JPH02210272A - 電源回路及び前記回路を備えるブリッジ型測定器出力補償回路 - Google Patents
電源回路及び前記回路を備えるブリッジ型測定器出力補償回路Info
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- JPH02210272A JPH02210272A JP1031728A JP3172889A JPH02210272A JP H02210272 A JPH02210272 A JP H02210272A JP 1031728 A JP1031728 A JP 1031728A JP 3172889 A JP3172889 A JP 3172889A JP H02210272 A JPH02210272 A JP H02210272A
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
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- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野〕
本発明は、出力電圧の温度特性を調整可能な電源回路お
よびこの電源回路を用いてブリッジ型測定器の温度補償
を行うブリッジ型測定器出力補償回路に関する。
よびこの電源回路を用いてブリッジ型測定器の温度補償
を行うブリッジ型測定器出力補償回路に関する。
従来、ブリッジ型測定器の出力補償回路として、例えば
特開昭５５−１５５２５３号公報に記載されるように、
回路中に設けられた各調整抵抗の抵抗値を調整すること
によって、ブリッジ型測定器の出力勾配や温度特性を調
整するものがある。
特開昭５５−１５５２５３号公報に記載されるように、
回路中に設けられた各調整抵抗の抵抗値を調整すること
によって、ブリッジ型測定器の出力勾配や温度特性を調
整するものがある。
ここで、上記公報に示される出力補償回路において、温
度特性を補償するための調整抵抗の抵抗値を調整すると
、ブリッジ型測定器が一定温度中にあっても、この抵抗
を流れる電流値が変化する。
度特性を補償するための調整抵抗の抵抗値を調整すると
、ブリッジ型測定器が一定温度中にあっても、この抵抗
を流れる電流値が変化する。
そして、この電流値の変化により、出力回路を流れる電
流値が変化し、結局出力電圧も変化することになる。こ
のように、上記抵抗の抵抗値の調整によって出力電圧の
零点がずれてしまうため、温度特性の調整は出力電圧の
零点調整の前に行わなければならないなど、各調整抵抗
の調整手順には制限があった。
流値が変化し、結局出力電圧も変化することになる。こ
のように、上記抵抗の抵抗値の調整によって出力電圧の
零点がずれてしまうため、温度特性の調整は出力電圧の
零点調整の前に行わなければならないなど、各調整抵抗
の調整手順には制限があった。
本発明は、上記の点に鑑みてなされたもので、所定温度
においては基準となる定電圧を発生するとともに、発生
電圧の温度特性を変更可能な電源回路を用いることによ
って、ブリッジ型測定器出力の温度特性の調整が他の出
力特性に対して全く影響を与えずに行いえるブリッジ型
測定器出力補償回路を提供すること、および前記電源回
路を提供することを目的とする。
においては基準となる定電圧を発生するとともに、発生
電圧の温度特性を変更可能な電源回路を用いることによ
って、ブリッジ型測定器出力の温度特性の調整が他の出
力特性に対して全く影響を与えずに行いえるブリッジ型
測定器出力補償回路を提供すること、および前記電源回
路を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明による電源回路は、
所定温度において基準電圧を出力として発生し、この出
力の温度特性を調整可能な電源回路であって、 調整可能な定電圧を発生する電圧源と、前記電圧源が発
生する定電圧を前記所定温度において一定の増幅率で増
幅するとともに、この増幅率が前記所定温度との温度差
に応じて変化する増幅手段と、 前記所定温度において前記基準電圧を出力するとともに
、前記増幅手段によって増幅された定電圧と前記電圧源
が発生する定電圧との差に応じて出力電圧を変化させる
出力手段と から構成され、さらにブリッジ型測定器出力補償回路は
、 被測定対象の変化に応じて抵抗値が変化する複数個の検
出素子がブリッジ状に接続されており、かつ、入力端子
と第１、第２の出力端子を有するブリッジ型測定器と、 このブリッジ型測定器の前記入力端子に定電流を供給す
る定電流源と、 前記測定器の第１の出力端子側の出力を一方の入力とし
、前記測定器の第２の出力端子側の出力を第１の抵抗を
介して他方の入力とする演算増幅器と、 所定の基準電圧を出力として発生し、この出力の温度特
性を調整可能な電源回路と、 前記第１の抵抗と前記演算増幅器とを接続する配線中に
一端が接続され、他端が前記電源回路に接続されている
第２の抵抗と、 前記第１の抵抗と前記演算増幅器とを接続する前記配線
中に一端が接続され、前記演算増幅器の出力に応じ、か
つ前記第２の抵抗を流れる電流によって調整された電流
を発生する電圧電流変換回路と から構成される。
力の温度特性を調整可能な電源回路であって、 調整可能な定電圧を発生する電圧源と、前記電圧源が発
生する定電圧を前記所定温度において一定の増幅率で増
幅するとともに、この増幅率が前記所定温度との温度差
に応じて変化する増幅手段と、 前記所定温度において前記基準電圧を出力するとともに
、前記増幅手段によって増幅された定電圧と前記電圧源
が発生する定電圧との差に応じて出力電圧を変化させる
出力手段と から構成され、さらにブリッジ型測定器出力補償回路は
、 被測定対象の変化に応じて抵抗値が変化する複数個の検
出素子がブリッジ状に接続されており、かつ、入力端子
と第１、第２の出力端子を有するブリッジ型測定器と、 このブリッジ型測定器の前記入力端子に定電流を供給す
る定電流源と、 前記測定器の第１の出力端子側の出力を一方の入力とし
、前記測定器の第２の出力端子側の出力を第１の抵抗を
介して他方の入力とする演算増幅器と、 所定の基準電圧を出力として発生し、この出力の温度特
性を調整可能な電源回路と、 前記第１の抵抗と前記演算増幅器とを接続する配線中に
一端が接続され、他端が前記電源回路に接続されている
第２の抵抗と、 前記第１の抵抗と前記演算増幅器とを接続する前記配線
中に一端が接続され、前記演算増幅器の出力に応じ、か
つ前記第２の抵抗を流れる電流によって調整された電流
を発生する電圧電流変換回路と から構成される。
まず、上記のよ・うに構成された電源回路の作用につい
て説明する。
て説明する。
電圧源が発生する定電圧は、増幅手段により所定温度に
おいて例えば増幅率を１として増幅されるものとする。
おいて例えば増幅率を１として増幅されるものとする。
この増幅された定電圧と電圧源が発生する定電圧とは、
大きさが等しいため、両者の差は零となる。このため、
出力手段から出力される電圧は所定温度においては基準
電圧となる。
大きさが等しいため、両者の差は零となる。このため、
出力手段から出力される電圧は所定温度においては基準
電圧となる。
一方、所定温度との温度差が大きくなるにつれて、増幅
手段における増幅率の変化も大きくなる。ここで、所定
温度とは異なる温度中において、電圧源が発生する定電
圧を変化させると、増幅手段の増幅率は一定であるにも
かかわらず、増幅手段によって増幅された定電圧と電圧
源が発生する定電圧との差が変化するため、出力手段か
ら出力される電圧は変化する。すなわち、電圧源が発生
する定電圧値を調整することにより、出力電圧に関して
所望の温度特性を得ることができる。
手段における増幅率の変化も大きくなる。ここで、所定
温度とは異なる温度中において、電圧源が発生する定電
圧を変化させると、増幅手段の増幅率は一定であるにも
かかわらず、増幅手段によって増幅された定電圧と電圧
源が発生する定電圧との差が変化するため、出力手段か
ら出力される電圧は変化する。すなわち、電圧源が発生
する定電圧値を調整することにより、出力電圧に関して
所望の温度特性を得ることができる。
次に、上記の電圧調整回路を有するブリッジ型測定器の
出力補償回路の作用について説明する。
出力補償回路の作用について説明する。
ブリッジ型測定器の出力電圧が温度に応じて変化し、こ
の出力電圧の変化に伴い電圧電流変換回路が発生する電
流値が変化しても、この電流値の変化分を打ち消す電流
が第２の抵抗を流れるように、電源回路の温度特性が設
定されている。ここで、前述のように電源回路は、電圧
源が発生する定電圧を変化させても、所定温度において
は常に基準電圧を出力する。したがって、ブリ・ンジ型
測定器出力の温度特性を調整しても出力電圧の零点にず
れが生じることはなく、それぞれの出力特性を完全に独
立して調整することができる。
の出力電圧の変化に伴い電圧電流変換回路が発生する電
流値が変化しても、この電流値の変化分を打ち消す電流
が第２の抵抗を流れるように、電源回路の温度特性が設
定されている。ここで、前述のように電源回路は、電圧
源が発生する定電圧を変化させても、所定温度において
は常に基準電圧を出力する。したがって、ブリ・ンジ型
測定器出力の温度特性を調整しても出力電圧の零点にず
れが生じることはなく、それぞれの出力特性を完全に独
立して調整することができる。
以下本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
第１図は出力補償回路の全体構成を示すものである。１
，２，３．４はブリッジ型測定器を構成するための検出
素子で、この実施例においては公知の半導体圧力センサ
を構成する拡散抵抗である。
，２，３．４はブリッジ型測定器を構成するための検出
素子で、この実施例においては公知の半導体圧力センサ
を構成する拡散抵抗である。
この圧力センサの構造は図示していないが、シリコン製
ダイヤフラムの感圧領域に反対導電型の不純物を拡散し
て前記抵抗１〜４が形成され、このダイヤフラムへの印
加圧力に応じて各抵抗１〜４に応力歪を与えると、ピエ
ゾ抵抗効果によって自身の抵抗値が変化するものである
。もちろん、ブリッジ型測定器（以下これをセンサ単体
と称す）としては、上述の圧力に限らず磁気、光、湿度
等の各種の検出対象に対する測定器があり、例えば磁気
センサを構成する場合には、前記拡散抵抗１〜４の代わ
りに磁気抵抗素子を用いることによりブリッジ回路を組
むことができ、この磁気センサ等にも同様に本発明を利
用できる。また、受感素子である検出素子は４個に限ら
ず２個等でブリッジ回路を構成しても良い。
ダイヤフラムの感圧領域に反対導電型の不純物を拡散し
て前記抵抗１〜４が形成され、このダイヤフラムへの印
加圧力に応じて各抵抗１〜４に応力歪を与えると、ピエ
ゾ抵抗効果によって自身の抵抗値が変化するものである
。もちろん、ブリッジ型測定器（以下これをセンサ単体
と称す）としては、上述の圧力に限らず磁気、光、湿度
等の各種の検出対象に対する測定器があり、例えば磁気
センサを構成する場合には、前記拡散抵抗１〜４の代わ
りに磁気抵抗素子を用いることによりブリッジ回路を組
むことができ、この磁気センサ等にも同様に本発明を利
用できる。また、受感素子である検出素子は４個に限ら
ず２個等でブリッジ回路を構成しても良い。
また、１００は定電流源をなす感度調整回路で、抵抗５
、演算増幅器（以下ＯＰアンプと称す）６、後述する感
度調整用電圧■。を出力する第１の定電圧源７とによっ
て構成され、第１の定電圧源７が出力する電圧■。と抵
抗５の抵抗値とによって決定される一定電流■。を発生
する。
、演算増幅器（以下ＯＰアンプと称す）６、後述する感
度調整用電圧■。を出力する第１の定電圧源７とによっ
て構成され、第１の定電圧源７が出力する電圧■。と抵
抗５の抵抗値とによって決定される一定電流■。を発生
する。
２００は電圧・電流変換回路で、ＯＰアンプ８１０、第
１の抵抗としての抵抗９、トランジスタ１１からなり、
ブリッジ回路の出力電圧を、この出力電圧に応じた電流
に変換するものである。３００は温度補償回路で、第２
の抵抗としての抵抗１２と後述する温度調整用電圧■１
を出力する電源回路としての第２の定電圧源１３とから
構成され、出力電圧■。、の温度特性を補償する。また
、４００は出力電圧の零点（オフセット）調整回路で、
抵抗１４、第３の抵抗としての抵抗１５、ＯＰアンプ１
６、後述するオフセット調整用電圧Ｖｚを出力する第３
の定電圧源１７とによって構成され、オフセット調整用
電圧ｖ２及び抵抗１４．１５の設定値と電圧・電流変換
回路２００の出力電流の値に応じた出力電圧■。、を発
生するようにしである。また、端子２２．２４には一定
の直流電圧Ｖ０゜が印加され、端子２３．２４より受感
圧力に比較した出力■。、を発生する。
１の抵抗としての抵抗９、トランジスタ１１からなり、
ブリッジ回路の出力電圧を、この出力電圧に応じた電流
に変換するものである。３００は温度補償回路で、第２
の抵抗としての抵抗１２と後述する温度調整用電圧■１
を出力する電源回路としての第２の定電圧源１３とから
構成され、出力電圧■。、の温度特性を補償する。また
、４００は出力電圧の零点（オフセット）調整回路で、
抵抗１４、第３の抵抗としての抵抗１５、ＯＰアンプ１
６、後述するオフセット調整用電圧Ｖｚを出力する第３
の定電圧源１７とによって構成され、オフセット調整用
電圧ｖ２及び抵抗１４．１５の設定値と電圧・電流変換
回路２００の出力電流の値に応じた出力電圧■。、を発
生するようにしである。また、端子２２．２４には一定
の直流電圧Ｖ０゜が印加され、端子２３．２４より受感
圧力に比較した出力■。、を発生する。
次に、上記構成による回路作動について説明する。まず
、ブリッジ回路の第１、第２の出力端子の出力電圧をそ
れぞれＶ、、Ｖ、とする。ＯＰアンプ８はインピーダン
ス変換器を構成しであるためその出力は■。に等しく、
また、演算増幅器１０の（−）入力端子の電圧はイマジ
ナルショートにより（＋）入力端子の電圧■、にほぼ等
しくな。
、ブリッジ回路の第１、第２の出力端子の出力電圧をそ
れぞれＶ、、Ｖ、とする。ＯＰアンプ８はインピーダン
ス変換器を構成しであるためその出力は■。に等しく、
また、演算増幅器１０の（−）入力端子の電圧はイマジ
ナルショートにより（＋）入力端子の電圧■、にほぼ等
しくな。
ると仮定すると、抵抗９、抵抗１２、及びトランジスタ
１１に流れる電流１．、Ｉ３及びＩｇがそれぞれ決定さ
れる。また、電源電圧’ＶＤＤ及び第３の定電圧源１７
の出力電圧■２、抵抗１４とにより、この抵抗１４に流
れる電流Ｉ、が決定され、そこで両型流Ｉｓ、ＩＫの差
より抵抗１５に流れる電ｍＩａが決定され、結局電流Ｉ
４よりこの抵抗１５の電圧降下分が決定されることから
、出力電圧Ｖ ｏｕｔが決定されるわけである。従って
、電圧電流変換回路２００の出力電流Ｉ２に応じて出力
電圧■。１が変化することになる。
１１に流れる電流１．、Ｉ３及びＩｇがそれぞれ決定さ
れる。また、電源電圧’ＶＤＤ及び第３の定電圧源１７
の出力電圧■２、抵抗１４とにより、この抵抗１４に流
れる電流Ｉ、が決定され、そこで両型流Ｉｓ、ＩＫの差
より抵抗１５に流れる電ｍＩａが決定され、結局電流Ｉ
４よりこの抵抗１５の電圧降下分が決定されることから
、出力電圧Ｖ ｏｕｔが決定されるわけである。従って
、電圧電流変換回路２００の出力電流Ｉ２に応じて出力
電圧■。１が変化することになる。
上述したことを数式を用いて以下に説明する。
抵抗９，１２，１４．１５の抵抗値を前より順番にＲｑ
、Ｒ＋□ｒ Ｒ１４＋ ＲＩＳとすると、まず、１
＋＋ｌ５＝Ｉｚ 従って、 また、 １２＋ １４＝ ｌ５ （１）、 （２）式より、 ■。ｕ＋Ｌ ＝Ｖｔ Ｉ ４・ＲＩＳ＝Ｖｚ
（Ｉｓ Ｉｔ） ・ＲＩＳ＝ Ｖ ｏｔｔ
＋ Ｖ ｔａｎｓ ＋ Ｖ ｔａ＋＊ｐ・・・・・・・
・・（３）′ とする。
、Ｒ＋□ｒ Ｒ１４＋ ＲＩＳとすると、まず、１
＋＋ｌ５＝Ｉｚ 従って、 また、 １２＋ １４＝ ｌ５ （１）、 （２）式より、 ■。ｕ＋Ｌ ＝Ｖｔ Ｉ ４・ＲＩＳ＝Ｖｚ
（Ｉｓ Ｉｔ） ・ＲＩＳ＝ Ｖ ｏｔｔ
＋ Ｖ ｔａｎｓ ＋ Ｖ ｔａ＋＊ｐ・・・・・・・
・・（３）′ とする。
ここで、特にブリッジ回路の一方の出力電圧■。
と第２の定電圧源１３が出力する温度調整用電圧■、と
が等しい場合、 （Ｖｓ−Ｖｃ） ・・・・・・・・
・（４）−■。ｆｆ ＋Ｖｓａｎｓ
・・・・・・・・・（４）′となる。
が等しい場合、 （Ｖｓ−Ｖｃ） ・・・・・・・・
・（４）−■。ｆｆ ＋Ｖｓａｎｓ
・・・・・・・・・（４）′となる。
従って、上記（３）、 （４）式より、各抵抗値Ｒ３ｒ
Ｒ１２＋Ｒ，４，Ｒ，、及び電圧ＶＤＩＩ、 Ｖ２
、 Ｖ＋は固定した一定値であるため、出力電圧■。
Ｒ１２＋Ｒ，４，Ｒ，、及び電圧ＶＤＩＩ、 Ｖ２
、 Ｖ＋は固定した一定値であるため、出力電圧■。
ｕＬとしてはブリッジ回路、すなわちセンサ単体の出力
電圧（Ｖａ−■、）に応じた電圧が得られることがわか
る。
電圧（Ｖａ−■、）に応じた電圧が得られることがわか
る。
出力補償回路の出力電圧■。ｕｔは、式（３）′に示さ
れるように、■。２．とＶ １ａｎｓと■、。１ｐとか
ら決定される。したがって、これらの電圧■。ｆｆ ＋
■、。ｎ％＊ ＶＬｍ＠ｅを調整することにより、出
力電圧■。■の特性を所望の特性に調整することができ
る。以下、それぞれの電圧■。ｆｆ ｒ Ｖｌ＠□ｒ
Ｖｔａａｐについて詳しく説明する。
れるように、■。２．とＶ １ａｎｓと■、。１ｐとか
ら決定される。したがって、これらの電圧■。ｆｆ ＋
■、。ｎ％＊ ＶＬｍ＠ｅを調整することにより、出
力電圧■。■の特性を所望の特性に調整することができ
る。以下、それぞれの電圧■。ｆｆ ｒ Ｖｌ＠□ｒ
Ｖｔａａｐについて詳しく説明する。
まず、電圧■３゜□の項について説明する。
ブリッジ回路の両辺の出力電圧はそれぞれ■、。
ｖｃで示され、ＯＰアンプ６の（＋）入力端子の電圧を
Ｖｏとすると、イマジナルショートにより（−）入力端
子の電圧もほぼＶｏに等しくなり、さらに抵抗５の抵抗
値をＲ３とすると、抵抗５を流れる電流■。は、 で与えられる。また、ブリッジ回路を構成する抵抗１．
２． ３． ４のそれぞれの抵抗値をＲ，、Ｒ，。
Ｖｏとすると、イマジナルショートにより（−）入力端
子の電圧もほぼＶｏに等しくなり、さらに抵抗５の抵抗
値をＲ３とすると、抵抗５を流れる電流■。は、 で与えられる。また、ブリッジ回路を構成する抵抗１．
２． ３． ４のそれぞれの抵抗値をＲ，、Ｒ，。
Ｒ，、Ｒ，とすると、ブリッジ回路の出力電圧■６−■
、は となる。
、は となる。
ここで、上記（５）、 （６）式において、抵抗値ＲＩ
〜Ｒ２が一定であるときに、第１の定電圧源７の出力電
圧（感度調整用電圧）■。を変化させると、（５）式か
ら抵抗５を流れる電流■。が変化し、（６）式から電流
Ｉ０の変化に伴い、ブリッジ回路の出力電圧Ｖｉ Ｖ
ｃが変化することがわかる。すなわち、ブリッジ型測定
器の愛想圧力が一定であっても、第１の定電圧源７の出
力電圧Ｖ０に応じてブリッジ回路の出力電圧Ｖ、−Ｖ、
が変化することから、ブリッジ回路の感度が変化してい
ることがわかる。
〜Ｒ２が一定であるときに、第１の定電圧源７の出力電
圧（感度調整用電圧）■。を変化させると、（５）式か
ら抵抗５を流れる電流■。が変化し、（６）式から電流
Ｉ０の変化に伴い、ブリッジ回路の出力電圧Ｖｉ Ｖ
ｃが変化することがわかる。すなわち、ブリッジ型測定
器の愛想圧力が一定であっても、第１の定電圧源７の出
力電圧Ｖ０に応じてブリッジ回路の出力電圧Ｖ、−Ｖ、
が変化することから、ブリッジ回路の感度が変化してい
ることがわかる。
第１の定電圧源７は、第２図に示すようにデジタル値を
記憶する不揮発性メモリ７０１と、このメモリ７０１に
記憶されているデジタル値をアナログ値に記憶するＤＡ
コンバータとによって構成される。このため、メモリ７
０１に書き込むデジタル値により、第１の定電圧源７の
出力端子７０３に発生する電圧■。を任意に設定するこ
とができる。従って、前述したように、第１の定電圧源
７の出力電圧■。に応じてブリッジ回路の出力電圧Ｖ、
−Ｖ、が変化するために、メモリ７０１に書き込むデジ
タル値によって、ブリッジ回路の感度を調整することが
できる。
記憶する不揮発性メモリ７０１と、このメモリ７０１に
記憶されているデジタル値をアナログ値に記憶するＤＡ
コンバータとによって構成される。このため、メモリ７
０１に書き込むデジタル値により、第１の定電圧源７の
出力端子７０３に発生する電圧■。を任意に設定するこ
とができる。従って、前述したように、第１の定電圧源
７の出力電圧■。に応じてブリッジ回路の出力電圧Ｖ、
−Ｖ、が変化するために、メモリ７０１に書き込むデジ
タル値によって、ブリッジ回路の感度を調整することが
できる。
（ＶＢ−ＶＣ））は、ブリッジ回路の感度を調整可能な
項であることがわかる。
項であることがわかる。
次に、電圧Ｖ Ｌａｍ９０項について説明する。
電圧■、。１は、ブリッジ回路の一方の出力電圧■ｓと
第２の定電圧源１３の出力電圧（温度補償用電圧）■１
との差に応じて決定される。
第２の定電圧源１３の出力電圧（温度補償用電圧）■１
との差に応じて決定される。
ここで、第３図に第２の定電圧源１３の構成を示す。第
３図において、１３１はデジタル値を記憶する不揮発性
メモリであり、１３２は不揮発性メモリ１３１の出力す
るデジタル値をアナログ値に変換するＤＡコンバータで
ある。これらメモリ１３１とＤＡコンバータ１３２とが
ら電圧源１３０が構成されている。なお、１４３．１４
４はアナログ電圧を出力する電圧調整回路である。５゜
Ｏは増幅回路であり、抵抗１３６，１３７及びＯＰアン
プ１３８によって構成され、ＤＡコンバータ１３２の出
力電圧ＶＩ″を反転増幅するものである。６００は出力
回路であり、抵抗１３９，１４０．１４１及びＯＰアン
プ１４２によって構成され、ＤＡコンバータ１３２の出
力電圧ｖｌ゛と増幅回路５００によって反転増幅された
出力電圧ｖ１″とを加算して出力端子１３５から出力す
る。
３図において、１３１はデジタル値を記憶する不揮発性
メモリであり、１３２は不揮発性メモリ１３１の出力す
るデジタル値をアナログ値に変換するＤＡコンバータで
ある。これらメモリ１３１とＤＡコンバータ１３２とが
ら電圧源１３０が構成されている。なお、１４３．１４
４はアナログ電圧を出力する電圧調整回路である。５゜
Ｏは増幅回路であり、抵抗１３６，１３７及びＯＰアン
プ１３８によって構成され、ＤＡコンバータ１３２の出
力電圧ＶＩ″を反転増幅するものである。６００は出力
回路であり、抵抗１３９，１４０．１４１及びＯＰアン
プ１４２によって構成され、ＤＡコンバータ１３２の出
力電圧ｖｌ゛と増幅回路５００によって反転増幅された
出力電圧ｖ１″とを加算して出力端子１３５から出力す
る。
以下、上記のように構成された第２の定電圧源の作動に
ついて説明する。
ついて説明する。
メ、そり１３．１にデジタル値が書き込まれると、ＤＡ
コンバータ１３２は、このデジタル値に応じたアナログ
値の電圧■１”を出力する。ここで、抵抗１３６，１３
７の抵抗値をそれぞれＲＩ３６１ＲＩ３７とし、ＯＰア
ンプ１３８の（＋）入力端子１３３には電圧調整回路１
４３がらの電圧ｖＸが印加されているとすると、増幅回
路５００の出力電圧■、”は となる。すなわち、出力電圧■１′は電圧■にを基準と
してＤＡコンバータ１３２の出力電圧■１′を反転増幅
したものとなる。そして、反転増幅回路５００の出力電
圧ｖ１”とＤＡコンバータの出力電圧■１”とが出力回
路６００に与えられたとき、抵抗１３９，１４０，１４
１の抵抗値をそれぞれＲ１！ｑ＊Ｒ１４゜、Ｒｏ、とし
、ＯＰアンプ１４２の（＋）入力端子１３４には電圧調
整回路１４４からの電圧■、が印加されているとすると
、出力回路の出力電圧■１は、 ・・・・・・・・・（７） で示される。
コンバータ１３２は、このデジタル値に応じたアナログ
値の電圧■１”を出力する。ここで、抵抗１３６，１３
７の抵抗値をそれぞれＲＩ３６１ＲＩ３７とし、ＯＰア
ンプ１３８の（＋）入力端子１３３には電圧調整回路１
４３がらの電圧ｖＸが印加されているとすると、増幅回
路５００の出力電圧■、”は となる。すなわち、出力電圧■１′は電圧■にを基準と
してＤＡコンバータ１３２の出力電圧■１′を反転増幅
したものとなる。そして、反転増幅回路５００の出力電
圧ｖ１”とＤＡコンバータの出力電圧■１”とが出力回
路６００に与えられたとき、抵抗１３９，１４０，１４
１の抵抗値をそれぞれＲ１！ｑ＊Ｒ１４゜、Ｒｏ、とし
、ＯＰアンプ１４２の（＋）入力端子１３４には電圧調
整回路１４４からの電圧■、が印加されているとすると
、出力回路の出力電圧■１は、 ・・・・・・・・・（７） で示される。
ここで、抵抗１３７は所定温度（例えば室温）の抵抗値
Ｒ１３？が抵抗１３６の抵抗値Ｒ１１，と等しく、かつ
抵抗温度係数が異なる材質によって構成されており、抵
抗１３７の抵抗値Ｒ１１？は、ＲＩ３？ −Ｒｒｓｈ
（１＋αＴ） ただし、α：ＲＩ３７の抵抗温度係数 Ｔ：所定温度との温度差 で示される。さらに、抵抗１３９，１４０，１４１の抵
抗値及び抵抗温度係数が等しいと仮定すれば、出力回路
６００の出力電圧Ｖ、は、Ｖ＋＝３Ｖｙ （２＋α
Ｔ）Ｖｘ＋ｃｒＴＶ％−３Ｖｖ ２ Ｖｘ ＋ （Ｖ
ｌ’ ＶＷ ） ｃｒＴ・・・・・・・・・（８） となる。
Ｒ１３？が抵抗１３６の抵抗値Ｒ１１，と等しく、かつ
抵抗温度係数が異なる材質によって構成されており、抵
抗１３７の抵抗値Ｒ１１？は、ＲＩ３？ −Ｒｒｓｈ
（１＋αＴ） ただし、α：ＲＩ３７の抵抗温度係数 Ｔ：所定温度との温度差 で示される。さらに、抵抗１３９，１４０，１４１の抵
抗値及び抵抗温度係数が等しいと仮定すれば、出力回路
６００の出力電圧Ｖ、は、Ｖ＋＝３Ｖｙ （２＋α
Ｔ）Ｖｘ＋ｃｒＴＶ％−３Ｖｖ ２ Ｖｘ ＋ （Ｖ
ｌ’ ＶＷ ） ｃｒＴ・・・・・・・・・（８） となる。
一方、第１図においてＯＰアンプ６の（＋）入力端子の
電圧を■。とし、抵抗Ｒ２を流れる電流を１、とすると
、ＯＰアンプＩＯの（＋）入力端子の電圧■８は、 となる。ここで、ブリッジ回路の抵抗１〜４の抵抗値が
すべて等しくＲ，である場合、上記の電圧Ｖ、は Ｖｓ−Ｖ。−ＲｓＩ。 ・・・・・・・・
・（９）となる。（９）式に（５）式を代入すると、と
なる。
電圧を■。とし、抵抗Ｒ２を流れる電流を１、とすると
、ＯＰアンプＩＯの（＋）入力端子の電圧■８は、 となる。ここで、ブリッジ回路の抵抗１〜４の抵抗値が
すべて等しくＲ，である場合、上記の電圧Ｖ、は Ｖｓ−Ｖ。−ＲｓＩ。 ・・・・・・・・
・（９）となる。（９）式に（５）式を代入すると、と
なる。
ここで、（８）、 ｆｆ０）弐より、
・・・・・・・・・００
零となり、出力補償回路の出力電圧Ｖ。Ｕ、において、
この電圧Ｖ ｔｅａｐの項により生じるオフセットが零
となるため、出力電圧■。、のオフセット調整をより簡
単に行うことができる。
この電圧Ｖ ｔｅａｐの項により生じるオフセットが零
となるため、出力電圧■。、のオフセット調整をより簡
単に行うことができる。
また、０１）式は電圧■、が所定温度においては基・準
電圧Ｖ、を出力するとともに、温度変化によりとなるよ
うに、それぞれ電圧Ｖｙ、Ｖｘを設定す・・・・・・・
・・００ となる、１′″なわち、上記条件を満足するように、電
圧Ｖ、、Ｖ、を設定すると、所定温度においてＯＰアン
プｌＯの（−）入力端子の電圧ｖｌｌと第２の定電圧１
ｆ１１３が出力する電圧■１とが等しくなる。この結果
、電圧Ｖ ｔｅｓ、は所定温度において合で変化するこ
とを示している。従って、任意の圧力ＰＩにおいて正の
温度変化、例えば温度が２５°Ｃから８０°Ｃに変化し
たとき、出力電圧■。１がΔ■。、、だけ増加傾向、す
なわち電流Ｉ４が減少傾向にあると仮定すると、電圧電
流変換回路２００の出力電流■２を減少させるようにす
れば、抵抗１４を流れる電流！、が一定のため、電流Ｉ
４の減少を防止（補償）できる。ここで、センサ単体の
各抵抗１〜４が正の温度特性を持ち、電圧Ｖｍが温度の
上昇とともにΔ■、たけ低下する場合、ＯＰアンプ１０
の（−）入力端子にもイマジナルショートにより電圧Ｖ
、が発生するため、抵抗１２を流れる電流Ｉ３が減少す
る。この電流！３の減少により、電流１２も減少するが
、この電流Ｉ、の減少により電流Ｉ４の減少を確実に防
止するためとなるように、電圧Ｖ１を調整する。これに
より、出力電圧■。、の温度特性を確実に補償すること
ができる。
電圧Ｖ、を出力するとともに、温度変化によりとなるよ
うに、それぞれ電圧Ｖｙ、Ｖｘを設定す・・・・・・・
・・００ となる、１′″なわち、上記条件を満足するように、電
圧Ｖ、、Ｖ、を設定すると、所定温度においてＯＰアン
プｌＯの（−）入力端子の電圧ｖｌｌと第２の定電圧１
ｆ１１３が出力する電圧■１とが等しくなる。この結果
、電圧Ｖ ｔｅｓ、は所定温度において合で変化するこ
とを示している。従って、任意の圧力ＰＩにおいて正の
温度変化、例えば温度が２５°Ｃから８０°Ｃに変化し
たとき、出力電圧■。１がΔ■。、、だけ増加傾向、す
なわち電流Ｉ４が減少傾向にあると仮定すると、電圧電
流変換回路２００の出力電流■２を減少させるようにす
れば、抵抗１４を流れる電流！、が一定のため、電流Ｉ
４の減少を防止（補償）できる。ここで、センサ単体の
各抵抗１〜４が正の温度特性を持ち、電圧Ｖｍが温度の
上昇とともにΔ■、たけ低下する場合、ＯＰアンプ１０
の（−）入力端子にもイマジナルショートにより電圧Ｖ
、が発生するため、抵抗１２を流れる電流Ｉ３が減少す
る。この電流！３の減少により、電流１２も減少するが
、この電流Ｉ、の減少により電流Ｉ４の減少を確実に防
止するためとなるように、電圧Ｖ１を調整する。これに
より、出力電圧■。、の温度特性を確実に補償すること
ができる。
また、センサ単体の各抵抗１〜４が正の温度特性を持ち
、電圧■８が温度の上昇とともにΔ■、だけ上昇する場
合、及びセンサ単体の各抵抗１〜４が負の温度特性を持
つ場合にも、上記と同様の調整により、出力電圧■。１
．の温度特性を補償することができる。
、電圧■８が温度の上昇とともにΔ■、だけ上昇する場
合、及びセンサ単体の各抵抗１〜４が負の温度特性を持
つ場合にも、上記と同様の調整により、出力電圧■。１
．の温度特性を補償することができる。
次に、電圧Ｖ ｏ ｆ ｆＯ項について説明する。
電圧■。２．は、（３）、 （４）式かられかるように
、出力電圧■。、のオフセットを調整することができる
項である。この電圧■。ｆｆは第３の定電圧源１７が出
力する電圧（オフセット調整用電圧）Ｖｚによって調整
することができ、第３の定電圧源１７は、第１の定電圧
源と同様に、デジタル値を記憶するメモリとこのメモリ
に記憶されているデジタル値をアナログ値に変換するＤ
Ａコンバータとによって構成される。したがって、出力
電圧■。１゜のオフセットは、このメモリに記憶させる
デジタル値によって容易に調整することができる。
、出力電圧■。、のオフセットを調整することができる
項である。この電圧■。ｆｆは第３の定電圧源１７が出
力する電圧（オフセット調整用電圧）Ｖｚによって調整
することができ、第３の定電圧源１７は、第１の定電圧
源と同様に、デジタル値を記憶するメモリとこのメモリ
に記憶されているデジタル値をアナログ値に変換するＤ
Ａコンバータとによって構成される。したがって、出力
電圧■。１゜のオフセットは、このメモリに記憶させる
デジタル値によって容易に調整することができる。
なお、第１、第２、第３の定電圧源７，１３゜１７のそ
れぞれのメモリを例えばＲＡＭによって構成すれば、ブ
リッジ型測定器の出力特性を固定することなく、任意に
調整することができる。
れぞれのメモリを例えばＲＡＭによって構成すれば、ブ
リッジ型測定器の出力特性を固定することなく、任意に
調整することができる。
また、前述の実施例では、第２の定電圧源１３において
、メモリ１３１とＤＡコンバータ１３２とから構成され
る電圧源１３０からの定電圧を増幅回路５００によって
反転増幅していた。これに対し、電圧源１３０からの定
電圧を反転させずに、かつ温度変化に応じて増幅率が変
化するように増幅し、この増幅された定電圧と電圧源１
３０からの定電圧との電圧差を検出し、この検出された
電圧差に基づいて、出力回路からの出力電圧を変化させ
るようにしても良い。
、メモリ１３１とＤＡコンバータ１３２とから構成され
る電圧源１３０からの定電圧を増幅回路５００によって
反転増幅していた。これに対し、電圧源１３０からの定
電圧を反転させずに、かつ温度変化に応じて増幅率が変
化するように増幅し、この増幅された定電圧と電圧源１
３０からの定電圧との電圧差を検出し、この検出された
電圧差に基づいて、出力回路からの出力電圧を変化させ
るようにしても良い。
また、本実施例では、抵抗ＲＩ３＆と抵抗Ｒ１：ｌの抵
抗値が所定温度において等しいとしたが、抵抗ＲＩ３ｂ
と抵抗Ｒ１３，の抵抗値が所定温度においてに倍となる
よう設定し、かつＲ＋３ｗ＝ｋＲ，、。とすれば、（７
）式より明らかなように、電圧源１３０の出力電圧ＶＩ
”の値にかかわりなく、かつ、抵抗Ｒ１３？の温度係数
αを抵抗Ｒ１゜と抵抗ＲＩ ４１との比で決まる値だけ
乗算した値とすることができる。
抗値が所定温度において等しいとしたが、抵抗ＲＩ３ｂ
と抵抗Ｒ１３，の抵抗値が所定温度においてに倍となる
よう設定し、かつＲ＋３ｗ＝ｋＲ，、。とすれば、（７
）式より明らかなように、電圧源１３０の出力電圧ＶＩ
”の値にかかわりなく、かつ、抵抗Ｒ１３？の温度係数
αを抵抗Ｒ１゜と抵抗ＲＩ ４１との比で決まる値だけ
乗算した値とすることができる。
また、前述した第２の定電圧源１３は、所定温度におい
ては所定の基準電圧を出力するとともに、その出力電圧
の温度特性を任意に調整できるものである。そこで、こ
の第２の定電圧源１３をＣＲ発振回路の電源回路に用い
ることにより、ＣＲ発振回路の発振周波数の温度特性の
補償を確実に行うことができる。以下、ＣＲ発振回路の
電源回路に、第２の定電圧源１３を用いた場合について
説明する。
ては所定の基準電圧を出力するとともに、その出力電圧
の温度特性を任意に調整できるものである。そこで、こ
の第２の定電圧源１３をＣＲ発振回路の電源回路に用い
ることにより、ＣＲ発振回路の発振周波数の温度特性の
補償を確実に行うことができる。以下、ＣＲ発振回路の
電源回路に、第２の定電圧源１３を用いた場合について
説明する。
第４図は公知のＣＲ発振回路であり、インバータ８０４
，８０５，８０６、抵抗８０７，８０８、コンデンサ８
０９とから構成され、抵抗８０８とコンデンサ８０９と
の時定数により発振周波数が決まってくる。なお、８０
１は第２の定電圧源に接続される電源端子、８０２はア
ース端子、８０３は出力端子である。
，８０５，８０６、抵抗８０７，８０８、コンデンサ８
０９とから構成され、抵抗８０８とコンデンサ８０９と
の時定数により発振周波数が決まってくる。なお、８０
１は第２の定電圧源に接続される電源端子、８０２はア
ース端子、８０３は出力端子である。
上記のように構成されたＣＲ発振回路において、各イン
バータ８０４，８０５，８０６を構成するトランジスタ
のスイッチング時間、抵抗１０４、コンデンサ１０５な
どの温度特性により、発振周波数に温度依存性のあるこ
とは良く知られている。
バータ８０４，８０５，８０６を構成するトランジスタ
のスイッチング時間、抵抗１０４、コンデンサ１０５な
どの温度特性により、発振周波数に温度依存性のあるこ
とは良く知られている。
そこで、抵抗８０８とコンデンサ８０９との時定数を調
整し、発振周波数ｆ、の出力を得ていた場合に、温度が
所定温度ＴＩからΔＴだけ変化し、Ｔ、＋ΔＴとなった
とき、発振周波数ｒ、がΔｆ１だけ変化し、ｆ１＋Δｆ
、になったと仮定する。このとき、ＣＲ発振回路の発振
周波数は電源電圧にも依存するため、端子８０１に接続
された第２の定電圧源１３の出力電圧をＶ、から■２＋
Δ■１に変化させることにより、ＣＲ発振回路の発振周
波数を一定に保つことができる。ここで、第２の定電圧
源１３の出力電圧は、メモリに書き込むデジタル値にか
かわらず、所定温度において一定であり、すなわち発振
周波数も一定となる。従って、ＣＲ発振回路の電源回路
に第２の定電圧源１３を用いることによって、発振周波
数が抵抗８０８とコンデンサ８０９との時定数のみによ
って設定されるとともに、発振周波数の温度特性を確実
に補償することができる。
整し、発振周波数ｆ、の出力を得ていた場合に、温度が
所定温度ＴＩからΔＴだけ変化し、Ｔ、＋ΔＴとなった
とき、発振周波数ｒ、がΔｆ１だけ変化し、ｆ１＋Δｆ
、になったと仮定する。このとき、ＣＲ発振回路の発振
周波数は電源電圧にも依存するため、端子８０１に接続
された第２の定電圧源１３の出力電圧をＶ、から■２＋
Δ■１に変化させることにより、ＣＲ発振回路の発振周
波数を一定に保つことができる。ここで、第２の定電圧
源１３の出力電圧は、メモリに書き込むデジタル値にか
かわらず、所定温度において一定であり、すなわち発振
周波数も一定となる。従って、ＣＲ発振回路の電源回路
に第２の定電圧源１３を用いることによって、発振周波
数が抵抗８０８とコンデンサ８０９との時定数のみによ
って設定されるとともに、発振周波数の温度特性を確実
に補償することができる。
また、温度上昇により発振周波数がｆｌからｆ。
−Δｆｔに変化する場合には、第２の定電圧源の出力電
圧がＶ、から■、−Δ■１に変化させるようにメモリに
記憶させるデジタル値を設定すれば良い。
圧がＶ、から■、−Δ■１に変化させるようにメモリに
記憶させるデジタル値を設定すれば良い。
〔発明の効果］
以上説明したように、本発明によれば、所定温度におい
て基準電圧を出力し、その出力電圧の温度特性を調整可
能な電源回路を構成することができる。そして、この電
源回路をブリッジ型測定器の出力補償回路に用いた場合
には、ブリッジ型測定器出力の温度特性の調整を他の出
力特性に対して全く影響を与えることなしに行うことが
できる。
て基準電圧を出力し、その出力電圧の温度特性を調整可
能な電源回路を構成することができる。そして、この電
源回路をブリッジ型測定器の出力補償回路に用いた場合
には、ブリッジ型測定器出力の温度特性の調整を他の出
力特性に対して全く影響を与えることなしに行うことが
できる。
第１図は本発明の一実施例を示す電気回路図、第２図は
第１図に示す第１の定電圧源の構成を示す構成図、第３
図は第１図に示す第２の定電圧源の構成を示す電気回路
図、第４図はＣＲ発振回路の電源回路に第２の定電圧源
を採用した構成を示す電気回路図である。 １．２，３．４・・・ブリッジ型測定器を構成するため
の検出素子をなす拡散抵抗、１２・・・第２の抵抗、１
３・・・電源回路、１００・・・定電流源をなす定電流
回路、２００・・・電圧・電流変換回路、３００・・・
電源回路と第２の抵抗から構成される温度補償回路、５
００・・・増幅回路、６００・・・出力回路、１３０・
・・電圧源。 代理人弁理士 岡 部 隆 （ばか１名） 第 図
第１図に示す第１の定電圧源の構成を示す構成図、第３
図は第１図に示す第２の定電圧源の構成を示す電気回路
図、第４図はＣＲ発振回路の電源回路に第２の定電圧源
を採用した構成を示す電気回路図である。 １．２，３．４・・・ブリッジ型測定器を構成するため
の検出素子をなす拡散抵抗、１２・・・第２の抵抗、１
３・・・電源回路、１００・・・定電流源をなす定電流
回路、２００・・・電圧・電流変換回路、３００・・・
電源回路と第２の抵抗から構成される温度補償回路、５
００・・・増幅回路、６００・・・出力回路、１３０・
・・電圧源。 代理人弁理士 岡 部 隆 （ばか１名） 第 図
Claims (4)
- （１）所定温度において基準電圧を出力として発生し、
この出力の温度特性を調整可能な電源回路であって、 調整可能な定電圧を発生する電圧源と、 前記電圧源が発生する定電圧を前記所定温度において一
定の増幅率で増幅するとともに、この増幅率が前記所定
温度との温度差に応じて変化する増幅手段と、 前記所定温度において前記基準電圧を出力するとともに
、前記増幅手段によって増幅された定電圧と前記電圧源
が発生する定電圧との差に応じて出力電圧を変化させる
出力手段と を備えることを特徴とする電源回路。 - （２）被測定対象の変化に応じて抵抗値が変化する複数
個の検出素子がブリッジ状に接続されており、かつ、入
力端子と第１、第２の出力端子を有するブリッジ型測定
器と、 このブリッジ型測定器の前記入力端子に定電流を供給す
る定電流源と、 前記測定器の第１の出力端子側の出力を一方の入力とし
、前記測定器の第２の出力端子側の出力を第１の抵抗を
介して他方の入力とする演算増幅器と、 所定の基準電圧を出力として発生し、この出力の温度特
性を調整可能な電源回路と、 前記第１の抵抗と前記演算増幅器とを接続する配線中に
一端が接続され、他端が前記電源回路に接続されている
第２の抵抗と、 前記第１の抵抗と前記演算増幅器とを接続する前記配線
中に一端が接続され、前記演算増幅器の出力に応じ、か
つ前記第２の抵抗を流れる電流によって調整された電流
を発生する電圧電流変換回路と を備えることを特徴とするブリッジ型測定器出力補償回
路。 - （３）前記定電流源は、調整可能な定電圧を発生する電
圧源と、前記電圧源が発生する定電圧に応じて前記ブリ
ッジ型測定器の前記入力端子に供給する定電流を変化さ
せる電流変化手段とから構成され、前記電圧源が発生す
る定電圧を調整することにより前記ブリッジ型測定器の
前記入力端子に供給される定電流を変化させて、前記ブ
リッジ型測定器の感度を調整することを特徴とする請求
項１記載のブリッジ型測定器出力補償回路。 - （４）調整可能な定電圧を発生する電圧源と前記電圧源
の出力を一方の入力とし、前記電圧電流変換回路の出力
を他方の入力とするとともに、前記電圧電流変換回路の
出力が第３の抵抗を介して出力側に接続されている演算
増幅器とから構成され、前記電圧電流変換回路が発生す
る電流に応じた電圧を発生するとともに、前記電圧源が
発生する定電圧を調整することによって、前記第３の抵
抗を流れる電流を調整して出力電圧のオフセット電圧を
調整するオフセット調整回路をさらに備えることを特徴
とする請求項１記載のブリッジ型測定器出力補償回路。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1031728A JP2928526B2 (ja) | 1989-02-10 | 1989-02-10 | 電源回路及び前記回路を備えるブリッジ型測定器出力補償回路 |
| EP90102498A EP0382217B1 (en) | 1989-02-10 | 1990-02-08 | Power source circuit and bridge type measuring device with output compensating circuit utilizing the same |
| EP93109049A EP0566160B1 (en) | 1989-02-10 | 1990-02-08 | Bridge type measuring device with output compensating circuit |
| DE69014927T DE69014927T2 (de) | 1989-02-10 | 1990-02-08 | Speiseschaltung und Brücken-Messanordnung mit einer Ausgangssignalausgleichsschaltung. |
| DE69029205T DE69029205T2 (de) | 1989-02-10 | 1990-02-08 | Messbrücke mit Ausgangskompensationsschaltkreis |
| US07/478,097 US5024101A (en) | 1989-02-10 | 1990-02-09 | Power source circuit and bridge type measuring device with output compensating circuit utilizing the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1031728A JP2928526B2 (ja) | 1989-02-10 | 1989-02-10 | 電源回路及び前記回路を備えるブリッジ型測定器出力補償回路 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02210272A true JPH02210272A (ja) | 1990-08-21 |
| JP2928526B2 JP2928526B2 (ja) | 1999-08-03 |
Family
ID=12339102
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1031728A Expired - Lifetime JP2928526B2 (ja) | 1989-02-10 | 1989-02-10 | 電源回路及び前記回路を備えるブリッジ型測定器出力補償回路 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5024101A (ja) |
| EP (2) | EP0382217B1 (ja) |
| JP (1) | JP2928526B2 (ja) |
| DE (2) | DE69029205T2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010156621A (ja) * | 2008-12-27 | 2010-07-15 | New Japan Radio Co Ltd | センサ用半導体装置 |
| CN102809682A (zh) * | 2011-06-03 | 2012-12-05 | 新科实业有限公司 | 电流感应电路、印刷电路板组件以及电流传感器装置 |
| JP2020193970A (ja) * | 2019-05-29 | 2020-12-03 | シリコン マイクロストラクチャーズ， インコーポレイテッドＳｉｌｉｃｏｎ Ｍｉｃｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓ， Ｉｎｃ． | 電圧ゼロ化圧力センサプリアンプ |
| WO2022209720A1 (ja) * | 2021-03-31 | 2022-10-06 | 株式会社村田製作所 | センサー出力補償回路 |
Families Citing this family (19)
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|---|---|---|---|---|
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| US5343755A (en) * | 1993-05-05 | 1994-09-06 | Rosemount Inc. | Strain gage sensor with integral temperature signal |
| DE59510114D1 (de) * | 1995-02-17 | 2002-04-25 | Siemens Metering Ag Zug | Anordnung zur Temperaturkompensation |
| US5833365A (en) * | 1995-03-24 | 1998-11-10 | Interuniversitair Micro-Electronika Centrum Vzw | Method for local temperature sensing for use in performing high resolution in-situ parameter measurements |
| EP0733909B1 (en) * | 1995-03-24 | 2004-11-17 | Interuniversitair Micro Elektronica Centrum Vzw | Method and apparatus for local temperature sensing for use in performing high resolution in-situ measurement |
| EP0782002B1 (de) * | 1995-12-27 | 2003-12-10 | Hamilton Sundstrand Corporation | Verfahren und Vorrichtung zum potentialfreien Erfassen eines Stromes |
| FR2764714A1 (fr) * | 1997-06-17 | 1998-12-18 | Philips Electronics Nv | Convertisseur analogique/numerique |
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| US6646953B1 (en) * | 2000-07-06 | 2003-11-11 | Rambus Inc. | Single-clock, strobeless signaling system |
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