容易に得る。 【構成】導体層1上にめっきマスク3を形成した後、所
定の穴径で貫通孔1aを形成し、無電解銅めっき層4を
形成し、めっきマスク3上のみの無電解銅めっき層4を
研磨して除去後、貫通孔1a内のみに電気銅めっき層5
aを形成し、めっきマスク3を除去後、導体層1を露出
させる。次に、電着塗装により感光性電着レジスト膜6
をコーティングし乾燥を経て均一な感光膜とする。続い
て、感光性電着レジスト膜6面にマスクフィルムを用い
紫外線により露光し、現像液にて除去する。この後、露
出した導体層1の部分を酸性のエッチング液により除去
し、最後に、感光性電着レジスト膜6を除去する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はプリント配線板の製造方
法に関し、特にスルーホールを有する高密度のプリント
配線板の製造方法に関する。
法に関し、特にスルーホールを有する高密度のプリント
配線板の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、スルーホールプリント配線板
(以下、T/H PWBと記す)の製造には、図4
(a)〜(f)および図5(a)〜(f),図6
(a),(b)に示す様に、テンティング工法とパター
ンめっき工法が多く用いられており、従来例1のテンテ
ィング方法によれば、まず、図4(a)に示す様に、絶
縁基板2上に銅めっき層を含む導体層1とスルーホール
1bを形成した絶縁基板2上に図4(b)に示す様に、
感光性ドライフィルム9aをラミネートし、この上から
図4(c)に示す様に、配線回路用マスクフィルム7a
を介して所定の配線回路のパターンを紫外線8で焼き付
ける。次に、図4(d)に示す様に、現像液で未露光部
分のドライフィルムを除去し、エッチングレジスト9b
を得る。更に、図4(e)に示す様に、露出した導体層
1をエッチング除去した後、最後に、図4(f)に示す
様に、エッチングレジスト9bを剥離除去してT/H
PWBを得るものである。
(以下、T/H PWBと記す)の製造には、図4
(a)〜(f)および図5(a)〜(f),図6
(a),(b)に示す様に、テンティング工法とパター
ンめっき工法が多く用いられており、従来例1のテンテ
ィング方法によれば、まず、図4(a)に示す様に、絶
縁基板2上に銅めっき層を含む導体層1とスルーホール
1bを形成した絶縁基板2上に図4(b)に示す様に、
感光性ドライフィルム9aをラミネートし、この上から
図4(c)に示す様に、配線回路用マスクフィルム7a
を介して所定の配線回路のパターンを紫外線8で焼き付
ける。次に、図4(d)に示す様に、現像液で未露光部
分のドライフィルムを除去し、エッチングレジスト9b
を得る。更に、図4(e)に示す様に、露出した導体層
1をエッチング除去した後、最後に、図4(f)に示す
様に、エッチングレジスト9bを剥離除去してT/H
PWBを得るものである。
【0003】一方、従来例2のパターンめっき工法によ
れば、まず、図5(a)に示す様に、絶縁基板2上に一
次銅めっき層5bを含む導体層1とスルーホール1bを
形成した絶縁基板2上に図5(b)に示す様に、耐めっ
き性ドライフィルム9cをラミネートし、この上から図
5(c)に示す様に、めっきレジスト形成用マスクフィ
ルム7bを介して所定のめっきレジストパターンを紫外
線8で焼き付ける。次に、図5(d)に示す様に、現像
液で未露光部分の耐めっき性ドライフィルム9cを除去
しめっきレジスト9dとした後、更に、絶縁基板2上の
所定の配線回路部及びスルーホール1b内に電気めっき
を施し2次銅めっき層5cを形成する。次に、図5
(e)に示す様に、エッチングレジストとしての半田め
っき層10を形成する。次に、図5(f)に示す様に、
めっきレジスト9dを剥離除去した後、図6(a)に示
す様に、露出した導体層1をエッチング除去し、最後
に、図6(b)に示す様に、半田めっき層10を溶解除
去してT/H PWBを得るものである。
れば、まず、図5(a)に示す様に、絶縁基板2上に一
次銅めっき層5bを含む導体層1とスルーホール1bを
形成した絶縁基板2上に図5(b)に示す様に、耐めっ
き性ドライフィルム9cをラミネートし、この上から図
5(c)に示す様に、めっきレジスト形成用マスクフィ
ルム7bを介して所定のめっきレジストパターンを紫外
線8で焼き付ける。次に、図5(d)に示す様に、現像
液で未露光部分の耐めっき性ドライフィルム9cを除去
しめっきレジスト9dとした後、更に、絶縁基板2上の
所定の配線回路部及びスルーホール1b内に電気めっき
を施し2次銅めっき層5cを形成する。次に、図5
(e)に示す様に、エッチングレジストとしての半田め
っき層10を形成する。次に、図5(f)に示す様に、
めっきレジスト9dを剥離除去した後、図6(a)に示
す様に、露出した導体層1をエッチング除去し、最後
に、図6(b)に示す様に、半田めっき層10を溶解除
去してT/H PWBを得るものである。
【0004】その他のプリント配線板の製造方法とし
て、特開昭59−149091号公報に開示された従来
例3では、まず、図7(a)に示す様に、導体層1に合
成樹脂ワニス9eを両面にリバースロールコーターで厚
みが均一になるように塗布し乾燥させた後、図7(b)
に示す様に、所定の穴径の貫通孔1aを設ける。次に、
図7(c)に示す様に、無電解銅めっき層4及び電気銅
めっき層5aを形成しスルーホール1bとし、更に、ス
ルーホール1b内に半田めっき層10を形成し、エッチ
ングレジストとする。次に、図7(d)に示す様に、合
成樹脂ワニス9eを剥離除去後、図7(e)に示す様
に、スクリーン印刷にてエッチングレジストインク9f
を印刷し乾燥後、図7(f)に示す様に、露出した導体
層1をエッチング除去し、最後に、図7(g)に示す様
に、半田めっき層10を除去し配線回路1cとスルーホ
ールランド1dを形成してT/H PWBを得るもので
ある。
て、特開昭59−149091号公報に開示された従来
例3では、まず、図7(a)に示す様に、導体層1に合
成樹脂ワニス9eを両面にリバースロールコーターで厚
みが均一になるように塗布し乾燥させた後、図7(b)
に示す様に、所定の穴径の貫通孔1aを設ける。次に、
図7(c)に示す様に、無電解銅めっき層4及び電気銅
めっき層5aを形成しスルーホール1bとし、更に、ス
ルーホール1b内に半田めっき層10を形成し、エッチ
ングレジストとする。次に、図7(d)に示す様に、合
成樹脂ワニス9eを剥離除去後、図7(e)に示す様
に、スクリーン印刷にてエッチングレジストインク9f
を印刷し乾燥後、図7(f)に示す様に、露出した導体
層1をエッチング除去し、最後に、図7(g)に示す様
に、半田めっき層10を除去し配線回路1cとスルーホ
ールランド1dを形成してT/H PWBを得るもので
ある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし、高密度プリン
ト配線板の場合、従来例1のテンティング工法では絶縁
基板全面にスルーホール信頼性確保に必要なパネル銅め
っきを行う為、絶縁基板内のめっき厚の標準偏差は2.
5μm以上であり、回路形成時におけるパターン間隔,
仕上がり回路幅寸法のばらつきが大きい。
ト配線板の場合、従来例1のテンティング工法では絶縁
基板全面にスルーホール信頼性確保に必要なパネル銅め
っきを行う為、絶縁基板内のめっき厚の標準偏差は2.
5μm以上であり、回路形成時におけるパターン間隔,
仕上がり回路幅寸法のばらつきが大きい。
【0006】一方、従来例2のパターンめっき工法にお
いても二次銅めっき時に所望とする回路部のみの電気銅
めっきを行うため個々の回路パターンの粗の影響により
絶縁基板内のめっき厚の標準偏差は3μm以上であり、
テンティング工法と同様、パターン間隔,仕上がり回路
幅寸法のばらつきが大きく所定の回路幅/間隔精度を得
ることが困難である。
いても二次銅めっき時に所望とする回路部のみの電気銅
めっきを行うため個々の回路パターンの粗の影響により
絶縁基板内のめっき厚の標準偏差は3μm以上であり、
テンティング工法と同様、パターン間隔,仕上がり回路
幅寸法のばらつきが大きく所定の回路幅/間隔精度を得
ることが困難である。
【0007】又、従来例3においても、めっきレジスト
としての半田めっき工程の排水処理及びパターン形成に
スクリーン工法にてエッチングレジストインクを塗布す
る為インクのにじみにより高密度回路形成が困難である
といった課題があった。
としての半田めっき工程の排水処理及びパターン形成に
スクリーン工法にてエッチングレジストインクを塗布す
る為インクのにじみにより高密度回路形成が困難である
といった課題があった。
【0008】本発明の目的は、半田めっき工程の排水処
理やインクのにじみの問題がなく、又、パターン間隔,
仕上がり回路幅寸法のばらつきが小さく、高密度回路形
成が容易なプリント配線の製造方法を提供することにあ
る。
理やインクのにじみの問題がなく、又、パターン間隔,
仕上がり回路幅寸法のばらつきが小さく、高密度回路形
成が容易なプリント配線の製造方法を提供することにあ
る。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明のプリント板の製
造方法は、絶縁基板の両面の導体層上にめっきマスクを
形成する工程と、前記絶縁基板に所定の穴径の貫通孔を
形成する工程と、この貫通孔が形成された前記絶縁基板
の全面に無電解銅めっきを施し無電解銅めっき層を形成
する工程と、前記めっきマスク上のみの前記無電銅めっ
き層を研磨砥粒付きのブラシもしくはベルト研磨布にて
除去する工程と、前記貫通孔内のみに電気銅めっきを施
しスルーホールを形成する工程と、前記めっきマスクを
除去し前記導体層表面を露出させる工程と、前記スルー
ホール内を含む前記絶縁基板の全面に感光性電着レジス
トをコーティングし感光性電着レジスト膜を形成する工
程と、配線回路用マスクフィルムを用いて紫外線照射を
行い露光,現像する工程と、現像により露出した前記導
体層をエッチング液で除去する工程と、残存する前記感
光性電着レジスト膜を除去し配線回路を形成する工程と
を有する。ここで、前記めっきマスクが片面に粘着剤を
塗布したポリエチレン,ポリプロピレン,ポリ塩化ビニ
ルを含む熱可塑性樹脂フィルムであるか、または、ポリ
塩化ビニル,ポリ塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体を含
むストリッパブルレジストインキがスクリーン印刷法を
用いて形成されている。
造方法は、絶縁基板の両面の導体層上にめっきマスクを
形成する工程と、前記絶縁基板に所定の穴径の貫通孔を
形成する工程と、この貫通孔が形成された前記絶縁基板
の全面に無電解銅めっきを施し無電解銅めっき層を形成
する工程と、前記めっきマスク上のみの前記無電銅めっ
き層を研磨砥粒付きのブラシもしくはベルト研磨布にて
除去する工程と、前記貫通孔内のみに電気銅めっきを施
しスルーホールを形成する工程と、前記めっきマスクを
除去し前記導体層表面を露出させる工程と、前記スルー
ホール内を含む前記絶縁基板の全面に感光性電着レジス
トをコーティングし感光性電着レジスト膜を形成する工
程と、配線回路用マスクフィルムを用いて紫外線照射を
行い露光,現像する工程と、現像により露出した前記導
体層をエッチング液で除去する工程と、残存する前記感
光性電着レジスト膜を除去し配線回路を形成する工程と
を有する。ここで、前記めっきマスクが片面に粘着剤を
塗布したポリエチレン,ポリプロピレン,ポリ塩化ビニ
ルを含む熱可塑性樹脂フィルムであるか、または、ポリ
塩化ビニル,ポリ塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体を含
むストリッパブルレジストインキがスクリーン印刷法を
用いて形成されている。
【0010】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【0011】図1(a)〜(f),図2(a)〜(d)
は本発明の第1の実施例を説明する工程順に示した断面
図である。本発明の第1の実施例は、まず、図1(a)
に示す様に、絶縁基板2の両面の導体層1上にポリエチ
レン,ポリプロピレン,ポリ塩化ビニル等熱可塑性樹脂
からなるフィルム片面に粘着剤を塗布しためっきマスク
3を形成する。その後、図1(b)に示す様に、所定の
穴径で貫通孔1aを形成した後、図1(c)に示す様
に、絶縁基板2の貫通孔1a及び全面に0.1〜5.0
μmの無電解銅めっきを施し、絶縁基板2全体に無電解
銅めっき層4を形成して導体化を図る。更に、図1
(d)に示す様に、めっきマスク3上のみの無電解銅め
っき層4を研磨砥粒付きのブラシもしくはベルト研磨布
を用いて除去後、貫通孔1a内のみに導体厚として15
〜20μmの電気銅めっきを施し、電気銅めっき層5a
を形成してスルーホール1bとし、図1(e)に示す様
にめっきマスク3を除去し、導体層1を露出させる。次
に、図1(f)に示す様に、スルーホール1bを含む絶
縁基板2全面に電着塗装により感光性電着レジストをコ
ーティングし乾燥を経て均一な感光性電着レジスト膜6
とする。更に、図2(a)に示す様に、感光性電着レジ
スト膜6表面に配線回路用マスクフィルム7aを密着し
紫外線8により露光する。次に、図2(b)に示す様
に、配線回路用マスクフィルム7aを取り外し露光され
た部分の感光性電着レジスト膜6を1〜3wt%のNa
2 COやNa2 SiO3 等のアルカリ現像液で除去す
る。この後、図2(c)に示す様に、露出した導体層1
の部分を酸性のエッチング液により除去し、最後に、図
2(d)に示す様に、感光性電着レジスト膜6を1〜4
wt%のNaOHまたはKOHまたはKOH等の温水溶
液で剥離除去することにより配線回路1cとスルーホー
ルランド1dを形成して第1の実施例のT/H PWB
が得られる。
は本発明の第1の実施例を説明する工程順に示した断面
図である。本発明の第1の実施例は、まず、図1(a)
に示す様に、絶縁基板2の両面の導体層1上にポリエチ
レン,ポリプロピレン,ポリ塩化ビニル等熱可塑性樹脂
からなるフィルム片面に粘着剤を塗布しためっきマスク
3を形成する。その後、図1(b)に示す様に、所定の
穴径で貫通孔1aを形成した後、図1(c)に示す様
に、絶縁基板2の貫通孔1a及び全面に0.1〜5.0
μmの無電解銅めっきを施し、絶縁基板2全体に無電解
銅めっき層4を形成して導体化を図る。更に、図1
(d)に示す様に、めっきマスク3上のみの無電解銅め
っき層4を研磨砥粒付きのブラシもしくはベルト研磨布
を用いて除去後、貫通孔1a内のみに導体厚として15
〜20μmの電気銅めっきを施し、電気銅めっき層5a
を形成してスルーホール1bとし、図1(e)に示す様
にめっきマスク3を除去し、導体層1を露出させる。次
に、図1(f)に示す様に、スルーホール1bを含む絶
縁基板2全面に電着塗装により感光性電着レジストをコ
ーティングし乾燥を経て均一な感光性電着レジスト膜6
とする。更に、図2(a)に示す様に、感光性電着レジ
スト膜6表面に配線回路用マスクフィルム7aを密着し
紫外線8により露光する。次に、図2(b)に示す様
に、配線回路用マスクフィルム7aを取り外し露光され
た部分の感光性電着レジスト膜6を1〜3wt%のNa
2 COやNa2 SiO3 等のアルカリ現像液で除去す
る。この後、図2(c)に示す様に、露出した導体層1
の部分を酸性のエッチング液により除去し、最後に、図
2(d)に示す様に、感光性電着レジスト膜6を1〜4
wt%のNaOHまたはKOHまたはKOH等の温水溶
液で剥離除去することにより配線回路1cとスルーホー
ルランド1dを形成して第1の実施例のT/H PWB
が得られる。
【0012】図3(a)〜(e)は、本発明の第2の実
施例を説明する工程順に示した断面図である。本発明の
第2の実施例は、まず、図3(a)に示す様に、導体層
1上にポリ塩化ビニル,ポリ塩化ビニル−酢酸ビニル共
重合体等のストリッパブルレジストインキ11をスクリ
ーン印刷法を用いて図1(a)で示した第1の実施例の
めっきマスク3の代わりに塗布する。尚、この場合、予
めスルーホール電気銅めっき用の通電リード部の加工を
施し塗布する。次に、図3(b)に示す様に所定の穴径
で貫通孔1aを形成した後、図3(c)に示す様に、絶
縁基板2の貫通孔1a及び全面に0.1〜5.0μmの
無電解銅めっきを施し、絶縁基板2全体に無電解銅めっ
き層4を形成して導体化を図る。更に、図3(d)に示
す様に、ストリッパブルレジストインキ11上のみの無
電解銅めっき層4を研磨砥粒付きのブラシ或はバフを用
いて除去した後、貫通孔1a内のみに導体厚として15
〜20μmの電気銅めっきを施し、電気銅めっき層5a
を形成してスルーホール1bとし、図3(e)に示す様
に、ストリッパブルレジストインキ11を3〜10%N
aOH溶液等を用いて薬品処理もしくは機械的処理にて
剥離除去し導体層1を露出させる。この後については、
第1の実施例の図1(f)以降と同様の工程による。
施例を説明する工程順に示した断面図である。本発明の
第2の実施例は、まず、図3(a)に示す様に、導体層
1上にポリ塩化ビニル,ポリ塩化ビニル−酢酸ビニル共
重合体等のストリッパブルレジストインキ11をスクリ
ーン印刷法を用いて図1(a)で示した第1の実施例の
めっきマスク3の代わりに塗布する。尚、この場合、予
めスルーホール電気銅めっき用の通電リード部の加工を
施し塗布する。次に、図3(b)に示す様に所定の穴径
で貫通孔1aを形成した後、図3(c)に示す様に、絶
縁基板2の貫通孔1a及び全面に0.1〜5.0μmの
無電解銅めっきを施し、絶縁基板2全体に無電解銅めっ
き層4を形成して導体化を図る。更に、図3(d)に示
す様に、ストリッパブルレジストインキ11上のみの無
電解銅めっき層4を研磨砥粒付きのブラシ或はバフを用
いて除去した後、貫通孔1a内のみに導体厚として15
〜20μmの電気銅めっきを施し、電気銅めっき層5a
を形成してスルーホール1bとし、図3(e)に示す様
に、ストリッパブルレジストインキ11を3〜10%N
aOH溶液等を用いて薬品処理もしくは機械的処理にて
剥離除去し導体層1を露出させる。この後については、
第1の実施例の図1(f)以降と同様の工程による。
【0013】尚、第2の実施例では、図1(a)〜
(d)に示す第1の実施例のめっきマスク3を使用した
場合の粘着剤残りの問題がなく、又、スクリーン印刷が
可能である為めっきリード線の加工が容易にできる効果
がある。
(d)に示す第1の実施例のめっきマスク3を使用した
場合の粘着剤残りの問題がなく、又、スクリーン印刷が
可能である為めっきリード線の加工が容易にできる効果
がある。
【0014】
【発明の効果】以上説明した様に本発明は、プリント配
線板の製造方法において、所望する回路パターン部にお
ける導体厚の標準偏差が2.5〜3μmから1μmに低
減できるため、従来例1,従来例2および従来例3の工
法よりも下記に例挙する効果がある。
線板の製造方法において、所望する回路パターン部にお
ける導体厚の標準偏差が2.5〜3μmから1μmに低
減できるため、従来例1,従来例2および従来例3の工
法よりも下記に例挙する効果がある。
【0015】(1)従来例1の工法では形成困難であっ
た微小ランドスルーホールの形成が容易にできる。
た微小ランドスルーホールの形成が容易にできる。
【0016】(2)従来例2および従来例3の工法にお
けるめっきレジストとしての半田めっき工程が削除で
き、1%以上コストダウンできる。又、排水処理も容易
となる。
けるめっきレジストとしての半田めっき工程が削除で
き、1%以上コストダウンできる。又、排水処理も容易
となる。
【0017】(3)パターンめっき厚のばらつき低減に
より表面実装技術への対応が図れる。
より表面実装技術への対応が図れる。
【0018】(4)導体圧の標準偏差低減により、配線
幅=75μm,配線間隙=75μmの高密度回路形成が
できる。
幅=75μm,配線間隙=75μmの高密度回路形成が
できる。
【図1】(a)〜(f)は本発明の第1の実施例を説明
する工程順に示した断面図である。
する工程順に示した断面図である。
【図2】(a)〜(d)は本発明の第1の実施例を説明
する工程順に示した断面図である。
する工程順に示した断面図である。
【図3】(a)〜(e)は本発明の第2の実施例を説明
する工程順に示した断面図である。
する工程順に示した断面図である。
【図4】(a)〜(f)は従来例1のプリント配線板の
製造方法を説明する工程順に示した断面図である。
製造方法を説明する工程順に示した断面図である。
【図5】(a)〜(f)は従来例2のプリント配線板の
製造方法を説明する工程順に示した断面図である。
製造方法を説明する工程順に示した断面図である。
【図6】(a),(b)は従来例2のプリント配線板の
製造方法を説明する工程順に示した断面図である。
製造方法を説明する工程順に示した断面図である。
【図7】(a)〜(g)は従来例3のプリント配線板の
製造方法を説明する工程順に示した断面図である。
製造方法を説明する工程順に示した断面図である。
1 導体層 1a 貫通孔 1b スルーホール 1c 配線回路 1d スルーホールランド 2 絶縁基板 3 めっきマスク 4 無電解銅めっき層 5a 電気銅めっき層 5b 1次銅めっき層 5c 2次銅めっき層 6 感光性電着レジスト膜 7a 配線回路用マスクフィルム 7b めっきレジスト形成用マスクフィルム 8 紫外線 9a 感光性ドライフィルム 9b エッチングレジスト 9c 耐めっき性ドライフィルム 9d めっきレジスト 9e 合成樹脂ワニス 9f エッチングレジストインク 10 半田めっき層 11 ストリッパブルレジストインキ
Claims (3)
- 【請求項1】 絶縁基板の両面の導体層上にめっきマス
クを形成する工程と、前記絶縁基板に所定の穴径の貫通
孔を形成する工程と、この貫通孔が形成された前記絶縁
基板の全面に無電解銅めっきを施し、無電解銅めっき層
を形成する工程と、前記めっきマスク上のみの前記無電
解銅めっきを研磨砥粒付きのブラシもしくはベルト研磨
布にて除去する工程と、前記貫通孔内のみに電気銅めっ
きを施しスルーホールを形成する工程と、前記めっきマ
スクを除去し前記導体層表面を露出させる工程と、前記
スルーホール内を含む前記絶縁基板の全面に感光性電着
レジストをコーティングし感光性電着レシスト膜を形成
する工程と、配線回路用マスクフィルムを用いて紫外線
照射を行い露光,現像する工程と、現像により露出した
前記導体層をエッチング液で除去する工程と、残存する
前記感光性電着レジスト膜を除去し配線回路を形成する
工程とを有することを特徴とするプリント配線板の製造
方法。 - 【請求項2】 前記めっきマスクが片面に粘着剤を塗布
したポリエチレン,ポリプロピレン,ポリ塩化ビニルを
含む熱可塑性樹脂フィルムであることを特徴とする請求
項1記載のプリント配線板の製造方法。 - 【請求項3】 前記めっきマスクがポリ塩化ビニル,ポ
リ塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体を含むストリッパブ
ルレジストインキをスクリーン印刷法を用いて形成され
たことを特徴とする請求項1記載のプリント配線板の製
造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32791694A JPH08186373A (ja) | 1994-12-28 | 1994-12-28 | プリント配線板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32791694A JPH08186373A (ja) | 1994-12-28 | 1994-12-28 | プリント配線板の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08186373A true JPH08186373A (ja) | 1996-07-16 |
Family
ID=18204436
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP32791694A Pending JPH08186373A (ja) | 1994-12-28 | 1994-12-28 | プリント配線板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH08186373A (ja) |
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1994
- 1994-12-28 JP JP32791694A patent/JPH08186373A/ja active Pending
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---|---|---|---|
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