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JPH06260765A - 多層配線基板及び多層配線板の製造方法 - Google Patents

多層配線基板及び多層配線板の製造方法

Info

Publication number
JPH06260765A
JPH06260765A JP4114893A JP4114893A JPH06260765A JP H06260765 A JPH06260765 A JP H06260765A JP 4114893 A JP4114893 A JP 4114893A JP 4114893 A JP4114893 A JP 4114893A JP H06260765 A JPH06260765 A JP H06260765A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wiring board
multilayer wiring
resin
degree
circuit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP4114893A
Other languages
English (en)
Inventor
Tomio Tanno
富男 淡野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Electric Works Co Ltd
Original Assignee
Matsushita Electric Works Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Works Ltd filed Critical Matsushita Electric Works Ltd
Priority to JP4114893A priority Critical patent/JPH06260765A/ja
Publication of JPH06260765A publication Critical patent/JPH06260765A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】 【目的】 低ハロー性に優れた多層配線基板及び多層配
線板の製造方法を提供することを目的とする。 【構成】 所要枚数の樹脂硬化度が90%以下の回路形
成された内層材の各上面及び又は各下面に、樹脂層を介
し最外層に金属箔を配設後、樹脂層の樹脂硬化度が90
%以下になるように硬化させたことを特徴とする多層配
線基板及び該多層配線基板に開穴し回路形成後、完全硬
化させてから鍍金以後の工程を施すことを特徴とする多
層配線板の製造方法。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は電子機器、電気機器、計
算器、通信機器等に用いられる多層配線基板、多層配線
板に関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、電気、電子機器の高信頼化対策と
して低ハロー性が要求されている。このため電気用積層
板の穴明け工程においては細心の注意が必要とされ、作
業能率を著しく低下させている。この対策として回路の
銅表面に酸化銅を形成させた後、還元する方法があり有
効であるが、処理工程が複雑となり工程管理が難しくコ
ストアップを招く欠点があった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】従来の技術で述べたよ
うに、低ハロー性を良くするための従来方法は何れも困
難で作業能率を著しく低下させている。本発明は従来の
技術における上述の問題点に鑑みてなされたもので、そ
の目的とするところは作業能率を低下させることなく容
易に低ハロー性を実現させる多層配線基板、多層配線板
を提供することにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明は所要枚数の樹脂
硬化度が90%以下の回路形成した内層材の各上面及び
又は各下面に樹脂層を介し、最外層に金属箔を配設後、
樹脂層の樹脂硬化度が90%以下になるように硬化させ
たことを特徴とする多層配線基板及び該多層配線基板に
開穴、回路形成後、完全硬化させてから鍍金以降の工程
を施すことを特徴とする多層配線板の製造方法のため、
ドリル開穴時のクラックを抑制し上記目的を達成するこ
とができたもので、以下本発明を詳細に説明する。
【0005】本発明に用いる内層材はフェノ−ル樹脂、
エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、不飽和ポリエステル樹
脂、ポリフェニレンオキサイド樹脂、フッ素樹脂等の樹
脂に必要に応じてタルク、クレー、シリカ、炭酸カルシ
ュウム、水酸化アルミニゥム、三酸化アンチモン、五酸
化アンチモン等の無機質粉末充填剤、ガラス繊維、アス
ベスト繊維、パルプ繊維、合成繊維、セラミック繊維等
の繊維質充填剤を添加したものである。基材としてはガ
ラス、アスベスト等の無機質繊維、ポリエステル、ポリ
アミド、ポリアクリル、ポリビニルアルコール、ポリイ
ミド、フッ素樹脂等の有機質繊維、木綿等の天然繊維の
織布、不織布、紙、マット等を用いることができる。基
材に対する含浸は同一の樹脂のみによる含浸でもよい
が、同系樹脂又は異系樹脂による1次含浸、2次含浸と
いうように含浸を複数にし、より含浸が均一になるよう
にすることもできる。かくして基材に樹脂を含浸、乾燥
して得た所要枚数の樹脂含浸基材の上面及び又は下面に
銅、アルミニュウム、真鍮、ニッケル、鉄等の単独、合
金、複合箔からなる金属箔を配設ー体化してなる電気用
積層板に回路形成して内層材を得るものであるが、樹脂
硬化度を90%以下にしておくことが必要である。内層
材の上面及び又は下面に配設される樹脂含浸基材として
は上記のような樹脂含浸基材をそのまま用いることがで
き、上記のような金属箔を最外層に配してから樹脂硬化
度が90%以下になるように硬化させるものである。樹
脂硬化度を90%以下にするには完全硬化に必要な成形
温度の95%以下の温度及び又は完全硬化に必要な成形
時間の45%以下の時間で硬化させることが必要で、か
くして低ハロー性に優れた多層配線基板を得るものであ
る。次に該多層配線基板にスルホール穴等を開穴、回路
形成後、アフターキュアーをおこない完全硬化させる。
完全硬化方法は樹脂硬化度を90%以下で止めた時の不
足分を充足すればよい。以降の作業は通常方法に従って
鍍金以降の工程を施し多層配線板を得るものである。
【0006】以下本発明を実施例に基づいて説明する。
【0007】
【実施例1】エポキシ当量475のビスフェノ−ルA型
エポキシ樹脂100重量部(以下単に部と記す)に、ジ
シアンジアミド4部、ベンジルジメチルアルコール0.
2部、メチルオキシトール100部を添加したエポキシ
樹脂ワニスを、厚み0.018mmの平織ガラス布に乾
燥後樹脂付着量が45%になるように含浸、乾燥して樹
脂含浸基材を得た。次に該樹脂含浸基材4枚を重ねた上
下面に厚み0.018mmの銅箔を各々配設した積層体
を成形圧力30Kg/cm2 、160℃で30分間加熱
加圧成形して厚み0.9mmの両面銅張積層板を得た。
次に該積層板の上下面に回路形成してから両面に各々上
記と同じ樹脂含浸基材1枚を介してから厚み0.018
mmの銅箔を配設した積層体を成形圧力30Kg/cm
2 、160℃で30分間積層成形して樹脂硬化度が85
%の多層配線基板を得、該多層配線基板2枚を重ね、6
5000rpm、送り25ミクロン/rpmでドリルマ
シンで開穴後、スルホール鍍金をおこない多層配線板を
得た。
【0008】
【実施例2】実施例1と同じ多層配線基板を実施例1と
同じ条件で開穴後、170℃で60分間アフターキュア
ーし樹脂硬化度が100%の多層配線基板をスルホール
鍍金して多層配線板を得た。
【0009】
【比施例】2次成形時の成形条件を175℃で120分
間とし、樹脂含浸基材の硬化度を100%にした以外は
実施例1と同様に処理して多層配線基板、多層配線板を
得た。
【0010】実施例1と2及び比較例の多層配線板のT
g、ハローイングサイズ、耐薬品性は表1のようであ
る。硬化度はDSCで評価し、ハローイングは外層プリ
プレグを引剥してハローイングの大きさを光学顕微鏡で
測定した。
【0011】
【表1】
【0012】
【発明の効果】本発明は上述した如く構成されている。
特許請求の範囲に記載した構成を有する多層配線基板、
多層配線板においては、低ハロー性で、本発明の優れて
いることを確認した。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】所要枚数の樹脂硬化度が90%以下の回路
    形成した内層材の各上面及び又は各下面に樹脂層を介
    し、最外層に金属箔を配設後、樹脂層の樹脂硬化度が9
    0%以下になるように硬化させたことを特徴とする多層
    配線基板。
  2. 【請求項2】樹脂層の樹脂硬化度が90%以下の多層配
    線基板に開穴、回路形成後、完全硬化させてから鍍金以
    降の工程を施すことを特徴とする多層配線板の製造方
    法。
JP4114893A 1993-03-02 1993-03-02 多層配線基板及び多層配線板の製造方法 Pending JPH06260765A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4114893A JPH06260765A (ja) 1993-03-02 1993-03-02 多層配線基板及び多層配線板の製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4114893A JPH06260765A (ja) 1993-03-02 1993-03-02 多層配線基板及び多層配線板の製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH06260765A true JPH06260765A (ja) 1994-09-16

Family

ID=12600340

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4114893A Pending JPH06260765A (ja) 1993-03-02 1993-03-02 多層配線基板及び多層配線板の製造方法

Country Status (1)

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JP (1) JPH06260765A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3740263A1 (de) * 1987-11-27 1989-06-01 Schlafhorst & Co W Wickelvorrichtung fuer kreuzspulen
JP2010034142A (ja) * 2008-07-25 2010-02-12 Sumitomo Bakelite Co Ltd 多層配線板の製造方法、多層配線板および半導体装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3740263A1 (de) * 1987-11-27 1989-06-01 Schlafhorst & Co W Wickelvorrichtung fuer kreuzspulen
JP2010034142A (ja) * 2008-07-25 2010-02-12 Sumitomo Bakelite Co Ltd 多層配線板の製造方法、多層配線板および半導体装置

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