JPH0421371A

JPH0421371A - 振動波モータ

Info

Publication number: JPH0421371A
Application number: JP2124710A
Authority: JP
Inventors: Hajime Kanazawa; 元金沢
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1990-05-15
Filing date: 1990-05-15
Publication date: 1992-01-24
Also published as: US5448127A; US5632074A

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、移動体を振動体により摩擦駆動する振動波モ
ータに係り、特に給電手段の構造に関するものである。

〔従来の技術）振動波モータは、圧電素子等の電気−機械エネルギー変
換素子に周波電圧を印加したときに生ずる振動運動を回
転運動又は−次元運動に変換するもので、従来の電磁モ
ータに比べて巻線を必要としないため、構造が簡単で小
型になり、低速回転時にも高トルクが得られるという利
点があり、近年注目されている。

第９図、第１０図は振動波モータの駆動原理を示すもの
で、第９図は上記モータの振動波の発生状態を示してい
る。振動体１（通常は金属）に接着された電気−機械エ
ネルギー変換素子である圧電素子２ａ、　２ｂは、同一
圧電素子板２中の空間的にλ／４の位相ずれを満足する
位置に配置され、振動体１とともにステータを構成して
いる。

導電体である振動体１を圧電素子２ａ、　２ｂの一方の
面の電極とし、他方の面には夫々電極を施し、あらかじ
め第９図中のｅｅに示すような方向に分極されている。

圧電素子２ａには、交流電源３ａからＶ　＝　Ｖｏｓｉ
ｎωｔ　、電歪素子２ｂには９０゜移相器３ｂを通して
λ／４位相のずれたＶ＝Ｖ。

５ｉｎ（ωｔ：！：ｘ／２）交流電圧を印加する。前記
式中の（＋）　　（−）が移動体６を動かす方向によっ
て移相器３ｂで切換えられる。今、これを（−）側に切
換えてあり、圧電素子２ｂにはＶ＝Ｖｏｓｉｎ（ωｔ−
ｘ／２）の電圧が印加されているとする。圧電素子２ａ
だけを単独で電圧Ｖ＝Ｖ。

ｓｉｎωｔにより振動した場合は、同図（ａ）に示すよ
うな定在波による振動が起り、圧電素子２ｂだけを単独
で電圧Ｖ＝Ｖｏ　ｓｉｎ　　（ωｔ−ｘ／２）により振
動した場合は、同図（ｂ）　に示すような定在波による
振動が起る。上記位相のずれた２つの交流電圧を同時に
各々の圧電素子２ａ、　２ｂに印加すると振動波は進行
性になる。（イ）は時間ｔ−２ｎｘ／ω、（ロ）はｔ　
＝　ｘ　／　２ω＋２ｎｘ／ω、（ハ）はｔ＝ｘ／ω＋
２ｎｘ／ω、（ニ）はｔ　＝　３　ｘ　／　２ω＋２ｎ
ｘ／ωの時のもので、振動波の波面はＸ方向に進行する
。

このような進行性の振動波は縦波と横波を伴なっており
、第１０図に示すように振動体１０質点Ａについて着目
すると、縦振幅Ｕと横振幅Ｗで反時計方向の回転楕円運
動をしている。振動体１の表面には移動体６が加圧接触
しており、振動面の頂点にだけ接触をすることになるか
ら（実際には、ある幅をもって面接触している）、頂点
における質点Ａ、Ａ’・・・の楕円運動の縦振幅Ｕの成
分に駆動され、移動体６は矢印Ｎ方向に移動する。９０
°移相器により＋９０゜位相をずらせば振動波は−Ｘ方
向に進行し、移動体６はＮ方向と逆向きに移動する。

このような振動波モータに印加する交流電圧の大きさは
、移動体６が移動可能となるに十分な大きさ、通常は数
１０Ｖｐ−ｐ以上が必要であり、電源を市販されている
ような乾電池とする小型機器に用いる場合には、電圧を
昇圧する手段、例えばトランスなどが必要であるという
問題を有している。

このような問題に対し、本出願人はステータを第１１図
のような構成とした振動波モータをすでに提案している
（特開昭５９−９６８８２）。これは導電体である振動
体１．圧電素子２ａの振動体側の面の電極８゛（以下裏
面電極８°と記す）、および圧電素子２ｂの振動体側の
面の電極９°（以下裏面電極９゛と記す）を互いに電気
的に絶縁し、裏面電極８′と９”に、それぞれ振動体側
と反対の面の電極８・９（以下表面電極８・９と記す）
に印加する交流電圧を反転した交流電圧を印加すること
により、第９図に示した構成で必要な交流電圧の１／２
の大きさの交流電圧で同様の動作・性能が原理上得られ
るものである。なお７は裏面電極８°および９°と振動
体１を電気的に絶縁する絶縁体であり、振動体１が導電
体でない場合は不要である。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところが第１１図の構成において、裏面電極８°、９”
の厚さは極めて薄く（１μｌ以下）、その端面から交流
電圧を印加することは極めて困難であるという問題点を
有していた。

また、裏面電極８°および９゛と絶縁体７の間にリード
線又はフレキシブルプリント板などをはさみ込むことで
裏面電極８°および９°への交流電圧の印加は可能とな
るが、この場合、振動体１と圧電素子２の密着性が悪く
なり、そのためモータの効率等性能が劣化するという問
題を有していた。

本発明の目的は、このような従来の問題を解決し、振動
体と圧電素子とを良好に接合できると共に、電極への給
電を確実に行える振動波モータを提供することにある。

（課題を解決するための手段）本発明の目的を実現するための手段の一例は、弾性振動
体に対して接合される第１の面と、該第１の面と反対面
である＄２の面とに夫々電極が形成される電気−機械エ
ネルギー変換素子を有し、該電気−機械エネルギー変換
素子の駆動用電極に交流電圧を印加することによって該
振動弾性体に生ぜしめた振動波により、該弾性体と、該
弾性体に圧接する部材とを摩擦力にて相体移動させる振
動波モータにおいて、該電気−機械エネルギー変換素子
の第１の面に形成される電極は、第２の面に形成した電
極に導電部材を介して接続したことを特徴とする振動波
モータにある。

（作　　　用）上記した構成の振動波モータは、振動弾性体との接合面
側に設けている電極に直接リート線を取付けずに、スル
ーホール等の導電部材を介して反対面側の電極と接続し
、この電極にリード線等を例えばフレキシブルプリント
基板により接続することができる。

（実　施　例〕第１図は本発明の特徴を最もよく表わす図面であり、第
１図（ａ）はステータの一部を円周方向に切断した断面
の展開図、第１図（ｂ）および（Ｃ）は、振動体１およ
び絶縁体７に接合される例えばＰＺＴセラミックス等の
圧電素子２の、それぞれ裏面側（振動体１側）、および
表面側の図である。第１図（Ｃ）は便宜上表面側は左右
反転している。この図において８１，８２゜８３．８４
．８５は例えば金属蒸着又は導電ペースト塗布などの方
法により設けられた一方の圧電素子群２ａの分極に用い
られる電極群であり、該素子群２ａの裏面電極８“を接
地しており、また、これら電極群８１〜８５の互いに隣
接する電極に正負の異なる電圧を印加することにより、
！４１図（ａ）中のΦｅで示した方向に分極される。分
極後これら電極群８１〜８５を導通させるための導電部
材８６を導電ペースト塗布などの方法で設けることによ
り、電極群８１〜８５は電気的に接続された圧電素子群
２ａの表面電極８を形成し、リード線８７に接続されて
いる。

１０は圧電素子の厚み方向に設けられたホールであり、
その端面には導電部材１８が設けられており、圧電素子
群２ａの裏面電極８°と表面側（以下表面側裏面電極）
に設けられた裏面用電極２８を電気的に接続している。

８７°は表面側裏面電極２８に接続されたリード線であ
り、当然裏面電極８°と導通している。以上は圧電素子
群２ａの電極および導線部材であるが、位置的に位相が
該一方の圧電素子群２ａから３／４波長離れた位置にあ
る他方の圧電素子群２ｂの電極および導電部材も同様に
設けられ、９１，９２゜９３．９４，９５，９６，９７
．９７’、９，９°。

１１．１９，２９．は一方の圧電素子群２ａにおける電
極群８１，８２，８３，８４，８５．導電部材８６．リ
ード線８７．８７°９表面電極８゜裏面電極８°、ホー
ル１０．導電部材１８１表面側裏面電極２８と同様のも
のである。なお第９図、第１０図、第１１図における符
号で示したものと同じ符号を付したものは、同様の機能
を有する。

以上のような構成のステータにおいて、一方の圧電素子
群２ａの表面電極８には交流電源３ａからＶ＝局Ｖ　ｏ
ｓｉｎωｔ、裏面電極８“には１８０°移相器３ｃを通
してＶｘ［Ｖｏｓｉｎ（ωＴ＋ｙｒ）、他方の圧電素子
群２ｂの表面電極９には９０°移相器３ｂを通してＶ　
＝％Ｖｏｓｉｎ　（（＋Ｊ　ｔ±π／２）、裏面電極９
“には９０°移相器３ｂと　１８０°移相器３ｄを通し
てＶ＝％Ｖｏｓｉｎ　（ωｔ±３π／２）なる交流電圧
をそれぞれリード線８７　、８７’、９７　、９７’を
介して印加する。前記式中の（÷）　、　（−）が図示
していない移動体を動かす方向によって９０゛移相器３
ｂで切り換えられる。今、これを（−）側に切換えてあ
り、他方の圧電素子群２ｂの表面電極９には、■＝局Ｖ
　ｏｓｉｎ　（ωｔ−π／２）の電圧、裏面電極９°に
は、■＝％Ｖｏｓｉｎ（ωｔ−３π／２）なる電圧を印
加しているとする。一方圧型素子群２ａの表面電極１８
にＶ＝Ｖｏ　ｓｉｎ　ωｔ、裏面電極８°ニＶ　＝ｌＶ
ｏｓｉｎ　（（１１ｔ　＋　ｒｔ　）を同時に印加する
ことにより、従来例である第９図に示したものと同様に
Ｘ方向の進行波が発生する。以下移動体の進む原理は第
１０図で説明した従来例の場合と同じである。なお交流
電圧の周波数は本実施例の場合面外６次たわみモード共
振周波数近傍とするのが振幅が大きくなり望ましい。

本実施利によれば、第１０図に示した従来例に用いてい
るのと同じ交流電源３ａを用いた場合、裏面電極には表
面電極に印加する交流電圧と逆相の交流電圧が印加され
るため、圧電素子群２ａ、　２ｂには従来例の２倍の電
界が発生する。

すなわち第９図に示した従来例と同様の振動体振幅やト
ルク、回転数を得るのに、１／２の電圧である交流電源
を用いることができる。

また裏面電極への電圧印加を表面側から印加可能な構成
としたため、振動体１および絶縁体７と圧電素子２の密
着性を損うことはない。

なお、上述実施例では圧電素子２に設けられた電極もし
くは分極パターンが、面外６次たわみモートと同様のピ
ッチを有しているが、他の固有振動モードのピッチと一
致するようなピッチであっても良い。また円周方向に節
を有するようなモードであっても良いし、圧電素子の接
着面側に電極を設け、振動体とこの１！極が絶縁されて
いるすべての振動波モータに有効である。

また、上述の実施例では圧電素子群２ａ及び２ｂを同一
の圧電素子２上に形成しているが、これらを個別の圧電
素子に形成したり、また圧電素子群が複数の圧電素子に
より形成されている場合においても裏面電極を圧電素子
面に略垂直な面に設けられた導電部材を介して表面側の
一部の領域（表面側裏面電極）に導通させ、表面側裏面
電極から電圧を印加することが可能である。

圧電素子面に略垂直な面を本実施例ではホールに設けた
が、ホールに限るものではなく、第２図（ａ）　、　（
ｂ）　、　（ｃ）に示すように、圧電素子端面であって
も良い。

第１図、第２図で示した実施例とも圧電素子面と略垂直
な面に設ける導電部材１８・１９の少なくとも裏面電極
に接する部分を接着の工程の前に設けるのが望ましい。

これについて第３図を用いて説明する。圧電素子２と接
着する振動体１は、（ｂ）で示した絶縁体フを設ける工
程（振動体１が絶縁体なら不要）を経て、（Ｃ）の工程
で密着性を良好にするために接着面の研摩を行なう。こ
の研摩は、（ａ）において振動体１の接着面側が既に研
摩された状態でかつ（ｂ）の工程が均一に絶縁体が形成
される場合は不要である。例えば振動体１がアルミニウ
ム（ＡＮ）で、（ａ）の工程で接着面側が研摩され、（
ｂ）の工程にて厚さ数μｍ〜数１０μｍ程度のアルマイ
トが陽極酸化のような方法で形成される場合には（Ｃ）
においての研摩の工程は不要である。このようにしてで
きた絶縁体付振動体に接着される圧電素子については以
下のとおりである。すなわち（ｄ）の工程において例え
ばＰＺＴなどの圧電セラミックス２（２ａ）が成形・焼
結され、密着性を良好にするために接着面側を研摩する
。

次に（ｅ）の工程においてまず分極用電極として表面電
極８１〜８５．裏面電極８゛、ホール１０・１４の側面
に設けられる導電部材１８・１９の裏面電極８°に接す
る部分１８゛　　および表面側裏面電極２８を金属蒸着
や導電ペーストスクリーン印刷法などの方法によって形
成する。

該部分１８゛は金属蒸着で形成する場合には裏面電極８
゛の形成時に蒸着分子がホール１ｏの側面にまわりこむ
ようにし、導電ペーストをスクリーン印刷で形成する場
合には裏面電８ｉ８°の形成時に導電ペーストがホール
１０の側面に流れこむようにすれば、いずれの場合でも
裏面電極８°と同時に形成が可能であり、該部分１８°
を設けることで工程が複雑になることはない。このよう
にして形成された電極を用いて分極を行なう。次に表面
電極８１〜８５を導電部材８６で接続して表面電極８が
形成される。このように分極された電極が形成された圧
電セラミックスは（Ｃ）の工程まで終了した絶縁体付振
動体と接着され（（ｇ）の工程）、最後に導電ペースト
をホールに塗布するなどの方法でホール側面に導電部材
を設は裏面−電極８゛と表面側裏面電極２８を導通させ
る。ホール側面の導電部材の裏面電極８゛に接する部分
１８”を、接着前の工程で形成せず、ホール側面の導電
部材を接着させる場合、裏面電極８°の厚さは極めて薄
い（蒸着なら通常１μｍ以下）ため、ホール側面の導電
部材１８と裏面電極８゛を導通させるのが極めて困難で
あるが、第３図に示したような工程ならば複雑な工程を
経る事無く、確実にこれらを導通できる。また導電部材
１８を設ける際に接着面の密着性を損なうこともない。

第３図に示した実施例において、導電部材１８はホール
内周面のみに設けたが（ｈ）の工程でホールすべてを導
電部材１８で埋めても良い。なお第３図において圧電素
子群２ａの場合のみを示したが、他の圧電素子群２ｂに
おいても同様の工程で作製することができる。

圧電素子面に略垂直な面に設ける導電部材の他の形成方
法について第４図を用いて説明する。まず（ａ）に示す
ように導電部材１８・１９をあらかじめ埋め込んで例え
ばＰＺＴのような圧電セラミックス２を成形・焼結する
。次に板状にスライスして密着性を良好に、するために
接着面の研摩を行なう（（ｂ）の工程）。その後表面電
極８１〜８５・９１〜９５、裏面電極８゛９゛、表面側
裏面電極２８・２９を蒸着等により形成し分極を行なう
。さらに導電部材８６・９６を設けて表面電極８・９を
形成しく（ｄ）の工程）、第３図（ａ）〜（ｃ）と同様
の工程を経た絶縁体７付振動体１と接着する（（ｅ）の
工程）。焼結前に埋め込まれた導電部材１８・１９は裏
面電極８°・９゛とそれぞれ表面側裏面電極２８・２９
を確実に導通させる。また、（ｂ）の工程において圧電
セラミックス２と同時に接着面の側の研摩がなされるた
め、振動体１および絶縁体７との接着の密着性を損なう
ことがない、導電部材１８・１９の材料は圧電セラミッ
クスとともに焼結されるため、焼結温度において溶融し
たり拡散や酸化して導電性が変化するような事がない安
定な材料であることが望ましい。例えば圧電セラミック
スであるＰＺＴは、通常１１００〜１２００℃程度の温
度で焼結されるため、ＰＴＺを用いる場合には例えば金
線や銀ペースト、銀・パラジウム合金などを用いるのが
良い。なお第４図において圧電セラミックスは円筒形に
成形・焼結する場合について述べたが、他の成形法例え
ばシート材を打ち抜き焼結するいわゆるシート成形法に
も同様な方法で導電部材１８゜１９を設ける事が可能で
あり、この場合は打ち抜きと同時もしくはその前後に導
電部材を埋め込み、その後焼結すれば良い。

以上第３図、第４図を用いて説明したように、圧電素子
の接着面に略垂直な面に設ける導電部材の少なくとも裏
面電極と接する部分を接着前に形成しておくことにより
、裏面電極と表面側裏面電極の確実な導通および圧電素
子と振動体の良好な密着性が得られる。

第５図に圧電セラミックスを２枚積層させた振動波モー
タに本発明を実施した例を示す。圧電セラミックスを積
層させたことでさらに１／２の交流電圧で同等の性能が
得られるものであり、第９図に示した圧電素子・電極配
置による従来例の振動波モータに必要な交流電圧の１７
４の電圧で同等の性能が得られる。絶縁体７が設けられ
た振動体１に圧電セラミックス２ａｂが接着され、さら
に圧電セラミックス２ａ’ｂ’が接着されている。圧電
セラミクス２ａｂの振動体側（以下裏面）の電極パター
ンは図に示すとおりになっており、第６図に示した圧電
セラミクス２ａ’ｂ’の振動体と反対側の面（以下表面
）の電極パターンと同様である。ただし第６図は便宜上
左右反転させて示した。また圧電セラミックス２ａｂの
表面電極は図示しである圧電セラミックス２ａ“ｂ”の
裏面電極パターンと同様である。

すなわち積層される双方の圧電セラミックス２ａｂと２
ａ’ｂ’の電極パターンは全く同様であるが、向きを逆
にして積層するようになっている。次に製造工程である
が、絶縁体７が設けられた振動体１は、第３図で示した
実施例と同様である６次に圧電セラミックスであるが、
成形された圧電セラミックス２ａｂには分極用の電極と
して裏面に電極３１・３２・３３・３４・３５・３８・
３９・４０・４１・４２が（電極３６・４３は除く）、
図示していない表面には下方の圧電セラミックス２ａ’
ｂ’の裏面電極と同様のパターンの電極を設ける。下方
の圧電セラミックス２ａ’ｂ’　には裏面に電極４５．
４６．４７、表面には上方の圧電セラミックス２ａｂの
裏面と同様に電極５３．５４．５５．５６．５７．５８
．５９．６０，６１．６２．６３．６４．６５．６６を
形成する。この時電極３１．３８．４５．４７．４６．
５４．５３．６５．５９．６０は図に示すように圧電セ
ラミックスの端面にはみ出すように形成しておく。次に
第５図中、上方の圧電セラミックス２ａｂの裏面には図
示したように、（＋）と（−）で分極の向きが逆になる
ように厚さ方向に分極する。下方の圧電セラミックス２
ａ’ｂ’も上方の圧電セラミックス２ａｂと同様に分極
処理することにより、双方の圧電セラミックス２ａｂと
２ａ’ｂ’は全く同様の電極および分極パターン有する
ことになる。分極後上方の圧電セラミックス２ａｂの裏
面に導電部材３６．４３、下方の圧電セラミックス２ａ
’ｂ’の表面に導電部材６７・６８を形成することによ
り、導通された電極３１〜３５及び３６は、裏面電極群
３７を形成する。同様に上方の圧電セラミックス２ａｂ
の裏面電極群４４、下方の圧電セラミックス２ａ’ｂ’
の表面電極群６９．７０が形成される。なお電極群３７
と４４および表面電極群６９と７０は、電極パターンの
間隔が図中に示すように３７４波長となっている。以上
の電極および導電部材は、接着の密着性を良好にするた
めに１μｍ程度以下の厚さの、金属蒸着膜が望ましい。

次に図に示すように絶縁体７を設けた振動板１および圧
電セラミックス２ａｂ　　・２ａ’ｂ’　を接着し、導
電部材４８．４９．５０，５１．５２によりそれぞれ電
極３１と５４、電極４５と５３、電極４７と６５、電極
４６と５９、電極３８と６０を導通させる。また圧電セ
ラミックス２ａｂと２ａ’ｂ’の接着により、上方の圧
電セラミックス２ａｂの裏面電極群３フに対応する図示
していない表面電極と、下方の圧電セラミックス２ａ’
ｂ’の裏面電極４５、上方の圧電セラミックス２ａｂの
裏面電極群４４に対応する図示していない表面電極と電
極４６が導通する。このようにして上方の圧電セラミッ
クス２ａｂの裏面電極群３７と下方の圧電セラミックス
２ａ’ｂ’の表面電極群６９へは、電極５４から、上方
の圧電セラミックス２ａｂの裏面電極群３７に対応する
図示していない表面電極と、圧電セラミックス２ａ’ｂ
’の裏面電極４５へは電極５３から、上方の圧電セラミ
ックス２ａｂの裏面電極群４４と下方の圧電セラミック
ス２ａ’ｂ’の表面電極群７０へは電極６０から、上方
の圧電セラミックス２ａｂの裏面電極群４４に対応する
図示していない表面電極と下方の圧電セラミックス２ａ
’ｂ’の裏面電極４６へは電極５９から給電が可能とな
り、それぞれＶ＝ｌＶｏｓｉｎωｔ、　Ｖ＝［Ｖｏｓｉ
ｎ（ωｔ＋ｙｒ）、Ｖ＝ＭＶｏｓｉｎ（ωｔ±π／２）
。

Ｖ冨属Ｖｏｓｉｎ（ωｔ±３π／２）なる交流電圧を印
加することにより、第１図に示した実施例と同様の動作
が可能となる。なお電極６５と６６は、電極４７と６６
にはさまれた圧電セラミックスの振動により発生した電
圧をモニターする電極であり、振動に対応した周波電圧
の位相や大きさから共振状態にあるか否か等の情報が得
られ、速度制御等のための振動センサとして用いること
が可能である。

第５図の実施例においては、同一の圧電セラミックス中
に３７４波長の間隔を有する２つの電極群（圧電素子群
）を有するが、第７図、第８図に示す実施例のように２
枚の圧電セラミックスのそれぞれに１つの電極群（圧電
素子群）を有し、接着の際に２枚の圧電セラミックスの
電極群（圧電素子群）の位相がλ／４ずれるようにして
も良い。この場合第７図に示すように、上方の圧電セラ
ミックス２θａｂの裏面には、電極１０１〜１１１、表
面には電極１１３を分極用の電極として形成し、図中の
（＋）と（−）で分極方向が逆になるよう厚さ方向に分
極する。ここで電極１０１，１１３は第７図に示すよう
に上方の圧電セラミックス２０ａｂ端面にはみ出す端子
部を形成しておく。次に導電部材１１２を設けて、電極
１０１〜１１１を導通させ、これらが上方の圧電セラミ
ックス２０ａｂの駆動用の裏面電極となる。また、上方
の圧電セラミックス２０ａｂの表面電極は分極用に設け
た電極１１３がそのまま用いられる。

一方、下方の圧電セラミックス２０ａ’ｂ’には、分極
用裏面型８ｉ１１５〜１２５、表面電極１２８を形成し
て分極し、また導電部材１２６を形成することによって
、上方の圧電セラミックス２０ａｂと同様に表面電極と
裏面電極が形成されるが、この下方の圧電セラミックス
２０ａ’ｂ’の裏面電極に給電するための電極１２９、
上方の圧電セラミックス２０ａｂの裏面に給電するため
の電極１３０　、表面に給電するための電極１３１、振
動センサーの表面電極１３２、振動センサの裏面電極１
２７、振動センサの裏面電極と導通させる電極１３３を
第７図に示すように形成し、裏面電極１２７と表面電極
１３２間は厚さ方向に分極処理しておく。電極１１５　
　・１２７　　・１２９　　・１３０　　・１３１　　
・１３３　は第７図に示すように圧電セラミックス２０
ａ’ｂ’の端面にはみ出すように形成する。そして絶縁
体７が設けられた振動体１、上方の圧電セラミックス２
０ａｂ、絶縁体１１４、下方の圧電セラミックス２０ａ
’ｂ’を、上方の圧電セラミックス２０ａｂの裏面電極
パターンと、下方の圧電セラミックス２０ａ’ｂ“の裏
面電極パターンが１／４波長ずれるように接着し、接着
後第８図に示すように導通部材１３４．１３５．１３６
．１３７を形成することによフてそれぞれ電極１２９と
１１５、電極１３０と１０１、電極１３１　と１１３　
、電＆　１３３　と１２７を導通させる。このようにし
て上方の圧電セラミックス２０ａｂの表面電極へは電極
１３１から、裏面電極へは電極１３０から、下方の圧電
セラミックス２０ａ’ｂ’の表面電極へは表面電、ｉ　
１２８から、下方の圧電セラミックス２０ａ’ｂ′の裏
面電極へは電極１２９から給電が可能となり、また電極
１３２と電極１３３間に振動センサ出力電圧が得られる
。電極１２９．１２８．１３０．１３１にそれぞれＶ　
＝　５４（Ｖ　ｏｓｉｎωｔＶ＝属Ｖｏｓｉｎ（ωｔ＋
π）、■＝局ｖ　ｏｓｉｎ　（ωｔ±ｙｒ／２）、Ｖ　
＝ＭＶｏｓｉｎ　（ωｔ±３π／２）なる交流電圧を印
加することにより、第１図に示した実施例と同様の動作
が可能となる。電極１２９．１２８．１３０．１３１へ
の給電は、第１図や第２図で示したようにリード線で行
なっても良いし、フレキシプルプリント基板を直接接着
しても良いし、厚み方向のみに導通性を有する異方性導
電シートをはさんでフレキシブルプリント基板を接着し
ても良い。

〔発明の効果〕

以上説明してきたように、本発明によれば、弾性振動体
と圧電素子等の電気−機械エネルギー変換素子との接合
面間に例えばリード線を設けることなく、該接合面に対
向している電極に給電することが可能となり、特に弾性
振動体と圧電素子との間を絶縁する場合等には圧電素子
の各電極へ確実に給電することができ、又圧電素子と弾
性振動体との良好な密着性が得られる。

また、電気−機械エネルギー変換素子を積層する場合に
も、積層される電気−機械エネルギー変換素子の電極間
においても簡単で確実な接続が可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による振動波モータの一実施例を示し、
第１図（ａ）はステータの断面図、第１図（ｂ）　、　
（ｃ）は圧電素子上の電極パターンを示す図である。第
２図は第１図に示す実施例の変形例を示し、第２図（ａ
）　、　（ｂ）は電極パターンを示す図、第２図（ｃ）
は第２図（ａ）　、　（ｂ）のＡ−Ａ’の断面図である
。第３図は第１図に示す実施例のステータの製造工程を
示す図である。第４図はステータの他の製造工程を示す
図である。第５図及び第６図は他の実施例を示す分解斜
視図及び電極パターンを示す図である。第７図及び第８
図は他の実施例を示す分解斜視図及び斜視図である。第
９図は従来の振動波モータを示す概略図、第１０図は振
動波モータの駆動原理を説明する図、第１１図は従来の
振動波モータを示す概略図である。１・・・振動体３ａ・・・交流電源３Ｃ・３ｄ・・・１８０移位相器８・９・・・表面電極１８・１９・・・導電部材２・・・圧電素子３ｂ・・・９０°移相器７・・・絶縁体８°・９°・・・裏面電極２８・２９・・・表面側裏面電極１０・１１・・・ホール８７・８７°　・９７・９７°　・・・リート線２ａｂ
　・２ａ’ｂ’・・・圧電素子３７・４４・・・裏面’を極　４５・４６・・・裏面電
極６９・７０・・・表面電極　４８〜５２・・・導電部
材５３・５９・・・電極４７・６６・・・振動センサ用電極６５・・・電極１０１〜１１１　・１１２・・・裏面電極１１３・・・
表面電極　　　　１１４・・・絶縁体１１５〜１２５　
・１２６・・・裏面電極１２８・・・表面電極　　　　
１２９・１３０−１３１・・・電極化４名第図（ａ）第 ■ 図（ｂ）第図 ■ 第図第図第図第図第図

Claims

【特許請求の範囲】１　弾性振動体に対して接合される第１の面と、該第１
の面と反対面である第２の面とに夫々電極が形成される
電気−機械エネルギー変換素子を有し、該電気−機械エ
ネルギー変換素子の駆動用電極に交流電圧を印加するこ
とによって該振動弾性体に生ぜしめた振動波により、該
弾性体と、該弾性体に圧接する部材とを摩擦力にて相体
移動させる振動波モータにおいて、該電気−機械エネルギー変換素子の第１の面に形成される電極は、第２の面に形成した電極に導電
部材を介して接続したことを特徴とする振動波モータ。２　導電部材は第１の面と第２の面との間に設けたスル
ーホールであることを特徴とする請求項１に記載の振動
波モータ。３　導電部材は、第１の面に形成される電極と第２の面
に形成される電極との側端面間を接続することを特徴と
する請求項１に記載の振動波モータ。４　弾性振動体と電気−機械エネルギー変換素子の接合
面との間に絶縁部材を設けたことを特徴とする請求項１
，２又は３に記載の振動波モータ。５　弾性振動体が絶縁性を有していることを特徴とする
請求項１，２又は３に記載の振動波モータ。６　弾性振動体の接合面に接する電気−機械エネルギー
変換素子の電極と導電部材との接する部分は、該電気−
機械エネルギー変換素子を該弾性振動体に接合する前に
予め形成されていることを特徴とする請求項１，２，３
，４又は５に記載の振動波モータ。７　弾性振動体に対し、電気−機械エネルギー変換素子
を積層状態に設け、これら電気−機械エネルギー変換素
子の積層面に対し平行面に設けられている駆動電極に交
流電圧を印加することによって該振動弾性体に生ぜしめ
た振動波により、該弾性体と、該弾性体に圧接する部材
とを摩擦力にて相対移動させる振動波モータにおいて、隣接する電気−機械エネルギー変換素子の電極間を、その側端部に設けた導電部材を介して接続し
たことを特徴とする振動波モータ。８　積層されている電気−機械エネルギー変換素子間に
、絶縁部材を設けると共に、弾性振動体との接合面間に
絶縁部材を設けたことを特徴とする請求項７に記載の振
動波モータ。