JP6868375B2 - 電解アルミニウム箔及びその製造方法 - Google Patents
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Description
(x+y)/2≦3 (1)
1≦x/y≦4 (2)
を満足することを特徴とする。
本発明のアルミニウム箔は、断面に存在する結晶粒のサイズに関し、断面の厚さ方向に測定したときの第1最大寸法をx(μm)、断面の幅方向に測定したときの第2最大寸法をy(μm)としたとき、xとyが下記式(1)及び(2)
(x+y)/2≦3 (1)
1≦x/y≦4 (2)
を満足する。なお、以下では、(x+y)/2を平均直径、x/yをアスペクト比と記す。断面に存在する結晶粒の平均直径は、好ましくは1〜3μmであり、より好ましくは、0.5〜2μmである。また、断面に存在する結晶粒のアスペクト比は、好ましくは1〜3である。アルミニウム箔の断面は、アルミニウム箔の表面における任意の箇所から内部に向かって切断することにより得られる。アルミニウム箔を、後述するドラム状の陰極を用いて連続的に回収する方法で製造した場合、切断方向は特に限定されず、陰極ドラムの回転方向と平行な方向に切断してもよく、陰極ドラムの回転方向と垂直な方向に沿って切断してもよい。例えば、集束イオンビーム装置を用いて、アルミニウム箔の表面から内部に向かって集束イオンビームを照射することにより、アルミニウム箔の断面の二次電子像を取得し、得られた二次電子像によって、アルミニウム箔の断面を解析することができる。二次電子像において、複数個の任意の結晶粒を選択し、各結晶粒について第1最大寸法と第2最大寸法を測定することにより、平均直径及びアスペクト比を算出することができる。
本発明のアルミニウム箔の製造方法は、電解槽中に電解液を供給する工程と、陰極上にアルミニウム膜を電析させる工程と、電析したアルミニウム膜を陰極から剥離してアルミニウム箔とする工程とを含む。以下、各工程について詳細に説明する。
まず、電解槽中に電解液が供給される。本発明において、電解液は、アルキルイミダゾリウムハロゲン化物とアルミニウムハロゲン化物とを含有する溶融塩、及び添加剤として1,10−フェナントロリンを含む。
本発明では、電解液の温度が50〜100℃であり、電流密度が10〜100mA/cm2であり、かつ、陰極と陽極との間に流速50〜250cm/minの不活性ガスを吹き込む条件下で行われる。これにより、陰極上にアルミニウム膜を電析させることができる。
本発明では、陽極及び陰極の形状は特に限定されず、板状の陽極と板状の陰極を用いてもよいが、アルミニウム箔を連続的に回収するには、ドラム状の陰極を用いるのが好ましい。陽極と、陽極に対向させて設けられた陰極ドラムとの間に電解液を供給し、陰極ドラムを一定速度で回転させながら、両極間に直流電流を通電することにより陰極ドラム表面上にアルミニウム膜を析出させ、析出したアルミニウム膜を陰極ドラム表面から剥離し、剥離したアルミニウム膜を回収ドラムに巻き付けることにより、アルミニウム箔を連続的に回収することができる。例えば、アルミニウム膜が所定の厚さになった後、通電を一旦停止させ、陰極ドラムを回転させることによりアルミニウム膜を剥離し、剥離したアルミニウム膜を回収ドラムに貼り付けて積層させながらアルミニウム箔を巻き取ってもよい。また、アルミニウム膜を剥離すると同時に剥離片としてアルミニウム箔を回収してもよい。
EMIC:AlCl3=1:2のモル比で混合した溶液に、表1に記載の濃度になるように1,10−フェナントロリンを添加した電解液を用意した。電解槽に電解液を入れ、電解液中に陰極のチタン製ドラム(幅100cm、直径200cm、表面粗さRa0.10μm)と、陽極の99.9%のアルミニウム板を設置した。ここで、陽極のアルミニウム板は、陰極のチタン製ドラムと電極間距離3cmとなるように対向させて配置した。この場合、陰極と陽極の間の断面積は300cm2である。電解液は、陰極と陽極の間にアルゴンガスを供給し、バブリングしながら撹拌した。例えば、流入量が15L/minの場合、流速は15000÷300=50cm/minである。表1の条件で膜厚10μmとなるまで通電し、陰極表面にアルミニウム膜を析出させた。通電終了後、チタンドラムに析出したアルミニウム膜をエタノールと純水で洗浄し、チタン製ドラムから剥離することにより、アルミニウム箔を回収した。
得られたアルミニウム箔について、算術平均高さ(Sa)、並びに、断面に存在する結晶粒のサイズを測定し、端部におけるデンドライト状の析出物の有無を確認した。また、アルミニウム箔の製造において、成膜効率及び回収率を評価した。評価結果を表1に示す。なお、比較例9では、不活性ガスを供給しなかったため、電解液中でのイオンの移動が不十分であり、所望の電流が流れず、成膜することができなかった。そのため、表1中「−」と記載した。
(1)算術平均高さ(Sa)
得られたアルミニウム箔の算術平均高さ(Sa)について、アルミニウム箔の面積100cm2あたり任意5箇所を原子間力顕微鏡(AFM)を用いて測定し、その平均値を算術平均高さ(Sa)とした。
(2)デンドライト状の析出物の有無
剥離前のアルミニウム箔を肉眼で観察して、デンドライト状の析出物があるかないかを確認した。析出物がある場合を「○」、析出物がない場合を「×」と判定した。
(3)結晶粒の平均直径及びアスペクト比
集束イオンビーム装置(日立ハイテクノロジーズ社製 SMI4050)を用い、得られたアルミニウム箔の表面から内部に向かって集束イオンビームを照射し、二次電子像を得た。二次電子像より、任意の10個以上の結晶粒について、断面の厚さ方向に測定したときの第1最大寸法x(μm)、並びに、断面の幅方向に測定したときの第2最大寸法y(μm)を測定した。xの平均値及びyの平均値を算出した後、xの平均値及びyの平均値に基づいて、(x+y)/2及びx/yを算出した。
(4)成膜速度
高精度デジタルマイクロメーター(ミツトヨ製MDH−25M)を用い、アルミニウム箔の厚さを測定した。アルミニウム箔の面積100cm2あたり任意5箇所を測定し、その平均値を膜厚とした。また、通電開始から通電終了までの時間を成膜時間として測定した。平均膜厚を成膜時間で除することにより、成膜速度を算出した。
理論収量および理論成膜速度については、ファラデーの法則に基づき、下記式で算出した。Alの原子量を26.98、イオン価数を3、ファラデー定数を96500[C・mol−1]とした。
理論収量 = (電流密度×成膜面積×成膜時間×Alの原子量)/(Alイオンの価数×ファラデー定数)
理論成膜速度 = 理論収量/(成膜面積×Alの密度×成膜時間)
成膜速度を理論成膜速度で除することにより、成膜効率を算出した。成膜効率が0.7以上である場合に、良好な成膜効率であると判定した。
(5)回収率
得られたアルミニウム箔の重量(回収量)を測定した。回収量を理論収量で除することにより、回収率を算出した。回収率が80%以上である場合に、高い回収率であると判定した。
(x+y)/2≦3 (1)
1≦x/y≦4 (2)
を満足するため、表面が平滑であり、かつ、端部にデンドライト状の析出物が存在せず、陰極からアルミニウム膜を剥離する際に、破断したり剥がれ落ちたりすることなく、高い回収率でアルミニウム箔を得ることができることが分かった。
比較例2、3では、(x+y)/2がそれぞれ、4.3、4.2であるため、端部にデンドライト状の析出物が確認された。そのため、成膜効率と回収率が劣る結果となった。
比較例4では、表面の算術平均高さが0.2μmであり、平滑性に劣っていることが分かった。また、比較例4では、電解液の温度が110℃と高いため、アルミニウム膜が不均一に形成され、成膜効率と回収率が劣る結果となった。
比較例5、6では、表面の算術平均高さがそれぞれ0.36μm、0.32μmであり、平滑性に劣っていることが分かった。また、比較例5では添加剤を添加せず、比較例6では添加剤の濃度が0.5mMと低いため、アルミニウム膜の強度が弱く、回収率が劣る結果となった。
比較例7では、表面の算術平均高さが0.16μmであり、平滑性に劣っていることが分かった。また、比較例7では添加剤の濃度が110mMと高いため、アルミニウム膜が硬く、脆くなり、回収率が劣る結果となった。
比較例8では、表面の算術平均高さが0.16μmであり、かつ、(x+y)/2が4.1であるため、平滑性に劣っており、さらに、端部にデンドライト状の析出物が確認され、回収率が劣る結果となった。
比較例10では、表面の算術平均高さが0.20μmであり、かつ、(x+y)/2が4.4であるため、平滑性に劣っており、さらに、端部にデンドライト状の析出物が確認され、成膜効率と回収率が劣る結果となった。
比較例11では、表面の算術平均高さが0.18μmであり、かつ、(x+y)/2が4.2であるため、平滑性に劣っており、さらに、端部にデンドライト状の析出物が確認された。また、不活性ガスの流速が300cm/minと速すぎたため、電析中にアルミニウム膜が陰極から剥離しやすく、成膜効率と回収率が劣る結果となった。
(x+y)/2≦3 (1)
1≦x/y≦4 (2)
を満足するため、表面が平滑であり、かつ、端部にデンドライト状の析出物のない高品質の電解アルミニウム箔である。
Claims (4)
- 表面の算術平均高さ(Sa)が0.15μm以下であり、
断面に存在する結晶粒のサイズに関し、前記断面の厚さ方向に測定したときの第1最大寸法をx(μm)、前記断面の幅方向に測定したときの第2最大寸法をy(μm)としたとき、xとyが下記式(1)及び(2)
(x+y)/2≦3 (1)
1≦x/y≦4 (2)
を満足することを特徴とする電解アルミニウム箔。 - 請求項1に記載の電解アルミニウム箔を製造する方法であって、
陰極と陽極を備える電解槽中に電解液を供給する工程と、
前記陰極上にアルミニウム膜を電析させる工程と、
電析したアルミニウム膜を前記陰極から剥離して電解アルミニウム箔とする工程とを含み、
前記電解液は、アルキルイミダゾリウムハロゲン化物とアルミニウムハロゲン化物とを含有する溶融塩、及び1,10−フェナントロリンを含み、
前記1,10−フェナントロリンの濃度は、前記電解液中1〜100mMであり、
前記電析させる工程は、
前記電解液の温度が50〜100℃であり、電流密度が10〜100mA/cm2であり、かつ、
前記陰極と前記陽極との間に流速50〜250cm/minの不活性ガスを吹き込む条件下で行われることを特徴とする電解アルミニウム箔の製造方法。 - 前記不活性ガスは、アルゴンであることを特徴する、請求項2に記載の電解アルミニウム箔の製造方法。
- 前記陰極の算術平均粗さ(Ra)が0.10〜0.40μmであることを特徴とする、請求項2又は3に記載の電解アルミニウム箔の製造方法。
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