JP7121212B1 - 樹脂フィルム熱処理装置および樹脂フィルムの熱処理方法 - Google Patents

Abstract

【課題】樹脂フィルムの熱処理の低コスト化【解決手段】樹脂フィルム熱処理装置１０は、金属シートからなる無端ベルト１１と、無端ベルト１１を予め定められた走行経路に沿って走行させるベルト駆動機構１２と、無端ベルト１１の走行経路の一部を覆うように配置された加熱炉１５と、加熱炉１５の上流側において、無端ベルト１１に樹脂フィルム５１を供給し、無端ベルト１１に樹脂フィルム５１を貼り付ける樹脂フィルム貼り付け機１４と、加熱炉１５の下流側において、無端ベルト１１から樹脂フィルム５１を剥がして回収する、樹脂フィルム回収機１６とを備えている。【選択図】図１

Description

本開示は、樹脂フィルム熱処理装置および樹脂フィルムの熱処理方法に関する。

特開２００５－１０３９８９号公報には、熱可塑性液晶ポリマーフィルムの製造方法が開示されている。同公報に開示された熱可塑性液晶ポリマーフィルムの製造方法では、光学的異方性の溶融相を形成し得る熱可塑性ポリマーからなるフィルム（以下、これを熱可塑性液晶ポリマーフィルムと称する）が、シート状の支持体に接合させた状態で連続的に熱処理され、次いで熱可塑性液晶ポリマーフィルムが支持体から分離される。ここで、支持体と接合した状態の熱可塑性液晶ポリマーフィルムの熱処理を、熱可塑性液晶ポリマーフィルムの融点（Ｔｍ）－１５℃以上融点（Ｔｍ）未満の温度で５～６０秒間実施し、熱可塑性液晶ポリマーフィルムの熱膨張係数を熱処理前の熱膨張係数より高めることが開示されている。同公報では、巻き出しロールから巻き出される長尺な熱可塑性液晶ポリマーフィルムが、巻き出しロールから巻き出される金属箔からなるシート状の支持体に重ね合わされた状態で、加熱ロールに送り込まれ、熱圧着により接合されて積層体が作製されている。そして、この積層体が加熱処理装置に送り込まれて熱処理され、その後、積層体が熱可塑性液晶ポリマーフィルムと支持体に分離されていることによって、熱膨張係数が高められた熱可塑性液晶ポリマーフィルムが得られている。同公報では、また、シート状の支持体の厚さは、７～２００μｍの範囲が好ましく、７～７５μｍの範囲内がより好ましい、とされている。

特開２００５－１０３９８９号公報

ところで、熱可塑性液晶ポリマーフィルムは、単独では熱処理できず、上述のように、シート状の支持体に貼り付けて熱処理する必要があるが、シート状の支持体を用意する必要があった。

ここで開示される樹脂フィルム熱処理装置は、金属シートからなる無端ベルトと、無端ベルトを予め定められた走行経路に沿って走行させるベルト駆動機構と、無端ベルトの走行経路の一部を覆うように配置された加熱炉と、加熱炉の上流側において、無端ベルトに樹脂フィルムを供給し、無端ベルトに樹脂フィルムを貼り付ける樹脂フィルム貼り付け機と、加熱炉の下流側において、無端ベルトから樹脂フィルムを剥がして回収する、樹脂フィルム回収機とを備えている。この樹脂フィルム熱処理装置によれば、循環する無端ベルト上で、樹脂フィルムの熱処理が連続して行なわれる。無端ベルトが循環するものであり、長期間、継続して使用される。このため、樹脂フィルムの熱処理のコストが低く抑えられる。

ここで、無端ベルトは、ステンレス製であってもよい。また、熱処理の対象となる樹脂フィルムは、例えば、液晶ポリマーフィルムでありうる。樹脂フィルム貼り付け機は、無端ベルトを加熱する予熱装置を備えていてもよい。また、樹脂フィルム貼り付け機は、無端ベルトと樹脂フィルムとの上に、別のシートを重ねる機構を備えていてもよい。ここで、別のシートは、ポリイミドフィルムであってもよい。

ここで開示される樹脂フィルムの熱処理方法では、金属製の無端ベルトと、無端ベルトを予め定められた走行経路に沿って走行させるベルト駆動機構と、無端ベルトの走行経路の一部を覆うように配置された加熱炉とを有するベルト炉が用いられる。樹脂フィルムの熱処理方法は、以下の工程を含む。
加熱炉の上流側において、無端ベルトに重ねられるように樹脂フィルムが供給され、無端ベルトに樹脂フィルムが押し付けられて無端ベルトに樹脂フィルムが貼り付けられる工程；
加熱炉で無端ベルトが熱膨張するのに応じて樹脂フィルムが伸ばされつつ加熱される熱処理工程；
加熱炉の下流側において、前記無端ベルトから樹脂フィルムを剥がして回収する工程。
そして、樹脂フィルムが貼り付けられる工程と、熱処理工程と、回収する工程とに無端ベルトを循環させつつ、無端ベルトに貼り付けられた樹脂フィルムを熱処理する。

かかる熱処理方法によれば、循環する無端ベルト上で、樹脂フィルムの熱処理が連続して行なわれる。無端ベルトが循環するものであり、長期間、継続して使用される。このため、樹脂フィルムの熱処理のコストが低く抑えられる。

ここで、熱処理前の樹脂フィルムは、巻き取り軸に巻き取られた状態で用意され、巻き取り軸から引き出されて、加熱炉の上流側において、無端ベルトに重ねられるように樹脂フィルムが供給されてもよい。
また、回収する工程では、樹脂フィルムは、無端ベルトから剥がされて巻き取り軸に巻き取られてもよい。

樹脂フィルムは、熱可塑性液晶ポリマーフィルムであってもよい。無端ベルトは、ステンレス製であってもよい。無端ベルトに樹脂フィルムを貼り付ける工程では、無端ベルトに重ねられた樹脂フィルムの上に別のシートが重ねられ、当該別のシートを介して樹脂フィルムが無端ベルトに押し付けられてもよい。ここで、別のシートは、ポリイミドフィルムであってもよい。

図１は、樹脂フィルム熱処理装置１０を模式的に示す側面図である。

以下、本開示における典型的な実施形態の１つについて、図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、以下の図面においては、同じ作用を奏する部材・部位には同じ符号を付して説明している。また、各図における寸法関係（長さ、幅、厚みなど）は実際の寸法関係を反映するものではない。

《樹脂フィルム熱処理装置１０》
図１は、樹脂フィルム熱処理装置１０を模式的に示す側面図である。
ここで開示された樹脂フィルム熱処理装置１０は、無端ベルト１１と、ベルト駆動機構１２と、樹脂フィルム貼り付け機１４と、加熱炉１５と、樹脂フィルム回収機１６とを備えている。

〈無端ベルト１１〉
無端ベルト１１は、金属シートからなる。無端ベルト１１を構成する金属シートの素材の例としては、アルミニウム、銅、ステンレス、チタン、鉄、クロム鋼、ニッケルなどが挙げられる。また、樹脂フィルム、例えば、熱可塑性液晶ポリマーフィルムが貼り付けられるのに適した表面粗さを有しているとよい。ベルト駆動機構１２によって無端ベルト１１が走行しても、表面が平滑に維持されることが好ましい。また、樹脂フィルム５１の熱処理において、樹脂フィルム５１は、加熱炉１５において、無端ベルト１１の熱膨張に応じて伸長する。かかる観点で、無端ベルト１１を構成する金属シートは、適度な熱膨張率を有しているとよい。このように、無端ベルト１１に用いられる材料は、耐腐食性や耐久性や平滑性や熱処理に必要な熱膨張率が考慮されて選定されるとよい。無端ベルト１１の幅は、貼り付けられる樹脂フィルム５１よりも広いとよい。

〈ベルト駆動機構１２〉
ベルト駆動機構１２は、無端ベルト１１を予め定められた走行経路に沿って走行させる機構である。この実施形態では、ベルト駆動機構１２は、予め定められた走行経路に沿って無端ベルト１１が掛け廻された複数のプーリ１２ａ～１２ｄと、このうち１つのプーリ１２ｂを駆動させるモータ１２ｆとを備えている。ここで、図１中の矢印Ｃ１～Ｃ３は、それぞれ無端ベルト１１の順回転の方向を示している。例えば、モータ１２ｆの回転数が制御されることによって、無端ベルト１１の搬送速度が調整される。かかる観点で、モータ１２ｆには、サーボモータが用いられているとよい。

ベルト駆動機構１２は、無端ベルト１１のテンションを維持するためのテンショナーを備えていてもよい。テンショナーの構造は、特に限定されず、種々の構造が適用されうる。ベルト駆動機構１２にテンショナーを設ける位置も、樹脂フィルム５１の熱処理の邪魔にならない位置であればよく、特に限定されない。例えば、無端ベルト１１が加熱炉を通過する領域において、無端ベルト１１に適度なテンションが掛かっているとよい。この場合、無端ベルト１１が加熱炉を通過するラインにおいて、テンショナーが設けられているとよい。ここで、ベルト駆動機構１２のプーリ１２ａ～１２ｄは、適宜に軸方向の中央部が盛り上がった、いわゆるクラウンタイプが用いられうる。クラウンタイプのプーリが用いられることによって、無端ベルト１１のずれや蛇行が抑制されうる。

〈樹脂フィルム貼り付け機１４〉
樹脂フィルム貼り付け機１４は、加熱炉１５の上流側に配置されている。樹脂フィルム貼り付け機１４は、無端ベルト１１に樹脂フィルム５１を供給し、無端ベルト１１に樹脂フィルム５１を貼り付ける装置である。この実施形態では、樹脂フィルム貼り付け機１４は、樹脂フィルム５１を供給する供給部１４ａと、樹脂フィルム５１を無端ベルト１１に押し付ける貼付部１４ｂとを有する。

〈樹脂フィルム５１〉
ここで、熱処理される樹脂フィルム５１は、熱可塑性樹脂であるとよい。この実施形態では、熱処理される樹脂フィルム５１は、熱可塑性の液晶ポリマーフィルムである。液晶ポリマーフィルムは、熱可塑性液晶ポリマーは特に限定されるものではない。液晶ポリマーフィルムには、例えば、特開２００５－１０３９８９号公報に開示されているものが用いられうる。樹脂フィルム５１の種類や幅や厚さは、種々、用途やニーズに応じて定められる。例えば、熱可塑性液晶ポリマーフィルムの幅は、例えば、２００ｍｍ、３００ｍｍ、５００ｍｍなど、熱可塑性液晶ポリマーフィルムの厚さについては、１０μｍ～数１０μｍなど、用途に応じて、適宜、定められうる。

〈供給部１４ａ〉
この実施形態では、熱処理前の樹脂フィルム５１は、巻き取り軸５１ｂにロール状に巻き取られた原反５１ａの状態で用意されている。熱処理前の樹脂フィルム５１は、予め長尺の帯状のフィルムに成形されている。このような樹脂フィルム５１は、例えば、熱可塑性樹脂であり、溶融させて所定形状のダイから押し出される押し出し成形によって成形されている。供給部１４ａでは、原反５１ａから熱処理前の樹脂フィルム５１が無端ベルト１１に向けて引き出されている。

〈貼付部１４ｂ〉
貼付部１４ｂは、熱処理前の樹脂フィルム５１が無端ベルト１１に貼り付けられる部位である。貼付部１４ｂは、ローラ１４ｂ１と、一対のローラ１４ｂ２とを備えている。この実施形態では、樹脂フィルム貼り付け機１４は、予熱装置を備えている。また、樹脂フィルム貼り付け機１４は、無端ベルト１１と樹脂フィルム５１との上に、別のシート５２を重ねる機構１４ｃを備えている。

ローラ１４ｂ１は、原反５１ａから無端ベルト１１に向けて引き出された熱処理前の樹脂フィルム５１を無端ベルト１１の上に重ねるように導くローラである。熱処理前の樹脂フィルム５１は、ローラ１４ｂ１によって無端ベルト１１の表面上に重ねられる。その後、一対のローラ１４ｂ２に送られる。

一対のローラ１４ｂ２は、熱処理前の樹脂フィルム５１を無端ベルト１１に貼り付ける部材である。この実施形態では、一対のローラ１４ｂ２は、予熱装置を備えている。一対のローラ１４ｂ２が、予熱装置を備えていることによって、熱処理前の樹脂フィルム５１の表面が溶融し、無端ベルト１１に貼り付く。予熱装置は、例えば、無端ベルト１１を加熱するものであるとよい。予熱装置は、無端ベルト１１側のローラ１４ｂ２に取り付けられた電熱線で構成されていてもよい。また、無端ベルト１１側のローラ１４ｂ２が回転する際、無端ベルト１１に当たらない位置でローラ１４ｂ２に熱を加えるヒータで構成されていてもよい。また、熱処理前の樹脂フィルム５１を無端ベルト１１に貼り付ける部材は、この実施形態では、ローラ形態であり、熱処理前の樹脂フィルム５１が搬送される無端ベルト１１に対して低摩擦で連続的に押し付けられる。

〈別のシート５２を重ねる機構１４ｃ〉
ところで、無端ベルト１１に熱処理前の樹脂フィルム５１が重ねられた後、直接、一対のローラ１４ｂ２の間に通されると、樹脂フィルム５１が溶融され過ぎるなどして、ローラ１４ｂ２にくっつくことがありうる。これに対し、この実施形態では、別のシート５２を重ねる機構１４ｃが設けられている。別のシート５２を重ねる機構１４ｃは、無端ベルト１１に熱処理前の樹脂フィルム５１が重ねられた後、貼り付ける一対のローラ１４ｂ２に通される前に、別のシート５２が樹脂フィルム５１の上に供給される。これにより、樹脂フィルム５１の上にシート５２が重ねられた状態で、一対のローラ１４ｂ２に挟まれる。これにより、一対のローラ１４ｂ２に熱処理前の樹脂フィルム５１が直接当たらない。

このため、ローラ１４ｂ２に熱処理前の樹脂フィルム５１がくっつきにくく、また、樹脂フィルム５１に傷が付きにくい。かかる観点で、シート５２に用いられる材料やシート５２の厚さなどが適宜に選定されるとよい。シート５２には、例えば、ポリイミドフィルムが用いられうる。なお、クッション材のフィルムとしての別のシート５２にポリイミドフィルムを例示したが、所要の耐熱性を有するフィルムであれば、ポリイミドフィルムに代用可能である。ただし、無端ベルト１１に熱処理前の樹脂フィルム５１が重ねられた後、直接、一対のローラ１４ｂ２の間に通されても、樹脂フィルム５１がローラ１４ｂ２にくっつくような事象が生じない場合には、別のシート５２を重ねる機構１４ｃはなくてもよい。

例えば、本発明者が得た知見では、一対のローラ１４ｂ２が共に金属である場合には、ローラ１４ｂ２と樹脂フィルム５１の間に、別のシート５２としてフィルムを挟むとよい。これによって、樹脂フィルム５１が無端ベルト１１により均一にラミネートされるようになる。さらに本発明者が得た知見によれば、一対のローラ１４ｂ２のうち片方のローラ１４ｂ２を樹脂ロールとし、他方を金属に変えることでも同様な結果は得られる。この場合、別のシート５２を重ねる機構１４ｃはなくてもよい。

〈加熱炉１５〉
加熱炉１５は、無端ベルト１１の走行経路の一部を覆うように配置されている。この実施形態では、プーリ１２ａからプーリ１２ｂの間の走行経路が長い直線で構成されている。加熱炉１５は、かかる直線箇所において、無端ベルト１１を覆うようにトンネル状の炉体１５ａを有している。加熱炉１５には、かかる炉体１５ａの中にヒータ１５ｂが設置されている。

ヒータ１５ｂは、例えば、セラミックヒータや遠赤外線ヒータでもよい。また、ヒータ１５ｂは、送風機を備え、無端ベルト１１に貼り付けられて搬送される樹脂フィルム５１に熱風を吹き付けるものでもよい。また、図示は省略するが、加熱炉１５には、内部空間の雰囲気を調整するため、ガス供給口やガス排出口が設けられていてもよい。例えば、樹脂フィルム５１を、窒素のような不活性ガス雰囲気下で熱処理できる。また、加熱炉１５の内部には、断熱壁のような仕切り１５ｃがあってもよい。走行経路に対して加熱炉１５の内部の空間を仕切るように仕切り１５ｃが設けられていることによって、仕切りで区切られた空間毎に温度や雰囲気を調整できる。例えば、走行経路に沿って加熱炉１５の内部雰囲気を段階的に昇温させたり、段階的に降温させたりできる。なお、加熱炉１５の内部の温度条件は、熱処理される樹脂フィルム５１の素材や搬送速度によって適宜に定められうる。

無端ベルト１１は、加熱炉１５で加熱され、無端ベルト１１に用いられている材料の熱膨張率に従って伸びる。無端ベルト１１が伸びると、これに応じて、無端ベルト１１に貼り付けられた樹脂フィルム５１が伸びる。樹脂フィルム５１が加熱されつつ適度に伸びることによって、樹脂フィルム５１の耐熱性が向上する。かかる観点で、無端ベルト１１の熱膨張率は、熱処理前の樹脂フィルム５１よりも大きいとよい。

例えば、液晶ポリマーフィルムの熱処理では、液晶ポリマーフィルムに熱エネルギーを与えることで、共重合の微細構造がより強固な構造に変化し、フィルムの熱変形温度が高くなる。また、熱処理の温度を段階的に降温させることで、液晶ポリマーフィルムの熱変形温度を段階的に高くすることができる。樹脂フィルム熱処理装置１０は、無端ベルト１１の搬送速度や加熱炉１５内の雰囲気や温度が調整でき、当該雰囲気毎の滞在時間などが調整できる。これにより、搬送される無端ベルト１１や樹脂フィルム５１を狙い通りの温度に調整できる。さらに、樹脂フィルム熱処理装置１０では、液晶ポリマーフィルムに熱エネルギーが与えられることに加えて、液晶ポリマーフィルムが無端ベルト１１の熱膨張に従って伸ばされる。これにより、液晶ポリマーフィルムの熱膨張率が調整することができる。

液晶ポリマーフィルムは、フレキシブルな電子回路基板としての利用が図られている。上記熱処理によって、液晶ポリマーフィルムの耐熱性が向上するとともに、液晶ポリマーフィルムの熱膨張率が、金属箔からなる積層体や実装部品との熱膨張率の差が低減するように調整できる。これにより、電子回路の信頼性が向上する。熱処理の対象となる樹脂フィルム５１が液晶ポリマーフィルムである場合、液晶ポリマーフィルムの耐熱性を向上させるとの観点や熱膨張率を調整するとの観点で、無端ベルト１１に用いられる材料が選定されているとよい。かかる観点で、無端ベルト１１は、例えば、ステンレスまたはアルミニウムのベルトであることが好ましい。

〈樹脂フィルム回収機１６〉
樹脂フィルム回収機１６は、加熱炉１５の下流側において、無端ベルト１１から樹脂フィルム５１を剥がして回収する装置である。樹脂フィルム回収機１６は、一対のローラ１６ａ，１６ｂと、巻き取りローラ１６ｃとを備えている。一対のローラ１６ａ，１６ｂは、無端ベルト１１から樹脂フィルム５１が剥がされる基点となるローラである。巻き取りローラ１６ｃは、無端ベルト１１から剥がされた樹脂フィルム５１を巻き取るためのローラである。樹脂フィルム５１は、一対のローラ１６ａ，１６ｂを通過した後、無端ベルト１１から剥がされ、巻き取りローラ１６ｃで巻き取られた状態で樹脂フィルム回収機１６にセットされる。なお、無端ベルト１１の下側のローラ１６ｂがなくても剥離できる場合には、ローラ１６ｂはなくてもよい。樹脂フィルム回収機１６は、無端ベルト１１の回転に合わせて巻き取りローラ１６ｃを回転させる。ローラ１６ｃには、無端ベルト１１から剥がされた樹脂フィルム５１を巻き取る巻き取り軸６１が取り付けられているとよい。無端ベルト１１の走行に合わせて巻き取りローラ１６ｃを回転させることによって、樹脂フィルム５１が巻き取り軸６１に巻き取られる。

このように、ここで開示される樹脂フィルム熱処理装置１０によれば、無端ベルト１１を、樹脂フィルム貼り付け機１４と、加熱炉１５と、樹脂フィルム回収機１６とに順に循環させつつ、樹脂フィルム５１を熱処理することができる。この場合、無端ベルト１１を循環させつつ、連続して樹脂フィルム５１を熱処理することができる。無端ベルト１１の走行経路には、樹脂フィルム５１が回収された後、樹脂フィルム５１が貼り付けられる前に、無端ベルト１１の表面を清掃する清掃部１８を備えていてもよい。清掃部１８は、例えば、クリーナーを無端ベルト１１の表面に押し当てるものでもよい。

クリーナーとしては、例えば、不織布やスポンジのような部材が用いられてもよい。また、クリーナーとしては、ロール状の部材でもよい。クリーナーとしては、例えば、株式会社レヨーン工業製のクリーンローラーなどが用いられうる。さらに、無端ベルト１１の走行経路には、樹脂フィルム５１が回収された後、樹脂フィルム５１が貼り付けられる前に、無端ベルト１１を検査する検査装置が設けられた検査部１９を備えていてもよい。

検査部１９は、例えば、無端ベルト１１の平滑度を検査するものでよい。例えば、走行中の無端ベルト１１にメッシュ状の光を当てて、光の当たり方を観察して、無端ベルト１１の平滑度の異常を検出するものでもよい。樹脂フィルム５１に剥離しにくい材料が用いられる場合などには、無端ベルト１１の走行経路には、樹脂フィルム５１が回収された後、樹脂フィルム５１が貼り付けられる前に、剥離剤を塗布する塗布装置２０が設置されてもよい。

かかる樹脂フィルム熱処理装置１０によれば、無端ベルト１１は、樹脂フィルム貼り付け機１４と、加熱炉１５と、樹脂フィルム回収機１６とに順に循環する。そして、循環する無端ベルト１１上で、樹脂フィルム５１の熱処理が連続して行なわれる。無端ベルト１１は循環するものであり、長期間、継続して使用される。このため、樹脂フィルム５１の熱処理のコストが低く抑えられる。

このため、無端ベルト１１は所要の耐久性を備えているとよい。液晶ポリマーフィルムの熱処理では、無端ベルト１１は、加熱炉１５で熱膨張により適度に伸長するとよい。かかる観点で、無端ベルト１１に用いられる材料は、例えば、ステンレスが好ましい。このうち、液晶ポリマーフィルムの熱処理では、これに適した熱膨張率を有するステンレスが用いられうる。かかるステンレスとしては、特に限定されないが、ＳＵＳ３０４、ＳＵＳ６３２Ｊ１などが挙げられる。また、無端ベルト１１は、繰り返し、樹脂フィルム５１の熱処理に用いられるに用いられる。このため、耐久性が考慮された所要の厚さを有しているとよい。かかる観点で無端ベルト１１に用いられるステンレスの厚さは、例えば、０．３ｍｍ～１．０ｍｍ程度（例えば、０．６ｍｍなど）であるとよい。

以上、ここで開示される樹脂フィルム熱処理装置１０を説明した。樹脂フィルム熱処理装置１０は、上述のように金属製の無端ベルト１１と、無端ベルト１１を予め定められた走行経路に沿って走行させるベルト駆動機構１２と、無端ベルト１１の走行経路の一部を覆うように配置された加熱炉１５とを有している。無端ベルト１１とベルト駆動機構１２と加熱炉１５とは、いわゆるベルト炉を構成している。

樹脂フィルム熱処理装置１０によって具現化される樹脂フィルムの熱処理方法には、無端ベルト１１に樹脂フィルム５１が貼り付けられる工程Ｓ１と、熱処理工程Ｓ２と、無端ベルト１１から樹脂フィルム５１を剥がして回収する工程Ｓ３とが含まれている。

無端ベルト１１に樹脂フィルム５１が貼り付けられる工程Ｓ１は、ベルト炉の加熱炉１５の上流側において、無端ベルト１１に重ねられるように樹脂フィルム５１が供給される。そして、無端ベルト１１に樹脂フィルム５１が押し付けられることによって無端ベルト１１に樹脂フィルム５１が貼り付けられる。
熱処理工程Ｓ２では、加熱炉１５で無端ベルト１１が熱膨張するのに応じて樹脂フィルム５１が伸ばされつつ加熱される。
無端ベルト１１から樹脂フィルム５１を剥がして回収する工程Ｓ３は、加熱炉１５の下流側において実施される。
このように、ここで開示される樹脂フィルムの熱処理方法では、無端ベルト１１に樹脂フィルム５１が貼り付けられる工程と、熱処理工程と、回収する工程とに、無端ベルト１１を循環させつつ、無端ベルト１１に貼り付けられた樹脂フィルム５１を加熱炉１５に通して熱処理することができる。

かかる樹脂フィルムの熱処理方法によれば、循環する無端ベルト１１上で、樹脂フィルム５１の熱処理が連続して行なわれる。無端ベルト１１は循環するものであり、長期間、継続して使用される。このため、樹脂フィルム５１の熱処理のコストが低く抑えられる。

熱処理前の樹脂フィルム５１は、図１に示されているように、巻き取り軸５１ｂに巻き取られた状態で用意され、巻き取り軸５１ｂから引き出されて、加熱炉１５の上流側において、無端ベルト１１に重ねられるように樹脂フィルム５１が供給される。このため、帯状の樹脂フィルム５１を連続して熱処理することができる。また、回収する工程では、図１に示されているように、樹脂フィルム５１は、無端ベルト１１から剥がされて巻き取り軸６１に巻き取られるように構成されてもよい。これにより、熱処理後の樹脂フィルム５１が巻き取り軸６１に巻き取られるので、回収された樹脂フィルム５１の取り扱いが容易になる。この樹脂フィルムの熱処理方法は、熱可塑性液晶ポリマーフィルムの熱処理に好適に適用されうる。また、この場合、無端ベルト１１は、ステンレス製が好適に用いられうる。

無端ベルト１１に樹脂フィルム５１を貼り付ける工程Ｓ１では、図１に示されているように、無端ベルト１１に重ねられた樹脂フィルム５１の上に別のシート５２が重ねられ、当該別のシート５２を介して樹脂フィルム５１が無端ベルト１１に押し付けられるように構成されていてもよい。これにより、無端ベルト１１に樹脂フィルム５１が貼り付けられる際に、樹脂フィルム５１が傷つきにくい。別のシート５２は、ポリイミドフィルムでありうる。ポリイミドフィルムは、例えば、熱処理の対象となる樹脂フィルム５１が液晶ポリマーフィルムである場合に好適である。

なお、ここでは、無端ベルト１１に重ねられた樹脂フィルム５１の上に別のシート５２が重ねられているが、かかる処理は、特段、言及されない限りなくてもよい。例えば、かかる処理がなくても、樹脂フィルム５１が傷つきにくい場合や、その後の熱処理で樹脂フィルム５１の傷が解消するような場合、また、無端ベルト１１に樹脂フィルム５１を貼り付ける工程Ｓ１に起因して、樹脂フィルム５１に多少の傷がついても問題ない場合などでは、無端ベルト１１に重ねられた樹脂フィルム５１の上に別のシート５２が重ねなくてもよい。

樹脂フィルム５１は、帯状であり、ロールｔｏロールで無端ベルト１１に貼り付けられる形態を例示した。樹脂フィルム５１は、例えば、予め定められた大きさの樹脂フィルムが帯状の基材に貼り付けられており、無端ベルト１１に押し付けられ、転写されて、加熱炉に導入されてもよい。その後、加熱炉を出たところで、無端ベルト１１から剥がされてもよい。この場合、無端ベルト１１と適宜に止めて樹脂フィルムを剥がしてもよい。この場合、無端ベルト１１にスクレーパーを沿わせて、連続的に、樹脂フィルムを剥がしてもよい。また、無端ベルト１１を回転させつつ、樹脂フィルムを他の基材に転写させてもよい。このように、樹脂フィルム５１は、特に言及されない限りにおいて、帯状で、かつ、ロールｔｏロールで無端ベルト１１に貼り付けられる形態に限定されない。

以上、ここで開示される発明の詳細な説明を行ったが、これらは例示にすぎず、請求の範囲を限定するものではない。また、ここでの開示は、種々変更でき、特段の問題が生じない限りにおいて、各構成要素やここで言及された各処理は適宜に省略され、または、適宜に組み合わされうる。

１０ 樹脂フィルム熱処理装置
１１ 無端ベルト
１２ ベルト駆動機構
１２ａ-１２ｄ プーリ
１２ｆ モータ
１４ 樹脂フィルム貼り付け機
１４ａ 供給部
１４ｂ 貼付部
１４ｂ１ ローラ
１４ｂ２ ローラ
１４ｃ 別のシート５２を重ねる機構
１５ 加熱炉
１５ａ 炉体
１５ｂ ヒータ
１５ｃ 仕切り
１６ 樹脂フィルム回収機
１６ａ，１６ｂ ローラ
１６ｃ ローラ
１８ 清掃部
１９ 検査部
５１ 樹脂フィルム
５１ａ 原反
５１ｂ 巻き取り軸
５２ シート
６１ 巻き取り軸

Claims (17)

1. 金属シートからなる無端ベルトと、
   前記無端ベルトを予め定められた走行経路に沿って走行させるベルト駆動機構と、
   前記無端ベルトの走行経路の一部を覆うように配置された加熱炉と、
   前記加熱炉の上流側において、前記無端ベルトに予め用意された樹脂フィルムを供給し、かつ、押し付けることによって、前記無端ベルトに前記樹脂フィルムを直接貼り付ける樹脂フィルム貼り付け機と、
   前記加熱炉の下流側において、前記無端ベルトから樹脂フィルムを剥がして回収する、樹脂フィルム回収機と
   を備えた、
   樹脂フィルム熱処理装置。
2. 前記樹脂フィルム貼り付け機は、前記無端ベルトを加熱する予熱装置を備える、請求項１に記載された樹脂フィルム熱処理装置。
3. 金属シートからなる無端ベルトと、
   前記無端ベルトを予め定められた走行経路に沿って走行させるベルト駆動機構と、
   前記無端ベルトの走行経路の一部を覆うように配置された加熱炉と、
   前記加熱炉の上流側において、前記無端ベルトに樹脂フィルムを供給し、前記無端ベルトに前記樹脂フィルムを貼り付ける樹脂フィルム貼り付け機と、
   前記加熱炉の下流側において、前記無端ベルトから樹脂フィルムを剥がして回収する、
   樹脂フィルム回収機と
   を備え、
   前記樹脂フィルム貼り付け機は、前記無端ベルトを加熱する予熱装置を備える、
   樹脂フィルム熱処理装置。
4. 前記無端ベルトがステンレス製である、請求項１から３までの何れか一項に記載された樹脂フィルム熱処理装置。
5. 前記樹脂フィルムが液晶ポリマーフィルムである、請求項１から４までの何れか一項に記載された樹脂フィルム熱処理装置。
6. 前記樹脂フィルム貼り付け機は、
   前記無端ベルトと前記樹脂フィルムとの上に、別のシートを重ねる機構を備えた、
   請求項１から５までの何れか一項に記載された樹脂フィルム熱処理装置。
7. 前記別のシートは、ポリイミドフィルムである、請求項６に記載された樹脂フィルム熱処理装置。
8. 前記無端ベルトの走行経路には、前記樹脂フィルムが回収された後、前記樹脂フィルムが貼り付けられる前に、前記無端ベルトの表面を清掃するクリーナーが設けられた、請求項１から７までの何れか一項に記載された樹脂フィルム熱処理装置。
9. 前記無端ベルトの走行経路には、前記樹脂フィルムが回収された後、前記樹脂フィルムが貼り付けられる前に、前記無端ベルトを検査する検査装置が設けられた、請求項１から８までの何れか一項に記載された樹脂フィルム熱処理装置。
10. 前記無端ベルトの走行経路には、前記樹脂フィルムが回収された後、前記樹脂フィルムが貼り付けられる前に、前記無端ベルトに剥離剤を塗布する塗布装置が設けられた、請求項１から９までの何れか一項に記載された樹脂フィルム熱処理装置。
11. 金属製の無端ベルトと、前記無端ベルトを予め定められた走行経路に沿って走行させるベルト駆動機構と、前記無端ベルトの走行経路の一部を覆うように配置された加熱炉とを有するベルト炉が用いられ、
    樹脂フィルムを用意する工程と、
    前記加熱炉の上流側において、前記無端ベルトに重ねられるように前記樹脂フィルムが供給され、前記無端ベルトに前記樹脂フィルムが押し付けられて前記無端ベルトに前記樹脂フィルムが直接貼り付けられる工程と、
    前記加熱炉で前記無端ベルトが熱膨張するのに応じて樹脂フィルムが伸ばされつつ加熱される熱処理工程と、
    前記加熱炉の下流側において、前記無端ベルトから樹脂フィルムを剥がして回収する工程と
    を含み、
    前記樹脂フィルムが貼り付けられる工程と、前記熱処理工程と、前記回収する工程とに前記無端ベルトを循環させつつ、前記無端ベルトに貼り付けられた前記樹脂フィルムを前記加熱炉に通して熱処理する、
    樹脂フィルムの熱処理方法。
12. 熱処理前の樹脂フィルムは、巻き取り軸に巻き取られた状態で用意され、前記巻き取り軸から引き出されて、前記加熱炉の上流側において、前記無端ベルトに重ねられるように樹脂フィルムが供給される、請求項１１に記載された熱処理方法。
13. 前記回収する工程では、前記樹脂フィルムは、前記無端ベルトから剥がされて巻き取り軸に巻き取られる、請求項１１または１２に記載された熱処理方法。
14. 前記樹脂フィルムが熱可塑性液晶ポリマーフィルムである、請求項１１から１３までの何れか一項に記載された熱処理方法。
15. 前記無端ベルトが、ステンレス製である、請求項１１から１４までの何れか一項に記載された熱処理方法。
16. 前記無端ベルトに前記樹脂フィルムを貼り付ける工程では、前記無端ベルトに重ねられた前記樹脂フィルムの上に別のシートが重ねられ、当該別のシートを介して前記樹脂フィルムが前記無端ベルトに押し付けられる、請求項１１から１５までの何れか一項に記載された熱処理方法。
17. 前記別のシートが、ポリイミドフィルムである、請求項１６に記載された熱処理方法。

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