JP5898982B2

JP5898982B2 - 研削装置

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Publication number: JP5898982B2
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Inventors: 聡山中
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Description

本発明は、複数の研削手段を備え、複数の板状ワークに研削を施す研削装置に関する。

板状ワークの研削工程では、複数の研削手段を備える研削装置によって研削が施されている。例えば、複数の研削手段を備える研削装置としては、板状ワークに粗研削を施す粗研削手段と、粗研削が施された板状ワークに仕上げ研削を施す仕上げ研削手段とを備えているものがある。そして、板状ワークに対して粗研削、仕上げ研削を順次実施し、板状ワークは所定の厚みに研削される（例えば、下記の特許文献１を参照）。

特開２０１１−１３１２９１号公報

しかしながら、上記のような研削装置において複数の板状ワークを継続して研削する際には、粗研削手段及び仕上げ研削手段を同時に作動させ並行して研削が行われるが、粗研削の方が仕上げ研削よりも板状ワークの研削量が多いため、粗研削の方が仕上げ研削よりも加工時間が長くなっている。そのため、粗研削手段の研削ホイールと仕上げ研削手段の研削ホイールとを交換するタイミングが同時になることは稀となっており、交換時期が異なることがほとんどである。それにもかかわらず、研削ホイール交換後のウォーミングアップ等を効率的に行うために、従来の研削装置においては、一つの研削手段の研削ホイールが交換時期となった時には、他の研削手段の使用可能な研削ホイールまでも同時に交換するため、極めて不経済である。また、研削ホイールの交換時期になる度に研削ホイールを交換するため、ホイール交換作業の作業頻度が多くなっている。

さらに、上記のように粗研削手段と仕上げ研削手段とでは、研削ホイールの交換するタイミングが同一となることがほとんどないため、研削ホイールの交換時に行う砥石の研削面を整えるドレッシングと、各研削手段の上下方向の動作原点を設定するセットアップと、研削装置の動作精度を維持させるためのウォーミングアップとを同時に行うことが困難となっており、作業時間が長くなり作業効率が低下してしまうという問題がある。

本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、複数の研削手段を備える研削装置において、複数の研削手段における研削ホイールの交換時期を同期させることに発明の解決すべき課題を有している。

本発明は、被加工物を保持面で保持し回転可能な保持手段と、該保持手段に保持された被加工物を研削する研削砥石が環状に配列された研削ホイールを備える研削手段と、該研削手段を該保持手段の該保持面に垂直な方向に研削送りして該保持面に接近させ、該研削砥石を該保持手段に保持された該被加工物に接触させ該被加工物の厚みを減じさせる研削送り手段と、該保持手段が複数配設され該保持手段を公転させる自転可能なターンテーブルとを備え、該ターンテーブルに配設される少なくとも３つの該保持手段のうち、少なくとも２つの該保持手段に保持されるそれぞれの被加工物について同時に研削加工を可能にする少なくとも２つの研削手段を備えるとともに、該２つの研削手段をそれぞれ研削送りする２つの研削送り手段を備える研削装置であって、該研削砥石による被加工物の加工により、該保持手段に保持される被加工物の厚みを減じさせるとともに、該研削砥石の消耗量を個々の研削手段を研削送りする個々の研削送り手段の研削送り位置に基づき個々に監視し、該研削送り手段に指定した研削ホイール交換位置に該研削送り位置が到達した時を研削ホイールの交換が必要な時期と判断する判断部と、該保持面に保持される被加工物を研削加工する毎に研削終了時の研削送り位置を記憶する記憶部と、該記憶部に記憶される複数の該研削送り位置を基に該研削ホイールの交換時期を予測する予測部と、該予測部で予測した個々の研削手段に取り付けられたそれぞれの研削ホイールの交換時期が同一時期となるよう該予測部の予測を基に該研削送り手段の研削送り量を算出する算出部と、該算出部による算出結果に基づき該２つの研削送り手段を制御してそれぞれの研削送り量を制御する制御手段と、を備える。

本発明では、研削砥石により保持手段に保持される被加工物の厚みを減じさせるとともに、研削砥石の消耗量を個々の研削手段を研削送りする個々の研削送り手段の研削送り位置で個々に監視し、研削送り手段に設定した研削ホイール交換位置に研削送り位置が到達した時を研削ホイールの交換が必要な時期と判断することができる。また、被加工物を研削加工する毎に研削送り位置を記憶し、記憶される複数の研削送り位置に基づいて研削ホイールの交換時期を予測し、交換時期を予測した複数の研削ホイールの交換時期が同一時期となるように各研削送り手段の研削送り量を算出することで、複数の研削手段に備える研削ホイールの交換時期を同期させることができる。そして、研削ホイールの交換時期を同期させることで、研削ホイールに取り付けられた砥石の研削面を整え研削性能を改善させるドレッシングと、砥石とチャックテーブルの保持面とが接触する原点位置を検出するセットアップと、研削装置の精度を維持するためのウォーミングアップとを同時に行わせることができ、作業時間の短縮が可能となる。

複数の研削手段を備える研削装置を示す斜視図である。研削ホイール交換時期を同期させるための制御手段が接続された研削装置の部分断面図である。粗研削手段及び仕上げ研削手段の研削送り量を制御する状態を示す研削装置の部分断面図である。砥石の消耗と研削送り位置との関係を模式的に示す説明図である。

図１に示す研削装置１は、粗研削手段４と仕上げ研削手段５とを備え、被加工物である板状ワークに対して粗研削及び仕上げ研削を施す研削装置である。研削装置１には、Ｙ軸方向に伸びる装置ベース２の上面に板状ワークを収容、仮置き、搬送、研削及び洗浄する各種装置がそれぞれ配設されている。以下に、研削装置１の構成について説明する。

図１に示すように、研削装置１は、板状ワークを保持し回転可能な保持手段１０と、板状ワークに粗研削を施す粗研削手段４と、粗研削手段４によって粗研削が施された板状ワークに仕上げ研削を施す仕上げ研削手段５と、粗研削手段４をＺ軸方向に研削送りする研削送り手段７と、仕上げ研削手段５をＺ軸方向に研削送りする第二の研削送り手段８と、を備えている。

図１に示すように、装置ベース２の上面には、ターンテーブル３が配設され、ターンテーブル３の上面に少なくとも３つの保持手段１０が配設されている。ターンテーブル３の中心には、ターンテーブル３を自転させるための回転軸９が配設されており、回転軸９を中心としてターンテーブル３を自転させることができる。ターンテーブル３の自転により、３つの保持手段１０を公転させ、板状ワークの着脱が行われる領域である着脱領域Ｂと、粗研削手段４及び仕上げ研削手段５による研削が行われる領域である研削領域Ｃとの間を順次移動させることができる。

図１に示すように、装置ベース２のＹ軸方向前部には、加工前の板状ワークを収容するカセット１５Ａと加工後の板状ワークを収容するカセット１５Ｂとが配設されている。カセット１５Ａ及びカセット１５Ｂの近傍には、加工前の板状ワークをカセット１５Ａから搬出するとともに加工後の板状ワークをカセット１５Ｂへ搬入する搬送ロボット１６が配設されている。

搬送ロボット１６の可動領域には、加工前の板状ワークが載置され一定の位置に位置決めされる仮置き手段１７と、加工後の板状ワークを洗浄する洗浄手段１９とが配設されている。仮置き手段１７の近傍には、仮置き手段１７に仮置きされた板状ワークを保持手段１０に搬入する搬送アーム１８Ａが配設されている。また、洗浄手段１９の近傍には、加工後の板状ワークが保持された保持手段１０から洗浄手段１９に板状ワークを搬入する搬送アーム１８Ｂが配設されている。

図２に示すように、保持手段１０は、板状ワークＷを保持するチャックテーブル１００と、チャックテーブル１００に連結された回転軸１０１とを備えている。チャックテーブル１００は、板状ワークＷを吸引保持する保持部１０２を有しており、保持部１０２の表面は、板状ワークＷが載置され保持される保持面１０３となっている。チャックテーブル１００及び回転軸１０１の中央部分には吸引孔１０４が形成されている。吸引孔１０４は、回転軸１０１の下部に連結された吸引源１０５に連通している。そして、吸引源１０５から発生する吸引力が、吸引孔１０４を通じ保持部１０２に伝達され、保持面１０３において板状ワークＷを吸引保持することができる。

図２に示すように、回転軸１０３は、ベルト１０６を介してモータ１０７に接続されており、モータ１０７の駆動により、回転軸１０３を回転させるとともにチャックテーブル１００を回転させることができる。

図１に示す研削装置１の装置ベース２のＹ軸方向後部には、コラム６Ａ及びコラム６Ｂが並列して配設されており、コラム６Ａの前側において第一の研削送り手段７を介して粗研削手段４が配設され、コラム６Ｂの前側において第二の研削送り手段８を介して仕上げ研削手段５が配設されている。

粗研削手段４は、鉛直方向の軸心を有し回転可能なスピンドル４０と、スピンドル４０を回転可能に支持するスピンドルハウジング４１と、スピンドル４０の上端に接続されスピンドル４０を回転させるモータ４２と、スピンドル４０の下端にマウンタ４３を介して装着された粗研削ホイール４４とから構成され、粗研削ホイール４４の下部には環状に固着された粗研削用の砥石４５を備えている。粗研削手段４においては、モータ４２がスピンドル４０を回転させることにより研削ホイール４４を同方向に回転させることができる。

第一の研削送り手段７は、回動可能なボールネジ７０と、ボールネジ７０の上端に接続されたサーボモータ７１と、ボールネジ７０の下端に配設されボールネジ７０を回動可能に支持する軸受け部７２と、ボールネジ７０と平行に配設された一対のガイドレール７３と、粗研削手段４をＺ軸方向に研削送りする移動基台７４とを備えている。移動基台７４の一方の面にスピンドルハウジング４１が固定され、他方の面の中央部分には、ナット構造が形成されており、当該ナット構造にボールネジ７０が螺合している。そして、サーボモータ７１の駆動により、ボールネジ７０を回動させ、移動基台７４をＺ軸方向に移動させるとともに粗研削手段４をＺ軸方向に昇降させることができる。

仕上げ研削手段５は、鉛直方向の軸心を有し回転可能なスピンドル５０と、スピンドル５０を回転可能に支持するスピンドルハウジング５１と、スピンドル５０の上端に接続されスピンドル５０を回転させるモータ５２と、スピンドル５０の下端にマウンタ５３を介して装着された仕上げ研削ホイール５４とから構成され、仕上げ研削ホイール５４の下部には環状に固着された仕上げ研削用の砥石５５を備えている。仕上げ研削手段５においては、モータ５２がスピンドル５０を回転させることにより仕上げ研削ホイール５４を同方向に回転させることができる。

第二の研削送り手段８は、回動可能なボールネジ８０と、ボールネジ８０の上端に接続されたサーボモータ８１と、下端にボールネジ８０を回動可能に支持する軸受け部８２と、
ボールネジ８０と平行に配設された一対のガイドレール８３と、仕上げ研削手段５をＺ軸方向に研削送りする移動基台８４とを備えている。移動基台８４の一方の面にスピンドルハウジング８１が固定され、他方の面の中央部分には、ナット構造が形成されており、当該ナット構造にボールネジ８０が螺合している。そして、サーボモータ８１の駆動により、ボールネジ８０を回動させ、移動基台８４を移動させるとともに仕上げ研削手段５をＺ軸方向に昇降させることができる。

図２では、共通の構造を有する粗研削手段４及び仕上げ研削手段５並びに第一の研削送り手段７及び第二の研削手段８を図示しており、第一の研削送り手段７を構成するサーボモータ７１及び第二の研削送り手段８を構成するサーボモータ８１は、制御手段１１に接続されており、粗研削手段４及び仕上げ研削手段５のＺ軸方向の位置は、制御手段１１によって制御される。また、粗研削用の砥石４５に含まれる砥粒と仕上げ研削用の砥石５５に含まれる砥粒とは粒径が異なるため、両砥石は消耗の度合いが異なり、加工時間も異なるため、粗研削ホイール４４と仕上げ研削ホイール５４とでは交換の時期が異なる。そのため、第一の研削送り手段７のサーボモータ７１及び第二の研削送り手段８のサーボモータ８１には、粗研削ホイール４４の交換時期と仕上げ研削ホイール５４の交換時期とを同期させるために、制御手段１１には、第一の研削送り手段７及び第二の研削送り手段８による粗研削手段４及び仕上げ研削手段５のＺ軸方向の研削送り量を制御する機能も有している。

制御手段１１は、第一の研削送り手段７、第二の研削送り手段８の研削送り位置Ｐ２に基づき、砥石４５、５５の消耗量をそれぞれ監視する。この研削送り位置Ｐ２は、図示の例では、ボールネジ７０、８０と移動基台７４、８４のナット構造との螺合部分である位置基準部２０の高さ位置である。

砥石４５、５５が消耗すると、砥石４５、５５の下面である研削面４５ａ、５５ａが上昇するため、これに対応して粗研削手段４及び仕上げ研削手段５の研削送り量を消耗量分だけ大きくする必要がある。一方、研削送り手段７、８にはホイール交換位置Ｐ１を指定しておく。そして、砥石４５、５５の消耗によって研削送り位置Ｐ２がホイール交換位置Ｐ１に接近していき、研削ホイール交換位置Ｐ１に研削送り位置Ｐ２が到達した時を粗研削ホイール４４及び仕上げ研削ホイールの交換が必要な時期と判断する。かかる判断は、制御手段１１に備えた判断部１１０によって行われる。

また、制御手段１１には、チャックテーブル１００の保持部１０２に保持される板状ワークＷを研削する毎にその研削終了時の研削送り位置Ｐ２を記憶する記憶部１１１と、記憶部１１１に記憶される複数の研削送り位置Ｐ２を基に粗研削ホイール４４及び仕上げ研削ホイール５４の交換時期を予測する予測部１１２と、予測部１１２で予測した粗研削ホイール４４の交換時期が図１に示す仕上げ研削ホイール５４の交換時期と同一時期となるように予測部１１２の予測を基に第一の研削送り手段７又は第二の研削送り手段８の研削送り量を算出する算出部１１３と、を備えている。

図２に示す判断部１１０は、板状ワークＷを粗研削及び仕上げ研削する際に、粗研削手段４及び仕上げ研削手段５の研削送り位置Ｐ２を個々に認識し、それぞれの研削送り位置Ｐ２がホイール交換位置Ｐ１に達するか否かを監視する。一方、記憶部１１１は、保持部１０２に保持される板状ワークＷを研削加工が終了するごとに、粗研削手段４及び仕上げ研削手段５の研削送り位置Ｐ２を記憶する。

予測部１１２は、記憶部１１１に記憶されるデータに基づき、一枚の板状ワークＷの研削で生じる砥石の消耗量の平均値を割り出し、板状ワークＷの研削枚数との関係で、研削送り位置Ｐ２がホイール交換位置Ｐ１に到達する時期を予測することができる。

算出部１１３は、予測部１１２の予測結果に基づき、粗研削ホイール４４の交換時期と仕上げ研削ホイール５４の交換時期とが同一のタイミングとなるのに必要なＺ軸方向の研削送り量を算出することができる。

以下においては、まず、研削装置１による研削工程について説明する。
図１に示す搬送ロボット１６は、カセット１５Ａから加工前の板状ワークを取り出し、仮置き手段１７に搬送する。仮置き手段１７に仮置きされた板状ワークは、搬送アーム１８Ａにより着脱領域Ｂに位置するチャックテーブル１００の保持面１０１に載置される。

図２に示すように、チャックテーブル１００の保持面１０１に板状ワークＷが載置された後、吸引源１０５から発生する吸引力が吸引孔１０４を通じて保持部１０２に伝達される。

保持部１０２に伝達された吸引力により、板状ワークＷが保持面１０３において吸引保持される。また、モータ１０７を駆動させ、ベルト１０６を介して回転力が回転軸１０１に伝達される。そして、回転軸１０１の回転によりチャックテーブル１００を矢印Ａ方向に回転させる。

図１及び図２に示すターンテーブル３は、回転軸９の回転により矢印Ａ方向に自転して板状ワークＷが保持されたチャックテーブル１００を粗研削手段４及び仕上げ研削手段５の下方に順次移動させる。

チャックテーブル１００が粗研削手段７の下方に位置づけられると、第一の研削送り手段７を作動させる。サーボモータ７１の駆動によりボールネジ７０を回動させ、粗研削手段４をＺ軸方向に所定の研削送り量で下降させる。粗研削手段４を下降させつつ、図１に示すモータ４２を駆動させ、粗研削ホイール４４を矢印Ａ方向に回転させる。

粗研削ホイール４４が回転中の板状ワークＷに接触すると、図２に示す粗研削ホイール４４の砥石４５が板状ワークＷを押圧しながら所定の厚みに至るまで粗研削する。粗研削が終了した後、回転軸９の回転によりターンテーブル３を矢印Ａ方向に自転させ、チャックテーブル３を仕上げ研削手段５の下方に移動させる。そして、粗研削がなされた板状ワークＷに対し、仕上げ研削手段５により上記の粗研削手段４と同様の動作で仕上げ研削が施される。板状ワークＷが所定の厚みに仕上げられた時点で仕上げ研削が終了する。

１枚の板状ワークＷが仕上げ研削された後、図１に示すターンテーブル３は、矢印Ａ方向に自転し、板状ワークＷを保持するチャックテーブル１００を着脱領域Ｂに移動させる。着脱領域Ｂに移動された後、搬送アーム１８Ｂは、板状ワークＷを洗浄手段１９に移動させる。そして、洗浄手段１９が作動して板状ワークＷに付着した研削屑が洗浄される。洗浄された板状ワークＷは、搬送ロボット１６によってカセット１５Ｂに収容される。

次に、板状ワークＷを研削する際に、制御手段１１によって粗研削ホイール４４及び仕上げ研削ホイール５４の交換時期を同期させるための制御手順について図３及び図４を参照しながら説明する。なお、研削装置１による板状ワークＷの研削前には、図４に示すように、セットアップと称される工程を実施してチャックテーブル１００の保持面１０３と砥石４５及び砥石５５の研削面とが接触する時の位置基準部２０の高さ位置を原点とし、そのＺ軸座標値を制御手段１１に設定しておく。また、加工前の板状ワークＷの厚みも制御手段１１に設定しておく。

図３に示すように、粗研削手段４の下方に板状ワークＷが保持されたチャックテーブル１００が位置づけられた後、第一の研削送り手段７を作動させると、ボールネジ７０の回動により粗研削手段４がＺ軸方向に下降し、粗研削手段４の研削送り位置Ｐ２もＺ軸方向に移動する。

粗研削手段４によって板状ワークＷを粗研削する際、制御手段１１による制御の下で、第一の研削送り手段７によるＺ軸方向の研削送りが制御される。研削中は、例えば図示しない高さゲージを用いて板状ワークＷの厚さを測定し、板状ワークＷが所定の厚さに形成されるまで研削送りを行うことで、砥石４５の消耗に対応して研削送り量を調整することができる。

判断部１１０は、板状ワークＷの研削中における粗研削手段４の研削送り位置Ｐ２を認識し、板状ワークＷが所定の厚さに形成された時に、研削送り位置Ｐ２がホイール交換位置Ｐ１に到達したか否かを監視する。そして、研削時に研削送り位置Ｐ２がホイール交換位置Ｐ１に到達しなかった場合は、その研削送り位置Ｐ２を記憶部１１１に記憶させる。その後、他の板状ワークを順次研削し、同様の判断及び記憶を行う。

予測部１１２では、記憶部１１１に順次記憶されていく研削送り位置Ｐ２のデータに基づき、粗研削ホイール４４の交換時期を予測する。具体的には、例えば記憶部１１１に記憶された複数のデータから１枚の板状ワークＷの研削時に生じる砥石４５の消耗量の平均値を求め、研削送り位置Ｐ２とホイール交換位置Ｐ１との間の距離をこの平均値で割ることにより、研削送り位置Ｐ２がホイール交換位置Ｐ１に達するまでの板状ワークＷの研削枚数を求める。例えば、図４に示すように、１枚目の板状ワーク研削終了時の砥石４５の厚さがＴ１でその時の研削送り位置がＰ２、２枚目の板状ワーク研削終了時の砥石４５の厚さがＴ２でその時の研削送り位置がＰ２’、３枚目の板状ワーク研削終了時の砥石４５の厚さがＴ３でその時の研削送り位置がＰ２’’＝Ｐ１である場合は、研削送り位置Ｐ２がホイール交換位置Ｐ１に達するまでの板状ワークＷの研削枚数が３枚であり、こうして求めた研削枚数だけ研削を行った時点を、研削ホイール４４の交換時期とする。

一方、粗研削手段４の粗研削と同時に、仕上げ研削手段５は、粗研削の施された板状ワークＷの仕上げ研削も同時に行うため、制御手段１１による制御の下で、第二の研削送り手段８による仕上げ研削手段５のＺ軸方向の研削送りが行われる。そして、判断部１１０は、板状ワークＷの研削中における仕上げ研削手段５の研削送り位置Ｐ２を認識し、図示しない高さゲージ等によって板状ワークＷが所定の厚さに形成されたと判断された時に、研削送り位置Ｐ２がホイール交換位置Ｐ１に到達したか否かを監視する。そして、研削時に研削送り位置Ｐ２がホイール交換位置Ｐ１に到達しなかった場合は、その研削送り位置Ｐ２を記憶部１１１に記憶させる。その後、他の板状ワークを順次研削し、同様の判断及び記憶を行う。

予測部１１２では、記憶部１１１に記憶されたデータに基づき仕上げ研削ホイール５４の交換時期を予測する。具体的には、粗研削時と同様に、例えば記憶部１１１に記憶された複数の研削送り位置のデータから１枚の板状ワークＷの研削時に生じる砥石５５の消耗量の平均値を求め、研削送り位置Ｐ２とホイール交換位置Ｐ１との間の距離をこの平均値で割ることにより、研削送り位置Ｐ２がホイール交換位置Ｐ１に達するまでの板状ワークＷの研削枚数を求める。そして、こうして求めた研削枚数だけ研削を行った時点を、研削ホイール５４の交換時期とすることができる。

算出部１１３は、予測部１１２によって予測された粗研削ホイール４４及び仕上げ研削ホイール５４の交換時期を同期させるために、粗研削手段４及び仕上げ研削手段５のＺ軸方向の研削送り量を算出する。例えば、予測部１１２によって、粗研削ホイール４４の交換時期が１０枚の板状ワークＷを継続して粗研削した時点と予測されたのに対し、仕上げ研削ホイール５４の交換時期が２０枚の板状ワークＷを継続して仕上げ研削した時点と予測された場合、そのまま継続して研削を続行すると、粗研削ホイール４４の方が交換回数が２倍になる。一方、粗研削ホイール４４の交換時に仕上げ研削ホイール５４も交換すると、あまり消耗していない仕上げ粗研削ホイール５４を廃棄することになり、不経済である。そこで、粗研削手段４のＺ軸方向の研削送り量を減らすことにより、板状ワークＷを１枚粗研削するごとの砥石４５の消耗量を減らす。

具体的には、算出部１１３は、例えば、粗研削ホイール４４の交換時期が１５枚の板状ワークＷを継続して研削した時点となるように、粗研削の研削送り量を５割減らす。一方、仕上げ研削ホイール５４の交換時期も１５枚の板状ワークＷを継続して研削した時点となるように、仕上げ研削の研削送り量を５割増やす。すなわち、粗研削ホイール４４による粗研削の研削量を減らし、その分、仕上げ研削ホイール５４による仕上げ研削の研削量を増やす。

制御手段１１では、算出部１１３の算出結果に基づき、第一の研削送り手段７及び第二の研削送り手段８を制御し、それぞれの研削送り量を制御する。このような制御により、粗研削ホイール４４の交換時期と仕上げ研削ホイール５４の交換時期とが同期する。そして、両ホイールの交換時期が同期することで、砥石４５及び砥石５５の研削面を整えて研削性能を改善させるドレッシングと、砥石４５及び砥石５５の研削面とチャックテーブル１００の保持面１０３とが接触するときの各研削手段の原点位置を検出するセットアップと、研削装置１の精度を維持させるためのウォーミングアップとを同時に行わせることができるため、作業時間の短縮が可能となる。

なお、粗研削ホイール４４の交換時期と仕上げ研削ホイール５４の交換時期とが完全に合致しなくても、例えば粗研削ホイールを３回交換するごとに仕上げ研削ホイールを１回交換するなど、何回かに１回のタイミングで交換時期が同期するようにしてもよい。

また、上記実施形態では、粗研削手段と仕上げ研削手段とを有する研削装置を例に挙げ手説明したが、研削手段は３つ以上ある場合もあり、また、同一の機能を有する研削手段を複数備えている場合もある。

１：研削装置
２：装置ベース
３：ターンテーブル
４：粗研削手段４０：スピンドル４１：スピンドルハウジング
４２：モータ４３：マウント４４：粗研削ホイール４５：砥石
５：仕上げ研削手段５０：スピンドル５１：スピンドルハウジング５２：モータ５３：マウント５４：仕上げ研削ホイール５５：砥石
６Ａ，６Ｂ：コラム
７：第一の研削送り手段７０：ボールネジ７１：サーボモータ７２：軸受け部
７３：ガイドレール７４：移動基台
８：第二の研削送り手段８０：ボールネジ８１：サーボモータ８２：軸受け部
８３：ガイドレール８４：移動基台
９：回転軸
１０：保持手段１００：チャックテーブル１０１：保持面１０２：保持部
１０３：回転軸１０４：吸引孔１０５：吸引源１０６：ベルト１０７：モータ
１１：制御手段１１０：判断部１１１：記憶部１１２：予測部１１３：算出部
１５Ａ，１５Ｂ：カセット
１６：搬送ロボット
１７：仮置き手段
１８Ａ：搬送アーム１８Ａ搬送アーム
１９：洗浄手段
２０：位置検出器

Claims

被加工物を保持面で保持し回転可能な保持手段と、該保持手段に保持された被加工物を研削する研削砥石が環状に配列された研削ホイールを備える研削手段と、該研削手段を該保持手段の該保持面に垂直な方向に研削送りして該保持面に接近させ、該研削砥石を該保持手段に保持された該被加工物に接触させ該被加工物の厚みを減じさせる研削送り手段と、該保持手段が複数配設され該保持手段を公転させる自転可能なターンテーブルとを備え、該ターンテーブルに配設される少なくとも３つの該保持手段のうち、少なくとも２つの該保持手段に保持されるそれぞれの被加工物について同時に研削加工を可能にする少なくとも２つの研削手段を備えるとともに、該２つの研削手段をそれぞれ研削送りする２つの研削送り手段を備える研削装置であって、
該研削砥石による被加工物の研削により、該保持手段に保持される被加工物の厚みを減じさせるとともに、該研削砥石の消耗量を個々の研削手段を研削送りする個々の研削送り手段の研削送り位置に基づき個々に監視し、該研削送り手段に指定した研削ホイール交換位置に該研削送り位置が到達した時を研削ホイールの交換が必要な時期と判断する判断部と、
該保持面に保持される被加工物を研削加工する毎に研削終了時の研削送り位置を記憶する記憶部と、
該記憶部に記憶される複数の該研削送り位置を基に該研削ホイールの交換時期を予測する予測部と、
該予測部で予測した個々の研削手段に取り付けられたそれぞれの研削ホイールの交換時期が同一時期となるよう該予測部の予測を基に該研削送り手段の研削送り量を算出する算出部と、
該算出部による算出結果に基づき該２つの研削送り手段を制御してそれぞれの研削送り量を制御する制御手段と、
を備える研削装置。