JP7456399B2

JP7456399B2 - Sheet conveying device

Info

Publication number: JP7456399B2
Application number: JP2021020478A
Authority: JP
Inventors: 直貴竹村; 義仁佐藤; 隆司亀井
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2021-02-12
Filing date: 2021-02-12
Publication date: 2024-03-27
Anticipated expiration: 2041-02-12
Also published as: CN114920042B; JP2022123271A; CN114920042A

Description

本発明は、シートの搬送装置に関する。 The present invention relates to a sheet conveying device.

シートを吸着した状態で搬送するシート搬送装置が知られている。 2. Description of the Related Art A sheet conveying device is known that conveys a sheet while adsorbing it.

そのようなシート搬送装置の１つとして、特許文献１には、シートの周縁部に沿って、その上面に密着する枠部と、枠部の内側を上方から覆い、シートの上面にクリアランスを介して対向し、枠部とともにシートの上面側に気密性を備えた空間を形成する平板部と、平板部の中央に接続された排気筒と、排気筒の上に接続されたファンと、排気筒の内外を結ぶ通気経路とを備えた装置が開示されている。この装置では、ファンを用いて空間内を排気するとともに、通気経路を介して外部の空気をファンに導入することによって、空間内の圧力を低下させて、シートを吸着するように構成されている。 As one such sheet conveying device, Patent Document 1 discloses a device that includes a frame that fits tightly against the top surface of the sheet along its periphery, a flat plate that covers the inside of the frame from above and faces the top surface of the sheet with a clearance between them, and that together with the frame forms an airtight space on the top side of the sheet, an exhaust pipe connected to the center of the flat plate, a fan connected to the top of the exhaust pipe, and an air passage connecting the inside and outside of the exhaust pipe. This device is configured to use the fan to exhaust air from within the space, and to introduce outside air into the fan via the air passage to reduce the pressure within the space and adsorb the sheet.

特開２００２－１１６８２号公報Japanese Patent Application Publication No. 2002-11682

しかしながら、特許文献１に記載の装置では、空間内の圧力の低下によってシートを吸着するため、シートがたわみ、シートが平板部と接触してしまう懸念がある。このため、シートに歪みが生じたり、シートに印刷が施されている場合には印刷物の滲みが発生し、シートを安定的に搬送することが難しくなる。 However, in the device described in Patent Document 1, since the sheet is attracted by a decrease in the pressure in the space, there is a concern that the sheet may be bent and come into contact with the flat plate portion. For this reason, the sheet may be distorted, or if the sheet is printed, the printed matter may bleed, making it difficult to transport the sheet stably.

本発明は、上記課題を解決するものであり、シートとの不要な接触を抑制しつつ、シートを安定的に搬送することが可能なシート搬送装置を提供することを目的とする。 The present invention aims to solve the above problems and provide a sheet conveying device that can stably convey a sheet while suppressing unnecessary contact with the sheet.

本発明のシート搬送装置は、シートを吸引して保持し、搬送するシート搬送装置であって、
給気孔及び排気孔を有する主面と、凹部状になるように前記主面上に形成され、前記主面側の面で開口する吸引孔を有する枠部とを有する搬送体と、
前記給気孔と接続され、前記給気孔へ気体を供給可能な給気装置と、
前記吸引孔と接続され、前記吸引孔から気体を吸引可能な吸引装置と、
を備えることを特徴とする。 The sheet conveyance device of the present invention is a sheet conveyance device that suctions, holds, and conveys a sheet, and comprises:
A conveying body having a main surface having an air supply hole and an exhaust hole, and a frame portion having a suction hole formed on the main surface in a concave shape and opening on the main surface side;
an air supply device connected to the air supply hole and capable of supplying gas to the air supply hole;
a suction device connected to the suction hole and capable of suctioning gas from the suction hole;
It is characterized by having the following.

本発明のシート搬送装置によれば、枠部の吸引孔が開口する面にシートを密接させつつ、吸引装置を稼働させることにより、吸引孔を通じた吸引力によって、シートが枠部に吸着される。この際、給気装置を稼働させれば、給気孔から放出される気体の圧力により、シートが主面に接触することを抑制することができる。また、給気装置によって給気孔を通じて供給された気体は、排気孔から凹部の外部側へ排出されるため、主面、枠部及びシートによって形成される凹部空間の内圧が過剰に高まることを抑制することができる。したがって、安定的にシートを搬送することができる。 According to the sheet conveying device of the present invention, by operating the suction device while bringing the sheet into close contact with the surface where the suction holes of the frame are open, the sheet is attracted to the frame by the suction force through the suction holes. . At this time, if the air supply device is operated, the pressure of the gas released from the air supply hole can prevent the sheet from coming into contact with the main surface. In addition, the gas supplied by the air supply device through the air supply hole is discharged from the exhaust hole to the outside of the recess, which prevents the internal pressure in the recess space formed by the main surface, frame, and sheet from increasing excessively. can do. Therefore, the sheet can be stably conveyed.

本発明の一実施形態におけるシート搬送装置の構成を模式的に示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view schematically showing the configuration of a sheet conveying device in an embodiment of the present invention. 主面と直交する方向に見たときの搬送体の平面図である。FIG. 3 is a plan view of the carrier when viewed in a direction perpendicular to the main surface. 図１に示すシート搬送装置をＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿って切断したときの構造を模式的に示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view schematically showing the structure of the sheet conveying device shown in FIG. 1 taken along line III-III. 図１に示すシート搬送装置をＩＶ－ＩＶ線に沿って切断したときの構造を模式的に示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view schematically showing the structure of the sheet conveying device shown in FIG. 1 taken along line IV-IV. 一実施形態におけるシート搬送装置によるシートの搬送方法を説明するための図である。FIG. 3 is a diagram for explaining a sheet conveying method by a sheet conveying device in one embodiment. 一実施形態におけるシート搬送装置によるシートの搬送方法を説明するための図であって、図５に示す状態の次の工程を説明するための図である。FIG. 6 is a diagram for explaining a sheet conveyance method by the sheet conveyance device in one embodiment, and is a diagram for explaining the next step in the state shown in FIG. 5. FIG. 一実施形態におけるシート搬送装置によるシートの搬送方法を説明するための図であって、図６に示す状態の次の工程を説明するための図である。FIG. 7 is a diagram for explaining a sheet conveying method by a sheet conveying device in one embodiment, and is a diagram for explaining the next step in the state shown in FIG. 6. FIG. 一実施形態におけるシート搬送装置によるシートの搬送方法を説明するための図であって、図７に示す状態の次の工程を説明するための図である。FIG. 8 is a diagram for explaining a sheet conveying method by a sheet conveying device in one embodiment, and is a diagram for explaining the next step in the state shown in FIG. 7. FIG. 一実施形態におけるシート搬送装置によるシートの搬送方法を説明するための図であって、図８に示す状態の次の工程を説明するための図である。FIG. 9 is a diagram for explaining a sheet conveying method by a sheet conveying device in one embodiment, and is a diagram for explaining the next step in the state shown in FIG. 8. FIG. 一実施形態におけるシート搬送装置によるシートの搬送方法を説明するための図であって、図９に示す状態の次の工程を説明するための図である。FIG. 10 is a diagram for explaining a sheet conveying method by a sheet conveying device in one embodiment, and is a diagram for explaining the next step in the state shown in FIG. 9. FIG. （ａ）は、主面と直交する方向に見たときの形状が長方形である搬送体を模式的に示す平面図であり、（ｂ）は、円形である搬送体を模式的に示す平面図である。(a) is a plan view schematically showing a carrier whose shape is rectangular when viewed in a direction perpendicular to the main surface, and (b) is a plan view schematically showing a carrier whose shape is circular. It is.

以下に本発明の実施形態を示して、本発明の特徴を具体的に説明する。 Embodiments of the present invention will be shown below, and features of the present invention will be specifically explained.

図１は、本発明の一実施形態におけるシート搬送装置１００の構成を模式的に示す斜視図である。図２は、主面１２と直交する方向に見たときの搬送体１０の平面図である。図３は、図１に示すシート搬送装置１００をＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿って切断したときの構造を模式的に示す断面図である。図４は、図１に示すシート搬送装置１００をＩＶ－ＩＶ線に沿って切断したときの構造を模式的に示す断面図である。 Figure 1 is a perspective view showing a schematic configuration of a sheet conveying device 100 according to one embodiment of the present invention. Figure 2 is a plan view of the conveying body 10 as viewed in a direction perpendicular to the main surface 12. Figure 3 is a cross-sectional view showing a schematic structure of the sheet conveying device 100 shown in Figure 1 when cut along line III-III. Figure 4 is a cross-sectional view showing a schematic structure of the sheet conveying device 100 shown in Figure 1 when cut along line IV-IV.

なお、図１では、後述する給気装置２０、吸引装置３０および制御装置４０は省略している。また、図３および図４では、説明のため、搬送対象のシート１も示している。 Note that in FIG. 1, an air supply device 20, a suction device 30, and a control device 40, which will be described later, are omitted. Further, in FIGS. 3 and 4, the sheet 1 to be conveyed is also shown for the sake of explanation.

シート搬送装置１００によって搬送されるシート１は、１枚でもよいし、複数枚でもよい。搬送対象のシート１が複数枚の場合、それぞれのシート１の種類は同じでもよいし、異なっていてもよい。 The number of sheets 1 conveyed by the sheet conveying device 100 may be one or more than one. When there are multiple sheets 1 to be conveyed, the types of the sheets 1 may be the same or different.

ここでは、シート１が、種類の異なる第１のシート１ａと第２のシート１ｂの２枚のシートであるものとして説明する。すなわち、シート搬送装置１００は、第１のシート１ａと第２のシート１ｂとを重ねた状態で吸引保持して搬送する。搬送時に、第１のシート１ａは、後述する搬送体１０側に位置し、第２のシート１ｂは、第１のシート１ａに対して、搬送体１０とは反対側に位置する。 Here, the description will be made assuming that the sheet 1 is two sheets of different types, a first sheet 1a and a second sheet 1b. That is, the sheet conveyance device 100 suction-holds and conveys the first sheet 1a and the second sheet 1b in a stacked state. During conveyance, the first sheet 1a is located on the side of a conveying body 10, which will be described later, and the second sheet 1b is positioned on the side opposite to the conveying body 10 with respect to the first sheet 1a.

第１のシート１ａは、例えば、セラミックグリーンシートである。ただし、第１のシート１ａがセラミックグリーンシートに限定されることはなく、任意の樹脂フィルムなどでもよい。第１のシート１ａは、例えば、一辺が１００ｍｍ以上１０００ｍｍ以下、一例として、一辺が２００ｍｍの正方形の形状を有する。ただし、第１のシート１ａの形状が正方形に限定されることはなく、長方形や長尺状等の形状であってもよい。第１のシート１ａの厚みは、例えば、１０μｍ以上５００μｍ以下であり、一例として、１００μｍである。 The first sheet 1a is, for example, a ceramic green sheet. However, the first sheet 1a is not limited to a ceramic green sheet, and may be any resin film or the like. The first sheet 1a has, for example, a square shape with one side of 100 mm or more and 1000 mm or less, for example, one side of 200 mm. However, the shape of the first sheet 1a is not limited to a square, and may be rectangular or elongated. The thickness of the first sheet 1a is, for example, 10 μm or more and 500 μm or less, and is, for example, 100 μm.

第１のシート１ａには、配線や電極等が形成されていてもよい。その場合、配線や電極は、後述する搬送体１０の枠部１１と接する場所以外の場所に配置されていることが好ましい。言い換えると、後述する枠部１１は、第１のシート１ａのうち、配線や電極等が形成されていない位置に接するように構成するとよい。この構成により、枠部１１が配線や電極等に接することで、配線や電極等が破損したり汚染されたりすることを抑制できる。ただし、導電性ペーストの印刷等によって、薄い配線や電極を形成する場合には、搬送体１０の枠部１１と接する場所に配置されていてもよい。 Wiring, electrodes, etc. may be formed on the first sheet 1a. In that case, it is preferable that the wiring and electrodes be arranged at a location other than the location where they are in contact with the frame portion 11 of the carrier 10, which will be described later. In other words, the frame portion 11, which will be described later, may be configured to be in contact with a position of the first sheet 1a where wiring, electrodes, etc. are not formed. With this configuration, it is possible to suppress damage or contamination of the wiring, electrodes, etc. due to the frame portion 11 coming into contact with the wiring, electrodes, etc. However, if thin wiring or electrodes are formed by printing conductive paste or the like, they may be placed at a location in contact with the frame 11 of the carrier 10.

第２のシート１ｂは、例えば、ＰＥＴフィルムである。ただし、第２のシート１ｂがＰＥＴフィルムに限定されることはなく、任意の樹脂フィルムや紙などでもよい。第２のシート１ｂは、第１のシート１ａよりも大きい。一例として、第１のシート１ａが一辺２００ｍｍの正方形の形状を有する場合、第２のシート１ｂは、一辺２２０ｍｍの正方形の形状を有する。ただし、第２のシート１ｂの形状が正方形に限定されることはなく、長方形や長尺状等の形状であってもよい。また、第２のシート１ｂの形状は、第１のシート１ａの形状と異なっていてもよい。第２のシート１ｂの厚みは、例えば、１０μｍ以上５００μｍ以下であり、一例として、５０μｍである。 The second sheet 1b is, for example, a PET film. However, the second sheet 1b is not limited to PET film, and may be any resin film, paper, or the like. The second sheet 1b is larger than the first sheet 1a. As an example, when the first sheet 1a has a square shape with a side of 200 mm, the second sheet 1b has a square shape with a side of 220 mm. However, the shape of the second sheet 1b is not limited to a square, and may be rectangular or elongated. Moreover, the shape of the second sheet 1b may be different from the shape of the first sheet 1a. The thickness of the second sheet 1b is, for example, 10 μm or more and 500 μm or less, and is, for example, 50 μm.

なお、第２のシート１ｂの形状および寸法は、第１のシート１ａの形状および寸法と同一であってもよい。その場合、第１のシート１ａには、第１のシート１ａを介して第２のシート１ｂを吸引するための孔が設けられていることが好ましい。 Note that the shape and dimensions of the second sheet 1b may be the same as the shape and dimensions of the first sheet 1a. In that case, it is preferable that the first sheet 1a is provided with holes for sucking the second sheet 1b through the first sheet 1a.

また、第２のシート１ｂの、第１のシート１ａとは反対側に、任意の材料からなる第３のシートを配置するようにしてもよい。 Further, a third sheet made of any material may be placed on the opposite side of the second sheet 1b from the first sheet 1a.

一実施形態におけるシート搬送装置１００は、搬送体１０と、給気装置２０と、吸引装置３０とを備える。 A sheet conveying device 100 in one embodiment includes a conveying body 10, an air supply device 20, and a suction device 30.

搬送体１０は、シート１を吸着して保持し、搬送するためのものであり、図１～図４に示すように、給気孔１４及び排気孔１５を有する主面１２と、凹部状になるように主面１２上に形成され、主面１２側の面１１ａで開口する吸引孔１３を有する枠部１１とを有する。シート１の搬送時、シート１は、搬送体１０の枠部１１に当接するが、主面１２とは離間している。主面１２とは、シート１の搬送時に、シート１と対向する面である。なお、シート１の搬送時に、搬送体１０を駆動するための機構は、図では省略している。 The conveying body 10 is for attracting, holding, and conveying the sheet 1, and as shown in FIGS. 1 to 4, the conveying body 10 has a main surface 12 having an air supply hole 14 and an exhaust hole 15, and a concave shape. The frame portion 11 has a suction hole 13 that is formed on the main surface 12 and opens at the surface 11a on the main surface 12 side. When the sheet 1 is conveyed, the sheet 1 comes into contact with the frame portion 11 of the conveying body 10, but is spaced apart from the main surface 12. The main surface 12 is a surface that faces the sheet 1 when the sheet 1 is conveyed. Note that a mechanism for driving the conveyance body 10 during conveyance of the sheet 1 is omitted in the figure.

本実施形態では、主面１２と直交する方向に見たときに、図２に示すように、枠部１１の外側および内側の形状はともに正方形である。図２に示す枠部１１の幅Ｗ１は、例えば、０ｍｍより大きく５０ｍｍ以下であり、一例として、１０ｍｍである。また、シート１の搬送時、枠部１１より大きい第２のシート１ｂの外周と、枠部１１の外周との間の距離は、例えば、０ｍｍより大きく５０ｍｍ以下であり、一例として５ｍｍである。 In this embodiment, when viewed in a direction orthogonal to the main surface 12, as shown in FIG. 2, both the outside and inside shapes of the frame portion 11 are square. The width W1 of the frame portion 11 shown in FIG. 2 is, for example, greater than 0 mm and less than or equal to 50 mm, and is, for example, 10 mm. Further, when conveying the sheet 1, the distance between the outer circumference of the second sheet 1b, which is larger than the frame portion 11, and the outer circumference of the frame portion 11 is, for example, greater than 0 mm and less than or equal to 50 mm, and is, for example, 5 mm.

搬送体１０の枠部１１のうち、シート１と接する面１１ａは平面であるが、曲面であってもよいし、テーパーが設けられていてもよい。 Although the surface 11a of the frame portion 11 of the conveyance body 10 that contacts the sheet 1 is a flat surface, it may be a curved surface or may be tapered.

上述したように、主面１２側における枠部１１の面１１ａには、吸引孔１３が設けられている。本実施形態において、主面１２と直交する方向に見たときの吸引孔１３の形状は、円形である。吸引孔１３の形状が円形であることにより、シート１の吸引時に、吸引孔１３の周辺に対して均一に吸引することができ、吸引孔１３へのシート１の吸い込みを抑制することができる。吸引孔１３の径は、例えば、０．５ｍｍ以上１０ｍｍ以下であり、一例として、２ｍｍである。 As described above, the suction hole 13 is provided in the surface 11a of the frame portion 11 on the main surface 12 side. In this embodiment, the shape of the suction hole 13 when viewed in a direction perpendicular to the main surface 12 is circular. Since the shape of the suction hole 13 is circular, when the sheet 1 is suctioned, the periphery of the suction hole 13 can be uniformly suctioned, and suction of the sheet 1 into the suction hole 13 can be suppressed. The diameter of the suction hole 13 is, for example, 0.5 mm or more and 10 mm or less, and is, for example, 2 mm.

ただし、吸引孔１３の形状が円形に限定されることはなく、正方形や長方形等の形状であってもよい。また、吸引孔１３は、溝状の形状を有し、枠部１１の形状に応じて周回するように形成されていてもよい。 However, the shape of the suction hole 13 is not limited to a circle, and may be a square, a rectangle, or the like. Further, the suction hole 13 may have a groove-like shape and may be formed to rotate according to the shape of the frame portion 11.

図１～図４に示すように、本実施形態において、吸引孔１３には、第１の吸引孔１３ａと、第１の吸引孔１３ａより外側に位置する第２の吸引孔１３ｂとが含まれる。第１の吸引孔１３ａは、第１のシート１ａを吸引するためのものであり、第２の吸引孔１３ｂは、第１のシート１ａよりも大きい第２のシート１ｂを吸引するためのものである。すなわち、吸引孔１３に、第１の吸引孔１３ａと、第１の吸引孔１３ａより外側に位置する第２の吸引孔１３ｂとが含まれることにより、第１のシート１ａを第１の吸引孔１３ａを介して、第２のシート１ｂを第２の吸引孔１３ｂを介して、確実に吸引保持することができる。 As shown in FIGS. 1 to 4, in this embodiment, the suction hole 13 includes a first suction hole 13a and a second suction hole 13b located outside the first suction hole 13a. . The first suction hole 13a is for suctioning the first sheet 1a, and the second suction hole 13b is for suctioning the second sheet 1b, which is larger than the first sheet 1a. be. That is, by including the first suction hole 13a and the second suction hole 13b located outside the first suction hole 13a, the suction hole 13 causes the first sheet 1a to be drawn into the first suction hole. 13a, the second sheet 1b can be reliably sucked and held through the second suction hole 13b.

第１の吸引孔１３ａと第２の吸引孔１３ｂの形状は、同じでもよいし、異なっていてもよい。また、第１の吸引孔１３ａと第２の吸引孔１３ｂの寸法は、同じでもよいし、異なっていてもよい。 The shapes of the first suction hole 13a and the second suction hole 13b may be the same or different. Further, the dimensions of the first suction hole 13a and the second suction hole 13b may be the same or different.

本実施形態では、図２に示すように、第１の吸引孔１３ａおよび第２の吸引孔１３ｂはそれぞれ、枠部１１の形状に応じて周回するように、複数配置されている。すなわち、枠部１１の内側には、第１の吸引孔１３ａが周回状に複数配置されており、枠部１１の外側には、第２の吸引孔１３ｂが周回状に複数配置されている。 In this embodiment, as shown in FIG. 2, a plurality of first suction holes 13a and a plurality of second suction holes 13b are arranged so as to rotate according to the shape of the frame portion 11. That is, inside the frame 11, a plurality of first suction holes 13a are arranged in a circular pattern, and on the outside of the frame part 11, a plurality of second suction holes 13b are arranged in a circular pattern.

本実施形態において、複数の第１の吸引孔１３ａおよび第２の吸引孔１３ｂはそれぞれ、線対称かつ点対称に配置されている。したがって、複数の吸引孔１３は、図２に示すように、線対称かつ点対称に配置されている。複数の吸引孔１３が線対称かつ点対称に配置されていることにより、シート１を均一に吸引することができ、シート１を安定的に吸引保持して搬送することができる。 In this embodiment, the plurality of first suction holes 13a and the plurality of second suction holes 13b are arranged line-symmetrically and point-symmetrically, respectively. Therefore, as shown in FIG. 2, the plurality of suction holes 13 are arranged line-symmetrically and point-symmetrically. By arranging the plurality of suction holes 13 line-symmetrically and point-symmetrically, the sheet 1 can be uniformly sucked, and the sheet 1 can be stably sucked and held while being conveyed.

本実施形態において、隣接する第１の吸引孔１３ａの間隔および隣接する第２の吸引孔１３ｂの間隔はそれぞれ一定である。隣接する第１の吸引孔１３ａとは、複数配置されている第１の吸引孔１３ａのうち、距離が最も近い位置で並ぶ２つの第１の吸引孔１３ａを意味する。隣接する第２の吸引孔１３ｂについても同様である。隣接する第１の吸引孔１３ａの間隔および隣接する第２の吸引孔１３ｂの間隔が一定であることにより、シート１を均一に吸引することができ、シート１を安定的に吸引保持して搬送することができる。 In this embodiment, the interval between adjacent first suction holes 13a and the interval between adjacent second suction holes 13b are each constant. Adjacent first suction holes 13a mean two first suction holes 13a that are lined up at the closest position among the plurality of first suction holes 13a arranged. The same applies to the adjacent second suction hole 13b. Since the interval between adjacent first suction holes 13a and the interval between adjacent second suction holes 13b are constant, the sheet 1 can be uniformly suctioned, and the sheet 1 can be stably suctioned and conveyed. can do.

ここで、隣接する第１の吸引孔１３ａの間隔とは、第１の吸引孔１３ａの外周から、隣の第１の吸引孔１３ａの外周までの最短の距離であって、例えば、第１の吸引孔１３ａの直径の１倍以上１０倍以下であり、一例として、第１の吸引孔１３ａの直径の５倍である。同様に、隣接する第２の吸引孔１３ｂの間隔とは、第２の吸引孔１３ｂの外周から、隣の第２の吸引孔１３ｂの外周までの最短の距離であって、例えば、第２の吸引孔１３ｂの直径の１倍以上１０倍以下であり、一例として、第２の吸引孔１３ｂの直径の５倍である。 Here, the interval between adjacent first suction holes 13a is the shortest distance from the outer periphery of the first suction hole 13a to the outer periphery of the adjacent first suction hole 13a. The diameter is 1 to 10 times the diameter of the suction hole 13a, and is, for example, 5 times the diameter of the first suction hole 13a. Similarly, the interval between adjacent second suction holes 13b is the shortest distance from the outer periphery of the second suction hole 13b to the outer periphery of the adjacent second suction hole 13b. The diameter is 1 to 10 times the diameter of the suction hole 13b, and is, for example, 5 times the diameter of the second suction hole 13b.

上述したように、シート１の搬送時に、搬送体１０の主面１２は、シート１とは離間しており、主面１２と枠部１１によって、凹部１６が構成されている。シート１の搬送時にシート１と主面１２との間の距離となる凹部１６の深さは、例えば、１ｍｍ以上５０ｍｍ以下であり、一例として、１０ｍｍである。 As described above, when the sheet 1 is transported, the main surface 12 of the transport body 10 is separated from the sheet 1, and the main surface 12 and the frame 11 form the recess 16. The depth of the recess 16, which is the distance between the sheet 1 and the main surface 12 when the sheet 1 is conveyed, is, for example, 1 mm or more and 50 mm or less, and is, for example, 10 mm.

本実施形態において、シート１と対向する方向に見たときの主面１２の形状は、正方形である。ただし、主面１２の形状が正方形に限定されることはない。また、主面１２は、平面であるが、凹凸や溝、壁等が存在していてもよい。 In this embodiment, the main surface 12 has a square shape when viewed in the direction facing the sheet 1. However, the shape of the main surface 12 is not limited to a square. Further, although the main surface 12 is a flat surface, it may have irregularities, grooves, walls, etc.

主面１２と直交する方向に見たときに、主面１２に設けられている給気孔１４の形状は、円形、正方形、長方形等の形状であってもよいし、溝状の形状であってもよい。本実施形態において、給気孔１４は、図２に示すように、円形の形状を有し、複数配置されている。給気孔１４の径は、例えば、０．５ｍｍ以上１０ｍｍ以下であり、一例として２ｍｍである。給気孔１４の数は、例えば、１個以上１０００個以下であり、一例として、１２個である。 When viewed in a direction perpendicular to the main surface 12, the air supply holes 14 provided in the main surface 12 may have a circular, square, or rectangular shape, or may have a groove-like shape. Good too. In this embodiment, as shown in FIG. 2, the air supply holes 14 have a circular shape and are arranged in plurality. The diameter of the air supply hole 14 is, for example, 0.5 mm or more and 10 mm or less, and is, for example, 2 mm. The number of air supply holes 14 is, for example, 1 or more and 1000 or less, and is 12, for example.

本実施形態において、複数の給気孔１４は、図２に示すように、線対称かつ点対称に配置されている。複数の給気孔１４が線対称かつ点対称に配置されていることにより、複数の給気孔１４からシート１に向かって気体が排出されたときに、気体が直接当たる第１のシート１ａに加わる圧力を均一化させるようにすることができる。これにより、シート１を安定的に保持して搬送することができる。 In this embodiment, the plurality of air supply holes 14 are arranged line-symmetrically and point-symmetrically, as shown in FIG. 2 . By arranging the plurality of air supply holes 14 line-symmetrically and point-symmetrically, when gas is discharged from the plurality of air supply holes 14 toward the sheet 1, the pressure applied to the first sheet 1a that the gas directly hits is reduced. can be made uniform. Thereby, the sheet 1 can be stably held and conveyed.

主面１２と直交する方向に見たときに、主面１２に設けられている排気孔１５の形状は、円形、正方形、長方形等の形状であってもよいし、溝状の形状であってもよい。本実施形態において、排気孔１５は、図２に示すように、円形の形状を有し、複数配置されている。排気孔１５の径は、例えば、０．５ｍｍ以上１０ｍｍ以下であり、一例として２ｍｍである。また、排気孔１５の長さは、例えば、１ｍｍ以上１００ｍｍ以下である。排気孔１５の数は、例えば、１個以上１０００個以下であり、一例として、４個である。 When viewed in a direction perpendicular to the main surface 12, the exhaust holes 15 provided in the main surface 12 may have a circular, square, rectangular, or other shape, or may have a groove shape. In this embodiment, as shown in FIG. 2, the exhaust holes 15 have a circular shape and are arranged in multiple numbers. The diameter of the exhaust hole 15 is, for example, 0.5 mm or more and 10 mm or less, and is, for example, 2 mm. The length of the exhaust hole 15 is, for example, 1 mm or more and 100 mm or less. The number of exhaust holes 15 is, for example, 1 to 1000, and is, for example, 4.

全ての排気孔１５は、大気に開放されている。全ての排気孔１５が大気に開放されていることにより、給気装置２０によって給気孔１４からシート１に向かって気体が供給されて、シート１に加わる圧力の調節が容易となる。なお、ここでいう大気は、シート搬送装置１００の置かれた環境の雰囲気のことであり、必ずしも屋外と通じる雰囲気のことではない。 All exhaust holes 15 are open to the atmosphere. Since all the exhaust holes 15 are open to the atmosphere, gas is supplied from the air supply holes 14 toward the sheet 1 by the air supply device 20, and the pressure applied to the sheet 1 can be easily adjusted. Note that the atmosphere here refers to the atmosphere of the environment in which the sheet conveying device 100 is placed, and does not necessarily mean an atmosphere that communicates with the outdoors.

本実施形態において、複数の排気孔１５は、図２に示すように、線対称かつ点対称に配置されている。複数の排気孔１５が線対称かつ点対称に配置されていることにより、複数の給気孔１４から給気された気体が複数の排気孔１５から排出される過程で、搬送体１０側に位置する第１のシート１ａに加わる圧力を均一化させるようにすることができる。これにより、シート１を安定的に保持して搬送することができる。 In this embodiment, the plurality of exhaust holes 15 are arranged line-symmetrically and point-symmetrically, as shown in FIG. Since the plurality of exhaust holes 15 are arranged line-symmetrically and point-symmetrically, the gas supplied from the plurality of air supply holes 14 is located on the carrier 10 side in the process of being discharged from the plurality of exhaust holes 15. The pressure applied to the first sheet 1a can be made uniform. Thereby, the sheet 1 can be stably held and conveyed.

なお、図２に示す例では、給気孔１４に対して排気孔１５が外側に配置されているが、排気孔１５に対して給気孔１４が外側に配置されていてもよい。また、内側と外側の区別なく、給気孔１４と排気孔１５が混在する形で配置されていてもよい。 In the example shown in FIG. 2, the exhaust hole 15 is arranged on the outside of the air supply hole 14, but the air supply hole 14 may be arranged on the outside of the exhaust hole 15. Further, the air supply holes 14 and the exhaust holes 15 may be arranged in a mixed manner without distinguishing between the inside and the outside.

上述したように、給気孔１４および排気孔１５は、それぞれ複数設けられているので、給気孔１４からシート１に向かって給気し、排気孔１５から排気する過程で、搬送体１０側に位置する第１のシート１ａに加わる圧力を均一化させるようにすることができる。これにより、シート１を安定的に保持して搬送することができる。 As described above, since there are multiple air supply holes 14 and multiple exhaust holes 15, the pressure applied to the first sheet 1a located on the conveyor 10 side can be made uniform in the process of supplying air from the air supply holes 14 toward the sheet 1 and exhausting air from the exhaust holes 15. This allows the sheet 1 to be stably held and conveyed.

上述したように、本実施形態では、全ての吸引孔１３は、枠部１１に設けられており、全ての給気孔１４および全ての排気孔１５は、枠部１１の内側に位置する主面１２に設けられている。したがって、全ての給気孔１４および全ての排気孔１５は、全ての吸引孔１３の内側に位置する。そのような構成により、後述するように、シート１の中央側に静圧を印加し、その外側でシート１を吸引することができ、安定的にシート１を吸引保持した状態で搬送することができる。 As described above, in this embodiment, all the suction holes 13 are provided in the frame 11, and all the air supply holes 14 and all the exhaust holes 15 are provided in the main surface 12 located inside the frame 11. It is set in. Therefore, all the air supply holes 14 and all the exhaust holes 15 are located inside all the suction holes 13. With such a configuration, as will be described later, static pressure can be applied to the center side of the sheet 1 and the sheet 1 can be suctioned on the outside thereof, and the sheet 1 can be stably conveyed while being suctioned and held. can.

主面１２と直交する方向に見たときの給気孔１４の断面積の合計値は、排気孔１５の断面積の合計値よりも大きい。全ての給気孔１４の断面積の合計値が全ての排気孔１５の断面積の合計値よりも大きいことにより、給気孔１４を介して供給される気体の圧力を、排気孔１５を介して排出される気体の圧力の絶対値よりも大きくすることができるので、後述するように、シート１の搬送時に、シート１に静圧を印加した状態で、シート１を吸引することができる。 The total cross-sectional area of the air supply holes 14 when viewed in a direction perpendicular to the main surface 12 is larger than the total cross-sectional area of the exhaust holes 15. Since the total cross-sectional area of all the air supply holes 14 is larger than the total cross-sectional area of all the exhaust holes 15, the pressure of the gas supplied through the air supply holes 14 is exhausted through the exhaust hole 15. Since the absolute value of the gas pressure can be made larger than the absolute value of the gas pressure, the sheet 1 can be suctioned while static pressure is applied to the sheet 1 when conveying the sheet 1, as will be described later.

給気装置２０は、給気孔１４と接続され、給気孔１４へ気体を供給可能に構成されている。給気装置２０は、例えば、加圧ポンプを含むか、あるいはシート搬送装置１００の外部にある加圧気体供給機構に接続されている。給気装置２０は、必要に応じて、バルブ等の流体回路要素を含んでいてもよい。給気装置２０から供給される気体は、例えば、空気である。給気装置２０から供給する気体の流量は、例えば、１Ｌ／分以上１００Ｌ／分以下であり、一例として、３０Ｌ／分である。 The air supply device 20 is connected to the air supply hole 14 and is configured to be able to supply gas to the air supply hole 14 . The air supply device 20 includes, for example, a pressurizing pump or is connected to a pressurized gas supply mechanism external to the sheet conveying device 100. The air supply device 20 may include fluid circuit elements such as valves as necessary. The gas supplied from the air supply device 20 is, for example, air. The flow rate of the gas supplied from the air supply device 20 is, for example, 1 L/min or more and 100 L/min or less, and is, for example, 30 L/min.

吸引装置３０は、吸引孔１３と接続され、吸引孔１３から気体を吸引可能に構成されている。吸引装置３０は、例えば、減圧ポンプを含むか、あるいはシート搬送装置１００の外部にある減圧機構に接続されている。吸引装置３０は、必要に応じて、バルブ等の流体回路要素を含んでいてもよい。吸引時の圧力は、例えば、－６０ｋＰａ以上－１０ｋＰａ以下であり、一例として、－５０ｋＰａである。 The suction device 30 is connected to the suction hole 13 and is configured to be able to suction gas from the suction hole 13 . The suction device 30 includes, for example, a pressure reduction pump, or is connected to a pressure reduction mechanism external to the sheet conveyance device 100. The suction device 30 may include fluid circuit elements such as valves as necessary. The pressure during suction is, for example, −60 kPa or more and −10 kPa or less, and is, for example, −50 kPa.

本実施形態におけるシート搬送装置１００は、給気装置２０および吸引装置３０を制御するための制御装置４０をさらに備えている。制御装置４０は、給気装置２０によって供給される気体がシート１に及ぼす力が、大気圧がシート１に及ぼす力よりも大きく、かつ、吸引圧と吸引孔１３の面積によるシート１を保持する力が給気圧と排気から凹部１６にたまる静圧によってシート１を押す力よりも大きくなるように、給気装置２０と吸引装置３０をそれぞれ制御する。そのような制御により、シート１を安定的に吸引保持して搬送することができる。なお、ここでいう大気圧は、シート搬送装置１００の置かれた環境の雰囲気の気圧のことであり、必ずしも屋外と通じる雰囲気の気圧のことではない。 The sheet conveyance device 100 in this embodiment further includes a control device 40 for controlling the air supply device 20 and the suction device 30. The control device 40 maintains the sheet 1 so that the force exerted on the sheet 1 by the gas supplied by the air supply device 20 is greater than the force exerted on the sheet 1 by atmospheric pressure, and also by the suction pressure and the area of the suction hole 13. The air supply device 20 and the suction device 30 are respectively controlled so that the force is larger than the force pushing the sheet 1 due to the static pressure accumulated in the recess 16 from the supply pressure and exhaust air. Such control allows the sheet 1 to be stably sucked and held and transported. Note that the atmospheric pressure here refers to the atmospheric pressure of the environment in which the sheet conveying device 100 is placed, and does not necessarily refer to the atmospheric pressure of the atmosphere communicating with the outdoors.

例えば、制御装置４０は、給気装置２０によって供給される気体の圧力が大気圧よりも高く、かつ、吸引装置３０による吸引圧の絶対値が給気装置２０によって供給される気体の圧力よりも高くなるように、給気装置２０と吸引装置３０をそれぞれ制御する。そのような制御により、シート１を安定的に吸引保持して搬送することができる。 For example, the control device 40 may be configured such that the pressure of the gas supplied by the air supply device 20 is higher than atmospheric pressure, and the absolute value of the suction pressure by the suction device 30 is higher than the pressure of the gas supplied by the air supply device 20. The air supply device 20 and the suction device 30 are each controlled so that the air pressure increases. Such control allows the sheet 1 to be stably sucked and held and transported.

また、吸引孔１３の断面積が給気孔１４の断面積よりも十分に大きい場合、制御装置４０は、給気装置２０によって供給される気体の圧力が大気圧よりも高く、かつ、給気装置２０によって供給される気体の圧力が吸引装置３０による吸引圧の絶対値よりも高くなるように、給気装置２０と吸引装置３０をそれぞれ制御することもできる。吸引孔１３の断面積を給気孔１４の断面積よりも十分に大きくすることで、吸引圧と吸引孔１３の面積によるシート１を保持する力が、給気圧と排気から凹部１６にたまる静圧によってシート１を押す力よりも大きくすることができる。このような構成とすることで、吸引孔１３を密に設置することができ、シート１のバタつきをより抑制した状態でより安定的に吸引保持して搬送することができる。 Further, when the cross-sectional area of the suction hole 13 is sufficiently larger than the cross-sectional area of the air supply hole 14, the control device 40 determines that the pressure of the gas supplied by the air supply device 20 is higher than atmospheric pressure and that the air supply device It is also possible to control each of the air supply device 20 and the suction device 30 such that the pressure of the gas supplied by the suction device 20 is higher than the absolute value of the suction pressure by the suction device 30. By making the cross-sectional area of the suction hole 13 sufficiently larger than the cross-sectional area of the air supply hole 14, the force that holds the sheet 1 due to the suction pressure and the area of the suction hole 13 is reduced to the static pressure accumulated in the recess 16 from the suction pressure and exhaust air. This can be made larger than the force pushing the sheet 1. With this configuration, the suction holes 13 can be arranged closely, and the sheet 1 can be more stably suction-held and conveyed while suppressing flapping.

以下で、本実施形態におけるシート搬送装置１００によるシート１の搬送方法について、図５～図１０を参照しながら説明する。図５～図１０における（ａ）は、図３と同じ位置で切断したときのシート搬送装置１００の断面図であり、（ｂ）は、図４と同じ位置で切断したときのシート搬送装置１００の断面図である。ただし、図５～図１０において、制御装置４０は省略している。 The method for conveying the sheet 1 by the sheet conveying device 100 in this embodiment will be described below with reference to FIGS. 5 to 10. 5 to 10, (a) is a cross-sectional view of the sheet conveying device 100 when cut at the same position as in FIG. 3, and (b) is a cross-sectional view of the sheet conveying device 100 when cut at the same position as in FIG. FIG. However, in FIGS. 5 to 10, the control device 40 is omitted.

シート１を吸着保持する際、搬送体１０は、第１のシート１ａを吸着保持した後、第２のシート１ｂを吸着保持するようにしてもよいし、予め重ねられている第１のシート１ａと第２のシート１ｂを同時に吸着保持するようにしてもよい。ここでは、予め重ねられている第１のシート１ａと第２のシート１ｂを搬送体１０によって同時に吸着保持するものとして説明する。 When holding the sheet 1 by suction, the conveying body 10 may suction-hold the first sheet 1a and then suction-hold the second sheet 1b, or it may hold the second sheet 1b by suction, or it may hold the second sheet 1b by suction. and the second sheet 1b may be held by suction at the same time. Here, the description will be made assuming that the first sheet 1a and the second sheet 1b, which are stacked in advance, are simultaneously sucked and held by the conveyor 10.

はじめに、給気装置２０によって供給される気体を給気孔１４から凹部１６に向かって排出しながら、搬送体１０は、受取台５１に置かれているシート１に近づく（図５（ａ））。上述したように、受取台５１には、第１のシート１ａが上側、第２のシート１ｂが下側（受取台５１側）となるように、第１のシート１ａと第２のシート１ｂが重ねて置かれている。搬送体１０は、給気孔１４から気体を排出しながら、重ねられている第１のシート１ａおよび第２のシート１ｂに近づくことにより、第１のシート１ａおよび第２のシート１ｂにしわが生じることを抑制することができる。このとき、吸引装置３０による吸引は行われない（図５（ｂ））。 First, the conveyor 10 approaches the sheet 1 placed on the receiving table 51 while discharging the gas supplied by the air supply device 20 from the air supply hole 14 toward the recess 16 (FIG. 5(a)). As described above, the first sheet 1a and the second sheet 1b are placed on the receiving tray 51 so that the first sheet 1a is on the upper side and the second sheet 1b is on the lower side (on the receiving tray 51 side). They are placed one on top of the other. The conveyor 10 approaches the stacked first sheet 1a and second sheet 1b while discharging gas from the air supply hole 14, thereby preventing wrinkles from forming in the first sheet 1a and second sheet 1b. can be suppressed. At this time, suction by the suction device 30 is not performed (FIG. 5(b)).

搬送体１０の枠部１１が第１のシート１ａおよび第２のシート１ｂと当接した後も、給気装置２０による給気孔１４からの給気は継続する。凹部１６内の気体の一部は、排気孔１５から排出される（図６（ａ））。 Even after the frame portion 11 of the conveyance body 10 comes into contact with the first sheet 1a and the second sheet 1b, the air supply device 20 continues to supply air from the air supply holes 14. A part of the gas in the recess 16 is exhausted from the exhaust hole 15 (FIG. 6(a)).

なお、搬送体１０がシート１に近づく際、枠部１１に設けられている第１の吸引孔１３ａが第１のシート１ａと対向し、第２の吸引孔１３ｂが第２のシート１ｂと対向するように、位置関係を調整する。 Note that when the conveyor 10 approaches the sheet 1, the first suction hole 13a provided in the frame 11 faces the first sheet 1a, and the second suction hole 13b faces the second sheet 1b. Adjust the positional relationship so that

続いて、給気装置２０による給気孔１４からの給気は継続した状態で（図７（ａ））、吸引装置３０による吸引を開始する（図７（ｂ））。これにより、吸引孔１３を介して、第１のシート１ａおよび第２のシート１ｂが搬送体１０に吸着保持される。具体的には、第１の吸引孔１３ａを介して、第１のシート１ａが吸着保持され、第２の吸引孔１３ｂを介して、第２のシート１ｂが吸着保持される。 Subsequently, while the air supply device 20 continues to supply air from the air supply hole 14 (FIG. 7(a)), the suction device 30 starts suctioning (FIG. 7(b)). As a result, the first sheet 1 a and the second sheet 1 b are sucked and held on the conveying body 10 via the suction holes 13 . Specifically, the first sheet 1a is suction-held through the first suction hole 13a, and the second sheet 1b is suction-held through the second suction hole 13b.

吸引装置３０による吸引が行われることにより、枠部１１にシート１が密着し、凹部１６内には、給気孔１４からの給気と排気孔１５からの排気に応じて、所定の大きさの静圧が加わる。これにより、シート１と主面１２との接触を抑制することができる。凹部１６内の静圧の大きさは、例えば、０．０１ＭＰａ以上０．２ＭＰａ以下であって、一例として、０．０２ＭＰａである。模式的な図である図７では、第２のシート１ｂが枠部１１から離間した状態を示しているが、第１のシート１ａは薄いため、実際には、第２のシート１ｂは、枠部１１と当接している。また、凹部１６内には、所定の大きさの静圧が加わった状態であるため、第１のシート１ａと第２のシート１ｂが密着した状態を保ったまま搬送することができる。このため、搬送時に、第１のシート１ａと第２のシート１ｂの位置ずれを防止することができる。 By performing suction by the suction device 30, the sheet 1 is brought into close contact with the frame 11, and a predetermined size of air is formed in the recess 16 according to the air supplied from the air supply hole 14 and the exhaust from the exhaust hole 15. Adds static pressure. Thereby, contact between the sheet 1 and the main surface 12 can be suppressed. The magnitude of the static pressure within the recess 16 is, for example, 0.01 MPa or more and 0.2 MPa or less, and is, for example, 0.02 MPa. Although FIG. 7, which is a schematic diagram, shows a state in which the second sheet 1b is separated from the frame portion 11, since the first sheet 1a is thin, in reality, the second sheet 1b is separated from the frame portion 11. It is in contact with the portion 11. Furthermore, since a predetermined amount of static pressure is applied inside the recess 16, the first sheet 1a and the second sheet 1b can be conveyed while maintaining a state in which they are in close contact with each other. Therefore, it is possible to prevent misalignment between the first sheet 1a and the second sheet 1b during conveyance.

なお、搬送体１０の枠部１１がシート１に近づいて当接したときに、シート１が枠部１１と受取台５１との間に挟まれて、凹部１６内に密閉空間が形成される場合には、吸引装置３０による吸引の開始前に、凹部１６内に静圧が加わるようになる。 Note that when the frame portion 11 of the conveyor 10 approaches and abuts the sheet 1, the sheet 1 is sandwiched between the frame portion 11 and the receiving table 51, and a sealed space is formed in the recess portion 16. In this case, static pressure is applied within the recess 16 before the suction device 30 starts suction.

続いて、搬送体１０は上昇し、吸着保持しているシート１（第１のシート１ａおよび第２のシート１ｂ）の搬送を開始する。シート１の搬送中、給気装置２０による給気孔１４からの給気と排気孔１５からの排気（図８（ａ））、および、吸引装置３０による吸引孔１３を介した吸引（図８（ｂ））は継続する。給気孔１４からの給気と排気孔１５からの排気を行いながら、吸引孔１３を介した吸引を行うことにより、シート１が主面１２と接触することを抑制しつつ、シート１を安定的に吸着保持することができる。 Subsequently, the conveyor 10 rises and starts conveying the sheets 1 (the first sheet 1a and the second sheet 1b) that are being sucked and held. During conveyance of the sheet 1, air is supplied from the air supply hole 14 by the air supply device 20 and exhausted from the exhaust hole 15 (FIG. 8(a)), and suction is performed by the suction device 30 through the suction hole 13 (FIG. 8(a)). b)) continues. By performing suction through the suction hole 13 while supplying air from the air supply hole 14 and exhausting air from the exhaust hole 15, the sheet 1 can be stably held while suppressing contact between the sheet 1 and the main surface 12. It can be held by adsorption.

また、シート１が搬送体１０の主面１２と接触することを抑制することができるので、シート１に導電性ペースト等が塗工されている場合に、ペーストが搬送体１０に付着することを抑制することができる。ペーストが搬送体１０に付着すると、別のシート１を搬送する際に、そのシート１にペーストが転写されて、不良品が発生する可能性があるが、本実施形態におけるシート搬送装置１００によれば、不良品の発生を抑制することができる。 In addition, since it is possible to suppress the sheet 1 from coming into contact with the main surface 12 of the conveyor 10, when the sheet 1 is coated with conductive paste or the like, it is possible to prevent the paste from adhering to the conveyor 10. Can be suppressed. If the paste adheres to the conveyor 10, there is a possibility that the paste will be transferred to another sheet 1 when conveying that sheet 1, resulting in defective products. For example, the occurrence of defective products can be suppressed.

また、給気孔１４からの給気を行いながら、吸引孔１３を介した吸引を行うことにより、シート１が搬送体１０と接していない部分に静圧を印加し続けることができるので、シート１の搬送時に、シート１のバタつきを抑制して、シート１にしわや折れ曲がりが生じることを抑制することができる。シート１のバタつきを抑制することにより、例えば、複数枚のシート１の搬送時に、一部のシート１が剥がれることを抑制することができる。 In addition, by performing suction through the suction hole 13 while supplying air from the air supply hole 14, it is possible to continue applying static pressure to the portion of the sheet 1 that is not in contact with the conveyor 10. It is possible to suppress flapping of the sheet 1 during conveyance, thereby suppressing the occurrence of wrinkles or bends in the sheet 1. By suppressing the flapping of the sheets 1, for example, it is possible to suppress some of the sheets 1 from peeling off when a plurality of sheets 1 are conveyed.

搬送体１０は、搬送先である受渡台５２の位置までシート１を搬送すると、吸引装置３０による吸引を停止する（図９（ｂ））。これにより、シート１の吸着が解除される。シート１を受渡台５２に置いた状態でも、給気装置２０による給気孔１４からの給気は継続することにより（図９（ａ））、シート１にしわや折れ曲がりが生じることを抑制する。 When the conveyance body 10 conveys the sheet 1 to the position of the transfer table 52 which is the conveyance destination, the suction by the suction device 30 is stopped (FIG. 9(b)). As a result, the suction of the sheet 1 is released. Even when the sheet 1 is placed on the delivery table 52, the air supply device 20 continues to supply air from the air supply holes 14 (FIG. 9(a)), thereby suppressing the occurrence of wrinkles or bends in the sheet 1.

続いて、給気装置２０による給気孔１４からの給気を行いながら、搬送体１０は、上昇する（図１０（ａ））。給気孔１４からの給気を行いながら搬送体１０が上昇することにより、搬送体１０がシート１から離れるときに、シート１にしわや折れ曲がりが生じることを抑制することができる。搬送体１０がシート１から離れることによって、排気孔１５からの排気は行われなくなる。この後、搬送体１０がシート１から完全に離れると、給気装置２０による気体の供給を停止する。 Subsequently, the carrier 10 ascends while the air supply device 20 supplies air from the air supply holes 14 (FIG. 10(a)). By raising the conveying body 10 while supplying air from the air supply hole 14, it is possible to suppress wrinkles or bends in the sheet 1 when the conveying body 10 separates from the sheet 1. When the conveyance body 10 separates from the sheet 1, exhaust from the exhaust hole 15 is no longer performed. Thereafter, when the conveyance body 10 is completely separated from the sheet 1, the supply of gas by the air supply device 20 is stopped.

本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能である。例えば、本実施形態におけるシート搬送装置１００を、シート１に印刷を行う印刷装置や、シート１を加工する加工装置の一部として構成するようにしてもよい。 The present invention is not limited to the above embodiments, and various applications and modifications can be made within the scope of the present invention. For example, the sheet conveyance device 100 in this embodiment may be configured as part of a printing device that prints on the sheet 1 or a processing device that processes the sheet 1.

上述したように、主面１２と直交する方向に見たときの搬送体１０の形状が正方形に限定されることはなく、図１１（ａ）に示すように、長方形でもよいし、図１１（ｂ）に示すように、円形でもよい。 As described above, the shape of the carrier 10 when viewed in the direction orthogonal to the main surface 12 is not limited to a square, and may be rectangular as shown in FIG. As shown in b), it may be circular.

排気孔１５は、大気に開放されているものとして説明したが、大気に開放されておらず、凹部１６の外側に向けて排気を回収するような機構を排気孔１５に搭載してもよい。 Although the exhaust hole 15 has been described as being open to the atmosphere, the exhaust hole 15 may be equipped with a mechanism that is not open to the atmosphere and collects exhaust gas toward the outside of the recess 16.

１シート
１ａ第１のシート
１ｂ第２のシート
１０搬送体
１１枠部
１１ａ主面側における枠部の面
１２主面
１３吸引孔
１３ａ第１の吸引孔
１３ｂ第２の吸引孔
１４給気孔
１５排気孔
１６凹部
２０給気装置
３０吸引装置
４０制御装置
５１受取台
５２受渡台
１００シート搬送装置 1 Sheet 1a First sheet 1b Second sheet 10 Conveyor 11 Frame 11a Surface of the frame on the main surface side 12 Main surface 13 Suction hole 13a First suction hole 13b Second suction hole 14 Air supply hole 15 Exhaust Hole 16 Recess 20 Air supply device 30 Suction device 40 Control device 51 Receiving table 52 Delivery table 100 Sheet conveying device

Claims

A sheet conveying device that sucks, holds, and conveys a sheet,
A main surface having an air supply hole and an exhaust hole and facing downward , and a frame portion formed on the main surface in a concave shape and having a suction hole opening on the main surface side. a carrier having;
an air supply device connected to the air supply hole and capable of supplying gas to the air supply hole;
a suction device connected to the suction hole and capable of suctioning gas from the suction hole;
A sheet conveying device comprising:

The sheet conveying device according to claim 1, characterized in that the air supply holes and the exhaust holes are each provided in multiple numbers, all of which are located inside the suction hole.

The sheet conveying device according to claim 1, wherein the suction hole includes a first suction hole and a second suction hole located outside the first suction hole.

4. The sheet conveying device according to claim 1, further comprising a control device that controls the air supply device and the suction device.

5. The sheet conveying device according to claim 1 , wherein the exhaust hole is open to the atmosphere.

A sheet conveying device according to any one of claims 1 to 5 , characterized in that the sum of the cross-sectional areas of the air supply holes when viewed in a direction perpendicular to the main surface is greater than the sum of the cross-sectional areas of the exhaust holes.

The sheet conveying device according to claim 1, wherein the suction hole has a circular shape when viewed in a direction perpendicular to the main surface.

A plurality of the suction holes are provided,
The sheet conveying device according to any one of claims 1 to 7, wherein the interval between adjacent suction holes is constant.

The sheet conveyance device according to claim 1, wherein a plurality of the air supply holes and the plurality of exhaust holes are provided.

A plurality of the suction holes are provided,
The sheet conveying device according to claim 1, wherein the plurality of suction holes are arranged line-symmetrically and point-symmetrically .

The exhaust hole is provided in plurality,
The sheet conveying device according to claim 1, wherein the plurality of exhaust holes are arranged line-symmetrically and point-symmetrically .

A plurality of the air supply holes are provided,
The sheet conveying device according to claim 1 , wherein the plurality of air supply holes are arranged line-symmetrically and point-symmetrically.