JP4582894B2 - 光学的立体造形装置及び造形方法 - Google Patents
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【発明の属する技術分野】
本発明は、1層分の光硬化性樹脂に光ビームを照射して光硬化層を形成し、これを多層に亘って順次繰り返して光学的に立体造形する光学的立体造形装置及び造形方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、光硬化性樹脂に光ビームを照射して所望パターンの1層分の光硬化層を形成し、これを多層に亘って順次繰り返して光学的に立体造形する光学的立体造形装置が知られている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
この種のものでは、1本のレーザ光を平面方向(X−Y方向)にスキャンさせて光硬化させるため、たとえば、製造すべき造形物が大型である場合、造形に時間がかかると共に、得られる立体造形物に反りや歪み等を生じやすく、寸法精度が低下するという問題がある。
【0004】
そこで、本発明の目的は、上述した従来の技術が有する課題を解消し、光造形に要する時間を短縮し、得られる立体造形物に生じる反りや歪み等を抑制し、光造形の寸法精度を向上させることができる光学的立体造形装置及び造形方法を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】
請求項1記載の発明は、光硬化性樹脂組成物の表面に複数の光ビームを照射して所望パターンの1層分の光硬化層を形成し、これを多層に亘って順次繰り返して光学的に立体造形する光学的立体造形装置において、上記パターンを複数のエリアに分割し、夫々のエリアに対して担当する光ビームを割り当てる制御手段を有し、いずれかのエリアを担当する光ビームによる照射が完了した場合、この光ビームをほかのエリアに振り向けることを特徴とする。
【0007】
請求項2記載の発明は、請求項1記載のものにおいて、上記パターンを任意設定した分割線に従い複数のエリアに分割することを特徴とする。
【0009】
請求項3記載の発明は、請求項1又は2に項記載のものにおいて、複数の光ビームが別の光源からの光ビームであることを特徴とする。
【0010】
請求項4記載の発明は、光硬化性樹脂組成物の表面に複数の光ビームを照射して所望パターンの1層分の光硬化層を形成し、これを多層に亘って順次繰り返して光学的に立体造形する光学的立体造形方法において、上記パターンを複数のエリアに分割し、夫々のエリアに対して担当する光ビームを割り当てる段階、及び、いずれかのエリアを担当する光ビームによる照射が完了した場合、この光ビームをほかのエリアに振り向ける段階を有したことを特徴とする。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を添付図面を参照して説明する。
【0012】
図1において、10A,10Bはそれぞれ光ビーム発生装置(たとえば、レーザ)を示している。本実施形態では、光ビーム発生装置(光源)10が2つ備えられ、それぞれ光ビーム12A,12Bを発生する。本発明の目的が高速で立体的な物体11を製作することにあるので、本発明の装置は高出力レーザのような比較的高出力の光ビーム発生装置10を利用すると好ましい。この高出力レーザは可視領域、赤外線領域あるいは紫外線領域にある主要帯域を持ち得る。ここで、高出力とは、20mWより大きい出力と考えており、好ましくは、光ビーム12の強さから測定して100mWを超える出力である。これは現在の光硬化性組成物の感度に合わせてある。しかしながら、もっと速い組成物を利用できるようになった場合には、ビーム強さについての20mW、100mWの値はそれに応じて低くなることになる。これは組成物の感度と光ビームの強さが同じ結果を得るには互いに反比例の関係を持つからである。或る種のレーザの選択は、光硬化性組成物の感度がレーザ放射線の波長をうまく一致するように光硬化性組成物の選択と一緒に考えなければならない。
【0013】
他の種類の光ビーム発生装置も、そのエネルギ形式が光硬化性組成物の感度と一致し、ビームが発生し、取り扱いについて最適な状態が周知の確立した方法によって観察されるかぎり、利用できる。たとえば、電子ビーム、X線等も利用できる。ビーム横断面形状を任意所望の形状に偏向する手段を設けてもよいが、普通の形状としては円形であり、ビームの強さの分布はガウス分布であり、最高点は円形の中心にある。
【0014】
光ビーム12A,12Bは変調器14A,14Bを通り、この変調器14は音響光学変調器であると好ましい。変調された光ビーム12A’,12B’は、次に偏向手段16A,16Bを通る。
【0015】
この偏向手段16はそれぞれ2つのミラー20A,20B、22A,22Bを包含し、各ミラーはX方向、Y方向において面46に対してビームを反射させ得る軸(図示せず)を有する。ここで、X方向、Y方向とは互いに直角でありかつ樹脂液面46に対して平行である。
【0016】
ミラー20、22はモータ24A,24B、26A,26Bによってそれぞれ対応する軸線まわりに回転して、それぞれ、X、Y方向において容器44に入っている液状光硬化性組成物40の所定の位置に向ってベクトル走査モードでビームを制御しながら偏向させるようになっている。
【0017】
光ビーム12’が偏向手段16によって偏向されると、この光ビーム12A”,12B”はゼロ・レベルから最高値までの加速度と、ゼロ・レベルから最高の一定値までの速度を持つ。ビームの速度および強さは互いに比例したままであり、その結果、露光がほぼ一定に留まる。ビームはほぼ一定の光硬化深度まで組成物の所定部分の光硬化を生じさせる。
【0018】
光硬化深度は、走査方向に対して直角の横断面で測って、面46と光硬化した薄い層の対向側面の間の最大厚さすなわちピーク厚さとして定義される。なお、各個々の光硬化層あるいはその一部の厚さは或る走査線上のポイント毎に異なる可能性がある。
【0019】
容器44内には、可動テーブル41とエレベータ・モータ42のような設定手段が設けてあり、このエレベータ・モータ42は可動テーブル41に動きを与えて容器44内で可動テーブルの位置を精密に制御する。
【0020】
テーブル41の動きは並進運動、回転運動、無作為運動あるいはそれらの組合わせのいずれであってもよい。ドクタ・ナイフ43のような層形成手段が容器44内でテーブル41の上方に設置してあり、これは液状光硬化性組成物の重なった薄い層を形成する。
【0021】
また、第1コンピュータ制御手段30と第2コンピュータ制御手段34とが設けられている。第1コンピュータ制御手段30は、制御/フイードバック・ライン52A,52B、60、62、58のそれぞれを介して光ビーム発生装置10A,10B、設定手段42、層形成手段43および第2コンピュータ制御手段34と接続されている。
【0022】
この第2コンピュータ制御手段34は、ライン58を介しての第1コンピュータ制御手段30との接続に加えて、制御/フイードバック・ライン50A,50B、54A,54Bのそれぞれを介して変調器14A,14Bと偏向手段16A,16Bとにも接続されている。存在の明らかな補助的な装置類は簡略化のために示していない。
【0023】
次に、動作の概略を説明する。
【0024】
第1コンピュータ制御手段30から制御/フイードバック・ライン60、62を通じて1層分の層形成信号が出力されると、設定手段42により1層分だけテーブル41が降下し、層形成手段43によりテーブル41上に光硬化性樹脂組成物の1つの層が形成される。
【0025】
また、制御/フイードバック・ライン52A,52Bを介して2つの光ビーム発生装置10A,10Bが駆動され、それぞれ光ビーム12A,12Bが発射される。更に、制御/フイードバック・ライン50A,50B、54A,54Bを介して変調器14A,14Bと偏向手段16A,16Bが制御され、最終的に偏向された2つの光ビーム12A”,12B”が、テーブル41(または硬化済みの光硬化層)上の液状光硬化性樹脂組成物に照射される。
【0026】
この照射によって所望パターンの1層分の光硬化層が形成される。そして、この操作を多層に亘って順次繰り返すことにより、テーブル41上に光学的に立体的な所望の物体11が製作される。
【0027】
図2は1層分の所望パターンを示している。
【0028】
このパターン100は、4つのモデル1〜モデル4を含んでいる。このモデル1〜モデル4は、テーブル41上の液状光硬化性樹脂組成物に光ビーム12A”,12B”を照射することにより得られる。
【0029】
本実施形態では、上記パターン100が任意設定した分割線L1に従い2つのエリア100A,100Bに予め分割される。
【0030】
そして、一方のエリア100Aの照射を、たとえば光ビーム12A”が分担し、他方のエリア100Bの照射を、残りの光ビーム12B”が分担するように、夫々のエリアに対して担当する光ビームが割り当てられる。この割り当て制御はコンピュータ30,34が司っている。
【0031】
これによると、一方のエリア100Aに属するモデル1とモデル2は、光ビーム12A”の照射により形成され、他方のエリア100Bに属するモデル3とモデル4は、光ビーム12B”の照射により形成される。
【0032】
すなわち、一方のエリア100Aでは、偏向手段16Aによって光ビーム12A”を、たとえば分割線L1と平行にスキャンさせながら液状光硬化性樹脂組成物に照射して、モデル1とモデル2とを光硬化させる。
【0033】
また、他方のエリア100Bでは、偏向手段16Bによって光ビーム12B”を、たとえば分割線L1と平行にスキャンさせながら液状光硬化性樹脂組成物に照射して、モデル3とモデル4とを光硬化させる。
【0034】
これによれば、1層の液状光硬化性樹脂組成物を光硬化させる場合、パターン100を2つのエリア100A,100Bに予め分割し、それぞれのエリアを2つの光ビーム12A”,12B”に分担させるため、1本の光ビームで光硬化させる場合と比べ、硬化時間が短縮される。従って、得られる立体造形物に生じる反りや歪み等を抑制し、光造形の寸法精度を向上させることができる。また、分割線L1が設定され、光ビームの分担領域が予め設定されるため、本システムの制御を簡単に実行することができる。
【0035】
図3は大物モデル5を2つの光ビーム12A”,12B”で光硬化させる状態を示している。この場合、上記と同様に、分割線L2が設定され、これによって区切られた2つのエリア100A,100Bを、2つの光ビーム12A”,12B”にそれぞれ分担させる。これによっても、硬化時間の短縮、制御の容易性等、上記のものと同様の効果が得られる。
【0036】
図4では、光ビーム12A”,12B”の分担領域が設定されず、光ビーム12A”,12B”がパターン100の全域をそれぞれ担当する。すなわち、1層の液状光硬化性樹脂組成物は、2回に亘って光硬化される。ただし、1回あたりの光量は略1/2に設定される。
【0037】
たとえば、一方の光ビーム12A”は、X方向にスキャンしてパターン100の全域に照射され、他方の光ビーム12B”は、Y方向にスキャンしてパターン100の全域に照射される。
【0038】
図5では、1層の液状光硬化性樹脂組成物を光硬化させる場合、1層毎にその都度、下記方式による演算によって分割線L3が設定される。この演算は上記コンピュータ30,34が司る。すなわち、上記担当する光ビーム12A”,12B”の描画面積が夫々のエリア間で互いに略等しくなるように、1層毎にその都度分割線L3が設定され、これによってパターン100が複数のエリア100A,100Bに分割される。
【0039】
具体的には、モデル11、12およびモデル13の一部13Aの合計描画面積と、モデル14、15およびモデル13の他部13Bの合計描画面積とが等しくなるように分割線L3が設定される。
【0040】
これによれば、2つの光ビーム12A”,12B”の担当面積が常に等しくなるため、描画時間が略50%に短縮される。
【0041】
図7は上記演算の処理フローを示す。
【0042】
まず、描画パスデータを描画時間で除し(S1−1)、1層内のモデル11〜15の面積計算が終了した場合(S1)、それに要する総描画時間が算出され(S2)、各モデル11〜15を描画時間を基準にして時間順に整理する(S3)。ついで、光ビーム12A”,12B”の描画時間を初期化した後(S4)、各モデル11〜15を例えば一旦光ビーム12B”の描画リストに登録する(S5)。
【0043】
つぎに、光ビーム12A”の描画時間を算出する(S6)。この算出は(光ビーム12A”の描画時間+モデルiの描画時間)に従い算出される。最初の算出では光ビーム12A”の描画時間は0時間であるから、S3で整理されたモデル11の描画時間だけである。
【0044】
この描画時間を光ビーム12A”の描画リストに登録し(S7)、この登録した描画時間と(総描画時間/2)との時間差を算出する(S8)。ついで、この差が最小であるか否かが判定される(S9)。この差が最小であれば、モデル11を光ビーム12A”の分担として記憶する(S10)。
【0045】
1層内のモデル11〜15の記憶が完了したか否かが判定され(S11)、完了していなければ、次モデルを対象とし、モデルi=モデルi+1として(S11−1)、S6に戻った後、既に登録されたモデル11の描画時間にモデル12の描画時間を加算して、これを繰り返す。
【0046】
なお、S9で、時間差が最小でない場合、光ビーム12A”の描画時間からモデルiの描画時間を減算し(S12)、そのモデルiを、S10で記憶した光ビーム12A”の分担リストから削除する(S13)。
【0047】
S11で、1層内のモデル11〜15の記憶が完了した場合、光ビーム12A”,12B”の分担リストを作成する(S14)。
【0048】
ところが、上記実施形態では、たとえば光学系に塵が付着したりすると、そのコンディションが変化して、塵の付着した側の光ビーム12A”,12B”のパワーが落ちることになる。この場合、2つの光ビーム12A”,12B”の分担が平等に設定されていたとしても、パワーの落ちた光ビーム12A”,12B”の側では硬化に時間的な遅れが発生する。
【0049】
すなわち、図6に示すように、各ステップS1〜S14に従い、分割線L3が設定されている場合、たとえば、一方の光ビーム12A”のパワーが落ちると、モデル11の光硬化に長時間を要する。
【0050】
この場合、他方の光ビーム12B”がモデル14、15およびモデル13の他部13Bの光硬化を完了していれば、光ビーム12A”側の光硬化に関する時間遅れを解消するため、この他方の光ビーム12B”にモデル13の一部13Aおよびモデル12の光硬化を分担させる。L4は自動支援後の分割線である。この分担支援制御はコンピュータ30,34が司る。
【0051】
図8は分担支援制御の処理フローを示す。
【0052】
図7のS14で作成された分担リストに基づいて、図8に示すように、モデル分割が行われる(S15)。ついで、光ビーム12A”,12B”の分担の時間差が許容値よりも大きいか否かが判断され(S16)、それが大きい場合、時間のかかる光ビーム光ビーム12A”に割り当てられたモデルの内、描画時間が最大のモデルが検索される(S17)。
【0053】
そして、検索されたモデルの描画データから描画時間量の1/2分が分割され(S18)、この分割したデータがもう一方の光ビーム12B”の登録リストに加えられ(S19)、分担終了する。
【0054】
図5にて、モデル13の光硬化はその一部13Aを光ビーム12A”が分担し、他部13Bを光ビーム12B”が分担している。この場合、一部13Aと他部13Bの境界で、2つの光ビーム12A”,12B”が重なり合うことにより、光硬化に不都合が発生する恐れがある。そこで、分割線L3が同一モデルにかかった場合、たとえばいずれか多く分担する方の光ビーム(図5の場合、光ビーム12B”)にその全てを分担させてもよい。
【0055】
以上、一実施形態に基づいて本発明を説明したが、本発明は、これに限定されるものでないことは明らかである。
【0056】
たとえば、上記説明では、2つの光ビームを用いて説明したが、これに限定されず、それ以上の数の光ビームを用いて光硬化させてもよい。この場合、それと同数以上のエリアに分割し、それぞれのエリアを各光ビームに分担させて光硬化させる。また、上記説明では、2つの光源を用いたが、1つの光源からの光ビームを複数の光ビームに分光してもよい。
【0057】
【発明の効果】
本発明によれば、光造形に要する時間を短縮することができる。従って、得られる立体造形物に生じる反りや歪み等を抑制し、光造形の寸法精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による光学的立体造形装置の一実施形態を示す図である。
【図2】光ビームによる分担を示す図である。
【図3】光ビームによる分担を示す図である。
【図4】光ビームによる分担を示す図である。
【図5】光ビームによる分担を示す図である。
【図6】光ビームによる分担を示す図である。
【図7】分担演算の処理を示すフローチャートである。
【図8】分担演算の処理を示すフローチャートである。
【符号の説明】
10A,10B 光ビーム発生装置
12A,12B 光ビーム
12A”,12B” 光ビーム
14A,14B 変調器
16A,16B 偏向手段
30 第1コンピュータ制御手段
34 第2コンピュータ制御手段
41 可動テーブル
44 容器
100 パターン
100A,100B エリア
Claims (4)
- 光硬化性樹脂組成物の表面に複数の光ビームを照射して所望パターンの1層分の光硬化層を形成し、これを多層に亘って順次繰り返して光学的に立体造形する光学的立体造形装置において、
上記パターンを複数のエリアに分割し、
夫々のエリアに対して担当する光ビームを割り当てる制御手段を有し、
いずれかのエリアを担当する光ビームによる照射が完了した場合、この光ビームをほかのエリアに振り向けることを特徴とする光学的立体造形装置。 - 上記パターンを任意設定した分割線に従い複数のエリアに分割することを特徴とする請求項1記載の光学的立体造形装置。
- 複数の光ビームが別の光源からの光ビームであることを特徴とする請求項1又は2に記載の光学的立体造形装置。
- 光硬化性樹脂組成物の表面に複数の光ビームを照射して所望パターンの1層分の光硬化層を形成し、これを多層に亘って順次繰り返して光学的に立体造形する光学的立体造形方法において、
上記パターンを複数のエリアに分割し、
夫々のエリアに対して担当する光ビームを割り当てる段階、及び、
いずれかのエリアを担当する光ビームによる照射が完了した場合、この光ビームをほかのエリアに振り向ける段階を有したことを特徴とする光学的立体造形方法。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023041597A1 (en) * | 2021-09-14 | 2023-03-23 | Turbo Systems Switzerland Ltd. | Adaptive scan area assignment for additive manufacturing |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4916392B2 (ja) * | 2007-06-26 | 2012-04-11 | パナソニック株式会社 | 三次元形状造形物の製造方法及び製造装置 |
GB0816308D0 (en) | 2008-09-05 | 2008-10-15 | Mtt Technologies Ltd | Optical module |
GB201310398D0 (en) | 2013-06-11 | 2013-07-24 | Renishaw Plc | Additive manufacturing apparatus and method |
CN105492188B (zh) | 2013-06-10 | 2018-09-11 | 瑞尼斯豪公司 | 选择性激光固化设备和方法 |
EP2875897B1 (en) | 2013-11-21 | 2016-01-20 | SLM Solutions Group AG | Method of and device for controlling an irradiation system for producing a three-dimensional workpiece |
EP2878409B2 (en) | 2013-11-27 | 2022-12-21 | SLM Solutions Group AG | Method of and device for controlling an irradiation system |
DE102014016679A1 (de) | 2014-11-12 | 2016-05-12 | Cl Schutzrechtsverwaltungs Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Belichtungssteuerung einer selektiven Lasersinter- oder Laserschmelzvorrichtung |
CN111215629B (zh) * | 2014-11-24 | 2022-02-01 | 添加剂工业有限公司 | 用于通过增材制造生产物品的设备和校准设备的方法 |
WO2017085470A1 (en) | 2015-11-16 | 2017-05-26 | Renishaw Plc | Module for additive manufacturing apparatus and method |
JP6234596B1 (ja) | 2016-05-31 | 2017-11-22 | 技術研究組合次世代3D積層造形技術総合開発機構 | 3次元積層造形システム、3次元積層造形方法、積層造形制御装置およびその制御方法と制御プログラム |
DE102016222261A1 (de) | 2016-11-14 | 2018-05-17 | Trumpf Laser- Und Systemtechnik Gmbh | Verfahren zur schichtweisen additiven Fertigung von Bauteilen und zugehöriges Computerprogrammprodukt |
EP3474199B1 (en) * | 2017-10-20 | 2021-05-05 | CL Schutzrechtsverwaltungs GmbH | Method for operating an apparatus for additively manufacturing of three-dimensional objects |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04113828A (ja) * | 1990-09-04 | 1992-04-15 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 大型立体樹脂モデルの製造方法及びその装置 |
JPH07501998A (ja) * | 1993-01-28 | 1995-03-02 | イーオーエス ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング イレクトロ オプティカル システムズ | 3次元物体の製造方法及び装置 |
JPH08238678A (ja) * | 1994-11-11 | 1996-09-17 | Asahi Optical Co Ltd | 光造形装置 |
JPH115254A (ja) * | 1997-04-25 | 1999-01-12 | Toyota Motor Corp | 積層造形方法 |
JP2000263650A (ja) * | 1999-03-16 | 2000-09-26 | Hitachi Ltd | 光造形装置 |
-
2000
- 2000-11-16 JP JP2000349096A patent/JP4582894B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04113828A (ja) * | 1990-09-04 | 1992-04-15 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 大型立体樹脂モデルの製造方法及びその装置 |
JPH07501998A (ja) * | 1993-01-28 | 1995-03-02 | イーオーエス ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング イレクトロ オプティカル システムズ | 3次元物体の製造方法及び装置 |
JPH08238678A (ja) * | 1994-11-11 | 1996-09-17 | Asahi Optical Co Ltd | 光造形装置 |
JPH115254A (ja) * | 1997-04-25 | 1999-01-12 | Toyota Motor Corp | 積層造形方法 |
JP2000263650A (ja) * | 1999-03-16 | 2000-09-26 | Hitachi Ltd | 光造形装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023041597A1 (en) * | 2021-09-14 | 2023-03-23 | Turbo Systems Switzerland Ltd. | Adaptive scan area assignment for additive manufacturing |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002144437A (ja) | 2002-05-21 |
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