JP6702233B2 - 付加硬化型オルガノポリシロキサン樹脂組成物、該組成物の硬化物及び該硬化物を有する半導体装置 - Google Patents
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Description
また、最近では光学素子を基板に半田付けする際に、鉛フリー半田が使用されることが多くなっている。この鉛フリー半田は、従来の半田に比べ溶融温度が高く、通常260℃以上の温度で半田付けを行う必要があるが、このような温度で半田付けを行った場合、上記のような従来の熱可塑性樹脂の封止材では変形が起こる、もしくは高温によって封止材が黄変する等の不具合が発生する。
(A)ケイ素原子に結合した炭素数2〜10のアルケニル基を1分子中に少なくとも2個有するオルガノポリシロキサン:(A)〜(D)成分の合計量に対して60〜90質量%、
(B)ケイ素原子に結合した水素原子を1分子中に少なくとも2個有するオルガノハイドロジェンポリシロキサン:(A)〜(D)成分の合計量に対して5〜40質量%、
(C)白金族金属系触媒:(A)〜(D)成分の合計量に対して白金族金属として0.00001〜0.01質量%、及び
(D)下記式(1)
Ba(OR)2 (1)
(式(1)中、Rは炭素数1〜10の1価炭化水素基又は炭素数2〜15のアシル基を示す。)
で示されるバリウム化合物:(A)〜(D)成分の合計量に対して0.001〜10.0質量%
を含むことを特徴とする付加硬化型オルガノポリシロキサン樹脂組成物。
(A)成分が、
(A1)ケイ素原子に結合した炭素数6〜10のアリール基を1分子中に1個以上有し、
ケイ素原子に結合した炭素数2〜10のアルケニル基を1分子中に2個以上有し、
JIS K 7117−1:1999記載の方法で測定した25℃での粘度が10〜100,000mPa・sである、アリール基含有のオルガノポリシロキサン:(A)成分中1〜99質量% 及び
(A2)SiO4/2単位及びR1SiO3/2単位(R1は独立に、炭素数1〜10の1価炭化水素基)の少なくとも一方を含み、
ケイ素原子に結合した炭素数2〜10のアルケニル基を1分子中に2個以上有し、
ケイ素原子に結合した水酸基を1分子中に1個以上有し、
前記水酸基の量が0.005〜1.0mol/100gである、レジン構造のオルガノポリシロキサン:(A)成分中1〜99質量%、
からなり、かつ
(B)成分が、ケイ素原子に結合した水素原子を1分子中に2個以上有し、
ケイ素原子に結合した炭素数6〜10のアリール基を1分子中に1個以上有する、オルガノハイドロジェンポリシロキサン:(A)〜(D)成分の合計量に対して5〜40質量%
であることを特徴とする<1>に記載の付加硬化型オルガノポリシロキサン樹脂組成物。
(D)成分が、ジメトキシバリウム、ジエトキシバリウム、ジイソプロポキシバリウム、ジ−n−プロポキシバリウム、ジ−n−ブトキシバリウム、ジイソブトキシバリウム、ジ−sec−ブトキシバリウム、ジ−t−ブトキシバリウム、オクタン酸バリウム、2−エチルヘキサン酸バリウムから選ばれる少なくとも1種である<1>又は<2>に記載の付加硬化型オルガノポリシロキサン樹脂組成物。
<1>〜<3>のいずれか1項に記載の付加硬化型オルガノポリシロキサン樹脂組成物の硬化物。
<4>に記載の硬化物を有する半導体装置。
本発明の(A)成分であるオルガノポリシロキサンは、直鎖状又は部分的な分岐鎖構造を有するアリール基含有オルガノポリシロキサンである(A1)成分と、レジン構造を有するオルガノポリシロキサンである(A2)成分とからなるものが好ましい。
(A1)成分はJIS K 7117−1:1999記載の方法で測定した25℃での粘度が10〜100,000mPa・sであり、好ましくは100〜50,000mPa・s、より好ましくは1,000〜30,000mPa・sである。
(A1)成分の粘度が10mPa・s以上であれば、硬化物が脆くなるおそれがなく、100,000mPa・s以下であれば、作業性が悪くなるおそれがない。
(A1)成分が有する炭素数2〜10のアルケニル基としては、ビニル基、アリル基、プロペニル基、イソプロペニル基、ブテニル基、ヘキセニル基、シクロヘキセニル基及びオクテニル基等が挙げられ、特にビニル基が好ましい。
上述したアリール基及びアルケニル基以外に、(A1)成分が有するケイ素原子に結合した基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、tert−ブチル基、ペンチル基、ネオペンチル基、ヘキシル基、シクロヘキシル基、オクチル基、ノニル基、デシル基等のアルキル基;ベンジル基、フェニルエチル基、フェニルプロピル基等のアラルキル基;これらの基の水素原子の一部又は全部をフッ素原子、臭素原子及び塩素原子等のハロゲン原子やシアノ基で置換した基、例えば、クロロメチル基、クロロプロピル基、ブロモエチル基、トリフルオロプロピル基等のハロゲン置換アルキル基やシアノエチル基等が挙げられる。これらの中でも、メチル基が好ましい。
このような組成の(A2)成分は、以下例示する各単位源となる材料を、所望のモル比となるように混合し、例えば、酸触媒若しくは塩基触媒の存在下で共加水分解縮合反応又は金属塩若しくは金属水酸化物による脱アルコキシ反応を行い縮合させることによって、合成することができる。
D単位中のR2及びM単位中のR3は、炭素数1〜10の、好ましくは炭素数1〜6の1価炭化水素基であり、具体的には、上記R1で例示したものと同様の基が挙げられる。
式中、Meはメチル基を示す。
式中、nは0〜100の整数、mは0〜100の整数を示す。Meはメチル基を示す。
(A2)成分が有するアルケニル基は、上記T単位、D単位及びM単位のいずれの単位に含まれていてもよい。
(A2)成分中のケイ素原子に結合した水酸基の量が0.005mol/100g以上であれば、バリウム化合物が不安定化しゲル化するおそれがなく、1.0mol/100g以下であれば硬化後の表面タックによる埃の吸着を招くおそれがない。
[測定条件]
展開溶媒:テトラヒドロフラン(THF)
流量:0.6mL/min
検出器:示差屈折率検出器(RI)
カラム:TSK Guardcolumn SuperH−L
TSKgel SuperH4000(6.0mmI.D.×15cm×1)
TSKgel SuperH3000(6.0mmI.D.×15cm×1)
TSKgel SuperH2000(6.0mmI.D.×15cm×2)
(いずれも東ソー社製)
カラム温度:40℃
試料注入量:20μL(濃度0.5重量%のTHF溶液)
また、(A2)成分は、(A)成分中、1〜99質量%の範囲で配合され、40〜99質量%の範囲で配合されることが好ましく、60〜98質量%の範囲で配合されることがより好ましい。
(B)成分のオルガノハイドロジェンポリシロキサンは、ケイ素原子に結合した水素原子(SiH基)を1分子中に少なくとも2個(通常、2〜200個)、好ましくは3個以上(通常、3〜100個)含有する。(B)成分は、(A)成分と反応し、架橋剤として作用する。
さらに、(B)成分のオルガノハイドロジェンポリシロキサンはケイ素原子に結合した炭素数6〜10のアリール基を1分子中に1個以上有するオルガノハイドロジェンポリシロキサンであることが好ましい。
R4 hHiSiO(4−h−i)/2 ・・・ (2)
式(2)中、R4は同一又は異種の非置換もしくは置換の炭素原子数が1〜10の1価有機基であり、h及びiは、好ましくは0.7≦h≦2.1、0.001≦i≦1.0、かつ0.8≦h+i≦3.0、より好ましくは1.0≦h≦2.0、0.01≦i≦1.0、かつ1.5≦h+i≦2.5を満足する正数である。
(C)成分の白金族金属系触媒は、本発明の組成物の付加硬化反応を促進するため配合されるものであり、白金系、パラジウム系及びロジウム系のものがある。該触媒としてはヒドロシリル化反応を促進するものとして従来公知であるいずれのものも使用することができる。コスト等の面から、白金、白金黒、塩化白金酸等の白金系のものが好ましい。白金系触媒としては、例えば、H2PtCl6・pH2O,K2PtCl6,KHPtCl6・pH2O,K2PtCl4,K2PtCl4・pH2O,PtO2・pH2O,PtCl4・pH2O,PtCl2,H2PtCl4・pH2O(ここで、pは、正の整数)等や、これらと、オレフィン等の炭化水素、アルコール又はビニル基含有オルガノポリシロキサンとの錯体等を例示することができる。これらの触媒は1種単独でも、2種以上の組み合わせでも使用することができる。
(D)成分は下記式(1)で表されるバリウム化合物である。
Ba(OR)2 (1)
上記式(1)中、Rは炭素数1〜10の1価炭化水素基又は炭素数2〜15のアシル基を示す。
バリウム化合物は、通常、縮合型シリコーン樹脂組成物の縮合触媒として用いられているが、本発明のような付加硬化型のシリコーン樹脂組成物には使用されたことはない。
Rで表される炭素数2〜15のアシル基としては、アセチル基、プロピオニル基、ブタノイル基、イソブタノイル基、tert−ブタノイル基、ヘプタノイル基、ヘキサノイル基、2−エチルブタノイル基、オクタノイル基、2−エチルヘキサノイル基、ノナノイル基、デカノイル基、ドデカノイル基、トリデカノイル基、テトラデカノイル基、ベンゾイル基、ナフトイル基等が挙げられる。
(D)成分は、1種単独で用いても2種以上を組み合わせて用いてもよい。
(D)成分の事前処理に用いられるシランカップリング剤としては以下のような化合物やそれらの縮合反応物が例示されるが、これらに限定されるものではない。
(B)成分は、(A)〜(D)成分の合計量に対して5〜40質量%の範囲で配合され、10〜35質量%の範囲で配合されることが好ましい。
(C)成分は、(A)〜(D)成分の合計量に対して白金族金属として0.00001〜0.01質量%の範囲で配合され、0.0001〜0.001質量%の範囲で配合されることが好ましい。
(D)成分は、(A)〜(D)成分の合計量に対して0.001質量%〜10.0質量%の範囲で配合され、0.002質量%〜5.0質量%の範囲で配合されることが好ましい。0.001質量%以上であれば、樹脂が劣化するおそれがなく、10質量%以下であれば、樹脂の特性が変わるおそれがない。
また、本発明の付加硬化型オルガノポリシロキサン樹脂組成物には、必要に応じて、更に(E)蛍光体を配合することができる。本発明の付加硬化型オルガノポリシロキサン樹脂組成物は耐熱耐光性に優れるため、蛍光体を含有する場合であっても、従来のように蛍光特性が著しく低下するおそれがない。
接着付与剤としては、例えば、フェニルトリメトキシシラン、トリメトキシシラン、トリエトキシシラン、メチルジメトキシシラン、ジフェニルジメトキシシラン、メチルフェニルジメトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、N−2(アミノエチル)3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−2(アミノエチル)3−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−2(アミノエチル)3−アミノプロピルトリエトキシシラン、N−フェニル−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、3−イソシアナトプロピルトリエトキシシラン、3−シアノプロピルトリエトキシシラン等や、及びそれらのオリゴマー等が挙げられる。なお、これらの接着付与剤は、1種を単独で、あるいは2種以上を組み合わせて配合することができる。また、接着付与剤は、上記の(A)及び(B)成分の合計質量に対し、0〜10質量%、特に0〜5質量%となる量で配合するのが好ましい。
硬化抑制剤は(A)成分及び(B)成分の合計100質量部当たり通常0.001〜1.0質量部、好ましくは0.005〜0.5質量部添加される。
また、本発明では、上述の本発明の付加硬化型オルガノポリシロキサン樹脂組成物の硬化物で半導体素子が封止された半導体装置を提供する。
(A1)成分として、下記式:
で示されるオルガノポリシロキサン(粘度:4,000mPa・s)を5部、
(A2)成分として、SiO4/2単位36mol%、Ph2SiO2/2単位36mol%、ViMe2SiO1/2単位28mol%から成るレジン構造のビニルフェニルメチルポリシロキサン(PVMQ;Mw=2,000、水酸基量:0.06mol/100g、アルコキシ基(メトキシ基)量:0.1mol/100g)を30部、
(B)成分として、下記式:
(D)成分としてジイソプロポキシバリウムを0.0005部((A)〜(D)成分の合計量に対して0.001質量%となる量)、及び、
(C)成分として塩化白金酸のオクチルアルコール変性溶液(白金元素含有率:2質量%)0.05部を混合し、よく撹拌して、付加硬化型オルガノポリシロキサン樹脂組成物を調製した。この組成物を150℃にて4時間加熱成形して硬化物(120mm×110mm×1mm)を作製した。該硬化物について、下記物性を測定した。
実施例1で用いた(A2)成分の代わりに、PhSiO3/2単位70mol%、MeViSiO2/2単位2mol%、ViMe2SiO1/2単位28mol%から成るレジン構造のビニルフェニルメチルポリシロキサン(Mw=1,800、水酸基量:0.05mol/100gである)を30部用いたこと以外は、実施例1と同様にして硬化物を作製した。該硬化物について、下記物性を測定した。
実施例1で用いた(D)成分の添加量を5部((A)〜(D)成分の合計量に対して10質量%)に変更したこと以外は、実施例1と同様にして硬化物を作製した。該硬化物について、下記物性を測定した。
実施例1で用いた(D)成分を2−エチルヘキサン酸バリウム0.2部((A)〜(D)成分の合計量に対して3.8質量%)に変更したこと以外は、実施例1と同様にして硬化物を作製した。該硬化物について、下記物性を測定した。
実施例1で用いた(D)成分の添加量を0.0003部((A)〜(D)成分の合計量に対して0.0006質量%)に変更したこと以外は、実施例1と同様にして硬化物を作製した。該硬化物について、下記物性を測定した。
実施例1で用いた(D)成分の添加量を7.5部((A)〜(D)成分の合計量に対して13.0質量%)に変更したこと以外は、実施例1と同様にして硬化物を作製した。該硬化物について、下記物性を測定した。
実施例1で用いた(D)成分を2−エチルヘキサン酸セリウム1部((A)〜(D)成分の合計量に対して2質量%)に変更したこと以外は、実施例1と同様にして硬化物を作製した。該硬化物について、下記物性を測定した。
実施例1で用いた(D)成分をテトラ−n−ブトキシジルコニウム1部((A)〜(D)成分の合計量に対して2質量%)に変更したこと以外は、実施例1と同様にして硬化物を作製した。該硬化物について、下記物性を測定した。
(1)屈折率
25℃における硬化物の屈折率を、JIS K0061:2001に準拠して、アッベ型屈折率計により測定した。
(2)硬さ(タイプD)
得られた組成物を150℃で4時間硬化した時の硬さを、JIS K6249:2003に準拠して、デュロメータD硬度計を用いて測定した。
(3)光透過率(耐熱性)
日立分光光度計U−4100を用いて、硬化物(厚さ1mm)の光透過率(450nm)を23℃で測定した(初期透過率)。次いで、硬化物を200℃で1,000時間熱処理した後、同様に光透過率を測定して、初期透過率に対する熱処理後の透過率の変化を求めた。
(4)表面タック性
硬化物の表面の埃の付着の有無を目視にて確認した。
(5)接着性
得られた組成物0.25gを、面積180mm2の銀板上に、銀板との接触面積が45mm2となるように塗布し、150℃で4時間硬化させた。銀板上の硬化物を、ミクロスパチュラを用いて破壊し、銀板から硬化物を剥ぎ取り、凝集破壊の部分と剥離部分との割合を観察し、硬化物が凝集破壊した部分の面積を測定し、銀板との接触面積に対する凝集破壊した部分の面積の割合を算出し、下記の判定基準に基づいて硬化物の接着性を評価した。
判定基準
○:よく接着する(凝集破壊の割合60%以上)
×:接着しない(凝集破壊の部分60%未満)
Claims (4)
- (A)
(A1)ケイ素原子に結合した炭素数6〜10のアリール基を1分子中に1個以上有し、
ケイ素原子に結合した炭素数2〜10のアルケニル基を1分子中に2個以上有し、
JIS K 7117−1:1999記載の方法で測定した25℃での粘度が10〜100,000mPa・sである、アリール基含有のオルガノポリシロキサン:(A)成分中1〜99質量% 及び
(A2)SiO 4/2 単位及びR 1 SiO 3/2 単位(R 1 は独立に、炭素数1〜10の1価炭化水素基)の少なくとも一方を含み、
ケイ素原子に結合した炭素数2〜10のアルケニル基を1分子中に2個以上有し、
ケイ素原子に結合した水酸基を1分子中に1個以上有し、
前記水酸基の量が0.005〜1.0mol/100gである、レジン構造のオルガノポリシロキサン:(A)成分中1〜99質量%、
からなるオルガノポリシロキサン
:(A)〜(D)成分の合計量に対して60〜90質量%、
(B)
ケイ素原子に結合した水素原子を1分子中に2個以上有し、ケイ素原子に結合した炭素数6〜10のアリール基を1分子中に1個以上有する、オルガノハイドロジェンポリシロキサン
:(A)〜(D)成分の合計量に対して5〜40質量%、
(C)白金族金属系触媒:(A)〜(D)成分の合計量に対して白金族金属として0.00001〜0.01質量%、及び
(D)下記式(1)
Ba(OR)2 (1)
(上記式(1)中、Rは炭素数1〜10の1価炭化水素基又は炭素数2〜15のアシル基を示す。)
で示されるバリウム化合物:(A)〜(D)成分の合計量に対して0.001〜10.0質量%
を含むことを特徴とする付加硬化型オルガノポリシロキサン樹脂組成物。 - (D)成分が、ジメトキシバリウム、ジエトキシバリウム、ジイソプロポキシバリウム、ジ−n−プロポキシバリウム、ジ−n−ブトキシバリウム、ジイソブトキシバリウム、ジ−sec−ブトキシバリウム、ジ−t−ブトキシバリウム、オクタン酸バリウム、2−エチルヘキサン酸バリウムから選ばれる少なくとも1種である請求項1に記載の付加硬化型オルガノポリシロキサン樹脂組成物。
- 請求項1又は2に記載の付加硬化型オルガノポリシロキサン樹脂組成物の硬化物。
- 請求項3に記載の硬化物を有する半導体装置。
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