JPH02303696A - レーザによる加工方法 - Google Patents
レーザによる加工方法Info
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- JPH02303696A JPH02303696A JP1123052A JP12305289A JPH02303696A JP H02303696 A JPH02303696 A JP H02303696A JP 1123052 A JP1123052 A JP 1123052A JP 12305289 A JP12305289 A JP 12305289A JP H02303696 A JPH02303696 A JP H02303696A
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- laser beam
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Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明はレーザによる加工方法、特に照射されたレーザ
光の吸収率を高めて加工部材を加工するレーザによる加
工方法に関する。
光の吸収率を高めて加工部材を加工するレーザによる加
工方法に関する。
(従来の技術)
反射率の高い、すなわち吸収率の低い難加工材をレーザ
光線により加工する手段として、従来、例えば特開昭6
0−152390号公報に記載の技術が周知である。
光線により加工する手段として、従来、例えば特開昭6
0−152390号公報に記載の技術が周知である。
この従来技術によれば、加工物の表面に予め黒鉛粉末等
の吸光剤を塗布し、加工物のレーザ光吸収率を高めて加
工するというものである。
の吸光剤を塗布し、加工物のレーザ光吸収率を高めて加
工するというものである。
(発明が解決しようとする課題)
しかしながら、前述した従来のレーザ加工手段によると
、以下に述べるような種々の課題があった。
、以下に述べるような種々の課題があった。
■ 加工物の個々に吸光剤を予め塗布しなければならな
いため、手間がかかりコストアップとなる。
いため、手間がかかりコストアップとなる。
■ 吸光剤を塗布する際に、任意の形状に塗布したり極
小部分に塗布するのが難しい。
小部分に塗布するのが難しい。
■ 加工物が塗布剤により汚れ易く、この汚れを落とす
のに加工後の洗浄に手間がかかる。
のに加工後の洗浄に手間がかかる。
この発明は斯る課題を解決するためになされたもので、
その目的とするところは、照射されたレーザ光の吸収率
を高めることにより、加工部材や加工箇所の大きさに拘
らず、また加工部材を汚すことなく、更に難加工材に対
しても容易に所望の加工を施すことのできるレーザによ
る加工方法を提供することにある。
その目的とするところは、照射されたレーザ光の吸収率
を高めることにより、加工部材や加工箇所の大きさに拘
らず、また加工部材を汚すことなく、更に難加工材に対
しても容易に所望の加工を施すことのできるレーザによ
る加工方法を提供することにある。
CmHを解決するための手段)
前記目的を達成するために、本発明方法は、片面にレー
ザ光吸収層を形成してなる透光体の前記片面に加工部材
を接触して配置させるか、または複数重ね合せて接触し
て配置させ、前記透光体の他面からレーザ光を前記加工
物に照射して、レーザ光の吸収率を高めることを特徴と
し、また、このようにレーザ光の吸収率を高めることに
よって、加工部材を接合したり、切断したり、あるいは
加工部材の表面改質を行ったり、更に加工部材に穴を明
けたりすることを特徴としている。
ザ光吸収層を形成してなる透光体の前記片面に加工部材
を接触して配置させるか、または複数重ね合せて接触し
て配置させ、前記透光体の他面からレーザ光を前記加工
物に照射して、レーザ光の吸収率を高めることを特徴と
し、また、このようにレーザ光の吸収率を高めることに
よって、加工部材を接合したり、切断したり、あるいは
加工部材の表面改質を行ったり、更に加工部材に穴を明
けたりすることを特徴としている。
(作用)
前記構成により、本発明方法においては、透光体の片面
に形成したレーザ光吸収層により、照射されたレーザ光
の吸収率を高めてそのレーザエネルギを効果的に活用し
、このエネルギが直接加工部材に供給される構成を有し
ているので、いわゆる反射率の高い難加工材に対しても
、容易に種々の加工を施すことが可能となる。
に形成したレーザ光吸収層により、照射されたレーザ光
の吸収率を高めてそのレーザエネルギを効果的に活用し
、このエネルギが直接加工部材に供給される構成を有し
ているので、いわゆる反射率の高い難加工材に対しても
、容易に種々の加工を施すことが可能となる。
また、前記透光体に形成されたレーザ光吸収層のパター
ンを変更することによって、簡単に所望形状あるいは任
意モードの加工を行うことが可能であり、更に、加工部
材には従来例のように直接吸光剤等が塗布されることが
ないので、加工後の洗浄が容易であり、作業工数が大幅
に削減されるという利点を育する。
ンを変更することによって、簡単に所望形状あるいは任
意モードの加工を行うことが可能であり、更に、加工部
材には従来例のように直接吸光剤等が塗布されることが
ないので、加工後の洗浄が容易であり、作業工数が大幅
に削減されるという利点を育する。
(実施例)
以下、図面に基づき本発明の好ましい実施例を説明する
。
。
本発明方法においては、片面にレーザ光吸収層を形成し
てなる透光体の前記片面に加工部材を接触して配置させ
、前記透光体の他面からレーザ光を前記加工部材に照射
して、レーザ光の吸収率を高めるようにしたことを特徴
とする。
てなる透光体の前記片面に加工部材を接触して配置させ
、前記透光体の他面からレーザ光を前記加工部材に照射
して、レーザ光の吸収率を高めるようにしたことを特徴
とする。
本実施例において、第1図には、透光体1の片面に加工
部材3を接触配置し、他面からレーザ光を照射して加工
を行う場合の実施例が示されており、第2図には、前記
透光体1の概略構成が示されている。
部材3を接触配置し、他面からレーザ光を照射して加工
を行う場合の実施例が示されており、第2図には、前記
透光体1の概略構成が示されている。
前記通光体1は、透光部材1aの片面にレーザ光吸収層
2が形成されたものであり、透光部材laとしては、例
えばYAGレーザによる加工を行う場合には石英ガラス
が用いられる。
2が形成されたものであり、透光部材laとしては、例
えばYAGレーザによる加工を行う場合には石英ガラス
が用いられる。
前記レーザ光吸収層2としてはカーボンやニッケル等の
吸収率の高い材料が用いられ、照射されたレーザ光の吸
収率を高めてそのレーザエネルギを加工部材3に供給す
る役目をなす、このレーザ光吸収層2は前記透光部材1
aの表面に蒸着あるいはスパッタリング等の手段によっ
て形成される。
吸収率の高い材料が用いられ、照射されたレーザ光の吸
収率を高めてそのレーザエネルギを加工部材3に供給す
る役目をなす、このレーザ光吸収層2は前記透光部材1
aの表面に蒸着あるいはスパッタリング等の手段によっ
て形成される。
第3図には、本発明方法により加工部材を溶接する場合
の実施例が示されている。
の実施例が示されている。
すなわち、第3図(a)(b)は突合せ溶接を行う場合
の例であり、この突合せ溶接を行うには、同図のように
、先ず、加工部材3−1.3−2の端面同士を互いに突
合せ、該突合せ面の上部に透光体lをそのレーザ光吸収
層2が接触するように配置する。このとき、突合せ面に
沿ってレーザ光吸収層2が位置するようにすることがポ
イントである。
の例であり、この突合せ溶接を行うには、同図のように
、先ず、加工部材3−1.3−2の端面同士を互いに突
合せ、該突合せ面の上部に透光体lをそのレーザ光吸収
層2が接触するように配置する。このとき、突合せ面に
沿ってレーザ光吸収層2が位置するようにすることがポ
イントである。
次に、上方からレーザ光を照射するわけであるが、その
照射位置を突合せ面に沿って移動させると、レーザ光吸
収層2によってレーザエネルギが効果的に活用され、こ
れにより加工部材3の突合せ面が順次溶融して溶接され
ることになる。
照射位置を突合せ面に沿って移動させると、レーザ光吸
収層2によってレーザエネルギが効果的に活用され、こ
れにより加工部材3の突合せ面が順次溶融して溶接され
ることになる。
また、第3図(C)(6)は重ね合せ溶接を行う場合の
例であり、この場合は、加工部材3−1.3−2を上下
に重ね合せ、その上部に透光体lを前記と同様に接触さ
せて配置する。このとき、溶接を行いたい箇所にレーザ
光吸収層2を位置させることは前記と同様である0次に
、透光体1の上方からレーザ光を照射すると、その照射
位1はレーザ光吸収層2を介して溶融し、第3図(ロ)
のように、その溶融部分は下側の加工部材3−2にまで
達し、これによって良好な重ね合せ溶接が行われる。
例であり、この場合は、加工部材3−1.3−2を上下
に重ね合せ、その上部に透光体lを前記と同様に接触さ
せて配置する。このとき、溶接を行いたい箇所にレーザ
光吸収層2を位置させることは前記と同様である0次に
、透光体1の上方からレーザ光を照射すると、その照射
位1はレーザ光吸収層2を介して溶融し、第3図(ロ)
のように、その溶融部分は下側の加工部材3−2にまで
達し、これによって良好な重ね合せ溶接が行われる。
第4図(a)[有])(C)には、本発明方法により加
工部材を切断する場合の実施例が示されている。
工部材を切断する場合の実施例が示されている。
すなわち、この実施例では、加工部材3を曲線に沿って
切断する場合の例であり、透光体1の片面には、第4図
(b)のように任意曲線に沿ってレーザ光吸収層2が形
成されている。そして、切断に際し、この透光体1を加
工部材3の上部に接触させて配置し、次に透光体1の上
方からレーザ光を前記レーザ光吸収層2に沿って連続的
に移動させながら照射する。このとき、加工部材3の溶
融部がその表面から裏面に達する程度にまでレーザ光を
照射し乍ら移動させると、第4図(C)のように、加工
部材3は前記レーザ光吸収層2の任意曲線に沿って切断
される。なお、前記レーザ光吸収層2を直線状に形成し
、加工部材3をこの直線に沿って切断することができる
のは勿論である。
切断する場合の例であり、透光体1の片面には、第4図
(b)のように任意曲線に沿ってレーザ光吸収層2が形
成されている。そして、切断に際し、この透光体1を加
工部材3の上部に接触させて配置し、次に透光体1の上
方からレーザ光を前記レーザ光吸収層2に沿って連続的
に移動させながら照射する。このとき、加工部材3の溶
融部がその表面から裏面に達する程度にまでレーザ光を
照射し乍ら移動させると、第4図(C)のように、加工
部材3は前記レーザ光吸収層2の任意曲線に沿って切断
される。なお、前記レーザ光吸収層2を直線状に形成し
、加工部材3をこの直線に沿って切断することができる
のは勿論である。
第5図(a)(ロ)には、本発明方法により加工部材の
表面改質を行う場合の実施例が示されている。
表面改質を行う場合の実施例が示されている。
すなわち、この実施例では、加工部材30表面に針状の
先端部4a、4a・・・を有する複数の突起4,4・・
・がある場合に、その先端部4aのみに先端焼入れを施
す例である。
先端部4a、4a・・・を有する複数の突起4,4・・
・がある場合に、その先端部4aのみに先端焼入れを施
す例である。
このような先端焼入れを行うには、先ず第5図(a)の
ように、各突起4,4・・・の先端部4a。
ように、各突起4,4・・・の先端部4a。
4a・・・に透光体1のレーザ光吸収層2が接触するよ
うにして配置する。そして、透光体1の上方からレーザ
光を照射し、前記先端部4aをレーザエネルギにて加熱
する0次に、この加熱部を適宜の手段により急激に冷却
することで、先端焼入れが行われる。
うにして配置する。そして、透光体1の上方からレーザ
光を照射し、前記先端部4aをレーザエネルギにて加熱
する0次に、この加熱部を適宜の手段により急激に冷却
することで、先端焼入れが行われる。
第6図(a)(ロ)には、本発明方法により加工部材に
穴を明ける場合の実施例が示されている。
穴を明ける場合の実施例が示されている。
すなわち、この実施例で、は加工部材3の所望の位置に
貫通孔5を形成する場合の例であり、先ず第6図(a)
のように加工部材3の上部に透光体lを接触配置する。
貫通孔5を形成する場合の例であり、先ず第6図(a)
のように加工部材3の上部に透光体lを接触配置する。
そして、上方からレーザ光を照射すると、そのレーザビ
ームの径に応じた、又は孔が大きい場合にはレーザビー
ムを円形状に移動させることにより、所望径の孔5が形
成される。
ームの径に応じた、又は孔が大きい場合にはレーザビー
ムを円形状に移動させることにより、所望径の孔5が形
成される。
なお、レーザ光吸収層2は、本実施例のように透光部材
1aの片面に一様に形成されたものを用いて、孔を形成
したい部分にのみレーザ光を照射する方法であっても良
いし、また、前記吸収層2を、形成される孔に対応した
円形状のパターンに形成して、その部分にレーザ光を照
射する方法であっても良い。
1aの片面に一様に形成されたものを用いて、孔を形成
したい部分にのみレーザ光を照射する方法であっても良
いし、また、前記吸収層2を、形成される孔に対応した
円形状のパターンに形成して、その部分にレーザ光を照
射する方法であっても良い。
第7図(a)(ロ)(C)には、レーザ光吸収層2を予
め楕円状に形成しておいて、加工部材3に楕円形状の孔
6を形成する実施例が示されている。このように、レー
ザ光吸収層2を任意パターンに予め形成しておくことに
より、加工部材をそのレーザ光吸収層2と同一の形状に
加工することが可能である。
め楕円状に形成しておいて、加工部材3に楕円形状の孔
6を形成する実施例が示されている。このように、レー
ザ光吸収層2を任意パターンに予め形成しておくことに
より、加工部材をそのレーザ光吸収層2と同一の形状に
加工することが可能である。
第8図(a)(ロ)には、加工部材にリングモード加工
を施す場合の実施例が示されている。この場合、レーザ
光吸収層2は予めドーナツ状に形成されており、照射さ
れたレーザ光により加工部材3にはリングモードの凹部
7が形成される。この点、従来方法によると、レンズ形
状やレーザモード分布等で調整しなければならなかった
ものが、本実施例によれば、レーザ吸収層2のパターン
の変更のみで任意形状、任意モードの加工が可能となる
。
を施す場合の実施例が示されている。この場合、レーザ
光吸収層2は予めドーナツ状に形成されており、照射さ
れたレーザ光により加工部材3にはリングモードの凹部
7が形成される。この点、従来方法によると、レンズ形
状やレーザモード分布等で調整しなければならなかった
ものが、本実施例によれば、レーザ吸収層2のパターン
の変更のみで任意形状、任意モードの加工が可能となる
。
(発明の効果)
本発明は以上説明した通り、片面にレーザ光吸収層を形
成してなる透光体の前記片面に加工部材を接触して配置
させるか、または複数重ね合せて接触して配置させ、前
記透光体の他面からレーザ光を前記加工物に照射して、
レーザ光の吸収率を高め、加工部材の接合、切断、孔明
、あるいは表面改質を行うことにより、特に反射率の高
い難加工材であってもレーザエネルギを効果的に活用し
て効率良く容易に加工を施すことができる。
成してなる透光体の前記片面に加工部材を接触して配置
させるか、または複数重ね合せて接触して配置させ、前
記透光体の他面からレーザ光を前記加工物に照射して、
レーザ光の吸収率を高め、加工部材の接合、切断、孔明
、あるいは表面改質を行うことにより、特に反射率の高
い難加工材であってもレーザエネルギを効果的に活用し
て効率良く容易に加工を施すことができる。
また、レーザ光吸収層のパターンを変更することによっ
て、加工部材に様々な形状・モードの加工を施すことが
できる。
て、加工部材に様々な形状・モードの加工を施すことが
できる。
さらに、本発明によれば、加工部材に直接吸光剤を塗布
する従来技術に比較し、加工後の洗浄が容易であるとい
う利点を存する。
する従来技術に比較し、加工後の洗浄が容易であるとい
う利点を存する。
第1図は透光体の片面に加工部材を接触配置し、他面か
らレーザ光を照射して加工を行う実施例を示す図、第2
図は透光体の概略構成を示す側面図、第3図(a)は加
工部材の突合せ溶接を行う実施例を示す図、第3図俣)
はその入方向矢視図、第3図(C)は加工部材の重ね合
せ溶接を行う実施例を示す図、第3図(句は溶接箇所の
断側面図、第4図(a)は加工部材の切断を行う実施例
を示す図、第4図し)はそのときに用いられる透光体の
外観図、第4図(C)は加工部材が切断された状態を示
す図、第5図(a)は加工部材表面の先端焼入れを行う
実施例を示す図、第5囲い)は焼入れ後の状態を示す図
、第6図(a)は加工部材に貫通孔を形成する実施例を
示す図、第6図(b)は加工後の状態を示す断側面図、
第7図(a)はレーザ光吸収層を楕円状に形成した透光
体の外観図、第7回し)は加工後の状態を示す平面図、
第7図(C)は同断側面図、第8図(a)はリングモー
ド加工を施す場合に用いられる透光体の外観図、第8図
(b)は加工後の状態を示す断側面図である。 1・・・透光体 】a・・・透光部材 2・・・レーザ光吸収層 3.3−1.3−2・・・加工部材 4・・・突起 4a・・・先端部 5・・・貫通孔 6・・・楕円孔 第1 区 第3図 (a) (b) (C) 箪4図 (G) (b) (c) 第5図 (a) (b) 互 第6図 (b)
らレーザ光を照射して加工を行う実施例を示す図、第2
図は透光体の概略構成を示す側面図、第3図(a)は加
工部材の突合せ溶接を行う実施例を示す図、第3図俣)
はその入方向矢視図、第3図(C)は加工部材の重ね合
せ溶接を行う実施例を示す図、第3図(句は溶接箇所の
断側面図、第4図(a)は加工部材の切断を行う実施例
を示す図、第4図し)はそのときに用いられる透光体の
外観図、第4図(C)は加工部材が切断された状態を示
す図、第5図(a)は加工部材表面の先端焼入れを行う
実施例を示す図、第5囲い)は焼入れ後の状態を示す図
、第6図(a)は加工部材に貫通孔を形成する実施例を
示す図、第6図(b)は加工後の状態を示す断側面図、
第7図(a)はレーザ光吸収層を楕円状に形成した透光
体の外観図、第7回し)は加工後の状態を示す平面図、
第7図(C)は同断側面図、第8図(a)はリングモー
ド加工を施す場合に用いられる透光体の外観図、第8図
(b)は加工後の状態を示す断側面図である。 1・・・透光体 】a・・・透光部材 2・・・レーザ光吸収層 3.3−1.3−2・・・加工部材 4・・・突起 4a・・・先端部 5・・・貫通孔 6・・・楕円孔 第1 区 第3図 (a) (b) (C) 箪4図 (G) (b) (c) 第5図 (a) (b) 互 第6図 (b)
Claims (5)
- (1)片面にレーザ光吸収層を形成してなる透光体の前
記片面に加工部材を接触して配置させ、前記透光体の他
面からレーザ光を前記加工部材に照射して、レーザ光の
吸収率を高めることを特徴とするレーザによる加工方法
。 - (2)片面にレーザ光吸収層を形成してなる透光体の前
記片面に加工部材を複数重ね合せて接触して配置させ、
前記透光体の他面からレーザ光を前記加工部材に照射し
て、レーザ光の吸収率を高め、これら加工部材を接合し
てなることを特徴とするレーザによる加工方法。 - (3)片面にレーザ光吸収層を形成してなる透光体の前
記片面に加工部材を接触して配置させ、前記透光体の他
面からレーザ光を前記加工部材に照射して、レーザ光の
吸収率を高め、加工部材を切断することを特徴とするレ
ーザによる加工方法。 - (4)片面にレーザ光吸収層を形成してなる透光体の前
記片面に加工部材を接触して配置させ、前記透光体の他
面からレーザ光を前記加工部材に照射して、レーザ光の
吸収率を高め、加工部材の表面改質を行うことを特徴と
するレーザによる加工方法。 - (5)片面にレーザ光吸収層を形成してなる透光体の前
記片面に加工部材を接触して配置させ、前記透光体の他
面からレーザ光を前記加工部材に照射して、レーザ光の
吸収率を高め、加工部材に穴をあけることを特徴とする
レーザによる加工方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1123052A JP2684414B2 (ja) | 1989-05-17 | 1989-05-17 | レーザによる加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1123052A JP2684414B2 (ja) | 1989-05-17 | 1989-05-17 | レーザによる加工方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02303696A true JPH02303696A (ja) | 1990-12-17 |
JP2684414B2 JP2684414B2 (ja) | 1997-12-03 |
Family
ID=14851013
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1123052A Expired - Fee Related JP2684414B2 (ja) | 1989-05-17 | 1989-05-17 | レーザによる加工方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2684414B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006082232A (ja) * | 2004-09-14 | 2006-03-30 | Fujitsu Ltd | レーザ加工方法 |
KR101439103B1 (ko) * | 2006-08-25 | 2014-09-11 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치의 제조 방법 |
WO2019146512A1 (ja) * | 2018-01-25 | 2019-08-01 | 東京エレクトロン株式会社 | 薄膜電池素子の製造方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6343784A (ja) * | 1986-08-08 | 1988-02-24 | Mazda Motor Corp | 物品へのレ−ザ刻印方法 |
JPS63126687A (ja) * | 1986-11-14 | 1988-05-30 | Mitsubishi Electric Corp | 樹脂板の切断方法 |
-
1989
- 1989-05-17 JP JP1123052A patent/JP2684414B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Also Published As
Publication number | Publication date |
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JP2684414B2 (ja) | 1997-12-03 |
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