JP4079841B2

JP4079841B2 - 欠陥表示装置

Info

Publication number: JP4079841B2
Application number: JP2003187854A
Authority: JP
Inventors: 孝明大西; 周次秋山
Original assignee: Olympus Corp
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 2003-06-30
Filing date: 2003-06-30
Publication date: 2008-04-23
Anticipated expiration: 2023-06-30
Also published as: KR100791195B1; KR20060031645A; CN1813185A; TWI340356B; CN100476416C; TW200511148A; JP2005024312A; WO2005001455A1

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば半導体ウエハや液晶ディスプレイのガラス基板等の検査対象上の欠陥部を抽出するのに最適な欠陥検出レベルを設定変更可能な欠陥表示装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶ディスプレイの製造工程では、基板検査装置によりガラス基板に対する基板検査が行なわれている。特許文献１には、ガラス基板をマクロ的に撮像して取得した画像データをディスプレイ画面上に表示し、この画面上でオペレータが欠陥部分を含む一部の画像領域を抜き取って欠陥画像データとして保存し、かつ欠陥画像データを基準画像データに合成してディスプレイ画面上に表示することが記載されている。
【０００３】
又、欠陥画像の保存・表示を行う技術としては、例えば特許文献２がある。この特許文献２には、基準画像と検査対象画像とを比較して欠陥部を含む領域を切り出して、この欠陥画像データを保存し、この欠陥画像データを基準画像データに貼り付けて再生することが記載されている。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００３−１００８２７号公報
【０００５】
【特許文献２】
特開２００２−１９２６９９号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ガラス基板を検査する場合、液晶ディスプレイ製造の各工程によってガラス基板の状態、例えばガラス基板上に形成される層の数、又はレジストが塗布されていたり、塗布されていない等によってガラス基板上に形成されたパターンや欠陥の見え方が変化する。このような場合は、ガラス基板に対する検査条件（レシピ）として例えば欠陥検出レベルを変更する必要がある。
【０００７】
しかしながら、特許文献１、２では、保存した欠陥画像データを再生して表示するだけであり、検査対象画像データ中の欠陥部を検出するための欠陥検出レベルを変更することは行っていない。
【０００８】
ガラス基板の検査の現状は、ガラス基板上の欠陥部の各欠陥画像データを取得してディスプレイ画面上に表示し、この表示されたガラス基板の状態を確認して、その場で欠陥検出レベルを設定変更している。
【０００９】
このため、液晶ディスプレイ製造の各工程又はガラス基板のロットに応じて最適な欠陥検出レベルに設定されていない場合には、液晶ディスプレイ製造に影響を与えるような欠陥部を検出できなかったり、欠陥部とならない不必要な部分を疑似欠陥として誤検出してしまい、正確な基板検査をすることができない。
【００１０】
又、欠陥検出レベルの設定変更に時間がかかり、設定変更が修理用するまで基板検査を一時停止しなければならない。そのうえ、欠陥検出レベルを設定変更した後に、ガラス基板上の欠陥部の各欠陥画像データを取得して欠陥検出レベルが適切に設定変更されたかを確認する必要があり、欠陥検出レベルの設定に失敗した場合には、再度欠陥データを取得するする必要があり、欠陥検出レベルの設定に熟練を要する。
【００１１】
上述した特許文献２の欠陥画像データは、ディスプレイ画面上に表示されるだけなので、欠陥検出レベルを設定変更した結果が、この表示された欠陥画像データには反映されない。このため、設定変更された欠陥検出レベルで再度欠陥画像データを取得して確認する必要がある。
【００１２】
そこで本発明は、ガラス基板の状態が変化しても、ガラス基板の状態変化に応じた最適な検査条件を容易にかつ短時間に設定変更できる欠陥表示装置を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明は、基板検査装置により検査対象基板の全面を撮像して取得される全面画像データから検査対象基板上の欠陥部を含む周辺の原画像を切り出した原画像データを保存する画像保存部と、欠陥部を抽出するための欠陥検出レベルに基づいて画像保存部に記憶されている原画像データから欠陥部の欠陥画像データを抽出する欠陥抽出部と、欠陥検出レベルを可変する可変ボタンをディスプレイ画面上に表示し、可変ボタンに対する操作により画像保存部に保存されている原画像データに対する欠陥検出レベルを変更する検査条件変更部と、検査条件変更部により変更された欠陥検出レベルにより原画像データに対して欠陥抽出部で再抽出された欠陥画像データをディスプレイ画面上に表示させる表示制御部とを具備した欠陥表示装置である。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１５】
図１は欠陥表示装置の構成図である。ＣＰＵを有する主制御部１には、出力部２を介して液晶又はＣＲＴ等のディスプレイ３が接続されている。又、主制御部１には、入力部４を介してキーボードやマウス等のマニュアル入力部５が接続されている。
【００１６】
主制御部１は、画像保存部６に対する画像データの保存及び読み出しと、欠陥情報記憶部７に対する欠陥部に関する情報の書き込み及び読み出しとを行い、かつ表示制御部８、検査条件変更部９、欠陥抽出部１０及び欠陥情報表示部１１に対して動作指令を発する。
【００１７】
画像保存部６には、例えば基板検査装置１２により半導体ウエハや液晶ディスプレイのガラス基板などの検査対象を検査して検出された検査対象上の欠陥部の原画像（欠陥画像）データが保存される。以降、検査対象としてフラットパネルディスプレイのガラス基板を用いた例で説明する。原画像データは、例えば図２に示すように基板検査装置おいてガラス基板の全面を撮像して取得された全面画像データＤ中から欠陥部Ｇを含む周辺の画像データＤｍ_１を切り出したものである。なお、ガラス基板上に複数の欠陥部Ｇ、例えば６つの欠陥部Ｇ_１〜Ｇ_６が存在すれば、画像保存部６には６つの原画像データＤｍ_１〜Ｄｍ_６が保存される。
【００１８】
欠陥情報記憶部７には、ガラス基板上の各欠陥部Ｇ_１〜Ｇ_６に関する情報、例えば６つの欠陥部Ｇ_１〜Ｇ_６の各座標、各輝度、各欠陥の種類、各サイズなどの情報が記憶される。
【００１９】
表示制御部８は、マニュアル入力部５に対するマニュアル操作に応じて画像保存部６に保存されている各原画像データＤｍ_１〜Ｄｍ_６をディスプレイ３の画面上に一覧表示（サムネイル表示）する。又、表示制御部８は、検査条件変更部９によりガラス基板上の各欠陥部Ｇ_１〜Ｇ_６に対する検査条件を変更したときの欠陥抽出部１０の抽出動作結果により得られる各欠陥部Ｇ_１〜Ｇ_６のみを表示する各欠陥画像データＤｇ_１〜Ｄｇ_６をディスプレイ３の画面上に一覧表示する。
【００２０】
図１に示すディスプレイ３の画面上には、例えば各欠陥画像データＤｇ_１〜Ｄｇ_６が一覧表示されている。これら欠陥画像データＤｇ_１〜Ｄｇ_６は、それぞれ各欠陥部Ｇ_１〜Ｇ_６を有する。
【００２１】
又、表示制御部８は、マニュアル入力部５に対するマニュアル操作に従って、各原画像データＤｍ_１〜Ｄｍ_６、欠陥抽出部１０により抽出された各欠陥部Ｇ_１〜Ｇ_６のみの各欠陥画像データＤｇ_１〜Ｄｇ_６、又は各原画像データＤｍ_１〜Ｄｍ_６と各欠陥画像データＤｇ_１〜Ｄｇ_６とをそれぞれ合わせた各オーバレイ画像データＤｒ_１〜Ｄｒ_６のうちいずれかをディスプレイ３の画面上に選択表示する。
【００２２】
例えば、図３（ａ）は原画像データＤｍ_１の一例を示す。この原画像データＤｍ_１は、ガラス基板上に形成された規則的なパターン（例えばバスライン）Ｐが撮像されると共に、欠陥部Ｇ_１も存在する。同図（ｂ）は欠陥画像データＤｇ_１の一例を示し、欠陥部Ｇ_１のみが存在する。同図（ｃ）はオーバレイ画像データＤｒ_１の一例を示し、原画像データＤｍ_１と欠陥画像データＤｇ_１とを合わせて作成される。
【００２３】
表示制御部８は、ディスプレイ３の画面上に例えば各欠陥画像データＤｇ_１〜Ｄｇ_６又は各オーバレイ画像データＤｒ_１〜Ｄｒ_６を表示するとき、各欠陥部Ｇ_１〜Ｇ_６の表示色を欠陥の種類毎に色を変えて表示出力する。
【００２４】
又、表示制御部８は、各原画像データＤｍ_１〜Ｄｍ_６、各欠陥画像データＤｇ_１〜Ｄｇ_６、又は各オーバレイ画像データＤｒ_１〜Ｄｒ_６をソートしてディスプレイ３の画面上に表示する。ソートする項目は、欠陥情報記憶部７に記憶されているガラス基板上の各欠陥部Ｇ_１〜Ｇ_６に関する情報である例えば各欠陥部Ｇ_１〜Ｇ_６の各座標順、各輝度順、各欠陥の種類順、各サイズ順などである。
【００２５】
又、表示制御部８は、マニュアル入力部５に対するマニュアルの選択指示に従って、各原画像データＤｍ_１〜Ｄｍ_６、各欠陥画像データＤｇ_１〜Ｄｇ_６、又は各オーバレイ画像データＤｒ_１〜Ｄｒ_６の中から任意の画像データをセレクトしてディスプレイ３の画面上に表示する。
【００２６】
検査条件変更部９は、画像保存部６に保存されている各原画像データＤｍ_１〜Ｄｍ_６から各欠陥部Ｇ_１〜Ｇ_６を抽出する検査条件を設定変更する。検査条件は、各原画像データＤｍ_１〜Ｄｍ_６の白レベルと黒レベルの各明るさ（輝度）に対する各欠陥検出レベルＬａ、Ｌｂの設定変更と、各原画像データＤｍ_１〜Ｄｍ_６に対するコントラスト強調レベルの設定変更とである。
【００２７】
各欠陥検出レベルＬａ、Ｌｂの可変方法は次の通りである。
【００２８】
検査条件変更部９は、図１に示すようにディスプレイ３の画面上に各欠陥検出レベルＬａ、Ｌｂを設定変更するための欠陥検出レベル変更ブロックＢＬを表示する。この欠陥検出レベル変更ブロックＢＬには、図４（ａ）に示すような各原画像データＤｍ_１〜Ｄｍ_６における例えば断線等の白レベルの欠陥部Ｇｈに対する欠陥検出レベルＬａを可変する各可変ボタンＢｈ_１、Ｂｈ_２と、同図（ｂ）に示すような例えば塵等による黒レベルの欠陥部Ｇｄに対する欠陥検出レベルＬｂを可変する各可変ボタンＢｄ_１、Ｂｄ_２とを有する。
【００２９】
なお、検査条件変更部９は、各原画像データＤｍ_１〜Ｄｍ_６に対する各欠陥検出レベルＬａ、Ｌｂを一括して設定変更可能であり、かつマニュアル入力部５のマウス等を操作して各原画像データＤｍ_１〜Ｄｍ_６をポインタにより指定し個別に各欠陥検出レベルＬａ、Ｌｂを設定変更することも可能である。
【００３０】
又、欠陥検出レベル変更ブロックＢＬには、マニュアル入力部５に対するマニュアル操作で各欠陥検出レベルＬａ、Ｌｂを任意に可変したときの各欠陥部Ｇ_１〜Ｇ_６の検出結果をディスプレイ３の画面上に表示して確認するためのエミュレートボタンＥＢと、各欠陥検出レベルＬａ、Ｌｂを自動設定するための自動設定ボタンＡＢとを有する。
【００３１】
各可変ボタンＢｈ_１、Ｂｈ_２、Ｂｄ_１、Ｂｄ_２は、マニュアル入力部５に対するマニュアル操作により設定されるもので、各可変ボタンＢｈ_１、Ｂｄ_１は、各欠陥検出レベルＬａ、Ｌｂを高く設定するものであり、各可変ボタンＢｈ_２、Ｂｄ_２は、各欠陥検出レベルＬａ、Ｌｂを低く設定する。
【００３２】
例えば図５（ａ）に示すように明るさを左側に低レベル、右側に高レベルとした場合、例えば原画像データＤｍ_１に対する欠陥検出レベルＬａを低レベル側に設定すれば、欠陥部Ｇ_１に対する検出精度が厳しくなり、高レベル側に設定すれば、欠陥部Ｇ_１に対する検出精度が緩くなる。
【００３３】
従って、欠陥検出レベルＬａよりも明るさが高レベルに欠陥部Ｇ_１があれば、当該欠陥部Ｇ_１は検出レベル域にあって検出可能であり、図５（ｂ）に示すように欠陥検出レベルＬａよりも低レベル側に欠陥部Ｇ_１があれば、当該欠陥部Ｇ_１は検出不可域にあって検出不可能である。
【００３４】
このように各可変ボタンＢｈ_１、Ｂｄ_１、Ｂｈ_２、Ｂｄ_２をマニュアル操作して各欠陥検出レベルＬａ、Ｌｂを任意に設定した状態にエミュレートボタンＥＢを操作すると、検査条件変更部９は、設定変更された欠陥検出レベルＬａ又はＬｂを用いて画像保存部６に保存されている各原画像データＤｍ_１〜Ｄｍ_６に対して各欠陥部Ｇ_１〜Ｇ_６の検出を行い、この検出結果で再抽出された各欠陥画像データＤｇ_１〜Ｄｇ_６をディスプレイ３の画面上に一覧表示する。
【００３５】
自動設定ボタンＡＢを操作すると、検査条件変更部９は、各原画像データＤｍ_１〜Ｄｍ_６、又は１枚の原画像データＤｍ_１、…、又はＤｍ_６に対する各欠陥検出レベルＬａ、Ｌｂを別々に自動設定する。
【００３６】
各欠陥検出レベルＬａ、Ｌｂの自動設定は次のように行われる。
【００３７】
例えば、図６（ａ）に示す原画像データＤｍ_１に対する欠陥検出レベルＬａを自動設定する場合、先ず、検査条件変更部９は、同図（ｂ）に示すように原画像データＤｍ_１をガラス基板上に形成された規則的なパターンの１周期分だけ横ずらした横画像データＤｍ_１’を作成する。
【００３８】
次に、検査条件変更部９は、同図（ｃ）に示すように原画像データＤｍ_１と画像データＤｍ_１’との差画像データＤｍ_１Ｓを作成する。この差画像データＤｍ_１Ｓでは、ガラス基板上に形成された規則的なパターンの１周期分だけ横ずらししているので、ガラス基板上のパターンが相殺されて原画像データＤｍ_１上の欠陥部Ｇ_１と横ずらし画像データＤｍ_１’上の欠陥部Ｇ_１’とが残る。
【００３９】
次に、検査条件変更部９は、差画像データＤｍ_１Ｓにおける各画素の明るさ（原画像データＤｍ_１と画像データＤｍ_１’との各画素の明るさの差）のデータ数をカウントとして図６（ｄ）に示す明るさの度数分布図を作成する。この明るさの度数分布図において分布Ｋ_１は各欠陥部Ｇ_１、Ｇ_１’を示し、分布Ｋ_２は低レベルの雑音を示す。
【００４０】
従って、各欠陥部Ｇ_１、Ｇ_１’を検出するために、検査条件変更部９は、分布Ｋ_１よりも低レベルに欠陥検出レベルＬａを自動設定する。
【００４１】
又、検査条件変更部９は、図１に示すようにディスプレイ３の画面上にコントラスト強調レベルを設定変更するためのコントラスト強調レベル変更ブロックＢＣを表示する。
【００４２】
コントラスト強調レベルの設定変更は次の通りである。
【００４３】
検査条件変更部９は、例えば原画像データＤｍ_１における各画素の明るさのデータ数をカウントとして図７（ａ）に示す明るさの度数分布図を作成する。
【００４４】
次に、検査条件変更部９は、明るさの度数分布図を同図（ｂ）に示すように明るさの幅を広げ、この明るさの幅を広げた明るさの度数分布図に従って原画像データＤｍ_１’に変換する。このように得られた原画像データＤｍ_１’は、明暗の差を明瞭とした画像となり、欠陥部Ｇ_１が強調されてディスプレイ３の画面上に表示される。
【００４５】
欠陥抽出部１０は、検査条件変更部９により設定変更された各欠陥検出レベルＬａ、Ｌｂ及びコントラスト強調レベルの検査条件に基づいて各原画像データＤｍ_１〜Ｄｍ_６に対して一括して欠陥部の抽出動作、又はマニュアル入力部５のマウス等を操作して各原画像データＤｍ_１〜Ｄｍ_６をポインタにより指定し個別に欠陥部の抽出動作を行う。
【００４６】
欠陥情報表示部１１は、ディスプレイ３の画面上に表示されているガラス基板上の各欠陥部Ｇ_１〜Ｇ_６をマニュアル入力部５のマウス等によりマニュアル指示すると、当該欠陥部Ｇ_１〜Ｇ_６に関する情報、すなわち各欠陥部Ｇ_１〜Ｇ_６の各座標、各輝度、各種類、各サイズなどを欠陥情報記憶部７から読み出してディスプレイ画面上に各原画像データＤｍ_１〜Ｄｍ_６、各欠陥画像データＤｇ_１〜Ｄｇ_６、又は各オーバレイ画像データＤｒ_１〜Ｄｒ_６と共に、ディスプレイ画面上の空いた画面領域に合わせて表示する。
【００４７】
次に、上記の如く構成された装置の動作について説明する。
【００４８】
液晶ディスプレイのガラス基板上に形成された規則的なパターンを検査する場合、例えばガラス基板の製造工程によってガラス基板上に形成される層の数が異なったり、レジストの塗布の有無などによってガラス基板上のパターン等の見え方が変化したときには、ガラス基板に対する検査条件を変更する必要がある。
【００４９】
画像保存部６には、既にガラス基板上の各欠陥部Ｇ_１〜Ｇ_６を有する各原画像データＤｍ_１〜Ｄｍ_６が保存されている。これと共に欠陥情報記憶部７には、ガラス基板上の各欠陥部Ｇ_１〜Ｇ_６の各座標、各輝度、各欠陥の種類、各サイズなどの情報が記憶されている。
【００５０】
マニュアル入力部５により各原画像データＤｍ_１〜Ｄｍ_６を一覧表示する指示が操作入力されると、表示制御部８は、画像保存部６に保存されている各原画像データＤｍ_１〜Ｄｍ_６を読み出してディスプレイ３の画面上に一覧表示する。
【００５１】
これら一覧表示された各原画像データＤｍ_１〜Ｄｍ_６に有する各欠陥部Ｇ_１〜Ｇ_６は、液晶ディスプレイ製造に影響を与えるために必ず検出を必要とする欠陥部（例えば各欠陥部Ｇ_１〜Ｇ_３）と、液晶ディスプレイ製造に影響を与えるものでなく検出を不必要とする欠陥部（例えば各欠陥部Ｇ_４〜Ｇ_６）とを有する。そこで、必ず検出を必要とする各欠陥部Ｇ_１〜Ｇ_３のみを確実に検出するために各欠陥検出レベルＬａ、Ｌｂの設定変更が行なわれる。
【００５２】
マニュアルで各欠陥検出レベルＬａ、Ｌｂの設定変更する場合、図１に示すように検査条件変更部９によりディスプレイ３の画面上に表示された欠陥検出レベル変更ブロックＢＬ中の各可変ボタンＢｈ_１、Ｂｈ_２をマニュアル入力部５からマニュアル操作により変更する。
【００５３】
これにより、図４（ａ）に示すような原画像データＤｍ_１における白レベルの欠陥部Ｇｈに対する欠陥検出レベルＬａが設定変更される。又、各可変ボタンＢｄ_１、Ｂｄ_２をマニュアル入力部５からマニュアル操作により変更することにより、同図（ｂ）に示すような黒レベルの欠陥部Ｇｄに対する欠陥検出レベルＬｂが設定変更される。
【００５４】
このように各欠陥検出レベルＬａ、Ｌｂが設定変更された後に、エミュレートボタンＥＢが操作されると、欠陥抽出部１０は、検査条件変更部９により設定変更された各欠陥検出レベルＬａ、Ｌｂに基づいて各原画像データＤｍ_１〜Ｄｍ_６に対して欠陥部の抽出動作を行う。
【００５５】
この欠陥部の抽出動作が終了すると、表示制御部８は、欠陥抽出部１０により抽出された各欠陥部Ｇ_１〜Ｇ_６のみの各欠陥画像データＤｇ_１〜Ｄｇ_６をディスプレイ３の画面上に一覧表示する。
【００５６】
これにより、ディスプレイ３の画面上に一覧表示された各欠陥画像データＤｇ_１〜Ｄｇ_６をチェックすることにより、設定変更した各欠陥検出レベルＬａ、Ｌｂによる各欠陥部Ｇ_１〜Ｇ_６の検出結果を確認できる。
【００５７】
すなわち、ディスプレイ３の画面上には、必ず検出しなければならない各欠陥部Ｇ_１〜Ｇ_３を含む各欠陥画像データＤｇ_１〜Ｄｇ_３が表示され、検出しなくともよい各欠陥部（疑似欠陥）Ｇ_４〜Ｇ_６は表示されない。これにより、マニュアルにより設定変更した各欠陥検出レベルＬａ、Ｌｂが適切なレベルであるかを直ちに判断できる。
【００５８】
なお、検出しなくてもよい各欠陥部Ｇ_４〜Ｇ_６のうち１つでも表示されていれば、再度各可変ボタンＢｈ_１、Ｂｈ_２、各可変ボタンＢｄ_１、Ｂｄ_２をマニュアル操作にして各欠陥検出レベルＬａ、Ｌｂを設定変更する。
【００５９】
自動により各欠陥検出レベルＬａ、Ｌｂの設定変更する場合、自動設定ボタンＡＢをマニュアル入力部５により操作すると、検査条件変更部９は、各原画像データＤｍ_１〜Ｄｍ_６、又は１枚の原画像データＤｍ_１、…、又はＤｍ_６に対する各欠陥検出レベルＬａ、Ｌｂを別々に自動設定する。
【００６０】
例えば、疑似欠陥と判定された各欠陥部Ｇ_４〜Ｇ_６を検出しないように欠陥検出レベルＬａ、Ｌｂを自動設定する場合、検査条件変更部９は、原画像データＤｍ_４〜Ｄｍ_６をガラス基板上のパターンの１周期分だけ横ずらしし、次に同図（ｃ）に示すように原画像データＤｍ_４〜Ｄｍ_６と横ずらし画像データＤｍ_４’〜Ｄｍ_６’との差画像データＤｍ_４Ｓ〜Ｄｍ_６Ｓを作成する。
【００６１】
次に、検査条件変更部９は、差画像データＤｍ_４Ｓ〜Ｄｍ_６Ｓの明るさの度数分布図を作成し、この明るさの度数分布図から各欠陥部Ｇ_４〜Ｇ_６、Ｇ_４’〜Ｇ_６’を検出するための欠陥検出レベルＬａ、Ｌｂを自動設定する。
【００６２】
欠陥検出レベルＬａの自動設定が終了すると、欠陥抽出部１０は、自動設定された各欠陥検出レベルＬａ、Ｌｂに基づいて各原画像データＤｍ_１〜Ｄｍ_６に対して欠陥部の抽出動作を行う。
【００６３】
表示制御部８は、欠陥抽出部１０により抽出された各欠陥部（真の欠陥）Ｇ_１〜Ｇ_６が含まれる各欠陥画像データＤｇ_１〜Ｄｇ_３のみをディスプレイ３の画面上に一覧表示する。これにより、ディスプレイ３の画面上に一覧表示された各欠陥画像データＤｇ_１〜Ｄｇ_３をチェックすることにより、自動設定した各欠陥検出レベルＬａ、Ｌｂが適切なレベルであるかを直ちに確認できる。
【００６４】
各欠陥検出レベルＬａ、Ｌｂのマニュアル設定又は自動設定を行うときに、各原画像データＤｍ_１〜Ｄｍ_６上の各欠陥部Ｇ_１〜Ｇ_６を強調してディスプレイ３の画面上に表示するために各原画像データＤｍ_１〜Ｄｍ_６のコントラストを強調できる。
【００６５】
このように上記一実施の形態によれば、ガラス基板の各原画像データＤｍ_１〜Ｄｍ_６を保存し、これら原画像データＤｍ_１〜Ｄｍ_６に対して各欠陥検出レベルＬａ、Ｌｂをマニュアル又は自動により設定変更したときの各欠陥部Ｇ_１〜Ｇ_６の検出結果をディスプレイ３の画面上で確認できるので、最適な欠陥検出レベルＬａ、Ｌｂに容易かつ短時間で設定変更できる。
【００６６】
この結果、再設定した欠陥検出レベルＬａ、Ｌｂを基板検査装置１２にフィードバックすることにより、ガラス基板の状態が変化したときでも基板検査装置１２で基板検査の立ち上がり時間を短縮できる。
【００６７】
各欠陥検出レベルＬａ、Ｌｂのマニュアル設定又は自動設定を行うときは、各原画像データＤｍ_１〜Ｄｍ_６をコントラスト強調の処理を行うことにより、ディスプレイ３の画面上に表示する各原画像データＤｍ_１〜Ｄｍ_６上の各欠陥部Ｇ_１〜Ｇ_６を強調して表示でき、各欠陥部Ｇ_１〜Ｇ_６を認識しやすくなる。
【００６８】
又、各原画像データＤｍ_１〜Ｄｍ_６は、ガラス基板の全面を撮像して取得した画像データＤ中から欠陥部分を含む一部の領域のみを切り出すことにより、各原画像データＤｍ_１〜Ｄｍ_６のデータ容量が小さくなり、画像保存部６の保存容量を大幅に削減できると共に、原画像データ、欠陥画像データ、オーバレイ画像データを短時間でディスプレイ３の画面上に表示できる。
【００６９】
又、表示制御部８は、各原画像データＤｍ_１〜Ｄｍ_６のうち例えばマニュアル入力部５により指示された原画像データ、例えば各原画像データＤｍ_１、Ｄｍ_３に対してのみに設定変更された各欠陥検出レベルＬａ、Ｌｂにより各欠陥部Ｇ_１、Ｇ_３を検出することができる。
【００７０】
さらに、表示制御部８は、マニュアル入力部５からの選択指示に従って各欠陥部Ｇ_１〜Ｇ_６を検査し易いように、各原画像データＤｍ_１〜Ｄｍ_６、各欠陥画像データＤｇ_１〜Ｄｇ_６、又はオーバレイ画像データの中から任意の画像データをセレクトしてディスプレイ３の画面上に表示したり、又は各欠陥部Ｇ_１〜Ｇ_６の各座標順、各輝度順、各種類順、各サイズ順などでソートしてディスプレイ３の画面上に表示できる。
【００７１】
なお、この発明は、上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合せにより種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。更に、異なる実施形態に亘る構成要素を適宜組み合せてもよい。
【００７２】
上記一実施の形態では、液晶ディスプレイのガラス基板に対する基板検査装置に用いる欠陥検出レベルの設定変更について説明したが、これに限らず、規則的なパターンの形成された半導体ウエハの検査にも適用できる。
【００７３】
【発明の効果】
以上詳記したように本発明によれば、検査対象基板の全面を撮像して取得される全面画像データから欠陥部を含む周辺の原画像を切り出した原画像データを保存することにより原画像データのデータ容量が小さくなって画像データの保存容量を大幅に削減でき、かつディスプレイ画面上に表示されている可変ボタンを操作するだけで、ディスプレイ画面上で欠陥部の検出結果を直ちに確認しながら最適な欠陥検出レベルに容易にかつ短時間で設定変更でき、ガラス基板の状態が変化しても、ガラス基板の状態変化に応じた最適な検査条件を容易にかつ短時間に設定変更できる欠陥表示装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係わる欠陥表示装置の一実施の形態を示す構成図。
【図２】同装置における原画像データの切り出しを示す摸式図。
【図３】同装置により選択表示される原画像データと欠陥画像データとオーバレイ画像データとを示す図。
【図４】同装置による欠陥部に対する検出レベルの設定変更を示す図。
【図５】同装置における欠陥検出レベルのエミュレートを説明するための図。
【図６】同装置における欠陥検出レベルの自動設定を説明するための図。
【図７】同装置におけるコントラスト強調レベルの設定変更を説明するための図。
【符号の説明】
１：主制御部、２：出力部、３：ディスプレイ、４：入力部、５：マニュアル入力部、６：画像保存部、７：欠陥情報記憶部、８：表示制御部、９：検査条件変更部、１０：欠陥抽出部、１１：欠陥情報表示部、１２：基板検査装置。

Claims

基板検査装置により検査対象基板の全面を撮像して取得される全面画像データから前記検査対象基板上の欠陥部を含む周辺の原画像を切り出した原画像データを保存する画像保存部と、
前記欠陥部を抽出するための欠陥検出レベルに基づいて前記画像保存部に記憶されている前記原画像データから前記欠陥部の欠陥画像データを抽出する欠陥抽出部と、
前記欠陥検出レベルを可変する可変ボタンをディスプレイ画面上に表示し、前記可変ボタンに対する操作により前記画像保存部に保存されている前記原画像データに対する前記欠陥検出レベルを変更する検査条件変更部と、
前記検査条件変更部により変更された前記欠陥検出レベルにより前記原画像データに対して前記欠陥抽出部で再抽出された前記欠陥画像データをディスプレイ画面上に表示させる表示制御部と、
を具備したことを特徴とする欠陥表示装置。
前記表示制御部は、前記画像保存部に保存された前記原画像データを前記ディスプレイ画面上に一覧表示し、
前記検査条件変更部の可変ボタンは、前記ディスプレイ画面上に一覧表示された全ての前記原画像データ、若しくはポインタで指定した前記原画像データに対して前記欠陥検出レベルを一括して変更する、
ことを特徴とする請求項１記載の欠陥表示装置。
前記検査条件変更部は、前記原画像データおける正常レベルに比べて高い明るさの白レベルの前記欠陥部の欠陥検出レベルを変更する可変ボタンと、正常レベルに比べて低い明るさの黒レベルの前記欠陥部の欠陥検出レベルを変更する可変ボタンとを前記ディスプレイ画面上に分けて表示することを特徴とする請求項１記載の欠陥表示装置。
前記表示制御部は、前記原画像データに対して前記欠陥抽出部で再抽出された前記欠陥画像データを重ね合わせたオーバレイ画像データを前記ディスプレイ画面上に表示することを特徴とする請求項１記載の欠陥表示装置。
前記表示制御部は、前記オーバレイ画像を前記ディスプレタ画面上に表示するときに、前記欠陥画像データの前記欠陥部の色を変えて表示することを特徴とする請求項４記載の欠陥表示装置。