JP6500683B2 - チタン基材の表面改質方法 - Google Patents
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- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 115
- 239000010936 titanium Substances 0.000 title claims description 115
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 title claims description 115
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims description 44
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 22
- 238000012986 modification Methods 0.000 title description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 title description 3
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 64
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 claims description 59
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 48
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 claims description 18
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 15
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 claims description 11
- 239000003575 carbonaceous material Substances 0.000 claims description 8
- 238000002715 modification method Methods 0.000 claims description 8
- 239000004408 titanium dioxide Substances 0.000 claims description 8
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 6
- 150000003841 chloride salts Chemical group 0.000 claims description 5
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 14
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 14
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 9
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 9
- FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M Sodium chloride Chemical compound [Na+].[Cl-] FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 6
- ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N calcium oxide Inorganic materials [Ca]=O ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 6
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 5
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- BRPQOXSCLDDYGP-UHFFFAOYSA-N calcium oxide Chemical compound [O-2].[Ca+2] BRPQOXSCLDDYGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000292 calcium oxide Substances 0.000 description 4
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 4
- PUZPDOWCWNUUKD-UHFFFAOYSA-M sodium fluoride Chemical compound [F-].[Na+] PUZPDOWCWNUUKD-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- WCUXLLCKKVVCTQ-UHFFFAOYSA-M Potassium chloride Chemical compound [Cl-].[K+] WCUXLLCKKVVCTQ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 239000011780 sodium chloride Substances 0.000 description 3
- UXVMQQNJUSDDNG-UHFFFAOYSA-L Calcium chloride Chemical compound [Cl-].[Cl-].[Ca+2] UXVMQQNJUSDDNG-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910003087 TiOx Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004833 X-ray photoelectron spectroscopy Methods 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 2
- FGIUAXJPYTZDNR-UHFFFAOYSA-N potassium nitrate Chemical compound [K+].[O-][N+]([O-])=O FGIUAXJPYTZDNR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011775 sodium fluoride Substances 0.000 description 2
- 235000013024 sodium fluoride Nutrition 0.000 description 2
- VWDWKYIASSYTQR-UHFFFAOYSA-N sodium nitrate Chemical compound [Na+].[O-][N+]([O-])=O VWDWKYIASSYTQR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 2
- HLLICFJUWSZHRJ-UHFFFAOYSA-N tioxidazole Chemical compound CCCOC1=CC=C2N=C(NC(=O)OC)SC2=C1 HLLICFJUWSZHRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IRPGOXJVTQTAAN-UHFFFAOYSA-N 2,2,3,3,3-pentafluoropropanal Chemical compound FC(F)(F)C(F)(F)C=O IRPGOXJVTQTAAN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KLZUFWVZNOTSEM-UHFFFAOYSA-K Aluminum fluoride Inorganic materials F[Al](F)F KLZUFWVZNOTSEM-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- GTKRFUAGOKINCA-UHFFFAOYSA-M chlorosilver;silver Chemical compound [Ag].[Ag]Cl GTKRFUAGOKINCA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 150000004673 fluoride salts Chemical class 0.000 description 1
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- QOSATHPSBFQAML-UHFFFAOYSA-N hydrogen peroxide;hydrate Chemical compound O.OO QOSATHPSBFQAML-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- KWGKDLIKAYFUFQ-UHFFFAOYSA-M lithium chloride Chemical compound [Li+].[Cl-] KWGKDLIKAYFUFQ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- FUJCRWPEOMXPAD-UHFFFAOYSA-N lithium oxide Chemical compound [Li+].[Li+].[O-2] FUJCRWPEOMXPAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001947 lithium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 1
- 150000002823 nitrates Chemical class 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000001103 potassium chloride Substances 0.000 description 1
- 235000011164 potassium chloride Nutrition 0.000 description 1
- 235000010333 potassium nitrate Nutrition 0.000 description 1
- 239000004323 potassium nitrate Substances 0.000 description 1
- CHWRSCGUEQEHOH-UHFFFAOYSA-N potassium oxide Chemical compound [O-2].[K+].[K+] CHWRSCGUEQEHOH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001950 potassium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000010344 sodium nitrate Nutrition 0.000 description 1
- 239000004317 sodium nitrate Substances 0.000 description 1
- KKCBUQHMOMHUOY-UHFFFAOYSA-N sodium oxide Chemical compound [O-2].[Na+].[Na+] KKCBUQHMOMHUOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001948 sodium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Chemical Treatment Of Metals (AREA)
Description
また、低次酸化チタン層を形成するための設備としては、溶融塩及びチタン基材を収容可能な耐熱性の容器、及び溶融塩を溶融状態に保持するために容器を加熱する加熱装置を具備していればよい。
まず、純チタンからなるチタン基材20の表面に低次酸化チタン層を形成する装置10の概要について説明する。なお、本実施形態においては、例えばJIS規格(JIS H 4600)によって定められた1種の純チタンを用いている。また、低次酸化チタン層とは、二酸化チタンよりも低次の酸化チタン(TiOx、0<x<2)の層である。
溶融塩14には、例えば酸化カルシウムなどの酸化剤が添加されている。
次に、実験条件をそれぞれ異ならせた3つの実施例について説明する。
実施例1の溶融塩14は、塩化カルシウム(CaCl2)、塩化カリウム(KCl)、及び塩化リチウム(LiCl)の3種類の塩化物塩をそれぞれ31:14:55のモル比で調合し、550℃で溶融させたものである。この溶融塩14には、酸化剤として酸化カルシウム(CaO)が添加されている。また、溶融塩14と酸化カルシウムとの質量比は100:1.5とされている。そして、大気中において、加熱装置16により容器12を介して加熱された溶融塩14中に、30分間にわたってチタン基材20を促進材30と共に浸漬した。
実施例2の溶融塩14は、塩化カルシウム(CaCl2)及び塩化ナトリウム(NaCl)をそれぞれ50:50のモル比で調合し、600℃で溶融させたものである。この溶融塩14には、酸化剤として酸化カルシウム(CaO)が添加されている。また、溶融塩14と酸化カルシウムとの質量比は100:1.5とされている。そして、大気中において、加熱装置16により容器12を介して加熱された溶融塩14中に、30分間にわたってチタン基材20を促進材30と共に浸漬した。
実施例3の溶融塩14及び酸化剤の種類及び量は、実施例1と同一である。また、浸漬時間も実施例1と同一である。ただし、実施例3では、チタン基材20に電源装置の陽極を接続し、促進材30に電源装置の陰極を接続し、溶融塩14中にチタン基材20及び促進材30を浸漬している間に、これらチタン基材20と促進材30との間に−1Vの電位(銀−塩化銀電極を基準として測定)を15分間にわたって印加した。
実施例1〜3においてそれぞれ30分間にわたってチタン基材20を溶融塩14中に浸漬した後、チタン基材20を容器12から取り出し、チタン基材20の洗浄を行なった。
(洗浄方法1)
チタン基材20を水洗する。
チタン基材20を水洗した後に、2規定の塩酸で酸洗する。
(洗浄方法3)
チタン基材20を水洗した後に、2規定の塩酸と2wt%の過酸化水素水との混合液で洗浄する。
洗浄方法1〜3によってそれぞれチタン基材20を洗浄した後、チタン基材20の耐食性を調べるためにアノード分極試験を行なった。
続いて、塩化ナトリウム100mg/L及びフッ化ナトリウム50mg/Lを溶かしたpH2の硫酸溶液を準備し、80℃に設定された硫酸溶液中にチタン基材20を浸漬させるとともに同チタン基材20に+1Vの電位(標準水素電極を基準として測定)を100時間にわたって印加する処理を行なった。
また比較例として、表面の改質が行なわれる前のチタン基材20に対しても、上記と同様にアノード分極試験を行なった。
発明者は、低次酸化チタン層が形成されるメカニズムを以下のように推測した。すなわち、酸化剤を含む溶融塩14中にチタン基材20を浸漬させると、チタン基材20の表面が酸化剤によって酸化されることとなる。このとき、溶融塩14中は還元雰囲気であることから、酸化剤によるチタン基材20の表面の酸化が緩和されると考えられる。その結果、チタン基材20の表面には二酸化チタンよりも低次の酸化チタンの層である低次酸化チタン層が形成される。
(1)酸化剤を含む溶融塩14中にチタン基材20を浸漬することによりチタン基材20の表面に低次酸化チタン層を形成するようにした。
また、低次酸化チタン層を形成するための設備としては、溶融塩14及びチタン基材20を収容可能な耐熱性の容器12、及び溶融塩14を溶融状態に保持するために容器12を加熱する加熱装置16を具備していればよい。
(2)溶融塩14として塩化物塩を用いるようにした。
なお、上記実施形態は、例えば以下のように変更することもできる。
・チタン基材20は、1種の純チタンからなるものに限定されない。例えばJIS規格の純チタンであれば、2種や3種や4種の純チタンであってもよい。また、本発明における純チタンは、JIS規格によって定められたものに限定されるものではない。
Claims (5)
- 純チタンからなるチタン基材の表面に、二酸化チタンよりも低次の酸化チタンの層である低次酸化チタン層を形成して前記チタン基材の表面を改質する方法であって、
酸化剤を含む溶融塩中に前記チタン基材を浸漬するとともに、アルミニウムまたは炭素材料からなり、前記低次酸化チタン層の形成を促進させる促進材を、前記溶融塩に触れて位置させることにより前記チタン基材の表面に前記低次酸化チタン層を形成する、
チタン基材の表面改質方法。 - 純チタンからなるチタン基材の表面に、二酸化チタンよりも低次の酸化チタンの層である低次酸化チタン層を形成して前記チタン基材の表面を改質する方法であって、
酸化剤を含む溶融塩中に前記チタン基材を浸漬するとともに、前記溶融塩中に、アルミニウムまたは炭素材料からなり、前記低次酸化チタン層の形成を促進させる促進材を配置することにより前記チタン基材の表面に前記低次酸化チタン層を形成する、
チタン基材の表面改質方法。 - 純チタンからなるチタン基材の表面に、二酸化チタンよりも低次の酸化チタンの層である低次酸化チタン層を形成して前記チタン基材の表面を改質する方法であって、
溶融塩中にチタン基材を浸漬するための容器が、アルミニウムまたは炭素材料からなり、前記低次酸化チタン層の形成を促進させる促進材によって形成されており、前記容器内で、酸化剤を含む溶融塩中に前記チタン基材を浸漬することにより前記チタン基材の表面に前記低次酸化チタン層を形成する、
チタン基材の表面改質方法。 - 前記溶融塩は塩化物塩である、
請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載のチタン基材の表面改質方法。 - 前記チタン基材における前記低次酸化チタン層を形成する対象の面と前記促進材とを対向させる、
請求項2に記載のチタン基材の表面改質方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015152214A JP6500683B2 (ja) | 2015-07-31 | 2015-07-31 | チタン基材の表面改質方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015152214A JP6500683B2 (ja) | 2015-07-31 | 2015-07-31 | チタン基材の表面改質方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017031466A JP2017031466A (ja) | 2017-02-09 |
JP6500683B2 true JP6500683B2 (ja) | 2019-04-17 |
Family
ID=57985579
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015152214A Expired - Fee Related JP6500683B2 (ja) | 2015-07-31 | 2015-07-31 | チタン基材の表面改質方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6500683B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11705418B2 (en) | 2019-12-27 | 2023-07-18 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Semiconductor package with conductive bump on conductive post including an intermetallic compound layer |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6878239B2 (ja) * | 2017-10-06 | 2021-05-26 | トヨタ自動車株式会社 | 燃料電池用のセパレータの製造方法 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS64279A (en) * | 1987-06-23 | 1989-01-05 | Nippon Stainless Steel Co Ltd | Method for coloring titanium and titanium alloy material |
-
2015
- 2015-07-31 JP JP2015152214A patent/JP6500683B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11705418B2 (en) | 2019-12-27 | 2023-07-18 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Semiconductor package with conductive bump on conductive post including an intermetallic compound layer |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017031466A (ja) | 2017-02-09 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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