JP7456399B2 - シート搬送装置 - Google Patents

Description

本発明は、シートの搬送装置に関する。

シートを吸着した状態で搬送するシート搬送装置が知られている。

そのようなシート搬送装置の１つとして、特許文献１には、シートの周縁部に沿って、その上面に密着する枠部と、枠部の内側を上方から覆い、シートの上面にクリアランスを介して対向し、枠部とともにシートの上面側に気密性を備えた空間を形成する平板部と、平板部の中央に接続された排気筒と、排気筒の上に接続されたファンと、排気筒の内外を結ぶ通気経路とを備えた装置が開示されている。この装置では、ファンを用いて空間内を排気するとともに、通気経路を介して外部の空気をファンに導入することによって、空間内の圧力を低下させて、シートを吸着するように構成されている。

特開２００２－１１６８２号公報

しかしながら、特許文献１に記載の装置では、空間内の圧力の低下によってシートを吸着するため、シートがたわみ、シートが平板部と接触してしまう懸念がある。このため、シートに歪みが生じたり、シートに印刷が施されている場合には印刷物の滲みが発生し、シートを安定的に搬送することが難しくなる。

本発明は、上記課題を解決するものであり、シートとの不要な接触を抑制しつつ、シートを安定的に搬送することが可能なシート搬送装置を提供することを目的とする。

本発明のシート搬送装置は、シートを吸引して保持し、搬送するシート搬送装置であって、
給気孔及び排気孔を有する主面と、凹部状になるように前記主面上に形成され、前記主面側の面で開口する吸引孔を有する枠部とを有する搬送体と、
前記給気孔と接続され、前記給気孔へ気体を供給可能な給気装置と、
前記吸引孔と接続され、前記吸引孔から気体を吸引可能な吸引装置と、
を備えることを特徴とする。

本発明のシート搬送装置によれば、枠部の吸引孔が開口する面にシートを密接させつつ、吸引装置を稼働させることにより、吸引孔を通じた吸引力によって、シートが枠部に吸着される。この際、給気装置を稼働させれば、給気孔から放出される気体の圧力により、シートが主面に接触することを抑制することができる。また、給気装置によって給気孔を通じて供給された気体は、排気孔から凹部の外部側へ排出されるため、主面、枠部及びシートによって形成される凹部空間の内圧が過剰に高まることを抑制することができる。したがって、安定的にシートを搬送することができる。

本発明の一実施形態におけるシート搬送装置の構成を模式的に示す斜視図である。 主面と直交する方向に見たときの搬送体の平面図である。 図１に示すシート搬送装置をＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿って切断したときの構造を模式的に示す断面図である。 図１に示すシート搬送装置をＩＶ－ＩＶ線に沿って切断したときの構造を模式的に示す断面図である。 一実施形態におけるシート搬送装置によるシートの搬送方法を説明するための図である。 一実施形態におけるシート搬送装置によるシートの搬送方法を説明するための図であって、図５に示す状態の次の工程を説明するための図である。 一実施形態におけるシート搬送装置によるシートの搬送方法を説明するための図であって、図６に示す状態の次の工程を説明するための図である。 一実施形態におけるシート搬送装置によるシートの搬送方法を説明するための図であって、図７に示す状態の次の工程を説明するための図である。 一実施形態におけるシート搬送装置によるシートの搬送方法を説明するための図であって、図８に示す状態の次の工程を説明するための図である。 一実施形態におけるシート搬送装置によるシートの搬送方法を説明するための図であって、図９に示す状態の次の工程を説明するための図である。 （ａ）は、主面と直交する方向に見たときの形状が長方形である搬送体を模式的に示す平面図であり、（ｂ）は、円形である搬送体を模式的に示す平面図である。

以下に本発明の実施形態を示して、本発明の特徴を具体的に説明する。

図１は、本発明の一実施形態におけるシート搬送装置１００の構成を模式的に示す斜視図である。図２は、主面１２と直交する方向に見たときの搬送体１０の平面図である。図３は、図１に示すシート搬送装置１００をＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿って切断したときの構造を模式的に示す断面図である。図４は、図１に示すシート搬送装置１００をＩＶ－ＩＶ線に沿って切断したときの構造を模式的に示す断面図である。

なお、図１では、後述する給気装置２０、吸引装置３０および制御装置４０は省略している。また、図３および図４では、説明のため、搬送対象のシート１も示している。

シート搬送装置１００によって搬送されるシート１は、１枚でもよいし、複数枚でもよい。搬送対象のシート１が複数枚の場合、それぞれのシート１の種類は同じでもよいし、異なっていてもよい。

ここでは、シート１が、種類の異なる第１のシート１ａと第２のシート１ｂの２枚のシートであるものとして説明する。すなわち、シート搬送装置１００は、第１のシート１ａと第２のシート１ｂとを重ねた状態で吸引保持して搬送する。搬送時に、第１のシート１ａは、後述する搬送体１０側に位置し、第２のシート１ｂは、第１のシート１ａに対して、搬送体１０とは反対側に位置する。

第１のシート１ａは、例えば、セラミックグリーンシートである。ただし、第１のシート１ａがセラミックグリーンシートに限定されることはなく、任意の樹脂フィルムなどでもよい。第１のシート１ａは、例えば、一辺が１００ｍｍ以上１０００ｍｍ以下、一例として、一辺が２００ｍｍの正方形の形状を有する。ただし、第１のシート１ａの形状が正方形に限定されることはなく、長方形や長尺状等の形状であってもよい。第１のシート１ａの厚みは、例えば、１０μｍ以上５００μｍ以下であり、一例として、１００μｍである。

第１のシート１ａには、配線や電極等が形成されていてもよい。その場合、配線や電極は、後述する搬送体１０の枠部１１と接する場所以外の場所に配置されていることが好ましい。言い換えると、後述する枠部１１は、第１のシート１ａのうち、配線や電極等が形成されていない位置に接するように構成するとよい。この構成により、枠部１１が配線や電極等に接することで、配線や電極等が破損したり汚染されたりすることを抑制できる。ただし、導電性ペーストの印刷等によって、薄い配線や電極を形成する場合には、搬送体１０の枠部１１と接する場所に配置されていてもよい。

第２のシート１ｂは、例えば、ＰＥＴフィルムである。ただし、第２のシート１ｂがＰＥＴフィルムに限定されることはなく、任意の樹脂フィルムや紙などでもよい。第２のシート１ｂは、第１のシート１ａよりも大きい。一例として、第１のシート１ａが一辺２００ｍｍの正方形の形状を有する場合、第２のシート１ｂは、一辺２２０ｍｍの正方形の形状を有する。ただし、第２のシート１ｂの形状が正方形に限定されることはなく、長方形や長尺状等の形状であってもよい。また、第２のシート１ｂの形状は、第１のシート１ａの形状と異なっていてもよい。第２のシート１ｂの厚みは、例えば、１０μｍ以上５００μｍ以下であり、一例として、５０μｍである。

なお、第２のシート１ｂの形状および寸法は、第１のシート１ａの形状および寸法と同一であってもよい。その場合、第１のシート１ａには、第１のシート１ａを介して第２のシート１ｂを吸引するための孔が設けられていることが好ましい。

また、第２のシート１ｂの、第１のシート１ａとは反対側に、任意の材料からなる第３のシートを配置するようにしてもよい。

一実施形態におけるシート搬送装置１００は、搬送体１０と、給気装置２０と、吸引装置３０とを備える。

搬送体１０は、シート１を吸着して保持し、搬送するためのものであり、図１～図４に示すように、給気孔１４及び排気孔１５を有する主面１２と、凹部状になるように主面１２上に形成され、主面１２側の面１１ａで開口する吸引孔１３を有する枠部１１とを有する。シート１の搬送時、シート１は、搬送体１０の枠部１１に当接するが、主面１２とは離間している。主面１２とは、シート１の搬送時に、シート１と対向する面である。なお、シート１の搬送時に、搬送体１０を駆動するための機構は、図では省略している。

本実施形態では、主面１２と直交する方向に見たときに、図２に示すように、枠部１１の外側および内側の形状はともに正方形である。図２に示す枠部１１の幅Ｗ１は、例えば、０ｍｍより大きく５０ｍｍ以下であり、一例として、１０ｍｍである。また、シート１の搬送時、枠部１１より大きい第２のシート１ｂの外周と、枠部１１の外周との間の距離は、例えば、０ｍｍより大きく５０ｍｍ以下であり、一例として５ｍｍである。

搬送体１０の枠部１１のうち、シート１と接する面１１ａは平面であるが、曲面であってもよいし、テーパーが設けられていてもよい。

上述したように、主面１２側における枠部１１の面１１ａには、吸引孔１３が設けられている。本実施形態において、主面１２と直交する方向に見たときの吸引孔１３の形状は、円形である。吸引孔１３の形状が円形であることにより、シート１の吸引時に、吸引孔１３の周辺に対して均一に吸引することができ、吸引孔１３へのシート１の吸い込みを抑制することができる。吸引孔１３の径は、例えば、０．５ｍｍ以上１０ｍｍ以下であり、一例として、２ｍｍである。

ただし、吸引孔１３の形状が円形に限定されることはなく、正方形や長方形等の形状であってもよい。また、吸引孔１３は、溝状の形状を有し、枠部１１の形状に応じて周回するように形成されていてもよい。

図１～図４に示すように、本実施形態において、吸引孔１３には、第１の吸引孔１３ａと、第１の吸引孔１３ａより外側に位置する第２の吸引孔１３ｂとが含まれる。第１の吸引孔１３ａは、第１のシート１ａを吸引するためのものであり、第２の吸引孔１３ｂは、第１のシート１ａよりも大きい第２のシート１ｂを吸引するためのものである。すなわち、吸引孔１３に、第１の吸引孔１３ａと、第１の吸引孔１３ａより外側に位置する第２の吸引孔１３ｂとが含まれることにより、第１のシート１ａを第１の吸引孔１３ａを介して、第２のシート１ｂを第２の吸引孔１３ｂを介して、確実に吸引保持することができる。

第１の吸引孔１３ａと第２の吸引孔１３ｂの形状は、同じでもよいし、異なっていてもよい。また、第１の吸引孔１３ａと第２の吸引孔１３ｂの寸法は、同じでもよいし、異なっていてもよい。

本実施形態では、図２に示すように、第１の吸引孔１３ａおよび第２の吸引孔１３ｂはそれぞれ、枠部１１の形状に応じて周回するように、複数配置されている。すなわち、枠部１１の内側には、第１の吸引孔１３ａが周回状に複数配置されており、枠部１１の外側には、第２の吸引孔１３ｂが周回状に複数配置されている。

本実施形態において、複数の第１の吸引孔１３ａおよび第２の吸引孔１３ｂはそれぞれ、線対称かつ点対称に配置されている。したがって、複数の吸引孔１３は、図２に示すように、線対称かつ点対称に配置されている。複数の吸引孔１３が線対称かつ点対称に配置されていることにより、シート１を均一に吸引することができ、シート１を安定的に吸引保持して搬送することができる。

本実施形態において、隣接する第１の吸引孔１３ａの間隔および隣接する第２の吸引孔１３ｂの間隔はそれぞれ一定である。隣接する第１の吸引孔１３ａとは、複数配置されている第１の吸引孔１３ａのうち、距離が最も近い位置で並ぶ２つの第１の吸引孔１３ａを意味する。隣接する第２の吸引孔１３ｂについても同様である。隣接する第１の吸引孔１３ａの間隔および隣接する第２の吸引孔１３ｂの間隔が一定であることにより、シート１を均一に吸引することができ、シート１を安定的に吸引保持して搬送することができる。

ここで、隣接する第１の吸引孔１３ａの間隔とは、第１の吸引孔１３ａの外周から、隣の第１の吸引孔１３ａの外周までの最短の距離であって、例えば、第１の吸引孔１３ａの直径の１倍以上１０倍以下であり、一例として、第１の吸引孔１３ａの直径の５倍である。同様に、隣接する第２の吸引孔１３ｂの間隔とは、第２の吸引孔１３ｂの外周から、隣の第２の吸引孔１３ｂの外周までの最短の距離であって、例えば、第２の吸引孔１３ｂの直径の１倍以上１０倍以下であり、一例として、第２の吸引孔１３ｂの直径の５倍である。

上述したように、シート１の搬送時に、搬送体１０の主面１２は、シート１とは離間しており、主面１２と枠部１１によって、凹部１６が構成されている。シート１の搬送時にシート１と主面１２との間の距離となる凹部１６の深さは、例えば、１ｍｍ以上５０ｍｍ以下であり、一例として、１０ｍｍである。

本実施形態において、シート１と対向する方向に見たときの主面１２の形状は、正方形である。ただし、主面１２の形状が正方形に限定されることはない。また、主面１２は、平面であるが、凹凸や溝、壁等が存在していてもよい。

主面１２と直交する方向に見たときに、主面１２に設けられている給気孔１４の形状は、円形、正方形、長方形等の形状であってもよいし、溝状の形状であってもよい。本実施形態において、給気孔１４は、図２に示すように、円形の形状を有し、複数配置されている。給気孔１４の径は、例えば、０．５ｍｍ以上１０ｍｍ以下であり、一例として２ｍｍである。給気孔１４の数は、例えば、１個以上１０００個以下であり、一例として、１２個である。

本実施形態において、複数の給気孔１４は、図２に示すように、線対称かつ点対称に配置されている。複数の給気孔１４が線対称かつ点対称に配置されていることにより、複数の給気孔１４からシート１に向かって気体が排出されたときに、気体が直接当たる第１のシート１ａに加わる圧力を均一化させるようにすることができる。これにより、シート１を安定的に保持して搬送することができる。

主面１２と直交する方向に見たときに、主面１２に設けられている排気孔１５の形状は、円形、正方形、長方形等の形状であってもよいし、溝状の形状であってもよい。本実施形態において、排気孔１５は、図２に示すように、円形の形状を有し、複数配置されている。排気孔１５の径は、例えば、０．５ｍｍ以上１０ｍｍ以下であり、一例として２ｍｍである。また、排気孔１５の長さは、例えば、１ｍｍ以上１００ｍｍ以下である。排気孔１５の数は、例えば、１個以上１０００個以下であり、一例として、４個である。

全ての排気孔１５は、大気に開放されている。全ての排気孔１５が大気に開放されていることにより、給気装置２０によって給気孔１４からシート１に向かって気体が供給されて、シート１に加わる圧力の調節が容易となる。なお、ここでいう大気は、シート搬送装置１００の置かれた環境の雰囲気のことであり、必ずしも屋外と通じる雰囲気のことではない。

本実施形態において、複数の排気孔１５は、図２に示すように、線対称かつ点対称に配置されている。複数の排気孔１５が線対称かつ点対称に配置されていることにより、複数の給気孔１４から給気された気体が複数の排気孔１５から排出される過程で、搬送体１０側に位置する第１のシート１ａに加わる圧力を均一化させるようにすることができる。これにより、シート１を安定的に保持して搬送することができる。

なお、図２に示す例では、給気孔１４に対して排気孔１５が外側に配置されているが、排気孔１５に対して給気孔１４が外側に配置されていてもよい。また、内側と外側の区別なく、給気孔１４と排気孔１５が混在する形で配置されていてもよい。

上述したように、給気孔１４および排気孔１５は、それぞれ複数設けられているので、給気孔１４からシート１に向かって給気し、排気孔１５から排気する過程で、搬送体１０側に位置する第１のシート１ａに加わる圧力を均一化させるようにすることができる。これにより、シート１を安定的に保持して搬送することができる。

上述したように、本実施形態では、全ての吸引孔１３は、枠部１１に設けられており、全ての給気孔１４および全ての排気孔１５は、枠部１１の内側に位置する主面１２に設けられている。したがって、全ての給気孔１４および全ての排気孔１５は、全ての吸引孔１３の内側に位置する。そのような構成により、後述するように、シート１の中央側に静圧を印加し、その外側でシート１を吸引することができ、安定的にシート１を吸引保持した状態で搬送することができる。

主面１２と直交する方向に見たときの給気孔１４の断面積の合計値は、排気孔１５の断面積の合計値よりも大きい。全ての給気孔１４の断面積の合計値が全ての排気孔１５の断面積の合計値よりも大きいことにより、給気孔１４を介して供給される気体の圧力を、排気孔１５を介して排出される気体の圧力の絶対値よりも大きくすることができるので、後述するように、シート１の搬送時に、シート１に静圧を印加した状態で、シート１を吸引することができる。

給気装置２０は、給気孔１４と接続され、給気孔１４へ気体を供給可能に構成されている。給気装置２０は、例えば、加圧ポンプを含むか、あるいはシート搬送装置１００の外部にある加圧気体供給機構に接続されている。給気装置２０は、必要に応じて、バルブ等の流体回路要素を含んでいてもよい。給気装置２０から供給される気体は、例えば、空気である。給気装置２０から供給する気体の流量は、例えば、１Ｌ／分以上１００Ｌ／分以下であり、一例として、３０Ｌ／分である。

吸引装置３０は、吸引孔１３と接続され、吸引孔１３から気体を吸引可能に構成されている。吸引装置３０は、例えば、減圧ポンプを含むか、あるいはシート搬送装置１００の外部にある減圧機構に接続されている。吸引装置３０は、必要に応じて、バルブ等の流体回路要素を含んでいてもよい。吸引時の圧力は、例えば、－６０ｋＰａ以上－１０ｋＰａ以下であり、一例として、－５０ｋＰａである。

本実施形態におけるシート搬送装置１００は、給気装置２０および吸引装置３０を制御するための制御装置４０をさらに備えている。制御装置４０は、給気装置２０によって供給される気体がシート１に及ぼす力が、大気圧がシート１に及ぼす力よりも大きく、かつ、吸引圧と吸引孔１３の面積によるシート１を保持する力が給気圧と排気から凹部１６にたまる静圧によってシート１を押す力よりも大きくなるように、給気装置２０と吸引装置３０をそれぞれ制御する。そのような制御により、シート１を安定的に吸引保持して搬送することができる。なお、ここでいう大気圧は、シート搬送装置１００の置かれた環境の雰囲気の気圧のことであり、必ずしも屋外と通じる雰囲気の気圧のことではない。

例えば、制御装置４０は、給気装置２０によって供給される気体の圧力が大気圧よりも高く、かつ、吸引装置３０による吸引圧の絶対値が給気装置２０によって供給される気体の圧力よりも高くなるように、給気装置２０と吸引装置３０をそれぞれ制御する。そのような制御により、シート１を安定的に吸引保持して搬送することができる。

また、吸引孔１３の断面積が給気孔１４の断面積よりも十分に大きい場合、制御装置４０は、給気装置２０によって供給される気体の圧力が大気圧よりも高く、かつ、給気装置２０によって供給される気体の圧力が吸引装置３０による吸引圧の絶対値よりも高くなるように、給気装置２０と吸引装置３０をそれぞれ制御することもできる。吸引孔１３の断面積を給気孔１４の断面積よりも十分に大きくすることで、吸引圧と吸引孔１３の面積によるシート１を保持する力が、給気圧と排気から凹部１６にたまる静圧によってシート１を押す力よりも大きくすることができる。このような構成とすることで、吸引孔１３を密に設置することができ、シート１のバタつきをより抑制した状態でより安定的に吸引保持して搬送することができる。

以下で、本実施形態におけるシート搬送装置１００によるシート１の搬送方法について、図５～図１０を参照しながら説明する。図５～図１０における（ａ）は、図３と同じ位置で切断したときのシート搬送装置１００の断面図であり、（ｂ）は、図４と同じ位置で切断したときのシート搬送装置１００の断面図である。ただし、図５～図１０において、制御装置４０は省略している。

シート１を吸着保持する際、搬送体１０は、第１のシート１ａを吸着保持した後、第２のシート１ｂを吸着保持するようにしてもよいし、予め重ねられている第１のシート１ａと第２のシート１ｂを同時に吸着保持するようにしてもよい。ここでは、予め重ねられている第１のシート１ａと第２のシート１ｂを搬送体１０によって同時に吸着保持するものとして説明する。

はじめに、給気装置２０によって供給される気体を給気孔１４から凹部１６に向かって排出しながら、搬送体１０は、受取台５１に置かれているシート１に近づく（図５（ａ））。上述したように、受取台５１には、第１のシート１ａが上側、第２のシート１ｂが下側（受取台５１側）となるように、第１のシート１ａと第２のシート１ｂが重ねて置かれている。搬送体１０は、給気孔１４から気体を排出しながら、重ねられている第１のシート１ａおよび第２のシート１ｂに近づくことにより、第１のシート１ａおよび第２のシート１ｂにしわが生じることを抑制することができる。このとき、吸引装置３０による吸引は行われない（図５（ｂ））。

搬送体１０の枠部１１が第１のシート１ａおよび第２のシート１ｂと当接した後も、給気装置２０による給気孔１４からの給気は継続する。凹部１６内の気体の一部は、排気孔１５から排出される（図６（ａ））。

なお、搬送体１０がシート１に近づく際、枠部１１に設けられている第１の吸引孔１３ａが第１のシート１ａと対向し、第２の吸引孔１３ｂが第２のシート１ｂと対向するように、位置関係を調整する。

続いて、給気装置２０による給気孔１４からの給気は継続した状態で（図７（ａ））、吸引装置３０による吸引を開始する（図７（ｂ））。これにより、吸引孔１３を介して、第１のシート１ａおよび第２のシート１ｂが搬送体１０に吸着保持される。具体的には、第１の吸引孔１３ａを介して、第１のシート１ａが吸着保持され、第２の吸引孔１３ｂを介して、第２のシート１ｂが吸着保持される。

吸引装置３０による吸引が行われることにより、枠部１１にシート１が密着し、凹部１６内には、給気孔１４からの給気と排気孔１５からの排気に応じて、所定の大きさの静圧が加わる。これにより、シート１と主面１２との接触を抑制することができる。凹部１６内の静圧の大きさは、例えば、０．０１ＭＰａ以上０．２ＭＰａ以下であって、一例として、０．０２ＭＰａである。模式的な図である図７では、第２のシート１ｂが枠部１１から離間した状態を示しているが、第１のシート１ａは薄いため、実際には、第２のシート１ｂは、枠部１１と当接している。また、凹部１６内には、所定の大きさの静圧が加わった状態であるため、第１のシート１ａと第２のシート１ｂが密着した状態を保ったまま搬送することができる。このため、搬送時に、第１のシート１ａと第２のシート１ｂの位置ずれを防止することができる。

なお、搬送体１０の枠部１１がシート１に近づいて当接したときに、シート１が枠部１１と受取台５１との間に挟まれて、凹部１６内に密閉空間が形成される場合には、吸引装置３０による吸引の開始前に、凹部１６内に静圧が加わるようになる。

続いて、搬送体１０は上昇し、吸着保持しているシート１（第１のシート１ａおよび第２のシート１ｂ）の搬送を開始する。シート１の搬送中、給気装置２０による給気孔１４からの給気と排気孔１５からの排気（図８（ａ））、および、吸引装置３０による吸引孔１３を介した吸引（図８（ｂ））は継続する。給気孔１４からの給気と排気孔１５からの排気を行いながら、吸引孔１３を介した吸引を行うことにより、シート１が主面１２と接触することを抑制しつつ、シート１を安定的に吸着保持することができる。

また、シート１が搬送体１０の主面１２と接触することを抑制することができるので、シート１に導電性ペースト等が塗工されている場合に、ペーストが搬送体１０に付着することを抑制することができる。ペーストが搬送体１０に付着すると、別のシート１を搬送する際に、そのシート１にペーストが転写されて、不良品が発生する可能性があるが、本実施形態におけるシート搬送装置１００によれば、不良品の発生を抑制することができる。

また、給気孔１４からの給気を行いながら、吸引孔１３を介した吸引を行うことにより、シート１が搬送体１０と接していない部分に静圧を印加し続けることができるので、シート１の搬送時に、シート１のバタつきを抑制して、シート１にしわや折れ曲がりが生じることを抑制することができる。シート１のバタつきを抑制することにより、例えば、複数枚のシート１の搬送時に、一部のシート１が剥がれることを抑制することができる。

搬送体１０は、搬送先である受渡台５２の位置までシート１を搬送すると、吸引装置３０による吸引を停止する（図９（ｂ））。これにより、シート１の吸着が解除される。シート１を受渡台５２に置いた状態でも、給気装置２０による給気孔１４からの給気は継続することにより（図９（ａ））、シート１にしわや折れ曲がりが生じることを抑制する。

続いて、給気装置２０による給気孔１４からの給気を行いながら、搬送体１０は、上昇する（図１０（ａ））。給気孔１４からの給気を行いながら搬送体１０が上昇することにより、搬送体１０がシート１から離れるときに、シート１にしわや折れ曲がりが生じることを抑制することができる。搬送体１０がシート１から離れることによって、排気孔１５からの排気は行われなくなる。この後、搬送体１０がシート１から完全に離れると、給気装置２０による気体の供給を停止する。

本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能である。例えば、本実施形態におけるシート搬送装置１００を、シート１に印刷を行う印刷装置や、シート１を加工する加工装置の一部として構成するようにしてもよい。

上述したように、主面１２と直交する方向に見たときの搬送体１０の形状が正方形に限定されることはなく、図１１（ａ）に示すように、長方形でもよいし、図１１（ｂ）に示すように、円形でもよい。

排気孔１５は、大気に開放されているものとして説明したが、大気に開放されておらず、凹部１６の外側に向けて排気を回収するような機構を排気孔１５に搭載してもよい。

１ シート
１ａ 第１のシート
１ｂ 第２のシート
１０ 搬送体
１１ 枠部
１１ａ 主面側における枠部の面
１２ 主面
１３ 吸引孔
１３ａ 第１の吸引孔
１３ｂ 第２の吸引孔
１４ 給気孔
１５ 排気孔
１６ 凹部
２０ 給気装置
３０ 吸引装置
４０ 制御装置
５１ 受取台
５２ 受渡台
１００ シート搬送装置

Claims (12)

1. シートを吸引して保持し、搬送するシート搬送装置であって、
   給気孔及び排気孔を有し、下側を向いている主面と、凹部状になるように前記主面上に形成され、前記主面側の面で開口する吸引孔を有する枠部とを有する搬送体と、
   前記給気孔と接続され、前記給気孔へ気体を供給可能な給気装置と、
   前記吸引孔と接続され、前記吸引孔から気体を吸引可能な吸引装置と、
   を備えることを特徴とするシート搬送装置。
2. 前記給気孔および前記排気孔はそれぞれ複数設けられており、それらの全てが前記吸引孔の内側に位置することを特徴とする請求項１に記載のシート搬送装置。
3. 前記吸引孔には、第１の吸引孔と、前記第１の吸引孔より外側に位置する第２の吸引孔とが含まれることを特徴とする請求項１に記載のシート搬送装置。
4. 前記給気装置と前記吸引装置をそれぞれ制御する制御装置をさらに備えることを特徴とする請求項１～３のいずれか一項に記載のシート搬送装置。
5. 前記排気孔は、大気に開放されていることを特徴とする請求項１～４のいずれか一項に記載のシート搬送装置。
6. 前記主面と直交する方向に見たときの前記給気孔の断面積の合計値は、前記排気孔の断面積の合計値よりも大きいことを特徴とする請求項１～５のいずれか一項に記載のシート搬送装置。
7. 前記主面と直交する方向に見たときの前記吸引孔の形状は円形であることを特徴とする請求項１～６のいずれか一項に記載のシート搬送装置。
8. 前記吸引孔は、複数設けられており、
   隣接する前記吸引孔の間隔は一定であることを特徴とする請求項１～７のいずれか一項に記載のシート搬送装置。
9. 前記給気孔および前記排気孔は、それぞれ複数設けられていることを特徴とする請求項１に記載のシート搬送装置。
10. 前記吸引孔は、複数設けられており、
    複数の前記吸引孔は、線対称かつ点対称に配置されていることを特徴とする請求項１～９のいずれか一項に記載のシート搬送装置。
11. 前記排気孔は、複数設けられており、
    複数の前記排気孔は、線対称かつ点対称に配置されていることを特徴とする請求項１～１０のいずれか一項に記載のシート搬送装置。
12. 前記給気孔は、複数設けられており、
    複数の前記給気孔は、線対称かつ点対称に配置されていることを特徴とする請求項１～１１のいずれか一項に記載のシート搬送装置。

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