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JP3576350B2 - 弾性表面波フィルタ - Google Patents

弾性表面波フィルタ Download PDF

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、自動車電話器、携帯電話器、通信機器等の種々の回路に用いられる共振器型の弾性表面波(Surface Acoustic Wave 、以下「SAW」という)フィルタ、特にこの共振器型のSAWフィルタの伝送特性改善に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
一般的にSAW装置は、SAWを励振するためのすだれ状トランスデューサ(Interdigital Transducer 、以下「IDT」という)を有し、このIDTを加工することによってSAW装置にいろいろな特性や機能を持たせることができる。従来、SAW装置といえば主にSAWフィルタを指すことが多く、そしてこのSAWフィルタの中では多電極型SAWフィルタが主役である。近年、多電極型SAWフィルタの他に、共振器型SAWフィルタの研究開発も盛んになり、SAWフィルタと言えば必ずしも多電極型SAWフィルタを意味しなくなってきた。 共振器型SAWフィルタは、古典的な電気フィルタの設計方法に基づき、SAW共振子を用いて構成されるフィルタである。SAW共振子の本体はIDTであり、場合によってはこのIDTの左右に反射器を設け、これらのIDT及び反射器が圧電基板上に形成される。反射器もIDTと同様にすだれ状電極指で構成され、全電極指が電気的に短絡される場合もあれば、解放される場合もある。反射器は、主にIDTの励振したSAWが該IDTの左右に漏洩するので、これを音響的に反射するための装置である。反射器の構成にはいろいろあるが、基本的には2種類あり、全電極指が電気的に短絡されたものと、解放されたものとがあり、これらはSAW共振子の特性への影響がほとんど同じである。
【0003】
SAW共振子のインピーダンス特性は、LC共振器のインピーダンス特性に極めて類似しているため、従来の古典的な電気フィルタの設計方法が適用できる。図5は、従来のSAW共振子の一構成例を示す平面図である。
図5のSAW共振子10は、例えばLiTaO、LiNbO、水晶等のような圧電基板11を有し、この圧電基板11上に、入力端子12、出力端子13、及び複数本の電極指14aを有するIDT14が形成されると共に、このIDT14の両側に反射器15−1,15−2が形成されている。反射器15−1,15−2は、これを必要としない場合には除去される。
図6(a)〜(c)は図5に示されたSAW共振用反射器の平面図であり、同図(a)は略図、同図(b)は短絡型、及び同図(c)は解放型の構成例である。
【0004】
反射器15−1,15−2には一般的に、全電極指15aが電気的に短絡された状態の短絡型と、全電極指15aが解放された状態の解放型とがある。反射器15−1,15−2の電極指15aの本数は、例えば50本〜100本程度が適当である。また、反射器15−1,15−2の配置は、所望のインピーダンスを得るためにいろいろあるが、IDT14に一番隣接している反射器15−1,15−2の電極指中心と該反射器15−1,15−2に隣接しているIDT14の一番外側の電極指中心の距離が、励振するSAWの半波長前後にすることが一般的である。製造過程において、例えば、IDT14と反射器15−1,15−2とは同時に形成されるので、膜厚及び材質が同じである。目安として、膜厚は数百Åから数千Åまで、材質は純AlまたはAlを主材料とする合金が一般的であるが、場合によって純Au、純Tiまたはこれらの金属を主材料とする合金が用いられる場合もある。
【0005】
このように構成されるSAW共振子10は、LC共振器とよく似たリアクタンス特性を示すため、その等価回路を近似的に表されることが多い。
図7(a),(b)は、図5に示すSAW共振子10の等価回路とリアクタンス特性を示す図である。
図7(a)の等価回路では、インダクタL、キャパシタc及び抵抗rが直列に接続され、これらと並列にキャパシタCが接続されている。このリアクタンス特性が図7(b)に示されている。このようなリアクタンス特性の素子で電気フィルタを設計する方法は、古くから知られている。
次に、(1)共振子で帯域フィルタを構成する方法、及び(2)SAW共振子の合成方法について説明する。
【0006】
(1) 共振子で帯域フィルタを構成する方法
共振子で構成するフィルタの基本回路は、はしご型回路であり、この例を図8(a),(b)に示す。
図8(a),(b)は、一般的な1段はしご型回路の二通りの例を示す構成図である。
図8の(a)と(b)は対称で、(a)の左の端子21−1,22−1からみたインピーダンスは、(b)の右の端子21−1,22−1からみたインピーダンスに等しく、(a)の右の端子21−2,22−2からみたインピーダンスは、(b)の左の端子21−2,22−2からみたインピーダンスに等しい。共振子でフィルタを構成するときは、はしご型回路間のインピーダンスを考えながら、図8の(a)または(b)を選択する。
【0007】
図8のはしご型回路20は、並列アーム(arm、腕)共振子23と、直列アーム共振子24とで構成されている。並列アーム共振子23の反共振周波数と直列アーム共振子24の共振周波数が非常に接近または一致すれば、系全体の入力端子21−1,22−1と出力端子21−2,22−2における整合状態が極めて良好で、帯域フィルタの特性が得られる。
図9は、図8に示す1段はしご型回路20の挿入損失特性の説明図である。
図9の(a)は、図8の共振子23,24のリアクタンス特性を示している。XpとXsはそれぞれ共振子23と24のリアクタンス特性である。共振周波数と反共振周波数は、図9に示されている通りである。結果的に、図8に示される1段はしご型回路20の挿入損失特性は、図9の(b)のような特性になる。この特性は帯域フィルタの挿入損失特性で、はしご型回路20の段数を増やすことにより、通過帯域の挿入損失と帯域外の左右の減衰量が増加する。従って、フィルタの構成に必要な段数は、フィルタの特性の条件によって決まる。
しかし、フィルタを構成するはしご型回路20の段数が増加すると、共振子23,24の数もこれに比例して増加する。
【0008】
図10は、従来の共振子合成前の4段はしご型回路で構成される共振器型フィルタの例を示す構成図である。
この共振器型フィルタでは、図8の1段はしご型回路20が縦続的に4段(20−1〜20−4)接続されている。但し、各段間の信号の相互反射を考慮して、縦続接続するときにインピーダンスの等しい端子同士で接続させる。結果的に、直列アームにおいて2組の2個直列接続共振子系、及び並列アームにおいて1組の2個並列接続共振子系ができる。各段のはしご型回路20−1〜20−4に2個の共振子23−1,24−1〜23−4,24−4があるので、合計8個の共振子が必要になってくるが、一般的に直列に接続する2個の共振子または並列に接続する2個の共振子は、1個の共振子に合成することが可能である。この合成共振子は、前記2個の共振子系とほぼ同じインピーダンス特性を持っていることが特徴である。例えば、1段目はしご型回路20−1の共振子24−1と2段目はしご型回路20−2の共振子24−2、及び3段目はしご型回路20−3の共振子24−3と4段目はしご型回路20−4の共振子24−4は、それぞれ直列に接続し、2段目はしご型回路20−2の共振子23−2と3段目はしご型回路20−3の共振子23−3は並列に接続する。ここで、それぞれの共振子系を合成すると、図10の4段はしご型フィルタの構成が、図11に示されるようになる。
【0009】
図11は、図10の共振子合成後の4段はしご型回路で構成される共振器型フィルタを示す構成図である。
図10の共振器型フィルタでは、合計8個の共振子23−1,24−1〜23−4,24−4が必要なのに、共振子合成を行うことによって図11に示されるように、5個の共振子23−1,23−23,23−4,24−12,24−34で同じ伝送特性及びインピーダンス特性の共振器型フィルタを得ることができる。図11の共振子24−12は図10の共振子24−1と24−2の直列合成共振子、共振子24−34は図10の共振子24−3と24−4の直列合成共振子、さらに共振子23−23は図10の共振子23−2と23−3の並列合成共振子である。
【0010】
(2) SAW共振子の合成方法
図10のはしご型回路20−1〜20−4を構成する共振子23−1,24−1,…がSAW共振子であれば、その合成方法は図12(a)〜(c)に示されている通りである。
図12(a)〜(c)は従来のSAW共振子の合成方法を説明する図であり、同図(a)は単体のSAW共振子、同図(b)は直列接続SAW共振子とその合成後のSAW共振子、及び同図(c)は並列接続SAW共振子とその合成後のSAW共振子を示す図である。
図12(a)に示すように、従来の単体SAW共振子10Aは、入力端子12及び出力端子13を有し、これらは複数の電極指14aを有するIDT14に接続されている。このSAW共振子10Aでは反射器を省略しているが、この反射器はあっても差しつかえない。WはIDT14の交差長、λは励振するSAWの波長であってIDT14のピッチの2倍に等しい。
【0011】
例えば、図12(a)〜(c)に示すように、2個のSAW共振子10A−1,10A−2を合成するとき、同一構成の2個の直列接続SAW共振子10A−1,10A−2を1個のSAW共振子10A−12に合成すると、後者の交差長が前者の単体の交差長Wの半分になる。同一構成の2個の並列接続SAW共振子10A−1,10A−2を1個のSAW共振子10A−12に合成すると、後者の交差長が前者の単体の交差長Wの2倍になる。
合成方法は、各SAW共振子10A−1,10A−2のインピーダンスを実質的に支配している電極指14aの静電容量の合成を基本にしている。即ち、直列合成の場合では、直列接続させる同じ静電容量Cの2個の素子系は静電容量C/2の素子と等価であるので、合成後のSAW共振子10A−12の交差長が合成前の単体SAW共振子10A−1,10A−2の交差長Wの半分になる。並列合成の場合では、並列接続させる同じ静電容量Cの2個の素子系は静電容量2Cの素子と等価であるので、合成後のSAW共振子10A−12の交差長が合成前の単体SAW共振子10A−1,10A−2の交差長Wの2倍になる。この合成方法は厳密な方法ではないが、実験的にはそれぞれの場合の合成SAW共振子10A−12のインピーダンス特性は、合成前の直列接続SAW共振子系または並列接続SAW共振子系のインピーダンス特性とほぼ同じであることを確認した。
【0012】
このようにして共振器系フィルタの共振子を合成していく。例えば、4段はしご型回路で構成される共振器型SAWフィルタの場合では8個のSAW共振子を必要とするが、5個のSAW共振子で同じ伝送特性とインピーダンス特性の共振器型SAWフィルタを構成することが可能である。即ち、用いられるSAW共振子の数はほぼ段数と同じである。また、帯域外減衰量はほぼはしご型回路の段数に比例して増加するので、所望のフィルタの特性が決まれば、その段数もほぼ決まる。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の共振器型SAWフィルタでは、次のような課題があった。
図13は、図11の共振器型SAWフィルタの伝送特性(挿入損失特性と反射損失特性)を示す図である。
図13のA1は、通過帯域低域側における挿入損失特性の劣化部分、及びA2はその反射損失特性の劣化部分である。この図から明らかなように、通過帯域低域側の特性が傾いていることがわかる。これと同時に、同じ帯域で反射損失特性が異常に盛り上がり、不整合損失が高いことが示されている。この不整合損失の原因は、段間接続によるインピーダンス不整合である。
挿入損失は通過帯域において損失の大きい値を指す場合が一般的なので、特性の通過帯域の低域が傾いているため、フィルタの評価が悪くなってしまう。即ち、このような場合では、通過帯域の高域において損失が低くても、フィルタは低損失と評価されない。そのため、通過帯域の挿入損失特性の変動が少なければ少ないほど、望ましいわけである。
【0014】
共振器型SAWフィルタの挿入損失特性A1の劣化の原因は、次のように説明できる。
はしご型回路20が1段のときフィルタの挿入損失特性はほぼ全体的に対称であるが、段数が図11のように2段か3段以上になると通過帯域低域側の挿入損失特性が低域の方に傾き始め、段数が多くなるとその勾配も急になる。そのため、通過帯域低域の挿入損失特性が傾く原因は、段間接続にあると考えられる。さらに、シミュレーションと実験で確認したところ、フィルタのはしご型回路中にπ型回路が形成されると、通過帯域低域が傾き始めることがわかった。即ち、段数が3段以上になると、はしご型回路中には必ずπ型回路が形成されるから、段数が3段以上になれば上述したような通過帯域の挿入損失特性の失劣化が必ず発生する。しかし、段数が2段のとき、構成の仕方によってはしご型回路がT型になったり、π型になったりするので、T型回路の場合では上述したような通過帯域の挿入損失特性の劣化はないが、π型回路になると挿入損失特性の劣化が現われる。
【0015】
ここで、T型回路とπ型回路との相違点をはっきりさせるために、図14(a),(b)を用いてさらに説明する。
図14(a),(b)は従来の2段はしご型回路の構成図であり、同図(a)はT型回路、及び同図(b)はπ型回路の構成図である。
図14(a)のT型回路は、3個のSAW共振子23−00,24−01,24−02で構成されている。SAW共振子24−01と24−02は同一構成のSAW共振子で、図10のSAW共振子24−1,24−2,24−3,24−4に相当している。SAW共振子23−00は、図10のSAW共振子23−2と23−3の並列合成SAW共振子、または図11のSAW共振子23−23に相当する。図14(b)のπ型回路は、3個のSAW共振子23−01,23−02,24−00で構成されている。SAW共振子23−01と23−02は同一構成のSAW共振子で、図10のSAW共振子23−1,23−2,23−3,23−4に相当している。SAW共振子24−00は、図10のSAW共振子24−1と24−2、あるいは24−3と24−4の直列合成SAW共振子、または図11のSAW共振子24−12か24−34に相当する。
【0016】
この図14(a)のT型回路と(b)のπ型回路の構成を考慮すれば、上述した挿入損失特性の劣化原因は、π型回路の直列アームSAW共振子24−00の接続にあると思われる。
一般的に、任意の二端子対電気回路網を接続するとき、段間反射及び挿入損失を抑制するためには、接続する端子からみたそれぞれの電気回路網のインピーダンスの値が互いに共役でなければならない。しかし、従来、共振器型SAWフィルタのはしご型回路を構成するとき、その点を考慮していないことが現状で、単なる各段間の信号の相互反射を考慮してインピーダンスの等しい端子同士で接続させるだけであった。
本発明は、従来技術が持つこのような課題を解決し、低挿入損失で、帯域外減衰量の高い共振器型SAWフィルタを提供することを目的とする。
【0017】
【課題を解決するための手段】
図15(a)〜(c)は本発明の接続方法の原理説明図であり、同図(a)は任意の二端子対電気回路網、同図(b)は従来のはしご型フィルタ内の段間の接続方法、及び同図(c)は本発明のフィルタ段間の接続方法を示す図である。
図15(a)の二端子対電気回路網30には、入力端子31−1,32−1と出力端子31−2,32−2が設けられている。入力端子31−1,32−1を特性インピーダンスZで終端すると、出力端子31−2,32−2からみたインピーダンスは、一般的にZ(=R+jX)で表すことができる。
図15(b)では、2個の電気回路網30を、従来の共振器型SAWフィルタの接続方法で何の対策も講じずに、ただ出力端子31−2,32−2同士で接続させている。出力端子31−2,32−2からみた両方の電気回路網30のインピーダンスは同じZ(=R+jX)なので、この接続方法では、両電気回路網30間にある出力端子31−2,32−2において不整合損失の発生を避けられない。従来の接続理論によれば、出力端子31−2,32−2からみた一方の電気回路網30のインピーダンスがZ(=R+jX)であれば、他方の電気回路網30のインピーダンスはZの共役インピーダンス(=R−jX)でなければならない。このような条件で接続させると、それぞれの電気回路網30のインピーダンスのリアクタンス分が打ち消し合い、不整合損失が最小限に抑制される。
【0018】
出力端子31−2,32−2からみた両方の電気回路網30のインピーダンスが同じZ(=R+jX)の場合、従来の接続理論の条件を満たすためには、両方の電気回路網30のインピーダンスのリアクタンス分を打ち消す目的で、例えば両方の電気回路網30の出力端子31−2,32−2間に純リアクタンス分しか持たないインピーダンスZm(=−2jX)を直列に接続させればよい。
図15(c)では、図15(b)の電気回路網30の接続方法を従来の接続理論の条件を満たせるような接続方法を示している。このようにインピーダンスZmを直列に加えることにより、両電気回路網30間に従来の接続理論の条件が満たされるので、両電気回路網30における不整合損失が最小限に抑制されることになる。しかし、インピーダンスZmの値を−2jXにすることは、あくまでも理想的な場合であり、実用的にはインピーダンスZmの値は、出力端子31−2,32−2における両方の電気回路網30のインピーダンスのリアクタンス分を小さく抑制できるような値であればよい。
【0019】
本発明では、図15(c)に示す接続原理を採用し、以下のように構成することにより、共振器型SAWフィルタの挿入損失特性を改善している。
本発明のうちの請求項1に係る発明では、IDTでそれぞれ形成された直列アームSAW共振子と並列アームSAW共振子によって構成されるはしご型回路を2段以上備え、前記2段以上のはしご型回路によって1つ以上のπ型回路が形成される形で、それらのはしご型回路が縦続接続されて同一の圧電基板上に形成される共振器型SAWフィルタであって、前記π型回路の直列アームSAW共振子と同一ピッチのIDTを有する段間整合用SAW共振子を、該π型回路の直列アームSAW共振子と直列に接続している。
このような構成を採用したことにより、例えば、従来の接続方法で加算して大きくなった各段のインピーダンスのリアクタンス分が小さく抑制され、従来の接続方法で発生した段間不整合損失が抑制される。
【0020】
請求項2に係る発明では、請求項1の共振器型SAWフィルタにおいて、前記段間整合用SAW共振子のIDTのピッチを、前記π型回路における直列アームSAW共振子のIDTのピッチより狭くし、共振周波数と反共振周波数をさらに数MHzから数十MHz高域に移動させる構成にしている。
このような構成を採用したことにより、例えば、従来の接続方法で発生した段間不整合損失が抑制されると共に、挿入損失特性の通過帯域外の高域に1個の減衰極が発生し、帯域外高域側の減衰量が増える。
請求項3に係る発明では、請求項1の共振器型SAWフィルタにおいて、前記段間整合用SAW共振子を複数の直列SAW共振子に分解し、これらの分解した直列SAW共振子系の静電容量を、分解前の段間整合用SAW共振子の静電容量とほぼ同一にし、該分解された各々の直列SAW共振子のIDTのピッチを、それぞれ前記π型回路における直列アームSAW共振子のIDTのピッチより狭くしながら異なる値にし、該分解された直列SAW共振子の共振周波数と反共振周波数を、数MHzから数十MHzを基準にして、さらに高域に移動させる構成にしている。
【0021】
このような構成を採用したことにより、例えば、従来の接続方法で発生した段間不整合損失が抑制されると共に、挿入損失特性の通過帯域外の高域に複数の減衰極が発生し、帯域外高域側の減衰量が増える。
請求項4に係る発明では、請求項1の共振器型SAWフィルタにおいて、前記π型回路の直列アームSAW共振子と同一ピッチのIDTを有する段間整合用SAW共振子と、これに直列に接続される該直列アームSAW共振子とを合成して、SAW共振子の数を減らす構成にしている。
このような構成を採用したことにより、例えば、従来の接続方法で発生した段間不整合損失が抑制される。
【0022】
【発明の実施の形態】
第1の実施形態
本発明の第1の実施形態を示す共振器型SAWフィルタの(1)構成、(2)動作、(3)効果、(4)利用形態、(5)第1の変形例、及び(6)第2の変形例を以下説明する。
(1) 構成
図1(a),(b)は本発明の第1の実施形態を示す共振器型SAWフィルタの説明図であり、同図(a)はπ型回路になっている2段はしご型回路で構成される共振器型SAWフィルタの構成図、及び同図(b)はその共振器型SAWフィルタの伝送特性図である。
なお、図1では本実施形態を理解し易くするために、フィルタを構成するはしご型回路の段数を2段のπ型回路としているが、段数がこれ以上多くなっても基本的な考え方は同じなので問題はない。3段以上の共振器型SAWフィルタについては、(5),(6)の変形例で説明する。
【0023】
図1(a)に示すように、本実施形態の共振器型SAWフィルタは、2段はしご型回路40−1,40−2で構成されている。1段目はしご型回路40−1は、入力端子41−11,42−11及び出力端子41−12,42−12を有し、該端子41−11と42−11との間に並列アームSAW共振子43−1が接続され、さらに該端子41−11と41−12との間に直列アームSAW共振子44−1が接続されている。2段目はしご型回路40−2は、入力端子41−21,42−21及び出力端子41−22,42−22を有し、該端子41−22と42−22との間に並列アームSAW共振子43−2が接続され、さらに該端子41−21と41−22との間に直列アームSAW共振子44−2が接続されている。各SAW共振子43−1,43−2,44−2は、例えば、従来の図5あるいは図12(a)と同一の構成である。このうち、SAW共振子43−1と43−2は全く同じ素子なので、インピーダンスが等しい。同様に、SAW共振子44−1と44−2も全く同じ素子なので、インピーダンスが等しい。
【0024】
前記原理説明で述べたように、従来の共振器型SAWフィルタでは、端子41−12,42−12と端子41−21,42−21とを直接接続するようになっているが、端子41−12,42−12と端子41−21,42−21からみた1段目と2段目のはしご型回路40−1,40−2のインピーダンスが全く等しく、両者を接続するとインピーダンスのリアクタンス分が増加し、接続端子41−12,42−12,41−21,42−21における不整合損失が増大し、フィルタの挿入損失特性の劣化を招くことになる。
そこで、本実施形態では、加算して増大するリアクタンス分を抑制するために、端子41−12と41−21との間に、不整合損失抑制用つまり段間整合用の2端子素子51を直列に接続している。なお、実際の2端子素子51の配置は、必ずしもSAW共振子44−1と44−2の間でなくてもよい。
【0025】
1段目はしご型回路40−1の端子41−11,42−11と2段目はしご型回路40−2の端子41−22,42−22を特性インピーダンスZで終端すると、端子41−12,42−12と端子41−21,42−21からみた1段目と2段目のはしご型回路40−1,40−2のインピーダンスが全く等しく、そのリアクタンス分は通過帯域低域側においてかなり高い値の誘導性特性を示す。これに対し、通過帯域低域以外の通過帯域では、そのリアクタンス分が誘導性になったりあるいは容量性になったりするが、その絶対値は通過帯域低域側のリアクタンスの絶対値と比べてかなり小さく、数10分の1以下である。そのため、従来の接続方法では、既に高くなった1段目と2段目のはしご型回路の通過帯域低域側のインピーダンスのリアクタンス分が加算するので、接続端子における不整合損失がますます大きくなってしまうわけである。それ故、この不整合損失を抑制するために、本実施形態の2端子素子51では、通過帯域低域側においてインピーダンスのリアクタンス分が容量性特性を持ち、その絶対値が前記加算したリアクタンス分と同程度で、通過帯域低域以外の通過帯域ではそのリアクタンス分の絶対値が小さければよい。また、通過帯域において2端子素子51のインピーダンスの抵抗分は、低ければ低いほど理想的である。
【0026】
前記条件を全て満たすような2端子素子51をみつけることは、かなり困難である。また、いろいろな素子を用いて構成できても、寸法が大きくなり、回路構成も複雑で実用的ではない。しかし、本実施形態の回路構成に用いられるSAW共振子44−1(または44−2)とSAW共振子43−1(または43−2)のインピーダンス特性を調べてみると、フィルタの通過帯域低域側において、リアクタンス分が容量性特性を示しており、工夫次第でSAW共振子44−1と43−1を素子51として利用することができることがわかった。さらに、SAW共振子44−1と43−1のリアクタンス特性を比較してみると、SAW共振子44−1の方がその利用に最も適するので、素子51の構成はSAW共振子44−1の構成を基本にする。
SAW共振子44−1は、フィルタの直列アーム共振子であり、フィルタの通過帯域中心付近に共振周波数を持ち、通過帯域高域のすぐ外側に反共振周波数を持つ。2端子素子51がフィルタの直列アームSAW共振子44−1,44−2と直列に接続されるので、該直列アームSAW共振子44−1とほぼ同じ共振周波数と反共振周波数を持てばフィルタ特性に不要な悪影響を及ぼさず、フィルタ通過帯域低域側の不整合損失だけを抑制する。しかし、もし2端子素子51がフィルタの並列アームSAW共振子43−1とほぼ同じ共振周波数と反共振周波数を持てば、フィルタ通過帯域低域側の不整合損失が抑制されても、フィルタ通過帯域高域側が2端子素子51の反共振周波数の悪影響を受け、劣化してしまう。そこで、本実施形態ではフィルタの直列アームSAW共振子44−1の構成を、2端子素子51の基本構成に採用している。
【0027】
本実施形態では、フィルタの通過帯域低域側におけるフィルタの1段目と2段目のはしご型回路40−1,40−2のリアクタンス分を考慮して、2端子素子51を2個の直列アームSAW共振子44−1に相当するインピーダンスを持つSAW共振子にする。そのため、2個の直列アームSAW共振子44−1を2端子素子51として用いてもよい。この場合、直列アームSAW共振子44−1,44−2及び2端子素子51のIDTのピッチは同じなので、図12に示されたSAW共振子の合成方法を用いて合成してもよく、しなくてもよい。但し、合成を行う場合、例えば本実施形態では、最初にあったSAW共振子44−1,44−2に加えて段間整合用のSAW共振子からなる2端子素子51があるので、全部1個のSAW共振子に合成すると、多少のインピーダンスのずれが生じることがあるから、合成後のSAW共振子の対数や交差長を調整する必要がある。また、2端子素子51は2個の直列アームSAW共振子44−1に相当するSAW共振子なので、図12の合成方法によると、対数を共振子44−1と同じようにすれば、交差長は共振子44−1の交差長の半分になる。従って、例えば共振子44−1の交差長をW1とすれば、2端子素子51の交差長はW1/2になる。
【0028】
(2) 動作
図1(a)の共振器型SAWフィルタでは、従来と同様に、入力端子41−11,42−11より高周波信号が入力されると、フィルタを構成する全てのSAW共振子43−1,43−2,44−1,44−2及び2端子素子51のIDTの電極指間に電圧差が生じ、SAWが励振される。SAWが励振することにより、SAW共振子43−1,43−2,44−1,44−2及び2端子素子51が、水晶共振子あるいは従来のLC共振子のようなインピーダンス特性を表し、SAW共振子系全体が帯域フィルタの特性を表すことになる。この際、本実施形態で導入したはしご型回路段間の2端子素子51は、通過帯域低域側の伝送特性を補い、リップル(通過帯域の挿入損失の最大値と最小値の差)の小さい挿入損失特性を実現する。この結果、出力端子41−22,42−22より通過帯域に周波数の合う信号だけが安定な強度で出力され、通過帯域外の周波数の信号が入力端子41−11,42−11において反射され、該出力端子41−22,42−22から出力されない。
【0029】
(3) 効果
本実施形態の共振器型SAWフィルタの効果が、図1(b)の伝送特性に示されている。この図1(b)において、B1は通過帯域低域側において改善した挿入損失特性の部分、及びB2はその反射損失特性の部分である。
従来の段間接続方法で常に劣化する通過帯域低域側の挿入損失特性は、図1(b)から明らかなように劣化しなくなってくる。これと同時に、通過帯域低域側の反射損失特性も大きく下がり、段間接続の整合状態が良好であることが明らかである。
通過帯域低域側の挿入損失特性が改善されたことによって特性のリップルも小さくなり、フィルタの挿入損失の評価もよくなる。現在、自動車電話器及び携帯電話器等に使われているフィルタの中にはまだ誘電体フィルタが使われているが、このように共振器型SAWフィルタの伝送特性を大きく改善できたことで、自動車電話器及び携帯電話器等に使われるフィルタが全てSAWフィルタになり、これらの自動車電話器及び携帯電話器等の小型化、高性能化及び低価格化を飛躍的に推進する効果もある。
【0030】
(4) 利用形態
本実施形態のように挿入損失特性が改善された共振器型SAWフィルタは、従来のものと比べて利用し易く、応用範囲も広くなる。一般的に、共振器型SAWフィルタは、例えば自動車電話器及び携帯電話器等において段間フィルタとして使われるが、共用器用フィルタとしてまだ利用できない。しかし、本実施形態の共振器型SAWフィルタは、低損失だけでなく、低リップルでもあるので、共用器用フィルタ等としても十分利用できる。即ち、現在、自動車電話器及び携帯電話器等において共用器用フィルタとして誘電体フィルタが使われているが、本実施形態の効果により、自動車電話器及び携帯電話器等に使われるフィルタが全てSAWフィルタになることが期待される。
【0031】
(5) 第1の変形例
図2は、図1(a)の第1の変形例を示すもので、本実施形態の共振器型SAWフィルタを図1(a)の2段はしご型回路から3段はしご型回路に拡張した構成図である。
この共振器型SAWフィルタは、3段のはしご型回路40−1〜40−3が縦続接続されて構成されている。1段目はしご型回路40−1は、端子41−11,42−11と端子41−21,42−21を有し、これらの端子間に並列アームSAW共振子43−1及び直列アームSAW共振子44−1が接続されている。2段目はしご型回路40−2は、端子41−21,42−21と端子41−22,42−22を有し、これらの端子間に並列アームSAW共振子43−2及び直列アームSAW共振子44−2が接続されている。3段目はしご型回路40−3は、端子41−31,42−31と端子41−32,42−32を有し、これらの端子間に並列アームSAW共振子43−3及び直列アームSAW共振子44−3が接続されている。各段の並列アームSAW共振子43−1,43−2,43−3はそれぞれ同じインピーダンス特性を持つ。各段の直列アームSAW共振子44−1,44−2,44−3も、それぞれ同じインピーダンス特性を持つ。なお、共振子43−1と43−2、及び共振子44−2と44−3を、それぞれ図12に示すように並列合成及び直列合成を行っても差しつかえないが、説明の簡単化を図るため、合成しないでおく。
【0032】
2段目と3段目のはしご型回路40−2,40−3がπ型回路を構成するので、端子41−22,42−22と端子41−31,42−31との間に発生するインピーダンス不整合損失を抑制するために、本変形例では端子41−22と41−31の間に段間整合用SAW共振子52を縦続接続している。SAW共振子52は、フィルタの直列アームSAW共振子41−1と同じIDTのピッチを持つが、対数及び交差長は次のように求める。
端子41−11,42−11を特性インピーダンスZで終端すると、端子41−22,42−22からみた回路(直列に接続している1段目と2段目のはしご型回路40−1,40−2)の左側のインピーダンスをZ1(=R1+jX1)とし、端子41−32,42−32を特性インピーダンスZで終端すると、端子41−31,42−31からみた回路(3段目のはしご型回路40−3)の右側のインピーダンスをZ2(=R2+jX2)とする。上記発明の原理説明で述べたように、不整合損失を最小限に抑制するために、段間整合用SAW共振子52のインピーダンスはフィルタの通過帯域において抵抗分をほぼ持たず(またはゼロ)、リアクタンス分がほぼ−j(X1+X2)に等しければよい。ここで、SAW共振子52のIDTの対数をSAW共振子44−1と同じようにすると、リアクタンス分が−j(X1+X2)になる交差長は、例えばSAW共振子44−1の交差長をW1とすれば、ほぼW1×X2/(X1+X2)になる。この交差長の式は、次のように導き出される。
【0033】
本変形例の説明に用いたインピーダンスZ2(=R2+jX2)は、回路の構成からみれば前記第1の実施形態の説明に用いたインピーダンスZ(=R+jX)に相当し、−2jX(=−2jX2)なるリアクタンス分を得るために対数はSAW共振子44−1の対数と同じくして、交差長はSAW共振子44−1の交差長W1の半分にしたSAW共振子を用いた。また、SAW共振子のIDTの静電容量は交差長に比例し、リアクタンスはIDTの静電容量に反比例するから、−j(X1+X2)なるリアクタンス分を得るためには対数をSAW共振子44−1の対数と同じくすればよく、容易に段間調整用SAW共振子52の交差長を導出できる。
このような本変形例の共振器型SAWフィルタは、上記第1の実施形態の動作、効果及び利用形態とほぼ同様である。
【0034】
(6) 第2の変形例
共振器型SAWフィルタのはしご型回路の段数が3段以上になると、回路には必ず1つ以上のπ型回路が形成されるので、このπ型回路の直列アームに発生する不整合損失を抑制する作業は、段数が多くなるに連れて複雑になってくる。しかし、共振器型SAWフィルタのはしご型回路の段数が4段以上になっても、必ず回路の有する全てのπ型回路を分解させずに複数の2段と3段のπ型回路を有するはしご型回路に分けることができる。そして、π型回路を有する各々の2段はしご型回路と3段はしご型回路に上記第1の実施形態及び第1の変形例で実施したπ型回路の直列アームにおける不整合損失抑制対策と同じようなやり方で上記対策を施せば、結果的に共振器型SAWフィルタの通過帯域低域側の伝送特性劣化を改善できる。従って、上記第1の実施形態は、どのような共振器型SAWフィルタにも適用できる。
【0035】
第2の実施形態
図3(a),(b)は本発明の第2の実施形態を示す共振器型SAWフィルタの説明図であり、同図(a)はπ型回路になっている2段はしご型回路で構成される共振器型SAWフィルタの構成図、及び同図(b)はこの共振器型SAWフィルタの伝送特性図である。以下、この図3(a),(b)を参照しつつ、本実施形態の(1)構成、(2)動作、(3)効果、(4)利用形態、及び(5)変形例を説明する。
【0036】
(1) 構成
図3(a)に示すように、本実施形態の共振器型SAWフィルタは、図1(a)と同一の1段目はしご型回路40−1と2段目はしご型回路40−2とを有し、これらの回路40−1,40−2間を接続する図1(a)の2端子素子51に代え、これと構成の異なる段間整合用SAW共振子53を設けた点のみが第1の実施形態と異なっている。
SAW共振子53の構成及び選択の仕方は、図1(a)の2端子素子51と基本的に同じである。即ち、SAW共振子53は、2個の直列アームSAW共振子44−1に相当するインピーダンスを持つSAW共振子である。そのため、2個の直列アームSAW共振子44−1をSAW共振子53として用いてもよい。しかし、本実施形態では、SAW共振子53のIDTのピッチをSAW共振子44−1のIDTのピッチよりわずかに狭く設計することで、該SAW共振子53の共振周波数と反共振周波数をさらに高域の方に移動させるようにしている。これが、第1の実施形態との重要な相違点である。また、SAW共振子53のIDTのピッチとSAW共振子44−1のIDTのピッチとが異なるから、第1の実施形態の2端子素子51とSAW共振子44−1のように、図12に示したSAW共振子の合成方法を用いることができない。
【0037】
(2) 動作
本実施形態の共振器型SAWフィルタは、第1の実施形態の共振器型SAWフィルタと同一の動作を行う。
(3) 効果
本実施形態では、SAW共振子53のIDTのピッチをSAW共振子44−1のIDTのピッチよりわずかに狭く設計し、該SAW共振子53の共振周波数と反共振周波数を数MHzから数十MHz高域の方に移動させる。このようにSAW共振子53のインピーダンス特性が高域の方に移動することで、共振器型SAWフィルタの通過帯域低域側におけるSAW共振子53のインピーダンスのリアクタンス分の変動も生じるが、数十MHz以内の高域移動ならそれほど変動しないことを実験的に確認した。ちなみに、このような高域移動で容量性であるSAW共振子53のインピーダンスのリアクタンス分は、増加する方向に変動する。
しかし、前記のようなインピーダンス特性の変動があっても、SAW共振子53は、第1の実施形態の段間整合用2端子素子51と同じように段間不整合損失を抑制できる。それに、共振周波数と反共振周波数が高域に移動することで、共振器型SAWフィルタの挿入損失特性の帯域外高域側にSAW共振子53の反共振周波数と同じ周波数において1個の減衰極が発生するので、高域減衰量が増加するという効果が得られる。
【0038】
本実施形態の効果を示す図3(b)の伝送特性において、C1は通過帯域低域側において改善した挿入損失特性の部分、C2はその反射損失特性の部分、C3は帯域外高域に発生する減衰極である。この図から明らかなように、第1の実施形態の場合と同様に、従来の段間接続方法で常に劣化する通過帯域低域側の挿入損失特性が劣化しなくなり、通過帯域低域側の反射損失特性も大きく下がる。しかも、帯域外高域に発生する減衰極C3により、本実施形態の共振器型SAWフィルタの挿入損失特性の高域減衰量の増加が明らかである。
(4) 利用形態
本実施形態の共振器型SAWフィルタでは、挿入損失特性の通過帯域の特性が改善されたばかりでなく、高域に1個の減衰極を設け、高域減衰量の増加を実現できたことで、本実施形態の共振器型SAWフィルタは第1の実施形態の共振器型SAWフィルタより優れた伝送特性を持つ。よって、第1の実施形態の共振器型SAWフィルタのように自動車電話器及び携帯電話器等の中に用いたり、さらに周波数帯域の調整で様々な通信機器等にも利用できる。
【0039】
(5) 変形例
本実施形態では、π型回路なる2段はしご型回路の共振器型SAW共振子の場合しか説明しなかったが、第1の実施形態と同様に、段数が2段あるいはこれ以上に増えても、第1の実施形態の第1及び第2の変形例で説明したような段間不整合損失抑制対策を本実施形態にも適用できる。但し、この場合も段間調整に用いるSAW共振子は、本実施形態の図3(a)のSAW共振子53と同様に、インピーダンス特性が高域に移動させられるものである。
第3の実施形態
図4(a),(b)は本発明の第3の実施形態を示す共振器型SAWフィルタの説明図であり、同図(a)はπ型回路になっている2段はしご型回路で構成される共振器型SAWフィルタの構成図、及び同図(b)はこの共振器型SAWフィルタの伝送特性図である。この図を参照しつつ、本実施形態の(1)構成、(2)動作、(3)効果、(4)利用形態、及び(5)変形例を説明する。
【0040】
(1) 構成
図4(a)に示すように、本実施形態の共振器型SAWフィルタは、第2の実施形態の図3(a)と同様な2段はしご型回路40−1,40−2を有し、これらの回路40−1,40−2間に、図3(a)のSAW共振子53に代えて、直列に接続した段間整合用のSAW共振子54,55を設けた点のみが第2の実施形態と異なっている。
SAW共振子54と55は、図3(a)のSAW共振子53を分解して得られたものである。分解の仕方はいろいろ考えられるが、分解後のSAW共振子54と55の直列合成静電容量はSAW共振子53とほぼ同じ程度にすることが基本である。ここでは、説明を簡単にするために、SAW共振子54と55はそれぞれ直列アームSAW共振子44−1と同じ構成にする。そのため、直列に接続しているSAW共振子54と55の合成インピーダンスは、2個の直列アームSAW共振子44−1に相当し、図3(a)のSAW共振子53のインピーダンスとほぼ同じである。但し、ここでは、例えばSAW共振子54を図3(a)のSAW共振子53と同じようにIDTのピッチを狭くし、インピーダンス特性を高域に数十MHz移動させ、さらにSAW共振子55も同じようにさらにIDTのピッチを狭くし、インピーダンス特性をSAW共振子54よりさらに高域に移動させている。
このように、本実施形態と第2の実施形態の共振器型SAWフィルタの相違点は、1個の段間整合用SAW共振子53を、周波数帯域の異なった2個の直列に接続したSAW共振子54と55に分解したことである。
【0041】
(2) 動作
本実施形態の共振器型SAWフィルタは、第1の実施形態の共振器型SAWフィルタと同様の動作を行う。
(3) 効果
本実施形態では、SAW共振子54のIDTのピッチをSAW共振子44−1のIDTのピッチよりわずかに狭く設計し、該SAW共振子54の共振周波数と反共振周波数を数MHzから数十MHz高域の方に移動させている。さらに、SAW共振子55のIDTのピッチをSAW共振子54のIDTのピッチよりさらに狭くし、その共振周波数と反共振周波数を該SAW共振子54よりさらに数MHz高域の方に移動させている。そのため、第2の実施形態の効果で説明したように、このようなインピーダンス特性の高域への移動によるインピーダンスのリアクタンス分の変動はほとんどない。
【0042】
しかし、前記のようなインピーダンス特性の変動があっても、直列接続しているSAW共振子54と55は第1の実施形態の段間整合用の2端子素子51または第2の実施形態の段間整合用SAW共振子53と同じように、段間不整合損失を抑制できる。それに、共振周波数と反共振周波数が高域に移動することで、共振器型SAWフィルタの挿入損失特性の帯域外高域側にSAW共振子54と55の反共振周波数と同じ周波数において1個ずつの減衰極が発生するので、高域減衰量が増加するという効果が得られる。
本実施形態の効果を示す図4(b)の伝送特性において、D1は通過帯域低域側において改善した挿入損失特性の部分、D2はその反射損失特性の部分、D3は帯域外高域に発生する2個の減衰極である。この図に示すように、第1及び第2の実施形態の場合と同じように、従来の段間接続方法で常に劣化する通過帯域低域側の挿入損失特性が劣化しなくなり、通過帯域低域側の反射損失特性も大きく下がる。しかも、2個の減衰極D3の発生で、本実施形態の共振器型SAWフィルタの挿入損失特性の高域減衰量は、第2の実施形態の挿入損失特性の高域減衰量よりさらに増加し、その減衰帯域も広くなる。
【0043】
(4) 利用形態
本実施形態では、挿入損失特性の通過帯域の特性が改善されたばかりでなく、高域に2個の減衰極D3を設け、高域減衰量の増加及び高域減衰帯域の拡大を実現できたことで、本実施形態の共振器型SAWフィルタは第1及び第2の実施形態の共振器型SAWフィルタより優れた伝送特性を持つことになる。よって、第1及び第2の実施形態の共振器型SAWフィルタのように自動車電話器及び携帯電話器等の中に用いられ、さらに周波数帯域の調整で様々な通信機器等にも利用できる。
【0044】
(5) 変形例
本実施形態では、π型回路なる2段はしご型回路40−1,40−2の共振器型SAW共振子の場合しか説明しなかったが、第1及び第2の実施形態と同様に、段数が3段あるいはこれ以上に増えても、第1の実施形態の第1及び第2の変形例で説明したような段間不整合損失抑制対策を本実施形態にも適用できる。但し、この場合も段間整合に用いるSAW共振子は本実施形態のSAW共振子54と55と同様に、インピーダンス特性が高域に移動させられるものである。
また、本実施形態の特徴は、第2の実施形態の段間整合用SAW共振子53を周波数帯域の異なった2個の直列に接続したSAW共振子54と55に分解することである。しかし、直列合成静電容量をほぼ一定に維持できれば、必ずしもSAW共振子53を2個の直列接続SAW共振子54,55にでなく、3個以上の直列接続SAW共振子に分解してもよい。但し、3個以上に分解する場合、各々のSAW共振子のインピーダンス特性は少しずつ高域に移動させられ、周波数の移動幅が一番広くても十数MHz程度が望ましい。そうすると、共振器型SAWフィルタの挿入損失特性の帯域外高域側に段間調整用の各々のSAW共振子の反共振周波数と同じ周波数において1個ずつの減衰極が発生するので、この減衰極が段間整合用SAW共振子の数と同じになる。結果的に、高域減衰量もさらに増加し、減衰帯域もさらに広くなる。
【0045】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、本発明のうちの請求項1に係る発明では、同一圧電基板上にSAWフィルタの構成に必要な直列アームと並列アーム用の複数のSAW共振子を作成し、これらのSAW共振子を用いて2段以上のはしご型回路を構成し、前記はしご型回路に1つ以上のπ型回路が形成される場合において、前記π型回路の直列アームSAW共振子と同じピッチのIDTの段間整合用SAW共振子を設け、これを前記各π型回路の前記直列アームSAW共振子と直列に接続している。そのため、例えば、従来の接続方法で加算して大きくなった各段のインピーダンスのリアクタンス分を小さく抑制し、従来の接続方法で発生した段間不整合損失を抑制できる。
請求項2に係る発明では、請求項1の段間調整用SAW共振子のIDTのピッチを、SAWフィルタの構成に必要な直列アーム用SAW共振子のIDTのピッチより狭くし、共振周波数と反共振周波数をさらに数MHzから数十MHz高域に移動させている。そのため、例えば、従来の接続方法で発生した段間不整合損失を抑制でき、同時に挿入損失特性の通過帯域外の高域に1個の減衰極を発生させ、帯域外高域側の減衰量を増加できる。
【0046】
請求項3に係る発明では、請求項1の段間調整用SAW共振子を複数の直列SAW共振子に分解し、この直列SAW共振子系の静電容量をほぼ分解前のSAW共振子の静電容量と同じにし、分解で得られた各々のSAW共振子のIDTのピッチをそれぞれSAWフィルタの構成に必要な直列アーム用SAW共振子のIDTのピッチより狭くしながら異なった値にし、これらの新しいSAW共振子の共振周波数と反共振周波数を請求項2の発明よりもさらに高域に移動させるようにしている。そのため、例えば、従来の接続方法で発生した段間不整合損失を抑制でき、これと同時に挿入損失特性の通過帯域外の高域に複数の減衰極を発生させ、帯域外高域側の減衰量をより増加できる。 請求項4に係る発明では、請求項1の段間調整用SAW共振子と直列に接続しているSAWフィルタの構成に必要な直列アーム用SAW共振子のIDTのピッチが同一なので、SAW共振子の数を減らすためにできるだけこれらのSAW共振子を合成するようにしている。そのため、従来の接続方法で発生した段間不整合損失を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態を示す共振器型SAWフィルタの説明図である。
【図2】図1(a)の第1の変形例を示す共振器型SAWフィルタの構成図である。
【図3】本発明の第2の実施形態を示す共振器型SAWフィルタの説明図である。
【図4】本発明の第3の実施形態を示す共振器型SAWフィルタの説明図である。
【図5】従来のSAW共振子の平面図である。
【図6】図5のSAW共振用反射器の平面図である。
【図7】図5のSAW共振子の等価回路とリアクタンス特性を示す図である。
【図8】一般的な1段はしご型回路の構成図である。
【図9】図8の1段はしご型回路の挿入損失特性の説明図である。
【図10】従来の共振子合成前の4段はしご型回路で構成される共振器型フィルタの構成図である。
【図11】図10の共振子合成後の4段はしご型回路で構成される共振器型フィルタの構成図である。
【図12】従来のSAW共振子の合成方法の説明図である。
【図13】図11の共振器型SAWフィルタの伝送特性図である。
【図14】従来の2段はしご型回路の構成図である。
【図15】本発明の接続方法の原理説明図である。
【符号の説明】
10,10A,10A−1,10A−2,10A−12 SAW共振子
11 圧電基板
14 IDT
14a,15a 電極指
15−1,15−2 反射器
40−1,40−2,40−3 はしご型回路
43−1,43−2,43−3 並列アームSAW共振子
44−1,44−2,44−3 直列アームSAW共振子
51 段間整合用2端子素子
52,53,54,55 段間整合用SAW共振子

Claims (4)

  1. すだれ状トランスデューサでそれぞれ形成された直列アーム弾性表面波共振子と並列アーム弾性表面波共振子によって構成されるはしご型回路を2段以上備え、
    前記2段以上のはしご型回路によって1つ以上のπ型回路が形成される形で、そのはしご型回路が縦続接続されて同一の圧電基板上に形成される弾性表面波フィルタであって、
    前記π型回路の直列アーム弾性表面波共振子と同一ピッチのすだれ状トランスデューサを有する段間整合用弾性表面波共振子を、該π型回路の直列アーム弾性表面波共振子と直列に接続したことを特徴とする弾性表面波フィルタ。
  2. 請求項1記載の弾性表面波フィルタにおいて、
    前記段間整合用弾性表面波共振子のトランスデューサのピッチを、前記π型回路における直列アーム弾性表面波共振子のトランスデューサのピッチより狭くし、共振周波数と反共振周波数をさらに数MHzから数十MHz高域に移動させる構成にしたことを特徴とする弾性表面波フィルタ。
  3. 請求項1記載の弾性表面波フィルタにおいて、
    前記段間整合用弾性表面波共振子を複数の直列弾性表面波共振子に分解し、これらの分解した直列弾性表面波共振子系の静電容量を、分解前の段間整合用弾性表面波共振子の静電容量とほぼ同一にし、該分解された各々の直列弾性表面波共振子のトランスデューサのピッチを、それぞれ前記π型回路における直列アーム弾性表面波共振子のトランスデューサのピッチより狭くしながら異なる値にし、該分解された直列弾性表面波共振子の共振周波数と反共振周波数を、数MHzから数十MHzを基準にして、さらに高域に移動させる構成にしたことを特徴とする弾性表面波フィルタ。
  4. 請求項1記載の弾性表面波フィルタにおいて、
    前記π型回路の直列アーム弾性表面波共振子と同一ピッチのトランスデューサを有する段間整合用弾性表面波共振子と、これに直列に接続される該直列アーム弾性表面波共振子とを合成して、弾性表面波共振子の数を減らす構成にしたことを特徴とする弾性表面波フィルタ。
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