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JPH0458701B2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0458701B2
JPH0458701B2 JP59043741A JP4374184A JPH0458701B2 JP H0458701 B2 JPH0458701 B2 JP H0458701B2 JP 59043741 A JP59043741 A JP 59043741A JP 4374184 A JP4374184 A JP 4374184A JP H0458701 B2 JPH0458701 B2 JP H0458701B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gate electrode
potential
phase
charge
bias potential
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP59043741A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS59168670A (ja
Inventor
Furankurin Batsutoson Donarudo
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
RCA Corp
Original Assignee
RCA Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by RCA Corp filed Critical RCA Corp
Publication of JPS59168670A publication Critical patent/JPS59168670A/ja
Publication of JPH0458701B2 publication Critical patent/JPH0458701B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10FINORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
    • H10F39/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one element covered by group H10F30/00, e.g. radiation detectors comprising photodiode arrays
    • H10F39/10Integrated devices
    • H10F39/12Image sensors
    • H10F39/15Charge-coupled device [CCD] image sensors
    • H10F39/153Two-dimensional or three-dimensional array CCD image sensors
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N25/00Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
    • H04N25/60Noise processing, e.g. detecting, correcting, reducing or removing noise
    • H04N25/63Noise processing, e.g. detecting, correcting, reducing or removing noise applied to dark current
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N25/00Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
    • H04N25/60Noise processing, e.g. detecting, correcting, reducing or removing noise
    • H04N25/67Noise processing, e.g. detecting, correcting, reducing or removing noise applied to fixed-pattern noise, e.g. non-uniformity of response
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N25/00Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
    • H04N25/70SSIS architectures; Circuits associated therewith
    • H04N25/71Charge-coupled device [CCD] sensors; Charge-transfer registers specially adapted for CCD sensors
    • H04N25/745Circuitry for generating timing or clock signals

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
  • Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 <発明の背景> この発明は、電荷結合装置(CCD)イメージ
ヤの出力によつて生成される映像中の粒子につい
ての問題を解決する技術に関するものであり、特
にレジスタからの映像の転送に使用される多相ク
ロツクの停止期間中にCCD映像レジスタ中で光
変換によつて生成される電荷キヤリヤを集積する
形式のイメージヤのゲート電極をバイアスする方
法に関するものである。
3相でクロツクされる映像(A)レジスタとフイー
ルド蓄積(B)レジスタとを使用したフイールド転送
形式のCCDイメージヤを設けることは当技術分
野で知られている。この形式のイメージヤは、そ
のAレジスタ中に3つのクロツク位相全体に対し
て実質的に等しい長さのゲート電極をもつてい
る。このようなイメージヤは、しばしば“2/3イ
ンタレース”として知られる形式のインタレース
を使用して動作させられるが、フイールド・イン
タレースを使用することなく動作させることもで
きる。
2/3インタレースでは、各“交番”フイールド
期間中、つまり1つ置きのフイールド期間中に映
像の集積が第2位相ゲート電極の下で行なわれ
る。各交番フイールド期間中、(a)第2位相ゲート
電極は相対的に正すなわち高電位に維持されて、
光変換収集によつて電子が発生される電位ウエル
を誘導し、(b)第1位相および第3位相ゲート電極
は相対的に負すなわち低電位に維持される。イメ
ージヤのゲート電極に供給される電圧は通常、イ
メージヤの基板に供給される“接地電位”と考え
られる電圧を基準としている。上記1つ置きのフ
イールド相互間に間挿される各間挿フイールドで
は、映像の集積は第3位相のゲート電極の下で行
なわれる。このような各間挿フイールドの期間中
は、(a)第3位相電極は高レベルに保たれ、光変換
収集によつて電子が発生される電位ウエルを誘導
し、(b)第1位相および第2位相ゲート電極は相対
的に負すなわち低電位に維持されている。
2/3インタレース動作は、再現されたテレビジ
ヨン映像中でのインタレースが不完全であるとい
う特徴がある。この不完全性はあまり気にしない
観察者には判らないが、映像中に斜めの端部をも
つた段階として表示させる。
CCDイメージヤの映像レジスタ中で多層クロ
ツク電圧を使用した上記CCDイメージで見られ
る解決し難し問題は、(a)イメージヤ中の暗電流の
変化のみに基因せず、(b)比較的明るい映像中でさ
えも残存する固定されたパターン形式のノイズが
原因となつている。このノイズは、再現されたテ
レビジヨン映像中での出現の状況がハロゲン化銀
写真での高速写真感光乳剤によるネガから作られ
た映像中の粒子に似ていることから一般に“粒
子”と称されている。この粒子効果は、ある種の
CCDイメージヤ・レジスタ自体あるいはその下
の基板で光変換が行なわれる形式のCCDイメー
ジヤで最も顕著である。しかしながら、CCDレ
ジスタ自体あるいはその下の基板以外の光検出装
置を使用していても、その粒子効果はあらゆる形
式のCCDイメージヤ中の暗電流の変動に影響を
およぼす。今日まで、この分野の技術者はCCD
イメージヤの出力信号から生成される映像中に何
故“粒子”が現われるのか理解することが出来な
かつた。
本願発明者は、映像レジスタが2相以上でクロ
ツクされるCCDイメージヤにおける“粒子”は
ノイズの原因となる電荷キヤリヤを分割すること
によるものであることを見出した。このノイズ
は、電荷の集積期間中、低電位に維持される映像
レジスタのゲート電極の下の領域での光変換によ
つて発生される電子に影響を与える。多相映像レ
ジスタ中で低電位に維持されているこれら連続す
るゲート電極の合成長が長くなると、電位ウエル
相互間の領域で発生される電子は、高電位に維持
されている他のゲート電極の下に誘導される電位
ウエルからの周辺電界による影響を受け難い。そ
の結果、このような電子は局部電界の乱れによる
影響を一層受け易くなり、全体として見た場合、
その発生領域に最も近い電位ウエルに引込まれな
くなる。このことが映像出力中に粒子構造として
認められるようになる。
低電位に維持される連続するゲート電極の合成
長が長くなると粒子は急速に増大する。この状況
は、電子と電位ウエルとの間の電気力は、この電
子と電位ウエルとの間の距離の2乗に反比例する
という観察結果と一致する。発明者が実験したイ
メージヤでは、低電位に維持された連続するゲー
ト電極の合成長が5ミクロン以上に長くなると、
粒子は急速に増大した。
本願発明者は、上述のCCDイメージヤ映像レ
ジスタのような3相電荷転送装置において、2個
のゲート電極のうちの一方を、他方よりも低い低
電位に保たれた位相に維持することによつて、粒
子が減少させることを発見した。粒子が減少する
一つの要因は、低電位にないゲート電極の下で発
生し、隣接する低電位ゲート電極間に存在する電
位障壁を越えることのできない電子によるもので
ある。この電子は、上記電位障壁を越えることが
できないことにより、隣接する特定の電位ウエル
によりこれらの各電子が一層確実に収集されるよ
うになる。また上記粒子の減少は、最低電位に維
持されるゲート電極の実効長が短かくなり、その
結果(a)先行または後続する電位ウエルのいずれか
によつて収集されるべき電荷キヤリヤの数が減少
し、また(b)一端縁電界効果を大きくして、隣接す
る電位ウエルのどちらが電荷キヤリヤを収集する
かを一層確実にすることによる。本願発明者は、
また線インタレースが使用されるCCDイメージ
ヤの電荷転送形式では、粒子を減少させるために
採用される手段はフレーム中での画素(ピクセ
ル)の中心間距離をより一様にし、それによつて
線インタレースを改善あるいは完全なものとする
ことが出来るということを発見した。
<発明の概要> 本願発明の特徴の1つは、3相クロツク映像レ
ジスタ、すなわちAレジスタを備えたCCDイメ
ージヤを動作させるための方法で実現することが
できる。各映像集積時間中、第1位相ゲート電極
は低電位に維持されており、一方、第2位相およ
び第3位相ゲート電極のうちの一方は高電位レベ
ルに、他方は低電位レベルに維持されている。こ
の発明の方法の新規な点は、第1位相ゲート電極
は、第2位相および第3位相ゲート電極のうちの
低電位ゲート電極の電位ほど低くは保たれていな
い点である。第1位相ゲート電極の電位は低くな
いので粒子は減少される。さらに、この発明の他
の特徴として、3相映像レジスタをインタレース
で動作させると仮定すると、この場合は第2位相
および第3位相ゲート電極が連続する映像集積フ
イールド期間中、高電位と低電位との間で交番す
るが、この方法は第1位相ゲート電極が他のゲー
ト電極が交互にとる高電位と低電位との間の電位
に保たれるように改変することができる。これに
より2/3インタレースから完全インタレースへイ
ンタレースを改善することができる。
<実施例の説明> 以下、図を参照しつゝこの発明を詳細に説明す
る。
第1図aおよびb、第2図aおよびbはより正
の電位をより負の電位よりも下に示す慣習に従つ
て示されている。静電誘導によつて空乏領域が形
成されるべきゲート電極の下に形成される相対的
に正の電圧VHIは、障壁電位が存在するようにさ
れるべきゲート電極に供給される相対的に低い電
圧VLOに関して正である。この形式の図面で、形
成される電位ウエルは電子が収集される電界の構
成を示している。“電荷”に関し述べるときは、
これは電荷すなわち負の通常の電荷を示す。
第1図は、映像転送期間中に第1位相前進クロ
ツク電圧φA1、第2位相前進クロツク電圧φA2、お
よび第3位相前進クロツク電圧φA3が周期的に供
給されるゲート電極11乃至18が示されてい
る。電極は映像レジスタ中の電荷転送チヤンネル
の長さに沿う位置的基準を与える。第1図aおよ
びbは、交番する2組のフイールドにおける映像
集積時間中のゲート電極の下のバイアス電位の配
置を示している。映像転送期間中の前進クロツク
はすべてのフイールドで左から右への方向であ
る。これは図示のフイールド・インタレース構成
では、CCDイメージヤは、すべてのフイールド
を映像レジスタから同じ方向に転送する形である
からである。
第1図aに示す交番フイールドの第1群におい
て、フイールド転送時間中φA3およびφA1クロツク
を受信するゲート電極11および12は、これら
の電極の下に電位障壁20を誘導するために、映
像集積期間中、相対的に低いバイアス電位VLO
維持されている。フイールド転送期間中、φA2
ロツクを受信するゲート電極13は、その下に電
位ウエル21を誘導するために、映像集積期間中
は相対的に高いバイアス電位VHIに維持されてい
る。フイールド転送時間中、φA3およびφA1クロツ
クを受信するゲート電極14および15は、それ
らの下に電位障壁22を誘導するために映像集積
時間中はVLOに維持されている。フイールド転送
期間中、φA2クロツクを受信するゲート電極16
は、その下に電位ウエル23が誘導されるように
映像集積時間中はVHIに維持される。フイールド
転送時間中、φA3およびφA1クロツクを受信するゲ
ート電極17および18は、それらの電極の下に
電位障壁を誘導するように映像集積時間中はVLO
に維持される。
交番フイールドの第1群と時間的に間挿された
第2群では、ゲート電極11,14,17はVHI
12,13,15,16,18はVLOに維持され
る。従つて、フイールド転送時間中、φA3クロツ
クを受信する電極11,14,17の下に電位ウ
エル25,27,29が誘導される。フイールド
転送時間中にφA1、φA2を受信する他のゲート電極
12と13、15と16、18は、交番フイール
ドの第2の群の映像集積時間中、電位障壁を形成
する。
次に粒子が生じる理由を第1図aを参照して詳
細に説明する。説明を簡単にするために、映像レ
ジスタは一定の明るさで一様に照射されており、
暗電流の影響は相対的に無視できると仮定する。
上述のように、本願発明者は、粒子は、電荷キヤ
リヤの収集領域として使用される電位ウエルから
離れた電荷転送チヤンネルの部分での局部的な電
界の変則状態により映像集積時間中に発生すると
考えている。弱い局部電界の変則状態は、酸化物
の厚みの変化、表面の汚染、イメージヤ基板ある
いはチヤンネルのドーピングの不均一、その他の
原因によつて生ずる。説明の都合上、局部電界フ
イールドの変則状態は、ゲート電極11および1
2の下の電位障壁の中心で、前進電荷転送方向と
逆の弱い横方向ドリフト電界を生じさせるような
ものであるとする。この横方向のドリフト電界
は、電荷転送チヤンネル中で、電荷に対する“大
陸分水嶺”(以下では分流境界線と称す)31を
前方へシフトさせる。この分流境界線は、概念化
された表面内の任意の点すなわち分流境界線31
における電荷キヤリヤが、電位障壁20の直前の
電位ウエルによつて収集されるのと同じように電
位ウエル21においても収集される電荷転送チヤ
ンネルを通過する概念化された表面31であると
考えられる。表面31のシフトは障壁20の中心
からウエル21への方向である。このシフトは、
ゲート電極11および12の両方の下で発生され
るが、電位ウエル21の下で収集される電荷キヤ
リヤの部分を2分の1以下に減少させる。ゲート
電極13の下で発生される電荷キヤリヤは当然電
位ウエルから逃げることができず、それによつて
完全に収集される。また高電位に保たれているゲ
ート電極の下で発生させる電界キヤリヤの収集
は、実質的に前記電界の変則状態による影響を受
けない。
さらに、局部電界の変則状態は、障壁22の中
心における前進電荷転送方向と平行な弱い横方向
ドリフト電界を発生させ得るようなものであると
仮定する。この横方向ドリフト電界は、電荷に対
する分流境界線32、すなわち電荷キヤリヤが電
位ウエル23内と同様に電位ウエル21内で等し
く収集される場所を記す電荷転送チヤンネルを通
る面を電荷転送チヤンネルの後方へシフトさせ
る。このシフトによつて、ゲート電極14および
15の双方の下に発生するが電位ウエル21で収
集される電荷キヤリヤの部分を2分の1以下に減
少させる。同時にこのシフトによつて、ゲート電
極14および15の双方の下に発生するが、電位
ウエル23に収集される電荷キヤリヤの部分を2
分の1以上に増加させる。
さらにまた局部電界の変則状態が、ゲート電極
17および18の下の電位障壁の中央で前進電荷
転送方向と反対の弱い横方向ドリフト電界を生じ
させると仮定する。これは電荷に対する分流境界
線33をチヤンネルの前方へシフトさせ、電位ウ
エル23によつて収集されるゲート電極17およ
び18の下に発生する電荷キヤリヤの部分を2分
の1以上に増加させる。
従つて、集積期間中に電位ウエル21で収集さ
れる電荷は2重に減少され、電位ウエル23で収
集される電荷は2重に増加される。映像レジスタ
には一様に光が照射されるにも拘らず、電位ウエ
ル23中に収集される電荷の量は電位ウエル21
中に収集される電荷の量よりも増加電荷分△Qだ
け多くなる。収集された電荷のこのような変化
は、全体として粒子発生の1番目の原因となるも
のである。粒子発生の他の原因は、上述の映像レ
ジスタ中の光変換により生ずる電荷キヤリヤにつ
いての処理と同様な形態で処理される暗電流によ
るものである。
粒子発生の原因となる雑音分割効果に関連する
僅かなシフトの他に、各電位ウエルは、これを誘
導するゲート電極の下に発生するすべての電荷キ
ヤリヤ、および先行ゲート電極と後続ゲート電極
の下に発生される統計学的に等価の数の電荷キヤ
リヤを収集することに注目する必要がある。これ
は画素の中心を電位ウエルの中心あるいはその中
心に適当に近く配置する。すなわち、交番フイー
ルドの第1群では、φA2クロツクを受信するゲー
ト電極13,16に沿う中央、および交番フイー
ルドの第2群では、φA3クロツクを受信するゲー
ト電極14,17に沿う中央に画素の中心を配置
する。2/3インタレースを特徴とするこの画素中
心位置のパターンが第1図の底部に沿つて示され
ている。
第1図aの電位形態には、より高い電位φA2
ゲート電極と、その両側のより低い電位φA1およ
びφA3のゲート電極との間に生ずる端縁(フリン
ジング)電界効果は示されていない。この端縁電
界効果は前述のように、酸化物の厚みの変化、表
面の汚染、イメージヤ基板あるいはチヤンネルの
ドーピングの不均一、その他の原因によつて生ず
る弱い局部電界の変則状態に起因するもので、図
では端縁効果によつて生ずる電界の局部的な乱れ
を上記局部的なドリフト電界の方向(矢印で示
す)によつて示す。第1図aで、例えばゲート電
極11と12の下の左向きの矢印は、そのチヤン
ネル領域中の局部電界の総合的な効果が、その部
分の電位形態が後方へ傾斜することと等価である
ことを示している。同様に、ゲート電極14と1
5の下の右向きの矢印はそのチヤンネル領域中の
局部電界の総合的な効果が、その部分の電位形態
が前方へ傾斜することと等価であることを示して
いる。両側のφA1およびφA3ゲート電極は同じ低電
位にあるので、端縁電界効果は各φA2ゲート電極
の中心を中心として実質的に対象であり、画素の
中心位置に影響を与えない。同様に第1図bの電
位形態にはより高い電位φA3ゲート電極と、その
両側のより低い電位φA2およびφA1のゲート電極と
のに生ずる端縁電界効果は示されていない。両側
のφA2およびφA1ゲート電極は同じ低電位であるの
で、端縁電界効果は各φA3ゲート電極の中心を中
心として実質的に対称になり、画素の中心位置に
影響を与えない。
第2図aおよびbは、この発明によつてフイー
ルド転送期間中にφA1クロツク信号を受信するゲ
ート電極がVLOではなくVLOとVHIの中間の電位
VINTにバイアスされたときに生ずる交番フイール
ドの第1および第2の群の映像集積時間中の電位
形態を示す。特にVINTはVLOよりVHIに向けて多少
オフセツトされていて、電位ウエル間に段階状の
電位障壁を形成する。第2図aによつて示すよう
に、交番電界の第1群中のφA1ゲート電極12,
15,18にVINTを供給することにより、前進転
送方向に段階的に減少する変形された電位障壁2
1′,22′,24′が形成される。これは、電位
ウエルの外側で発生する電荷キヤリヤが、前進電
荷転送方向、すなわち後方の電位ウエルに向う方
向ではなく前方の電位ウエルに向う方向に移動す
るのを助ける。第2図bに示す交通フイールドの
第2の群では、電極12,15,18にVINTが供
給されて、第2図aに関して上に述べた前進電荷
転送方向と逆の方向に段階状に減少する変形され
た電位障壁26′,28′が形成される。これは、
電位ウエルの外側で発生された電荷キヤリヤが、
前進電荷転送方向と反対の方向、すなわち前方の
電位ウエルに向う方向ではなく後方の電位ウエル
に向う方向に移動するのを助ける。その結果、画
素の中心は交番フイールドの第1群では前方にシ
フトされ、交番フイールドの第2群では後方にシ
フトされる。
第2図aの電位形態には、より低電位のφA3
ート電極とその両側のより高い電位φA2およびφA1
ゲート電極との間に生ずる端縁電界効果は示され
ていない。もしこれらの絶縁電界効果がφA3ゲー
ト電極の中心を中心に対象であるなら、画素の端
部はφA3ゲート電極の中心の下の分流境界線3
1′,32′,33′にくると考えられる。これは
画素の中心をφA1とφA2のゲート電極の接合端の下
に位置させる。低電位のφA3ゲート電極との両側
の高電位のφA2ゲート電極との間に生ずる端縁電
界効果は、低電位φA3ゲート電極と、画素の絶縁
を特定する分流境界線をφA3ゲート電極の前方端
に向けてシフトする側方の中間電位φA1ゲート電
極との間に生ずる端縁電界効果よりも顕著にな
る。φA3ゲート電極の下の領域で発生する電荷キ
ヤリヤの大部分は、端縁電界効果が存在しない場
合よりも後方のφA2ゲート電極の下のウエルで収
集され、画素の中心は第2図aに示すようにφA2
ゲート電極の中心に向けてシフトされる。
第2図bの電位形態上には、低電位φA2ゲート
電極と、その両側のより高い電位φA1およびφA3
ート電極との間に生ずる端縁電界効果を示してい
ない。第2図aの映像集積と同様に、第2図bの
絶縁電界効果は低電位φA2ゲート電極の中心を中
心として対称になる。低電位φA2ゲート電極と高
電位φA3ゲート電極との間の端縁電界効果は、φA2
ゲート電極と中間電位のφA1ゲート電極との間の
端縁電界効果よりも顕著になる。各φA2ゲート電
極の下の分流境界線はその後端に向けてシフトさ
れており、φA2ゲート電極の下の領域で発生する
電荷キヤリヤの大部分は、端縁電界効果がない場
合よりも先行するφA3ゲート電極の下の電位ウエ
ルに収集される。画素中心は、第2図bに示すよ
うにφA3ゲート電極の中心に向けて後方へシフト
される。
VLOとVHIに対するVINTのレベルを制御すること
によつて、これらの端縁電界現象を、2/3フイー
ルド・インタレースから高電位ゲート電極の下の
電位ウエル中の電荷の任意特定のレベルに対する
例えば完全なインタレースにまで、フイールド・
インタレースを改善するために利用することがで
きる。この制御は、インタレースを完全なインタ
レースを越えてもう一方の2/3インタレース状態
にまで変えるためにも利用することができる。
10Vの深さ電位ウエルで動作させた場合、VINT
VLOから3V乃至4Vオフセツトさせると、“6−7
−7”CCDイメージヤで実質的に完全なインタ
レースが得られることが観察された。その3相ク
ロツク映像レジスタは、6ミクロンの長さの第1
位相ゲート電極と、7ミクロンの長さの第2およ
び第3位相ゲート電極を使用している。
次に集積時間中にφA1ゲート電極に対してVINT
を供給することにより粒子が減少する理由を第2
図aを参照して説明する。障壁20′,22′,2
4′の各電位段階は、φA1ゲート電極12,15,
18から通常の電荷転送方向と逆方向に電荷が移
動するのを阻止する。そこで統計学的にこれらの
電荷はそれらの先行する電位ウエル21′,2
3′および図面からはずれた右側の電位ウエルに
よつて完全に収集されると仮定する。次に主とし
てφA3ゲート電極11,14および17の下に発
生する電荷キヤリヤがどのようにして先行する電
位ウエルおよび後続する電位ウエル間の移動によ
つて分配されるかについて統計学に考察する必要
がある。まず最初に、ゲート電極が一定の長さで
あると仮定したとき、φA2ゲート電極の下の電荷
収集領域に振り分けられる電荷キヤリヤはφA3
ート電極11,14,17等の下に発生する電荷
キヤリヤであるから、その量は第1図の場合の1/
2に減少する。このため、照射される映像に無関
係な電荷キヤリヤの量は1/2になり、この電各キ
ヤリヤの振り分けにより生ずるノイズ、すなわち
粒子効果を生じさせる電荷量の差ΔQは第1図の
場合の1/2になる。
映像レジスタ中での電荷キヤリヤの分割に関す
るこれまでの仮定は、粒子の発生に関連する弱い
局部電界の効果を強調するために、比較的長いゲ
ート電極を使用することを基礎としていた。電荷
に対する分流境界線31′,32′および33′は
理想的に各φA3ゲート電極11,14および17
の中心に位置している。弱い、局部的横方向ドリ
フト電界の効果による理想的な位置からのずれ
は、φA1ゲート電極がφA2あるいはφA3ゲート電極
と共にVLOに維持されている場合に比して少なく
なる。それは電位の段(ステツプ)からのそれら
の距離が半分になるからである。これは、局部的
な電界の変則状態によつて与えられる弱い力に対
して、電荷の分流境界線の領域において電位ウエ
ルあるいは電位の段(ステツプ)によつて与えら
れる力を4倍にする。その結果、VLOの電位にあ
る全距離は半分になり、局部電界の変則状態のド
リフト効果は電位ウエルあるいは段の絶縁効果に
比して4分の1になり、従つて、電荷に対する分
流境界線31′,32′,33′のシフトは平均し
て第1図aの電荷に対する分流境界線31,3
2,33のシフトの約8分の1になる。前述のノ
イズ成分の原因となる電荷キヤリヤの減少効果
と、電位障壁が段階的であることに直接関連とし
て粒子効果が1/2に減少することとの総合の効果
で粒子効果は約1/16に減少した。
実際には、6−7−7CCDイメージヤ中におけ
る電荷集積用に10Vの深さの電位ウエルを使用し
たとき、φA1ゲート電極をVLOから1乃至3Vオフ
セツトすることにより可視粒子は消滅した。
第3図はCCDイメージヤ40をこの発明によ
つて動作させるための回路を示す。イメージヤ4
0は、3相クロツク映像(すなわちA)レジスタ
41、フイールド蓄積(すなわちB)レジスタ4
2、および出力段である並列−直列変換(すなわ
ちC)レジスタを含んでいる。通常のタイミング
およびクロツク発生器45が使用される。イメー
ジヤの出力信号のフイールド走査期間中に生ずる
映像集積期間中は、Aレジスタ41の半導体基板
中に発生する電荷キヤリヤは、交番フイールドの
第1群ではφA2ゲート電極の下で集積され、交番
フイールドの第2群ではφA3ゲート電極の下で集
積される。各映像集積時間の後、イメージヤ出力
信号のフイールド帰線(リトレース)時間中にフ
イールド転送期間が生ずる。フイールド転送期間
中、選択スイツチ51,52,53は映像レジス
タ41にφA1、φA2、φA3を供給するように発生器
45からの選択信号によつて条件づけられる。こ
れらφA1、φA2、φA3は、Bレジスタ42に供給さ
れるφB1、φB2、φB3とそれぞれ同期している。A
レジスタ41内の映像サンプルのフイールドは、
フイールド帰線時間内でフイールドの転送が行な
われるのに充分な割合でBレジスタ42に転送さ
れる。3相レジスタとして示されているCレジス
タ43は、Bレジスタ42から残存電荷は一掃す
るのに充分なさらに高いφC1、φC2およびφC3クロ
ツク信号を受信する。
映像の転送後、フイールド走査のための時間を
占める新しい映像集積期間が始まる。φB1、φB2
φB3クロツク信号は、Bレジスタ42の画素電荷
サンプルを、各帰線時間に1行すなわち1本づつ
進めるために遅くされたり、Bレジスタ42から
クロツクによつて出力される行はブロツク43の
Cレジスタに並列的に送り込まれ、そのクロツク
は停止する。各線走査(トレース)期間に、ブロ
ツク43のCレジスタのクロツクは回復され、画
素走査率でブロツク43の出力段から直列の出力
を発生させる。
この新しい集積期間中に、フイールドが奇数か
偶数かの表示が、タイミングおよびクロツク発生
器45よりマルチプレクサ54に制御信号として
供給される。制御信号は、VHIとVLO、あるいは
VLOとVHIのいずれが、φA2ゲート電極とφA3ゲー
ト電極にそれぞれ供給するために選択されるべき
選択スイツチ52,53にそれぞれ供給されるか
を決定する。上記の電圧を、Aレジスタ41のあ
るゲート電極に供給されるφA2、φA3ではなく選択
スイツチ52および53によつて選択することは
発生器45から供給される選択信号に応答して行
なわれ、Aレジスタ41がフイールド転送モード
ではなく映像集積モードで動作すべきことを指示
する。この同じ選択に応答して信号選択スイツチ
51はφA1をAレジスタ41のあるゲート電極へ
供給しない。代りにスイツチ51は、この発明に
よつて従来技術におけるVLOではなくVINTをこれ
らのゲート電極に供給するために選択する。
上述の方法および装置には幾つかの変形例があ
り、特許請求の範囲を解釈するに当つてこの点を
念頭においておく必要がある。例えば、φA1ゲー
ト電極と、映像集積期間中に低く保たれるφA2
ート電極とφA3ゲート電極の一方との間の電位の
オフセツトを、φA1ゲート電極の下の半導体(あ
るには多分絶縁層)と、φA2およびφA3ゲート電極
の下にドープされる不純物濃度に差を持たせるこ
とによつて与えることができる。この発明のこの
形式のものでは、フイールド転送時間中、φA1
ロツク電圧はφA2およびφA3クロツク電圧からオフ
セツトしていなければならないので、φA1、φA2
φA3クロツク電圧の発生が多少困難になる。さら
にまたこの発明をフイールド転送形式のイメージ
ヤに関して詳細に説明したが、この発明は線転送
形式のイメージヤにも適用できることは言う迄も
ない。
【図面の簡単な説明】
第1図aおよびbは、2/3インタレースが使用
される従来技術において、第1および第2の各々
の交番フイールドにおける映像集積時間中のフイ
ールド転送形式のCCDイメージヤの3相クロツ
ク映像(すなわちA)レジスタのチヤンネルの一
部に沿うイメージヤ・レジスタ・ゲート電極に供
給されるバイアス電位の電位形態を示す図、第2
図aおよびbは、粒子を減少させ、フイールド・
インタレースを改善するためにこの発明を実施し
たときの第1および第2の交番フイールド群にお
ける集積時間中に映像レジスタ・ゲート電極中に
供給されるバイアス電位の電位形態を示す図、第
3図は、この発明を実施した第2図によるCCD
イメージヤを動作させるための装置を示すブロツ
ク図である。 11,14,17……第3位相ゲート電極、1
2,15,18……第1位相ゲート電極、13,
16……第2位相ゲート電極、VLO、VHI……第
1および第2バイアス電位、VINT……第3バイア
ス電位、41……電荷転送装置、51……第3の
手段、52……第1の手段、53……第2の手
段。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 フイールド転送形式のCCDイメージヤの映
    像レジスタ中のゲート電極を映像集積時間中バイ
    アスする方法であつて、上記映像レジスタはフイ
    ールド転送時間中3相クロツクされる形式のもの
    であり、 1つ置きの第1のフイールド群における映像集
    積時間中、第2位相ゲート電極を相対的に高いバ
    イアス電位でバイアスし、第3位相ゲート電極を
    相対的に低いバイアス電位でバイアスし、 上記第1のフイールド群のフイールド相互間に
    間挿される1つ置きの第2のフイールド群におけ
    る映像集積時間中、第3位相ゲート電極を相対的
    に高いバイアス電位でバイアスし、第2位相ゲー
    ト電極を相対的に低いバイアス電位でバイアス
    し、 全映像集積時間中、第1位相ゲート電極を上記
    相対的に高いバイアス電位と相対的に低いバイア
    ス電位との中間のバイアス電位でバイアスする段
    階とからなり、 上記中間のバイアス電位は粒子をその最小値近
    くにまで減少させるのに充分な適正値だけ上記低
    いバイアス電位よりも高く設定されている、電荷
    結合装置のゲート電極をバイアスする方法。 2 第1位相ゲート電極、それに続く第2位相ゲ
    ート電極、それに続く第3位相ゲート電極が連続
    的に循環して配置されたゲート電極を有し、上記
    第1位相、第2位相および第3位相ゲート電極は
    電荷転送時間中、3相クロツクされる形式の
    CCD電荷転送装置における上記ゲート電極を少
    なくとも選択された映像集積時間中バイアスする
    方法であつて、 上記のような映像集積時間中、(イ)上記第2位相
    ゲート電極に第1のバイアス電位を供給し、(ロ)上
    記第3位相ゲート電極に第2のバイアス電位を供
    給し、上記第1および第2のバイアス電位の一方
    は、このバイアス電位が供給されるゲート電極の
    すぐ近くに当該電荷転送装置中で発生された電荷
    キヤリヤを収集するための電荷キヤリヤ収集領域
    を誘導するような値に設定されており、上記第1
    および第2のバイアス電位の他方は電荷キヤリヤ
    収集領域を誘導しないような値に設定されてお
    り、 さらに(ハ)上記第1位相ゲート電極に対して、上
    記第1および第2のバイアス電位によつて上記第
    2位相および第3位相ゲート電極の下にそれぞれ
    誘導された電位レベルの間にあり、従つて上記第
    1および第2のバイアス電位の他方によつて誘導
    された電位レベルからオフセツトされた電位レベ
    ルを上記第1位相ゲート電極の下に誘導する値を
    もつた第3のバイアス電位を供給し、それによつ
    て電荷転送装置の出力信号中の粒子を減少させ
    る、電荷結合装置のゲート電極をバイアスする方
    法。
JP59043741A 1983-03-07 1984-03-06 電荷結合装置のゲート電極をバイアスする方法 Granted JPS59168670A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

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JPH0458701B2 true JPH0458701B2 (ja) 1992-09-18

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US4507684A (en) 1985-03-26
FR2542491B1 (fr) 1990-09-14
DE3408344C2 (de) 1986-10-23
GB8405683D0 (en) 1984-04-11
GB2136657B (en) 1986-11-12
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