[go: up one dir, main page]

JPH04233440A - 光学的検査装置 - Google Patents

光学的検査装置

Info

Publication number
JPH04233440A
JPH04233440A JP2410532A JP41053290A JPH04233440A JP H04233440 A JPH04233440 A JP H04233440A JP 2410532 A JP2410532 A JP 2410532A JP 41053290 A JP41053290 A JP 41053290A JP H04233440 A JPH04233440 A JP H04233440A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
image
light source
optical
transmitted
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2410532A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0776757B2 (ja
Inventor
Ryutaro Hayashi
林　柳太郎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
International Business Machines Corp
Original Assignee
International Business Machines Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by International Business Machines Corp filed Critical International Business Machines Corp
Priority to JP2410532A priority Critical patent/JPH0776757B2/ja
Priority to US07/802,975 priority patent/US5268735A/en
Publication of JPH04233440A publication Critical patent/JPH04233440A/ja
Publication of JPH0776757B2 publication Critical patent/JPH0776757B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B33/00—Constructional parts, details or accessories not provided for in the other groups of this subclass
    • G11B33/10—Indicating arrangements; Warning arrangements
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/9506—Optical discs
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/002—Recording, reproducing or erasing systems characterised by the shape or form of the carrier
    • G11B7/0037—Recording, reproducing or erasing systems characterised by the shape or form of the carrier with discs
    • G11B7/00375—Recording, reproducing or erasing systems characterised by the shape or form of the carrier with discs arrangements for detection of physical defects, e.g. of recording layer
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
    • G01N2021/8812—Diffuse illumination, e.g. "sky"
    • G01N2021/8816—Diffuse illumination, e.g. "sky" by using multiple sources, e.g. LEDs
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • G01N2021/8887—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges based on image processing techniques
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • G01N2021/8887—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges based on image processing techniques
    • G01N2021/889—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges based on image processing techniques providing a bare video image, i.e. without visual measurement aids

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)
  • Image Processing (AREA)
  • Image Analysis (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は光学的検査装置に係り、
更に詳しくは、検査対象の光透過部分と光反射部分とを
同じ視野内で観察する光学的検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】光ディスク中に生じる主たる欠陥には、
記録層に生じたピンホールと、記録層上に付着したり透
明基板中に混入した異物とがある。従来、これらの欠陥
を検査するには、光ディスクからの反射光による像を生
じさせる構造の光学的顕微鏡を利用することが通常であ
った。そのため、図４に示されるように、光ディスク１
のピンホール１１も異物１２も共に黒い影（点）として
観察され、両者の区別がつかなかった。また、光ディス
ク１を透過した光による像を生じさせる構造の光学的顕
微鏡により光ディスク１を検査する場合には、ピンホー
ル１１の観察はできても、金属で形成されている記録層
の光透過率は低いので異物１２の観察が困難であった。 また、光ディスク１に形成された同心状あるい螺旋状の
グルーブ２は反射光による像の中には観察できても、透
過光による像の中には観察し難い。従って、光ディスク
１を透過した光の像を観察する構造の光学的顕微鏡を用
いては、グルーブ２とピンホール１１とを同時に観察で
きないので、グルーブ２とピンホール１１との関係を観
察して両者の因果関係を究明することができなかった。
【０００３】ところで、特開昭６１−２５０４１号には
、壜の口部分については反射光で観察し、壜の底部分に
ついては透過光で観察する壜検査装置が開示されている
。しかし、この壜検査装置は、反射光による像の生じる
領域と透過光による像の生じる領域とが検査視野の中で
予め固定的に区分されている。従って、光ディスクの検
査のように、光透過部分（ピンホール）と光反射部分（
異物）とが検査対象内で混在しているような通常の検査
対象には適用できないものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、検査
対象の光透過部分と光反射部分とを同じ視野内で両者を
区別しながら観察できる光学的検査装置を提供すること
である。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、互いに識別可
能な少なくとも２つの光の一方により検査対象の透過光
による像を形成し、他方により検査対象の反射光による
像を形成するようにして前記目的を解決しようとするも
のである。
【０００６】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図１には本発明による光学的検査装置の一実施例
の概念が示されている。図中、検査対象である光ディス
ク１は透明な基板４と記録層６とを有し、異物１２が基
板４内に混入したり記録層６の上に付着したりしている
。また、ピンホール１１が記録層６に生じている。
【０００７】光ディスク１の一方の面側には第１の光源
８から光が照射され、光ディスク１の他方の面側には第
２の光源９から光が照射される。第１の光源８は、その
照射する光が光ディスク１の透過光による像を生じさせ
るように配置されている。また、第２の光源９は、その
照射する光が光ディスク１の反射光による像を生じさせ
るように配置されている。第１の光源８の照射する光の
強度（照度）は第２の光源９の照射する光の強度に比べ
て高い。
【０００８】第１の光源８の光は記録層６のピンホール
１１を透過してピンホール１１の像を形成させる。第２
の光源９の光は記録層６及びグルーブ２で反射して記録
層６及びグルーブ２の像を形成する。また、第２の光源
９からの光は異物１２で反射して異物１２の像を形成す
る。これらの像の明るさを比較すると、ピンホール１１
の像が最も明かるく、次いで記録層６の平坦部分の像が
明るく、散乱の生じているグルーブ２の像は前記平坦部
分より暗くなる。異物１２での反射の際には光の吸収や
散乱が生じるので、異物１２の像は記録層６及びグルー
ブ２の像よりも更に暗くなる。
【０００９】図１には、このようにして生じた各部の像
が、その明るさに応じて異なる色に変換されることが示
されている。例えば、最も明るいピンホール１１の像は
赤に変換され、記録層６の平坦部分の像は黄色に変換さ
れ、グルーブ２の像は緑に変換され、異物１２の像は青
に変換される。
【００１０】図２には前記実施例のより具体的な構造が
示されている。図中、第１の光源としての第１ハロゲン
・ランプ３１の光はコリメータ・レンズ３２、ミラー３
３、ビーム・コンデンサ３４、及び絞り３５を経て、透
明試料台３７上の光ディスク１の下面に照射される。ま
た、第２の光源としての第２ハロゲン・ランプ４１の光
はコリメータ・レンズ４２、絞り４３、及びハーフ・ミ
ラー４４を経て光ディスク１の上面に照射される。第１
ハロゲン・ランプ３１の明るさは第２ハロゲン・ランプ
４１の明るさの例えば２倍である。
【００１１】光ディスク１からの透過光及び反射光はリ
レー・レンズ４６を経て撮像手段としてのカメラ５１に
り受光されて映像信号に変換される。カメラ５１はモノ
クロの例えばＣＣＤカメラである。モノクロのカメラ５
１はカラーのカメラよりも解像度の点で優れている。前
記カメラ５１の映像信号は、イメージ・エンハンサ５２
及びスーパー・インポーザ５４を経て画像処理手段５６
に与えられる。イメージ・エンハンサ５２は像の輪郭を
強調するための信号処理を行ない、スーパー・インポー
ザ５４は視野の一部にゲージ情報や試料名情報等を付加
する。画像処理手段５６は、ノイズ低減のための積算処
理の後、光量に応じて各部をカラーリングする。即ち、
画像処理装置５６は光の強度に応じて像の各部を色分け
して表示させる映像信号を生成する。
【００１２】画像処理手段５６には表示手段としてのカ
ラー・モニタ５７とビデオ・プリンタ５８とが接続され
、カラー・モニタ５７は前記画像処理手段５６からの映
像信号に基づいて、色分けされた像をスクリーン表示し
、ビデオ・プリンタ５８は前記画像処理手段５６からの
映像信号に基づいて、色分けされた像をカラー印刷する
。図３には、カラー・モニタ５７のスクリーン或はビデ
オ・プリンタ５８の印刷結果が示されている。図３に示
されるように、ピンホール１１、異物１２、及びグルー
ブ２は互いに異なる色で表されている。
【００１３】このような本実施例によれば、観察された
欠陥が記録層６の欠落したピンホール１１であるのか、
記録層６に付着したあるいは基板４中に混入した異物１
２であるのかを区別できる。従って、光ディスク１の製
造過程のどのような段階で欠陥が発生したかの究明に役
立つ情報を得ることができる。また、光ディスク１のラ
イフ・テストの前後で得た結果をビデオ・プリンタ５８
でカラー印刷し、それらを重ね合せることにより、欠陥
の種類による成長の有無や度合が分かる。また、像中の
各部の色と欠陥の種類とが対応づけられるので、例えば
、黄色の欠陥が観察されても出荷可と判断し、赤の欠陥
が観察されるなら出荷不可と判断する如く、観察される
色に基づいて製品検査を効率良く行うことができる。 また、グルーブ２とピンホール１１とを同じ視野で観察
できるので、グルーブ２がピンホール１１に及ぼす影響
等の究明に役立つ情報を得ることができる。更に、カラ
ー・カメラよりも高解像度を得ることの容易なモノクロ
・カメラを用いる構造であるので微細な欠陥まで容易に
検査できる。
【００１４】尚、前記実施例では透過光による像を生じ
させる光と反射光による像を生じさせる光とは互いに明
るさ（光量）の異なる光であり、画像処理を経て色分け
されて識別可能になった。しかし、これに限らず、透過
光による像を生じさせる光と反射光による像を生じさせ
る光とは互いに波長（色）の異なる光であり、画像処理
を経ることなく識別可能であってもよい。また、その他
の識別可能な光学的な性質、例えば、偏光の種類の異な
る光の一方により透過光による像を生じさせ、他方によ
り反射光による像を生じさせ、その像を偏光の種類に基
づいて色分けして識別可能にしてもよい。更に、本発明
が適用されるのは光ディスクの検査に限らず、透過光に
よる像と反射光による像を生じさせる光ディスク以外の
種々の検査対象に適用できる。
【００１６】
【発明の効果】上述のように本発明によれば、検査対象
の光透過部分と光反射部分とを同じ視野内で両者を区別
しながら観察できる光学的検査装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による光学的検査装置の一実施例の基本
的な概念を示す斜視図である。
【図２】前記実施例の図１より具体的な構成を示す断面
図である。
【図３】前記実施例よる光ディスクの検査結果を示す平
面図である。
【図４】従来の光学顕微鏡よる光ディスクの検査結果を
示す平面図である。
【符号の説明】
１・・・検査対象として光ディスク ２・・・光ディスクのグルーブ ４・・・光ディスクの基板 ６・・・光ディスクの記録層 ８・・・第１の光源 ９・・・第２の光源 １１・・・ピンホール １２・・・異物 ３１・・・第１の光源としてのハロゲン・ランプ３２・
・・第２の光源としてのハロゲン・ランプ５１・・・撮
像手段としてのカメラ ５６・・・画像処理手段

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】互いに識別可能な少なくとも２つの光の一
    方により検査対象の透過光による像が形成され、他方に
    より検査対象の反射光による像が形成される、光学的検
    査装置。
  2. 【請求項２】前記識別可能な少なくとも２つの光は、互
    いに強度が異なっている請求項１に記載の光学的検査装
    置。
  3. 【請求項３】前記識別可能な少なくとも２つの光は、互
    いに波長が異なっている請求項１に記載の光学的検査装
    置。
  4. 【請求項４】検査対象に光を照射して透過光による像を
    形成させる第１の光源と、前記検査対象に前記第１の光
    源の光に対して識別可能な光を照射して反射光による像
    を生じさせる第２の光源と、を有する光学的検査装置。
  5. 【請求項５】互いに異なる強度の光を同じ検査対象に照
    射する第１及び第２の光源と、前記第１の光源の光の反
    射光による像及び前記第２の光源の光の透過光による像
    を受光する撮像手段と、前記撮像手段の受光した像を光
    の強度の異なる部分は異なる色で表示させる映像信号を
    生成する画像処理手段と、前記画像処理手段からの映像
    信号に基づいて前記像を表示する表示手段と、を有する
    光学的検査装置。
JP2410532A 1990-12-14 1990-12-14 光学的検査装置 Expired - Lifetime JPH0776757B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2410532A JPH0776757B2 (ja) 1990-12-14 1990-12-14 光学的検査装置
US07/802,975 US5268735A (en) 1990-12-14 1991-12-06 Apparatus for observing features and defects of a sample

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2410532A JPH0776757B2 (ja) 1990-12-14 1990-12-14 光学的検査装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH04233440A true JPH04233440A (ja) 1992-08-21
JPH0776757B2 JPH0776757B2 (ja) 1995-08-16

Family

ID=18519688

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2410532A Expired - Lifetime JPH0776757B2 (ja) 1990-12-14 1990-12-14 光学的検査装置

Country Status (2)

Country Link
US (1) US5268735A (ja)
JP (1) JPH0776757B2 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000046750A (ja) * 1998-07-30 2000-02-18 Advanced Display Inc 表面欠陥確認装置ならびに該装置を用いた基板欠陥分析方法および液晶表示装置の基板欠陥分析方法
WO2013118296A1 (ja) * 2012-02-10 2013-08-15 株式会社島津製作所 太陽電池セルの検査装置および太陽電池セルの処理装置

Families Citing this family (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
IL107603A (en) * 1992-12-21 1997-01-10 Johnson & Johnson Vision Prod Ophthalmic lens inspection method and apparatus
GR1002072B (en) * 1992-12-21 1995-11-30 Johnson & Johnson Vision Prod Illumination system for opthalmic lens inspection.
IL107601A (en) * 1992-12-21 1997-09-30 Johnson & Johnson Vision Prod Illumination and imaging subsystems for a lens inspection system
JPH07311162A (ja) * 1994-05-20 1995-11-28 Eisai Co Ltd シリンジにおけるフランジ部の欠けや割れを検出する方法
JP3385442B2 (ja) * 1994-05-31 2003-03-10 株式会社ニュークリエイション 検査用光学系および検査装置
DE4434475C2 (de) * 1994-09-27 1998-05-28 Basler Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Qualitätskontrolle eines Gegenstandes, insbesondere einer Compact-Disc
EP0718624A3 (en) * 1994-12-19 1997-07-30 At & T Corp Device and method for illuminating transparent and semi-transparent materials
DE19511197C2 (de) * 1995-03-27 1999-05-12 Basler Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum optischen Prüfen einer Oberfläche, insbesondere einer Compact-Disc
DE19511195C2 (de) * 1995-03-27 1999-01-28 Basler Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum optischen Prüfen einer Oberfläche
DE19511196A1 (de) * 1995-03-27 1996-10-02 Basler Gmbh Optische Prüfvorrichtung
US5790247A (en) * 1995-10-06 1998-08-04 Photon Dynamics, Inc. Technique for determining defect positions in three dimensions in a transparent structure
US5610710A (en) * 1996-05-28 1997-03-11 International Business Machines Corporation Dual mode illumination system for optical inspection
US5940174A (en) * 1996-10-16 1999-08-17 Wea Manufacturing Inc. Optical disc inspection equalization system and method
US5715051A (en) * 1996-10-21 1998-02-03 Medar, Inc. Method and system for detecting defects in optically transmissive coatings formed on optical media substrates
IL133522A0 (en) * 1997-06-17 2001-04-30 Yuki Engineering System Co Ltd Device for checking sheet packaging
US5870186A (en) * 1997-07-15 1999-02-09 The United States Of America As Represented By The Administrator National Aeronautics And Space Administration Detector for particle surface contamination
US6246062B1 (en) 1998-11-05 2001-06-12 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Missing lens detection system and method
SG87848A1 (en) 1998-11-05 2002-04-16 Johnson & Johnson Vision Prod Missing lens detection system and method
DE19929118C2 (de) * 1999-06-25 2001-05-10 Basler Ag Verfahren zum optischen Prüfen der Zwischenschicht eines wenigstens dreischichtigen flächigen Gegenstandes
JP4002716B2 (ja) * 2000-08-28 2007-11-07 株式会社日産アーク 光学樹脂成形体の高次構造可視化方法
TW552400B (en) * 2002-06-21 2003-09-11 Lite On It Corp Automatic measurement method of optical calibration apparatus
JP4079841B2 (ja) * 2003-06-30 2008-04-23 オリンパス株式会社 欠陥表示装置
US7586595B2 (en) * 2003-11-17 2009-09-08 Tdk Corporation Method of scanning and scanning apparatus
US20050254381A1 (en) * 2004-04-28 2005-11-17 Desormeaux Joseph Jr System and method for detecting faulty media in a media player
US7104931B2 (en) * 2004-05-03 2006-09-12 Philadelphia Nutrition & Phitness, Inc. Exercise system and method for simulating a swimming motion
US9131548B2 (en) * 2006-02-09 2015-09-08 Production Resource Group, Llc Test machine for an automated light
EP2381246A1 (en) * 2010-04-26 2011-10-26 Becton Dickinson France Device, kit and method for inspection of an article
US9538170B1 (en) * 2015-09-08 2017-01-03 Hon Hai Precision Co., Ltd. Camera lens cleaning system and method of using same
KR20220030515A (ko) * 2020-09-02 2022-03-11 삼성디스플레이 주식회사 해상력 측정 장치 및 그것을 이용한 해상력 측정 방법

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6217646A (ja) * 1985-07-16 1987-01-26 Mitsubishi Electric Corp 表面状態表示装置
JPS62103548A (ja) * 1985-10-31 1987-05-14 Dainippon Printing Co Ltd リ−ドフレ−ムの欠陥検査装置
JPS62119444A (ja) * 1985-11-20 1987-05-30 Fujitsu Ltd パタ−ン検査装置
JPH01174948A (ja) * 1987-12-29 1989-07-11 Hoya Corp 表面検査装置

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5324301B2 (ja) * 1974-09-09 1978-07-20
KR890002004B1 (ko) * 1984-01-11 1989-06-07 가부시끼 가이샤 도오시바 지폐류 판별장치
JPS6125041A (ja) * 1984-07-13 1986-02-03 Sapporo Breweries Ltd 壜検査装置
US4648053A (en) * 1984-10-30 1987-03-03 Kollmorgen Technologies, Corp. High speed optical inspection system
US4647208A (en) * 1985-07-22 1987-03-03 Perceptron, Inc. Method for spatial measurement of holes
JPH01310485A (ja) * 1988-06-08 1989-12-14 Dainippon Printing Co Ltd 欠陥情報検出装置
JP2796316B2 (ja) * 1988-10-24 1998-09-10 株式会社日立製作所 欠陥または異物の検査方法およびその装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6217646A (ja) * 1985-07-16 1987-01-26 Mitsubishi Electric Corp 表面状態表示装置
JPS62103548A (ja) * 1985-10-31 1987-05-14 Dainippon Printing Co Ltd リ−ドフレ−ムの欠陥検査装置
JPS62119444A (ja) * 1985-11-20 1987-05-30 Fujitsu Ltd パタ−ン検査装置
JPH01174948A (ja) * 1987-12-29 1989-07-11 Hoya Corp 表面検査装置

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000046750A (ja) * 1998-07-30 2000-02-18 Advanced Display Inc 表面欠陥確認装置ならびに該装置を用いた基板欠陥分析方法および液晶表示装置の基板欠陥分析方法
WO2013118296A1 (ja) * 2012-02-10 2013-08-15 株式会社島津製作所 太陽電池セルの検査装置および太陽電池セルの処理装置
JPWO2013118296A1 (ja) * 2012-02-10 2015-05-11 株式会社島津製作所 太陽電池セルの検査装置および太陽電池セルの処理装置
TWI500923B (zh) * 2012-02-10 2015-09-21 Shimadzu Corp 太陽電池的檢查裝置以及太陽電池的處理裝置
US9322786B2 (en) 2012-02-10 2016-04-26 Shimadzu Corporation Solar cell inspection apparatus and solar cell processing apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0776757B2 (ja) 1995-08-16
US5268735A (en) 1993-12-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH04233440A (ja) 光学的検査装置
US6633375B1 (en) Method and device for optically examining structured surfaces of objects
US6346966B1 (en) Image acquisition system for machine vision applications
KR101203210B1 (ko) 결함 검사장치
JP4332656B2 (ja) 欠陥検査方法および欠陥検査装置
JP2001041900A (ja) シート包装検査装置
JP3216874B2 (ja) シート包装検査装置および検査方法
JP5890953B2 (ja) 検査装置
JP2718510B2 (ja) 着色周期性パターンの検査方法
JPWO2005050132A1 (ja) パターンのムラ欠陥検査方法及び装置
US4330712A (en) Inspection apparatus for defects on patterns
JPH0157282B2 (ja)
JP4216485B2 (ja) パターン検査方法およびその装置
JP2000298075A (ja) カラーフィルタの欠陥検査方法および装置
JP2850031B2 (ja) パターン部材の検査方法および検査装置
JPH11101691A (ja) 着色部材の検査装置及びそれの製造方法
JPH0448250A (ja) ヒューズ配列検査装置
JPH07306152A (ja) 光学的歪検査装置
JPH0943097A (ja) カラーフィルター欠陥検査装置
JP2000163582A (ja) 金属試料表面の欠陥検査方法及び装置
JP2000258348A (ja) 欠陥検査装置
JPH07190945A (ja) マスク検査装置
JPH11271703A (ja) 液晶パネルの検査方法
JPH08219943A (ja) カラーフィルターの欠陥検査装置
JPH1185980A (ja) 印刷金属板の印刷品質検査方法及びその検査装置