JPH0778701A - ネットワーク抵抗器とその製造方法 - Google Patents
ネットワーク抵抗器とその製造方法Info
- Publication number
- JPH0778701A JPH0778701A JP5247548A JP24754893A JPH0778701A JP H0778701 A JPH0778701 A JP H0778701A JP 5247548 A JP5247548 A JP 5247548A JP 24754893 A JP24754893 A JP 24754893A JP H0778701 A JPH0778701 A JP H0778701A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode layer
- thin film
- hole
- metal thin
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 17
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 31
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 28
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 28
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 26
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims abstract description 11
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 26
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 7
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 claims description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 2
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 abstract description 12
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 abstract description 4
- 238000010276 construction Methods 0.000 abstract 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 7
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 2
- SWELZOZIOHGSPA-UHFFFAOYSA-N palladium silver Chemical compound [Pd].[Ag] SWELZOZIOHGSPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910018487 Ni—Cr Inorganic materials 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N chromium nickel Chemical compound [Cr].[Ni] VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 229910001925 ruthenium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- WOCIAKWEIIZHES-UHFFFAOYSA-N ruthenium(iv) oxide Chemical compound O=[Ru]=O WOCIAKWEIIZHES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 238000009966 trimming Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
- Details Of Resistors (AREA)
- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
Abstract
容易で歩留が良く、信頼性も高いネットワーク抵抗器と
その製造方法を提供する。 【構成】 スルーホール30を横切るように分割溝32
で分割され、凹部22を有した基板10を設け、このス
ルーホール30による凹部22の内壁面に真空蒸着やス
パッタリングにより金属薄膜電極層24が形成されてい
る。この金属薄膜電極層24の表面に、メッキによる電
極層28が形成されている。
Description
抵抗体を設けてネットワークを形成しその電極を回路基
板表面に表面実装する表面実装型のネットワーク抵抗器
とその製造方法に関する。
抵抗器は、例えば実開平4−28401号公報に開示さ
れているように、薄い平板状の基板の表面に、複数の抵
抗体層を形成し、その基板の端縁部に電極を形成し、こ
の電極を電子機器の回路基板表面にハンダ付けするよう
に設けられている。
は、図6、図7に示すように、スルーホール1が形成さ
れたアルミナ基板を用い、このスルーホール1を横切る
ように分割溝2が設けられた多数個取りの大型基板3
に、先ず上記スルーホール1の周囲及び内部に、銀又は
銀−パラジウム等の導電ペーストを印刷して電極4を形
成する。印刷は、スクリーン印刷により行うものである
が、スルーホール1内に導電ペーストを流し込むために
粘性を10〜30%落とした導電性ペーストを用いてい
る。さらに、印刷時に、基板3の裏面側から吸引をかけ
て導体ペーストが確実にスルーホール1内に塗布される
ようにしている。この後、導電ペーストを予備乾燥し、
焼成炉に入れて電極4を焼結させる。そして、電極形成
後、大型基板3を分割溝2に沿って割り、個々のネット
ワーク抵抗器を形成するものである。
合、図6に示すように、導電ペーストをスルーホール1
の周囲に印刷した際に、電極4の導電ペーストが、分割
溝2内に浸入し、隣接する電極4との間を導通させてし
まうことがあった。また、大型基板3を分割するのは、
電極4の焼成後であり、その分割部分で電極4に欠けや
クラック又は割れが生じるという問題もあった。さら
に、印刷によりスルーホール1内に形成される電極の膜
厚は、均一なものにならず、ばらつきが大きく、ハンダ
の乗りや強度もばらつきが多くなるという問題もあっ
た。
れたもので、簡単な構成で電極間の短絡が生ぜす、製造
が容易で歩留が良く、信頼性も高いネットワーク抵抗器
とその製造方法を提供することを目的とする。
ルを横切るように大型基板を分割して形成され端面に凹
部を有した基板と、このスルーホールによる凹部の内壁
面に金属蒸着により形成された金属薄膜電極層とを有
し、この金属薄膜電極層の表面にメッキによる電極層が
形成されているネットワーク抵抗器である。
ルーホールが形成された大型基板に、上記分割溝を避け
て上記スルーホールに沿ってこの大型基板表面に電極を
形成し、少なくとも上記スルーホール部が露出するよう
にマスキングして上記スルーホール内壁面に真空蒸着や
スパッタリングにより金属薄膜電極層を形成し、上記分
割溝に沿って上記大型基板を個々の基板に分割し、上記
電極及び金属薄膜電極層にメッキ層を施すネットワーク
抵抗器の製造方法である。
は、大型基板のスルーホールに真空蒸着やスパッタリン
グによって金属薄膜電極層を形成し、電極間の短絡がな
く、電極構造自体にも欠陥がないようにしたものであ
る。
て説明する。図1〜図4はこの発明の第一実施例を示す
もので、この実施例のネットワーク抵抗器10は、セラ
ミックス等の絶縁基板12の表面に銀−パラジウム等の
導電ペーストを印刷して一次電極14を形成し、この一
次電極14間に跨がるように酸化ルテニウム等の抵抗体
16が印刷形成されている。抵抗体16の表面には、ホ
ウケイ酸鉛ガラスによるガラスコート18が形成され、
さらに、抵抗体16のレーザトリミングの後にホウケイ
酸鉛ガラスによるガラスコート又はエポキシ系樹脂のレ
ジンコートからなるオーバーコート19が形成されてい
る。オーバーコート19の表面には、抵抗体16の抵抗
値等を表示する所定の文字20が、ホウケイ酸鉛ガラス
又はエポキシ系樹脂等による塗料で印刷形成されてい
る。
して形成された凹部22が設けられ、この凹部22に、
真空蒸着又はスパッタリング等の金属蒸着により、ニッ
ケル・クロム及び銅の金属薄膜電極層24が形成されて
いる。そして、この金属薄膜電極層24の外表面に、さ
らに保護層としてのニッケルメッキ26と、その外側
に、ハンダ付けを確実にするためのハンダメッキ28が
施されている。
造方法について説明する。この実施例のネットワーク抵
抗器10は、先ず、所定間隔でスルーホール30が縦横
に形成され、このスルーホール30を横切るように分割
溝32が形成された平板状のセラミックス基板等の大型
基板34を用い、その表面に、スルーホール30を囲む
様に縦横に一次電極14を印刷形成し、焼成する。この
一次電極は、分割溝32にかからないように印刷され
る。この後、抵抗体16を互いに対向する一対の一次電
極14間にまたがるように印刷形成し、焼成する。そし
て、ガラスコート18の印刷および焼成を行なう。この
後、抵抗体16をレーザトリミングし、所定の抵抗値に
設定し、オーバーコート19を印刷し、焼成し、文字2
0の印刷焼成を行う。
うなマスク36を装着し、スルーホール30及びその周
囲の一次電極14の一部が露出するようにして、スパッ
タリングを行う。スパッタリングによりスルーホール3
0内には、ニッケル・クロム及び銅の金属薄膜電極層2
4が形成される。この後カッター等を用いて大型基板3
4を、分割溝32に沿って個々の基板12毎に分割す
る。
ル30による凹部22の内面の金属薄膜電極24の表面
に、ニッケルメッキ26およびハンダメッキ28を順次
施してこの実施例のネットワーク抵抗器の電極部の形成
が終了する。
ば、基板12の端面に形成された凹部22に、スパッタ
リング等により金属薄膜電極層24が形成されているの
で、一次電極14及び金属薄膜電極層24が確実に形成
されているとともに、隣り合う電極同士のショートがな
く、製造上の歩留が良く高品質なネットワーク抵抗器を
得ることができる。
抵抗器とその製造方法について図5を基にして説明す
る。こので上述の実施例と同様の部材は同一符号を付し
て説明を省略する。この実施例のネットワーク抵抗器
は、スルーホール30の内壁面に金属薄膜電極層24を
形成する際に、所定の箇所のみ露出するように、剥離樹
脂46をスパッタリングの前に印刷し硬化させる。この
後、マスクを用いず大型基板34全面にスパッタリング
を行う。スパッタリング後は、水又は有機溶剤によりこ
の剥離樹脂46を除去し、上記と同様の後の工程に進
む。
効果に加えて、スパッタリング時にマスクからの回り込
みによって無用な箇所に金属薄膜が蒸着することがな
く、確実に基板の所望の箇所にのみ金属薄膜を形成する
ことができるものである。
製造方法は、スルーホールを利用した電極部分に、蒸着
やスパッタリング等の金属蒸着技術により金属薄膜の電
極層を形成するものであれば良く、蒸着方法や、金属薄
膜の厚さ、スルーホールの径等は任意に設定し得るもの
である。
ーホール部に形成された電極が金属蒸着による金属薄膜
電極層からなり、電極間の短絡が無く、基板分割による
電極の割れ等も生ぜず、高品質な電極構造が得られるも
のである。さらに、金属薄膜電極層にメッキ層を施すこ
とにより、電極部の強度及びハンダ付け性等が向上する
ものである。
斜視図である。
を示す部分平面図である。
を示す部分平面図である。
一製造工程における縦断面図である。
製造工程を示す部分平面図である。
分斜視図である。
Claims (3)
- 【請求項1】 スルーホールを横切るように大型基板を
分割して形成され端面に凹部を有した基板と、このスル
ーホールによる凹部の内壁面に金属蒸着により形成され
た金属薄膜電極層とを有し、この金属薄膜電極層の表面
にメッキによる電極層が形成されていることを特徴とす
るネットワーク抵抗器。 - 【請求項2】 所定の分割溝に沿ってスルーホールが形
成された大型基板に、上記分割溝を避けて上記スルーホ
ールに沿って上記大型基板表面に電極を形成し、少なく
とも上記スルーホール部が露出するようにマスキングし
て上記スルーホール内壁面に金属蒸着により金属薄膜電
極層を形成し、上記分割溝に沿って上記大型基板を個々
の基板に分割し、上記電極及び金属薄膜電極層にメッキ
による電極層を形成することを特徴とするネットワーク
抵抗器の製造方法。 - 【請求項3】 上記メッキによる電極層の形成は、上記
金属薄膜電極層の表面に金属保護層を形成し、その後ハ
ンダ材料をメッキすることを特徴とする請求項2記載の
ネットワーク抵抗器の製造方法。。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24754893A JP3167842B2 (ja) | 1993-09-08 | 1993-09-08 | ネットワーク抵抗器とその製造方法 |
JP26036498A JP3561635B2 (ja) | 1993-09-08 | 1998-09-14 | ネットワーク抵抗器とその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24754893A JP3167842B2 (ja) | 1993-09-08 | 1993-09-08 | ネットワーク抵抗器とその製造方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP26036498A Division JP3561635B2 (ja) | 1993-09-08 | 1998-09-14 | ネットワーク抵抗器とその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0778701A true JPH0778701A (ja) | 1995-03-20 |
JP3167842B2 JP3167842B2 (ja) | 2001-05-21 |
Family
ID=17165138
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP24754893A Expired - Lifetime JP3167842B2 (ja) | 1993-09-08 | 1993-09-08 | ネットワーク抵抗器とその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3167842B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6005474A (en) * | 1996-12-27 | 1999-12-21 | Hokuriku Electric Industry Co., Ltd. | Chip network resistor and method for manufacturing same |
JP2006332706A (ja) * | 2006-08-29 | 2006-12-07 | Kyocera Corp | 電子部品 |
WO2015033645A1 (ja) * | 2013-09-06 | 2015-03-12 | 株式会社アスカネット | 平行配置された光反射部を備えた光制御パネルの製造方法 |
-
1993
- 1993-09-08 JP JP24754893A patent/JP3167842B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6005474A (en) * | 1996-12-27 | 1999-12-21 | Hokuriku Electric Industry Co., Ltd. | Chip network resistor and method for manufacturing same |
JP2006332706A (ja) * | 2006-08-29 | 2006-12-07 | Kyocera Corp | 電子部品 |
WO2015033645A1 (ja) * | 2013-09-06 | 2015-03-12 | 株式会社アスカネット | 平行配置された光反射部を備えた光制御パネルの製造方法 |
JP5696264B1 (ja) * | 2013-09-06 | 2015-04-08 | 株式会社アスカネット | 平行配置された光反射部を備えた光制御パネルの製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3167842B2 (ja) | 2001-05-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH10189318A (ja) | ネットワーク抵抗器の製造方法 | |
JPH0778701A (ja) | ネットワーク抵抗器とその製造方法 | |
JP3561635B2 (ja) | ネットワーク抵抗器とその製造方法 | |
JP3118509B2 (ja) | チップ抵抗器 | |
JPH04372101A (ja) | 角形チップ抵抗器及びその製造方法 | |
JPH10189305A (ja) | 角板型チップ抵抗器及びその製造方法 | |
JP3297642B2 (ja) | チップ抵抗器 | |
JP3659432B2 (ja) | 電子部品の製造方法 | |
JP2806802B2 (ja) | チップ抵抗器 | |
JP2939425B2 (ja) | 表面実装型抵抗器とその製造方法 | |
US12125618B2 (en) | Chip component production method | |
JPH0950901A (ja) | チップ電子部品とその製造方法 | |
JP3159440B2 (ja) | 角形チップ抵抗器 | |
JP3353037B2 (ja) | チップ抵抗器 | |
JP3116579B2 (ja) | 角形チップ抵抗器およびその製造方法 | |
JPH0513201A (ja) | 角形チツプ抵抗器 | |
JPH08222478A (ja) | チップ型電子部品 | |
JP3955047B2 (ja) | 電子部品 | |
JP2004128218A (ja) | 小型電子部品の製造方法およびチップ抵抗器 | |
JP2718178B2 (ja) | 角板型薄膜チップ抵抗器の製造方法 | |
JPH05152101A (ja) | 角形チツプ抵抗器およびその製造方法およびそのテーピング部品連 | |
JPH0653004A (ja) | 角形チップ抵抗器およびその製造方法 | |
JP3036214B2 (ja) | 角形チップ抵抗器の製造方法 | |
JPH09120902A (ja) | チップ電子部品とその製造方法 | |
JP3159963B2 (ja) | チップ抵抗器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090309 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100309 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110309 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110309 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120309 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130309 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130309 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140309 Year of fee payment: 13 |