JPH0637286B2 - 窒化アルミニウムの製法 - Google Patents
窒化アルミニウムの製法Info
- Publication number
- JPH0637286B2 JPH0637286B2 JP62301301A JP30130187A JPH0637286B2 JP H0637286 B2 JPH0637286 B2 JP H0637286B2 JP 62301301 A JP62301301 A JP 62301301A JP 30130187 A JP30130187 A JP 30130187A JP H0637286 B2 JPH0637286 B2 JP H0637286B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- aluminum nitride
- aqueous solution
- nitrogen
- containing compound
- mixed aqueous
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 title claims description 17
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 8
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 15
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 claims description 15
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 9
- BNGXYYYYKUGPPF-UHFFFAOYSA-M (3-methylphenyl)methyl-triphenylphosphanium;chloride Chemical compound [Cl-].CC1=CC=CC(C[P+](C=2C=CC=CC=2)(C=2C=CC=CC=2)C=2C=CC=CC=2)=C1 BNGXYYYYKUGPPF-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 7
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 7
- -1 nitrogen-containing compound Chemical class 0.000 claims description 7
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 claims description 7
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 14
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 6
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 4
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 3
- 239000011812 mixed powder Substances 0.000 description 3
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 description 3
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DHMQDGOQFOQNFH-UHFFFAOYSA-N Glycine Chemical compound NCC(O)=O DHMQDGOQFOQNFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004471 Glycine Substances 0.000 description 1
- 229920003171 Poly (ethylene oxide) Polymers 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N Urea Chemical compound NC(N)=O XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004202 carbamide Substances 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 229920000609 methyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 239000001923 methylcellulose Substances 0.000 description 1
- 235000010981 methylcellulose Nutrition 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 235000000346 sugar Nutrition 0.000 description 1
- 150000008163 sugars Chemical class 0.000 description 1
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 この発明は、たとえば高熱伝導率のセラミックス基板を
製造するために使用されるような窒化アルミニウム粉末
の製造技術の分野に属する。
製造するために使用されるような窒化アルミニウム粉末
の製造技術の分野に属する。
ＩＣ等に代表されるような半導体素子の高集積化や大電
力化が進み、これに伴って放熱性の良い電気絶縁材料が
要求されるようになった。
力化が進み、これに伴って放熱性の良い電気絶縁材料が
要求されるようになった。
これに応えて、各種の高熱伝導率セラミックス基板が提
案されている。
案されている。
その中でも、特に窒化アルミニウムセラミックス基板が
熱伝導性、熱膨張性、電気絶縁性等の点で優れていると
言うことから、実用化が進んでいる。
熱伝導性、熱膨張性、電気絶縁性等の点で優れていると
言うことから、実用化が進んでいる。
ところが、この窒化アルミニウムセラミックス基板は、
価格が高いという欠点がある。この高価格の原因として
は、特に、原料となる窒化アルミニウム粉末が高価格で
あること、焼結に高温を要することなどが挙げられる。
価格が高いという欠点がある。この高価格の原因として
は、特に、原料となる窒化アルミニウム粉末が高価格で
あること、焼結に高温を要することなどが挙げられる。
従来から窒化アルミニウム粉末は、アルミニウムの直接
窒化や、アルミナの炭素還元等の方法によって製造され
ているが、たとえば、アルミニウムの直接窒化法におい
ては、高純度で粒径の小さい窒化アルミニウム粉末を得
ることが困難であり、アルミナの炭素還元法において
は、反応に高温を要する、原料価格が高い等の問題があ
った。
窒化や、アルミナの炭素還元等の方法によって製造され
ているが、たとえば、アルミニウムの直接窒化法におい
ては、高純度で粒径の小さい窒化アルミニウム粉末を得
ることが困難であり、アルミナの炭素還元法において
は、反応に高温を要する、原料価格が高い等の問題があ
った。
アルミナの炭素還元法の改良として、アルミニウム源を
液中で混合する方法などが提案さされているが、けん濁
状態での混合であり、分子オーダーでの混合がなされな
いため、均一な反応を行わせるためには、反応を高温で
行う必要がある等により、製造価格が高くなるなどの問
題が残っている（特公昭６１−２６４８５号公報）。
液中で混合する方法などが提案さされているが、けん濁
状態での混合であり、分子オーダーでの混合がなされな
いため、均一な反応を行わせるためには、反応を高温で
行う必要がある等により、製造価格が高くなるなどの問
題が残っている（特公昭６１−２６４８５号公報）。
この発明は、以上のような事情に鑑みてなされたもので
あり、純度が高くかつ微粒子の粉末を安価に得ることが
できる窒化アルミニウム粉末の製法を提供することを目
的としている。
あり、純度が高くかつ微粒子の粉末を安価に得ることが
できる窒化アルミニウム粉末の製法を提供することを目
的としている。
この発明は、以上のような目的を達成するために、塩基
性硝酸アルミニウム、炭素含有化合物および／または窒
素含有化合物を含む混合水溶液を得た後、この混合水溶
液から水分を除去すると共に窒素を含む非酸化性雰囲気
中で焼成することを特徴とする窒化アルミニウムの製法
を提供するものである。
性硝酸アルミニウム、炭素含有化合物および／または窒
素含有化合物を含む混合水溶液を得た後、この混合水溶
液から水分を除去すると共に窒素を含む非酸化性雰囲気
中で焼成することを特徴とする窒化アルミニウムの製法
を提供するものである。
以下、この発明を工程に従って順次詳しく説明する。も
っとも、以下の工程は例示的趣旨のものであり、これに
より本発明の範囲が限定されるものではない。
っとも、以下の工程は例示的趣旨のものであり、これに
より本発明の範囲が限定されるものではない。
塩基性硝酸アルミニウム、炭素含有化合物および／ま
たは窒素含有化合物を水溶液として混合する。
たは窒素含有化合物を水溶液として混合する。
なお、各成分原料を別々に水に溶かし、これを混合して
混合水溶液を得てもよく、原料混合物を先ず作り、これ
を水に溶かして混合水溶液としてもよい。
混合水溶液を得てもよく、原料混合物を先ず作り、これ
を水に溶かして混合水溶液としてもよい。
この水溶液では、各成分が分子オーダーで均質に混合さ
れている。
れている。
炭素含有化合物としては、各種糖類、メチルセルロー
ス、ポリエチレンオキサイド、ポリビニルアルコールな
ど水溶性のものが挙げられる。
ス、ポリエチレンオキサイド、ポリビニルアルコールな
ど水溶性のものが挙げられる。
窒素含有化合物としては、尿素、グリシンなどの水溶性
のものが挙げられる。
のものが挙げられる。
前記混合水溶液から、蒸発乾燥により塩基性硝酸アル
ミニウム、炭素含有化合物および／または窒素含有化合
物が分子オーダーで均質に混合された混合物粉末を得
る。乾燥温度としては、１００〜２００℃が適当であ
る。
ミニウム、炭素含有化合物および／または窒素含有化合
物が分子オーダーで均質に混合された混合物粉末を得
る。乾燥温度としては、１００〜２００℃が適当であ
る。
この混合粉末を窒素を含む非酸化性雰囲気中で焼成し
て窒化アルミニウム粉末を得る。混合物粉末は、混合物
中に窒素源を有している場合は、混合物内部から窒化反
応が促進され、窒化アルミニウムが迅速に形成される。
て窒化アルミニウム粉末を得る。混合物粉末は、混合物
中に窒素源を有している場合は、混合物内部から窒化反
応が促進され、窒化アルミニウムが迅速に形成される。
非酸化性雰囲気としては、窒素さらに好ましくはアンモ
ニアなどが使用される。
ニアなどが使用される。
焼成温度は、９００℃以上、好ましくは１２００〜１８
００℃である。
００℃である。
なお、残留炭素は窒化アルミニウム形成後、６００〜７
５０℃の酸化性雰囲気中で加熱処理するようにすれば除
去できる。
５０℃の酸化性雰囲気中で加熱処理するようにすれば除
去できる。
この発明の製造によれば、塩基性硝酸アルミニウム、炭
素含有化合および／または窒素含有化合物を含む混合水
溶液を得た後、この混合水溶液から水分を除去すると共
に、窒素を含む非酸化性雰囲気中で焼成することを特徴
とするので、微細で均質な窒化アルミニウム粉末を迅速
に、かつ安価に得ることができる。
素含有化合および／または窒素含有化合物を含む混合水
溶液を得た後、この混合水溶液から水分を除去すると共
に、窒素を含む非酸化性雰囲気中で焼成することを特徴
とするので、微細で均質な窒化アルミニウム粉末を迅速
に、かつ安価に得ることができる。
なお、このものは微細粉末であるので、焼結性がよいと
いう効果もある。
いう効果もある。
以下、実施例に基づきさらに詳しく説明する。
実施例 塩基性硝酸アルミニウムとして、 ［Ａｌ13O4(OH)２５(H2O)11］(NO3)３（純度８０重％）
のものを使用し、これとブドウ糖をＣ／Ａｌ2O3＝０．
８の重量比率となるように水溶液を調整し、１５０℃で
乾燥して混合粉末を得た。
のものを使用し、これとブドウ糖をＣ／Ａｌ2O3＝０．
８の重量比率となるように水溶液を調整し、１５０℃で
乾燥して混合粉末を得た。
つぎに、前記混合粉末を窒素ガス雰囲気中で、１５００
℃で５時間焼成して窒化アルミニウム粉末を得た。
℃で５時間焼成して窒化アルミニウム粉末を得た。
なお、得られた窒化アルミニウム粉末は、純度が９８．
５重量％以上、平均粒径０．３μｍであった。
５重量％以上、平均粒径０．３μｍであった。
この発明は、塩基性硝酸アルミニウム、炭素含有化合物
および／または窒素含有化合物を含む混合水溶液を得た
後、この混合水溶液から水分を除去すると共に窒素を含
む非酸化性雰囲気中で焼成することを特徴とするので、
微粒子で純度の高い窒化アルミニウム粉末を安価に得る
ことができる効果がある。
および／または窒素含有化合物を含む混合水溶液を得た
後、この混合水溶液から水分を除去すると共に窒素を含
む非酸化性雰囲気中で焼成することを特徴とするので、
微粒子で純度の高い窒化アルミニウム粉末を安価に得る
ことができる効果がある。
Claims (1)
- 【請求項１】塩基性硝酸アルミニウム、炭素含有化合物
および／または窒素含有化合物を含む混合水溶液を得た
後、この混合水溶液から水分を除去すると共に、窒素を
含む非酸化性雰囲気中で焼成することを特徴とする窒化
アルミニウムの製法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62301301A JPH0637286B2 (ja) | 1987-11-28 | 1987-11-28 | 窒化アルミニウムの製法 |
| US07/273,761 US4985225A (en) | 1987-10-26 | 1988-08-22 | Process for producing aluminum nitride powders |
| DE3828598A DE3828598C2 (de) | 1987-10-26 | 1988-08-23 | Verfahren zur Herstellung von Aluminiumnitridpulvern |
| KR1019880010683A KR950005761B1 (ko) | 1987-10-26 | 1988-08-23 | 질화알루미늄 분말의 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62301301A JPH0637286B2 (ja) | 1987-11-28 | 1987-11-28 | 窒化アルミニウムの製法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01141810A JPH01141810A (ja) | 1989-06-02 |
| JPH0637286B2 true JPH0637286B2 (ja) | 1994-05-18 |
Family
ID=17895191
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62301301A Expired - Lifetime JPH0637286B2 (ja) | 1987-10-26 | 1987-11-28 | 窒化アルミニウムの製法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0637286B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116062714B (zh) * | 2023-01-18 | 2024-08-09 | 大连海事大学 | 一种纯相纳米AlN粉体及其制备方法和应用 |
| CN118878335B (zh) * | 2024-09-27 | 2025-01-07 | 赣州有色冶金研究所有限公司 | 一种原位级配的氮化铝粉体及其制备方法和应用 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63210003A (ja) * | 1987-02-24 | 1988-08-31 | Matsushita Electric Works Ltd | 窒化アルミニウム粉末の製法 |
| JPS63210002A (ja) * | 1987-02-24 | 1988-08-31 | Matsushita Electric Works Ltd | 窒化アルミニウム粉末の製法 |
| JPS6456309A (en) * | 1987-08-26 | 1989-03-03 | Matsushita Electric Works Ltd | Production of aluminum nitride powder |
-
1987
- 1987-11-28 JP JP62301301A patent/JPH0637286B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01141810A (ja) | 1989-06-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR20190017539A (ko) | 구형의 질화알루미늄 분말을 제조하기 위한 방법 | |
| JPH0637286B2 (ja) | 窒化アルミニウムの製法 | |
| JPS63210003A (ja) | 窒化アルミニウム粉末の製法 | |
| JPS63210002A (ja) | 窒化アルミニウム粉末の製法 | |
| JPS6355108A (ja) | 窒化アルミニウム粉末およびその製造方法 | |
| JPS6355109A (ja) | 窒化アルミニウム粉末の製法 | |
| JPH0686286B2 (ja) | 窒化アルミニウムの製法 | |
| JPH0468242B2 (ja) | ||
| JPH0459609A (ja) | 窒化アルミニウム粉末の製造方法 | |
| JPH01133911A (ja) | 窒化アルミニウム粉末の製法 | |
| JPS61261270A (ja) | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 | |
| JPS63222074A (ja) | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 | |
| JPH01239006A (ja) | 窒化アルミニウム粉末の製法 | |
| JP3461644B2 (ja) | 窒化アルミニウム焼結体、その製造方法及び回路基板 | |
| JPS61286267A (ja) | 窒化アルミニウム質焼結体の製造方法 | |
| JPS6369759A (ja) | 窒化けい素焼結体の製造方法 | |
| JPS6374966A (ja) | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 | |
| JPH0465307A (ja) | 窒化アルミニウム粉末の製造方法 | |
| JPH0365563A (ja) | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 | |
| JP2001139379A (ja) | 高熱伝導性窒化アルミニウム焼結体の製造方法 | |
| JP2825691B2 (ja) | 窒化アルミニウム質セラミックのバインダー除去方法 | |
| JPH0365565A (ja) | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 | |
| JPH0269362A (ja) | 窒化アルミニウム焼結体の製造法 | |
| JPH0365564A (ja) | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 | |
| JPH02192409A (ja) | 窒化アルミニウム粉末および窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |