JPH07306152A - 光学的歪検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 透光性を有する被検査物の光学的歪を定量的
に抽出し検査することで精度よくばらつきの無い評価を
行なえると共に、光学的歪の範囲を定量的に表せる検査
装置の提供。 【構成】 光源ユニット２から照射される照明光の照射
方向に、検体Ｗ、スリット３、及び、投影面５の順に夫
々配置させる。光源ユニット２から照射される光が、光
源ユニット２と検体Ｗとの中間に配置されたスリット３
のスリット孔３１により一部遮光されることで、照射さ
れる照明光が検体Ｗを透過し投影面５に投影される。投
影された像は画像入力部６で撮像され画像信号が画像処
理部７に出力される。画像処理部７は入力する画像信号
を複数部分に分割し、各部分における各画素の濃淡レベ
ルのばらつきの度合いに基づいて歪の有無を判定し、濃
淡画像全体における歪有り部分の割合を求める。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】 この発明は透光性を有する被検
査物の光学的歪を検査する為の光学的歪検査装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】 従来、この種の検査装置に関しては、
被検査物の表面上の欠陥を検査する装置として特開平３
−２８７０５３号公報のものが知られている。この装置
では、被検査物の正常部と欠陥部との吸光差が最小とな
る波長近傍にピーク透過率を持つ光学バンドパスフィル
タと、最大となる波長近傍にピーク透過率を持つ光学バ
ンドパスフィルタを交互に使用して撮像した二つの画像
間に画素間減算を施し、欠陥部分の画像の抽出を行な
い、この部分の面積に基づいて欠陥の有無を判定してい
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】 しかしながら、かか
る従来の装置では、透光性を有する被検査物の光学的歪
を検査しようとしても被検査物の性質上、光源の波長変
化による吸光差が殆ど生じないため、歪部分を抽出する
ことができないという問題点を有する。又、少なくとも
２種類の光学バンドパスフィルタを使用しなければなら
ないため、その切替え機構も含めて、装置が大がかりに
なってしまうという問題点も有する。本発明は、上記問
題点に鑑みてなされたもので、簡単な装置構成により透
光性を有する被検査物で、しかも、小さな濃淡レベルの
差しか生じない被検査物の光学的歪を検査できると共
に、光学的歪の範囲を定量的に表せる検査装置を提供す
ることを目的とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】 そこで、この発明は、
透光性を有する被検査物に向けて照明光を照射する光源
ユニットと、被検査物を透過した前記照明光を投影する
投影面と、投影面を撮像して濃淡画像を生成する画像入
力部と、画像入力部で得られた濃淡画像の濃淡レベルの
ばらつきの度合いに基づいて歪の有無を判定する画像処
理部とを有することを特徴とする光学的歪検査装置、及
び、該検査装置において、光源ユニットと被検査物との
間に光源ユニットからの照明光を一部遮光するスリット
を設けることを特徴とする光学的歪検査装置、及び、該
検査装置において、画像処理部が画像入力部で得られた
濃淡画像を複数に分割し、各部分の濃淡レベルのばらつ
きの度合いに基づいて歪の有無を判定し、濃淡画像全体
における歪有り部分の割合を求める画像処理部であるこ
とを特徴とする光学的歪検査装置、を提供することによ
り上述の課題を解決する。

【０００５】

【作用】 被検査物に向けて光源ユニットが照明光を照
射すると、照明光が被検査物に照射され、更に、被検査
物を透過し、投影面に投影される。スリットを使用した
構成の場合には、照明光が直接被検査物に照射され、更
に、被検査物を透過し、投影面に投影される。次いで、
画像入力部が投影された像を撮像して濃淡画像を生成す
る。この濃淡画像を画像処理部が入力し、濃淡レベルの
ばらつきの度合いに基づいて歪の有無を判定する。光源
ユニットと被検査物との間にスリットを設けた場合は、
スリットにより一部遮光された照明光が被検査物に照射
され、更に、被検査物を透過し、投影面に投影される。
画像入力部が画像入力部で得られた濃淡画像を複数に分
割し、各部分の濃淡レベルのばらつきの度合いに基づい
て歪の有無を判定し濃淡画像全体における歪有り部分の
割合を求める場合には、入力する濃淡画像を複数部分に
分割し、分割された各部分の濃淡レベルのばらつきの度
合いに基づいて歪の有無を判定する。次いで、各部分に
おいて歪有りと判定された部分全体と濃淡画像全体との
割合を求める。

【０００６】

【実施例】 図１はこの発明の第１実施例を表す平面説
明図であり、図２はこの発明の第１実施例を表す正面説
明図であり、図３は円形のスリットを表す説明図であ
り、図４は角形のスリットを表す説明図であり、図５は
検体の説明図であり、図６はこの発明の第２実施例の平
面説明図であり、図７はこの発明の第２実施例の正面説
明図であり、図８はこの発明の第３実施例を表す正面説
明図であり、図９はこの発明の第３実施例を表す側面説
明図であり、図１０は濃淡画像の説明図であり、図１１
はこの発明の第４実施例の正面説明図であり、図１２は
この発明の第４実施例の正面説明図であり、図１３及び
図１４は検体の載置方法を表す平面説明図である。

【０００７】以下に、この発明の第１実施例を図１乃至
図５に従い説明する。１は光学的歪検査装置であり、Ｗ
は検体である。光学的歪検査装置１は、検体Ｗの光学的
歪を検査する。検体Ｗは、この実施例では、図５に表す
ようにガラス板Ｗ１と被検査物である中間膜Ｗ２から構
成する。この実施例で検査する中間膜Ｗ２は、自動車の
フロントガラス等に使用される中間膜で、使用時にはガ
ラス板Ｗ１に挟んだ状態で使用するので、使用時を想定
して２枚のガラス板Ｗ１に挟んだ状態で検査する。この
実施例では中間膜を検査するが、検査目的が光学的歪の
検出であれば、特に中間膜に限定されない。この実施例
で検査される検体Ｗは、光学的歪のサイズが比較的小さ
く、しかも、歪部分の濃淡差が比較的大きなものなの
で、照明光に対し検体Ｗを傾けないで載置する。光学的
歪検査装置１は、光源ユニット２、スリット３、検体載
置部４、投影面５、画像入力部６、画像処理部７、架台
８、評価部９とからなり、画像処理部７及び評価部９以
外の夫々を架台８上に載置し、夫々移動可能に構成す
る。光学的歪検査装置１は、検体載置部４上に検体Ｗを
載置可能である。光源ユニット２は、発光部２１、光フ
ァイバー２２、照射口２３とからなり、発光部２１で発
光される照明光が光ファイバー２２内を経由し、照射口
２３からスリット３方向へ照射される。照射口２３は架
台８の一方端に載置され、照射口２３から照射される光
軸Ａ方向へ移動可能である。発光部２１はこの実施例で
はハロゲン電球を配設してなるが、特定波長の光でもよ
く、検体Ｗを透過した像が投影面５に、より鮮明に投影
されるような光が望ましい。

【０００８】スリット３は、中央部にスリット孔３１を
有し、光源ユニット２の照射口２３及び検体Ｗ間に、検
体Ｗの光源ユニット２と反対側に設置される投影面５へ
光源ユニット２からの照明光が投影される位置に設置さ
れ、架台８上を光軸Ａ方向に移動可能である。スリット
３は、照射口２３からの光をスリット孔３１を通過させ
ることにより、点光源に近い光を検体Ｗに照射可能に
し、検体Ｗを透過した光による像に検体Ｗの光学的歪
が、より鮮明に表されるようにする。この実施例ではス
リット３は照射口２３の照射端部から１０mmの位置に配
置され、スリット孔３１形状は、図３に表す通り、円形
のスリット孔３１或いは長方形のスリット孔３１であ
り、この実施例においては、円形のスリット孔３１で
は、直径０．１mmの円形状とした。又、図４に表す角形
のスリット３では、検体Ｗの光学的歪に方向性がある場
合に有効であり、この実施例では０．１９mm×０．５mm
の長方形状のスリット孔３１とした。光学的歪の方向と
角形のスリット３の長手方向が一致した場合には投影面
上の光の疎密状態が強調され、円形スリット３以上に鮮
明に表すことが可能となるので、使用に際してはスリッ
ト３の長手方向が光学的歪の方向と一致するように用い
る。勿論、スリット３の大きさは、照射口２３の形状、
照射口２３、検体Ｗ及び投影面５との位置関係等を考慮
し決定する。

【０００９】検体載置部４は、検体Ｗを光軸Ａに略垂直
に載置可能であり、架台８上を光軸Ａ方向に移動可能で
ある。投影面５は、検体Ｗに対し、図１に表すように角
度θを画像入力部６方向に傾け配置し、スリット３、検
体Ｗを経た照射口２３からの照明光による像を投影す
る。角度θは、この実施例では、１０５゜に傾け配置す
る。更に、投影面５は、光沢が無く、又、凹凸が少ない
白紙等が望ましい。画像入力部６は、ＣＣＤカメラから
なり、投影面５に投影された像を撮像し、投影された像
の明暗を信号に変換し濃淡画像信号として画像処理部７
へ出力する。架台８は、本体８１とアーム８２から構成
され、本体８１の中間部から画像入力部６を載置可能な
アーム８２を、本体８１の長手方向に移動可能に設置さ
せ構成する。以上のように、図１に表す平面方向からの
夫々の位置関係は照射口２３から出射される照明光の光
軸Ａに対し、スリット３、検体載置部４、検体Ｗが夫々
略垂直に設置され、投影面５は角度θで載置され、画像
入力部６は撮像方向が投影面５と略垂直に載置される。
又、図２に表す正面方向からの夫々の位置関係は、スリ
ット３は光軸Ａに略垂直に、検体Ｗは検査面が光軸Ａと
略垂直に、投影面５は投影面が光軸Ａに略垂直に、画像
入力部６は、その撮像方向が光軸Ａ方向になるようアー
ム８２に載置される。画像処理部７は、画像入力部６か
らの濃淡画像の信号を入力し、取込んだ濃淡画像の各画
素間の濃度値の分散値を出力する。この濃淡画像は、検
体Ｗの歪が大きい場合には、屈折率の差も大きくなるの
で、できる縞模様も明暗差のはっきりした大きなものに
なり、歪が小さい場合には屈折率の差も小さくなるの
で、明暗差のあまりはっきりしない微小な縞模様とな
る。又、この実施例では中間膜Ｗ２による歪は横方向に
現れ、ガラス板Ｗ１による歪は縦方向に現れる。

【００１０】分散値の算出は、濃淡画像の画素単位の濃
度値から縦方向一列について、分散値を計算し、同様に
他の列についても行ない、その平均をとることによって
行なう。分散値の求め方は種々考えられ、濃淡画像全体
の分散値を計算してもよいが、前記した縦あるいは横方
向を一単位として計算することにより、検査対象となる
光学的歪を検出するにはより有効である。即ち、この実
施例では中間膜Ｗ２の光学的歪の検査を行うので、ガラ
ス板Ｗ１による光学的歪の影響を排除するため縦方向に
計算したが、検査対象がガラス板Ｗ１の光学的歪となる
場合等は、横方向に分散値を計算し、中間膜Ｗ２の光学
的歪の影響を排除可能となる。又、濃淡画像全体を対象
とする必要はなく、特定の一部についてのみ分散値を求
めてもよい。例えば、光学的歪が生じやすい部分につい
て、一又は複数の所定の大きさの領域を設定し、その領
域内を対象として分散値を計算するものである。これに
より計算量の軽減がはかれる。９は、評価部であり、評
価部９では画像処理部７により算出される分散値と、予
め定められた許容範囲の分散値とを比較し、検体Ｗの品
質を評価する。又、この実施例では記述していないが、
検体Ｗをロボットなどにより載置、取外しを行なう場合
等には、評価部９で評価した結果により取外してから自
動的に良品、不良品に分類することも可能である。

【００１１】次に、この実施例の作用について説明す
る。検体Ｗを検体載置部４に載置する。次に、光源ユニ
ット２の発光部２１で照明光を発生させ、光ファイバー
２２内を経由し、照射口２３から検体Ｗに照射する。照
明光は、検体Ｗ方向に照射されスリット３によりスリッ
ト孔３１以外の部分は遮光され検体Ｗを透過して投影面
５にスリット孔３１形状の検体Ｗを透過した像が拡大投
影される。この時、投影された像は、検体Ｗの被検査物
Ｗ２に凹凸等の光学的歪がある場合には、歪箇所で照明
光が屈折される。この屈折された照明光は、スリット３
が存在せず、照射範囲が一様に中間膜Ｗ２全体に及ぶ様
な広範囲に照射された場合には、他の部分で乱屈折した
照明光等と被検査物Ｗ２の歪箇所で生じた屈折による照
明光とが互いに影響し合い、あまり大きな濃度差を生じ
ない。しかし、照射口２３と近接した位置にスリット３
を設置し、微小な間隔のスリット孔３１を通過すること
で照射された照明光が他の屈折光に影響される事無く疑
似的な点光源からの照射光となり、中間膜Ｗ２に到達
し、中間膜Ｗ２の一部分のみを照射し、光学的歪が拡大
され濃淡の有る縞模様として明暗差で投影面５に投影さ
れる。このように照明光はスリット孔３１を通過するこ
とで、疑似的な点光源からの照射光となる。

【００１２】このように検体Ｗを照射し投影された明暗
差による像は、画像入力部６により撮像される。画像入
力部６では、投影面５に投影された像が画像信号として
出力され、画像処理部７に入力される。画像処理部７で
は、濃淡画像の画素単位の濃度値から分散値を算出し、
評価部９へ出力する。分散値を入力した評価部９では、
入力した分散値と、予め定められた許容範囲の分散値と
を比較し、検体Ｗの品質を評価する。又、光源ユニット
２により、点光源或いは線光源に近い照明光をであり、
スリット３を用いた場合と同等の照明光を照射可能であ
ればスリット３を使用しなくとも検査可能である。

【００１３】第２実施例として、光源ユニット２により
スリット３を用いたと同様の照明光を照射する場合を図
６及び図７に従い説明する。この実施例では、光源ユニ
ット２は、発光部２１、照射口２３、照明光生成部２４
からなり、架台８の本体８１一端部に設置される。発光
部２１では、第１実施例同様照明光を発生する。照明光
生成部２４では、発光部２１で発生された照明光を、レ
ンズ等の光学機器により、偏向させスリット３を用いた
と同様の照明光を照射する。照射口２３は、第１実施例
同様、照明光を検体Ｗに照射し、投影面５に投影可能で
ある。検体載置部４，投影面５，画像入力部６，画像処
理部７及び評価部９については、第１実施例同様であ
る。この実施例の作用は、第１実施例同様であるが、ス
リット３が無いので、照射する照明光が直接検体Ｗを透
過し、投影面５に投影される。投影面５，画像入力部
６，画像処理部７及び評価部９の作用については、第１
実施例同様である。検体Ｗは、第１実施例及び第２実施
例においては、光学的歪のサイズが比較的小さく、しか
も、歪部分の濃淡差が比較的大きなものなものであった
が、光学的歪のサイズが比較的大きく、しかも、歪部分
の濃淡差が小さな検体Ｗを検査する場合には、光学的歪
部分の濃淡差を強調し検査した方がより正確に検査でき
る。

【００１４】以下に、光学的歪のサイズが比較的大き
く、しかも、歪部分の濃淡差が小さな検体Ｗを検査する
実施例として図８及び図９に基づき第３実施例を説明す
る。この実施例では、第２実施例同様スリット３を用い
ない構成であり、光源ユニット２、検体載置部４、投影
面５、画像入力部６、画像処理部７、及び、評価部９
は、架台８を用いず夫々が独立して設置される。光源ユ
ニット２は、発光部２１、照射口２３とからなり、発光
部２１で発光される光が照射口２３から投影面５方向へ
照射される。発光部２１はこの実施例では高圧水銀灯を
配設してなるが、特定波長の光でもあるいは特定波長で
ない光でもよく、検体Ｗを透過した光により投影面５へ
投影された像に検体Ｗの光学的歪がより鮮明に投影され
るような擬似平行光が望ましい。この実施例で用いる擬
似平行光は、各光束が完全に平行なものではなく、発光
する光をある程度の拡大率になるよう集合させ照射され
る光束光をいう。勿論、投影面５と同等の面積を有する
平行光束光を用いても可能である。

【００１５】検体載置部４は、検体Ｗを光軸Ａに対して
角度θ１に載置可能である。この実施例では、検体載置
部４は検体Ｗを光軸Ａに対して２０度に固定して載置す
る。この実施例で検査される検体Ｗは、光学的歪のサイ
ズが比較的大きく、しかも、歪部分の濃淡差が小さなも
のなので、照明光を擬似平行光とし、照明光に対し検体
Ｗを傾けて載置することで、他から屈折してくる光等に
よる影響をおさえ傾けた方向の光学的歪が圧縮、強調さ
れ画像の濃淡差がはっきり表れるようになる。本実施例
では、検体Ｗの歪度合いを強調するために検体Ｗに角度
を持たせたが検体Ｗの性格によってはこの限りではな
く、適宜角度に載置してもよい。又、検体Ｗの光学的歪
の濃淡差が比較的大きく、光学的歪のサイズが比較的大
きい場合などは、検体Ｗを傾けないで設置してもよい。
投影面５は、検体Ｗに対し、図８に表すように光軸Ａと
略垂直に配置し、検体Ｗを経た照射口２３からの擬似平
行光による像を投影する。画像入力部６は、ＣＣＤカメ
ラからなり、投影面５に投影された像を撮像し、投影さ
れた像の明暗を信号に変換し濃淡画像の信号として画像
処理部７へ出力する。

【００１６】画像処理部７は、画像入力部６からの濃淡
画像の信号を入力し、取込んだ濃淡画像を複数に分割し
た各部分について夫々各画素の濃度値から分散を求め、
求めた各分散値と予め定める分散値とを比較し、判定す
る濃淡画像全体に対する歪を有する分割部分の割合を評
価部９へ出力する。濃淡画像を複数部分に分割する方法
は種々考えられるが、この実施例では、濃淡画像を縦横
５画素毎に格子状に分割する。即ち、図１０に表すよう
に、各部分ａのＸＹ方向夫々をＸ０乃至Ｘ４、Ｙ０乃至
Ｙ４の画素が含まれるように分割する。この実施例では
５画素毎としたが、歪の大きさ等により適宜設定すれば
よい。このように分割した部分ａの分散値の算出は、分
割した各部分ａにおいて濃淡画像の画素単位の濃度値か
ら縦方向一列（列Ｘ０における行Ｙ０乃至Ｙ４の画素）
について、分散値を計算し、同様に他の列（列Ｘ１乃至
Ｘ４）についても行い、その平均（列Ｘ０乃至Ｘ４の平
均分散値）をとることによってその平均を分割部分の分
散値とする。勿論、横方向（各行Ｙにおける列Ｘ０乃至
Ｘ４）に計算することも可能である。このようにして求
めた部分ａの分散値が予め定める分散値（以下、閾値と
いう。）以上の場合、その部分は歪有と判定する。そし
て、全ての分割部分について判定を行った後、判定する
濃淡画像全体に対する、歪有りと判断された分割部分の
割合を求める。この分散値の求め方は、各分割部分にお
いて第１実施例で説明したと同様前記した縦あるいは横
方向を一単位として計算した方が、光学的歪を検出する
にはより有効である。又、濃淡画像全体を対象とする必
要はなく、一部であってもよい。例えば、光学的歪が生
じやすい部分について、一又は複数の所定の大きさの領
域を設定し、その領域内を対象として前記同様に各分割
部分の分散値を計算し、求めた分散値から、判定する濃
淡画像全体に対する歪有りと判定された分割部分の割合
を求めるものである。これにより計算量の軽減がはかれ
る。

【００１７】評価部９では、画像処理部７により算出さ
れる歪部分の割合と、予め定められた許容範囲の割合と
を比較し、検体Ｗの品質を評価する。評価方法として
は、割合別にランクを設け、どのランクに属するかを判
断させる。又、画像処理部７で各分割部分毎の歪の判定
結果を出力し、その出力を評価部９が入力し、検体Ｗの
どの位置で歪が発生しているかをマッピングし、ＣＲＴ
あるいはプリンタ等の表示部（図示せず）に表示するこ
とも可能である。又、検体Ｗの載置、取外しをロボット
などにより行なう場合等には、評価部９の評価結果に基
づいて取外してから自動的にランク分けし、良品あるい
は不良品に分類することも可能である。この実施例では
画像処理部７は、各分割部分の縦方向の分散値の平均を
分割部分内の分散値としたが、各分割部分の分散値を分
割部分内の縦方向の分散値の最大値或いは最小値とする
ことで、検体Ｗの評価基準を各分割部分における光学的
歪の濃淡差の最大値或いは最小値とすることが可能とな
る。又、画像処理部７は濃淡画像全体と歪部分との割合
を出力したが、各分割部分から求まる分散値中の最大値
を出力し、評価部９が同最大値からランクを判定するこ
とも可能である。この方法は、存在する光学的歪部分と
濃淡画像全体との割合に係わらず歪部分の濃淡差を判定
基準とする場合に有効である。更に、濃淡画像全体と歪
部分との割合を出力すると共に、各分割部分から求まる
分散値中の最大値も出力し、歪部分と濃淡画像全体との
割合とを評価基準に併用することで、例えば、歪部分と
濃淡画像全体との割合が１０％以未満の場合には分割部
分の分散値の最大値が１５以上のものが不良品、歪部分
と濃淡画像全体との割合が１０％以上２５％未満の場合
には分割部分の分散値の最大値が１０以上のものが不良
品というように歪部分と濃淡画像全体との割合によって
不良品で有ると判断する分散値の基準を変化させて判断
することが可能となる。

【００１８】又、この実施例では、分割部分の分散値と
閾値とを比較して、各分割部分における歪の有無を判定
し濃淡画像全体における歪部分の割合を求めたが、閾値
を予め設定せずに濃淡画像全体と歪部分との割合が例え
ば１０％となるよう閾値を変化させ、１０％となった時
の閾値を評価対象とし、その時の閾値が５未満をＡラン
ク，５以上１０未満をＢランク，１０以上未満１５未満
をＣランク，１５以上を不良品というようにランク分け
することも可能である。以上説明した実施例で検査され
る検体Ｗは、光学的歪のサイズが比較的大きく、しか
も、歪部分の濃淡差が小さなものでは、光軸Ａに対し検
体Ｗを傾けて載置することで、傾けた方向の光学的歪が
圧縮、強調され画像の濃淡差がはっきり表れるようにし
て検査を行った。以上説明したような濃淡画像を複数部
分に分割して評価する方法は、勿論、第１実施例及び第
２実施例に用いてもよい。又、第３実施例で実施したと
同様に第１実施例及び第２実施例でも光軸Ａに対し検体
Ｗを傾けて載置してもよく、この場合にも第３実施例同
様傾けた方向の光学的歪を圧縮、強調し画像の濃淡差が
はっきり表れる。

【００１９】以下に、第４実施例として第１実施例の装
置において検体Ｗを光軸Ａに対して傾けて載置した場合
を図１１乃至図１４に従い説明する。勿論、スリット３
を省いた第２実施例でも同様に傾けて載置することが可
能である。この実施例では検体Ｗを光軸Ａに対して傾け
て載置した以外は光源ユニット２、スリット３、投影面
５、画像入力部６、画像処理部７、及び、評価部９につ
いては第１実施例同様であるが、検体Ｗの濃淡差が小さ
いために、スリット３を光源ユニット２から遠ざけると
共に検体Ｗを投影面５に近接させて載置し、照射する光
をより平行度の高い光とすることで投影された像の濃淡
差がはっきりと見えるようにすることが望ましい。従っ
て、第２実施例における光源ユニット２ではレンズ等の
光学系の装置を用い、照射する光の平行度を調整可能と
するなどが考えられる。

【００２０】検体Ｗは光軸Ａに対し図１１に表すように
角度αだけ傾けて配置する。角度αは小さい程傾けた方
向の光学的歪が圧縮、強調される。この実施例の作用
は、図１１に表すように検体Ｗを光軸Ａに対して傾けて
載置することで水平方向の歪が圧縮、強調されて投影面
５に投影される。従って、微小な光学的歪さえも像とし
て投影面５に投影でき、歪の有無を判定できる。その他
の作用については第１実施例と同様である。検体Ｗが上
記実施例のような平板ではなく、塊状あるいは曲板から
なり、光学的歪を有する面が平らではない場合は、該面
上の検査したい点における接線を光軸Ａに対して傾けて
載置し検査すればよい。

【００２１】図１３は自動車のフロントガラスのような
曲板を検査する場合の載置方法を示す平面図である。架
台８に検体載置部４を介して検体Ｗが取付けられてい
る。この時検体Ｗ上の点Ｂの光学的歪を検査したい場合
は、点Ｂにおける検体Ｗの接線Ｃと光軸Ａが角度αを保
つよう載置すればよい。図１４は、机上で使用する飾り
物の重石のような塊状のものを検査する場合の載置方法
を示す平面図である。図１３に表した例と同様検体Ｗの
点Ｂにおける光学的歪を検査したい場合、点Ｂにおける
検体Ｗの接線Ｃを考え、接線Ｃと光軸Ａとが角度αを保
つように載置すればよい。この場合、作用も図１３に表
す例と同様検体Ｗの光学的歪を有する面を光軸Ａに対し
て傾けて載置することで、水平方向の歪が圧縮強調され
て投影面５に投影される。従って、濃淡の微小な光学的
歪でも像として投影面５に投影でき、歪の有無を判定で
きる。

【００２２】

【発明の効果】 上述のように、本発明によれば、フィ
ルム状物等透光性を有する被検査物の光学的歪を、簡単
な構成で、しかも、歪の有無を定量的に検査できると共
に歪の有する範囲も定量的に検査できるので、ばらつき
の少ない検査が可能となる。又、小さな濃淡差しか生じ
ない被検査物の光学的歪も検査可能となった。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の第１実施例を表す平面説明図

【図２】 この発明の第１実施例を表す正面説明図

【図３】 スリットの形状を表す説明図

【図４】 スリットの形状を表す説明図

【図５】 検体の説明図

【図６】 この発明の第２実施例を表す平面説明図

【図７】 この発明の第２実施例を表す正面説明図

【図８】 この発明の第３実施例を表す正面説明図

【図９】 この発明の第３実施例を表す側面説明図

【図１０】 濃淡画像の説明図

【図１１】 この発明の第４実施例を表す平面説明図

【図１２】 この発明の第４実施例を表す正面説明図

【図１３】 検体の載置方法を表す平面説明図

【図１４】 検体の載置方法を表す平面説明図

【符号の説明】

１ 光学的歪検査装置 ２ 光源ユニット ２１ 発光部 ２２ 光ファイバー ２３ 照射口 ２４ 照明光生成部 ３ スリット ３１ スリット孔 ４ 検体載置部 ５ 投影面 ６ 画像入力部 ７ 画像処理部 ８ 架台 ８１ 本体 ８２ アーム ９ 評価部

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】透光性を有する被検査物に向けて照明光を
   照射する光源ユニットと、 被検査物を透過した前記照明光を投影する投影面と、 投影面を撮像して濃淡画像を生成する画像入力部と、 画像入力部で得られた濃淡画像の濃淡レベルのばらつき
   の度合いに基づいて歪の有無を判定する画像処理部とを
   有することを特徴とする光学的歪検査装置。
2. 【請求項２】光源ユニット及び被検査物間に光源ユニッ
   トからの照明光を一部遮光するスリットを設けることを
   特徴とする請求項１記載の光学的歪検査装置。
3. 【請求項３】画像処理部が、画像入力部で得られた濃淡
   画像を複数に分割し、各部分の濃淡レベルのばらつきの
   度合いに基づいて歪の有無を判定し、濃淡画像全体にお
   ける歪有り部分の割合を求めることを特徴とする請求項
   １又は請求項２記載の光学的歪検査装置。